JP4151576B2 - 機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置 - Google Patents
機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4151576B2 JP4151576B2 JP2003425926A JP2003425926A JP4151576B2 JP 4151576 B2 JP4151576 B2 JP 4151576B2 JP 2003425926 A JP2003425926 A JP 2003425926A JP 2003425926 A JP2003425926 A JP 2003425926A JP 4151576 B2 JP4151576 B2 JP 4151576B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- meniscus
- functional
- displacement
- functional liquid
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 66
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 53
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 232
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 claims description 175
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 142
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 47
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 28
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 20
- 230000001020 rhythmical effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 121
- 239000010408 film Substances 0.000 description 59
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 53
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 48
- 230000008569 process Effects 0.000 description 30
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 29
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 29
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 description 23
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 21
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 19
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 18
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 17
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 16
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 14
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 13
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 12
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 11
- 230000033764 rhythmic process Effects 0.000 description 11
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 10
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 9
- 239000012454 non-polar solvent Substances 0.000 description 9
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 9
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 7
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 7
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 5
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 4
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 3
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- HBEQXAKJSGXAIQ-UHFFFAOYSA-N oxopalladium Chemical compound [Pd]=O HBEQXAKJSGXAIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
そして、判定工程における判定は、メニスカス変位測定手段により機能液滴を正常に吐出し得るノズルについて測定したメニスカスの基準変位と比較することで行われることが好ましい。
そして、判定手段は、メニスカス変位測定手段により機能液滴を正常に吐出し得るノズルについて測定したメニスカスの基準変位と比較して判定することが好ましい。
なお、メニスカスの律動とは、機能液滴吐出ヘッドに対し微振動波形を印加したときのメニスカスの周期的な微振動を意味するが、ノズル詰まり等の異常を示すノズルにおけるメニスカスの不規則な変動も含む概念である。
また、機能液滴を正常に吐出させ得ないと判定する場合として、例えば、メニスカスの基準変位と比べて変位量が少なかったり、律動の減衰が早かったりする場合や、メニスカスが不規則に変動したりする場合がある。このようなメニスカスの変位が測定された場合には、機能液に気泡が混入していたり、機能液が増粘していたりすることが考えられる。
そして、この変位測定位置は、メニスカスの中心点であることが好ましい。
なお、ポンプ部61は、外部から与えられる信号に応じて、圧力発生室に圧力変動を生じさせる素子あれば、他の構成であってもよい。例えば、圧電振動子は、縦振動横効果のピエゾ素子に限らず、たわみ振動型のピエゾ素子でもよい。また、圧電振動子に限らず、磁歪素子等の他の素子を用いてもよい。さらに、ヒータ等の熱源によって機能液を加熱させ、加熱により生じた気泡によって圧力を変化させる構成であってもよい。
なお、本実施形態の液滴吐出装置1では、X軸方向へのワークWの移動を主走査とし、Y軸方向へのヘッドユニット15の移動を副走査として、描画動作が行われるが、ヘッドユニット15を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークWを固定とし、ヘッドユニット15をX軸方向およびY軸方向に移動させる構成であってもよい。
なお、このように、フラッシングには、ワークWに機能液を吐出させる直前にフラッシングボックス116に対して行われる吐出前フラッシングと、機能液の吐出を休止するときに吸引キャップ101に対して定期的に行われる定期フラッシングとがある。
もちろん、モニター203には、機能液滴吐出ヘッド16や機能液の種別(図示省略)、対象ノズル65の番号等も表示される。
また、独自のXYステージ133を備える代わりに、機能液滴吐出検査装置6を描画装置3のXテーブル12に搭載し、描画装置3のXY移動機構11を利用することで、機能液滴吐出ヘッド16に対しレーザドップラ振動計131を相対的に移動させる構成であってもよい。
なお、測定対象のノズル65のメニスカスMの変位と、正常なノズル65のメニスカスMの変位とは、モニター203に表示されるようになっており、メニスカスMの変位を視認できるようになっている。
まず、ブラックマトリクス形成工程(S11)では、図15(a)に示すように、基板(W)501上にブラックマトリクス502を形成する。ブラックマトリクス502は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス502を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス502を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
さらに、図15(c)に示すように、レジスト層504の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層504をパターニングして、バンク503を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク503とその下のブラックマトリクス502は、各画素領域507aを区画する区画壁部507bとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド16により着色層(成膜部)508R、508G、508Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
なお、本実施形態においては、バンク503の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。そして、基板(ガラス基板)501の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク503(区画壁部507b)に囲まれた各画素領域507a内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
即ち、基板501の着色層508R、508G、508Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜509が形成される。
そして、保護膜509を形成した後、カラーフィルタ500は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。
なお、図示していないが、対向基板521およびカラーフィルタ500の外面(液晶層522側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板521側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
一方、対向基板521におけるカラーフィルタ500と対向する面には、カラーフィルタ500の第1電極523と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極526が所定の間隔で複数形成され、この第2電極526の液晶層522側の面を覆うように第2配向膜527が形成されている。これらの第1電極523および第2電極526は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。
そして、第1電極523と第2電極526とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
この液晶装置530が上記液晶装置520と大きく異なる点は、カラーフィルタ500を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。
この液晶装置530は、カラーフィルタ500とガラス基板等からなる対向基板531との間にSTN液晶からなる液晶層532が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板531およびカラーフィルタ500の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
対向基板531のカラーフィルタ500と対向する面上には、カラーフィルタ500側の第1電極533と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極536が所定の間隔で形成され、この第2電極536の液晶層532側の面を覆うように第2配向膜537が形成されている。
そして、上記した液晶装置520と同様に、第1電極533と第2電極536との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
この液晶装置550は、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置したものである。
カラーフィルタ500の保護膜509の表面(対向基板551側の面)には液晶駆動用の電極556が形成されている。この電極556は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極560が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極556の画素電極560とは反対側の面を覆った状態で配向膜557が設けられている。
この表示装置600においては、発光素子部603から基板601側に発した光が、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部603から基板601の反対側に発した光が陰極604により反射された後、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されるようになっている。
また、第1層間絶縁膜611a上には電源線614が配設されており、この電源線614は、コンタクトホール612bを通じてドレイン領域607bに接続されている。
これら画素電極613、機能層617、および、機能層617上に配設された陰極604によって発光素子が構成されている。なお、画素電極613は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極613の間にバンク部618が形成されている。
そして、各バンク部618の間には、画素電極613に対して上方に向けて次第に拡開した開口部619が形成されている。
正孔注入/輸送層617aは、画素電極613側から正孔を輸送して発光層617bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層617aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
この表示装置600は、図20に示すように、バンク部形成工程(S21)、表面処理工程(S22)、正孔注入/輸送層形成工程(S23)、発光層形成工程(S24)、および対向電極形成工程(S25)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
無機物バンク層618aを形成したならば、図22に示すように、無機物バンク層618a上に有機物バンク層618bを形成する。この有機物バンク層618bも無機物バンク層618aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部618が形成される。また、これに伴い、各バンク部618間には、画素電極613に対して上方に開口した開口部619が形成される。この開口部619は、画素領域を規定する。
また、撥液化処理は、有機物バンク層618bの壁面618sおよび有機物バンク層618bの上面618tに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド16を用いて機能層617を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部619から溢れ出るのを防止することが可能となる。
しかしその一方で、正孔注入/輸送層617aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617a上に吐出しても、正孔注入/輸送層617aと発光層617bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層617bを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層617aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層617a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層617aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617aに均一に塗布することができる。
この陰極604の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO2、SiN等の保護層が適宜設けられる。
この表示装置700は、互いに対向して配置された第1基板701、第2基板702、およびこれらの間に形成される放電表示部703を含んで概略構成される。放電表示部703は、複数の放電室705により構成されている。これらの複数の放電室705のうち、赤色放電室705R、緑色放電室705G、青色放電室705Bの3つの放電室705が組になって1つの画素を構成するように配置されている。
そして、この隔壁708によって仕切られた領域が放電室705となっている。
第1基板701と第2基板702とは、アドレス電極706と表示電極711が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極706と表示電極711は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極706,711に通電することにより、放電表示部703において蛍光体709が励起発光し、カラー表示が可能となる。
この場合、第1基板701を液滴吐出装置1のワークテーブル22に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド16により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
表示電極711の形成の場合、アドレス電極706の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体709の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を機能液滴吐出ヘッド16から液滴として吐出し、対応する色の放電室705内に着弾させる。
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、およびこれらの間に形成される電界放出表示部803を含んで概略構成される。電界放出表示部803は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部805により構成されている。
Claims (13)
- 機能液滴吐出ヘッドに対し、ノズルからの機能液滴の吐出を伴わない微振動波形を印加して、前記ノズルのメニスカスを律動させる微振動波形印加工程と、
メニスカス変位測定手段により律動している前記メニスカスの変位を測定するメニスカス変位測定工程と、
測定した前記メニスカスの変位に基づいて、前記ノズルが機能液滴を正常に吐出させ得るか否かを判定する判定工程と、
を備えたことを特徴とする機能液滴吐出検査方法。 - 前記判定工程における判定は、前記メニスカス変位測定手段により機能液滴を正常に吐出し得る前記ノズルについて測定した前記メニスカスの基準変位と比較することで行われることを特徴とする請求項1に記載の機能液滴吐出検査方法。
- 前記メニスカス変位測定手段は、律動している前記メニスカスの変位速度を経時的に複数回に亘って計測し、この複数回の計測結果から前記メニスカスの変位を求めるレーザドップラ振動計で構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の機能液滴吐出検査方法。
- 機能液滴吐出ヘッドに対し、前記ノズルからの機能液滴の吐出を伴わない微振動波形を印加して、前記ノズルのメニスカスを律動させる微振動波形印加手段と、
律動している前記メニスカスの変位を測定するメニスカス変位測定手段と、
前記微振動波形印加手段および前記メニスカス変位測定手段を制御する制御手段と、
測定された前記メニスカスの変位に基づいて、前記ノズルが機能液滴を正常に吐出させ得るか否かを判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする機能液滴吐出検査装置。 - 前記判定手段は、前記メニスカス変位測定手段により機能液滴を正常に吐出し得る前記ノズルについて測定した前記メニスカスの基準変位と比較して判定することを特徴とする請求項4に記載の機能液滴吐出検査装置。
- 前記制御手段にタイミング信号を供給するタイミング信号供給手段を、さらに備え、
前記制御手段は、前記微振動波形印加手段を制御して、供給されたタイミング信号に同期して微振動波形を印加させると共に、前記メニスカス変位測定手段を制御して、供給されたタイミング信号に同期して測定を開始させることを特徴とする請求項4または5に記載の機能液滴吐出検査装置。 - 前記機能液滴吐出ヘッドは前記ノズルを複数個有するものであって、
前記メニスカス変位測定手段により前記各ノズルの前記メニスカスの変位が順に測定されるように、前記機能液滴吐出ヘッドに対し前記メニスカス変位測定手段を相対的に移動させる測定系移動手段を、さらに備えたことを特徴とする請求項4ないし6のいずれかに記載の機能液滴吐出検査装置。 - 前記ノズルを撮像して変位測定位置を検出する変位測定位置検出手段を、さらに備え、
前記測定系移動手段は、検出された前記変位測定位置に基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドに対し前記メニスカス変位測定手段を相対的に移動させることを特徴とする請求項7に記載の機能液滴吐出検査装置。 - 前記変位測定位置は、前記メニスカスの中心点であることを特徴とする請求項8に記載の機能液滴吐出検査装置。
- 前記制御手段は、前記微振動波形印加手段を制御して、前記メニスカス変位測定手段により前記複数のノズルの前記メニスカスの変位が順に測定される間、測定対象となる前記各ノズルを含む全ノズルに対し微振動波形を印加させることを特徴とする請求項7ないし9のいずれかに記載の機能液滴吐出検査装置。
- 前記メニスカス変位測定手段は、律動している前記メニスカスの変位速度を経時的に複数回に亘って計測し、この複数回の計測結果から前記メニスカスの変位を求めるレーザドップラ振動計で構成されていることを特徴とする請求項4ないし10のいずれかに記載の機能液滴吐出検査装置。
- 請求項4ないし11のいずれかに記載の機能液滴吐出検査装置と、前記ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出させる描画装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
- 前記機能液滴吐出ヘッドの保守を行うヘッド保守手段を、さらに備え、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出検査装置による検査結果に基づいて、前記ヘッド保守手段を制御して前記機能液滴吐出ヘッドの保守を行うことを特徴とする請求項12に記載の液滴吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003425926A JP4151576B2 (ja) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | 機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003425926A JP4151576B2 (ja) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | 機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005177708A JP2005177708A (ja) | 2005-07-07 |
JP4151576B2 true JP4151576B2 (ja) | 2008-09-17 |
Family
ID=34785601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003425926A Expired - Fee Related JP4151576B2 (ja) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | 機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4151576B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008003285A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
JP6463098B2 (ja) * | 2014-11-28 | 2019-01-30 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置及びその制御方法 |
JP7119511B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2022-08-17 | 株式会社リコー | 液体を吐出する装置および液体を吐出する装置における異常検出方法 |
KR102650050B1 (ko) | 2021-08-24 | 2024-03-20 | 세메스 주식회사 | 메니스커스 측정 장치 및 방법, 기판 처리 장치 |
KR102665561B1 (ko) * | 2022-08-31 | 2024-05-13 | 한국기술교육대학교 산학협력단 | 코팅결함검출기능을 갖는 슬롯다이코팅장치 및 그 제어방법 |
-
2003
- 2003-12-22 JP JP2003425926A patent/JP4151576B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005177708A (ja) | 2005-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4093167B2 (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP4442620B2 (ja) | 着弾ドット測定方法および着弾ドット測定装置、並びに液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
KR100923262B1 (ko) | 액상체의 묘화 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 및 유기 el소자의 제조 방법 | |
JP4635842B2 (ja) | 吐出パターンデータ補正方法、吐出パターンデータ補正装置、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法 | |
JP2005119139A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法およびその装置、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP5359973B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2008142654A (ja) | 画素観察システム、描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法 | |
JP4967741B2 (ja) | 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP4258544B2 (ja) | 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
KR20080053187A (ko) | 묘화 시스템, 액상체의 묘화 방법, 컬러 필터의 제조 방법,유기 el 소자의 제조 방법 | |
JP2008100138A (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2006159116A (ja) | ワークギャップ調整方法、ワークギャップ調整装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2009006212A (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置 | |
JP2006167544A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP4151576B2 (ja) | 機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP4293042B2 (ja) | 液滴吐出装置を用いた描画方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法 | |
JP5182280B2 (ja) | 吐出パターンデータ補正方法 | |
JP4228910B2 (ja) | 機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP4293043B2 (ja) | 液滴吐出装置を用いた描画方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法 | |
JP4321257B2 (ja) | 機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP2006159114A (ja) | 液滴吐出装置を用いた描画方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 | |
JP4325483B2 (ja) | ワーク処理装置、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法 | |
JP2007130597A (ja) | 液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法、液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2007275793A (ja) | ワイピング装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2007144344A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法、機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A132 Effective date: 20080318 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080509 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080610 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080623 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4151576 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110711 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110711 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120711 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120711 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130711 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |