JP2003504218A - 多孔性セラミック研摩複合材料を含むメタルボンド研摩物品およびそれを用いたワークピースの研摩方法 - Google Patents
多孔性セラミック研摩複合材料を含むメタルボンド研摩物品およびそれを用いたワークピースの研摩方法Info
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Abstract
(57)【要約】
第１の主面（４４）と第２の主面（４６）とを有する剛性裏材（４２）と、多孔性セラミックマトリックス（５３）に分散された複数の研摩粒子（５１）を含む複数のセラミック研摩複合材料（５０）と、セラミック研摩複合材料を裏材の少なくとも１つの主面に固定する少なくとも１つの金属コーティング（５２）、好ましくは連続した金属コーティング（４８、５２ａ、５２ｂ）とを含有する研摩物品（４０）が提供される。本発明はまた、（ａ）ワークピースの表面を本発明の研摩物品と接触させる工程と、（ｂ）ワークピースと研摩物品の界面に液体を適用する工程と、（ｃ）ワークピースと研摩物品を互いに動かす工程とを含む本発明の研摩物品を用いたワークピースの研摩方法も提供する。
Description
【０００１】
分野
本発明は、複数の多孔性セラミック研摩複合材料が固定された裏材を有するメ
タルボンド研摩物品および、これを用いてワークピースを研摩する方法に関する
。
タルボンド研摩物品および、これを用いてワークピースを研摩する方法に関する
。
【０００２】
背景
研摩粒子を基材に固定するのに電着された金属を用いることは、研摩業界にお
いてよく行われていることである。研摩剤の従来の電気めっきは、所望の厚さが
得られるまで金属を基材に電着させるものである。その後、ダイアモンドや立方
晶窒化ホウ素のような研摩粒子をめっき浴に入れて、めっきされた金属に電着さ
せる。さらに金属を電着して、研摩粒子を基材に固定する。この電着プロセスの
結果、電着された金属コーティングにより研摩粒子の単一層が基材に固定される
。
いてよく行われていることである。研摩剤の従来の電気めっきは、所望の厚さが
得られるまで金属を基材に電着させるものである。その後、ダイアモンドや立方
晶窒化ホウ素のような研摩粒子をめっき浴に入れて、めっきされた金属に電着さ
せる。さらに金属を電着して、研摩粒子を基材に固定する。この電着プロセスの
結果、電着された金属コーティングにより研摩粒子の単一層が基材に固定される
。
【０００３】
かかる研摩物品に関連した一つの欠点は、研摩粒子の単一層が、目つぶれを起
したり、異物で詰まったり、かつ／または研摩プロセス中にメタルボンドコート
から外れてしまうことである。その結果、研摩物品の切断性能が実質的に劣るこ
ととなる。かかる研摩物品に関連した２つ目の欠点は、このタイプの研摩物品に
用いることのできる研摩粒子の範囲に係ることである。具体的に述べると、非常
に細かい等級の研摩粒子（約６μｍ未満）を固定するのに金属の電着は好ましく
ない。これは、金属の厚みによって、微細研摩粒子が実質的に包み込まれてしま
うためである。かかる場合には、研摩プロセス中金属コーティング自身がワーク
ピースと接触してしまい、ワークピースの引っ掻きを制御することができなくな
ってしまう。
したり、異物で詰まったり、かつ／または研摩プロセス中にメタルボンドコート
から外れてしまうことである。その結果、研摩物品の切断性能が実質的に劣るこ
ととなる。かかる研摩物品に関連した２つ目の欠点は、このタイプの研摩物品に
用いることのできる研摩粒子の範囲に係ることである。具体的に述べると、非常
に細かい等級の研摩粒子（約６μｍ未満）を固定するのに金属の電着は好ましく
ない。これは、金属の厚みによって、微細研摩粒子が実質的に包み込まれてしま
うためである。かかる場合には、研摩プロセス中金属コーティング自身がワーク
ピースと接触してしまい、ワークピースの引っ掻きを制御することができなくな
ってしまう。
【０００４】
メタルボンド研摩物品の一つの用途は、磁気メモリディスク基板、例えば、セ
ラミックやガラスセラミック基板の仕上げである。許容される磁気メモリディス
クを製造するために、メモリディスク基板は、精密に制御された寸法を有し、精
密に制御された表面仕上げがなされていなければならない。一般に、メモリディ
スク基板の寸法を合わせ、所望の表面仕上げを与えるには、粗性研摩スラリーを
用いた複数の工程プロセスが含まれる。このプロセスの第１の工程において、メ
モリディスク基板が所望の厚を有し、均一な厚さとなるように寸法を合わせる。
寸法合わせの後、ディスクにテクスチャーを与えて、所望の表面仕上げを行う。
ラミックやガラスセラミック基板の仕上げである。許容される磁気メモリディス
クを製造するために、メモリディスク基板は、精密に制御された寸法を有し、精
密に制御された表面仕上げがなされていなければならない。一般に、メモリディ
スク基板の寸法を合わせ、所望の表面仕上げを与えるには、粗性研摩スラリーを
用いた複数の工程プロセスが含まれる。このプロセスの第１の工程において、メ
モリディスク基板が所望の厚を有し、均一な厚さとなるように寸法を合わせる。
寸法合わせの後、ディスクにテクスチャーを与えて、所望の表面仕上げを行う。
【０００５】
粗性研摩スラリーはこうしたプロセスで広く用いられているが、粗性研摩スラ
リーにはこれに関連した多くの欠点がある。これら欠点としては、必要とされる
大量のスラリーの取扱いが不便なこと、研摩粒子の沈降分離を防いで、ポリシン
グ界面で研摩粒子の均一な濃度を確保するのに攪拌が必要であること、そして、
粗性研摩スラリーを調製、取扱い、廃棄（または回収および再利用）するのに追
加の機器が必要であることが挙げられる。さらに、品質および分散安定性を確実
にするためにスラリーそのものを定期的に分析しなければならない。また、粗性
研摩スラリーと接触するスラリー供給機器のポンプヘッド、バルブ、供給ライン
、研削ラップおよびその他パーツはいずれ、望ましくない摩耗を示す。さらに、
粘性液体である粗性研摩スラリーは、容易に飛び散り、含有させるのが難しいた
め、スラリーを用いるプロセスは通常非常に煩雑である。
リーにはこれに関連した多くの欠点がある。これら欠点としては、必要とされる
大量のスラリーの取扱いが不便なこと、研摩粒子の沈降分離を防いで、ポリシン
グ界面で研摩粒子の均一な濃度を確保するのに攪拌が必要であること、そして、
粗性研摩スラリーを調製、取扱い、廃棄（または回収および再利用）するのに追
加の機器が必要であることが挙げられる。さらに、品質および分散安定性を確実
にするためにスラリーそのものを定期的に分析しなければならない。また、粗性
研摩スラリーと接触するスラリー供給機器のポンプヘッド、バルブ、供給ライン
、研削ラップおよびその他パーツはいずれ、望ましくない摩耗を示す。さらに、
粘性液体である粗性研摩スラリーは、容易に飛び散り、含有させるのが難しいた
め、スラリーを用いるプロセスは通常非常に煩雑である。
【０００６】
前述の点を考慮すると、従来のメタルボンド研摩物品よりも長い耐用年数を持
つ研摩物品が必要とされている。かかる研摩物品は微細等級を含めた広範な研摩
粒子等級に好適で、ガラスセラミックメモリディスクの寸法を合わせ、かつ／ま
たはこれにテクスチャーを与える粗性研摩スラリーの代替品として好適であるの
が好ましい。
つ研摩物品が必要とされている。かかる研摩物品は微細等級を含めた広範な研摩
粒子等級に好適で、ガラスセラミックメモリディスクの寸法を合わせ、かつ／ま
たはこれにテクスチャーを与える粗性研摩スラリーの代替品として好適であるの
が好ましい。
【０００７】
概要
本発明は、様々なワークピース、例えば、メモリディスク基板に、高精細表面
仕上げ（２５Å以下）を与えつつ、一貫して高い切断レートを与えるメタルボン
ド研摩物品を提供する。本研摩物品は、第１の主面と第２の主面を有する剛性裏
材と、少なくとも１つの金属コーティングにより裏材の少なくとも１つの主面に
固定された複数のセラミック研摩複合材料とを有する。
仕上げ（２５Å以下）を与えつつ、一貫して高い切断レートを与えるメタルボン
ド研摩物品を提供する。本研摩物品は、第１の主面と第２の主面を有する剛性裏
材と、少なくとも１つの金属コーティングにより裏材の少なくとも１つの主面に
固定された複数のセラミック研摩複合材料とを有する。
【０００８】
セラミック研摩複合材料は夫々、多孔性セラミックマトリックスに分散された
複数の研摩粒子を含む。セラミック研摩複合材料は研摩プロセス中に腐食されて
、研摩複合材料から使用済みまたは目つぶれした研摩粒子を放出し、未使用の研
摩粒子をワークピースに与えるのが好ましい。好ましい実施形態において、研摩
複合材料は約１０〜９０重量部の研摩粒子、９０〜１０重量部のセラミックマト
リックスを含み、細孔容積は約４％〜７０％である。好ましくは、研摩粒子のサ
イズは約０．０５〜１００μｍで、ダイアモンド、立方晶窒化ホウ素、溶融酸化
アルミニウム、セラミック酸化アルミニウム、熱処理済み酸化アルミニウム、炭
化ケイ素、炭化ホウ素、アルミナジルコニア、酸化鉄、セリア、ガーネットおよ
びこれらの混合物を含む。最も好ましくは、研摩粒子はダイアモンドを含む。
複数の研摩粒子を含む。セラミック研摩複合材料は研摩プロセス中に腐食されて
、研摩複合材料から使用済みまたは目つぶれした研摩粒子を放出し、未使用の研
摩粒子をワークピースに与えるのが好ましい。好ましい実施形態において、研摩
複合材料は約１０〜９０重量部の研摩粒子、９０〜１０重量部のセラミックマト
リックスを含み、細孔容積は約４％〜７０％である。好ましくは、研摩粒子のサ
イズは約０．０５〜１００μｍで、ダイアモンド、立方晶窒化ホウ素、溶融酸化
アルミニウム、セラミック酸化アルミニウム、熱処理済み酸化アルミニウム、炭
化ケイ素、炭化ホウ素、アルミナジルコニア、酸化鉄、セリア、ガーネットおよ
びこれらの混合物を含む。最も好ましくは、研摩粒子はダイアモンドを含む。
【０００９】
セラミック研摩複合材料は、少なくとも１つの金属コーティング、好ましくは
連続した金属コーティングにより裏材に固定される。金属コーティングは、金属
電着技術を用いて裏材に適用されるのが好ましい。金属コーティングに好ましい
金属は、例えば、ニッケル、銅、黄銅、青銅、鋼およびこれらの合金である。好
ましい実施形態において、金属コーティングを合わせた厚さは、研摩物品におけ
るセラミック研摩複合材料の高さの約５％〜５０％、より好ましくは１０％〜３
０％である。任意で、有機サイズコーティングを金属コーティングおよびセラミ
ック研摩複合材料を覆うように適用してもよい。好ましい有機サイズコーティン
グは、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、アミノプラスト樹脂、ウレタン樹脂、ア
クリレート樹脂、イソシアヌレート樹脂、アクリル化イソシアヌレート樹脂、尿
素−ホルムアルデヒド樹脂、アクリル化エポキシ樹脂、アクリル化ウレタン樹脂
およびこれらの組み合わせを含み、乾燥、熱硬化、または放射線、例えば、紫外
線に露光することにより硬化させる。
連続した金属コーティングにより裏材に固定される。金属コーティングは、金属
電着技術を用いて裏材に適用されるのが好ましい。金属コーティングに好ましい
金属は、例えば、ニッケル、銅、黄銅、青銅、鋼およびこれらの合金である。好
ましい実施形態において、金属コーティングを合わせた厚さは、研摩物品におけ
るセラミック研摩複合材料の高さの約５％〜５０％、より好ましくは１０％〜３
０％である。任意で、有機サイズコーティングを金属コーティングおよびセラミ
ック研摩複合材料を覆うように適用してもよい。好ましい有機サイズコーティン
グは、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、アミノプラスト樹脂、ウレタン樹脂、ア
クリレート樹脂、イソシアヌレート樹脂、アクリル化イソシアヌレート樹脂、尿
素−ホルムアルデヒド樹脂、アクリル化エポキシ樹脂、アクリル化ウレタン樹脂
およびこれらの組み合わせを含み、乾燥、熱硬化、または放射線、例えば、紫外
線に露光することにより硬化させる。
【００１０】
本発明の研摩物品に好ましい裏材材料は剛性があって平滑なものであり、金属
コーティングの電着（電気めっき）に好適なものである。好ましい剛性裏材の剛
性率は約１×１０６ｌｂ／ｉｎ２（７×１０４ｋｇ／ｃｍ２）以上、より好まし
くは約１０×１０６ｌｂ／ｉｎ２（７×１０５ｋｇ／ｃｍ２）以上である。裏材
材料としては、例えば、金属、金属合金、金属マトリックス複合材料、金属化プ
ラスチックまたはポリマーマトリックス強化複合材料が例示される。より好まし
くは、裏材は青銅シートで、最も好ましくは厚さが約０．３〜１０ｍｍである。
コーティングの電着（電気めっき）に好適なものである。好ましい剛性裏材の剛
性率は約１×１０６ｌｂ／ｉｎ２（７×１０４ｋｇ／ｃｍ２）以上、より好まし
くは約１０×１０６ｌｂ／ｉｎ２（７×１０５ｋｇ／ｃｍ２）以上である。裏材
材料としては、例えば、金属、金属合金、金属マトリックス複合材料、金属化プ
ラスチックまたはポリマーマトリックス強化複合材料が例示される。より好まし
くは、裏材は青銅シートで、最も好ましくは厚さが約０．３〜１０ｍｍである。
【００１１】
本発明はまた、
（ａ）研摩物品のセラミック研摩複合材料がワークピースの表面と接触するよ
うにワークピースの表面を本発明の研摩物品と接触させる工程と、 （ｂ）ワークピースと研摩物品の界面に液体を適用する工程と、 （ｃ）研摩物品がワークピースの表面を研摩して表面粗さを与えるようにワー
クピースと研摩物品を互いに動かす工程と を含む本発明の研摩物品を用いてワークピースを研摩する方法も提供する。
うにワークピースの表面を本発明の研摩物品と接触させる工程と、 （ｂ）ワークピースと研摩物品の界面に液体を適用する工程と、 （ｃ）研摩物品がワークピースの表面を研摩して表面粗さを与えるようにワー
クピースと研摩物品を互いに動かす工程と を含む本発明の研摩物品を用いてワークピースを研摩する方法も提供する。
【００１２】
研摩物品とワークピース界面に適用される好ましい潤滑剤としては、例えば、
グリセロールと水の混合物、より好ましくはグリセロールの２０重量％水溶液が
挙げられる。好ましい方法において、研摩物品およびワークピースは約０．５〜
４５ｇ／ｍｍ２の圧力で接触させる。
グリセロールと水の混合物、より好ましくはグリセロールの２０重量％水溶液が
挙げられる。好ましい方法において、研摩物品およびワークピースは約０．５〜
４５ｇ／ｍｍ２の圧力で接触させる。
【００１３】
他の好ましい方法において、研摩物品は、研摩物品の裏材に垂直な想像中心軸
を有するディスクの形態である。この方法において、工程（ｃ）はディスクを中
心軸の周囲で回転されることによりなされる。任意で、ワークピースを研摩物品
に対して動かしてもよい。
を有するディスクの形態である。この方法において、工程（ｃ）はディスクを中
心軸の周囲で回転されることによりなされる。任意で、ワークピースを研摩物品
に対して動かしてもよい。
【００１４】
本発明の研摩物品の表面粗さ（Ｒａ）は約１．５μｍ未満、より好ましくは約
１．０μｍ未満、さらに好ましくは約１００Å未満、最も好ましくは約２５Å以
下である。
１．０μｍ未満、さらに好ましくは約１００Å未満、最も好ましくは約２５Å以
下である。
【００１５】
詳細な説明
図１に、本発明による研摩物品１０の一実施形態の断面図を示す。研摩物品１
０は、第１の主面１４と第２の主面１６を有する裏材１２と、メタルボンドコー
ティング２０により裏材１２の前側１４にボンドされた複数のセラミック研摩複
合材料１８とから構成されている。研摩複合材料１８は、多数の孔または空隙（
図示せず）という特徴を有する多孔性構造を持つセラミックマトリックス２４に
分散された複数の研摩粒子２２を含んでいる。
０は、第１の主面１４と第２の主面１６を有する裏材１２と、メタルボンドコー
ティング２０により裏材１２の前側１４にボンドされた複数のセラミック研摩複
合材料１８とから構成されている。研摩複合材料１８は、多数の孔または空隙（
図示せず）という特徴を有する多孔性構造を持つセラミックマトリックス２４に
分散された複数の研摩粒子２２を含んでいる。
【００１６】
研摩複合材料は、例えば、角錐台形状のような精密な幾何形状を持っていても
、あるいは不規則（精密でない、ランダムな）形状を持っていてもよい。図１で
は、研摩複合材料１８は精密に成形された角錐台である。研摩複合材料の高さは
通常、約３０〜１０００μｍ、好ましくは約７０〜７００μｍである。異なる高
さの研摩複合材料とすることも可能ではあるが、研摩複合材料１８の高さは、研
摩物品１０を越えて一定であるのが好ましい。研摩複合材料の幅は通常、約３０
〜１０００μｍ、好ましくは約７０〜７００μｍである。図１ａに、不規則形状
の研摩複合材料１８ａを有する研摩物品１０ａを示す。研摩複合材料１８ａは、
例えば、セラミック研摩複合材料の塊を砕くことにより形成される。不規則形状
の研摩複合材料をほぼ均一なサイズとするには、通常のサイジング技術、例えば
、スクリーニングを行う。
、あるいは不規則（精密でない、ランダムな）形状を持っていてもよい。図１で
は、研摩複合材料１８は精密に成形された角錐台である。研摩複合材料の高さは
通常、約３０〜１０００μｍ、好ましくは約７０〜７００μｍである。異なる高
さの研摩複合材料とすることも可能ではあるが、研摩複合材料１８の高さは、研
摩物品１０を越えて一定であるのが好ましい。研摩複合材料の幅は通常、約３０
〜１０００μｍ、好ましくは約７０〜７００μｍである。図１ａに、不規則形状
の研摩複合材料１８ａを有する研摩物品１０ａを示す。研摩複合材料１８ａは、
例えば、セラミック研摩複合材料の塊を砕くことにより形成される。不規則形状
の研摩複合材料をほぼ均一なサイズとするには、通常のサイジング技術、例えば
、スクリーニングを行う。
【００１７】
研摩複合材料１８は、裏材１２の上で分離されており、互いに離れている。個
々の研摩複合材料は、裏材に不規則でないパターンで配列してもよいし、不規則
に配列してもよい。近接する研摩複合材料は互いに裏材またはランド領域２６に
より分離されているのが好ましい。一部、この分離によって、流体媒体（例えば
、潤滑剤）が「湿潤」研削プロセス中、研摩複合材料間を自由に流れることがで
きる。この流体媒体の自由な流れは、研削中の良好な切断レートおよび表面仕上
げに寄与する傾向がある。通常、裏材１２の表面積の約２５〜７５％、好ましく
は約３０〜７０％がセラミック研摩複合材料で覆われている。本発明の研摩物品
では、研摩物品の切断レートを増大するために、裏材のセラミック研摩複合材料
の適用範囲（面密度）を増やすのが望ましい。
々の研摩複合材料は、裏材に不規則でないパターンで配列してもよいし、不規則
に配列してもよい。近接する研摩複合材料は互いに裏材またはランド領域２６に
より分離されているのが好ましい。一部、この分離によって、流体媒体（例えば
、潤滑剤）が「湿潤」研削プロセス中、研摩複合材料間を自由に流れることがで
きる。この流体媒体の自由な流れは、研削中の良好な切断レートおよび表面仕上
げに寄与する傾向がある。通常、裏材１２の表面積の約２５〜７５％、好ましく
は約３０〜７０％がセラミック研摩複合材料で覆われている。本発明の研摩物品
では、研摩物品の切断レートを増大するために、裏材のセラミック研摩複合材料
の適用範囲（面密度）を増やすのが望ましい。
【００１８】
図２は、裏材１２にセラミック研摩複合材料１８の付いた研摩物品１０の平面
図である。図２において、裏材１２の全主面１４（複合材料間のランド領域は除
く）は、裏材１２の主面１４を不規則に覆うように配置された複合材料１８で覆
われている。
図である。図２において、裏材１２の全主面１４（複合材料間のランド領域は除
く）は、裏材１２の主面１４を不規則に覆うように配置された複合材料１８で覆
われている。
【００１９】
図３に、本発明の研摩物品の他の実施形態の平面図を示す。本実施形態におい
て、研摩物品１０は、メタルボンドコーティング１２０により裏材１１２にボン
ドされた研摩複合材料１１８を備えている。本実施形態において、研摩複合材料
１１８は、裏材１１２にコートされた領域１２１内で不規則に配置されている。
本実施形態において、コートされた領域１２１は三角またはパイ形状である。コ
ートされた領域１２１に挟まれているのはコートされていない領域１２３である
。コートされた、そしてコートされていない領域は、例えば、パイ形状、円形、
三角、六角形、正方形、矩形、五角形等の所望の形状であってよい。研摩物品の
コートされた、およびコートされていない領域の形状はまた、例えば、ある半径
で円周を測定した一定のコートされた領域を有するディスク形状の研摩物品を与
えるようなデザインとすることもできる。
て、研摩物品１０は、メタルボンドコーティング１２０により裏材１１２にボン
ドされた研摩複合材料１１８を備えている。本実施形態において、研摩複合材料
１１８は、裏材１１２にコートされた領域１２１内で不規則に配置されている。
本実施形態において、コートされた領域１２１は三角またはパイ形状である。コ
ートされた領域１２１に挟まれているのはコートされていない領域１２３である
。コートされた、そしてコートされていない領域は、例えば、パイ形状、円形、
三角、六角形、正方形、矩形、五角形等の所望の形状であってよい。研摩物品の
コートされた、およびコートされていない領域の形状はまた、例えば、ある半径
で円周を測定した一定のコートされた領域を有するディスク形状の研摩物品を与
えるようなデザインとすることもできる。
【００２０】
コートされた領域とコートされていない領域を有する本発明の研摩物品はまた
、例えば、図２および／または図３に示すような本発明によるいくつかの小さな
研摩物品により、近接する研摩物品の少なくともいくつかの間に間隔を空けて、
裏材の主面を「タイルに分ける」ことによって作成することもできる。研摩物品
のタイルは、機械的取付けまたは接着剤、例えば、エポキシ接着剤による取付け
により裏材に取付けることができる。本実施形態においては、研摩物品が、例え
ば、湾曲したワークピースに沿うよう可撓性のある裏材が好ましい。モザイクポ
リシングパッドについては、ＷＯ９８／５０２０１号（Ｒｏｂｅｒｔｓら）に報
告されている。
、例えば、図２および／または図３に示すような本発明によるいくつかの小さな
研摩物品により、近接する研摩物品の少なくともいくつかの間に間隔を空けて、
裏材の主面を「タイルに分ける」ことによって作成することもできる。研摩物品
のタイルは、機械的取付けまたは接着剤、例えば、エポキシ接着剤による取付け
により裏材に取付けることができる。本実施形態においては、研摩物品が、例え
ば、湾曲したワークピースに沿うよう可撓性のある裏材が好ましい。モザイクポ
リシングパッドについては、ＷＯ９８／５０２０１号（Ｒｏｂｅｒｔｓら）に報
告されている。
【００２１】
図４に、本発明の研摩物品の他の実施形態の断面図を示す。研摩物品４０は、
第１の主面４４と第２の主面４６を有する剛性裏材４２から構成されている。本
実施形態において、金属プレシュートコーティング４８が裏材４２の第１の主面
４４に適用されている。金属プレシュートコーティング４８は、例えば、後に適
用されるコーティングの接着力を増大させるために裏材４２に適用される。金属
プレシュートコーティング４８は、通常、金属または金属合金から構成されてお
り、好ましくは、裏材および後に適用されるメタルボンドコーティングと相容性
のある金属または金属合金から構成される。研摩物品４０はさらに、金属コーテ
ィング５２により裏材に固定された複数の研摩複合材料５０を備えている。セラ
ミック研摩複合材料５０は、多孔性セラミックマトリックス５３に分散された複
数の研摩粒子５１を含む。金属コーティング５２は、単一層または連続して適用
される層として提供される。図４において、金属コーティング５２は、第１の金
属コーティング５２ａと第２の金属コーティング５２ｂとから構成されている。
金属コーティング５２を形作る夫々の層５２ａおよび５２ｂは、同じ金属または
金属合金であっても、異なる金属または金属合金で構成されていてもよい。本実
施形態においては、有機サイズコーティング５４が金属コーティング５２および
セラミック研摩複合材料５０を覆うように適用されている。有機サイズコート５
４は、通常、熱可塑性樹脂、例えば、フェノール樹脂であり、セラミック研摩複
合材料５０の強度を増大させる役割を果たす。
第１の主面４４と第２の主面４６を有する剛性裏材４２から構成されている。本
実施形態において、金属プレシュートコーティング４８が裏材４２の第１の主面
４４に適用されている。金属プレシュートコーティング４８は、例えば、後に適
用されるコーティングの接着力を増大させるために裏材４２に適用される。金属
プレシュートコーティング４８は、通常、金属または金属合金から構成されてお
り、好ましくは、裏材および後に適用されるメタルボンドコーティングと相容性
のある金属または金属合金から構成される。研摩物品４０はさらに、金属コーテ
ィング５２により裏材に固定された複数の研摩複合材料５０を備えている。セラ
ミック研摩複合材料５０は、多孔性セラミックマトリックス５３に分散された複
数の研摩粒子５１を含む。金属コーティング５２は、単一層または連続して適用
される層として提供される。図４において、金属コーティング５２は、第１の金
属コーティング５２ａと第２の金属コーティング５２ｂとから構成されている。
金属コーティング５２を形作る夫々の層５２ａおよび５２ｂは、同じ金属または
金属合金であっても、異なる金属または金属合金で構成されていてもよい。本実
施形態においては、有機サイズコーティング５４が金属コーティング５２および
セラミック研摩複合材料５０を覆うように適用されている。有機サイズコート５
４は、通常、熱可塑性樹脂、例えば、フェノール樹脂であり、セラミック研摩複
合材料５０の強度を増大させる役割を果たす。
【００２２】
ある実施形態においては、セラミック研摩複合材料はややテーパのある形状、
例えば、角錐台または円錐台であるのが望ましい。図５に、ベース６３と側壁６
６の間の内角がαのセラミック研摩複合材料６１を示す。この角度が複合材料６
１のテーパを画定する。角度αは９０°（複合材料にテーパはない）〜約４５°
である。角度αは７５°〜８９．９°、より好ましくは８０°〜８９．７°、さ
らに好ましくは８０°〜８７°である。複合材料にテーパがついていると、研摩
複合材料６１の使用中の制御された破壊の補助となるものと考えられる。テーパ
があるとまた、複合材料を成形するのに用いるツールから複合材料を取り外す補
助にもなる。図５にはまた、側壁６６が上部表面６２とぶつかる角の内半径ｒも
示されている。やや丸みにある半曲角であるのが好ましい。角に丸みがあると、
材料を全体に充填しやすく、ツールから取り外しやすいからである。図５にはま
た、ベース６１から上部表面６２までで測定されたセラミック研摩複合材料６１
の高さＨも示されている。
例えば、角錐台または円錐台であるのが望ましい。図５に、ベース６３と側壁６
６の間の内角がαのセラミック研摩複合材料６１を示す。この角度が複合材料６
１のテーパを画定する。角度αは９０°（複合材料にテーパはない）〜約４５°
である。角度αは７５°〜８９．９°、より好ましくは８０°〜８９．７°、さ
らに好ましくは８０°〜８７°である。複合材料にテーパがついていると、研摩
複合材料６１の使用中の制御された破壊の補助となるものと考えられる。テーパ
があるとまた、複合材料を成形するのに用いるツールから複合材料を取り外す補
助にもなる。図５にはまた、側壁６６が上部表面６２とぶつかる角の内半径ｒも
示されている。やや丸みにある半曲角であるのが好ましい。角に丸みがあると、
材料を全体に充填しやすく、ツールから取り外しやすいからである。図５にはま
た、ベース６１から上部表面６２までで測定されたセラミック研摩複合材料６１
の高さＨも示されている。
【００２３】
裏材材料：
裏材材料は、セラミック研摩複合材料の取付けのための基材となる。好ましい
裏材は、金属めっき、好ましくは電気めっきでき、剛性があり平滑であるものが
好ましい。本明細書において、「平滑」とは、表面テクスチャーまたは欠陥の規
模が、裏材にボンドされる研摩複合材料のサイズに比べて小さい裏材のことを説
明するのに用いられる。本明細書において、「剛性」という用語は、少なくとも
自立形、すなわち、自身の重量で実質的に変形しない裏材材料のことを説明する
のに用いられる。好適な剛性バッキングは、セラミック研摩複合材料の相対位置
または配列を、研摩プロセス中、互いに、そしてワークピースに対して固定する
役割を果たす。剛性とは、裏材材料が絶対的に非可撓性であることを意味するも
のではない。剛性裏材は、例えば、負荷を与えると変形または湾曲するが、圧縮
率は非常に低いものである。好ましい剛性裏材の剛性率は約１×１０６ｌｂ／ｉ
ｎ２（７×１０４ｋｇ／ｃｍ２）以上、より好ましくは約１０×１０６ｌｂ／ｉ
ｎ２（７×１０５ｋｇ／ｃｍ２）以上である。例えば、ポリマーの剛性率は、低
密度ポリエチレンについて約７×１０５ｌｂ／ｉｎ２（４．９×１０４ｋｇ／ｃ
ｍ２）、フェノールについて約１×１０６ｌｂ／ｉｎ２（７×１０４ｋｇ／ｃｍ ２ ）である。金属の剛性率は、アルミニウムについて約９．９×１０６ｌｂ／ｉ
ｎ２（６．９６×１０５ｋｇ／ｃｍ２）、鋼について約３０×１０６ｌｂ／ｉｎ ２ （２．１×１０６ｋｇ／ｃｍ２）である。好ましい黄銅裏材の剛性率は約１３
×１０６ｌｂ／ｉｎ２（９．１４×１０５ｋｇ／ｃｍ２）〜約１６×１０６ｌｂ
／ｉｎ２（１．１３×１０６ｋｇ／ｃｍ２）である。
裏材は、金属めっき、好ましくは電気めっきでき、剛性があり平滑であるものが
好ましい。本明細書において、「平滑」とは、表面テクスチャーまたは欠陥の規
模が、裏材にボンドされる研摩複合材料のサイズに比べて小さい裏材のことを説
明するのに用いられる。本明細書において、「剛性」という用語は、少なくとも
自立形、すなわち、自身の重量で実質的に変形しない裏材材料のことを説明する
のに用いられる。好適な剛性バッキングは、セラミック研摩複合材料の相対位置
または配列を、研摩プロセス中、互いに、そしてワークピースに対して固定する
役割を果たす。剛性とは、裏材材料が絶対的に非可撓性であることを意味するも
のではない。剛性裏材は、例えば、負荷を与えると変形または湾曲するが、圧縮
率は非常に低いものである。好ましい剛性裏材の剛性率は約１×１０６ｌｂ／ｉ
ｎ２（７×１０４ｋｇ／ｃｍ２）以上、より好ましくは約１０×１０６ｌｂ／ｉ
ｎ２（７×１０５ｋｇ／ｃｍ２）以上である。例えば、ポリマーの剛性率は、低
密度ポリエチレンについて約７×１０５ｌｂ／ｉｎ２（４．９×１０４ｋｇ／ｃ
ｍ２）、フェノールについて約１×１０６ｌｂ／ｉｎ２（７×１０４ｋｇ／ｃｍ ２ ）である。金属の剛性率は、アルミニウムについて約９．９×１０６ｌｂ／ｉ
ｎ２（６．９６×１０５ｋｇ／ｃｍ２）、鋼について約３０×１０６ｌｂ／ｉｎ ２ （２．１×１０６ｋｇ／ｃｍ２）である。好ましい黄銅裏材の剛性率は約１３
×１０６ｌｂ／ｉｎ２（９．１４×１０５ｋｇ／ｃｍ２）〜約１６×１０６ｌｂ
／ｉｎ２（１．１３×１０６ｋｇ／ｃｍ２）である。
【００２４】
裏材にボンドするとき、セラミック研摩複合材料は裏材から突出して、近接す
る研摩複合材料間を弛緩させる。近接する研摩複合材料間のこの弛緩により、裏
材とワークピース間の研摩コーティングを流れる液体の流れの通路および／また
は異物の移動のための通路が作られる。好適なめっき可能な裏材材料としては、
例えば、金属、金属合金、金属マトリックス複合材料、またはポリマーマトリッ
クス強化複合材料が例示される。好ましくは、裏材は厚さ約０．３〜１０ｍｍの
金属シート、最も好ましくは厚さ約０．３〜１０ｍｍの青銅シートである。
る研摩複合材料間を弛緩させる。近接する研摩複合材料間のこの弛緩により、裏
材とワークピース間の研摩コーティングを流れる液体の流れの通路および／また
は異物の移動のための通路が作られる。好適なめっき可能な裏材材料としては、
例えば、金属、金属合金、金属マトリックス複合材料、またはポリマーマトリッ
クス強化複合材料が例示される。好ましくは、裏材は厚さ約０．３〜１０ｍｍの
金属シート、最も好ましくは厚さ約０．３〜１０ｍｍの青銅シートである。
【００２５】
研摩複合材料：
本発明の研摩物品には、複数の多孔性セラミック複合材料が含まれる。多孔性
セラミック研摩複合材料は、多孔性セラミックマトリックスに分散された別個の
研摩粒子を含む。研摩複合材料はまた、フィラー、カップリング剤、界面活性剤
、抑泡剤等のような任意の添加剤も含む。これらの材料の量は、所望の特性を与
えるように選択される。本明細書において、「セラミックマトリックス」という
用語には、セラミックス、ガラス−セラミックスおよびガラスが含まれる。これ
らの材料は原子構造を考えると同じカテゴリに入る。近接する原子の結合は、電
子伝達または電子共有のプロセスの結果である。また、正電荷と負電荷の引力の
結果である、二次結合として知られた弱い結合も存在し得る。結晶セラミックス
、ガラスおよびガラスセラミックスはイオンおよび共有結合を有している。イオ
ン結合は、ある原子から他の原子への電子伝達の結果なされる。共有結合は、価
電子の共有の結果であり、極めて方向性がある。これに対し、金属の一次結合は
金属結合として知られており、電子の非方向性共有である。ポリマーは共有およ
び二次結合の結果である。
セラミック研摩複合材料は、多孔性セラミックマトリックスに分散された別個の
研摩粒子を含む。研摩複合材料はまた、フィラー、カップリング剤、界面活性剤
、抑泡剤等のような任意の添加剤も含む。これらの材料の量は、所望の特性を与
えるように選択される。本明細書において、「セラミックマトリックス」という
用語には、セラミックス、ガラス−セラミックスおよびガラスが含まれる。これ
らの材料は原子構造を考えると同じカテゴリに入る。近接する原子の結合は、電
子伝達または電子共有のプロセスの結果である。また、正電荷と負電荷の引力の
結果である、二次結合として知られた弱い結合も存在し得る。結晶セラミックス
、ガラスおよびガラスセラミックスはイオンおよび共有結合を有している。イオ
ン結合は、ある原子から他の原子への電子伝達の結果なされる。共有結合は、価
電子の共有の結果であり、極めて方向性がある。これに対し、金属の一次結合は
金属結合として知られており、電子の非方向性共有である。ポリマーは共有およ
び二次結合の結果である。
【００２６】
結晶セラミックスは、シリカベースのシリケート（ファイヤクレイ、ムライト
、陶土およびポートランドセメント）、非シリケート酸化物（アルミナ、マグネ
シア、ＭａＡｌ２Ｏ４およびジルコニア）および非酸化物セラミックス（炭化物
、窒化物およびグラファイト）に細分割することができる。
、陶土およびポートランドセメント）、非シリケート酸化物（アルミナ、マグネ
シア、ＭａＡｌ２Ｏ４およびジルコニア）および非酸化物セラミックス（炭化物
、窒化物およびグラファイト）に細分割することができる。
【００２７】
非結晶ガラスは結晶セラミックスと組成が似ている。特定の処理技術の結果、
これらの材料は結晶セラミックスのような長い規則性は有していない。ガラス−
セラミックスは、制御された熱処理の結果であり、９０％を超える結晶相を有し
、残りの非結晶性相は粒子境界を充填している。ガラスセラミックスは、セラミ
ックスとガラスの両方の利点を組み合わせ持ち、多大な機械および物理特性を与
える。
これらの材料は結晶セラミックスのような長い規則性は有していない。ガラス−
セラミックスは、制御された熱処理の結果であり、９０％を超える結晶相を有し
、残りの非結晶性相は粒子境界を充填している。ガラスセラミックスは、セラミ
ックスとガラスの両方の利点を組み合わせ持ち、多大な機械および物理特性を与
える。
【００２８】
好ましいセラミックスマトリックスは、例えば、酸化アルミニウム、酸化ホウ
素、酸化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化ナトリウム、酸化マンガン、酸化亜鉛
およびこれらの組み合わせといった金属酸化物を含むガラスを含む。好ましいセ
ラミックマトリックスはＳｉ２Ｏ、Ｂ２Ｏ３およびＡｌ２Ｏ３を含むアルミナ−
ホウケイ酸塩ガラスである。好ましいアルミナ−ホウケイ酸塩ガラスは、約１８
％のＢ２Ｏ３、８．５％のＡｌ２Ｏ３、２．８％のＢａＯ、１．１％のＣａＯ、
２．１％のＮａ２Ｏ、１．０％のＬｉ２Ｏおよび残部のＳｉ２Ｏを含む。かかる
アルミナ−ホウケイ酸塩ガラスは、スペシャルティガラスインコーポレイティッ
ド（フロリダ州、Ｏｌｄｓｍａｒ）より粒子サイズ約４５ｍｍ未満で市販されて
いる。
素、酸化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化ナトリウム、酸化マンガン、酸化亜鉛
およびこれらの組み合わせといった金属酸化物を含むガラスを含む。好ましいセ
ラミックマトリックスはＳｉ２Ｏ、Ｂ２Ｏ３およびＡｌ２Ｏ３を含むアルミナ−
ホウケイ酸塩ガラスである。好ましいアルミナ−ホウケイ酸塩ガラスは、約１８
％のＢ２Ｏ３、８．５％のＡｌ２Ｏ３、２．８％のＢａＯ、１．１％のＣａＯ、
２．１％のＮａ２Ｏ、１．０％のＬｉ２Ｏおよび残部のＳｉ２Ｏを含む。かかる
アルミナ−ホウケイ酸塩ガラスは、スペシャルティガラスインコーポレイティッ
ド（フロリダ州、Ｏｌｄｓｍａｒ）より粒子サイズ約４５ｍｍ未満で市販されて
いる。
【００２９】
本明細書において、「多孔性」という用語は、その塊に分散された孔または空
隙を特徴とするセラミックマトリックスの構造を説明するのに用いられる。孔は
複合材料の外部表面に開いているか封止されている。セラミックマトリックス中
の孔は、セラミック研摩複合材料の制御された破壊の補助となるものと考えられ
、使用済み（目つぶれした）研摩粒子が複合材料から剥がれていく。孔はまた、
研摩物品とワークピース間の界面からの異物除去および使用済み研摩粒子の経路
を与えることにより研摩物品の性能（例えば、切断レートよび表面仕上げ）も増
大させる。一般に、間隙は、複合材料の体積の約４％〜７０％、好ましくは複合
材料の体積の約５％〜６０％、最も好ましくは複合材料の体積の約６％〜６０％
である。多孔性セラミックマトリックスは、例えば、セラミックマトリックス前
駆体の制御された焼成、または孔形成剤、例えば、ガラス泡をセラミックマトリ
ックス前駆体に含める等、業界に周知の技術により形成することができる。
隙を特徴とするセラミックマトリックスの構造を説明するのに用いられる。孔は
複合材料の外部表面に開いているか封止されている。セラミックマトリックス中
の孔は、セラミック研摩複合材料の制御された破壊の補助となるものと考えられ
、使用済み（目つぶれした）研摩粒子が複合材料から剥がれていく。孔はまた、
研摩物品とワークピース間の界面からの異物除去および使用済み研摩粒子の経路
を与えることにより研摩物品の性能（例えば、切断レートよび表面仕上げ）も増
大させる。一般に、間隙は、複合材料の体積の約４％〜７０％、好ましくは複合
材料の体積の約５％〜６０％、最も好ましくは複合材料の体積の約６％〜６０％
である。多孔性セラミックマトリックスは、例えば、セラミックマトリックス前
駆体の制御された焼成、または孔形成剤、例えば、ガラス泡をセラミックマトリ
ックス前駆体に含める等、業界に周知の技術により形成することができる。
【００３０】
通常、セラミック研摩複合材料の平均サイズは、複合材料中に用いられる研摩
粒子の平均サイズの少なくとも約３倍である。本発明に有用な研摩粒子の平均粒
子サイズは約０．０５〜２００μｍ、より好ましくは約０．１〜１２０μｍ、さ
らに好ましくは約０．１５〜１００μｍである。所望の研摩粒子サイズは、例え
ば、所望の切断レートおよび／または所望の表面粗さをワークピースに与えるよ
うに選択してよい。研摩粒子サイズは「メッシュ」または「等級」と記されてい
ることもあり、両方とも一般的に知られた研摩粒子のサイジング方法である。研
摩粒子のモース硬度は好ましくは少なくとも８、より好ましくは少なくとも９で
ある。好適な研摩粒子は、例えば、ダイアモンド、立方晶窒化ホウ素、溶融酸化
アルミニウム、セラミック酸化アルミニウム、熱処理済み酸化アルミニウム、炭
化ケイ素、炭化ホウ素、アルミナジルコニア、酸化鉄、セリア、ガーネットおよ
びこれらの組み合わせを含む。好ましくは、研摩粒子はダイアモンドである。ダ
イアモンド研摩粒子は天然でも合成ダイアモンドでもよく、「樹脂ボンドダイア
モンド」、「鋸歯等級ダイアモンド」または「メタルボンドダイアモンド」と考
えられる。単一のダイアモンドはそれらが合わさって別個の切子面を持つ塊形状
、あるいは不規則形状であってもよい。これらの単一ダイアモンド粒子は、単結
晶、あるいはＭｙｐｏｄｉａｍｏｎｄ社より「Ｍｙｐｏｌｅｘ」という商品名で
市販されているダイアモンドのような多結晶であってもよい。単一のダイアモン
ド粒子は、金属コーティング（ニッケル、アルミニウム、銅等）、無機コーティ
ング（例えば、シリカ）または有機コーティングのような表面コーティングを有
していてもよい。セラミック研摩複合材料はまた、２種類以上の研摩粒子のブレ
ンドを含んでいてもよい。例えば、ダイアモンド研摩粒子は、第２の柔らかい種
類の研摩粒子と混合すると有利である。かかる場合、第２の研摩粒子は、ダイア
モンド研摩粒子より小さい平均粒子サイズを有しているのが好ましい。
粒子の平均サイズの少なくとも約３倍である。本発明に有用な研摩粒子の平均粒
子サイズは約０．０５〜２００μｍ、より好ましくは約０．１〜１２０μｍ、さ
らに好ましくは約０．１５〜１００μｍである。所望の研摩粒子サイズは、例え
ば、所望の切断レートおよび／または所望の表面粗さをワークピースに与えるよ
うに選択してよい。研摩粒子サイズは「メッシュ」または「等級」と記されてい
ることもあり、両方とも一般的に知られた研摩粒子のサイジング方法である。研
摩粒子のモース硬度は好ましくは少なくとも８、より好ましくは少なくとも９で
ある。好適な研摩粒子は、例えば、ダイアモンド、立方晶窒化ホウ素、溶融酸化
アルミニウム、セラミック酸化アルミニウム、熱処理済み酸化アルミニウム、炭
化ケイ素、炭化ホウ素、アルミナジルコニア、酸化鉄、セリア、ガーネットおよ
びこれらの組み合わせを含む。好ましくは、研摩粒子はダイアモンドである。ダ
イアモンド研摩粒子は天然でも合成ダイアモンドでもよく、「樹脂ボンドダイア
モンド」、「鋸歯等級ダイアモンド」または「メタルボンドダイアモンド」と考
えられる。単一のダイアモンドはそれらが合わさって別個の切子面を持つ塊形状
、あるいは不規則形状であってもよい。これらの単一ダイアモンド粒子は、単結
晶、あるいはＭｙｐｏｄｉａｍｏｎｄ社より「Ｍｙｐｏｌｅｘ」という商品名で
市販されているダイアモンドのような多結晶であってもよい。単一のダイアモン
ド粒子は、金属コーティング（ニッケル、アルミニウム、銅等）、無機コーティ
ング（例えば、シリカ）または有機コーティングのような表面コーティングを有
していてもよい。セラミック研摩複合材料はまた、２種類以上の研摩粒子のブレ
ンドを含んでいてもよい。例えば、ダイアモンド研摩粒子は、第２の柔らかい種
類の研摩粒子と混合すると有利である。かかる場合、第２の研摩粒子は、ダイア
モンド研摩粒子より小さい平均粒子サイズを有しているのが好ましい。
【００３１】
研摩複合材料は約１０〜９０重量部の研摩粒子と９０〜１０重量部のセラミッ
クマトリックスを含み、このセラミックマトリックスはフィラーおよび／または
研摩粒子以外のその他の添加剤を含んでいる。ダイアモンド研摩粒子に関連する
費用のために、研摩複合材料は約１５〜８５重量部の研摩粒子と約８５〜１５重
量部のセラミックマトリックスを含むのが好ましい。より好ましくは、研摩複合
材料は約２０〜８０重量部の研摩粒子と約８０〜２０重量部のセラミックマトリ
ックスを含み、さらに好ましくは研摩複合材料は約２５〜７５重量部の研摩粒子
と約７５〜２５重量部のセラミックマトリックスを含む。
クマトリックスを含み、このセラミックマトリックスはフィラーおよび／または
研摩粒子以外のその他の添加剤を含んでいる。ダイアモンド研摩粒子に関連する
費用のために、研摩複合材料は約１５〜８５重量部の研摩粒子と約８５〜１５重
量部のセラミックマトリックスを含むのが好ましい。より好ましくは、研摩複合
材料は約２０〜８０重量部の研摩粒子と約８０〜２０重量部のセラミックマトリ
ックスを含み、さらに好ましくは研摩複合材料は約２５〜７５重量部の研摩粒子
と約７５〜２５重量部のセラミックマトリックスを含む。
【００３２】
セラミック複合材料は精密に成形または不規則に成形（精密でなく成形）する
ことができる。不規則成形の場合、研摩複合材料は、与えられた研摩物品に比較
的に均一な研摩複合材料サイズを与えるために、サイズによって等級分けされる
。セラミック研摩複合材料は、好ましくは精密な幾何形状を有している。最初は
、研摩粒子は、セラミック研摩複合材料の表面を超えて突出していないのが好ま
しい。研摩物品を用いてワークピースを研摩するにつれて、セラミックマトリッ
クスが壊れて未使用の研摩粒子が現れる。研摩複合材料の形状はいずれであって
もよく、上部表面は平坦で、例えば、立方体、ブロック状、円柱、プリズム、角
錐、角錐台、円錐、円錐台、十字またはポスト状のような数多くの幾何学形状か
ら選択できる。その他の形状は半球であり、米国特許第５，６８１，２１７号に
記載されている。得られる研摩物品は、異なる研摩複合材料の形状およびサイズ
の混合物を含んでいてよいが、同じ形状およびサイズの研摩複合材料を与えられ
た研摩物品に用いるのが一般的に好ましい。ベースの断面形状は上部表面とは異
なることが予想される。例えば、研摩複合材料のベースは正方形で、上部表面は
円形とする。通常、研摩複合材料は全寸法について略同じサイズ、例えば、立方
体とするのが好ましい。
ことができる。不規則成形の場合、研摩複合材料は、与えられた研摩物品に比較
的に均一な研摩複合材料サイズを与えるために、サイズによって等級分けされる
。セラミック研摩複合材料は、好ましくは精密な幾何形状を有している。最初は
、研摩粒子は、セラミック研摩複合材料の表面を超えて突出していないのが好ま
しい。研摩物品を用いてワークピースを研摩するにつれて、セラミックマトリッ
クスが壊れて未使用の研摩粒子が現れる。研摩複合材料の形状はいずれであって
もよく、上部表面は平坦で、例えば、立方体、ブロック状、円柱、プリズム、角
錐、角錐台、円錐、円錐台、十字またはポスト状のような数多くの幾何学形状か
ら選択できる。その他の形状は半球であり、米国特許第５，６８１，２１７号に
記載されている。得られる研摩物品は、異なる研摩複合材料の形状およびサイズ
の混合物を含んでいてよいが、同じ形状およびサイズの研摩複合材料を与えられ
た研摩物品に用いるのが一般的に好ましい。ベースの断面形状は上部表面とは異
なることが予想される。例えば、研摩複合材料のベースは正方形で、上部表面は
円形とする。通常、研摩複合材料は全寸法について略同じサイズ、例えば、立方
体とするのが好ましい。
【００３３】
セラミック研摩複合材料は、仮バインダー、セラミックマトリックス前駆体、
研摩粒子および十分量の溶剤、通常、水を合わせて混合して、成形可能なスラリ
ーを形成すべくこれら成分を湿潤させることにより作成される。成形可能なスラ
リーを好適な鋳型に入れ、空気乾燥し、硬化した研摩複合材料前駆体を取り外す
。鋳型から取り外した後、複合材料前駆体をスクリーンを用いて個々の複合材料
に分離する。最後に、複合材料前駆体を、通常、酸化雰囲気中（空気）中で焼成
して、多孔性セラミック複合材料を作成する。
研摩粒子および十分量の溶剤、通常、水を合わせて混合して、成形可能なスラリ
ーを形成すべくこれら成分を湿潤させることにより作成される。成形可能なスラ
リーを好適な鋳型に入れ、空気乾燥し、硬化した研摩複合材料前駆体を取り外す
。鋳型から取り外した後、複合材料前駆体をスクリーンを用いて個々の複合材料
に分離する。最後に、複合材料前駆体を、通常、酸化雰囲気中（空気）中で焼成
して、多孔性セラミック複合材料を作成する。
【００３４】
精密に成形された研摩複合材料を作成する一つの方法は、少なくとも１つのキ
ャビティ、好ましくは複数のキャビティを有する製造ツールまたは鋳型を用いる
ものである。図６に、略平面７２と複数のキャビティ７４を有する鋳型７０を示
す。鋳型７０は、剛性材料（金属）またはポリマーフィルムのような可撓性材料
から作成することができる。鋳型は、ベルト、シート、連続シートまたはウェブ
、コーティングロール（輪転グラビアロール）、コーティングコール上に据え付
けられたスリーブ、ダイの形態であってもよく、ニッケルめっき表面を有する金
属、金属合金、セラミックまたはポリマーから構成されていてもよい。製造ツー
ルについての更なる情報、その製法、材料等については、米国特許第５，１５２
，９１７号、第５，４３５，８１６号およびＥＰ第０ ６１５ ８１６Ａ号にあ
る。
ャビティ、好ましくは複数のキャビティを有する製造ツールまたは鋳型を用いる
ものである。図６に、略平面７２と複数のキャビティ７４を有する鋳型７０を示
す。鋳型７０は、剛性材料（金属）またはポリマーフィルムのような可撓性材料
から作成することができる。鋳型は、ベルト、シート、連続シートまたはウェブ
、コーティングロール（輪転グラビアロール）、コーティングコール上に据え付
けられたスリーブ、ダイの形態であってもよく、ニッケルめっき表面を有する金
属、金属合金、セラミックまたはポリマーから構成されていてもよい。製造ツー
ルについての更なる情報、その製法、材料等については、米国特許第５，１５２
，９１７号、第５，４３５，８１６号およびＥＰ第０ ６１５ ８１６Ａ号にあ
る。
【００３５】
キャビティ７４は、セラミック研摩複合材料の形状を作るためのものであり、
所望の研摩複合材料形状とは逆の形状およびサイズである特定の三次元形状を有
している。これらのキャビティは、円柱、ドーム、角錐、立方体、角錐台、プリ
ズム、円錐、円錐台、または三角、四角、円、矩形、六角形、八角系等の上部表
面断面を有する形状といった、いかなる幾何学形状であってもよい。キャビティ
の寸法および形状は、乾燥プロセス中に生じる収縮を考慮に入れて、所望の研摩
複合材料サイズおよび形状が得られるように選ぶ。
所望の研摩複合材料形状とは逆の形状およびサイズである特定の三次元形状を有
している。これらのキャビティは、円柱、ドーム、角錐、立方体、角錐台、プリ
ズム、円錐、円錐台、または三角、四角、円、矩形、六角形、八角系等の上部表
面断面を有する形状といった、いかなる幾何学形状であってもよい。キャビティ
の寸法および形状は、乾燥プロセス中に生じる収縮を考慮に入れて、所望の研摩
複合材料サイズおよび形状が得られるように選ぶ。
【００３６】
スラリーは、ダイコーティング、真空ダイコーティング、スプレー、ロールコ
ーティング、転写コーティング、ナイフコーティング等のような通常の技術によ
り鋳型のキャビティにコートすることができる。鋳型が、平らな上部または比較
的直線の側壁のいずれかを有するキャビティを含む場合には、空気のトラップを
最小にするためにコーティング中真空を使うのが好ましい。スクレーパまたはレ
ベラーバーを用いてスラリーを鋳型のキャビティに押し込むことができる。キャ
ビティに入らないスラリー部分は鋳型から除去して再利用することができる。
ーティング、転写コーティング、ナイフコーティング等のような通常の技術によ
り鋳型のキャビティにコートすることができる。鋳型が、平らな上部または比較
的直線の側壁のいずれかを有するキャビティを含む場合には、空気のトラップを
最小にするためにコーティング中真空を使うのが好ましい。スクレーパまたはレ
ベラーバーを用いてスラリーを鋳型のキャビティに押し込むことができる。キャ
ビティに入らないスラリー部分は鋳型から除去して再利用することができる。
【００３７】
任意で、スラリーをキャビティに導入する前に、剥離コーティングをキャビテ
ィ７４の表面を含む鋳型７０の表面に適用してよい。剥離コーティングの機能は
、乾燥したスラリーを鋳型から取り外し易くすることである。剥離コーティング
を形成するのに用いられる代表的な材料としては、シリコーンやフルオロケミカ
ルのような低表面エネルギー材料が挙げられる。
ィ７４の表面を含む鋳型７０の表面に適用してよい。剥離コーティングの機能は
、乾燥したスラリーを鋳型から取り外し易くすることである。剥離コーティング
を形成するのに用いられる代表的な材料としては、シリコーンやフルオロケミカ
ルのような低表面エネルギー材料が挙げられる。
【００３８】
スラリーを鋳型のキャビティに導入した後、次の工程は揮発性成分の少なくと
も一部をスラリーから除去するものである。好ましくは、揮発性成分は、例えば
、室温、高温またはこれらの組み合わせで、蒸発により除去する。高温とは一般
に、約４０〜３００℃である。得られる研摩複合材料粒子の破壊は望ましくない
ため、これを防ぐには、乾燥速度は上げてはならない。鋳型から除去する際、精
密な形状を保持できるよう、十分量の揮発性成分をスラリーから除去しなければ
ならない。
も一部をスラリーから除去するものである。好ましくは、揮発性成分は、例えば
、室温、高温またはこれらの組み合わせで、蒸発により除去する。高温とは一般
に、約４０〜３００℃である。得られる研摩複合材料粒子の破壊は望ましくない
ため、これを防ぐには、乾燥速度は上げてはならない。鋳型から除去する際、精
密な形状を保持できるよう、十分量の揮発性成分をスラリーから除去しなければ
ならない。
【００３９】
次に、研摩複合材料前駆体を鋳型のキャビティから取り外す。乾燥プロセス中
のスラリーの収縮のために、重力で鋳型から外すことができる。外的手段を用い
て、鋳型から研摩複合材料前駆体を外す補助としてもよい。かかる外的手段とし
ては、鋳型と接触配置され、鋳型を振動させて粒子前駆体を緩める超音波駆動の
振動装置が例示される。好適な超音波装置は、ブランソン超音波インスツルメン
ツ（コネチカット州、ダンブリー）より「ＢＲＡＮＳＯＮ ９０２Ｒ」という商
品名で市販されている。
のスラリーの収縮のために、重力で鋳型から外すことができる。外的手段を用い
て、鋳型から研摩複合材料前駆体を外す補助としてもよい。かかる外的手段とし
ては、鋳型と接触配置され、鋳型を振動させて粒子前駆体を緩める超音波駆動の
振動装置が例示される。好適な超音波装置は、ブランソン超音波インスツルメン
ツ（コネチカット州、ダンブリー）より「ＢＲＡＮＳＯＮ ９０２Ｒ」という商
品名で市販されている。
【００４０】
鋳型から取り外した後、得られた研摩複合材料前駆体を焼成して、仮バインダ
ーを焼いて、セラミックマトリックス前駆体を多孔性セラミックマトリックスに
変換する。一般に、仮バインダーは約３５０〜５５０℃の温度で約１〜３時間の
間にわたって焼かれる。好ましくは、温度は約２℃／分の速度で室温から約４５
０℃まで上げた後、仮バインダーを焼くために約４５０℃で約１．５時間保持す
る。仮バインダーを焼いた後、研摩複合材料前駆体を焼成してセラミックマトリ
ックス前駆体をセラミックに変換する。焼成は、研摩複合材料前駆体を約６００
〜９５０℃の温度まで約１〜３時間の間にわたって加熱することによりなされる
。低い焼成温度（約７５０℃未満）では、酸化雰囲気が好ましい。高い焼成温度
（約７５０℃を超える）では、不活性（例えば、窒素）が好ましい。焼成の時間
の長さは、様々な因子に応じて異なるが、焼成する研摩複合材料前駆体２００グ
ラム当たり約１時間で十分である。好ましくは、焼成工程は連続プロセスで実施
する。かかるプロセスにおいて、仮バインダーを最初に焼き、続いて所望の焼成
温度まで温度を上げる。焼成によりセラミックマトリックス前駆体が多孔性セラ
ミックマトリックスに変換される。焼成に続いて、多孔性セラミック研摩複合材
料粒子を室温まで冷やす。
ーを焼いて、セラミックマトリックス前駆体を多孔性セラミックマトリックスに
変換する。一般に、仮バインダーは約３５０〜５５０℃の温度で約１〜３時間の
間にわたって焼かれる。好ましくは、温度は約２℃／分の速度で室温から約４５
０℃まで上げた後、仮バインダーを焼くために約４５０℃で約１．５時間保持す
る。仮バインダーを焼いた後、研摩複合材料前駆体を焼成してセラミックマトリ
ックス前駆体をセラミックに変換する。焼成は、研摩複合材料前駆体を約６００
〜９５０℃の温度まで約１〜３時間の間にわたって加熱することによりなされる
。低い焼成温度（約７５０℃未満）では、酸化雰囲気が好ましい。高い焼成温度
（約７５０℃を超える）では、不活性（例えば、窒素）が好ましい。焼成の時間
の長さは、様々な因子に応じて異なるが、焼成する研摩複合材料前駆体２００グ
ラム当たり約１時間で十分である。好ましくは、焼成工程は連続プロセスで実施
する。かかるプロセスにおいて、仮バインダーを最初に焼き、続いて所望の焼成
温度まで温度を上げる。焼成によりセラミックマトリックス前駆体が多孔性セラ
ミックマトリックスに変換される。焼成に続いて、多孔性セラミック研摩複合材
料粒子を室温まで冷やす。
【００４１】
本発明において、セラミック研摩複合材料を形成するのに用いる技術はこれに
限られるものではないと考えられる。例えば、高粘性スラリーを成形ダイにより
押出して、粒子の長さを切断して成形粒子を形成してもよい。かかる技術は、例
えば、欧州特許出願第０ ６１５ ８１６Ａ（Ｂｒｏｂｅｒｇ）に報告されてい
る。
限られるものではないと考えられる。例えば、高粘性スラリーを成形ダイにより
押出して、粒子の長さを切断して成形粒子を形成してもよい。かかる技術は、例
えば、欧州特許出願第０ ６１５ ８１６Ａ（Ｂｒｏｂｅｒｇ）に報告されてい
る。
【００４２】
不規則（精密でない）形状のセラミック研摩複合材料を用いることもまた本発
明の範囲に含まれる。精密に成形されていないセラミック研摩複合材料は、例え
ば、スラリーの塊を焼成し、得られた塊のセラミック研摩複合材料を粉砕して粒
子を形成することにより作成される。業界に公知の技術を用いて、例えば、スク
リーニングして、粒子をサイズ分けして、所望のサイズ分布の不規則形状のセラ
ミック研摩複合材料とする。
明の範囲に含まれる。精密に成形されていないセラミック研摩複合材料は、例え
ば、スラリーの塊を焼成し、得られた塊のセラミック研摩複合材料を粉砕して粒
子を形成することにより作成される。業界に公知の技術を用いて、例えば、スク
リーニングして、粒子をサイズ分けして、所望のサイズ分布の不規則形状のセラ
ミック研摩複合材料とする。
【００４３】
メタルボンドコーティング：
本発明の研摩物品において、研摩複合材料は１層以上の金属コーティングによ
り裏材に固定される。金属コーティングは電気めっきプロセスにより裏材に適用
されるのが好ましい。金属めっきに好適な金属としては、例えば、ニッケル、銅
、銅合金（黄銅または青銅）、鋼およびこれらの合金が挙げられる。ある実施形
態においては、連続したメタルボンドコーティング（プレシュートコーティング
、メイクコーティングおよびサイズコーティング）を研摩物品に適用するのが望
ましい。
り裏材に固定される。金属コーティングは電気めっきプロセスにより裏材に適用
されるのが好ましい。金属めっきに好適な金属としては、例えば、ニッケル、銅
、銅合金（黄銅または青銅）、鋼およびこれらの合金が挙げられる。ある実施形
態においては、連続したメタルボンドコーティング（プレシュートコーティング
、メイクコーティングおよびサイズコーティング）を研摩物品に適用するのが望
ましい。
【００４４】
金属コーティングを適用するのに好ましい電気めっき技術は次の工程を用いて
実施される。まず、導電性裏材を電気めっき溶液に浸し、電源に接続する。電気
めっき溶液は電気めっきされる金属のイオンを含有している。例えば、ニッケル
を選んだときは、電気めっき溶液は硫酸ニッケルまたはスルファミン酸ニッケル
の溶液である。少なくとも部分的に電気めっき溶液に浸した電着させる金属のロ
ッドまたはブロックにも電源を接続する。金属の電気めっきは、裏材と金属のロ
ッドまたはブロック間に電位差を与えることによりなされる。これにより電気め
っき溶液中に存在する金属イオンが裏材に電着される。セラミック研摩複合材料
を裏材に固定するために、研摩複合材料を裏材に配置し、金属コーティングまた
は連続した金属コーティングの電着をこれに続けて行う。
実施される。まず、導電性裏材を電気めっき溶液に浸し、電源に接続する。電気
めっき溶液は電気めっきされる金属のイオンを含有している。例えば、ニッケル
を選んだときは、電気めっき溶液は硫酸ニッケルまたはスルファミン酸ニッケル
の溶液である。少なくとも部分的に電気めっき溶液に浸した電着させる金属のロ
ッドまたはブロックにも電源を接続する。金属の電気めっきは、裏材と金属のロ
ッドまたはブロック間に電位差を与えることによりなされる。これにより電気め
っき溶液中に存在する金属イオンが裏材に電着される。セラミック研摩複合材料
を裏材に固定するために、研摩複合材料を裏材に配置し、金属コーティングまた
は連続した金属コーティングの電着をこれに続けて行う。
【００４５】
好ましい実施形態において、セラミック研摩複合材料を導入する前に薄い「プ
レシュート」コーティングを裏材に適用する。プレシュートコーティングに好ま
しい電気めっき溶液は硫酸ニッケルである。プレシュートの適用後、次の工程は
セラミック研摩複合材料を適用し、その複合材料を金属コーティングまたは連続
コーティングを用いて裏材に固定することである。これを実施するために、セラ
ミック研摩複合材料を電気めっき溶液に加える。十分な複合材料を電気めっき溶
液に加えて、所望の面密度のセラミック研摩複合材料を裏材に与える。通常、裏
材のコートされた表面積の約２５〜７５％、好ましくはコートされた表面積の約
３０〜７０％がセラミック研摩複合材料で覆われている。好ましくは、電気めっ
き溶液を攪拌して、セラミック研摩複合材料の均一なコーティングを裏材に与え
る。複合材料は電気めっき溶液に沈んで、裏材に与えられる。裏材に与えられた
後、金属がセラミック研摩複合材料間の裏材に電気めっきされて、セラミック研
摩複合材料を裏材に固定する金属コーティングを形成する。好ましくは、金属コ
ーティングはニッケル製で、スルファミン酸ニッケル溶液を用いて適用される。
任意で、第２の金属コーティングを第１の金属コーティングに適用してもよい。
この第２のコーティングは第１のコーティングと同じ金属であっても違う金属で
あってもよい。好ましくは、コーティングはニッケル金属で、硫酸ニッケル電気
めっき溶液を用いて適用される。
レシュート」コーティングを裏材に適用する。プレシュートコーティングに好ま
しい電気めっき溶液は硫酸ニッケルである。プレシュートの適用後、次の工程は
セラミック研摩複合材料を適用し、その複合材料を金属コーティングまたは連続
コーティングを用いて裏材に固定することである。これを実施するために、セラ
ミック研摩複合材料を電気めっき溶液に加える。十分な複合材料を電気めっき溶
液に加えて、所望の面密度のセラミック研摩複合材料を裏材に与える。通常、裏
材のコートされた表面積の約２５〜７５％、好ましくはコートされた表面積の約
３０〜７０％がセラミック研摩複合材料で覆われている。好ましくは、電気めっ
き溶液を攪拌して、セラミック研摩複合材料の均一なコーティングを裏材に与え
る。複合材料は電気めっき溶液に沈んで、裏材に与えられる。裏材に与えられた
後、金属がセラミック研摩複合材料間の裏材に電気めっきされて、セラミック研
摩複合材料を裏材に固定する金属コーティングを形成する。好ましくは、金属コ
ーティングはニッケル製で、スルファミン酸ニッケル溶液を用いて適用される。
任意で、第２の金属コーティングを第１の金属コーティングに適用してもよい。
この第２のコーティングは第１のコーティングと同じ金属であっても違う金属で
あってもよい。好ましくは、コーティングはニッケル金属で、硫酸ニッケル電気
めっき溶液を用いて適用される。
【００４６】
任意で、マスクを裏材に付けて、セラミック研摩複合材料が裏材の特定の部分
にボンドするのを防ぐことができる。かかる技術は、米国特許第４，０４７，９
０２号（Ｗｉａｎｄ）に報告されている。このやり方で、セラミック研摩複合材
料のない裏材の個別の部分を有するパターン化された研摩コーティングが形成さ
れる。
にボンドするのを防ぐことができる。かかる技術は、米国特許第４，０４７，９
０２号（Ｗｉａｎｄ）に報告されている。このやり方で、セラミック研摩複合材
料のない裏材の個別の部分を有するパターン化された研摩コーティングが形成さ
れる。
【００４７】
金属コーティングを合わせた厚さは、約１〜２００μｍであり、研摩物品に用
いるセラミック研摩複合材料の平均高さの約５％〜５０％、好ましくは約１０％
〜３０％である。本明細書において、セラミック研摩複合材料の高さは、複合材
料のベース（裏材に乗る側）から複合材料の上部表面までで測定し、複合材料に
よっては裏材に対する複合材料の配向に応じて異なる。例を挙げると、高さ３０
０μｍのセラミック研摩複合材料を有する研摩物品については、金属コーティン
グの合わせた厚さは約１５〜１５０μｍ、好ましくは約３０〜９０μｍである。
このやり方だと、セラミック研摩複合材料はメタルボンドコーティングから突出
して、代表的な研摩プロセス中に、外側のメタルボンドコーティングがワークピ
ースの表面と接触しない。この特徴が、外側金属コーティングが研摩プロセス中
にワークピースと接触する場合に生じるワークピースの制御できない引っ掻きを
防ぐ補助となると考えられる。
いるセラミック研摩複合材料の平均高さの約５％〜５０％、好ましくは約１０％
〜３０％である。本明細書において、セラミック研摩複合材料の高さは、複合材
料のベース（裏材に乗る側）から複合材料の上部表面までで測定し、複合材料に
よっては裏材に対する複合材料の配向に応じて異なる。例を挙げると、高さ３０
０μｍのセラミック研摩複合材料を有する研摩物品については、金属コーティン
グの合わせた厚さは約１５〜１５０μｍ、好ましくは約３０〜９０μｍである。
このやり方だと、セラミック研摩複合材料はメタルボンドコーティングから突出
して、代表的な研摩プロセス中に、外側のメタルボンドコーティングがワークピ
ースの表面と接触しない。この特徴が、外側金属コーティングが研摩プロセス中
にワークピースと接触する場合に生じるワークピースの制御できない引っ掻きを
防ぐ補助となると考えられる。
【００４８】
有機サイズコーティング
本発明の研摩物品はまた、任意で、セラミック研摩複合材料および金属コーテ
ィング上に設けられた有機サイズコーティングをさらに有していてもよい。有機
サイズコーティングは、一般に、有機樹脂またはポリマーとされ、任意で、１種
類以上のフィラー、１種類以上の湿潤剤、１種類以上の研削助剤を含んでいても
よい。有機サイズコーティングを研摩複合材料および金属コーティングに適用す
ると、研摩複合材料の強度および／または研摩複合材料の裏材材料へのボンド強
度を増大させる役割を果たすため好ましい。好適な有機サイズコーティングとし
ては、熱硬化性樹脂、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、アミノプラスト
樹脂、ウレタン樹脂、アクリレート樹脂、イソシアヌレート樹脂、アクリル化イ
ソシアヌレート樹脂、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、アクリル化エポキシ樹脂、
アクリル化ウレタン樹脂またはこれらの組み合わせが例示される。これらのコー
ティングは有機溶剤または水の水溶液として、あるいは１００％固体で提供され
る。有機サイズコーティングは、例えば、ロールコーティング、スプレー、刷毛
塗りまたは転写コーティングをはじめとする通常のコーティング技術を用いて適
用することができる。代表的な有機サイズコーティングは熱硬化または乾燥され
るが、放射線（例えば、紫外線）露光により硬化できる樹脂もまた本発明の範囲
に含まれる。有機サイズコーティングのコーティング重量は、通常約０．２〜０
．８ｇ／ｃｍ２、より好ましくは約０．３〜０．７ｇ／ｃｍ２である。
ィング上に設けられた有機サイズコーティングをさらに有していてもよい。有機
サイズコーティングは、一般に、有機樹脂またはポリマーとされ、任意で、１種
類以上のフィラー、１種類以上の湿潤剤、１種類以上の研削助剤を含んでいても
よい。有機サイズコーティングを研摩複合材料および金属コーティングに適用す
ると、研摩複合材料の強度および／または研摩複合材料の裏材材料へのボンド強
度を増大させる役割を果たすため好ましい。好適な有機サイズコーティングとし
ては、熱硬化性樹脂、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、アミノプラスト
樹脂、ウレタン樹脂、アクリレート樹脂、イソシアヌレート樹脂、アクリル化イ
ソシアヌレート樹脂、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、アクリル化エポキシ樹脂、
アクリル化ウレタン樹脂またはこれらの組み合わせが例示される。これらのコー
ティングは有機溶剤または水の水溶液として、あるいは１００％固体で提供され
る。有機サイズコーティングは、例えば、ロールコーティング、スプレー、刷毛
塗りまたは転写コーティングをはじめとする通常のコーティング技術を用いて適
用することができる。代表的な有機サイズコーティングは熱硬化または乾燥され
るが、放射線（例えば、紫外線）露光により硬化できる樹脂もまた本発明の範囲
に含まれる。有機サイズコーティングのコーティング重量は、通常約０．２〜０
．８ｇ／ｃｍ２、より好ましくは約０．３〜０．７ｇ／ｃｍ２である。
【００４９】
有機サイズコーティングは、表面修正添加剤、カップリング剤、フィラー、膨
張剤、ファイバー、帯電防止剤、硬化剤、沈殿防止剤、光増感剤、潤滑剤、湿潤
剤、界面活性剤、顔料、染料、ＵＶ安定化剤および酸化防止剤のような任意の添
加剤をさらに含んでいてもよい。研摩物品に含められるこれらの材料の量は、所
望の特性を与えるように選択される。
張剤、ファイバー、帯電防止剤、硬化剤、沈殿防止剤、光増感剤、潤滑剤、湿潤
剤、界面活性剤、顔料、染料、ＵＶ安定化剤および酸化防止剤のような任意の添
加剤をさらに含んでいてもよい。研摩物品に含められるこれらの材料の量は、所
望の特性を与えるように選択される。
【００５０】
カップリング剤としては、シラン、チタネートおよびジルコアルミネートが例
示される。有機サイズコーティングは約０〜３０重量％、好ましくは０．１〜２
５重量％のカップリング剤を含んでいてよい。市販のカップリング剤としては、
ＯＳｉスペシャルティズ（コネチカット州、ダンブリー）製「Ａ１７４」および
「Ａ１２３０」が例示される。市販のカップリング剤のさらに他の例としては、
ケンリッチ石油化学（ニュージャージー州、Ｂａｙｏｎｎｅ）より「ＫＲ−ＴＴ
Ｓ」という商品名で市販されているイソプロピルトリイソステロイルチタネート
がある。
示される。有機サイズコーティングは約０〜３０重量％、好ましくは０．１〜２
５重量％のカップリング剤を含んでいてよい。市販のカップリング剤としては、
ＯＳｉスペシャルティズ（コネチカット州、ダンブリー）製「Ａ１７４」および
「Ａ１２３０」が例示される。市販のカップリング剤のさらに他の例としては、
ケンリッチ石油化学（ニュージャージー州、Ｂａｙｏｎｎｅ）より「ＫＲ−ＴＴ
Ｓ」という商品名で市販されているイソプロピルトリイソステロイルチタネート
がある。
【００５１】
有機サイズコーティングはさらにフィラーを含んでいてもよい。フィラーは微
粒子材料で、平均粒子サイズが０．０１〜５０μｍ、一般に１〜３０μｍである
。本発明に用いるのに好適なフィラーとしては、金属炭酸塩（炭酸カルシウム−
白亜、方解石、泥炭、トラバーチン、大理石および石灰石；、炭酸カルシウムマ
グネシウム、炭酸ナトリウム、炭酸マグネシウム等）、シリカ（水晶、ガラスビ
ーズ、ガラス泡およびガラスファイバー等）、シリケート（タルク、クレイ−モ
ンモリロン石；長石、マイカ、ケイ酸カルシウム、メタケイ酸カルシウム、アル
ミノケイ酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸リチウムおよびケイ酸カリウ
ム等）、金属硫酸塩（硫酸カルシウム、硫酸バリウム、硫酸ナトリウム、硫酸ア
ルミニウムナトリウム、硫酸アルミニウム等）、石膏、蛭石、木粉、三水和アル
ミニウム、カーボンブラック、金属酸化物（酸化カルシウム−石灰；、酸化アル
ミニウム、酸化セリウム、酸化スズ、酸化第二スズ、二酸化チタン等）および金
属亜硫酸塩（亜硫酸カルシウム等）、熱可塑性粒子（ポリカーボネート、ポリエ
ーテルイミド、ポリエステル、ポリエチレン、ポリスルホン、ポリスチレン、ア
クリロニトリル−ブタジエン−スチレンブロックコポリマー、ポリプロピレン、
アセタールポリマー、ポリウレタン、ナイロン粒子）および熱硬化性粒子（フェ
ノール泡、フェノールビーズ、ポリウレタン泡粒子等）等が例示される。フィラ
ーはハロゲン化物塩のような塩であってもよい。ハロゲン化物塩としては、塩化
ナトリウム、氷晶石カリウム、氷晶石ナトリウム、氷晶石アンモニウム、四フッ
化ホウ酸カリウム、四フッ化ホウ酸ナトリウム、フッ化ケイ素、塩化カリウムお
よび塩化マグネシウムが例示される。金属フィラーとしては、スズ、鉛、ビスマ
ス、コバルト、アンチモン、カドミウム、鉄、チタンが例示される。その他のフ
ィラーとしては、硫黄、有機硫黄化合物、グラファイトおよび金属硫化物が挙げ
られる。有機サイズコーティングは、一般に、約４０〜６０重量パーセントのフ
ィラー、より好ましくは約４５〜６０重量パーセントのフィラー、最も好ましく
は約５０〜６０重量パーセントのフィラーを含んでいる。好ましいフィラーとし
ては、メタケイ酸カルシウム、白色酸化アルミニウム、炭酸カルシウム、シリカ
、酸化セリウムおよびこれらの組み合わせが挙げられる。特に好ましいフィラー
の組み合わせは、メタケイ酸カルシウムと白色酸化アルミニウムである。
粒子材料で、平均粒子サイズが０．０１〜５０μｍ、一般に１〜３０μｍである
。本発明に用いるのに好適なフィラーとしては、金属炭酸塩（炭酸カルシウム−
白亜、方解石、泥炭、トラバーチン、大理石および石灰石；、炭酸カルシウムマ
グネシウム、炭酸ナトリウム、炭酸マグネシウム等）、シリカ（水晶、ガラスビ
ーズ、ガラス泡およびガラスファイバー等）、シリケート（タルク、クレイ−モ
ンモリロン石；長石、マイカ、ケイ酸カルシウム、メタケイ酸カルシウム、アル
ミノケイ酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸リチウムおよびケイ酸カリウ
ム等）、金属硫酸塩（硫酸カルシウム、硫酸バリウム、硫酸ナトリウム、硫酸ア
ルミニウムナトリウム、硫酸アルミニウム等）、石膏、蛭石、木粉、三水和アル
ミニウム、カーボンブラック、金属酸化物（酸化カルシウム−石灰；、酸化アル
ミニウム、酸化セリウム、酸化スズ、酸化第二スズ、二酸化チタン等）および金
属亜硫酸塩（亜硫酸カルシウム等）、熱可塑性粒子（ポリカーボネート、ポリエ
ーテルイミド、ポリエステル、ポリエチレン、ポリスルホン、ポリスチレン、ア
クリロニトリル−ブタジエン−スチレンブロックコポリマー、ポリプロピレン、
アセタールポリマー、ポリウレタン、ナイロン粒子）および熱硬化性粒子（フェ
ノール泡、フェノールビーズ、ポリウレタン泡粒子等）等が例示される。フィラ
ーはハロゲン化物塩のような塩であってもよい。ハロゲン化物塩としては、塩化
ナトリウム、氷晶石カリウム、氷晶石ナトリウム、氷晶石アンモニウム、四フッ
化ホウ酸カリウム、四フッ化ホウ酸ナトリウム、フッ化ケイ素、塩化カリウムお
よび塩化マグネシウムが例示される。金属フィラーとしては、スズ、鉛、ビスマ
ス、コバルト、アンチモン、カドミウム、鉄、チタンが例示される。その他のフ
ィラーとしては、硫黄、有機硫黄化合物、グラファイトおよび金属硫化物が挙げ
られる。有機サイズコーティングは、一般に、約４０〜６０重量パーセントのフ
ィラー、より好ましくは約４５〜６０重量パーセントのフィラー、最も好ましく
は約５０〜６０重量パーセントのフィラーを含んでいる。好ましいフィラーとし
ては、メタケイ酸カルシウム、白色酸化アルミニウム、炭酸カルシウム、シリカ
、酸化セリウムおよびこれらの組み合わせが挙げられる。特に好ましいフィラー
の組み合わせは、メタケイ酸カルシウムと白色酸化アルミニウムである。
【００５２】
沈殿防止剤としては、デグサ社（ニュージャージー州、リッジフィールドパー
ク）より「ＯＸ−５０」という商品名で市販されている表面積が１５０平方メー
トル／グラム未満のアモルファスシリカ粒子が例示される。沈殿防止剤の添加に
より、研摩スラリーの全体の粘度が下がる。沈殿防止剤の使用についてはさらに
米国特許第５，３６８，６１９号に記載されている。
ク）より「ＯＸ−５０」という商品名で市販されている表面積が１５０平方メー
トル／グラム未満のアモルファスシリカ粒子が例示される。沈殿防止剤の添加に
より、研摩スラリーの全体の粘度が下がる。沈殿防止剤の使用についてはさらに
米国特許第５，３６８，６１９号に記載されている。
【００５３】
研摩物品は、ワークピースを研摩するのに所望の構成に応じて所望の形状また
は形態に変換することができる。一般的な形状は直径約８インチ（２０．３ｃｍ
）の円形ディスクである。この変換は、切込み、打抜き、レーザーカット、ウォ
ータジェットカットまたは好適な手段により実施することができる。
は形態に変換することができる。一般的な形状は直径約８インチ（２０．３ｃｍ
）の円形ディスクである。この変換は、切込み、打抜き、レーザーカット、ウォ
ータジェットカットまたは好適な手段により実施することができる。
【００５４】
ワークピースの研摩方法
ワークピース、例えば、セラミック、ガラス−セラミックおよびガラスワーク
ピースを研削するのに用いる本発明の研摩物品は、意外なことに、大量の材料を
除去しながら、比較的短い間に非常に平滑な表面を与える。例えば、本発明の研
摩物品の表面粗さ値（Ｒａ）は約１．５μｍ以下、より好ましくは約１．０μｍ
以下、さらに好ましくは約１００Å以下、最も好ましくは約２５Å以下である。
Ｒａは、研摩業界で用いられる表面仕上げまたは粗さの一般的な尺度である。通
常、Ｒａ値が低ければ低いほど、表面仕上げが平滑である。Ｒａは、参照中心線
からの断面偏差の絶対値の算術平均の合計と定義される。Ｒａ（表面粗さ）は、
例えば、ランクテイラーホブソン（英国、Ｌｅｉｃｅｓｔｅｒ）より「ＴＡＹＬ
ＯＲ−ＨＯＢＳＯＮ ＳＵＲＴＲＯＮＩＣ ３」という商品名で知られた側面計
を用いて測定される。理論に拘束されることは望むところではないが、本発明の
研摩物品により得られる精細表面仕上げ（低Ｒａ）は、近接する研摩複合材料間
の凹部およびセラミック研摩複合材料自身の孔による高度の異物除去によるもの
と考えられる。本発明の研摩物品により得られる精細表面仕上げはまた、研摩プ
ロセス中、金属コーティングとワークピース間の接触が最小になる、好ましくは
排除されるセラミック研摩複合材料と金属コーティング間の空間的関係にもよる
ものでもあろう。
ピースを研削するのに用いる本発明の研摩物品は、意外なことに、大量の材料を
除去しながら、比較的短い間に非常に平滑な表面を与える。例えば、本発明の研
摩物品の表面粗さ値（Ｒａ）は約１．５μｍ以下、より好ましくは約１．０μｍ
以下、さらに好ましくは約１００Å以下、最も好ましくは約２５Å以下である。
Ｒａは、研摩業界で用いられる表面仕上げまたは粗さの一般的な尺度である。通
常、Ｒａ値が低ければ低いほど、表面仕上げが平滑である。Ｒａは、参照中心線
からの断面偏差の絶対値の算術平均の合計と定義される。Ｒａ（表面粗さ）は、
例えば、ランクテイラーホブソン（英国、Ｌｅｉｃｅｓｔｅｒ）より「ＴＡＹＬ
ＯＲ−ＨＯＢＳＯＮ ＳＵＲＴＲＯＮＩＣ ３」という商品名で知られた側面計
を用いて測定される。理論に拘束されることは望むところではないが、本発明の
研摩物品により得られる精細表面仕上げ（低Ｒａ）は、近接する研摩複合材料間
の凹部およびセラミック研摩複合材料自身の孔による高度の異物除去によるもの
と考えられる。本発明の研摩物品により得られる精細表面仕上げはまた、研摩プ
ロセス中、金属コーティングとワークピース間の接触が最小になる、好ましくは
排除されるセラミック研摩複合材料と金属コーティング間の空間的関係にもよる
ものでもあろう。
【００５５】
研摩中、研摩物品をワークピースに対して動かし、ワークピースに対して研摩
物品を下方に押し付ける。この押し付ける力は好ましくは約０．５〜４５ｇ／ｍ
ｍ２、より好ましくは約０．７〜４０ｇ／ｍｍ２である。下方に押し付ける力が
強すぎると、研摩物品は引っ掻き深さを除去することができず、場合によっては
引っ掻き深さを増大させてしまう。また、下方に押し付ける力が強すぎると、研
摩物品が過剰に摩耗する恐れがある。逆に、下方に押し付ける力が弱すぎると、
研摩物品が効率的にワークピースから材料を除去できない恐れがある。用途によ
っては、研摩物品に対してワークピースを下方に押し付ける。
物品を下方に押し付ける。この押し付ける力は好ましくは約０．５〜４５ｇ／ｍ
ｍ２、より好ましくは約０．７〜４０ｇ／ｍｍ２である。下方に押し付ける力が
強すぎると、研摩物品は引っ掻き深さを除去することができず、場合によっては
引っ掻き深さを増大させてしまう。また、下方に押し付ける力が強すぎると、研
摩物品が過剰に摩耗する恐れがある。逆に、下方に押し付ける力が弱すぎると、
研摩物品が効率的にワークピースから材料を除去できない恐れがある。用途によ
っては、研摩物品に対してワークピースを下方に押し付ける。
【００５６】
述べたように、ワークピースまたは研摩物品またはこの両方は、研削工程中、
他方に対して動かす。この動きは、回転運動、不規則運動または直線運動とする
ことができる。回転運動は、研摩物品を回転ツールに取り付けることにより行う
ことができる。ワークピースおよび研摩物品は同じ方向または逆方向に回転させ
てよい。同じ方向の場合には異なる回転速度とする。好ましい方法において、研
摩物品は円形ディスクの形態であり、その中心軸の周囲で回転させる。機械につ
いて、操作ｒｐｍは研摩物品に応じて、約３００００ｒｐｍまで、好ましくは約
１０ｒｐｍ〜約２５０００ｒｐｍ、より好ましくは約２０ｒｐｍ〜約２００００
ｒｐｍである。不規則軌道運動は不規則軌道ツールにより行うことができ、直線
運動は連続研摩ベルトにより行うことができる。ワークピースと研摩物品間の相
対運動はまた、ワークピースの寸法によっても異なる。ワークピースが比較的大
きい場合、研削中、ワークピースは固定して研摩物品を動かすのが好ましい。
他方に対して動かす。この動きは、回転運動、不規則運動または直線運動とする
ことができる。回転運動は、研摩物品を回転ツールに取り付けることにより行う
ことができる。ワークピースおよび研摩物品は同じ方向または逆方向に回転させ
てよい。同じ方向の場合には異なる回転速度とする。好ましい方法において、研
摩物品は円形ディスクの形態であり、その中心軸の周囲で回転させる。機械につ
いて、操作ｒｐｍは研摩物品に応じて、約３００００ｒｐｍまで、好ましくは約
１０ｒｐｍ〜約２５０００ｒｐｍ、より好ましくは約２０ｒｐｍ〜約２００００
ｒｐｍである。不規則軌道運動は不規則軌道ツールにより行うことができ、直線
運動は連続研摩ベルトにより行うことができる。ワークピースと研摩物品間の相
対運動はまた、ワークピースの寸法によっても異なる。ワークピースが比較的大
きい場合、研削中、ワークピースは固定して研摩物品を動かすのが好ましい。
【００５７】
ワークピースを研削またはポリシングする好ましい方法は、液体または潤滑剤
を用いた「湿潤」研摩プロセスである。潤滑剤はそれに関連したいくつかの利点
を有している。例えば、潤滑剤を存在させて研摩すると、研摩中の熱の蓄積を防
ぎ、研摩物品とワークピースの界面から異物を除去する。「異物」という用語は
、研摩物品により研摩される実際の屑のことを説明するのに用いる。研摩してい
るワークピースの表面を異物が傷つける場合がある。このように、異物は界面か
ら除去するのが望ましい。潤滑剤を存在させて研摩するとまた、ワークピース表
面がより精細な仕上げとなる。
を用いた「湿潤」研摩プロセスである。潤滑剤はそれに関連したいくつかの利点
を有している。例えば、潤滑剤を存在させて研摩すると、研摩中の熱の蓄積を防
ぎ、研摩物品とワークピースの界面から異物を除去する。「異物」という用語は
、研摩物品により研摩される実際の屑のことを説明するのに用いる。研摩してい
るワークピースの表面を異物が傷つける場合がある。このように、異物は界面か
ら除去するのが望ましい。潤滑剤を存在させて研摩するとまた、ワークピース表
面がより精細な仕上げとなる。
【００５８】
好適な潤滑剤としては、アミン、鉱油、ケロセン、ミネラルスピリッツ、水溶
性油エマルジョン、ポリエチレンイミン、エチレングリコール、モノエタノール
アミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、プロピレングリコール、
アミンボレート、ホウ酸、アミンカルボキシレート、パイン油、インドール、チ
オアミン塩、アミド、ヘキサヒドロ−１，３，５−トリエチルトリアジン、カル
ボン酸、ナトリウム２−メルカプトベンゾチアゾール、イソプロパノールアミン
、トリエチレンジアミン四酢酸、プロピレングリコールメチルエーテル、ベンゾ
トリアゾール、ナトリウム２−ピリジンチオール−１−オキシドおよびヘキシレ
ングリコールのうち１種類以上を含む水ベースの溶液が挙げられる。潤滑剤はま
た、腐食防止剤、殺菌剤、安定化剤、界面活性剤および／または乳化剤を含んで
いてもよい。
性油エマルジョン、ポリエチレンイミン、エチレングリコール、モノエタノール
アミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、プロピレングリコール、
アミンボレート、ホウ酸、アミンカルボキシレート、パイン油、インドール、チ
オアミン塩、アミド、ヘキサヒドロ−１，３，５−トリエチルトリアジン、カル
ボン酸、ナトリウム２−メルカプトベンゾチアゾール、イソプロパノールアミン
、トリエチレンジアミン四酢酸、プロピレングリコールメチルエーテル、ベンゾ
トリアゾール、ナトリウム２−ピリジンチオール−１−オキシドおよびヘキシレ
ングリコールのうち１種類以上を含む水ベースの溶液が挙げられる。潤滑剤はま
た、腐食防止剤、殺菌剤、安定化剤、界面活性剤および／または乳化剤を含んで
いてもよい。
【００５９】
市販の潤滑剤としては、例えば、ＢＵＦＦ−Ｏ−ＭＩＮＴ（Ａｍｅｒａｔｒｏ
ｎプロダクツより市販）、ＣＨＡＬＬＥＮＧＥ ３００ＨＴまたは６０５ＨＴ（
インターサーフィスダイナミクスより市販）、ＣＩＭＴＥＣＨ ＧＬ２０１５、
ＣＩＭＴＥＣＨ ＣＸ−４１７およびＣＩＭＴＥＣＨ １００（ＣＩＭＴＥＣＨ
はシンシナティミラクロンより市販）、ＤＩＡＭＯＮＤ ＫＯＯＬまたはＨＥＡ
ＶＹ ＤＵＴＹ（Ｒｈｏｄｅｓより市販）、Ｋ−４０（ＬＯＨオプティカルより
市販）、ＱＵＡＫＥＲ １０１（クウェーカーステートより市販）、ＳＹＮＴＩ
ＬＯ ９９３０（Ｃａｓｔｒｏｌインダストリアルより市販）、ＴＩＭ ＨＭ（
マスターケミカルより市販）、ＬＯＮＧ−ＬＩＦＥ ２０／２０（ＮＣＨ社より
市販）、ＢＬＡＳＥＣＵＴ ８８３（Ｂｌａｓｅｒ Ｓｗｉｓｓｌｕｂｅより市
販）、ＩＣＦ−３１ＮＦ（Ｄｕ Ｂｏｉｓより市販）、ＳＰＥＣＴＲＡ−ＣＯＯ
Ｌ（Ｓａｌｅｍより市販）、ＳＵＲＣＯＯＬ Ｋ−１１（テキサスＮｔａｌより
市販）、ＡＦＧ−Ｔ（ノリタケより市販）、ＳＡＦＥＴＹ−ＣＯＯＬ １３０（
Ｃａｓｔｒｏｌインダストリアルより市販）およびＲＵＳＴＬＩＣＫ（Ｄｅｖｏ
ｏｎより市販）という商品名で知られているものが挙げられる。
ｎプロダクツより市販）、ＣＨＡＬＬＥＮＧＥ ３００ＨＴまたは６０５ＨＴ（
インターサーフィスダイナミクスより市販）、ＣＩＭＴＥＣＨ ＧＬ２０１５、
ＣＩＭＴＥＣＨ ＣＸ−４１７およびＣＩＭＴＥＣＨ １００（ＣＩＭＴＥＣＨ
はシンシナティミラクロンより市販）、ＤＩＡＭＯＮＤ ＫＯＯＬまたはＨＥＡ
ＶＹ ＤＵＴＹ（Ｒｈｏｄｅｓより市販）、Ｋ−４０（ＬＯＨオプティカルより
市販）、ＱＵＡＫＥＲ １０１（クウェーカーステートより市販）、ＳＹＮＴＩ
ＬＯ ９９３０（Ｃａｓｔｒｏｌインダストリアルより市販）、ＴＩＭ ＨＭ（
マスターケミカルより市販）、ＬＯＮＧ−ＬＩＦＥ ２０／２０（ＮＣＨ社より
市販）、ＢＬＡＳＥＣＵＴ ８８３（Ｂｌａｓｅｒ Ｓｗｉｓｓｌｕｂｅより市
販）、ＩＣＦ−３１ＮＦ（Ｄｕ Ｂｏｉｓより市販）、ＳＰＥＣＴＲＡ−ＣＯＯ
Ｌ（Ｓａｌｅｍより市販）、ＳＵＲＣＯＯＬ Ｋ−１１（テキサスＮｔａｌより
市販）、ＡＦＧ−Ｔ（ノリタケより市販）、ＳＡＦＥＴＹ−ＣＯＯＬ １３０（
Ｃａｓｔｒｏｌインダストリアルより市販）およびＲＵＳＴＬＩＣＫ（Ｄｅｖｏ
ｏｎより市販）という商品名で知られているものが挙げられる。
【００６０】
用途によっては、研摩物品は支持パッドにボンドされる。支持パッドは泡（例
えば、ポリウレタンまたはゴム泡）、ゴム、エラストマーまたはその他好適な材
料から作成される。支持パッド材料の硬さおよび／または圧縮性は、所望の研削
特性（切断レート、研摩物品製品寿命およびワークピース表面仕上げ）を与える
ものを選ぶ。
えば、ポリウレタンまたはゴム泡）、ゴム、エラストマーまたはその他好適な材
料から作成される。支持パッド材料の硬さおよび／または圧縮性は、所望の研削
特性（切断レート、研摩物品製品寿命およびワークピース表面仕上げ）を与える
ものを選ぶ。
【００６１】
支持パッドは、研摩物品が固定される連続した比較的平らな表面を有している
。あるいは、支持パッドは、研摩物品が固定される、一連の***した部分と低い
部分とがある不連続表面を有していてもよい。不連続表面の場合には、研摩物品
は***した部分にのみ固定される。逆に、研摩物品を２つ以上の***した部分に
固定して、研摩物品全体が完全に支持されないようにしてもよい。支持パッド材
料の不連続表面は、潤滑剤の所望の流体フローおよび所望の研削特性（切断レー
ト、研摩物品製品寿命およびワークピース表面仕上げ）を与えるものを選ぶ。
。あるいは、支持パッドは、研摩物品が固定される、一連の***した部分と低い
部分とがある不連続表面を有していてもよい。不連続表面の場合には、研摩物品
は***した部分にのみ固定される。逆に、研摩物品を２つ以上の***した部分に
固定して、研摩物品全体が完全に支持されないようにしてもよい。支持パッド材
料の不連続表面は、潤滑剤の所望の流体フローおよび所望の研削特性（切断レー
ト、研摩物品製品寿命およびワークピース表面仕上げ）を与えるものを選ぶ。
【００６２】
支持パッドは円、矩形、四角、楕円等のような所望の形状を有する。支持パッ
ドのサイズ（最長寸法）は約５ｃｍ〜１５００ｃｍである。
ドのサイズ（最長寸法）は約５ｃｍ〜１５００ｃｍである。
【００６３】
研摩物品は、感圧接着剤、フック・アンド・ループアタッチメント、メカニカ
ルアタッチメントまたは永久接着剤により支持パッドに固定される。アタッチメ
ントは、研摩物品を支持パッドにしっかりと固定でき、ガラス研削の厳密さ（湿
潤環境、熱生成および圧力）に耐えるようなものでなければならない。
ルアタッチメントまたは永久接着剤により支持パッドに固定される。アタッチメ
ントは、研摩物品を支持パッドにしっかりと固定でき、ガラス研削の厳密さ（湿
潤環境、熱生成および圧力）に耐えるようなものでなければならない。
【００６４】
本発明に好適な感圧接着剤の代表例としては、ラテックスクレープ、ロジン、
アクリルポリマーおよびコポリマー、例えば、ポリブチルアクリレート、ポリア
クリレートエステル、ビニルエーテル；例えば、ポリビニルｎ−ブチルエーテル
、アルキド接着剤、ゴム接着剤；例えば、天然ゴム、合成ゴム、塩素化ゴムおよ
びこれらの混合物が挙げられる。
アクリルポリマーおよびコポリマー、例えば、ポリブチルアクリレート、ポリア
クリレートエステル、ビニルエーテル；例えば、ポリビニルｎ−ブチルエーテル
、アルキド接着剤、ゴム接着剤；例えば、天然ゴム、合成ゴム、塩素化ゴムおよ
びこれらの混合物が挙げられる。
【００６５】
あるいは、研摩物品を支持パッドに固定するためにフック・アンド・ループタ
イプのアタッチメントシステムを研摩物品が含んでいてもよい。ループ布帛をコ
ートされた研摩剤の裏側にし、フックをバックアップパッドに付けてもよい。こ
の代わりに、フックをコートされた研摩剤の裏側にし、ループをバックアップパ
ッドに付けてもよい。このフック・アンド・ループタイプのアタッチメントシス
テムについては、さらに米国特許第４，６０９，５８１号、第５，２５４，１９
４号および第５，５０５，７４７号およびＰＣＴ ＷＯ第９５／１９２４２号に
記載されている。
イプのアタッチメントシステムを研摩物品が含んでいてもよい。ループ布帛をコ
ートされた研摩剤の裏側にし、フックをバックアップパッドに付けてもよい。こ
の代わりに、フックをコートされた研摩剤の裏側にし、ループをバックアップパ
ッドに付けてもよい。このフック・アンド・ループタイプのアタッチメントシス
テムについては、さらに米国特許第４，６０９，５８１号、第５，２５４，１９
４号および第５，５０５，７４７号およびＰＣＴ ＷＯ第９５／１９２４２号に
記載されている。
【００６６】
実施例
以下の実施例により本発明をさらに説明するが、これに限られるものではない
。実施例における部、パーセンテージ、比率等はすべて、特に断らない限り、重
量基準である。
。実施例における部、パーセンテージ、比率等はすべて、特に断らない限り、重
量基準である。
【００６７】
実施例１：
デキストリン（Ａ．Ｅ．スタンリー社（イリノイ州、Ｄｅｃａｔｕｒ）より「
ＳＴＡＮＤＥＸ２３０」という商品名で市販）６４重量部を脱イオン水３６重量
部に溶解することにより仮バインダー溶液を調製した。
ＳＴＡＮＤＥＸ２３０」という商品名で市販）６４重量部を脱イオン水３６重量
部に溶解することにより仮バインダー溶液を調製した。
【００６８】
仮バインダー溶液１０８．０ｇ、Ｂ２Ｏ３を１８．０％、Ａｌ２Ｏ３を８．５
％、ＢａＯを２．８％、ＣａＯを１．１％、Ｎａ２Ｏを２．１％、Ｋ２Ｏを２．
９％、Ｌｉ２Ｏを１．０％およびＳｉＯ２を６３．６％含むアルミナ−ホウケイ
酸塩ガラス（スペシャルティガラス社（フロリダ州、Ｏｌｄｓｍａｒ）より市販
）１２０．０ｇ、公称粒子サイズ６μｍのダイアモンド研摩粒子（アメリカンボ
アーツクラッシュング社（フロリダ州、Ｂｏｃａ Ｒａｔｏｎ）より市販）１２
０．０ｇを含むスラリーをプロペラ攪拌翼で５分間完全に攪拌し、超音波浴（型
番コール−パルマー８８５２（コール−パルマーインスツルメント社（イリノイ
州、シカゴ））において４７ｋＨｚの周波数で３０分間攪拌した。得られたスラ
リーをポリプロピレン製造ツールのキャビティにコートし、過剰のスラリーをド
クターブレードにより除去した。製造ツールは、米国特許第５，１５２，９１７
号（Ｐｉｅｐｅｒら）の教示に従って作成した。ポリプロピレン製造ツールのキ
ャビティは、深さが３５６μｍ、開口が４９３μｍ×４９３μｍ、ベースが３０
２μｍ×３０２μｍの角錐台の形態であった。スラリーを製造ツールのキャビテ
ィ中で室温で１時間空気乾燥した後、７５℃で１時間強制空気で乾燥した。乾燥
後、乾燥した研摩複合材料前駆体を製造ツールの裏側表面を、超音波駆動振動チ
タンバー（ブランソン超音波インスツルメンツ（コネチカット州、ダンブリー）
より「ブランソン９０２Ｒ」という商品名で市販）と接触させることにより製造
ツールから外した。乾燥した前駆体を耐火型さや（ｓａｇｅｒ）（Ｉｐｓｅｎセ
ラミック（イリノイ州、Ｐｅｃａｔｏｎｉｃａ）より市販）で焼成した。焼成温
度を２℃／分の速度で室温から約４５０℃まで上げた後、仮バインダーを焼くた
めに約４５０℃で１．５時間保持した。前駆体を２℃／分の速度で７２０℃まで
加熱した後、７２０℃で空気雰囲気中１．５時間保持した。焼成後、得られた多
孔性セラミック研摩複合材料を約２℃／分の速度で室温まで冷やした。
％、ＢａＯを２．８％、ＣａＯを１．１％、Ｎａ２Ｏを２．１％、Ｋ２Ｏを２．
９％、Ｌｉ２Ｏを１．０％およびＳｉＯ２を６３．６％含むアルミナ−ホウケイ
酸塩ガラス（スペシャルティガラス社（フロリダ州、Ｏｌｄｓｍａｒ）より市販
）１２０．０ｇ、公称粒子サイズ６μｍのダイアモンド研摩粒子（アメリカンボ
アーツクラッシュング社（フロリダ州、Ｂｏｃａ Ｒａｔｏｎ）より市販）１２
０．０ｇを含むスラリーをプロペラ攪拌翼で５分間完全に攪拌し、超音波浴（型
番コール−パルマー８８５２（コール−パルマーインスツルメント社（イリノイ
州、シカゴ））において４７ｋＨｚの周波数で３０分間攪拌した。得られたスラ
リーをポリプロピレン製造ツールのキャビティにコートし、過剰のスラリーをド
クターブレードにより除去した。製造ツールは、米国特許第５，１５２，９１７
号（Ｐｉｅｐｅｒら）の教示に従って作成した。ポリプロピレン製造ツールのキ
ャビティは、深さが３５６μｍ、開口が４９３μｍ×４９３μｍ、ベースが３０
２μｍ×３０２μｍの角錐台の形態であった。スラリーを製造ツールのキャビテ
ィ中で室温で１時間空気乾燥した後、７５℃で１時間強制空気で乾燥した。乾燥
後、乾燥した研摩複合材料前駆体を製造ツールの裏側表面を、超音波駆動振動チ
タンバー（ブランソン超音波インスツルメンツ（コネチカット州、ダンブリー）
より「ブランソン９０２Ｒ」という商品名で市販）と接触させることにより製造
ツールから外した。乾燥した前駆体を耐火型さや（ｓａｇｅｒ）（Ｉｐｓｅｎセ
ラミック（イリノイ州、Ｐｅｃａｔｏｎｉｃａ）より市販）で焼成した。焼成温
度を２℃／分の速度で室温から約４５０℃まで上げた後、仮バインダーを焼くた
めに約４５０℃で１．５時間保持した。前駆体を２℃／分の速度で７２０℃まで
加熱した後、７２０℃で空気雰囲気中１．５時間保持した。焼成後、得られた多
孔性セラミック研摩複合材料を約２℃／分の速度で室温まで冷やした。
【００６９】
得られた研摩複合材料の強度を、フォースゲージ（Ｓｈｉｍｐｏインスツルメ
ンツ（イリノイ州、リンカーンウッド）製型番ＦＧＶ−５０Ａ）を用いて圧縮す
ることにより測定した。セラミック研摩複合材料の内側荷重破壊は約１２ｌｂ（
５．５ｋｇ）であった。得られた多孔性セラミック研摩複合材料の顕微鏡写真に
よれば、約１〜２０μｍの孔が存在していた。
ンツ（イリノイ州、リンカーンウッド）製型番ＦＧＶ−５０Ａ）を用いて圧縮す
ることにより測定した。セラミック研摩複合材料の内側荷重破壊は約１２ｌｂ（
５．５ｋｇ）であった。得られた多孔性セラミック研摩複合材料の顕微鏡写真に
よれば、約１〜２０μｍの孔が存在していた。
【００７０】
直径約８インチ（２０．３ｃｍ）×厚さ０．０６０ｉｎ（１．５２ｍｍ）のデ
ィスク形状の青銅裏材を、３０９アンペア／ｍ２の電流密度で５分間、硫酸ニッ
ケル浴（約２８０グラム／リットルの硫酸ニッケル、６０グラム／リットルの塩
化ニッケルおよび４４グラム／リットルのホウ酸を含む）でニッケルプレシュー
トコーティングによりめっきした。ニッケルのコートされた青銅裏材をスルファ
ミン酸ニッケル浴（約４７５グラム／リットルのスルファミン酸ニッケル、２５
グラム／リットルの塩化ニッケルおよび３３グラム／リットルのホウ酸を含む）
に移した。スルファミン酸ニッケル浴で、上述のセラミック研摩複合材料を浴に
入れ、重力の影響によりニッケルのコートされた青銅裏材の表面に沈殿させた。
研摩複合材料を、約０．０６ｇ／ｃｍ２の密度で裏材の表面に不規則に電着させ
た。スルファミン酸ニッケル浴から、２４７アンペア／ｍ２の電流密度で１．５
時間ニッケル金属のコーティングを電気めっきすることにより、研摩複合材料を
裏材に固定した。
ィスク形状の青銅裏材を、３０９アンペア／ｍ２の電流密度で５分間、硫酸ニッ
ケル浴（約２８０グラム／リットルの硫酸ニッケル、６０グラム／リットルの塩
化ニッケルおよび４４グラム／リットルのホウ酸を含む）でニッケルプレシュー
トコーティングによりめっきした。ニッケルのコートされた青銅裏材をスルファ
ミン酸ニッケル浴（約４７５グラム／リットルのスルファミン酸ニッケル、２５
グラム／リットルの塩化ニッケルおよび３３グラム／リットルのホウ酸を含む）
に移した。スルファミン酸ニッケル浴で、上述のセラミック研摩複合材料を浴に
入れ、重力の影響によりニッケルのコートされた青銅裏材の表面に沈殿させた。
研摩複合材料を、約０．０６ｇ／ｃｍ２の密度で裏材の表面に不規則に電着させ
た。スルファミン酸ニッケル浴から、２４７アンペア／ｍ２の電流密度で１．５
時間ニッケル金属のコーティングを電気めっきすることにより、研摩複合材料を
裏材に固定した。
【００７１】
研摩複合材料の固定された裏材を、４３２アンペア／ｍ２の電流密度で１００
分間、硫酸ニッケル浴（約２８０グラム／リットルの硫酸ニッケル、６０グラム
／リットルの塩化ニッケルおよび４４グラム／リットルのホウ酸を含む）で第２
のニッケルコーティングを適用した。電着はすべて３．５ボルトの印加電圧で行
われた。
分間、硫酸ニッケル浴（約２８０グラム／リットルの硫酸ニッケル、６０グラム
／リットルの塩化ニッケルおよび４４グラム／リットルのホウ酸を含む）で第２
のニッケルコーティングを適用した。電着はすべて３．５ボルトの印加電圧で行
われた。
【００７２】
実施例１の研摩物品の研摩性能を、３インチ（７．６２ｃｍ）×０．５インチ
（１．２７ｃｍ）のフロートガラスディスク（フロートガラスは、Ｂｒｉｎノー
スウェスタン（ミネソタ州、Ｍｐｌｓ）より市販されており、所望のサイズにウ
ォータジェットで切断されたもの）で得られる除去レート（切断レート）を測定
することにより評価した。研摩物品を、５００ｒｐｍ、接触圧力８．４ｐｓｉ（
５９００ｋｇ／ｍ２）で変速ポリッシャ（Ｂｕｅｈｌｅｒ社（イリノイ州、Ｌａ
ｋｅ Ｂｌｕｆｆ）より「ＢＵＥＨＬＥＲ ＥＣＯＭＥＴ」という商品名で市販
）上で回転させた。水中２０重量％のグリセロール（Ｅ．Ｍ．サイエンス（ニュ
ージャージー州、チェリーヒル）より市販）を含む潤滑剤を研摩物品とワークピ
ースの間に、約２４．４ｆｔ３／分（４００ｃｍ３／分）の流速で適用した。こ
の試験の結果を表１にまとめてある。
（１．２７ｃｍ）のフロートガラスディスク（フロートガラスは、Ｂｒｉｎノー
スウェスタン（ミネソタ州、Ｍｐｌｓ）より市販されており、所望のサイズにウ
ォータジェットで切断されたもの）で得られる除去レート（切断レート）を測定
することにより評価した。研摩物品を、５００ｒｐｍ、接触圧力８．４ｐｓｉ（
５９００ｋｇ／ｍ２）で変速ポリッシャ（Ｂｕｅｈｌｅｒ社（イリノイ州、Ｌａ
ｋｅ Ｂｌｕｆｆ）より「ＢＵＥＨＬＥＲ ＥＣＯＭＥＴ」という商品名で市販
）上で回転させた。水中２０重量％のグリセロール（Ｅ．Ｍ．サイエンス（ニュ
ージャージー州、チェリーヒル）より市販）を含む潤滑剤を研摩物品とワークピ
ースの間に、約２４．４ｆｔ３／分（４００ｃｍ３／分）の流速で適用した。こ
の試験の結果を表１にまとめてある。
【００７３】
比較例Ａ：
比較例Ａは、ミネソタマイニング・アンド・マニュファクチュアリング社（ミ
ネソタ州、セントポール）より市販されている６μｍの金属がボンドされたダイ
アモンドディスクである。比較例Ａは、ディスク表面に電気めっき金属コーティ
ングにより６μｍのダイアモンド研摩粒子の単層を有する８インチ（２０．３ｃ
ｍ）の青銅ディスクである。
ネソタ州、セントポール）より市販されている６μｍの金属がボンドされたダイ
アモンドディスクである。比較例Ａは、ディスク表面に電気めっき金属コーティ
ングにより６μｍのダイアモンド研摩粒子の単層を有する８インチ（２０．３ｃ
ｍ）の青銅ディスクである。
【００７４】
比較例Ａの研摩物品の研摩性能を、３インチ（７．６２ｃｍ）×０．５インチ
（１．２７ｃｍ）のフロートガラスディスク（フロートガラスは、Ｂｒｉｎノー
スウェスタン（ミネソタ州、Ｍｐｌｓ）より市販されており、あるサイズにウォ
ータジェットで切断されたもの）で得られる除去レート（切断レート）を測定す
ることにより評価した。研摩物品を、５００ｒｐｍ、接触圧力８．４ｐｓｉ（５
９００ｋｇ／ｍ２）で変速ポリッシャ（Ｂｕｅｈｌｅｒ社（イリノイ州、Ｌａｋ
ｅ Ｂｌｕｆｆ）より「ＢＵＥＨＬＥＲ ＥＣＯＭＥＴ」という商品名で市販）
上で回転させた。水中２０重量％のグリセロール（Ｅ．Ｍ．サイエンス（ニュー
ジャージー州、チェリーヒル）より市販）を含む潤滑剤を研摩物品とワークピー
スの間に、約２４．４ｆｔ３／分（４００ｃｍ３／分）の流速で適用した。この
試験の結果を表１にまとめてある。
（１．２７ｃｍ）のフロートガラスディスク（フロートガラスは、Ｂｒｉｎノー
スウェスタン（ミネソタ州、Ｍｐｌｓ）より市販されており、あるサイズにウォ
ータジェットで切断されたもの）で得られる除去レート（切断レート）を測定す
ることにより評価した。研摩物品を、５００ｒｐｍ、接触圧力８．４ｐｓｉ（５
９００ｋｇ／ｍ２）で変速ポリッシャ（Ｂｕｅｈｌｅｒ社（イリノイ州、Ｌａｋ
ｅ Ｂｌｕｆｆ）より「ＢＵＥＨＬＥＲ ＥＣＯＭＥＴ」という商品名で市販）
上で回転させた。水中２０重量％のグリセロール（Ｅ．Ｍ．サイエンス（ニュー
ジャージー州、チェリーヒル）より市販）を含む潤滑剤を研摩物品とワークピー
スの間に、約２４．４ｆｔ３／分（４００ｃｍ３／分）の流速で適用した。この
試験の結果を表１にまとめてある。
【００７５】
【表１】
表１
【００７６】
実施例２：
デキストリン（Ａ．Ｅ．スタンリー社（イリノイ州、Ｄｅｃａｔｕｒ）より「
ＳＴＡＮＤＥＸ２３０」という商品名で市販）６４重量部を脱イオン水３６重量
部に溶解することにより仮バインダー溶液を調製した。
ＳＴＡＮＤＥＸ２３０」という商品名で市販）６４重量部を脱イオン水３６重量
部に溶解することにより仮バインダー溶液を調製した。
【００７７】
仮バインダー溶液８１．０ｇ、Ｂ２Ｏ３を１８．０％、Ａｌ２Ｏ３を８．５％
、ＢａＯを２．８％、ＣａＯを１．１％、Ｎａ２Ｏを２．１％、Ｋ２Ｏを２．９
％、Ｌｉ２Ｏを１．０％およびＳｉＯ２を６３．６％含むアルミナ−ホウケイ酸
塩ガラス（スペシャルティガラス社（フロリダ州、Ｏｌｄｓｍａｒ）より市販）
１２０．０ｇ、称呼粒子サイズ７４μｍのダイアモンド研摩粒子（アメリカンボ
アーツクラッシュング社（フロリダ州、Ｂｏｃａ Ｒａｔｏｎ）より市販）６０
．０ｇを含むスラリーをプロペラ攪拌翼で５分間完全に攪拌し、超音波浴（型番
コール−パルマー８８５２（コール−パルマーインスツルメント社（イリノイ州
、シカゴ））において４７ｋＨｚの周波数で３０分間攪拌した。得られたスラリ
ーをポリプロピレン製造ツールのキャビティにコートし、過剰のスラリーをドク
ターブレードにより除去した。製造ツールは、米国特許第５，１５２，９１７号
（Ｐｉｅｐｅｒら）の教示に従って作成した。ポリプロピレン製造ツールのキャ
ビティは、深さが３５６μｍ、開口が４９３μｍ×４９３μｍ、ベースが３０２
μｍ×３０２μｍの角錐台の形態であった。スラリーを製造ツールのキャビティ
中で室温で１時間空気乾燥した後、７５℃で１時間強制空気で乾燥した。乾燥後
、乾燥した研摩複合材料前駆体を、超音波駆動振動チタンバー（ブランソン超音
波インスツルメンツ（コネチカット州、ダンブリー）より「ブランソン９０２Ｒ
」という商品名で市販）を用いて製造ツールから外した。乾燥した前駆体を耐火
型さや（Ｉｐｓｅｎセラミック（イリノイ州、Ｐｅｃａｔｏｎｉｃａ）より市販
）で焼成した。焼成温度を２℃／分の速度で室温から約４５０℃まで上げた後、
仮バインダーを焼くために約４５０℃で１．５時間保持した。前駆体を２℃／分
の速度で７２０℃まで加熱した後、７２０℃で空気雰囲気中１．５時間保持した
。焼成後、得られた多孔性セラミック研摩複合材料を約２℃／分の速度で室温ま
で冷やした。
、ＢａＯを２．８％、ＣａＯを１．１％、Ｎａ２Ｏを２．１％、Ｋ２Ｏを２．９
％、Ｌｉ２Ｏを１．０％およびＳｉＯ２を６３．６％含むアルミナ−ホウケイ酸
塩ガラス（スペシャルティガラス社（フロリダ州、Ｏｌｄｓｍａｒ）より市販）
１２０．０ｇ、称呼粒子サイズ７４μｍのダイアモンド研摩粒子（アメリカンボ
アーツクラッシュング社（フロリダ州、Ｂｏｃａ Ｒａｔｏｎ）より市販）６０
．０ｇを含むスラリーをプロペラ攪拌翼で５分間完全に攪拌し、超音波浴（型番
コール−パルマー８８５２（コール−パルマーインスツルメント社（イリノイ州
、シカゴ））において４７ｋＨｚの周波数で３０分間攪拌した。得られたスラリ
ーをポリプロピレン製造ツールのキャビティにコートし、過剰のスラリーをドク
ターブレードにより除去した。製造ツールは、米国特許第５，１５２，９１７号
（Ｐｉｅｐｅｒら）の教示に従って作成した。ポリプロピレン製造ツールのキャ
ビティは、深さが３５６μｍ、開口が４９３μｍ×４９３μｍ、ベースが３０２
μｍ×３０２μｍの角錐台の形態であった。スラリーを製造ツールのキャビティ
中で室温で１時間空気乾燥した後、７５℃で１時間強制空気で乾燥した。乾燥後
、乾燥した研摩複合材料前駆体を、超音波駆動振動チタンバー（ブランソン超音
波インスツルメンツ（コネチカット州、ダンブリー）より「ブランソン９０２Ｒ
」という商品名で市販）を用いて製造ツールから外した。乾燥した前駆体を耐火
型さや（Ｉｐｓｅｎセラミック（イリノイ州、Ｐｅｃａｔｏｎｉｃａ）より市販
）で焼成した。焼成温度を２℃／分の速度で室温から約４５０℃まで上げた後、
仮バインダーを焼くために約４５０℃で１．５時間保持した。前駆体を２℃／分
の速度で７２０℃まで加熱した後、７２０℃で空気雰囲気中１．５時間保持した
。焼成後、得られた多孔性セラミック研摩複合材料を約２℃／分の速度で室温ま
で冷やした。
【００７８】
得られた研摩複合材料の強度を、フォースゲージ（Ｓｈｉｍｐｏインスツルメ
ンツ（イリノイ州、リンカーンウッド）製型番ＦＧＶ−５０Ａ）を用いて圧縮す
ることにより測定した。複合材料の内側荷重破壊は約１２ｌｂ（５．５ｋｇ）で
あった。得られた多孔性セラミック研摩複合材料の顕微鏡写真によれば、約１〜
２０μｍの孔が存在していた。
ンツ（イリノイ州、リンカーンウッド）製型番ＦＧＶ−５０Ａ）を用いて圧縮す
ることにより測定した。複合材料の内側荷重破壊は約１２ｌｂ（５．５ｋｇ）で
あった。得られた多孔性セラミック研摩複合材料の顕微鏡写真によれば、約１〜
２０μｍの孔が存在していた。
【００７９】
直径約８インチ（２０．３ｃｍ）×厚さ０．０６０ｉｎ（１．５２ｍｍ）のデ
ィスク形状の青銅裏材を、３０９アンペア／ｍ２の電流密度で５分間、硫酸ニッ
ケル浴（約２８０グラム／リットルの硫酸ニッケル、６０グラム／リットルの塩
化ニッケルおよび４４グラム／リットルのホウ酸を含む）でニッケルプレシュー
トコーティングによりめっきした。ニッケルのコートされた青銅裏材をスルファ
ミン酸ニッケル浴（約４７５グラム／リットルのスルファミン酸ニッケル、２５
グラム／リットルの塩化ニッケルおよび３３グラム／リットルのホウ酸を含む）
に移した。スルファミン酸ニッケル浴で、上述のセラミック研摩複合材料を浴に
入れ、重力の影響によりニッケルのコートされた青銅裏材の表面に沈殿させた。
研摩複合材料を、約０．２８ｇ／ｃｍ２の密度で裏材の表面に不規則に電着させ
た。スルファミン酸ニッケル浴から、２４７アンペア／ｍ２の電流密度で１．０
時間ニッケル金属のコーティングを電気めっきすることにより、研摩複合材料を
裏材に固定した。
ィスク形状の青銅裏材を、３０９アンペア／ｍ２の電流密度で５分間、硫酸ニッ
ケル浴（約２８０グラム／リットルの硫酸ニッケル、６０グラム／リットルの塩
化ニッケルおよび４４グラム／リットルのホウ酸を含む）でニッケルプレシュー
トコーティングによりめっきした。ニッケルのコートされた青銅裏材をスルファ
ミン酸ニッケル浴（約４７５グラム／リットルのスルファミン酸ニッケル、２５
グラム／リットルの塩化ニッケルおよび３３グラム／リットルのホウ酸を含む）
に移した。スルファミン酸ニッケル浴で、上述のセラミック研摩複合材料を浴に
入れ、重力の影響によりニッケルのコートされた青銅裏材の表面に沈殿させた。
研摩複合材料を、約０．２８ｇ／ｃｍ２の密度で裏材の表面に不規則に電着させ
た。スルファミン酸ニッケル浴から、２４７アンペア／ｍ２の電流密度で１．０
時間ニッケル金属のコーティングを電気めっきすることにより、研摩複合材料を
裏材に固定した。
【００８０】
研摩複合材料の固定された裏材を、硫酸ニッケル浴（約２８０グラム／リット
ルの硫酸ニッケル、６０グラム／リットルの塩化ニッケルおよび４４グラム／リ
ットルのホウ酸を含む）に移し、３０８アンペア／ｍ２の電流密度で６０分間、
第２のニッケルコーティングを適用した。電着はすべて３．５ボルトの印加電圧
で行われた。
ルの硫酸ニッケル、６０グラム／リットルの塩化ニッケルおよび４４グラム／リ
ットルのホウ酸を含む）に移し、３０８アンペア／ｍ２の電流密度で６０分間、
第２のニッケルコーティングを適用した。電着はすべて３．５ボルトの印加電圧
で行われた。
【００８１】
実施例２の研摩物品の研摩性能を、３インチ（７．６２ｃｍ）×０．５インチ
（１．２７ｃｍ）のフロートガラスディスク（フロートガラスは、Ｂｒｉｎノー
スウェスタン（ミネソタ州、Ｍｐｌｓ）より市販されており、あるサイズにウォ
ータジェットで切断されたもの）で得られる除去レート（切断レート）を測定す
ることにより評価した。研摩物品を、５００ｒｐｍ、接触圧力８．４ｐｓｉ（５
９００ｋｇ／ｍ２）で変速ポリッシャ（Ｂｕｅｈｌｅｒ社（イリノイ州、Ｌａｋ
ｅ Ｂｌｕｆｆ）より「ＢＵＥＨＬＥＲ ＥＣＯＭＥＴ」という商品名で市販）
上で回転させた。水中２０重量％のグリセロール（Ｅ．Ｍ．サイエンス（ニュー
ジャージー州、チェリーヒル）より市販）を含む潤滑剤を研摩物品とワークピー
スの間に、約２４．４ｆｔ３／分（４００ｃｍ３／分）の流速で適用した。この
試験の結果を表２にまとめてある。
（１．２７ｃｍ）のフロートガラスディスク（フロートガラスは、Ｂｒｉｎノー
スウェスタン（ミネソタ州、Ｍｐｌｓ）より市販されており、あるサイズにウォ
ータジェットで切断されたもの）で得られる除去レート（切断レート）を測定す
ることにより評価した。研摩物品を、５００ｒｐｍ、接触圧力８．４ｐｓｉ（５
９００ｋｇ／ｍ２）で変速ポリッシャ（Ｂｕｅｈｌｅｒ社（イリノイ州、Ｌａｋ
ｅ Ｂｌｕｆｆ）より「ＢＵＥＨＬＥＲ ＥＣＯＭＥＴ」という商品名で市販）
上で回転させた。水中２０重量％のグリセロール（Ｅ．Ｍ．サイエンス（ニュー
ジャージー州、チェリーヒル）より市販）を含む潤滑剤を研摩物品とワークピー
スの間に、約２４．４ｆｔ３／分（４００ｃｍ３／分）の流速で適用した。この
試験の結果を表２にまとめてある。
【００８２】
比較例Ｂ：
比較例Ｂは、ミネソタマイニング・アンド・マニュファクチュアリング社（ミ
ネソタ州、セントポール）より市販されている７４μｍの金属がボンドされたダ
イアモンドディスクである。比較例Ｂは、青銅ディスク表面に電気めっき金属コ
ーティングにより７４μｍのダイアモンド研摩粒子の単層を有する８インチ（２
０．３ｃｍ）の青銅ディスクである。
ネソタ州、セントポール）より市販されている７４μｍの金属がボンドされたダ
イアモンドディスクである。比較例Ｂは、青銅ディスク表面に電気めっき金属コ
ーティングにより７４μｍのダイアモンド研摩粒子の単層を有する８インチ（２
０．３ｃｍ）の青銅ディスクである。
【００８３】
比較例Ｂの研摩物品の研摩性能を、３インチ（７．６２ｃｍ）×０．５インチ
（１．２７ｃｍ）のフロートガラスディスク（フロートガラスは、Ｂｒｉｎノー
スウェスタン（ミネソタ州、Ｍｐｌｓ）より市販されており、あるサイズにウォ
ータジェットで切断されたもの）で得られる除去レート（切断レート）を測定す
ることにより評価した。研摩物品を、５００ｒｐｍ、接触圧力８．４ｐｓｉ（５
９００ｋｇ／ｍ２）で変速ポリッシャ（Ｂｕｅｈｌｅｒ社（イリノイ州、Ｌａｋ
ｅ Ｂｌｕｆｆ）より「ＢＵＥＨＬＥＲ ＥＣＯＭＥＴ」という商品名で市販）
上で回転させた。水中２０重量％のグリセロール（Ｅ．Ｍ．サイエンス（ニュー
ジャージー州、チェリーヒル）より市販）を含む潤滑剤を研摩物品とワークピー
スの間に、約２４．４ｆｔ３／分（４００ｃｍ３／分）の流速で適用した。この
試験の結果を表２にまとめてある。
（１．２７ｃｍ）のフロートガラスディスク（フロートガラスは、Ｂｒｉｎノー
スウェスタン（ミネソタ州、Ｍｐｌｓ）より市販されており、あるサイズにウォ
ータジェットで切断されたもの）で得られる除去レート（切断レート）を測定す
ることにより評価した。研摩物品を、５００ｒｐｍ、接触圧力８．４ｐｓｉ（５
９００ｋｇ／ｍ２）で変速ポリッシャ（Ｂｕｅｈｌｅｒ社（イリノイ州、Ｌａｋ
ｅ Ｂｌｕｆｆ）より「ＢＵＥＨＬＥＲ ＥＣＯＭＥＴ」という商品名で市販）
上で回転させた。水中２０重量％のグリセロール（Ｅ．Ｍ．サイエンス（ニュー
ジャージー州、チェリーヒル）より市販）を含む潤滑剤を研摩物品とワークピー
スの間に、約２４．４ｆｔ３／分（４００ｃｍ３／分）の流速で適用した。この
試験の結果を表２にまとめてある。
【００８４】
【表２】
表２
【００８５】
Ｒａ（表面粗さ）は、側面計（ランクテイラーホブソン（英国、Ｌｅｉｃｅｓ
ｔｅｒ）より「ＴＡＹＬＯＲ−ＨＯＢＳＯＮ ＳＵＲＴＲＯＮＩＣ ３」という
商品名で市販されている）を用いて測定された。実施例１の研摩物品により研摩
されたワークピースのＲａは０．９９〜１．５２μｍであった。比較例Ａの研摩
物品により研摩されたワークピースのＲａは１．７２〜２．１２μｍであった。
ｔｅｒ）より「ＴＡＹＬＯＲ−ＨＯＢＳＯＮ ＳＵＲＴＲＯＮＩＣ ３」という
商品名で市販されている）を用いて測定された。実施例１の研摩物品により研摩
されたワークピースのＲａは０．９９〜１．５２μｍであった。比較例Ａの研摩
物品により研摩されたワークピースのＲａは１．７２〜２．１２μｍであった。
【００８６】
実施例３：
デキストリン（Ａ．Ｅ．スタンリー社（イリノイ州、Ｄｅｃａｔｕｒ）より「
ＳＴＡＮＤＥＸ２３０」という商品名で市販）２２．５重量部を脱イオン水６７
．５重量部に溶解することにより仮バインダー溶液を調製した。仮バインダー溶
液を、吸引器を補助として用いて、ろ紙によりろ過し、粗い粒子を除去した。
ＳＴＡＮＤＥＸ２３０」という商品名で市販）２２．５重量部を脱イオン水６７
．５重量部に溶解することにより仮バインダー溶液を調製した。仮バインダー溶
液を、吸引器を補助として用いて、ろ紙によりろ過し、粗い粒子を除去した。
【００８７】
仮バインダー溶液９０．０ｇ、Ｂ２Ｏ３を１８．０％、Ａｌ２Ｏ３を８．５％
、ＢａＯを２．８％、ＣａＯを１．１％、Ｎａ２Ｏを２．１％、Ｋ２Ｏを２．９
％、Ｌｉ２Ｏを１．０％およびＳｉＯ２を６３．６％含むアルミナ−ホウケイ酸
塩ガラス（スペシャルティガラス社（フロリダ州、Ｏｌｄｓｍａｒ）より市販）
９０．０ｇ、称呼粒子サイズ０．３μｍのダイアモンド研摩粒子（アメリカンボ
アーツクラッシュング社（フロリダ州、Ｂｏｃａ Ｒａｔｏｎ）より市販）３０
．０ｇ、Ｃｙａｎａｓｏｌ ＡＹ５０（アメリカンシアナミド社（ニュージャー
ジー州、Ｐａｒｓｉｐｐａｎｙ）より市販）１．２ｇおよびダウ添加剤６５（ダ
ウコーニング（ミシガン州、ミッドランド）より市販）０．４ｇを含むスラリー
をプロペラ攪拌翼で５分間完全に攪拌し、超音波浴（型番コール−パルマー８８
５２（コール−パルマーインスツルメント社（イリノイ州、シカゴ））において
４７ｋＨｚの周波数で３０分間攪拌した。得られたスラリーをポリプロピレン製
造ツールのキャビティにコートし、過剰のスラリーをドクターブレードにより除
去した。製造ツールは、米国特許第５，１５２，９１７号（Ｐｉｅｐｅｒら）の
教示に従って作成した。ポリプロピレン製造ツールのキャビティは、深さが３５
６μｍ、開口が４９３μｍ×４９３μｍ、ベースが３０２μｍ×３０２μｍの角
錐台の形態であった。製造ツールのキャビティにあるスラリーを室温で１時間空
気乾燥した後、７５℃で１時間強制空気で乾燥した。乾燥後、乾燥した研摩複合
材料前駆体を、超音波駆動振動チタンバー（ブランソン超音波インスツルメンツ
（コネチカット州、ダンブリー）より「ブランソン９０２Ｒ」という商品名で市
販）を用いて製造ツールから外した。乾燥した前駆体を耐火型さや（Ｉｐｓｅｎ
セラミック（イリノイ州、Ｐｅｃａｔｏｎｉｃａ）より市販）で焼成した。焼成
温度を１．５℃／分の速度で室温から約４００℃まで上げた後、仮バインダーを
焼くために約４００℃で２．０時間保持した。前駆体を１．５℃／分の速度で７
００℃まで加熱した後、７００℃で空気雰囲気中１．０時間保持した。焼成後、
得られた多孔性セラミック研摩複合材料を約２℃／分の速度で室温まで冷やした
。
、ＢａＯを２．８％、ＣａＯを１．１％、Ｎａ２Ｏを２．１％、Ｋ２Ｏを２．９
％、Ｌｉ２Ｏを１．０％およびＳｉＯ２を６３．６％含むアルミナ−ホウケイ酸
塩ガラス（スペシャルティガラス社（フロリダ州、Ｏｌｄｓｍａｒ）より市販）
９０．０ｇ、称呼粒子サイズ０．３μｍのダイアモンド研摩粒子（アメリカンボ
アーツクラッシュング社（フロリダ州、Ｂｏｃａ Ｒａｔｏｎ）より市販）３０
．０ｇ、Ｃｙａｎａｓｏｌ ＡＹ５０（アメリカンシアナミド社（ニュージャー
ジー州、Ｐａｒｓｉｐｐａｎｙ）より市販）１．２ｇおよびダウ添加剤６５（ダ
ウコーニング（ミシガン州、ミッドランド）より市販）０．４ｇを含むスラリー
をプロペラ攪拌翼で５分間完全に攪拌し、超音波浴（型番コール−パルマー８８
５２（コール−パルマーインスツルメント社（イリノイ州、シカゴ））において
４７ｋＨｚの周波数で３０分間攪拌した。得られたスラリーをポリプロピレン製
造ツールのキャビティにコートし、過剰のスラリーをドクターブレードにより除
去した。製造ツールは、米国特許第５，１５２，９１７号（Ｐｉｅｐｅｒら）の
教示に従って作成した。ポリプロピレン製造ツールのキャビティは、深さが３５
６μｍ、開口が４９３μｍ×４９３μｍ、ベースが３０２μｍ×３０２μｍの角
錐台の形態であった。製造ツールのキャビティにあるスラリーを室温で１時間空
気乾燥した後、７５℃で１時間強制空気で乾燥した。乾燥後、乾燥した研摩複合
材料前駆体を、超音波駆動振動チタンバー（ブランソン超音波インスツルメンツ
（コネチカット州、ダンブリー）より「ブランソン９０２Ｒ」という商品名で市
販）を用いて製造ツールから外した。乾燥した前駆体を耐火型さや（Ｉｐｓｅｎ
セラミック（イリノイ州、Ｐｅｃａｔｏｎｉｃａ）より市販）で焼成した。焼成
温度を１．５℃／分の速度で室温から約４００℃まで上げた後、仮バインダーを
焼くために約４００℃で２．０時間保持した。前駆体を１．５℃／分の速度で７
００℃まで加熱した後、７００℃で空気雰囲気中１．０時間保持した。焼成後、
得られた多孔性セラミック研摩複合材料を約２℃／分の速度で室温まで冷やした
。
【００８８】
得られた研摩複合材料の強度を、フォースゲージ（Ｓｈｉｍｐｏインスツルメ
ンツ（イリノイ州、リンカーンウッド）製型番ＦＧＶ−５０Ａ）を用いて圧縮す
ることにより測定した。複合材料の内側荷重破壊は約１２ｌｂ（５．５ｋｇ）で
あった。得られた多孔性セラミック研摩複合材料の顕微鏡写真によれば、約１〜
２０μｍの孔が存在していた。
ンツ（イリノイ州、リンカーンウッド）製型番ＦＧＶ−５０Ａ）を用いて圧縮す
ることにより測定した。複合材料の内側荷重破壊は約１２ｌｂ（５．５ｋｇ）で
あった。得られた多孔性セラミック研摩複合材料の顕微鏡写真によれば、約１〜
２０μｍの孔が存在していた。
【００８９】
直径約８インチ（２０．３ｃｍ）×厚さ０．０６０ｉｎ（１．５２ｍｍ）のデ
ィスク形状の青銅裏材を、３０９アンペア／ｍ２の電流密度で５分間、硫酸ニッ
ケル浴（約２８０グラム／リットルの硫酸ニッケル、６０グラム／リットルの塩
化ニッケルおよび４４グラム／リットルのホウ酸を含む）でニッケルプレシュー
トコーティングによりめっきした。ニッケルのコートされた青銅裏材をスルファ
ミン酸ニッケル浴（約４７５グラム／リットルのスルファミン酸ニッケル、２５
グラム／リットルの塩化ニッケルおよび３３グラム／リットルのホウ酸を含む）
に移した。スルファミン酸ニッケル浴で、上述のセラミック研摩複合材料を浴に
入れ、重力の影響によりニッケルのコートされた青銅裏材の表面に沈殿させた。
研摩複合材料を、約０．０６ｇ／ｃｍ２の密度で裏材の表面に不規則に電着させ
た。スルファミン酸ニッケル浴から、２４７アンペア／ｍ２の電流密度で１．０
時間ニッケル金属のコーティングを電気めっきすることにより、研摩複合材料を
裏材に固定した。
ィスク形状の青銅裏材を、３０９アンペア／ｍ２の電流密度で５分間、硫酸ニッ
ケル浴（約２８０グラム／リットルの硫酸ニッケル、６０グラム／リットルの塩
化ニッケルおよび４４グラム／リットルのホウ酸を含む）でニッケルプレシュー
トコーティングによりめっきした。ニッケルのコートされた青銅裏材をスルファ
ミン酸ニッケル浴（約４７５グラム／リットルのスルファミン酸ニッケル、２５
グラム／リットルの塩化ニッケルおよび３３グラム／リットルのホウ酸を含む）
に移した。スルファミン酸ニッケル浴で、上述のセラミック研摩複合材料を浴に
入れ、重力の影響によりニッケルのコートされた青銅裏材の表面に沈殿させた。
研摩複合材料を、約０．０６ｇ／ｃｍ２の密度で裏材の表面に不規則に電着させ
た。スルファミン酸ニッケル浴から、２４７アンペア／ｍ２の電流密度で１．０
時間ニッケル金属のコーティングを電気めっきすることにより、研摩複合材料を
裏材に固定した。
【００９０】
研摩複合材料の固定された裏材を、硫酸ニッケル浴（約２８０グラム／リット
ルの硫酸ニッケル、６０グラム／リットルの塩化ニッケルおよび４４グラム／リ
ットルのホウ酸を含む）に移し、３０８アンペア／ｍ２の電流密度で６０分間、
第２のニッケルコーティングを適用した。電着はすべて３．５ボルトの印加電圧
で行われた。
ルの硫酸ニッケル、６０グラム／リットルの塩化ニッケルおよび４４グラム／リ
ットルのホウ酸を含む）に移し、３０８アンペア／ｍ２の電流密度で６０分間、
第２のニッケルコーティングを適用した。電着はすべて３．５ボルトの印加電圧
で行われた。
【００９１】
得られた研摩物品の研摩性能を、３インチ（７．６２ｃｍ）のＡｌＴｉＣセラ
ミックディスクワークピース（ミネソタマイニング・アンド・マニュファクチュ
アリング（ミネソタ州、セントポール）より「ＡＬＴＩＣ３１０」という商品名
で市販）での除去レート（切断レート）を測定することにより評価した。研摩物
品を、５００ｒｐｍ、接触圧力８．４ｐｓｉ（５９００ｋｇ／ｍ２）で変速ポリ
ッシャ（Ｂｕｅｈｌｅｒ社（イリノイ州、Ｌａｋｅ Ｂｌｕｆｆ）より「ＢＵＥ
ＨＬＥＲ ＥＣＯＭＥＴ」という商品名で市販）上で回転させた。水中２０重量
％のグリセロール（Ｅ．Ｍ．サイエンス（ニュージャージー州、チェリーヒル）
より市販）を含む潤滑剤を研摩物品とワークピースの間に、約２４．４ｆｔ３／
分（４００ｃｍ３／分）の流速で適用した。この試験の結果を表３にまとめてあ
る。
ミックディスクワークピース（ミネソタマイニング・アンド・マニュファクチュ
アリング（ミネソタ州、セントポール）より「ＡＬＴＩＣ３１０」という商品名
で市販）での除去レート（切断レート）を測定することにより評価した。研摩物
品を、５００ｒｐｍ、接触圧力８．４ｐｓｉ（５９００ｋｇ／ｍ２）で変速ポリ
ッシャ（Ｂｕｅｈｌｅｒ社（イリノイ州、Ｌａｋｅ Ｂｌｕｆｆ）より「ＢＵＥ
ＨＬＥＲ ＥＣＯＭＥＴ」という商品名で市販）上で回転させた。水中２０重量
％のグリセロール（Ｅ．Ｍ．サイエンス（ニュージャージー州、チェリーヒル）
より市販）を含む潤滑剤を研摩物品とワークピースの間に、約２４．４ｆｔ３／
分（４００ｃｍ３／分）の流速で適用した。この試験の結果を表３にまとめてあ
る。
【００９２】
【表３】
表３
【００９３】
Ｒａ（表面粗さ）は、側面計（Ｔｅｎｃｏｒインスツルメンツ（カリフォルニ
ア州、マウンテンビュー）より「ＴＥＮＣＯＲロングスキャン側面計型番Ｐ−２
」として市販されている）を用いて測定された。実施例３の研摩物品により研摩
されたワークピースのＲａは１６〜２１Åであった。
ア州、マウンテンビュー）より「ＴＥＮＣＯＲロングスキャン側面計型番Ｐ−２
」として市販されている）を用いて測定された。実施例３の研摩物品により研摩
されたワークピースのＲａは１６〜２１Åであった。
【００９４】
実施例４：
実施例１に記載したようにして作成した研摩物品に有機サイズコーティングを
コートした。有機サイズコーティング溶液は、レゾールフェノール樹脂（レゾー
ルフェノールは水中７８％固体であり、０．７５〜１．８％の遊離ホルムアルデ
ヒドおよび６〜８％の遊離フェノールを含んでいた）１００ｇ、水道水４０ｇ、
シランカップリング剤（ＯＳｉスペシャルティズ（コネチカット州、ダンブリー
）より「Ａ１０００」という商品名で市販）０．４ｇ、湿潤剤（ユニオンカーバ
イドより「ＳＩＬＷＥＴ Ｌ７６０４」という商品名で市販）０．４ｇ、セリア
ポリシングコンパウンド（ローヌプーラン社（フランス）より「ＯＰＡＬＩＮＥ
ポリシングコンパウンド」という商品名で市販）１２０ｇを含んでいた。有機サ
イズコーティング溶液の成分をビーカーに入れ、約３０分間混合した。有機サイ
ズコーティング溶液を実施例１に記載した研摩物品の研摩コーティングに刷毛で
塗った。研摩物品を９５℃のオーブンに１．５時間、次に１０５℃で８時間、さ
らに１３５℃で３時間入れて、サイズコーティングを硬化した。有機サイズコー
ティングのコーティング重量は０．０７ｇ／ｉｎ２（０．４５ｇ／ｃｍ２）であ
った。
コートした。有機サイズコーティング溶液は、レゾールフェノール樹脂（レゾー
ルフェノールは水中７８％固体であり、０．７５〜１．８％の遊離ホルムアルデ
ヒドおよび６〜８％の遊離フェノールを含んでいた）１００ｇ、水道水４０ｇ、
シランカップリング剤（ＯＳｉスペシャルティズ（コネチカット州、ダンブリー
）より「Ａ１０００」という商品名で市販）０．４ｇ、湿潤剤（ユニオンカーバ
イドより「ＳＩＬＷＥＴ Ｌ７６０４」という商品名で市販）０．４ｇ、セリア
ポリシングコンパウンド（ローヌプーラン社（フランス）より「ＯＰＡＬＩＮＥ
ポリシングコンパウンド」という商品名で市販）１２０ｇを含んでいた。有機サ
イズコーティング溶液の成分をビーカーに入れ、約３０分間混合した。有機サイ
ズコーティング溶液を実施例１に記載した研摩物品の研摩コーティングに刷毛で
塗った。研摩物品を９５℃のオーブンに１．５時間、次に１０５℃で８時間、さ
らに１３５℃で３時間入れて、サイズコーティングを硬化した。有機サイズコー
ティングのコーティング重量は０．０７ｇ／ｉｎ２（０．４５ｇ／ｃｍ２）であ
った。
【図１】 本発明の研摩物品の一実施形態の部分断面図。
【図１ａ】 本発明の研摩物品の一実施形態の部分断面図。
【図２】 図１の研摩物品の平面図。
【図３】 本発明の研摩物品の一実施形態の平面図。
【図４】 本発明の研摩物品の一実施形態の部分断面図。
【図５】 研摩複合材料の形状を詳述する断面図。
【図６】 セラミック研摩複合材料を形成するのに用いる製造ツールまたは
鋳型の一部分の透視図。
鋳型の一部分の透視図。
１０、１０ａ、４０：研摩物品
１２、１１２：裏材
１４、４４：第１の主面
１６、４６：第２の主面
１８、１８ａ、６１、１１８：研摩複合材料
２２：研摩粒子
２４：セラミックマトリックス
２６：ランド領域
４２：剛性裏材
４８：金属プレシュートコーティング
５０：セラミック研摩複合材料
５１：研摩粒子
５２：金属コーティング
５２ａ：第１の金属コーティング
５２ｂ：第２の金属コーティング
５３：多孔性セラミックマトリックス
５４：有機サイズコート
６２：上部表面
６３：ベース
６６：側壁
７０：鋳型
７２：略平面
７４：キャビティ
１２０：メタルボンドコーティング
１２１：コートされた領域
１２２：コートされていない領域
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｂ２４Ｄ 7/06 Ｂ２４Ｄ 7/06
(81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，
ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ
Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ
，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ，
ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ
Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ
，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，
ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，
ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，Ｃ
Ｈ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ
，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，
ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，Ｋ
Ｇ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ
，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，
ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，Ｓ
Ｄ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ
，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，
ＺＷ
Ｆターム(参考） 3C043 BB05 CC04
3C063 AA01 BA04 BA24 BB02 BB03
BB04 BC02 BC05 BF08 BG01
CC12 EE01 FF23
Claims (67)
- 【請求項１】 第１の主面と第２の主面とを有する剛性裏材と、 多孔性セラミックマトリックスに分散された複数の研摩粒子を含む複数のセラ
ミック研摩複合材料と、 前記セラミック研摩複合材料を前記裏材の主面に固定する、前記セラミック研摩
複合材料の平均高さより厚さの薄い少なくとも１つの金属コーティング とを含有する研摩物品。 - 【請求項２】 前記多孔性セラミック研摩複合材料の細孔容積が約５〜７０
％である、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項３】 前記研摩粒子のモース硬度が９以上である、請求項１記載の
研摩物品。 - 【請求項４】 前記研摩粒子が、ダイアモンド、立方晶窒化ホウ素、溶融酸
化アルミニウム、セラミック酸化アルミニウム、熱処理済み酸化アルミニウム、
炭化ケイ素、炭化ホウ素、アルミナジルコニア、酸化鉄、セリア、ガーネットお
よびこれらの混合物からなる群より選択される、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項５】 前記研摩粒子のサイズが約０．０５〜１００μｍである、請
求項１記載の研摩物品。 - 【請求項６】 前記研摩粒子が約０．０５〜１００μｍのサイズのダイアモ
ンド粒子を含む、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項７】 前記セラミック研摩複合材料および前記金属コーティング上
に設けられた有機サイズコーティングをさらに含有する、請求項１記載の物品。 - 【請求項８】 前記有機サイズコーティングが、フェノール樹脂、エポキシ
樹脂、アミノプラスト樹脂、ウレタン樹脂、アクリレート樹脂、イソシアヌレー
ト樹脂、アクリル化イソシアヌレート樹脂、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、アク
リル化エポキシ樹脂、アクリル化ウレタン樹脂およびこれらの組み合わせからな
る群より選択される熱硬化性樹脂を含む、請求項７記載の研摩物品。 - 【請求項９】 前記多孔性セラミックマトリックスが、酸化アルミニウム、
酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化ナトリウム、酸化マンガン、
酸化亜鉛およびこれらの組み合わせからなる群より選択される金属酸化物を含む
ガラスを含む、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項１０】 前記多孔性セラミックマトリックスが、Ｓｉ２Ｏ、Ｂ２Ｏ ３ およびＡｌ２Ｏ３を含むアルミナ−ホウケイ酸ガラスを含む、請求項１記載の
研摩物品。 - 【請求項１１】 前記裏材の剛性率が約１×１０６ｌｂ／ｉｎ２以上である
、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項１２】 前記裏材の剛性率が約１０×１０６ｌｂ／ｉｎ２以上であ
る、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項１３】 前記裏材が金属を含む、請求項１記載の研摩物品。
- 【請求項１４】 前記金属裏材が、アルミニウム、鋼、ニッケル、銅、錫、
亜鉛、クロムおよびこれらの合金からなる群より選択される、請求項１３記載の
研摩物品。 - 【請求項１５】 前記金属裏材の厚さが約０．３〜１０ｍｍである、請求項
１３記載の研摩物品。 - 【請求項１６】 前記金属コーティングが、ニッケル、銅、黄銅、青銅、鋼
およびこれらの合金からなる群より選択される、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項１７】 前記金属コーティングの厚さが約１〜２００μｍである、
請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項１８】 前記金属コーティングの厚さが、前記セラミック研摩複合
材料の平均高さの約５〜５０％である、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項１９】 前記金属コーティングの厚さが、前記セラミック研摩複合
材料の平均高さの約１０〜３０％である、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項２０】 前記金属コーティングが電気めっきプロセスを用いて前記
裏材に電着されている、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項２１】 前記金属コーティングが、積み重ねて設けられた少なくと
も２層の金属層を有する、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項２２】 前記セラミック研摩複合材料が精密に成形されている、請
求項１記載の研摩物品。 - 【請求項２３】 前記精密に成形されたセラミック研摩複合材料が、上部表
面は平坦で、立方体、ブロック状、円柱、プリズム、角錐、角錐台、円錐、円錐
台、十字、半球、球およびポスト状からなる群より選択される形状を有している
、請求項２２記載の研摩物品。 - 【請求項２４】 前記セラミック研摩複合材料の平均サイズが約３０〜１０
００μｍである、請求項１記載の研摩物品。 - 【請求項２５】 前記セラミック研摩複合材料が約１０〜９０重量部の研摩
粒子と９０〜１０重量部のセラミックマトリックスとを含む、請求項１記載の研
摩物品。 - 【請求項２６】 前記セラミック研摩複合材料が前記裏材の前記主面に不規
則に分配され、前記主面の約２５〜７５％を覆っている、請求項１記載の研摩物
品。 - 【請求項２７】 前記セラミック研摩複合材料がコートされた領域において
前記裏材の前記主面に不規則に分配されており、前記コートされた領域がコート
されていない領域により互いに分離されていて、該コートされていない領域は前
記裏材に固定されたセラミック研摩複合材料が実質的にない、請求項１記載の研
摩物品。 - 【請求項２８】 前記コートされた領域がパイ形状、矩形、円形、六角形、
三角形、五角形またはこれらが混ざったものである、請求項２７記載の研摩物品
。 - 【請求項２９】 裏材の主面に固定された少なくとも２個の請求項１記載の
研摩物品を含む、研摩物品。 - 【請求項３０】 （ａ）研摩物品のセラミック研摩複合材料がワークピース
の表面と接触するように前記ワークピースの表面を請求項１記載の研摩物品と接
触させる工程と、 （ｂ）前記ワークピースと前記研摩物品との界面に液体を適用する工程と、 （ｃ）前記研摩物品が前記ワークピースの前記表面を研摩して表面粗さを与え
るように前記ワークピースと前記研摩物品を互いに動かす工程と を含むワークピースの研摩方法。 - 【請求項３１】 前記液体がグリセロールと水の混合物を含む、請求項３０
記載の方法。 - 【請求項３２】 前記ワークピースがガラス、ガラスセラミックまたはセラ
ミックを含む、請求項３０記載の方法。 - 【請求項３３】 前記ワークピースがフロートガラスである、請求項３２記
載の方法。 - 【請求項３４】 前記ワークピースがＡｌＴｉＣである、請求項３２記載の
方法。 - 【請求項３５】 前記研摩物品および前記ワークピースが約０．５〜４５ｇ
／ｍｍ２の圧力で接触する、請求項３０記載の方法。 - 【請求項３６】 前記研摩物品がディスクに垂直な中心軸を有する円形ディ
スクの形態であり、前記動かす工程が前記ディスクを前記中心軸の周囲で回転さ
せることによりなされる、請求項３０記載の方法。 - 【請求項３７】 前記ワークピースの表面粗さが約１．５０μｍ以下である
、請求項３０記載の方法。 - 【請求項３８】 前記ワークピースの表面粗さが約１．００μｍ以下である
、請求項３０記載の方法。 - 【請求項３９】 前記ワークピースの表面粗さが約１００Å以下である、請
求項３０記載の方法。 - 【請求項４０】 前記ワークピースの表面粗さが約２５Å以下である、請求
項３０記載の方法。 - 【請求項４１】 前記多孔性セラミック研摩複合材料の細孔容積が約５〜７
０％である、請求項３０記載の方法。 - 【請求項４２】 前記研摩粒子のモース硬度が９以上である、請求項３０記
載の方法。 - 【請求項４３】 前記研摩粒子が、ダイアモンド、立方晶窒化ホウ素、溶融
酸化アルミニウム、セラミック酸化アルミニウム、熱処理済み酸化アルミニウム
、炭化ケイ素、炭化ホウ素、アルミナジルコニア、酸化鉄、セリア、ガーネット
およびこれらの混合物からなる群より選択される、請求項３０記載の方法。 - 【請求項４４】 前記研摩粒子のサイズが約０．０５〜１００μｍである、
請求項３０記載の方法。 - 【請求項４５】 前記研摩粒子が約０．０５〜１００μｍのサイズのダイア
モンド粒子を含む、請求項３０記載の方法。 - 【請求項４６】 前記研摩物品が前記セラミック研摩複合材料および前記金
属コーティング上に設けられた有機サイズコーティングをさらに含有する、請求
項３０記載の方法。 - 【請求項４７】 前記有機サイズコーティングが、フェノール樹脂、エポキ
シ樹脂、アミノプラスト樹脂、ウレタン樹脂、アクリレート樹脂、イソシアヌレ
ート樹脂、アクリル化イソシアヌレート樹脂、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、ア
クリル化エポキシ樹脂、アクリル化ウレタン樹脂およびこれらの組み合わせから
なる群より選択される熱硬化性樹脂を含む、請求項４６記載の方法。 - 【請求項４８】 前記多孔性セラミックマトリックスが、酸化アルミニウム
、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化ナトリウム、酸化マンガン
、酸化亜鉛およびこれらの組み合わせからなる群より選択される金属酸化物を含
むガラスを含む、請求項３０記載の方法。 - 【請求項４９】 前記多孔性セラミックマトリックスが、Ｓｉ２Ｏ、Ｂ２Ｏ ３ およびＡｌ２Ｏ３を含むアルミナ−ホウケイ酸ガラスを含む、請求項３０記載
の方法。 - 【請求項５０】 前記裏材の剛性率が約１×１０６ｌｂ／ｉｎ２以上である
、請求項３０記載の方法。 - 【請求項５１】 前記裏材の剛性率が約１０×１０６ｌｂ／ｉｎ２以上であ
る、請求項３０記載の方法。 - 【請求項５２】 前記裏材が金属を含む、請求項３０記載の方法。
- 【請求項５３】 前記金属裏材が、アルミニウム、鋼、ニッケル、銅、錫、
亜鉛、クロムおよびこれらの合金からなる群より選択される、請求項３０記載の
方法。 - 【請求項５４】 前記金属裏材の厚さが約０．３〜１０ｍｍである、請求項
３０記載の方法。 - 【請求項５５】 前記金属コーティングが、ニッケル、銅、黄銅、青銅、鋼
およびこれらの合金からなる群より選択される、請求項３０記載の方法。 - 【請求項５６】 前記金属コーティングの厚さが約１〜２００μｍである、
請求項３０記載の方法。 - 【請求項５７】 前記金属コーティングの厚さが、前記セラミック研摩複合
材料の平均高さの約５〜５０％である、請求項３０記載の方法。 - 【請求項５８】 前記金属コーティングの厚さが、前記セラミック研摩複合
材料の平均高さの約１０〜３０％である、請求項３０記載の方法。 - 【請求項５９】 前記金属コーティングが電気めっきプロセスを用いて前記
裏材に電着されている、請求項３０記載の方法。 - 【請求項６０】 前記金属コーティングが、積み重ねて設けられた少なくと
も２層の金属層を有する、請求項３０記載の方法。 - 【請求項６１】 前記セラミック研摩複合材料が精密に成形されている、請
求項３０記載の方法。 - 【請求項６２】 前記精密に成形されたセラミック研摩複合材料が、上部表
面は平坦で、立方体、ブロック状、円柱、プリズム、角錐、角錐台、円錐、円錐
台、十字、半球、球およびポスト状からなる群より選択される形状を有している
、請求項６０記載の方法。 - 【請求項６３】 前記セラミック研摩複合材料の平均サイズが約３０〜１０
００μｍである、請求項３０記載の方法。 - 【請求項６４】 前記セラミック研摩複合材料が約１０〜９０重量部の研摩
粒子と９０〜１０重量部のセラミックマトリックスとを含む、請求項３０記載の
方法。 - 【請求項６５】 前記セラミック研摩複合材料が前記裏材の前記主面に不規
則に分配され、前記主面の約２５〜７５％を覆っている、請求項３０記載の方法
。 - 【請求項６６】 前記セラミック研摩複合材料がコートされた領域において
前記裏材の前記主面に不規則に分配されており、前記コートされた領域がコート
されていない領域により互いに分離されていて、該コートされていない領域は前
記裏材に固定されたセラミック研摩複合材料が実質的にない、請求項３０記載の
方法。 - 【請求項６７】 前記コートされた領域がパイ形状、矩形、円形、六角形、
三角形、五角形またはこれらが混ざったものである、請求項３０記載の方法。
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| US09/350,580 | 1999-07-09 | ||
| PCT/US2000/018522 WO2001004227A2 (en) | 1999-07-09 | 2000-07-06 | Metal bond abrasive article comprising porous ceramic abrasive composites and method of using same to abrade a workpiece |
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006346800A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ビトリファイドボンド砥石及びその製造方法 |
| JP2008531306A (ja) * | 2005-02-22 | 2008-08-14 | サンーゴバン アブレイシブズ，インコーポレイティド | 研磨品を製造する急速工作システム及び方法 |
| KR101433750B1 (ko) * | 2009-08-14 | 2014-08-27 | 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 | 연신체에 연마입자가 결합된 연마제품, 및 그의 형성 방법 |
| JP2016537439A (ja) * | 2013-09-25 | 2016-12-01 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | セラミック研磨材複合体研磨溶液 |
| JP2016538139A (ja) * | 2013-09-25 | 2016-12-08 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 多層研磨パッド |
| JP2019059006A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-18 | 株式会社ディスコ | 保護部材の加工方法 |
| JP2019527148A (ja) * | 2016-07-20 | 2019-09-26 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 成形ガラス化研磨凝集体、研磨物品、及び研磨方法 |
Families Citing this family (205)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9238207B2 (en) | 1997-04-04 | 2016-01-19 | Chien-Min Sung | Brazed diamond tools and methods for making the same |
| US9868100B2 (en) | 1997-04-04 | 2018-01-16 | Chien-Min Sung | Brazed diamond tools and methods for making the same |
| US9199357B2 (en) | 1997-04-04 | 2015-12-01 | Chien-Min Sung | Brazed diamond tools and methods for making the same |
| US9409280B2 (en) | 1997-04-04 | 2016-08-09 | Chien-Min Sung | Brazed diamond tools and methods for making the same |
| US9463552B2 (en) | 1997-04-04 | 2016-10-11 | Chien-Min Sung | Superbrasvie tools containing uniformly leveled superabrasive particles and associated methods |
| US9221154B2 (en) | 1997-04-04 | 2015-12-29 | Chien-Min Sung | Diamond tools and methods for making the same |
| JP2001179609A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-03 | Roki Techno Co Ltd | 研磨パッド |
| US7678245B2 (en) | 2000-02-17 | 2010-03-16 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for electrochemical mechanical processing |
| US7670468B2 (en) | 2000-02-17 | 2010-03-02 | Applied Materials, Inc. | Contact assembly and method for electrochemical mechanical processing |
| US6848970B2 (en) | 2002-09-16 | 2005-02-01 | Applied Materials, Inc. | Process control in electrochemically assisted planarization |
| US7066800B2 (en) * | 2000-02-17 | 2006-06-27 | Applied Materials Inc. | Conductive polishing article for electrochemical mechanical polishing |
| CA2337973A1 (en) * | 2000-03-22 | 2001-09-22 | Illinois Tool Works Inc. | Weather resistant anti-slip panels |
| AU2001253447A1 (en) * | 2000-05-09 | 2001-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Porous abrasive article having ceramic abrasive composites, methods of making, and methods of use |
| KR100373846B1 (ko) * | 2000-06-12 | 2003-02-26 | 지앤피테크놀로지 주식회사 | 반도체 및 광학부품용 연마패드 및 그 제조방법 |
| US6736869B1 (en) | 2000-08-28 | 2004-05-18 | Micron Technology, Inc. | Method for forming a planarizing pad for planarization of microelectronic substrates |
| EP1332194B1 (en) | 2000-10-06 | 2007-01-03 | 3M Innovative Properties Company | Ceramic aggregate particles |
| US6521004B1 (en) | 2000-10-16 | 2003-02-18 | 3M Innovative Properties Company | Method of making an abrasive agglomerate particle |
| CA2423597A1 (en) | 2000-10-16 | 2002-04-25 | 3M Innovative Properties Company | Method of making ceramic aggregate particles |
| US8545583B2 (en) | 2000-11-17 | 2013-10-01 | Wayne O. Duescher | Method of forming a flexible abrasive sheet article |
| US8062098B2 (en) | 2000-11-17 | 2011-11-22 | Duescher Wayne O | High speed flat lapping platen |
| US8256091B2 (en) | 2000-11-17 | 2012-09-04 | Duescher Wayne O | Equal sized spherical beads |
| US7137879B2 (en) * | 2001-04-24 | 2006-11-21 | Applied Materials, Inc. | Conductive polishing article for electrochemical mechanical polishing |
| US6679758B2 (en) | 2002-04-11 | 2004-01-20 | Saint-Gobain Abrasives Technology Company | Porous abrasive articles with agglomerated abrasives |
| US7090565B2 (en) * | 2002-04-11 | 2006-08-15 | Saint-Gobain Abrasives Technology Company | Method of centerless grinding |
| US6988937B2 (en) * | 2002-04-11 | 2006-01-24 | Saint-Gobain Abrasives Technology Company | Method of roll grinding |
| US7544114B2 (en) * | 2002-04-11 | 2009-06-09 | Saint-Gobain Technology Company | Abrasive articles with novel structures and methods for grinding |
| DE10243104A1 (de) * | 2002-09-17 | 2004-03-25 | Gebr. Brasseler Gmbh & Co. Kg | Rotierendes Instrument aus Keramik |
| US6863825B2 (en) | 2003-01-29 | 2005-03-08 | Union Oil Company Of California | Process for removing arsenic from aqueous streams |
| KR100590202B1 (ko) * | 2003-08-29 | 2006-06-15 | 삼성전자주식회사 | 연마 패드 및 그 형성방법 |
| US20050064805A1 (en) * | 2003-09-23 | 2005-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive article |
| US7267700B2 (en) * | 2003-09-23 | 2007-09-11 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive with parabolic sides |
| US20050060941A1 (en) * | 2003-09-23 | 2005-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and methods of making the same |
| US20050060942A1 (en) * | 2003-09-23 | 2005-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive article |
| US20050060945A1 (en) * | 2003-09-23 | 2005-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method of making a coated abrasive |
| US20050060944A1 (en) * | 2003-09-23 | 2005-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method of making a coated abrasive |
| US7300479B2 (en) * | 2003-09-23 | 2007-11-27 | 3M Innovative Properties Company | Compositions for abrasive articles |
| KR100558075B1 (ko) * | 2003-09-26 | 2006-03-07 | 신우유니온(주) | 굳은살 손질용 연마도구 및 그 제조방법 |
| US7090894B2 (en) * | 2004-02-10 | 2006-08-15 | General Electric Company | Bondcoat for the application of TBC's and wear coatings to oxide ceramic matrix |
| WO2005077602A1 (en) * | 2004-02-17 | 2005-08-25 | Skc Co., Ltd. | Base pad polishing pad and multi-layer pad comprising the same |
| US20070060026A1 (en) * | 2005-09-09 | 2007-03-15 | Chien-Min Sung | Methods of bonding superabrasive particles in an organic matrix |
| US7658666B2 (en) * | 2004-08-24 | 2010-02-09 | Chien-Min Sung | Superhard cutters and associated methods |
| US20060258276A1 (en) * | 2005-05-16 | 2006-11-16 | Chien-Min Sung | Superhard cutters and associated methods |
| JP2006088315A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-04-06 | Shapton Kk | 砥石修正器、砥石の製造方法および砥石修正器、砥石 |
| US7762872B2 (en) * | 2004-08-24 | 2010-07-27 | Chien-Min Sung | Superhard cutters and associated methods |
| US7875091B2 (en) * | 2005-02-22 | 2011-01-25 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Rapid tooling system and methods for manufacturing abrasive articles |
| US7867302B2 (en) * | 2005-02-22 | 2011-01-11 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Rapid tooling system and methods for manufacturing abrasive articles |
| US8974270B2 (en) | 2011-05-23 | 2015-03-10 | Chien-Min Sung | CMP pad dresser having leveled tips and associated methods |
| US9724802B2 (en) | 2005-05-16 | 2017-08-08 | Chien-Min Sung | CMP pad dressers having leveled tips and associated methods |
| US8622787B2 (en) | 2006-11-16 | 2014-01-07 | Chien-Min Sung | CMP pad dressers with hybridized abrasive surface and related methods |
| US9138862B2 (en) | 2011-05-23 | 2015-09-22 | Chien-Min Sung | CMP pad dresser having leveled tips and associated methods |
| US8678878B2 (en) | 2009-09-29 | 2014-03-25 | Chien-Min Sung | System for evaluating and/or improving performance of a CMP pad dresser |
| US8393934B2 (en) | 2006-11-16 | 2013-03-12 | Chien-Min Sung | CMP pad dressers with hybridized abrasive surface and related methods |
| US8398466B2 (en) | 2006-11-16 | 2013-03-19 | Chien-Min Sung | CMP pad conditioners with mosaic abrasive segments and associated methods |
| US7169031B1 (en) | 2005-07-28 | 2007-01-30 | 3M Innovative Properties Company | Self-contained conditioning abrasive article |
| US7494519B2 (en) * | 2005-07-28 | 2009-02-24 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive agglomerate polishing method |
| US7722691B2 (en) * | 2005-09-30 | 2010-05-25 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive tools having a permeable structure |
| TW200726582A (en) * | 2005-10-04 | 2007-07-16 | Mitsubishi Materials Corp | Rotary tool for processing flexible materials |
| US7594845B2 (en) * | 2005-10-20 | 2009-09-29 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and method of modifying the surface of a workpiece |
| DE102005057384A1 (de) * | 2005-11-30 | 2007-05-31 | Nanogate Ag | Silikatumhüllte Teilchen in einer Metallschicht |
| KR100761847B1 (ko) * | 2005-12-07 | 2007-09-28 | 삼성전자주식회사 | 연마 입자가 내재된 연마 패드, 이의 제조 방법, 및 이를포함하는 화학적 기계적 연마 장치 |
| US7840305B2 (en) * | 2006-06-28 | 2010-11-23 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles, CMP monitoring system and method |
| FI121654B (sv) | 2006-07-10 | 2011-02-28 | Kwh Mirka Ab Oy | Förfarande för tillverkning av en flexibel sliprondell och en flexibel sliprondell |
| KR20080045075A (ko) * | 2006-11-16 | 2008-05-22 | 치엔 민 성 | 초고경도 절삭기 및 관련 방법 |
| US8066874B2 (en) | 2006-12-28 | 2011-11-29 | Molycorp Minerals, Llc | Apparatus for treating a flow of an aqueous solution containing arsenic |
| FI20075533L (fi) * | 2007-07-10 | 2009-01-11 | Kwh Mirka Ab Oy | Hiomatuote ja menetelmä tämän valmistamiseksi |
| US8894731B2 (en) * | 2007-10-01 | 2014-11-25 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive processing of hard and /or brittle materials |
| US20090107919A1 (en) | 2007-10-31 | 2009-04-30 | Chevron U.S.A. Inc. | Apparatus and process for treating an aqueous solution containing chemical contaminants |
| US20090107925A1 (en) | 2007-10-31 | 2009-04-30 | Chevron U.S.A. Inc. | Apparatus and process for treating an aqueous solution containing biological contaminants |
| US8349764B2 (en) | 2007-10-31 | 2013-01-08 | Molycorp Minerals, Llc | Composition for treating a fluid |
| TW200940258A (en) | 2007-11-13 | 2009-10-01 | Chien-Min Sung | CMP pad dressers |
| US9011563B2 (en) | 2007-12-06 | 2015-04-21 | Chien-Min Sung | Methods for orienting superabrasive particles on a surface and associated tools |
| US8034137B2 (en) | 2007-12-27 | 2011-10-11 | 3M Innovative Properties Company | Shaped, fractured abrasive particle, abrasive article using same and method of making |
| US8123828B2 (en) | 2007-12-27 | 2012-02-28 | 3M Innovative Properties Company | Method of making abrasive shards, shaped abrasive particles with an opening, or dish-shaped abrasive particles |
| JP4400677B2 (ja) * | 2008-02-25 | 2010-01-20 | 株式会社村田製作所 | 薄刃砥石 |
| US20090236147A1 (en) * | 2008-03-20 | 2009-09-24 | Baker Hughes Incorporated | Lubricated Diamond Bearing Drill Bit |
| WO2009158665A1 (en) * | 2008-06-26 | 2009-12-30 | 3M Innovative Properties Company | Polishing pad with porous elements and method of making and using the same |
| CN102076462B (zh) * | 2008-07-02 | 2013-01-16 | 圣戈班磨料磨具有限公司 | 用于电子工业中的磨料切片工具 |
| EP2307518A4 (en) * | 2008-07-03 | 2014-03-19 | 3M Innovative Properties Co | FIXED ABRASIVE PARTICLES AND ARTICLES MADE THEREFROM |
| KR100901087B1 (ko) * | 2008-08-11 | 2009-06-08 | 소우섭 | 미세분말이 부착된 유리구조체 및 그 제조방법 |
| DE102008056368A1 (de) * | 2008-11-07 | 2010-05-12 | Esk Ceramics Gmbh & Co. Kg | Sicherungselement für Schraubverbindungen und dessen Verwendung |
| US8142531B2 (en) * | 2008-12-17 | 2012-03-27 | 3M Innovative Properties Company | Shaped abrasive particles with a sloping sidewall |
| BRPI0922318B1 (pt) | 2008-12-17 | 2020-09-15 | 3M Innovative Properties Company | Partículas abrasivas moldadas com sulcos |
| US10137556B2 (en) | 2009-06-22 | 2018-11-27 | 3M Innovative Properties Company | Shaped abrasive particles with low roundness factor |
| US8142532B2 (en) * | 2008-12-17 | 2012-03-27 | 3M Innovative Properties Company | Shaped abrasive particles with an opening |
| US8142891B2 (en) | 2008-12-17 | 2012-03-27 | 3M Innovative Properties Company | Dish-shaped abrasive particles with a recessed surface |
| CN102458771A (zh) * | 2009-04-17 | 2012-05-16 | 3M创新有限公司 | 采用转移制品制造的平面磨料制品及其制造方法 |
| CN101602192B (zh) * | 2009-06-29 | 2011-12-14 | 云南光电辅料有限公司 | 磨料表面改性改善金属基磨具加工光洁度的方法 |
| CN102481647B (zh) | 2009-08-14 | 2015-07-15 | 圣戈班磨料磨具有限公司 | 包括粘结到长形本体上的磨料颗粒的磨料物品 |
| CN102097190B (zh) * | 2009-12-09 | 2012-10-03 | 沈阳临德陶瓷研发有限公司 | 一种硼硅酸盐玻璃绝缘子用黑色标记釉的制备方法 |
| US8480772B2 (en) | 2009-12-22 | 2013-07-09 | 3M Innovative Properties Company | Transfer assisted screen printing method of making shaped abrasive particles and the resulting shaped abrasive particles |
| WO2012040373A2 (en) | 2010-09-21 | 2012-03-29 | Ritedia Corporation | Diamond particle mololayer heat spreaders and associated methods |
| DE102010052518A1 (de) * | 2010-11-26 | 2012-05-31 | Brillux Gmbh & Co. Kg | Beschichtungsmasse mit Funkeleffekt |
| US8708781B2 (en) * | 2010-12-05 | 2014-04-29 | Ethicon, Inc. | Systems and methods for grinding refractory metals and refractory metal alloys |
| TWI466990B (zh) | 2010-12-30 | 2015-01-01 | Saint Gobain Abrasives Inc | 磨料物品及形成方法 |
| BR112013016734A2 (pt) | 2010-12-31 | 2019-09-24 | Saint Gobain Ceramics | partículas abrasivas com formas particulares e métodos de deformação de tais partículas |
| US9233863B2 (en) | 2011-04-13 | 2016-01-12 | Molycorp Minerals, Llc | Rare earth removal of hydrated and hydroxyl species |
| US8986409B2 (en) | 2011-06-30 | 2015-03-24 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive articles including abrasive particles of silicon nitride |
| EP2726248B1 (en) | 2011-06-30 | 2019-06-19 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Liquid phase sintered silicon carbide abrasive particles |
| CN103857494B (zh) | 2011-09-16 | 2017-07-11 | 圣戈班磨料磨具有限公司 | 研磨制品和形成方法 |
| US9517546B2 (en) | 2011-09-26 | 2016-12-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive articles including abrasive particulate materials, coated abrasives using the abrasive particulate materials and methods of forming |
| KR20140075717A (ko) | 2011-09-29 | 2014-06-19 | 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 | 배리어층이 있는 신장 기재 몸체 결합 연마 입자를 포함하는 연마 물품, 및 이를 형성하는 방법 |
| US9630297B2 (en) | 2011-12-29 | 2017-04-25 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive article and method of making the same |
| WO2013102177A1 (en) | 2011-12-30 | 2013-07-04 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particle and method of forming same |
| CA2862453A1 (en) | 2011-12-30 | 2013-07-04 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Forming shaped abrasive particles |
| PL2797716T3 (pl) | 2011-12-30 | 2021-07-05 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Kompozytowe ukształtowane cząstki ścierne i sposób ich formowania |
| CA2987793C (en) | 2012-01-10 | 2019-11-05 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive particles having complex shapes and methods of forming same |
| WO2013106602A1 (en) | 2012-01-10 | 2013-07-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles |
| US20130225051A1 (en) * | 2012-02-27 | 2013-08-29 | Raymond Vankouwenberg | Abrasive pad assembly |
| US9242346B2 (en) | 2012-03-30 | 2016-01-26 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products having fibrillated fibers |
| WO2013147892A1 (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article and method of forming |
| KR102197361B1 (ko) | 2012-05-23 | 2021-01-05 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 형상화 연마입자들 및 이의 형성방법 |
| TWI474889B (zh) | 2012-06-29 | 2015-03-01 | Saint Gobain Abrasives Inc | 研磨物品及形成方法 |
| TW201402274A (zh) * | 2012-06-29 | 2014-01-16 | Saint Gobain Abrasives Inc | 研磨物品及形成方法 |
| IN2015DN00343A (ja) | 2012-06-29 | 2015-06-12 | Saint Gobain Ceramics | |
| TW201404527A (zh) | 2012-06-29 | 2014-02-01 | Saint Gobain Abrasives Inc | 研磨物品及形成方法 |
| TWI477343B (zh) | 2012-06-29 | 2015-03-21 | Saint Gobain Abrasives Inc | 研磨物品及形成方法 |
| WO2014062701A1 (en) | 2012-10-15 | 2014-04-24 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles |
| US20140134933A1 (en) | 2012-11-09 | 2014-05-15 | Di-Coat Corporation | Abrading tools and methods of making same |
| KR101818946B1 (ko) | 2012-12-31 | 2018-01-17 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 미립자 소재 및 이의 형성방법 |
| JP2016508456A (ja) * | 2013-02-26 | 2016-03-22 | コーヴェーハー ミルカ エルテーデーＫＷＨ Ｍｉｒｋａ Ｌｔｄ | 研磨用製品表面を提供する方法、および研磨用製品 |
| PL2961571T3 (pl) * | 2013-02-26 | 2019-10-31 | Kwh Mirka Ltd | Sposób dostarczania wyrobu ściernego i jego wyrobów ściernych |
| EP4364891A2 (en) | 2013-03-29 | 2024-05-08 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles |
| TW201441355A (zh) | 2013-04-19 | 2014-11-01 | Saint Gobain Abrasives Inc | 研磨製品及其形成方法 |
| CN103223643B (zh) * | 2013-05-03 | 2015-10-28 | 鲁启华 | 一种超薄刀片 |
| TW201500535A (zh) * | 2013-06-28 | 2015-01-01 | Saint Gobain Abrasives Inc | 具有混合型結合劑之多功能磨料製品 |
| TWI589404B (zh) * | 2013-06-28 | 2017-07-01 | 聖高拜磨料有限公司 | 基於向日葵圖案之經塗佈的研磨製品 |
| TW201502263A (zh) | 2013-06-28 | 2015-01-16 | Saint Gobain Ceramics | 包含成形研磨粒子之研磨物品 |
| ITVR20130167A1 (it) * | 2013-07-18 | 2015-01-19 | Abra On S R L | Abrasivo flessibile per la levigatura di superfici |
| CN103496988B (zh) * | 2013-09-04 | 2015-04-29 | 西安交通大学 | Cbn磨粒氧化处理及用其制备陶瓷结合剂cbn磨具的方法 |
| AU2014324453B2 (en) | 2013-09-30 | 2017-08-03 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particles and methods of forming same |
| BR112016010724B1 (pt) | 2013-11-12 | 2021-11-16 | 3M Innovative Properties Company | Artigo abrasivo estruturado |
| CN104511851A (zh) * | 2013-11-19 | 2015-04-15 | 东莞金太阳研磨股份有限公司 | 一种pcb印刷线路板抛光轮的制备方法 |
| WO2015088953A1 (en) | 2013-12-09 | 2015-06-18 | 3M Innovative Properties Company | Conglomerate abrasive particles, abrasive articles including the same, and methods of making the same |
| CN103632687A (zh) * | 2013-12-19 | 2014-03-12 | 广东金潮集团有限公司 | 一种cd光盘电镀材料 |
| CN106029300B (zh) * | 2013-12-30 | 2019-06-28 | 圣戈班磨料磨具有限公司 | 复合体及其形成方法 |
| JP6290428B2 (ja) | 2013-12-31 | 2018-03-07 | サンーゴバン アブレイシブズ，インコーポレイティド | 成形研磨粒子を含む研磨物品 |
| US9771507B2 (en) | 2014-01-31 | 2017-09-26 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particle including dopant material and method of forming same |
| KR20160132076A (ko) | 2014-03-07 | 2016-11-16 | 몰리코프 미네랄스, 엘엘씨 | 비소 제거 특성이 뛰어난 세륨(iv) 산화물 |
| CN103862396A (zh) * | 2014-03-21 | 2014-06-18 | 苏州远东砂轮有限公司 | 一种对中高密度板进行磨削的专用磨具及其制造方法 |
| KR101884178B1 (ko) | 2014-04-14 | 2018-08-02 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 형상화 연마 입자들을 포함하는 연마 물품 |
| US10557067B2 (en) | 2014-04-14 | 2020-02-11 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
| WO2015184355A1 (en) | 2014-05-30 | 2015-12-03 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Method of using an abrasive article including shaped abrasive particles |
| CN104209875B (zh) * | 2014-09-26 | 2016-08-24 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种超硬材料磨具及其制备方法 |
| US9873180B2 (en) | 2014-10-17 | 2018-01-23 | Applied Materials, Inc. | CMP pad construction with composite material properties using additive manufacturing processes |
| US11745302B2 (en) | 2014-10-17 | 2023-09-05 | Applied Materials, Inc. | Methods and precursor formulations for forming advanced polishing pads by use of an additive manufacturing process |
| US10875153B2 (en) | 2014-10-17 | 2020-12-29 | Applied Materials, Inc. | Advanced polishing pad materials and formulations |
| SG11201703114QA (en) | 2014-10-17 | 2017-06-29 | Applied Materials Inc | Cmp pad construction with composite material properties using additive manufacturing processes |
| WO2016089924A1 (en) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive article including agglomerates having silicon carbide and an inorganic bond material |
| MX2017006929A (es) | 2014-12-01 | 2017-10-04 | Saint Gobain Abrasives Inc | Artículo abrasivo que incluye aglomerados que tienen carburo de silicio y material de unión inorgánico. |
| US9914864B2 (en) | 2014-12-23 | 2018-03-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particles and method of forming same |
| US9707529B2 (en) | 2014-12-23 | 2017-07-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Composite shaped abrasive particles and method of forming same |
| KR102260659B1 (ko) * | 2014-12-23 | 2021-06-08 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 형상화 연마 입자 및 형성 방법 |
| US9676981B2 (en) | 2014-12-24 | 2017-06-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particle fractions and method of forming same |
| CA2972440C (en) * | 2014-12-31 | 2020-04-28 | Saint-Gobain Abrasifs | Aggregates of diamond with vitrified bond |
| US10767058B1 (en) * | 2015-02-26 | 2020-09-08 | United States Of America As Represented By The Administrator Of Nasa | Controlled release materials for anti-corrosion agents |
| TWI634200B (zh) | 2015-03-31 | 2018-09-01 | 聖高拜磨料有限公司 | 固定磨料物品及其形成方法 |
| WO2016161157A1 (en) | 2015-03-31 | 2016-10-06 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Fixed abrasive articles and methods of forming same |
| CN107614200B (zh) | 2015-05-13 | 2020-05-08 | 3M创新有限公司 | 抛光垫和使用抛光垫的***和方法 |
| WO2016188946A1 (en) * | 2015-05-22 | 2016-12-01 | Thermolon Korea Co. Ltd. | Enhanced ceramic coating |
| PL3307483T3 (pl) | 2015-06-11 | 2020-11-16 | Saint-Gobain Ceramics&Plastics, Inc. | Wyrób ścierny zawierający ukształtowane cząstki ścierne |
| EP3310531A4 (en) | 2015-06-19 | 2019-02-20 | 3M Innovative Properties Company | ABRASIVE ARTICLE COMPRISING ABRASIVE PARTICLES HAVING A ROTATIONAL ROTATIONAL DIRECTION WITHIN A BEACH |
| TWI664057B (zh) * | 2015-06-29 | 2019-07-01 | 美商聖高拜磨料有限公司 | 研磨物品及形成方法 |
| CN108025421A (zh) * | 2015-09-08 | 2018-05-11 | 3M创新有限公司 | 具有磨料团聚体的研磨旋转工具 |
| EP3347162A4 (en) * | 2015-09-08 | 2019-05-15 | 3M Innovative Properties Company | FLEXIBLE GRINDING TOOL |
| CN105252425A (zh) * | 2015-09-10 | 2016-01-20 | 苏州瑞美科材料科技有限公司 | 一种金属制品磨具 |
| TWI754275B (zh) * | 2015-10-16 | 2022-02-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 拋光墊及形成其之方法 |
| CN108290267B (zh) | 2015-10-30 | 2021-04-20 | 应用材料公司 | 形成具有期望ζ电位的抛光制品的设备与方法 |
| US10593574B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-03-17 | Applied Materials, Inc. | Techniques for combining CMP process tracking data with 3D printed CMP consumables |
| CN105598860A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-05-25 | 江苏锋芒复合材料科技集团有限公司 | 一种有色金属磨削用抗堵塞磨具及其制造方法 |
| US10391605B2 (en) | 2016-01-19 | 2019-08-27 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for forming porous advanced polishing pads using an additive manufacturing process |
| US20170232571A1 (en) * | 2016-02-11 | 2017-08-17 | Corning Incorporated | Edge finishing apparatus and methods for laminate production |
| CN108603076A (zh) * | 2016-02-16 | 2018-09-28 | 3M创新有限公司 | 抛光***以及制备和使用抛光***的方法 |
| WO2017145491A1 (ja) * | 2016-02-22 | 2017-08-31 | 株式会社アライドマテリアル | 砥粒工具 |
| WO2017197002A1 (en) | 2016-05-10 | 2017-11-16 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive particles and methods of forming same |
| SI3455321T1 (sl) | 2016-05-10 | 2022-10-28 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Metode oblikovanja abrazivnih delcev |
| EP4349896A2 (en) | 2016-09-29 | 2024-04-10 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Fixed abrasive articles and methods of forming same |
| CN109843509A (zh) | 2016-10-25 | 2019-06-04 | 3M创新有限公司 | 结构化磨料制品及其制备方法 |
| EP3532561B1 (en) | 2016-10-25 | 2021-04-28 | 3M Innovative Properties Company | Magnetizable abrasive particles and abrasive articles including them |
| US10947432B2 (en) | 2016-10-25 | 2021-03-16 | 3M Innovative Properties Company | Magnetizable abrasive particle and method of making the same |
| WO2018081246A1 (en) | 2016-10-25 | 2018-05-03 | 3M Innovative Properties Company | Shaped vitrified abrasive agglomerate with shaped abrasive particles, abrasive articles, and related methods |
| US10655038B2 (en) | 2016-10-25 | 2020-05-19 | 3M Innovative Properties Company | Method of making magnetizable abrasive particles |
| US10759024B2 (en) | 2017-01-31 | 2020-09-01 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
| US10563105B2 (en) | 2017-01-31 | 2020-02-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
| EP3589450A4 (en) * | 2017-02-28 | 2021-04-07 | 3M Innovative Properties Company | METAL-BOND ABRASIVE ARTICLES AND METHODS FOR MANUFACTURING METAL-BONDED ABRASIVE ARTICLES |
| CN107116420A (zh) * | 2017-05-27 | 2017-09-01 | 青岛鲁航气囊护舷有限公司 | 一种双曲面磨砂装置 |
| CN107234537B (zh) * | 2017-05-27 | 2023-08-15 | 青岛鲁航气囊护舷有限公司 | 一种滚筒式护舷弧面打磨装置 |
| CN107243803A (zh) * | 2017-05-27 | 2017-10-13 | 青岛鲁航气囊护舷有限公司 | 一种半圆型护舷弧面打磨装置 |
| EP3642293A4 (en) | 2017-06-21 | 2021-03-17 | Saint-Gobain Ceramics&Plastics, Inc. | PARTICULATE MATERIALS AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF |
| US11471999B2 (en) | 2017-07-26 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Integrated abrasive polishing pads and manufacturing methods |
| WO2019032286A1 (en) | 2017-08-07 | 2019-02-14 | Applied Materials, Inc. | ABRASIVE DISTRIBUTION POLISHING PADS AND METHODS OF MAKING SAME |
| CN107457713A (zh) * | 2017-10-19 | 2017-12-12 | 柳州凯通新材料科技有限公司 | 一种金刚石砂轮用材料 |
| EP3486033A1 (en) * | 2017-11-16 | 2019-05-22 | Acme United Corporation | Long-life abrasive pad assembly |
| JP7158147B2 (ja) * | 2018-01-05 | 2022-10-21 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 研磨シート及び研磨方法 |
| US20210002533A1 (en) | 2018-03-01 | 2021-01-07 | 3M Innovative Properties Company | Shaped siliceous abrasive agglomerate with shaped abrasive particles, abrasive articles, and related methods |
| WO2020021457A1 (en) | 2018-07-23 | 2020-01-30 | 3M Innovative Properties Company | Articles including polyester backing and primer layer and related methods |
| CN109133978A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-01-04 | 王召惠 | 一种高强度高导热多孔陶瓷的制备方法 |
| JP7299970B2 (ja) | 2018-09-04 | 2023-06-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 改良型研磨パッドのための配合物 |
| CN110016322A (zh) * | 2019-05-09 | 2019-07-16 | 东莞市中微纳米科技有限公司 | 微米级磁性复合磨料和水基磁流变抛光液 |
| KR20220116556A (ko) | 2019-12-27 | 2022-08-23 | 세인트-고바인 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인크. | 연마 물품 및 이의 형성 방법 |
| WO2022011234A1 (en) * | 2020-07-10 | 2022-01-13 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Bonded abrasive article and method of making the same |
| US11878389B2 (en) | 2021-02-10 | 2024-01-23 | Applied Materials, Inc. | Structures formed using an additive manufacturing process for regenerating surface texture in situ |
| CN113087529B (zh) * | 2021-04-06 | 2021-10-26 | 湖南泰鑫瓷业有限公司 | 一种高韧性陶瓷刀具的生产工艺 |
| CN113635228B (zh) * | 2021-09-03 | 2022-07-01 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种半导体材料加工用自修整砂轮及其制备方法和应用 |
| CN113696108A (zh) * | 2021-09-10 | 2021-11-26 | 天津中屹铭科技有限公司 | 一种高耐磨长寿命金刚石砂轮及制备方法 |
| CN115433582B (zh) * | 2022-09-20 | 2023-06-06 | 湖南大学 | 一种金刚石颗粒表面的腐蚀方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57133175A (en) * | 1980-12-29 | 1982-08-17 | Norton Co | Abrasive aggregate and abrasive sheet material |
| JPS59156760U (ja) * | 1983-02-21 | 1984-10-20 | リョービ株式会社 | 電動式包丁砥ぎ器用ダイヤモンド砥石 |
| JPS6357060U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-16 | ||
| JPS6451273A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-27 | Hitachi Ltd | Grinding wheel |
| JPH01216774A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-30 | Asahi Daiyamondo Kogyo Kk | 超砥粒ホイール及びその製造方法 |
Family Cites Families (50)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2216728A (en) | 1935-12-31 | 1940-10-08 | Carborundum Co | Abrasive article and method of making the same |
| BE530127A (ja) * | 1953-11-25 | |||
| US3916584A (en) | 1973-03-22 | 1975-11-04 | Minnesota Mining & Mfg | Spheroidal composite particle and method of making |
| US3957593A (en) | 1975-01-31 | 1976-05-18 | Keene Corporation | Method of forming an abrasive tool |
| US4047902A (en) | 1975-04-01 | 1977-09-13 | Wiand Richard K | Metal-plated abrasive product and method of manufacturing the product |
| JPS59110537A (ja) | 1982-12-17 | 1984-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 脆性材料面取り加工方法 |
| JPS6080562A (ja) | 1983-10-07 | 1985-05-08 | Disco Abrasive Sys Ltd | 電着砥石 |
| US4609581A (en) | 1985-04-15 | 1986-09-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Coated abrasive sheet material with loop attachment means |
| US4652275A (en) | 1985-08-07 | 1987-03-24 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Erodable agglomerates and abrasive products containing the same |
| GB8701553D0 (en) | 1987-01-24 | 1987-02-25 | Interface Developments Ltd | Abrasive article |
| US4931069A (en) | 1987-10-30 | 1990-06-05 | Wiand Ronald C | Abrasive tool with improved swarf clearance and method of making |
| US4776862A (en) | 1987-12-08 | 1988-10-11 | Wiand Ronald C | Brazing of diamond |
| US5022895A (en) | 1988-02-14 | 1991-06-11 | Wiand Ronald C | Multilayer abrading tool and process |
| US4908046A (en) | 1989-02-14 | 1990-03-13 | Wiand Ronald C | Multilayer abrading tool and process |
| US5254194A (en) | 1988-05-13 | 1993-10-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Coated abrasive sheet material with loop material for attachment incorporated therein |
| US5133782A (en) | 1989-02-14 | 1992-07-28 | Wiand Ronald C | Multilayer abrading tool having an irregular abrading surface and process |
| US4945686A (en) | 1989-02-14 | 1990-08-07 | Wiand Ronald C | Multilayer abrading tool having an irregular abrading surface and process |
| US4968326A (en) | 1989-10-10 | 1990-11-06 | Wiand Ronald C | Method of brazing of diamond to substrate |
| US5131924A (en) | 1990-02-02 | 1992-07-21 | Wiand Ronald C | Abrasive sheet and method |
| US5203881A (en) | 1990-02-02 | 1993-04-20 | Wiand Ronald C | Abrasive sheet and method |
| EP0449509B1 (en) | 1990-03-30 | 1995-02-22 | Ronald Carlysle Wiand | Marble, granite and stone finishing method and abrasive pads therefor |
| US5209760A (en) | 1990-05-21 | 1993-05-11 | Wiand Ronald C | Injection molded abrasive pad |
| US5232470A (en) | 1990-05-21 | 1993-08-03 | Wiand Ronald C | Flexible one-piece diamond sheet material with spaced apart abrasive portions |
| US5174795A (en) | 1990-05-21 | 1992-12-29 | Wiand Ronald C | Flexible abrasive pad with ramp edge surface |
| US5607488A (en) | 1990-05-21 | 1997-03-04 | Wiand; Ronald C. | Molded abrasive article and process |
| US5136818A (en) | 1990-10-01 | 1992-08-11 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method of polishing optical fiber |
| US5106394A (en) | 1990-10-01 | 1992-04-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Fiber optic polishing system |
| US5152917B1 (en) | 1991-02-06 | 1998-01-13 | Minnesota Mining & Mfg | Structured abrasive article |
| US5197249A (en) | 1991-02-07 | 1993-03-30 | Wiand Ronald C | Diamond tool with non-abrasive segments |
| US5106392A (en) | 1991-03-14 | 1992-04-21 | General Electric Company | Multigrain abrasive particles |
| US5127197A (en) | 1991-04-25 | 1992-07-07 | Brukvoort Wesley J | Abrasive article and processes for producing it |
| US5251802A (en) * | 1991-04-25 | 1993-10-12 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article and processes for producing it |
| US5247765A (en) | 1991-07-23 | 1993-09-28 | Abrasive Technology Europe, S.A. | Abrasive product comprising a plurality of discrete composite abrasive pellets in a resilient resin matrix |
| GB2263911B (en) | 1991-12-10 | 1995-11-08 | Minnesota Mining & Mfg | Tool comprising abrasives in an electrodeposited metal binder dispersed in a binder matrix |
| US5219462A (en) | 1992-01-13 | 1993-06-15 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article having abrasive composite members positioned in recesses |
| DE4217720C1 (de) * | 1992-05-29 | 1993-11-04 | Starck H C Gmbh Co Kg | Gesinterte verbundschleifkoerper, verfahren zu ihrer herstellung sowie deren verwendung |
| KR100295335B1 (ko) | 1992-12-17 | 2001-09-17 | 스프레이그 로버트 월터 | 점도가감소된슬러리,그로부터제조된염마재물품,및이물품의제조방법 |
| US5435816A (en) | 1993-01-14 | 1995-07-25 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of making an abrasive article |
| CA2115889A1 (en) | 1993-03-18 | 1994-09-19 | David E. Broberg | Coated abrasive article having diluent particles and shaped abrasive particles |
| US5549962A (en) | 1993-06-30 | 1996-08-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Precisely shaped particles and method of making the same |
| CH686787A5 (de) | 1993-10-15 | 1996-06-28 | Diametal Ag | Schleifbelag fuer Schleifwerkzeuge und Verfahren zur Herstellung des Schleifbelages. |
| US5505747A (en) | 1994-01-13 | 1996-04-09 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of making an abrasive article |
| WO1995019242A1 (en) | 1994-01-13 | 1995-07-20 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article, method of making same, and abrading apparatus |
| JP3874790B2 (ja) | 1994-02-22 | 2007-01-31 | スリーエム カンパニー | 研磨物品、その製造方法および仕上げ用のその使用方法 |
| DE69530780T2 (de) * | 1994-09-30 | 2004-03-18 | Minnesota Mining And Mfg. Co., St. Paul | Beschichteter schleifgegenstand und verfahren zu seiner herstellung |
| US5656045A (en) | 1995-06-07 | 1997-08-12 | Wiand Ronald C | Method of spaced distribution for diamond abrasive articles |
| JP3234762B2 (ja) | 1996-02-26 | 2001-12-04 | シャープ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| CN1118354C (zh) | 1997-05-09 | 2003-08-20 | 罗德尔控股公司 | 镶嵌式抛光垫及其制造方法 |
| JP3052896B2 (ja) | 1997-06-13 | 2000-06-19 | 日本電気株式会社 | 研磨布表面のドレス治具及びその製造方法 |
| WO1999010129A1 (en) | 1997-08-26 | 1999-03-04 | Ning Wang | A pad for chemical-mechanical polishing and apparatus and methods of manufacture thereof |
-
1999
- 1999-07-09 US US09/350,580 patent/US6319108B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-07-06 KR KR1020027000261A patent/KR20020029075A/ko not_active Application Discontinuation
- 2000-07-06 AU AU59174/00A patent/AU5917400A/en not_active Abandoned
- 2000-07-06 JP JP2001509433A patent/JP4582980B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-07-06 WO PCT/US2000/018522 patent/WO2001004227A2/en active Application Filing
- 2000-07-06 CN CN00809857A patent/CN1359322A/zh active Pending
- 2000-07-06 EP EP00945195A patent/EP1198529A2/en not_active Ceased
- 2000-07-07 TW TW089113535A patent/TW533229B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57133175A (en) * | 1980-12-29 | 1982-08-17 | Norton Co | Abrasive aggregate and abrasive sheet material |
| JPS59156760U (ja) * | 1983-02-21 | 1984-10-20 | リョービ株式会社 | 電動式包丁砥ぎ器用ダイヤモンド砥石 |
| JPS6357060U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-16 | ||
| JPS6451273A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-27 | Hitachi Ltd | Grinding wheel |
| JPH01216774A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-30 | Asahi Daiyamondo Kogyo Kk | 超砥粒ホイール及びその製造方法 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008531306A (ja) * | 2005-02-22 | 2008-08-14 | サンーゴバン アブレイシブズ，インコーポレイティド | 研磨品を製造する急速工作システム及び方法 |
| JP2006346800A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ビトリファイドボンド砥石及びその製造方法 |
| KR101433750B1 (ko) * | 2009-08-14 | 2014-08-27 | 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 | 연신체에 연마입자가 결합된 연마제품, 및 그의 형성 방법 |
| JP2016537439A (ja) * | 2013-09-25 | 2016-12-01 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | セラミック研磨材複合体研磨溶液 |
| JP2016538139A (ja) * | 2013-09-25 | 2016-12-08 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 多層研磨パッド |
| JP2019527148A (ja) * | 2016-07-20 | 2019-09-26 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 成形ガラス化研磨凝集体、研磨物品、及び研磨方法 |
| JP2019059006A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-18 | 株式会社ディスコ | 保護部材の加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4582980B2 (ja) | 2010-11-17 |
| CN1359322A (zh) | 2002-07-17 |
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