JP2002503559A - ガラス研削用研磨製品および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
用する方法に関する。
CRT画面およびその他の品目の形態で広く見られる。こうしたガラス表面の多
くは、表面が光学的に透明であるとともに、目視可能な欠点および/または欠陥
がないことが条件の光学部品とともに使用される。欠点、欠陥、および微細な掻
き傷があると、ガラス製品の光学的透明性が損なわれる。場合によっては、こう
した欠点、欠陥および/または微細な掻き傷は、ガラスを正確に見通す能力を妨
げることがある。光学部品とともに使用するガラス表面は、本質的に欠点、欠陥
および/または掻き傷があってはならない。
うした半径および湾曲は、ガラス形成工程で一般に形成される。しかし、ガラス
形成工程の結果として、成形線、粗い表面、小さい点などのような欠点およびそ
の他の小さい欠陥がガラスの外面に存在する場合がある。こうした欠点および/
または欠陥は、たとえ小さくても、ガラスの光学的透明性に影響する傾向がある
。こうした欠陥および/または欠点を除去するために、研磨仕上げ工程が広く使
用されてきた。研磨仕上げは、3つの主な工程、つまり研削、精研削および研磨
に一般に分類される。
面を租研削して成形上の欠点を除去する。一般に、この研磨工具は、ダイヤモン
ド、炭化タングステン、または立方晶窒化ホウ素などのような超研磨粒子を含む
。しかし、この租研削工程における研磨工具は、ガラス表面に粗い掻き傷を生じ
、結果として得られるガラス表面は、光学的に透明な状態まで直接研磨するのに
十分に精密でもなければ、十分に滑らかでもない。この研削工程の目的は、多量
のガラスを迅速かつかなり正確に除去して、できるだけ微細な掻き傷パターンを
残すことである。次に、「精研削」および「研磨」として一般に周知されている
後続のステップで、こうした掻き傷を除去する。
は、水などの液状媒体中に分散している複数の研磨粒子を含む。粗いスラリに使
用される最も一般的な研磨粒子は、軽石、炭化ケイ素、酸化アルミニウムなどで
ある。遊離砥粒スラリは、分散剤、潤滑剤、脱泡剤など、その他の添加剤を任意
に含んでも良い。殆どの場合、遊離砥粒スラリは、遊離砥粒スラリがガラス表面
とラップパッドとの間に存在するように、仕上げを施されるガラス表面とラップ
パッドとの間に揚送される。ラップパッドは、ゴム、発泡体、ポリマー材料、金
属、鋼などの材料から製造される。一般に、ガラスワークピースとラップパッド
とはともに、互いに対して回転する。研削工程は、1つまたは複数のステップを
一般に含み、各々のステップは、徐々に微細な表面仕上げをガラス上に生成する
。
傷パターンによるものである。掻き傷パターンは、表面に沿った一連の峰と谷と
して定義される。RtmおよびRaは、研磨業界で使用される共通の測定単位だ
が、正確な測定手順は、表面粗さの評価に用いる機器のタイプによって異なる。
平均粗さ高さ値として定義される。測定は、Rank Taylor Hobs
on計測器で設定される評価長さの範囲内で、表面の平均線の上下両方の点で行
う。RaおよびRtm(以下に定義する)は、半径5μmのダイヤモンドの先端
が付いている針である側面計プローブを使って測定し、結果をマイクロメートル
(μm)で記録する。こうした偏差測定値を合計してから測定値の数で除算し、
平均値を求める。一般に、Ra値が低ければ低いほど、仕上げは滑らかである。
5回の評価長さについて測定して、各評価長さの峰から谷までの最大値の平均で
ある。一般に、Rtm値が低ければ低いほど、仕上げは滑らかである。同じ仕上
げのガラス表面の測定を異なるブランドの市販側面計で行うと、Ra値とRtm
値がわずかに異なる場合があるが、必ずしも異なるわけではない。
透明な表面を形成する研磨ステップである。殆どの場合、この研磨ステップは、
遊離砥粒スラリを使って行われる。なぜなら、遊離砥粒スラリは、欠点、欠陥お
よび/または微細な掻き傷が本質的にない光学的に透明な表面を一般に形成する
からである。一般に、遊離砥粒スラリは、水中に分散したセリア研磨粒子を含む
。
研削ステップおよび研磨ステップで広く用いられるが、遊離砥粒スラリ自体に関
連する多くの欠点を有する。こうした欠点として、必要な多量のスラリの取扱い
が不便である、研磨粒子の沈殿を防ぎ、研磨界面における研磨粒子の濃度を均一
にするために攪拌する必要がある、遊離砥粒スラリを製造し、取り扱い、処分ま
たは回収および再利用するための追加の機器が必要である点が挙げられる。さら
に、スラリ自体を定期的に分析して、スラリの品質および分散安定性を保証しな
ければならず、高く付く工数がさらに必要になる。さらに、ポンプヘッド、弁、
供給ライン、研削パッド、および粗い砥粒スラリに接触するスラリ供給機器のそ
の他の部分は、結局望ましくない摩耗を示す。さらに、スラリを使用するステッ
プは、乱雑になるのが常である。つまり、遊離砥粒スラリは粘性の液体であり、
容易に飛散し、収納が難しいからである。
は固定砥粒と置き換える試みがあった。一般に、ラップ仕上げ研磨製品は、結合
剤中に分散した複数の研磨粒子を含む研磨コーティングを有する基材から成る。
たとえば、米国特許第4,255,164号、第4,576,612号、第4,
733,502号および欧州特許出願第650,803号には、様々な固定砥粒
および研磨工程が開示されている。固定砥粒を開示しているその他の参考文献と
して、米国特許第4,644,703号、第4,773,920号および第5,
014,468号が挙げられる。
場合によっては、固定砥粒は、光学的に透明かつ本質的に欠点、欠陥および/ま
たは微細な掻き傷がない表面を提供しない。また場合によっては、固定砥粒はガ
ラス製品を研磨するのに長時間を要するため、遊離砥粒スラリを使用する方が費
用効果が高くなる。同様に、場合によっては、固定砥粒の寿命は、遊離砥粒スラ
リに比べて高い固定砥粒のコストを正当化するほど十分に長くない。したがって
、場合によっては、固定砥粒は、遊離砥粒スラリほど経済的に望ましくない。
も短時間で迅速に素材を除去することにより、合理的な時間内にガラス表面を効
率的かつ経済的に研削できる研磨製品である。
としている。ガラスを研削する研磨製品は、基材と、有機結合剤中に分散したダ
イヤモンド粒子および金属塩を含む少なくとも1つの3次元研磨コーティングで
あって、該基材に一体接合されたコーティングとを含む。
、好ましくはガラス結合剤中に分散したダイヤモンド粒子を含む研磨凝集物を含
む少なくとも1つの3次元研磨コーティングであって、凝集物が、該基材に一体
接合された有機結合剤中に分散しているコーティングとを備える。
少なくとも1つの3次元研磨コーティングであって、セリア粒子、有機結合剤お
よび金属塩を含むコーティングとを含むガラスワークピース研磨用の研磨製品を
提供する。研磨用の本発明の研磨製品は、研磨複合体の最適な分解率、および研
磨複合体と基材との間の付着の改善を提供する。ガラスを研磨する研磨製品は、
研磨率を改善するための添加剤をさらに含むことが好ましい。好ましい添加剤と
して、黒鉛および二硫化モリブデンが挙げられる。
好ましい。複数の研磨複合体は、精密賦形された複合体、不規則に賦形された複
合体、または円筒体もしくは平らな上部を有するその他の柱形で良い。
されたウレタン基材である。アクリレートおよびウレタンアクリレートも好まし
い材料として使用することができる。
ド凝集粒子を含むことが好ましい。あるいは、ダイヤモンド粒子は、ダイヤモン
ド以外の硬質研磨粒子、軟質無機研磨粒子およびこれらの混合物と混合すること
ができる。ガラスを研磨するには、研磨粒子はセリア粒子を含むことが好ましい
。
しくは約2重量%〜4重量%存在することが好ましい。セリア研磨粒子の好まし
い量は、85重量%以下である。
15秒、一般に約12秒のをRPP手順を使用して、約1.1μm以下の最終R
aまでガラステストブランク上の200〜400μmの素材を除去することがで
きる。
が10〜15秒、一般に約12秒のRPP手順を使用して、約0.80μm以下
の最終Raまでガラステストブランク上の200μmの素材を除去することがで
きる。
凝集物を含む研磨製品は、研削時間間隔が10〜15秒、一般に約12秒のRP
P手順を使用して、約0.7μmの最終Raまでガラステストブランク上の10
0μmの素材を除去することができる。
磨製品は、約45秒以下、好ましくは約30秒以下、さらに好ましくは約20秒
以下、さらになお好ましくは約15秒の研磨時間間隔を使用して、Raが0.7
μmの表面粗さを約0.009μmの表面粗さまで減少させることができる。
り付けられている「Buehler Ecomet4」可変速度研削機/研磨機
を使用する。これらの機械はともに、イリノイ州、レークブラフのBuehle
r Industries, Ltd.から市販されている。試験は、一般に、
以下の条件を用いて行われる:モータ速度は60lb(267N)の力で500
rpmに設定し、ガラステストブランクの表面領域上の界面圧力を約25.5p
si(約180kPa)にする。この界面圧力は、変化した条件で試験を行うた
めに増減させる。
ステストブランクを用意する。このテストブランクは、ニューヨーク州、コーニ
ングのCorning Incorporatedから「CORNING#90
61」の商標で市販されている。このガラス材料を研削機/研磨機の電源ヘッド
内に配置する。研削機/研磨機の12in(30.5cm)のアルミニウムプラ
ットフォームは反時計方向に回転し、内部にガラステストブランクが固定されて
いる電源ヘッドは時計方向に35rpmで回転する。
着剤を使って、ショア硬度が約65durometerの押出しスラブストック
フォームウレタン基材パッド上に直接接着する。このウレタン基材パッドは、厚
さ約30mmの押出しスラブ連続気泡軟質フォームに取り付ける。このパッド組
立体は、研削機/研磨機のアルミニウムプラットフォーム上に配置する。水道水
を研磨製品上に毎分約3lの流速で噴霧して、研磨製品の表面とガラステストブ
ランクとの間を潤滑する。
or Hobsonが「SURTRONIC3」の商標で市販しているダイヤモ
ンド針側面計を使って評価する。ガラステストブランクの初期の厚さおよび重量
も記録する。
間間隔は、10秒に設定する。しかし、研磨製品とガラステストブランク表面と
の間の実際の接触は、設定時間より長い。なぜなら、研削機のタイミングは、研
磨製品がガラステストブランク表面上で安定するまで開始しないからである。つ
まり、ガラス表面および研削機上で研磨製品が多少縦揺れするかまたは飛ぶこと
により、研磨製品とガラス表面との間の接触が実質的に安定した時点でタイミン
グが開始する。したがって、実際の研削間隔、つまり研磨製品とガラス表面との
間の接触は約12秒である。研削後、最終的な表面仕上げおよび最終的な重量ま
たは厚さを各々記録する。
速度)は、多くの要素、たとえば使用する研磨装置、研磨製品の下の基材パッド
、研磨製品の回転速度、研磨される表面積のサイズ、接触圧力、研磨製品のサイ
ズ、除去されるガラスの量、研削される表面の最初の条件などによって異なる。
上記のRPP手順によって、本発明による製品および方法と従来のガラス研削技
術とを比較するために使用する基本的な性能特性が簡単に得られる。
イヤモンド、ダイヤモンド粒子を含む凝集物、またはセリア粒子を含む少なくと
も1つの3次元研磨コーティングを備える研磨製品を使って、ガラス表面を仕上
げる、つまり研削および研磨する物品および方法に関する。この研磨コーティン
グは、結合剤先駆物質から形成される結合剤と、複数の研磨粒子または研磨凝集
物、好ましくはダイヤモンドもしくはセリア研磨粒子、またはダイヤモンド粒子
を含む凝集物とを含む。
的または構造上の目的で使用される。ガラスは、少なくとも1つの仕上げ面を有
する。ガラスは比較的平らであるか、またはガラスに関連するある程度の輪郭を
有する場合がある。こうした輪郭は、曲線または角の形態である。ガラス表面ま
たはワークピースの実施例として、レンズ、プリズム、鏡、CRT(陰極線管)
画面などの光学部品の部分が挙げられる。CRT画面は、テレビジョン装置、コ
ンピュータモニタなどの装置に使用されるディスプレー表面に広く見られる。C
RT画面のサイズは、対角線状に測定して約10cm(4in)〜約100cm
(40in)以上である。CRT画面は、凸状で曲率半径がある外面を有する。
び図2に示されている。図1は、一方の主面に複数の研磨複合体11を支持する
一体成形基材14を備える研磨製品10の斜視図である。複合体11はダイヤモ
ンド状の形態であり、遠位の端部つまり上面12および基部13を含む。研磨粒
子は、異なる研磨材料の混合物で良い。複合体11は、基部13に沿って基材1
4と一体成形される。殆どすべての場合に、基材14は、複合体11間の平坦部
領域として見える。複合体11は、有機樹脂および研磨粒子、並びに充填材、顔
料、カップリング剤など、その他の任意の添加剤を含む。
る複合体11を示す。複合体11は、基材14全体の表面に位置するか、または
基材14の一部分は、図2に示すように複合体で覆われない状態で残る。複合体
11は、基材14上に対称かつ規則的に位置する。
離されることが好ましい。この分離は、一部には、液状媒体が研磨複合体間を自
由に流れることを可能にする。こうした液状媒体の自由な流れは、より良好な切
削率の表面仕上げ、またはガラス研削時の平坦度の改善に役立つ傾向がある。研
磨複合体の間隔は、1直線cm当たりの研磨複合体の数が約0.3個から約10
0個まで様々であるが、1直線cm当たりの研磨複合体の数が約0.4個から約
20個であれば好ましく、1直線cm当たりの研磨複合体の数が約0.5個から
約10個であればさらに好ましく、1直線cm当たりの研磨複合体の数が約0.
6個から3.0個であればさらになお好ましい。研磨製品の一態様では、1cm 2 当たり少なくとも約5個の複合体が存在するが、1cm2当たり少なくとも約1
00個の複合体が存在すると好ましい。本発明のその他の実施態様では、複合体
部分の間隔は、1cm2当たり約1個から約12,000個の複合体まで様々で ある。
3は、円形研磨複合体31を含む研磨製品の上面図を示す。基材34は、複合体
31の間に見られる。図3では、基材34全体の表面は、複合体間の平坦部領域
を除いて、複合体31により覆われている。研磨複合体31の高さは、研磨製品
30全体で一定だが、研磨複合体の高さを変えることもできる。複合体の高さは
、約10μm〜約25,000μm(2.5cm)の値で良いが、約25〜約1
5,000μmであれば好ましく、約100〜約10,000μmであればさら
に好ましく、約1,000〜約8,000μmであればさらになお好ましい。少
なくとも円柱状複合体の場合、複合体の直径は約1,000μm(1.0mm)
〜25,000μm(2.5cm)の値で良いが、5,000μm〜20,00
0μmであれば好ましい。特に好ましいトポグラフィとして、高さが約9.50
0μm(0.95cm)、基部直径が約15,900μm(1.59cm)の円
柱が挙げられる。隣接する円柱の基部間は、約3,200μmである。もう1つ
の好ましいトポグラフィとして、高さが約6,300μm(0.63cm)、基
部直径が約7,900μm(0.79cm)の円柱が挙げられる。隣接する円柱
の基部間は、約2,400μmである。
状部分に配置され、複合体の間に平坦部領域44がある。複合体41の形状また
はサイズは同じではない。
が望ましい。こうした金属付着研磨セグメントは、一般に、結果として得られる
研磨製品の研削能力を高める。たとえば、このセグメントは、電気めっきするか
もしくは熱圧するか、またはその他の公知のセグメントで良い。研磨粒子、たと
えばダイヤモンド粒子は、このセグメント全体に不規則に分散するか、または正
確に離間配置することができる。研磨粒子は、このセグメント全体に層状に配置
するか、または均質に配置することができる。特に有用な金属付着研磨セグメン
トは、1997年12月4日に提出された米国特許出願第08/984,899
号の教示により製造することができる。これらのセグメントの断面は矩形かまた
は円形であることが好ましいが、任意の形状にすることができる。このセグメン
トは、研磨複合体の側縁内に完全に適合する、つまり複合体の上面または複合体
の側壁を超えて延在しないことが好ましい。あるいは、研磨複合体内には、金属
が付着していないが、ガラスもしくはガラス化接着層またはセラミックもしくは
ガラス−セラミック接着層を有するセグメントを含むことが望ましい。
合体51の一部分には、金属付着研磨セグメント55が内部に埋め込まれている
。
6Aは、基材(図示しない)に隣接する基部63と、上面62とを有する複合体
61を示す。複合体61は、高さHを有する。一般に、複合体の高さは、約10
μm〜約30,000μm(2.5cm)であるが、約25μm〜約15,00
0μmであれば好ましく、約100μm〜約10,000μmであればさらに好
ましい。実施態様によっては、複合体51はわずかにテーパが付いている形状、
たとえば角錐または円錐であることが望ましい。図6Aは、基部63と内壁66
との間に、複合体61のテーパを画定する内角αを有する複合体61を示す。角
度αは、複合体に対するテーパがない90°から約45°の間で良い。角度αは
、75°〜89.9°であることが好ましいが、80°〜89.7°であればさ
らに好ましく、80°〜87°であればさらになお好ましい。テーパ付き複合体
は、使用時の複合体の分解を調節するのに役立ち、複合体を成形するのに使用さ
れる工具類から複合体を除去するのにも役立つと理論付けられる。また、図6A
には、側壁66が上面62と会合する隅の内半径である半径rが示されている。
一般に、わずかに丸みが付いた、つまり半径の付いた隅であることが好ましい。
なぜなら、丸みのある隅の場合、材料(つまり、樹脂および研磨粒子)を完全に
充填して、工具類から除去するすることが比較的容易であると考えられるからで
ある。
0μm〜約50,000μm(2.5cm)である。同様に、DTは、約500 μm〜約50,000μmである。その他の断面形状、たとえば方形、矩形、三
角形、星形などの場合、複合体の直径は、DOとDTとの差は、複合体61のテー
パ(角度αに直接関連する)および高さHによって決まる。
合剤の表面を超えて突出しないことが好ましい。研磨製品を使用して表面を研磨
する場合、複合体が破壊して未使用の研磨粒子が露出する。
、ブロック状、円筒状、角柱状、矩形、角錐、切頭角錐、円錐、切頭円錐、十字
形、平らな上面を有する柱状などの形状から選択する。もう1つの形状は半球で
あり、米国特許第5,681,217号に詳細に記されている。結果として得ら
れる研磨製品は、様々な形状の研磨複合体の混合物である。基部の断面形状は、
上面とは異なって良い。たとえば、研磨複合体の基部は方形で、上面は円形で良
い。
、ある指定の距離だけ、つまり平坦部領域により互いに分離していて良い。当接
の定義は、隣接する複合体が共通の研磨平坦部材料を共用する配列、または複合
体の対向する側壁間に接触して延在するブリッジ状構造にも当てはまる。研磨平
坦部材料は、研磨複合体の形成に使用するのと同じ砥粒スラリ、または基材の形
成に使用するスラリから一般に形成される。
るように設計されている。パイまたは楔形製品は、一般に、360°の円を完成
するように支持パッド上に配置される。次に、研磨製品のこの円を使用して、T
VおよびCRT画面などのようなガラスワークピースを研削する。あるいは、図
3および図5に示すように、製品の1つのみを支持パッド上に配置して、支持パ
ッド全体を覆うようにする。
0%〜約90%、さらに好ましくは約30%〜約70%、さらになお好ましくは
約40%〜約60%を研磨複合体で覆う。正確な研削工程に応じて、研削は、研
磨製品全体で行うか、またはある領域では他の領域よりも集中的に行う。
未硬化または未重合状態の樹脂を含む。研磨製品の製造中、結合剤先駆物質中の
樹脂は重合または硬化して、結合剤が形成される。結合剤先駆物質は、凝縮硬化
可能な樹脂、追加の重合可能な樹脂、遊離基硬化可能な樹脂、および/またはこ
うした樹脂の組合わせおよびブレンドを含む。
混合物である。重合過程は、結合剤先駆物質を適切な触媒とともに、熱エネルギ
ーまたは放射線エネルギーなどのエネルギー源に暴露することにより開始する。
放射線エネルギーの例としては、電子ビーム、紫外線または可視光線が挙げられ
る。
シ樹脂、アクリル化ポリエステル、エチレン系不飽和モノマー、不飽和カルボニ
ル側基を有するアミノプラストモノマー、少なくとも1つのアクリレート基を有
するイソシアヌレートモノマー、少なくとも1つのアクリレート側基を有するイ
ソシアネートモノマー、およびこれらの混合物および組合わせが挙げられる。ア
クリレートという用語は、アクリレートおよびメタクリレートを指す。
レタンアクリレートオリゴマーおよびエチレン系不飽和モノマーのブレンドを含
む。好適なエチレン系不飽和モノマーは、一官能価アクリレートモノマー、二官
能価アクリレートモノマー、三官能価アクリレートモノマーまたはこれらの組合
わせである。こうした結合剤先駆物質から形成される結合剤は、所望の特性を有
する研磨製品を提供する。特に、こうした結合剤は、研磨製品の寿命を通して研
磨製品を確実に保持するための靭性および耐久性があり、かつ長時間持続する媒
体を提供する。この結合剤の化学作用は、ダイヤモンド研磨粒子とともに使用す
るときに本質的に有用である。なぜなら、ダイヤモンド研磨粒子は、従来の殆ど
の研磨粒子より実質的に長時間持続するからである。ダイヤモンド研磨粒子の長
時間にわたる寿命を完全に利用するためには、靭性かつ耐久性のある結合剤を選
択する。したがって、ウレタンアクリレートオリゴマー、またはウレタンアクリ
レートオリゴマーとアクリレートモノマーおよびダイヤモンド研磨粒子とのブレ
ンドは、長時間持続して耐久性のある研磨コーティングを提供する。
のHenkel Corp.が「PHOTOMER」(たとえば「PHOTOM
ER6010」)の商標で市販しているもの;ジョージア州、スミルナのUCB
Radcure Inc.が市販している「EBECRYL220」(1,0
00分子量の六官能価芳香族ウレタンアクリレート)、「EBECRYL284
」(1,6−ヘキサンジオールジアクリレートで稀釈した1,200分子量の芳
香族ウレタンジアクリレート)、「EBECRYL4827」(1,600分子
量の芳香族ウレタンジアクリレート)、「EBECRYL4830(テトラエチ
レングリコールジアクリレートで稀釈した1,200分子量の芳香族ウレタンジ
アクリレート)、「EBECRYL6602」(トリメチロールプロパンエトキ
シトリアクリレートで稀釈した1,300分子量の三官能価芳香族ウレタンアク
リレート)および「EBECRYL840」(1,000分子量の芳香族ウレタ
ンジアクリレート);ペンシルバニア州、ウェストチェスターのSartome
r Co.が市販している「SARTOMER」(たとえば、「SARTOME
R9635、9645、9655、963−B80、966−A80など」;並
びにイリノイ州、シカゴのMorton Internationalが市販し
ている「UVITHANE」(たとえば「UVITHANE782」)が挙げら
れる。
もしくはオリゴマーは、一官能価、二官能価、三官能価もしくは四官能価、また
はさらに上位の官能価である。アクリレートという用語は、アクリレートおよび
メタクリレートの両方を指す。エチレン系不飽和結合剤先駆物質は、炭素原子、
水素原子および酸素原子を含むモノマー化合物およびポリマー化合物の両方を含
む。エチレン系不飽和モノマーまたはオリゴマーは、約4,000未満の分子量
を有することが好ましく、芳香族モノヒドロキシ基または芳香族ポリヒドロキシ
基を含む化合物と、不飽和カルボン酸、たとえばアクリル酸、メタクリル酸、イ
タコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸などとの反応から製造され
るエステルであることが好ましい。エチレン系不飽和モノマーの代表的な例とし
ては、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、スチレン、ジビニルベン
ゼン、ヒロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロ
キシプロピルアクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシブ
チルアクリレート、ヒドロシキブチルメタクリレート、ビニルトルエン、エチレ
ングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、エチレ
ングリコールジメタクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、トリエチレ
ングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、グリ
セロールトリアクリレート、ペンタエリトリトールトリアクリレート、ペンタエ
リトリトールトリメタクリレート、ペンタエリトリトールテトラアクリレートお
よびペンタエリトリトールテトラメタクリレートが挙げられる。その他のエチレ
ン系不飽和モノマーまたはオリゴマーとしては、モノアリル、ポリアリルおよび
ポリメタリルエステル、並びにカルボン酸のアミド、たとえばジアリルフタレー
ト、ジアリルアジペート、N,N−ジアリルアジペートが挙げられる。さらにそ
の他の窒素含有化合物として、トリス(2−アクリル−オキシエチル)イソシア
ヌレート、1,3,5−トリ(2メタクリルオキシエチル)−s−トリアジン、
アクリルアミド、メチルアクリルアミド、N−メチル−アクリルアミド、N,N
−ジメチルアクリルアミド、N−ビニル−ピロリドン、およびN−ビニル−ピペ
リドン、並びにRadcure Specialtiesが市販している「CM
D3700」が挙げられる。エチレン系不飽和稀釈剤またはモノマーは、米国特
許第5,236,472号および第5,580,647号に記載されている。
び最終研磨製品に望ましい任意の添加剤または充填材の重量%によって決まる。
一般に、これらのアクリレートモノマーは、約5重量部〜約95重量部のウレタ
ンアクリレートオリゴマー対約5重量部〜約95重量部のエチレン系不飽和モノ
マーの範囲である。その他の潜在的に有用な結合剤の詳細は、PCT出願第WO
97/11484号および米国特許第4,773,920号に記載されている。
ばビスフェノールAエポキシ樹脂のジアクリレートエステルである。市販のアク
リル化エポキシの例としては、Radcure Specialtiesが市販
している「CMD3500」、「CMD3600」および「CMD3700」の
商標を有するもの、並びにSartomer Co.が市販している「CN10
3」、「CN104」、「CN111」および「CN114」の商標を有するも
のが挙げられる。
onが市販している「PHOTOMER5007」および「PHOTOMER5
018」がある。
を有する。こうした不飽和カルボニル基は、アクリレート、メタクリレートまた
はアクリルアミドタイプの基である。こうした材料の例としては、N−(ヒドロ
キシメチル)−アクリルアミド、N,N’−オキシジメチレンビスアクリルアミ
ド、オルトおよびパラアクリルアミドメチル化フェノール、アクリルアミドメチ
ル化フェノールノボラックおよびこれらの組合わせが挙げられる。これらの材料
の詳細は、米国特許第4,903,440号および第5,236,472号に記
載されている。
も1つのアクリレート側基を有するイソシアヌレート誘導体の詳細は、米国特許
第4,652,274号に記載されている。好ましいイソシアヌレート材料は、
トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリアクリレートである。
質は硬化剤をさらに含むことができ、こうした硬化剤は触媒または開始剤として
も周知されている。硬化剤を適切なエネルギー源に暴露すると、重合過程を開始
する遊離基源を生成する。
環を有し、開環反応により重合される。こうしたエポキシド樹脂としては、モノ
マーエポキシ樹脂およびポリマーエポキシ樹脂がある。好ましいいくつかのエポ
キシ樹脂の例としては、2,2−ビス−4−(2,3−エポキシプロポキシ)−
フェニル)プロパン、テキサス州、ヒューストンのShell Chemica
l Co.が「EPON828」、「EPON1004」および「EPON10
01F」の商標で市販しているビスフェノールのジグリシジルエーテル、並びに
ミシガン州、ミッドランドのDow Chemical Co.が市販している
「DER−331」、「DER−332」および「DER−334」が挙げられ
る。その他の適切なエポキシ樹脂としては、脂環式エポキシ樹脂、Dow Ch
emical Co.が市販しているフェノールホルムアルデヒドノボラック樹
脂のグリシジルエーテル(たとえば「DEN−431」および「DEN−428
」)が挙げられる。遊離基硬化性樹脂とエポキシ樹脂とのブレンドの詳細は、米
国特許第4,751,138号および第5,256,170号に記載されている
。
のに役立つ。本発明に有用な基材は、結合剤先駆物質を硬化条件に暴露した後に
結合剤に付着することができ、こうした暴露後に可撓性になり、本発明の方法に
使用する製品が、ガラスの表面輪郭、半径および凹凸に馴染むことが好ましい。
間持続するように強力かつ耐久性がある必要がある。さらに、研削用途によって
は、基材は、研磨製品がガラスワークピースに均一に馴染むように強力であり、
かつ可撓性を有する必要がある。これは、ガラスワークピースの表面が、ワーク
ピースに関連する形状または輪郭を有する場合に言えることである。基材は、こ
うした強度および馴染みやすさの特性を提供するポリマーフィルム、紙、バルカ
ンファイバー、成形または流延エラストマー、処理済み不織基材、または処理済
み布基材で良い。ポリマーフィルムの例としては、ポリエステルフィルム、コポ
リエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィルムなどが挙げられ
る。紙などの不織布は、熱硬化性または熱可塑性材料を飽和させて必要な特性を
与えることができる。上記の基材材料は、充填材、繊維、染料、顔料、湿潤剤、
カップリング剤、可塑剤などのような添加剤をさらに含むことができる。好まし
くは、本発明のガラス研磨製品に使用する基材は、1種類または複数種類の繊維
、たとえばシリケート、金属、ガラス、炭素、セラミック、高弾性有機物および
これらの組合わせの繊維を含む。本発明の基材は、強化用スクリムまたは布、た
とえばデラウェア州、ウィルミントンのDuPont Companayが市販
しているNOMEXTMの布をさらに含むことができる。
、つまり複合体をたとえば布などのような基材に別個に取り付けるのではなく、
複合体に隣接して直接成形された基材が好ましい。基材は、複合体を成形した後
に複合体の裏側に成形もしくは注型するか、または複合体と同時に成形もしくは
注型することができる。基材は、熱または放射線硬化性熱可塑性樹脂または硬化
性樹脂から成形することができる。代表的かつ好ましい熱硬化性樹脂の例として
は、フェノール樹脂、アミノプラスト樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、エチ
レン系不飽和樹脂、アクリル化イソシアヌレート樹脂、ユリアホルムアルデヒド
樹脂、イソシアヌレート樹脂、アクリル化ウレタン樹脂、アクリル化エポキシ樹
脂、ビスマルイミド樹脂、およびこれらの混合物が挙げられる。好ましい熱可塑
性樹脂の例としては、ポリアミド樹脂(たとえばナイロン)、ポリエステル樹脂
およびポリウレタン樹脂(ポリウレタン−ユリア樹脂を含む)が挙げられる。1
つの好ましい熱可塑性樹脂は、ポリエステルポリオールおよびイソシアネートの
反応生成物から誘導したポリウレタンである。
たは類似する場合も含まれる。
7は、本発明の研磨凝集物を示す。研磨凝集物70は、永久的結合剤72中に分
散した単一研磨粒子74を含む。永久的結合剤72は、上記のガラス、セラミッ
ク、金属または有機結合剤で良い。単一研磨粒子74は、単一ダイヤモンド粒子
を含むことが好ましい。凝集物に使用する単一ダイヤモンド粒子の粒度は、約1
μm〜約100μmであることが好ましい。好ましい永久的結合剤は、フロリダ
州、オルズマーのSpecialty Glass Inc.が市販している「
SP1086」ガラス粉末である。
00μm〜約1000μmだが、約100μm〜約400μmであれば好ましく
、約225μm〜約350μmであればさらに好ましい。しかし、15μm未満
のダイヤモンド粒子を含む凝集粒子の平均粒度は、約20μm〜約450μmで
あるが、約40〜約400μmであれば好ましく、約70〜約300μmであれ
ばさらに好ましい。
5号および第4,799,939号に記載されている。研磨粒子は、表面処理剤
またはコーティング、たとえばカップリング剤または金属もしくはセラミックコ
ーティングをさらに含むことができる。
0μm(大きい粒子)であるが、約3μm〜約500μmであれば好ましく、約
5μm〜約400μmであればさらに好ましい。場合によっては、研磨粒子の粒
度は、「メッシュ」または「グレード」で記載され、これらはともに、一般に周
知されている研磨粒子の粒度決定方法である。研磨粒子は、少なくとも8のモー
ス硬度を有することが好ましいが、少なくとも9であればさらに好ましい。こう
した研磨粒子の例としては、溶融酸化アルミニウム、セラミック酸化アルミニウ
ム、加熱処理済み酸化アルミニウム、炭化ケイ素、アルミナジルコニア、酸化鉄
、ダイヤモンド(天然および合成)、セリア、立方晶窒化ホウ素、ざくろ石およ
びこれらの組合わせがある。
を含む研磨凝集物を使用する。こうしたダイヤモンド研磨粒子は、天然または合
成ダイヤモンドで良く、「樹脂付着ダイヤモンド」、「鋸歯グレードダイヤモン
ド」または「金属付着ダイヤモンド」が考えられる。単一ダイヤモンドは、ダイ
ヤモンドに関連するずんぐりした形状を有するか、または針状の形状を有する。
単一ダイヤモンド粒子は、金属コーティング(たとえばニッケル、アルミニウム
、銅)、無機コーティング(たとえばシリカ)または有機コーティングなどのよ
うな表面コーティングを含む。本発明の研磨製品は、ダイヤモンドとその他の研
磨粒子とのブレンドを含む。ガラス研磨の場合、研磨製品は、セリア研磨粒子を
使用する。
の研磨粒子または凝集物、および10重量部〜99.9重量部の結合剤を含み、
「結合剤」という用語は、任意の充填材および/または研磨粒子以外の添加剤を
含む。しかし、ダイヤモンド研磨粒子に関連する費用の点で、研磨コーティング
は、約0.1〜50重量部の研磨粒子または凝集物、および約50〜99.9重
量部の結合剤を含むことが好ましい。研磨コーティングは、約1重量部〜30重
量部の研磨粒子または凝集物、および約70〜99重量部の結合剤を含むとさら
に好ましく、研磨コーティングは、約1.5〜10重量部の研磨粒子または凝集
物、および約90〜98.5重量部の結合剤を含むとさらになお好ましい。ダイ
ヤモンド研磨粒子の特に有用な範囲は、研磨複合体中に2重量%から4重量%の
ダイヤモンドである。本発明の研磨製品は、研磨複合体中の一次研磨剤としてセ
リア粒子を含み、セリア粒子は、1重量部〜95重量部の量で存在することが好
ましいが、10重量部〜95重量部存在すればさらに好ましく、残りは結合剤で
ある。
面変性添加剤、カップリング剤、充填材、膨張剤、繊維、静電防止剤、硬化剤、
沈殿防止剤、光開始剤、潤滑剤、湿潤剤、界面活性剤、顔料、染料、紫外線安定
剤、および酸化防止剤をさらに含むことができる。こうした材料の量は、所望の
特性が得られるように選択する。
ップリング剤は、結合剤と充填材粒子との間に会合橋を提供する。カップリング
剤の例としては、シラン、チタネートおよびジルコアルミネートが挙げられる。
カップリング剤を含むには、様々な手段がある。たとえば、カップリング剤は、
結合剤先駆物質に直接添加することができる。研磨コーティングは、約0重量%
〜30重量%、好ましくは0.1重量%〜25重量%のカップリング剤を含む。
あるいは、カップリング剤は、充填材粒子または研磨粒子の表面に塗布すること
ができる。研磨粒子は、研磨粒子およびカップリング剤の重量に基づいて約0重
量%〜3重量%のカップリング剤を含むことができる。市販のカップリング剤の
例としては、コネチカット州、ダンベリーのOSi Specialtiesか
ら市販されている「A174」および「A1230」が挙げられる。市販のカッ
プリング剤のさらにもう1つの例は、ニュージャージー州、ベイヨンのKenr
ich Petrochemicalsが「KR−TTS」の商標で市販してい
るイソプロピルトリイソステロイルチタネートがある。
粒子材料であり、その粒度は一般に0.1μm〜50μmである。本発明に有用
な充填材の例としては、金属カルボネート(カルシウムカルボネート−白亜、方
解石、泥灰岩、トラバーチン、大理石および石灰岩;カルシウムマグネシウムカ
ルボネート、ナトリウムカルボネート、およびマグネシウムカルボネート)、ケ
イ素(たとえば、石英、ガラスビード、ガラスバブルおよびガラス繊維)、シリ
ケート(たとえば、タルク、クレー−モンモリロナイト;長石、雲母、カルシウ
ムシリケート、カルシウムメタシリケート、ナトリウムアルミノシリケート、ナ
トリウムシリケート、リチウムシリケート、含水および無水カリウムシリケート
、アルミニウムナトリウムスルフェート、アルミニウムスルフェート)、石膏、
ひる石、木粉、三水化アルミニウム、カーボンブラック、金属酸化物(たとえば
、酸化カルシウム−石灰;酸化アルミニウム、酸化スズ、たとえば酸化第二スズ
;二酸化チタン)および金属スルフィット(たとえばカルシウムスルフィット)
、熱可塑性粒子(ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエステル、ポリ
エチレン、ポリスルホン、ポリスチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチ
レンブロックコポリマー、ポリプロピレン、アセタールポリマー、ポリウレタン
、ナイロン粒子)および熱硬化性粒子(フェノールバブル、フェノールビード、
ポリウレタンフォーム粒子)などがある。充填材は、ハロゲン化塩などの塩でも
良い。ハロゲン化塩の例としては、塩化ナトリウム、カリウム氷晶石、ナトリウ
ム氷晶石、アンモニウム氷晶石、カリウムテトラフルオロボレート、ナトリウム
テトラフルオロボレート、フッ化ケイ素、塩化カリウム、および塩化マグネシウ
ムがある。金属充填材の例としては、スズ、鉛、ビスマス、コバルト、アンチモ
ン、カドミウム、チタン鉄がある。その他の充填材としては、硫黄、有機硫黄化
合物、黒鉛および金属硫化物がある。
が「OX−50」の商標で市販している。沈殿防止剤を添加すると、砥粒スラリ
全体の粘度が低下する。沈殿防止剤の使用に関する詳細は、米国特許第5,36
8,619号に記載されている。
が望ましい。一例として、ダイヤモンド粒子が全体に均質に混合された砥粒スラ
リを形成することが可能である。複合体および基材をスラリから注型または成形
した後、ダイヤモンド粒子は調節可能な速度で沈殿し、ダイヤモンド粒子が沈殿
しなくなる点まで有機樹脂が硬化する時点までに、ダイヤモンド粒子は基材から
離れ、複合体中にのみ位置するようになる。
架橋過程を開始および完了して、結合剤先駆物質を結合剤に転換するのに役立つ
。硬化剤という用語は、開始剤、光開始剤、触媒および活性剤を含む。硬化剤の
量および種類は、主に結合剤先駆物質の化学的性質によって決まる。
じる。エネルギー源が電子ビームである場合、電子ビームは、重合を開始する遊
離基を生成する。しかし、本発明の範囲には、結合剤先駆物質が電子ビームに暴
露される場合にも開始剤を使用することも含まれる。エネルギー源が熱、紫外線
または可視光線である場合、開始剤は、遊離基を生成するように存在しなければ
ならない。紫外線または熱に暴露された後に遊離基を生成する開始剤(つまり、
光開始剤)の例としては、有機過酸化物、アゾ化合物、キノン、ニトロソ化合物
、アシルハロゲン化物、ヒドラゾン、メルカプト化合物、ピリリウム化合物、イ
ミダゾール、クロロトリアジン、ベンゾイン、ベンゾインアルキルエーテル、ジ
ケトン、フェノンおよびこれらの混合物があるが、これらだけに限らない。紫外
線に暴露された後に遊離基を生成する市販の光開始剤の例としては、ニュージャ
ージー州、ホーソンのCiba Geigy Companyが「IRGACU
RE651」および「IRGACURE184」の商標で市販しているもの、お
よびニュージャージー州、ラーウェイのMerck & Company, I
ncorporated.が「DAROCUR1173」の商標で市販している
ものが挙げられる。可視光線に暴露された後に遊離基を生成する開始剤の例は、
米国特許第4,735,632号に記載されている。可視光線に暴露された後に
遊離基を生成するもう1つの光開始剤は、Ciba Geigy Compan
yから「IRGACURE369」の商標で市販されている。
%、好ましくは1重量%〜4重量%の量で使用する。さらに、開始剤は、微粒子
材料、たとえば研磨粒子および/または充填材粒子を添加する前に、結合剤先駆
物質中に分散させる、好ましくは均質に分散させることが好ましい。
光線に暴露することが好ましい。場合によっては、特定の研磨粒子および/また
は特定の添加剤は、紫外線および可視光線を吸収し、結合剤先駆物質を適切に硬
化させることが難しくなる。この現象は、セリア研磨粒子および炭化ケイ素研磨
粒子の場合に特に言えることである。きわめて意外なことに、ホスフェートを含
む光開始剤、特にアシルホスフィンオキシドを含む光開始剤を使用すると、この
問題が克服される傾向があることが分かった。こうした光開始剤の例としては、
2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシドであり、ノー
スキャロライナ州、シャーロットのBASF Corporationが「LU
CIRIN TPO」の商標で市販している。市販のアシルホスフィンオキシド
のその他の例としては、「DAROCUR4263」および「DARCUR42
65」の商標を有するものがあり、ともにMerck & Companyが市
販している。
響を及ぼす感光剤または光開始剤系を含むことができる。こうした感光剤または
光開始剤系としては、カルボニル基または第三アミノ基を有する化合物およびこ
れらの混合物がある。カルボニル基を有する好ましい化合物としては、ベンゾフ
ェノン、アセトフェノン、ベンジル、ベンズアルデヒド、o−クロロベンズアル
デヒド、キサントン、チオキサントン、9,10−アントラキノン、およびその
他の芳香族ケトンがあり、これらは光開始剤として作用する。好ましい第三アミ
ンとしては、メチルジエタノールアミン、エチルジエタノールアミン、トリエタ
ノールアミン、フェニルメチル−エタノールアミンおよびジメチルアミノエチル
ベンゾエートがある。一般に、感光剤または光開始剤系の量は、結合剤先駆物質
の重量に基づいて、約0.01重量%〜10重量%であるが、約0.25重量%
〜4.0重量%であれば好ましい。感光剤の例としては、「QUANTICUR
E ITX」、「QUANTICUR QTX」、「QUANTICURE P
TX」、「QUANTICURE EPD」の商標を有するものがあり、これら
はすべて、ニューヨーク州、ニューヨークのBiddle Sawyer Co
rp.が市販している。
粒スラリは、適切な混合技術により、結合剤先駆物質、研磨粒子または凝集物お
よび任意の添加剤を一緒に化合させて製造する。混合技術の例としては、低剪断
および高剪断混合があるが、高剪断混合が好ましい。超音波エネルギーを混合ス
テップと組み合わせて使用すると、砥粒スラリの粘度を低下させることもできる
。一般に、研磨粒子または凝集物は、結合剤先駆物質中に徐々に添加する。砥粒
スラリは、結合剤先駆物質、研磨粒子または凝集物および任意の添加剤の均質な
混合物であることが好ましい。必要なら、水および/または溶剤を添加して粘度
を低下させても良い。砥粒スラリ中の気泡の量は、混合ステップ時または混合ス
テップ後に真空にして最小限にする。場合によっては、一般に約30℃〜約10
0℃で砥粒スラリを加熱して、粘度を低下させることが好ましい。砥粒スラリは
、十分な塗布が行われ、研磨粒子または凝集物およびその他の充填材が塗布前に
沈殿しないだけの流動性が得られるように、塗布前に監視することが重要である
。
ラミック、金属)、および単一研磨粒子を、成分を湿潤させるのに十分な量の溶
剤、一般に水と一緒に混合し、成形可能なペーストにして製造する。しかし、永
久的結合剤が有機結合剤である場合、一時的結合剤は不要である。成形可能なペ
ーストは、適切な成形型内に配置して空気で乾燥させ、硬化した凝集物を取り出
す。次に、スクリーンなどの分類手段を使用して、凝集物を個々の凝集物に分離
し、空気中で着火して最終的な乾燥済み凝集物を生成する。有機的な永久的結合
剤の場合、粒子を着火せずに、有機結合剤を硬化させる方法で処理する。
ャビティを含む成形型を使用する。これらのキャビティは、所望の研磨複合体の
本質的に逆の形状であり、研磨複合体の形状の生成に役立つ。正方形の単位面積
当たりのキャビティの数によって、正方形の単位面積当たりの対応する数の研磨
複合体を有する研磨製品が形成される。これらのキャビティは、任意の幾何学的
形状、たとえば円筒、ドーム、角錐、矩形、切頭角錐、角柱、立方体、円錐、切
頭円錐、または上面の断面が三角形、方形、円形、矩形、六角形、八角形などの
形状などを有して良い。キャビティの寸法は、正方形の単位面積当たりの研磨複
合体が所望の数になるように選択する。キャビティは、隣接するキャビティ間に
空間があるドット状のパターンで存在するか、またはキャビティは互いに当接し
て良い。
ー塗布、ナイフ塗布など、従来の技術で成形型のキャビティ内に塗布することが
できる。成形型が、平らな上部または比較的直線状の側壁を有するキャビティを
含む場合、塗布時に真空を使用して、空気が閉じ込められるのを最小限にするこ
とが好ましい。
ような塗布ロール、塗布ロール上に取り付けられたスリーブ、またはダイで良く
、ニッケルめっき表面を含む金属、合金、セラミックまたはプラスチックで良い
。製造工具、製造工具の製造、材料などの詳細は、米国特許第5,152,91
7号および第5,435,816号に記載されている。
は重合する。この重合は、一般に、エネルギー源に暴露された後に開始する。一
般に、エネルギーの量は、結合剤先駆物質の化学的性質、砥粒スラリの寸法、研
磨粒子の量および種類、任意の添加剤の量および種類など、いくつかの要素によ
って決まる。放射線エネルギーは、1つの好ましいエネルギー源である。放射線
エネルギー源としては、電子ビーム、紫外線、または可視光線がある。
研磨製品が製造工具の逆の複製品である米国特許第5,152,917号、およ
び米国特許第5,435,816号に記載されている。
することができる。こうした転換は、細断、打抜き、または任意の適切な手段に
より行うことができる。
研磨複合体は、複合体上に注型または成形される樹脂基材に直接付着するが、複
合体はまだ成形型のキャビティ内に存在することが好ましい。好ましくは、基材
は、研磨複合体の有機樹脂が完全に硬化する前に成形して、複合体と基材との間
がより良く付着するようにする。下塗剤または付着促進剤を複合体の表面に含ん
だ後に基材を成形して、基材が適切に付着するようにことが望ましい。
厚さであればさらに好ましい。結果として得られる研磨製品は、弾性かつ柔軟性
があり、支持パッドに関する曲率つまり半径を有する支持パッドに適合すべきで
ある。場合によっては、予備成形された曲率を有する基材を成形することが望ま
しい。
ら成形することができる。特に有用な基材樹脂の例としては、ウレタン、エポキ
シ樹脂、アクリレートおよびアクリル化ウレタンがある。基材は、基材中に研磨
粒子を含まないことが好ましい。なぜなら、これらの粒子は、研削目的では一般
に使用されないからである。しかし、充填材、繊維またはその他の添加剤は、基
材中に含んで良い。繊維を基剤中に混入すると、基材と研磨複合体との間の付着
を高めることができる。本発明の基材に有用な繊維の例としては、シリケート、
金属、ガラス、炭素、セラミックおよびその他の有機材料から製造されるものが
ある。基材に使用するのに好ましい繊維は、カルシウムシリケート繊維、鋼繊維
、ガラス繊維、炭素繊維、セラミック繊維、および高弾性有機繊維である。
望ましく、これは、スクリム材料などを成形基材に含むことにより達成すること
ができる。基材の成形時、スクリムまたはその他の材料を、既に樹脂が充填され
たが未硬化のキャビティ上に配置し、次にもう1つの樹脂層をスクリム上に塗布
することができるか、またはスクリムまたはその他の材料を未硬化成形済み基材
上に配置することができる。スクリムまたは追加の基材材料は十分に多孔性であ
り、基材樹脂が材料を貫通浸透して材料を包み込むことができることが好ましい
。
ては、金属またはワイヤメッシュ、綿などのような布帛、ポリエステル、レーヨ
ン、ガラスクロス、または繊維などのようなその他の強化材料がある。スクリム
または強化材料は、予備処理を施して、スクリムに対する樹脂の付着を高める。
し、短時間で滑らかな表面を提供する。研削時、研磨製品はガラス表面に対して
移動し、下方にガラス表面上に圧迫されるが、この力は、約0.5g/mm2〜 約25g/mm2、さらに好ましくは約0.7g/mm2〜約20/mm2、さら になお好ましくは約10/mm2である。下方の力が高すぎる場合、研磨製品は 掻き傷の深さを改善せず、場合によっては、掻き傷の深さを増加する。また、研
磨製品は、下方の力が高すぎると過度に摩耗する。逆に、下方の力が低すぎると
、研磨製品は十分なガラス材料を効果的に除去しない。用途によっては、ガラス
ワークピースが下方に研磨製品上に圧迫される。
他方に対して運動する。この運動は、回転運動、不規則な運動または線形運動で
ある。回転運動は、研磨ディスクを回転工具に取り付けて生じさせる。ガラス表
面および研磨製品は、同じ方向または反対方向に回転して良いが、同じ方向の場
合、回転速度は異なる。機械については、動作rpmは、使用する研磨製品に応
じて約4,000rpm以下だが、約25rpm〜約2,000rpmであれば
好ましく、約50rpm〜約1,000rpmであればさらに好ましい。不規則
な軌道運動は不規則な軌道工具によって生じ、線形運動は連側研磨ベルトで生じ
る。ガラスと研磨製品との相対運動は、ガラスの寸法によっても左右される。ガ
ラスが比較的大きい場合、研削時に研磨製品を移動させて、ガラスは固定してお
くことが好ましい。
の蓄積を防ぎ、研削界面から削り屑を除去する。「削り屑」とは、研磨製品によ
って研磨される実際のガラスの残骸を記述するために使用される用語である。場
合によっては、ガラスの削り屑は、研削されるガラスの表面を損傷することがあ
る。したがって、削り屑を界面から除去することが望ましい。水は、一般に好ま
しい液体である。
タンフォーム、ゴム材料、エラストマー、ゴムベースのフォームまたはその他の
適切な材料から製造され、ワークピースの輪郭に馴染むように設計される。支持
パッド材料の硬度および/または圧縮率は、所望の研削特性(切削率、研磨製品
の製品寿命およびガラスワークピースの表面仕上げ)が得られるように選択する
。
あるいは、支持パッドは、研磨製品が固定される一連の***部分および比較的低
い部分を有する不連続な表面を有しても良い。不連続な表面の場合、研磨製品は
***部分にのみ固定される。逆に、研磨製品は、研磨製品全体が完全には支持さ
れないように、複数の***部分に固定しても良い。支持パッド内の不連続な表面
は、水の所望の流動および所望の研削特性(切削率、研磨製品の製品寿命、およ
びガラスワークピースの表面仕上げ)が得られるように選択する。
ッドのサイズは、最小寸法で約5cm〜1,500cmである。
接着により支持パッドに固定する。取付けは、研磨製品が支持パッドに確実に固
定され、湿潤な環境、熱の生成および圧力など、過酷なガラス研削に耐えるよう
に行わなければならない。
ン、アクリルポリマーおよびコポリマー、たとえばポリブチルアクリレート、ポ
リアクリレートエステル、ビニルエーテル、たとえばポリビニルn−ブチルエー
テル、アルキド接着剤、ゴム接着剤、たとえば天然ゴム、合成ゴム、塩素化ゴム
およびこれらの組合わせがある。
プ式取付けシステムを備えても良い。ループ布帛は塗布研磨製品の裏側に位置し
、フックは支持パッド上に位置する。あるいは、フックが塗布研磨製品の裏側に
位置し、ループが支持パッド上に位置しても良い。このフック/ループ式取付け
システムの詳細は、米国特許第4,609,581号、第5,254,194号
および第5,505,747号、並びにPCT出願第WO95/19242号に
記載されている。
る。実施例に記載されているすべての部分、割合、比率などは、特記しない限り
重量に基づく。
ポリマー。ノースキャロライナ州、シャーロットのUniroyal Che
mical Co.が「ADIPRENE L−100」の商標で市販。 AER 非晶質溶融シリカ充填材。イリノイ州、タスコラのCabo
t Corporationが「CAB−O−SIL M5」の商標で市販。 AMI 芳香族アミン(ジメチルチオトルエンジアアミン)。ルイジ
アナ州、バトンルージュのAlbemarle Corporationが「E
THACURE 300」の商標で市販。 APS 陰イオンポリエステル界面活性剤。デラウェア州、ウィルミ
ントンのICI Americas, Inc.が「FP4」および「PS4」
の商標で市販。 A−1100 シランγ−アミノプロピルトリエトキシシラン。コネチカッ
ト州、ダンベリーのOSi Specialtiesが市販。 BD ダイヤモンド粒子の一時的結合剤として使用されるポリビニ
ルブチラール樹脂。マサシューセッツ州、スプリングフィールドのMonsan
toが「BUTVAR DISPERSION」の商標で市販。 CaCO3 炭酸カルシウム充填材。 CERIA 酸化セリウム。コネチカット州、シェルトンのRhone−
Poulencが「POLISHING OPALINE」の商標で師範。 CMSK 処理済みカルシウムメタシリケート充填材。ニューヨーク州
、ウィルズボロのNYCOが「WOLLASTOCOAT400」の商標で市販
。 DIA 工業用ダイヤモンド粒子(各種粒度)。オハイオ州、ワージ
ントンのGeneral Electricが「RVG」、「Type W」の
商標で市販。 EPO エポキシ樹脂。テキサス州、ヒューストンのShell C
he mical Co.が「EPON828」の商標で市販。 ETH 芳香族アミン(ジエチルトルエンジアミン)。ルイジアナ州
、バトンルージュのAlbemarle Corporationが「ETHA
CURE100」の商標で市販。 GLP 粒度が約325メッシュのガラス粉末。フロリダ州、オルズ
マーのSpecialty GlassがSP1086の品番で市販し、研磨粒
子の永久的結合剤として使用される。 黒鉛 黒鉛粉末。テキサス州、バーネットのTiconderog
a Companyが「Grade No.200−09Graphite P
owder」の商標で市販。 KBF4 フッ化ホウ素酸カリウム。サウスキャロライナ州、ロックヒ
ルのAtotech USA,Inc.が市販しているものを78μm未満に粉
砕。 K−SS 無水カリウムシリケート。ペンシルバニア州、バリーフォー
ジのPQ Corporationが「KASOLV SS」の商標で市販。 K−16 含水カリウムシリケート。ペンシルバニア州、バリーフォー
ジのPQ Corporationが「KASOLV 16」の商標で市販。 Moly 二硫化モリブデン。ウィスコンシン州、ミルウォーキーのA
ldrich Chemical Companyが市販。 RIO 赤色酸化鉄顔料粒子。 RHN DIA 工業用ダイヤモンド粒子(各種粒度)。フロリダ州、ボカレ
ートンのAmerican Boarts Crushing Company
Inc.が市販。タイプRB。Coulterマルチサイザを使用して所望の
粒度にさらに分類および測定。 SR339 2−フェノキシエチルアクリレート。ペンシルバニア州、エ
クストンのSartomer Companyが「SR339」の商標で市販。 TFS トリフルオロプロピルメチルシロキサン脱泡剤。ミシガン州
、ミッドランドのDow Corning Companyが「7」の商標で市
販。 URE ポリテトラメチレングリコール/トルエンジイソシアネート
プレポリマー。ノースキャロライナ州、シャーロットのUniroyal Ch
emical Co.が「ADIPRENE L−167」の商標で市販。 VAZO 1,1’−アゾビス(シクロヘキサノンカルボニトリル)、
98%。ウィスコンシン州、ミルウォーキーのAldrich Chemica
l Company,Inc.が市販。 W−G カルシウムシリケート繊維。ニューヨーク州、ウィルズボロ
のNYCO Minerals,Inc.が「NYAD G Special」
の商標で市販。
E)の25.0mm厚シートにテーパ付き穴のパターンを穴あけして作製した。
結果として得られるポリマー製造工具は、円柱状のキャビティを含んでいた。各
々の円柱の高さは約6,300μmであり、直径は約7,900μmであった。
隣接する円柱の基部の間には、約2,400μmの距離があった。
この研削機の上に「BUEHLER ECOMET2」電源ヘッドを取り付けた
。これらはともに、Buehler Industries,Ltd.が市販し
ている。試験は、以下の条件を使用して行った:モータの速度は500rpmに
設定し、ガラスと研磨製品との界面の定圧は、ガラステストブランクの表面領域
上で25.5psi(約180kPa)または15psi(約106kPa)に
設定した。
4cm(1in)および厚さ約1.0cmであり、Corning Incor
poratedから「CORNING #9061」の商標で市販しているもの
だった。ガラス材料は、研削機の電源ヘッド内に配置した。研削機の30.5c
m(12in)アルミニウムプラットフォームは反時計方向に回転し、ガラステ
ストブランクが固定された電源ヘッドは時計方向に35rpmで回転した。
て、ショアA硬度が約90curometerのウレタン基材パッド上に直接付
着させた。このウレタン基材パッドは、軟質フォームのシートから切断した厚さ
約30mmの連続気泡軟質フォームパッドに取り付けた。このパッド組立体を研
削機のアルミニウムプラットフォーム上に配置した。研磨製品上に、水道水を毎
分約3lの流速で噴霧して、研磨製品の表面とガラステストブランクとの間を潤
滑した。
間間隔は、10秒に設定した。しかし、研磨製品とガラステストブランク表面と
の実際の接触時間は、設定時間より長いことが分かった。なぜなら、研削機は、
研磨製品がガラステストブランク表面上で安定するまでタイミングを開始しなか
ったからである。つまり、研磨製品はガラス表面上で多少跳ね返るかまたは軽く
飛ぶ現象が見られ、研削機は、研磨製品とガラス表面との間の接触が実質的に一
定した時点でタイミングを開始したからである。したがって、実際の研削間隔、
つまり研磨製品とガラス表面との間の接触時間は、研削時間間隔を10秒に設定
した場合、約12秒だった。
スを3分間研削した後、再び厚さを測定した。この厚さは、次の10秒間の研削
試験の開始点にした。
従って製造した砥粒スラリを充填した。部分Aおよび部分Bを用意して80℃ま
で加熱し、混合先端から成形型のキャビティ内に分配した。
配して、表2に記載した基材配合物で約6.4mmの深さまで覆う。成形型を囲
む壁は、基材の所望の厚さを維持する。硬化サイクル時に、アルミニウムのカバ
ープレートを基材上部の上に配置して、一定の均一な厚さを確保した。次に、研
磨製品全体を165℃で15時間硬化させた。
て試験した。上記のとおりに研削試験を行った。結果を表3に記載する。表3は
、72分間の過程で2種類の界面圧力、つまり25.5psi(175.8kP
a)および15psi(105.5kPa)で記録した17の研削測定値を示す
。記載した各々の測定値は、約12秒の研削期間内に除去されたガラス材料の量
である(機械は10秒に設定したが、上記のとおり、実際の研削時間は約12秒
だった)。
は、12秒の測定全体が終わった後、Ra=1.2μm、Rz=8.0μmだっ
た。
4に記載されているとおりであり、基材配合物は、表5に記載されているとおり
である。実施例2を上記のように試験した。結果を表6に記載する。表6は、1
17分間の過程で2種類の界面圧力、つまり25.5psi(175.8kPa
)および15psi(105.5kPa)で記録した14の研削測定値を示す。
記載した各々の測定値は、約12秒の研削期間内に除去されたガラス材料の量で
ある(機械は10秒に設定したが、上記のとおり、実際の研削時間は約12秒だ
った)。
は、12秒の測定全体が終わった後、Ra=0.8μm、Rz=5.8μmだっ
た。
らを使って手で混合し、ダイヤモンド分散液を形成した。次に、このダイヤモン
ド分散液は、ガムドロップ形のキャビティを有する9milの不規則なパターン
のプラスチック工具内に、可撓性のプラスチックへらを使って塗布し、凝集物を
形成した。プラスチック工具の製造方法は、米国特許第5,152,917号に
記載されている。成形済み凝集物サンプルは、成形型内で室温で夜通し乾燥させ
た。成形済み凝集物サンプルは、超音波ホーンを使って、成形型から取り出した
。次に、この凝集物サンプルは、70メッシュのスクリーンを使って互いに分離
させた。分離後、凝集物の粒度は約175μm〜250μmだった。
グフィールドのMonsantoから市販されている。GP(ガラス粉末「SP
1016」)は永久的な結合剤であり、Specialty Glass,In
c.から市販されている。一時的な代替結合剤としては、デキストリン、エポキ
シ樹脂、アクリレート樹脂など、およびセラミック業界で通常使用されるその他
の一時的結合剤がある。
して空気中で着火する: 毎分2.0℃で400℃までの室温; 400℃で1時間維持; 毎分2.0℃で400℃から720℃まで; 720℃で1時間維持; 毎分2.0℃で720℃から室温まで。
。
する付着性が比較的優れた凝集物を形成する。シラン溶液は、以下の成分を混合
して作る: A−1100シラン 1.0g 水 10.0g アセトン 89.0g
30分間乾燥させる。次に、上記のように、70メッシュのスクリーンを使用し
て、乾燥した凝集物サンプルを分類した。
配合表8に従って製造した砥粒スラリを充填した。部分Aおよび部分Bは、高剪
断混合機を使ってプラスチックビーカ内で別個に混合し、真空オーブンに別個に
入れて気泡を除去してから、容量比2:1の混合カートリッジに部分Bが1に対
して部分Aが2の割合で一緒に充填した。次に、結果として得られた砥粒スラリ
は、自動混合先端を介して成形型のキャビティ内に分配した。
に記載した実施例1の基材配合物で約6.4mm(1/4in)の深さまで覆っ
た。成形型を囲む壁は、基材の所望の厚さを維持した。硬化サイクル時に、アル
ミニウムのカバープレートを基材樹脂上部の上に配置して、一定の均一な厚さを
確保した。成形型は閉じた状態で締め付けて、室温で2時間硬化させてから、オ
ーブン内において165℃で4時間硬化させた。次に、成形型をオーブンから取
り出して開いた。成形済み研磨製品のサンプルを成形型から取り出して、Bue
hlerラップ用の30.48cm(12in)のプラテン上に取り付けた。
剪断混合機を使って混合し、サンプルを真空オーブン内に入れて気泡を除去して
から、部分Aと部分Bとを低剪断混合機を使って混合し、閉じ込められる気泡が
最小限になるようにして生成した。
び研磨柱の直径が1.59cm(5/8in)だった。研磨柱は、中心(15.
24cm(6in)を覆う円形領域に研磨柱がないように基材に付着させた。
られている「Buehler Ecomet4」可変速度研削機を使用した。こ
れらの機械はともに、Buehler Industries, Ltd.から
市販されている。試験は、一般に、以下の条件を用いて行われる:モータ速度は
、特記がない限り500rpmに設定し、圧力は、特記がない限り、ガラステス
トブランクの表面領域上で約106kPa(約17psi)に設定する。
ステストブランクを用意した。このテストブランクは、Corning Inc
orporatedから「CORNING#9061」の商標で市販されている
。このガラス材料を研削機の電源ヘッド内に配置した。研削機の30.5cm(
12in)のアルミニウムプラットフォームは反時計方向に回転し、内部にガラ
ステストブランクが固定されている電源ヘッドは時計方向に35rpmで回転し
た。
圧接着剤を使って、ショア硬度が約60durometerである12.5mm
厚のネオプレン基材パッド上に直接接着した。このパッド組立体は、研削機のア
ルミニウムプラットフォーム上に配置した。水道水を研磨製品上に毎分約3lの
流速で噴霧して、研磨製品の表面とガラステストブランクとの間を潤滑した。
METER」の商標で市販しているダイヤモンド針側面計を使って評価した。ガ
ラステストブランクの初期重量も記録した。
秒から数分間だった。すべてのデータを正規化し、12秒間の研磨で除去された
平均ガラス素材として報告した。
体のガラステストブランクの重量の変化を、除去されたガラスのグラム数として
示す。切削率(除去されたガラス素材のグラム数)、RaおよびRmax値を記
録した。
ド凝集物を含む本発明の研磨製品は、26.5kPaという低圧で一定の素材除
去率を示すことが分かる。
タから、ダイヤモンド凝集物を含む実施例6の研磨製品の素材除去率は、粒度が
同じ個々のダイヤモンド粒子を含む比較実施例Dの素材除去率より著しく高いこ
とが分かる。
タから、ダイヤモンド凝集物を含む実施例4の素材除去率は、粒度がより大きい
個々のダイヤモンド粒子を含む比較実施例Cの素材除去率よりも著しく高いこと
が分かる。
に記載する。これらのデータから、本発明の3つの利点を示す。先ず、Raデー
タは、ダイヤモンド凝集物を含む実施例5によって得られる表面仕上げは、素材
除去率が類似する個々のダイヤモンド粒子を含む比較実施例Bの表面仕上げより
も細かいことが分かる。第2に、RaおよびRmaxデータから、表面仕上げは
、ダイヤモンド凝集物を含む実施例5の場合、比較的高い相対速度で改善される
が、個々のダイヤモンド粒子を含む比較実施例Bの場合は改善されないことが分
かる。最後に、Rmaxデータから、掻き傷の深さは、ダイヤモンド凝集物を含
む実施例5の場合、素材除去率が類似する個々のダイヤモンド粒子を含む比較実
施例Bの掻き傷の深さよりも浅いことが分かる。
下の表15および表16に記載する。これらのデータは、本発明の3つの利点を
示す。先ず、Raデータから、ダイヤモンド凝集物を含む実施例4により得られ
る表面仕上げは、素材除去率が類似する個々のダイヤモンド粒子を含む比較実施
例Aの表面仕上げよりも細かいことが分かる。第2に、RaおよびRmaxデー
タから、表面仕上げは、ダイヤモンド凝集物を含む実施例4の場合、比較的高い
相対速度で改善されるが、個々のダイヤモンド粒子を含む比較実施例Aの場合は
改善されないことが分かる。最後に、Rmaxデータから、掻き傷の深さは、ダ
イヤモンド凝集物を含む実施例4の場合、素材除去率が類似する個々のダイヤモ
ンド粒子を含む比較実施例Aの掻き傷の深さよりも浅いことが分かる。
ンダー(Flexが市販するモデルLW 603VR、1,000〜2,800
rpm、1,500W)を使って、5μmの酸化アルミニウムディスク(ミネソ
タ州セントポールのMinnesota Mining and Manufa
cturing Companyが268XA TrizactTMフィルムPS
Aディスク)で粗くした。このサンダーを2,400rpmで動作させて、サン
ダーの中央部の穴から水を供給した。複数の柱(直径0.79cmおよび高さ0
.635cm)を有する研磨パッド(直径12.7cm)をサンダーのディスク
パッド上に取り付けた。CRT画面の予め粗くした領域は、2,400rpmで
30秒間研磨した。柱の破壊は、研磨時に生じる遊離セリアスラリの量から目視
で決定した。破壊試験の評価は1から5であり、小さい破壊を1、過度の破壊を
5とした。最適な評価は、適度な破壊を示す3である。研磨柱の過度な破壊は、
良好な研磨性能を示すが、研磨パッドの寿命を短くする。研磨柱の破壊が不十分
な場合、寿命は長くなるが、研磨性能が不良である。
、柱は、CRT画面と柱との間の摩擦が柱と基材との間の付着力より大きいとき
に、研磨時に基材から剥離することがある。付着試験の結果は、上記のとおり、
研磨後に基材から剥離する柱の割合を測定して決定する。
ラフルオロエチレン(PTFE)の25.0mm厚シートに穴あけして製造した
。結果として得られたポリマー製造工具には、円柱状キャビティが含まれた。各
々の円柱の高さは約4mm、直径は約4.8mmだった。隣接する円柱の基部間
には、約2.4mmの距離があった。
充填した。成分は、高剪断混合機で混合して真空オーブン内に配置し、気泡を除
去してからカートリッジ内に充填した。次に、結果として得られる砥粒スラリを
自動混合先端から成形型のキャビティ内に分配した。
6.4mm(1/4in)の深さまで表18の個々の基材配合物で覆った。成形
型を囲む壁は、基材の所望の厚さを維持した。硬化サイクル時に基材樹脂の上部
の上にアルミニウムのカバープレートを配置して、一定の均一な厚さを確保した
。成形型を閉じた状態で締め付けて、室温で1〜2時間硬化させてから、オーブ
ン内で165℃で4時間硬化させた。成形型をオーブンから取り出して開いた。
高剪断混合機を使って混合して生成し、このサンプルを真空オーブン内に配置し
て気泡を除去してから、部分AとブブンBとを低剪断混合機を使って混合し、閉
じ込められる気泡を最小限にした。
径が0.79cm(5/16in)だった。
にしたがって製造した砥粒スラリを充填した。成分をプラスチックビーカ内で高
剪断混合機を使って混合し、真空オーブン内に配置して気泡を除去してから、カ
ートリッジ内に充填した。次に、結果として得られた砥粒スラリは、自動混合先
端から成形型のキャビティ内に分配した。
4.0mmの深さまで表21の基材配合物で覆った。基材配合物は、部分Aおよ
びBの成分をプラスチックビーカ内で高剪断混合機を使って混合して生成し、こ
のサンプルを真空オーブン内に配置して気泡を除去し、閉じ込められる気泡を最
小限にした。成形型を囲む壁は、基材の所望の厚さを維持した。硬化サイクル時
に基材樹脂の上部の上にアルミニウムのカバープレートを配置して、一定の均一
な厚さを確保した。成形型を閉じた状態で締め付けて、室温で1〜2時間硬化さ
せてから、オーブン内で165℃で4時間硬化させた。成形型をオーブンから取
り出して開いた。
さが4mmであり、研磨柱の直径が4.8mm(3/16in)および高さ4.
0mmだった。
しているBuehler ECOMET3研磨機を使用した。実施例12〜14
は、Buehler機内で8.49psi(58.5KPa)およびプラテン速
度500rpmで、サンドブラストをかけた3in(7.62cm)のディスク
を使って通常の窓ガラスを状態調節して、均一かつな平らな表面仕上げを施した
。
、8in(20.32cm)のA10グレードガラス修理ディスク(Minne
sota Mining and Manufacturing Compan
yが3M 268XA Trizactの商標で市販)を使って、Buehle
r機上で約30秒間にわたって約1.23psi(8.48KPa)および50
0rpmで予め粗くした。これで、Raが約0.07umの均一な投入仕上げ(
input finish)が行われた。
19.1psi(131.7KPa)およびプラテン速度500rpmで実施例
を試験した。水流は、毎分660ccに固定した。表面仕上げの測定は、Per
thenがPerthometerの商標で市販しているダイヤモンド針側面計
を使って、15秒ごとの間隔で行い、45秒まで繰り返した。
黒鉛およびモリブデンを含む実施例13および実施例14はそれぞれ、15秒以
内に〜0.070umから〜0.009umまで低下し、黒鉛およびモリブデン
を含まない実施例12の場合、この値まで低下するには45秒を要する点が対照
的だった。
、個々に包含されているものとして本明細書に包含する。本発明の様々な変形お
よび訂正は、本発明の範囲および精神を逸脱せずに当業者には明白であり、本発
明は、本明細書に記載されている具体的な実施態様に不当に限定されないと考え
るべきである。
Claims (21)
- 【請求項1】 基材に一体成形される複数の研磨複合体であって、有機樹脂
と、アルカリ金属塩、アルカリ性金属塩およびこれらの組合わせから選択される
金属塩と、該研磨複合体全体に均質に分散した単一ダイヤモンド研磨粒子とを含
む研磨複合体を含む研磨製品。 - 【請求項2】 基材に一体成形された複数の研磨複合体であって、有機樹脂
および凝集研磨粒子を含み、該凝集物が、永久的結合剤中に分散した単一ダイヤ
モンド粒子を含む研磨複合体を含む研磨製品。 - 【請求項3】 繊維を含む基材と、 該基材に一体成形された複数の研磨複合体であって、有機樹脂と、セリア粒子
と、アルカリ金属塩、アルカリ性金属塩およびこれらの組合わせから選択される
金属塩を含む研磨複合体と、 を含む研磨製品。 - 【請求項4】 (i)ダイヤモンド粒子、有機結合剤先駆物質、およびアル
カリ金属塩、アルカリ性金属塩、もしくはこれらの組合わせから選択される金属
塩、(ii)永久的結合剤および有機結合剤先駆物質中に分散したダイヤモンド
粒子を含む研磨凝集物、または(iii)セリア粒子、有機結合剤先駆物質、お
よびアルカリ金属塩、アルカリ性金属塩、もしくはこれらの組合わせから選択さ
れる金属塩を含むスラリを製造するステップと、 該スラリを成形型のキャビティ内に塗布して、研磨複合体を形成するステップ
と、 基材を該研磨複合体上に注型または成形するステップと、 該結合剤先駆物質をエネルギー源に暴露して該結合剤先駆物質を硬化させるス
テップと、 を含む研磨製品製造方法。 - 【請求項5】 研磨製品の研削層をガラスワークピースの表面に接触させる
ステップであって、該研削層が複数の研磨複合体を含み、該研磨複合体が(i)
有機樹脂、アルカリ金属塩、アルカリ性金属塩およびこれらの組合わせから選択
される金属塩、および該研磨複合体全体に均質に分散した単一ダイヤモンド研磨
粒子、または(ii)永久的結合剤または有機結合剤先駆物質中に分散したダイ
ヤモンド粒子を含む研磨凝集物を含むステップと、 200μm〜400μmのガラス素材を該ガラスワークピースの表面から除去
するステップと、 RPP手順を用いて、1.1μm以下の最終表面粗さRaを提供するステップ
と、 を含むガラスワークピース表面研削方法。 - 【請求項6】 研磨製品の研磨層を初期表面粗さRaが約0.07μmのガ
ラスワークピースの表面に接触させるステップであって、該研磨層が、繊維を含
む基材に一体成形された複数の研磨複合体を含み、該研磨複合体が、有機樹脂と
、セリア粒子と、アルカリ金属塩、アルカリ性金属塩およびこれらの組合わせか
ら選択される金属塩を含むステップと、 該ガラスワークピースの該初期表面粗さRaを0.09の表面粗さRaまで低
下させるステップと、 を含むガラスワークピース表面研磨方法。 - 【請求項7】 前記ダイヤモンド粒子またはダイヤモンド凝集物が、約1重
量部〜30重量部の量で前記複合体中に存在し、前記結合剤が約70重量部〜9
9重量部の量で存在する、請求項1もしくは請求項2記載の研磨製品または請求
項4もしくは請求項5記載の方法。 - 【請求項8】 前記セリア粒子が、約1重量部〜95重量部の量で存在し、
前記結合剤が約5〜99重量部の量で存在する、請求項3記載の研磨製品または
請求項4もしくは請求項6記載の方法。 - 【請求項9】 前記研磨粒子が前記研磨複合体全体に均質に分散している、
請求項2もしくは請求項3記載の研磨製品または請求項4もしくは請求項5記載
の方法。 - 【請求項10】 前記研磨粒子が、前記一体成形された基材および前記研磨
複合体全体に分散している、請求項1、請求項2もしくは請求項3記載の研磨製
品または請求項4、請求項5もしくは請求項6記載の方法。 - 【請求項11】 前記ダイヤモンド研磨粒子の平均粒度が約0.01μm〜
500μmである、請求項1記載の研磨製品または請求項4もしくは請求項5記
載の方法。 - 【請求項12】 前記研磨凝集粒子が、ダイヤモンド粒子を含む金属付着研
磨セグメントである、請求項2記載の研磨製品。 - 【請求項13】 前記永久的結合剤がガラス、セラミック、金属または有機
物である、請求項2記載の研磨製品または請求項4記載の方法。 - 【請求項14】 前記有機樹脂がエポキシ樹脂を含む、請求項1、請求項2
もしくは請求項3記載の研磨製品または請求項4、請求項5もしくは請求項6記
載の方法。 - 【請求項15】 前記基材がウレタン樹脂を含む、請求項1、請求項2もし
くは請求項3記載の研磨製品または請求項4、請求項5もしくは請求項6記載の
方法。 - 【請求項16】 前記基材が繊維を含む、請求項1もしくは請求項2記載の
研磨製品または請求項4もしくは請求項5記載の方法。 - 【請求項17】 前記繊維がシリケート繊維、金属繊維、ガラス繊維、炭素
繊維、セラミック繊維、高弾性率有機繊維またはこれらの組合わせである、請求
項3もしくは請求項6記載の研磨製品または請求項6もしくは請求項16記載の
方法。 - 【請求項18】 前記シリケート繊維がカルシウムシリケートを含む、請求
項17記載の研磨製品または方法。 - 【請求項19】 前記研磨複合体が、カリウムテトラフルオロボレート、黒
鉛、二硫化モリブデン、またはこれらの組合わせをさらに含む、請求項18記載
の研磨製品または方法。 - 【請求項20】 前記複合体が金属塩をさらに含む、請求項2記載の研磨製
品。 - 【請求項21】 前記アルカリ金属塩が含水カリウムシリケート、無水カリ
ウムシリケートまたはこれらの組合わせである、請求項1もしくは請求項3記載
の研磨製品または請求項4、請求項5もしくは請求項6記載の方法。
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