JP2008091476A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外観検査装置は、モニタに検査領域指定画面81を表示させることで、ウェハの周縁部の任意の領域について検査が行えるようになっている。検査領域指定画面81は、観察範囲を表示する表示部81と、観察領域を設定する入力部82とを有する。入力部82では、観察形態がステップ、連続、ポイントのいずれかを選択可能になっており、ここで設定された条件に従ってレシピが登録され、検査が実施されるようになる。
【選択図】図4
Description
また、特許文献2には、周縁部のレジスト除去を確認することを目的とし、ウェハの周縁部を連続して撮像する代わりに、周方向を等分した多数地点で撮像を行うことが開示されている。例えば、周方向に60°ごとに6回撮像を行い、それぞれのイメージに対して分析を行う。いずれか1つのイメージの測定値がしきい値を外れたら、レジストの除去不良が生じたものとみなされる。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ウェハの周縁部を効率良く検査できるようにすることを主な目的とする。
この外観検査装置は、ウェハの周縁部の一部のみについて検査を行うことが可能になる。例えば、ウェハの直径が30cm程度の場合には、周縁部の周長は1m程度になる。従来の装置では、このように長い領域の検査を常に行っていたが、この基板検査装置では必要な部分のみを検査することができる。
設定部72は、画面上からカメラ25〜27の倍率の入力部72Aと、焦点位置の入力部72Bと、ウェハWの回転速度の入力部72Cと、同軸照明の光量の入力部72Dと、その他の照明の光量の入力部72Eと、Z方向の位置の入力部72Fと、カメラ25〜27のシャッタ速度の入力部72Gとが配列表示されている。これらの入力部72A〜72Gは、キーボード43から数値を入力することができる。
また、選択部83で連続を選択したときには、連続の条件入力部85で観察範囲85Aと、回転速度85Bを入力する。例えば、観察範囲に0〜90°に設定し、回転速度を所定値に設定すると、設定した回転速度でウェハWが回転させられ、ノッチを始点として90°までの範囲で連続して撮像するレシピが作成される
選択部83でポイントを選択したときには、ポイントの条件入力部86で観察位置86Aと、観察範囲86Bを入力する。例えば、観察範囲に120°に設定し、観察範囲を5°に設定すると、中心に対して±5°の範囲が一度に撮影されるようにカメラ25〜27の倍率等が設定され、ノッチを始点として反時計回りに120°回転した位置を1回撮像するレシピが作成される
なお、検査位置、つまり観察範囲やポイントは、複数箇所設定することも可能である。例えば、観察範囲として0〜90°を設定した後に、180〜270°を設定すると、2つの領域について順番に検査を行うことが可能になる。
最初に、レシピを設定する。レシピは、所定の位置の周縁部の画像を確実に取得できるように、カメラ25〜27のズーム、フォーカス、照明、ウェハWの回転速度などの各種条件を定めたものであり、これに従って装置制御部6が指令信号をXステージ11などに出力するものである。図3に示す検査条件設定画面70でカメラ25〜27などの条件を設定し、さらに、図4に示す検査領域指定画面で撮像形態や撮像位置を設定する。これによって作成されたレシピは、レシピ登録部52によって記憶装置47に記憶される。
ウェハ保持部4の位置決めして載置されたウェハWには、予め登録されているレシピに従って周縁部の検査が行われる。コンピュータ41は、検査者によって選択されたレシピを記憶装置47から読み込んで、検査制御部51に実行させる。ウェハWが所定速度で回転し、検査領域指定画面80で設定された撮像形態や撮像位置でカメラ25〜27が周縁部の画像を取得し、モニタ44に表示させる。周縁部の画像は、モニタ44の略中央に表示されるようにウェハ保持部4のXYZが調整されているので、検査者は、モニタ44を目視で確認して傷などの欠陥の有無を検査する。
また、検査領域指定画面80の選択部83で連続を選択し、観察範囲を0〜90°とするレシピを登録していた場合、設定された回転速度でウェハWがノッチの位置から90°回転するまでの間、カメラ25〜27が連続して撮像を行い、モニタ44に表示させる。90°に達したところで停止する。
検査領域指定画面80の選択部83でポイントを選択し、観察位置を60°、観察範囲を±5°とするレシピを登録していた場合、ウェハWがノッチの位置から60°回転したところで、1回撮像し、モニタ44に表示させる。モニタ44に表示される画像には、60°の位置を中心にして、周方向に±5°に相当する画像が含まれる。この撮像を終了したら、停止する。
予定されていた検査位置について、欠陥の有無を検査できた場合には、ウェハWの回転を停止させ、吸着を解除してからロボットでウェハWを搬出する。
検査者が指定した観察範囲や観察位置は、検査領域指定画面80に模式的に画面表示されるので、イメージが掴み易く、設定に要する時間を短縮できる。
この実施の形態は、観察範囲や位置を予め登録されているデータを用いて自動的に設定することを主な特徴とする。なお、外観検査装置の構成は、第1の実施の形態と同様である。
例えば、ロボット93の形状、搬送装置92の配置等から、ウェハ保持部4に保持されたウェハWの中心を基準にした周方向の角度で、ウェハ保持部の基準位置から反時計回りに30°、150°、270°の3箇所に被保持部W1が配置されることが演算された場合には、ウェハWを回転させて、上記3点の画像を順番に取得し、モニタ44に表示させる。基準位置は、必ずしもウェハWのノッチ位置と一致しないことがあるが、ノッチ位置が基準位置になるように演算しても良い。
ここで、ロボット93等のレイアウトが変更になった場合には、記憶装置47に登録されているデータが更新される。データは、記憶装置47に保存される代わりに、他のコンピュータで作成され、又は記憶されているデータを公知の通信手段を用いて取得するようにしても良い。
また、ウェハ処理装置等のウェハ製造ライン内で検査を行う場合、ウェハWの周縁部を把持する全ての装置の把持位置を登録し、常にアライメントを行ってノッチ位置を基準に常に一定の回転角度位置で把持を行うようにしても良い。
例えば、ウェハ保持部4は、ウェハWをXYZの3方向に移動可能で、かつウェハWを回転させることができるものであれば良く、実施の形態の構成に限定されない。また、ウェハWをXYZに移動させる代わりに、周縁撮像部5をXステージ、Yステージ、Zステージに搭載させて、XYZの3方向に移動可能にしても良い。さらに、XYZの少なくとも1方向に移動可能な機構をウェハ保持部4側に設け、残りの2方向に移動可能な機構を周縁撮像部5側に設けても良い。
4 ウェハ保持部
5 周縁撮像部
42 マウス(入力装置)
43 キーボード(入力装置)
47 記憶装置
51 検査制御部
52 レシピ登録部
80 検査領域指定画面
93 ロボット(搬送装置)
W ウェハ
W1 被保持部(ウェハを保持する位置)
Claims (4)
- ウェハを回転自在に保持するウェハ保持部と、ウェハの周縁部の拡大像を取得する周縁撮像部とを有し、予め設定されたレシピに従ってウェハの周縁部の外観検査を行う外観検査装置において、
レシピを設定するにあたってウェハの周縁部の検査位置を任意に設定可能な検査領域指定部と、
前記検査領域指定部で指定した検査位置を検査するレシピを作成して登録するレシピ登録部と、
登録されたレシピに従って前記ウェハ保持部及び前記周縁撮像部を制御する検査制御部と、
を有することを特徴とする外観検査装置。 - 前記検査領域指定部は、検査する範囲をウェハの中心に対する周方向の角度で始点と終点のそれぞれを入力可能で、かつ始点及び終点の角度は、ウェハのノッチ又はオリエンテーションフラットの位置を基準にした角度であることを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記検査領域指定部は、検査する範囲をウェハの中心に対する周方向の角度で指定できると共に、その範囲内で所定の角度ごとに観察位置を指定できることを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
- ウェハを回転自在に保持するウェハ保持部と、ウェハの周縁部の拡大像を取得する周縁撮像部とを有し、予め設定されたレシピに従ってウェハの周縁部の外観検査を行う外観検査装置において、
ウェハを把持して前記ウェハ保持部に搬送する搬送装置がウェハを保持する位置の情報に基づいて、ウェハの周縁部の検査位置を設定したレシピを自動的に作成することを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
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