JP2003144843A

JP2003144843A - フッ化硫黄の分解処理剤及び分解処理方法

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Publication number: JP2003144843A
Application number: JP2001347244A
Authority: JP
Inventors: Kenji Otsuka; 健二大塚; Yoji Nawa; 洋二名和; Tomohisa Ikeda; 友久池田; Yukifumi Ochi; 幸史越智
Original assignee: Japan Pionics Ltd
Current assignee: Japan Pionics Ltd
Priority date: 2001-11-13
Filing date: 2001-11-13
Publication date: 2003-05-20
Anticipated expiration: 2021-11-13
Also published as: TWI226261B; JP4112845B2; WO2003041845A1

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体製造工程等から排出される排ガスに含
まれるＳＦ_６等のフッ化硫黄を、短時間で分解処理剤が
失活することなく、また硫黄酸化物、フッ化水素等の腐
食性ガスを排出させることなく、１０００℃以下の比較
的低い温度で９９．９％以上の分解率で分解可能な分解
処理剤及び分解処理方法を提供する。【解決手段】アルミニウム化合物及びランタノイド化
合物を有効成分として含む分解処理剤、あるいはアルミ
ニウム化合物、ランタノイド化合物及びアルカリ土類金
属化合物を有効成分として含む分解処理剤とする。ま
た、フッ化硫黄を含むガスを、加熱下で、前記分解処理
剤と接触させてフッ化硫黄を分解するか、あるいは、酸
化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させ
た後、ランタノイドの酸化物、アルカリ土類金属の酸化
物を有効成分として含む処理剤と接触させてフッ化硫黄
を分解する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はフッ化硫黄の分解処
理剤及び分解処理方法に関する。さらに詳細には半導体
製造工程等から排出される排ガスに含まれる六フッ化硫
黄等のフッ化硫黄を、１０００℃以下の比較的低い温度
で長時間効率よく分解処理することが可能な分解処理剤
及び分解処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工業においては、ドライエッ
チング装置のエッチングガスやＣＶＤ装置のチャンバー
クリーニングガス等として、六フッ化硫黄が使用されて
いる。六フッ化硫黄は非常に安定な化合物であり地球温
暖化に対する影響が大きいため、大気に放出した場合の
環境への悪影響が懸念されている。従って、半導体製造
工程から排出される排ガスに含まれる六フッ化硫黄は、
回収するかあるいは分解して大気に放出することが好ま
しい。

【０００３】従来から使用されている六フッ化硫黄（Ｓ
Ｆ_６）を、エッチングガスやチャンバークリーニングガ
ス等として用いた後の排ガスには、通常は、窒素、アル
ゴン、ヘリウム等のキャリアガス、前記六フッ化硫黄の
他に、六フッ化硫黄が分解して生成する四フッ化硫黄
（ＳＦ_４）、ＨＦ、Ｆ_２、ＳｉＦ_４等の酸性ガスが含ま
れることが多い。また、排ガスに含まれる六フッ化硫黄
の濃度は、通常１０〜５００００ｐｐｍ程度である。こ
のように排ガスに含まれる六フッ化硫黄の濃度が比較的
低いため、これらの処理には、ランニングコストがより
安い分解が多く試みられてきた。

【０００４】従来から六フッ化硫黄等のフッ化硫黄を分
解処理する方法としては、例えばフッ化硫黄を含む排ガ
スを、水素、メタン、プロパン等を用いた焼却炉の火炎
中に導入して燃焼させる方法、あるいはフッ化硫黄を含
む排ガスに、空気または酸素、あるいは空気または酸素
とともに水分を含む混合ガスを添加して加熱酸化する方
法によりフッ化硫黄の分解が行なわれていた。また、フ
ッ化硫黄等のフッ素化合物を、アルミナ存在下で、分子
状酸素と接触させる方法（特開平１０−２８６４３４号
公報）、アルミナに６Ａ族、８族、３Ｂ族の金属及び硫
酸、燐酸、ほう酸等の無機酸を担持させた分解処理触媒
と接触させる方法（特開平１１−１６５０７１号公
報）、酸素及び水共存下において、３００〜１０００℃
に加熱された、アルミナ系触媒と含シリカ混合材とを混
合して成る触媒層を通過させる方法（特開２０００−１
５０６０号公報）等が開発されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、燃焼法
による分解処理方法は、フッ化硫黄を分解処理していな
い待機時にも燃焼状態を維持しなければならないためエ
ネルギーコストが高い、生成する硫黄酸化物の処理が必
要である、二酸化炭素を大量に放出するという不都合が
あった。空気または酸素を添加して加熱酸化する分解処
理方法は、１０００℃以上の加熱が必要であり、また燃
焼法と同様に生成する硫黄酸化物の処理が必要であっ
た。

【０００６】アルミナを分解触媒として用いたフッ化硫
黄等のフッ素化合物の分解処理方法は、比較的低い温度
でフッ素化合物を分解できるという長所がある。しか
し、この分解処理方法においては、フッ素化合物との反
応によりアルミナの表面にフッ化アルミニウムが生成
し、短時間で分解触媒が失活するという不都合があっ
た。また、アルミナに金属、無機酸、あるいはシリカを
添加した分解処理触媒は、分解触媒の活性を比較的長時
間維持させることを目的に開発されたものであるが、分
解対象のフッ素化合物がフッ化硫黄の場合は硫黄酸化物
を排出するため、後段にこの酸性ガスを除去するための
装置が必要であるという不都合があった。

【０００７】さらに、水の共存下でフッ化硫黄の分解処
理を行なった場合は、分解処理量を向上させることがで
きるが、分解処理後に硫黄酸化物及びフッ化水素を排出
するため、排ガスを大気に放出するに先立って湿式浄化
装置等によりこれを除去する必要があるほか、分解処理
装置から排出される排ガスは、高温かつ腐食性であるた
め熱交換器を使用することができないという不都合があ
った。従って、本発明が解決しようとする課題は、半導
体製造工程等から排出される排ガスに含まれるフッ化硫
黄を、短時間で分解処理剤が失活することなく、また硫
黄酸化物、フッ化水素等の腐食性ガスを排出させること
なく、１０００℃以下の比較的低い温度で９９．９％以
上の分解率で分解可能な分解処理剤及び分解処理方法を
提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、これらの
課題を解決すべく鋭意検討した結果、アルミニウム化合
物及びランタノイド化合物を有効成分として含む分解処
理剤、あるいはアルミニウム化合物、ランタノイド化合
物に、さらにアルカリ土類金属化合物を有効成分として
含ませた分解処理剤が、前記課題を解決し得る分解処理
剤であることを見い出し本発明のフッ化硫黄の分解処理
剤に到達した。

【０００９】また、本発明者らは、フッ化硫黄を、加熱
下で、酸化アルミニウム及びランタノイド化合物の酸化
物を有効成分として含む分解処理剤、あるいはこの分解
処理剤にさらにアルカリ土類金属の酸化物を有効成分と
して含ませた分解処理剤と接触させることにより、前記
課題を解決できることを見い出した。さらに、フッ化硫
黄を、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含
む処理剤と接触させた後、ランタノイド化合物の酸化物
を有効成分として含む処理剤と接触させることにより、
あるいは、フッ化硫黄を、加熱下で、酸化アルミニウム
を有効成分として含む処理剤と接触させた後、ランタノ
イドの酸化物を有効成分として含む処理剤、アルカリ土
類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤と接触させ
ること等により、前記課題を解決できることを見い出し
本発明のフッ化硫黄の分解処理方法に到達した。

【００１０】すなわち本発明は、アルミニウム化合物及
びランタノイド化合物を有効成分として含むことを特徴
とするフッ化硫黄の分解処理剤である。また、本発明
は、アルミニウム化合物、ランタノイド化合物、及びア
ルカリ土類金属化合物を有効成分として含むことを特徴
とするフッ化硫黄の分解処理剤でもある。また、本発明
は、フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下で、酸化アル
ミニウム及びランタノイドの酸化物を有効成分として含
む分解処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解することを
特徴とするフッ化硫黄の分解処理方法である。

【００１１】また、本発明は、フッ化硫黄を含有するガ
スを、加熱下で、酸化アルミニウム、ランタノイドの酸
化物、及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として
含む分解処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解すること
を特徴とするフッ化硫黄の分解処理方法でもある。ま
た、本発明は、フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下
で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接
触させた後、ランタノイドの酸化物を有効成分として含
む処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解することを特徴
とするフッ化硫黄の分解処理方法でもある。

【００１２】また、本発明は、フッ化硫黄を含有するガ
スを、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含
む処理剤と接触させた後、ランタノイドの酸化物を有効
成分として含む処理剤及びアルカリ土類金属の酸化物を
有効成分として含む処理剤と接触させてフッ化硫黄を分
解することを特徴とするフッ化硫黄の分解処理方法でも
ある。さらに、本発明は、フッ化硫黄を含有するガス
を、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含む
処理剤と接触させた後、ランタノイドの酸化物及びアル
カリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤と接
触させてフッ化硫黄を分解することを特徴とするフッ化
硫黄の分解処理方法でもある。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明のフッ化硫黄の分解処理剤
及び分解処理方法は、窒素、アルゴン、ヘリウム等のガ
ス中に含まれるフッ化硫黄の分解処理に適用される。本
発明のフッ化硫黄の分解処理剤及び分解処理方法におい
て、分解処理の対象となるフッ化硫黄としては、例え
ば、一フッ化硫黄（Ｓ_２Ｆ_２）、二フッ化硫黄（Ｓ
Ｆ_２）、四フッ化硫黄（ＳＦ_４）、五フッ化硫黄（ＳＦ
_５）、六フッ化硫黄（ＳＦ_６）が挙げられる。

【００１４】本発明のフッ化硫黄の分解処理剤は、酸化
アルミニウム、水酸化アルミニウム等のアルミニウム化
合物、酸化ランタン、酸化セリウム、水酸化セリウム、
炭酸セリウム等のランタノイド化合物を有効成分として
含む分解処理剤、あるいは前記のアルミニウム化合物、
ランタノイド化合物と、酸化マグネシウム、酸化カルシ
ウム、水酸化カルシウム、炭酸カルシウム等のアルカリ
土類金属化合物を有効成分として含む分解処理剤であ
る。

【００１５】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法は、フ
ッ化硫黄を含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウ
ム及びランタノイドの酸化物を有効成分として含む分解
処理剤、あるいは酸化アルミニウム、ランタノイドの酸
化物、及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として
含む分解処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解する分解
処理方法である。また、本発明のフッ化硫黄の分解処理
方法は、フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下で、酸化
アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させた
後、ランタノイドの酸化物を有効成分として含む処理剤
と接触させてフッ化硫黄を分解する分解処理方法でもあ
る。

【００１６】また、本発明のフッ化硫黄の分解処理方法
は、フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下で、酸化アル
ミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させた後、
ランタノイドの酸化物を有効成分として含む処理剤及び
アルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤
と接触させてフッ化硫黄を分解する分解処理方法でもあ
る。さらに、本発明のフッ化硫黄の分解処理方法は、フ
ッ化硫黄を含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウ
ムを有効成分として含む処理剤と接触させた後、ランタ
ノイドの酸化物及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成
分として含む処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解する
分解処理方法でもある。

【００１７】以下、本発明のフッ化硫黄の分解処理剤に
ついて詳細に説明する。本発明の分解処理剤は、アルミ
ニウム化合物及びランタノイド化合物を有効成分として
含むもの、あるいはアルミニウム化合物、ランタノイド
化合物、及びアルカリ土類金属化合物を有効成分として
含むものである。ただし、アルミニウム化合物、ランタ
ノイド化合物、アルカリ土類金属化合物が、各々酸化物
以外である場合は、フッ化硫黄を分解処理する温度また
はその近辺の温度で分解されて、各々容易にランタノイ
ドの酸化物、アルカリ土類金属の酸化物、酸化アルミニ
ウムとなる化合物を用いることが好ましい。

【００１８】本発明に用いられるアルミニウム化合物と
しては、例えば酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム
等が挙げられる。酸化アルミニウムとしては、アルミニ
ウム平均細孔直径が５０〜２００Åの細孔を有するもの
が好ましく、その中でもγアルミナが好ましい。平均細
孔直径が５０Å未満の細孔を有する酸化アルミニウムま
たは平均細孔直径が２００Åを越える細孔を有する酸化
アルミニウムを用いた場合は、フッ化硫黄の分解率が低
下する虞を生じる。また、比表面積が１００ｍ^２／ｇ以
上の酸化アルミニウムが好ましい。酸化アルミニウムの
純度は９９％以上であることが好ましく、さらに９９．
９％以上であることがより好ましい。また、水酸化アル
ミニウムとしては、ベーマイトが好ましい。

【００１９】本発明に用いられるランタノイドの酸化物
としては、酸化ランタン、酸化セリウム、酸化プラセオ
ジム、酸化ネオジム、酸化プロメチウム、酸化サマリウ
ム、酸化ユーロピウム、酸化ガドリウム、酸化テルビウ
ム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビ
ウム、酸化ツリウム、酸化イッテルビウム、酸化ルテチ
ウムを挙げることができる。また、前記酸化物以外のラ
ンタノイド化合物としては、ランタノイドの水酸化物、
炭酸塩、硫酸塩、硝酸塩、有機酸塩等を挙げることがで
きるが、容易に酸化物に転換できる点で水酸化物、炭酸
塩または硝酸塩が好ましく、この中でも有害ガスを排出
しない点で水酸化物または炭酸塩を用いることが好まし
い。

【００２０】ランタノイドの水酸化物としては、例え
ば、水酸化ランタン（１水和物を含む）、水酸化セリウ
ム（５水和物、８水和物、９水和物を含む）、水酸化プ
ラセオジム（８水和物を含む）、水酸化ネオジム（８水
和物を含む）、水酸化サマリウムを挙げることができ
る。また、ランタノイドの炭酸塩としては、例えば、炭
酸ランタン、炭酸セリウム、炭酸プラセオジム、炭酸ネ
オジム、炭酸サマリウムを挙げることができる。

【００２１】これらのランタノイド化合物の中では、ラ
ンタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウ
ム、またはユーロピウムの化合物が容易に入手しやすい
点で好ましい。また、これらのランタノイド化合物は単
独で用いてもよく２種類以上を併用してもよい。例え
ば、２種類以上のランタノイドを含む金属として「ミッ
シュメタル」が市販されているので、これを用いて本発
明のフッ化硫黄の分解処理剤を調製することができる。

【００２２】本発明に用いられるアルカリ土類金属の酸
化物としては、酸化ベリリウム、酸化マグネシウム、酸
化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウムを挙
げることができるが、酸化ベリリウムは昇華開始温度が
８００℃であり、酸化バリウムは有毒性が懸念されるた
め、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、または酸化ス
トロンチウムを用いることが好ましい。

【００２３】また、前記以外のアルカリ土類金属化合物
としては、アルカリ土類金属の水酸化物、炭酸塩、硫酸
塩、硝酸塩、有機酸塩等を挙げることができるが、容易
に酸化物に転換できる点で水酸化物、炭酸塩、または硝
酸塩が好ましく、この中でも有害ガスを排出しない点で
水酸化物または炭酸塩を用いることが好ましい。また、
前記と同様な理由により、マグネシウム、カルシウム、
またはストロンチウムの化合物を用いることが好まし
い。尚、これらのアルカリ土類金属化合物は単独で用い
てもよく２種類以上を併用してもよい。

【００２４】本発明のフッ化硫黄の分解処理剤は、通常
は各有効成分を混合した後、その混合物を造粒すること
により調製されるか、あるいは各々の有効成分を別々に
造粒した後、これらの造粒物を混合することにより調製
される。しかし、３成分を有効成分として含む分解処理
剤の場合は、例えばアルミニウム化合物の造粒物と、ラ
ンタノイド化合物及びアルカリ土類金属化合物を混合し
て造粒したものを混合して調製することや、アルミニウ
ム化合物と残りの１有効成分を混合して造粒物したもの
と、残りの他の有効成分の造粒物を混合して調製するこ
ともできる。

【００２５】いずれの分解処理剤の調製方法において
も、分解処理剤に含まれるアルミニウムの原子数と、ラ
ンタノイドの原子数及びアルカリ土類金属化合物の原子
数を合せた原子数の比が、通常は１：０．１〜１０とな
るように、好ましくは１：０．２〜５．０となるように
調製される。また、分解処理剤に含まれるランタノイド
の原子数と、アルカリ土類金属化合物の原子数について
は、ランタノイドの原子数が多いほど分解処理能力（分
解処理剤単位量当たりに対するフッ化硫黄の分解処理
量）が向上し、その比（ランタノイドの原子数：アルカ
リ土類金属化合物の原子数）は、通常は（１：２以下）
となるように、好ましくは（２：１以下）となるように
調製される。さらに、前述のいずれの調製方法において
も、通常は直径が０．１〜２０ｍｍ程度、好ましくは直
径が１〜１０ｍｍ程度の球状、これに類似する形状、ま
たはこれに相当する大きさ及び形状となるように造粒し
て調製される。

【００２６】また、本発明のフッ化硫黄の分解処理剤
は、造粒の際の成型性や成型強度を高めるために、有効
成分のほかにバインダーを加えてもよい。このようなバ
インダーとしては、ポリビニルアルコール、ポリエチレ
ングリコール、ポリプロピレングリコール、メチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロースなどの有機系バイ
ンダー、シリカ、珪藻土、珪酸ナトリウム、硫酸水素ナ
トリウムなどの無機系バインダーを挙げることができ
る。これらのバインダーを加える場合は、浄化剤を調製
する際に有効成分に添加、混練される。バインダーの添
加量は、成型条件などによって異なり一概には特定でき
ないが、少なすぎる場合はバインダーとしての効果が得
られず、多すぎる場合は分解処理能力が低下することか
ら、通常は分解処理剤全重量に対して０．１〜１０ｗｔ
％であり、好ましくは０．５〜５ｗｔ％である。

【００２７】また、分解処理剤中にはフッ化硫黄の分解
に悪影響を及ぼさない不純物、不活性物質等を含んでい
てもよい。さらに、使用前の分解処理剤は水分を含んで
いてもよいが含まない方が好ましく、通常は分解処理剤
中の水分が２ｗｔ％以下となるように調製される。従っ
て、有効成分を造粒する際は、打錠成型により造粒する
ことが好ましい。尚、これらのバインダー、不純物、不
活性物質、水分などを含んだ場合においても、分解処理
剤中の有効成分の含有量は、通常は７０ｗｔ％以上、好
ましくは９０ｗｔ％以上である。

【００２８】次に、本発明のフッ化硫黄の分解処理方法
を、図１乃至図６に基づいて詳細に説明するが、本発明
がこれらにより限定されるものではない。本発明のフッ
化硫黄の分解処理方法における第１の形態は、フッ化硫
黄を含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウム及び
ランタノイドの酸化物を有効成分として含む分解処理剤
と接触させてフッ化硫黄を分解する方法であり、図１は
そのための分解処理装置の例を示す断面図である。本発
明のフッ化硫黄の分解処理方法における第２の形態は、
フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニ
ウム、ランタノイドの酸化物、及びアルカリ土類金属の
酸化物を有効成分として含む分解処理剤と接触させてフ
ッ化硫黄を分解する方法であり、図２はそのための分解
処理装置の例を示す断面図である。

【００２９】フッ化硫黄の分解を、第１の形態または第
２の形態により実施する場合は、通常は前述の本発明の
分解処理剤が使用される。尚、アルミニウム化合物、ラ
ンタノイド化合物、アルカリ土類金属化合物として、各
々酸化物以外のものを用いる場合は、フッ化硫黄を分解
処理する温度またはその近辺の温度で分解されて、各々
容易にランタノイドの酸化物、アルカリ土類金属の酸化
物、酸化アルミニウムとなる化合物を用いることが好ま
しい。

【００３０】フッ化硫黄の分解処理を、第１の形態によ
り実施する場合は、分解処理を行なう前、分解処理装置
に、例えば、図１（Ａ）に示すように、アルミニウム化
合物及びランタノイド化合物を混合し造粒した造粒物４
から成る分解処理剤が充填されるか、図１（Ｂ）に示す
ように、アルミニウム化合物の造粒物１及びランタノイ
ド化合物の造粒物２を混合して成る分解処理剤が充填さ
れる。

【００３１】フッ化硫黄の分解処理を、第２の形態によ
り実施する場合は、分解処理を行なう前、分解処理装置
に、例えば、図２（Ａ）に示すように、アルミニウム化
合物、ランタノイド化合物、及びアルカリ土類金属化合
物を混合し造粒した造粒物５から成る分解処理剤が充填
されるか、図２（Ｂ）に示すように、アルミニウム化合
物の造粒物１、ランタノイド化合物の造粒物２、及びア
ルカリ土類金属化合物の造粒物３を混合して成る分解処
理剤が充填されるか、あるいは、図２（Ｃ）に示すよう
に、アルミニウム化合物の造粒物１と、ランタノイド化
合物及びアルカリ土類金属化合物の混合造粒物６を混合
して成る分解処理剤が充填される。

【００３２】また、フッ化硫黄の分解を、第１の形態ま
たは第２の形態により実施する場合は、図１、図２に示
す分解処理装置のように分解処理剤を固定床として用い
るほか、移動床、流動床として用いることができる。例
えば、失活した分解処理剤を分解処理装置の下部に設け
た分解処理剤排出口から排出するとともに、分解処理装
置の上部に設けた分解処理剤供給口から新規分解処理剤
を反応系に供給する構成とすることにより、さらに長時
間にわたり連続してフッ化硫黄の分解処理を実施するこ
とができる。

【００３３】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法におけ
る第３の形態は、フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下
で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接
触させた後、ランタノイドの酸化物を有効成分として含
む処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解する方法であ
り、図３はそのための分解処理装置の例を示す断面図で
ある。

【００３４】フッ化硫黄の分解を、第３の形態により実
施する場合は、通常はアルミニウム化合物の造粒物及び
ランタノイド化合物の造粒物が使用される。例えば、分
解処理を行なう前、分解処理装置に、図３に示すよう
に、アルミニウム化合物の造粒物１から成る処理剤及び
ランタノイド化合物の造粒物２から成る処理剤が積層さ
れる。尚、本発明においては、これらの２処理剤層を１
単位層として、単数または複数の単位層を積層させて分
解処理を行なうことが可能である。図３は３単位層を積
層させた構成のものである。

【００３５】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法におけ
る第４の形態は、フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下
で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接
触させた後、ランタノイドの酸化物を有効成分として含
む処理剤及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分とし
て含む処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解する方法で
あり、図４はそのための分解処理装置の例を示す断面図
である。尚、本発明においては、処理対象ガスを、ラン
タノイドの酸化物を有効成分として含む処理剤、アルカ
リ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤に接触
させる順について特に制限されることがない。

【００３６】フッ化硫黄の分解を、第４の形態により実
施する場合は、通常はアルミニウム化合物の造粒物、ラ
ンタノイド化合物の造粒物、及びアルカリ土類金属化合
物の造粒物が使用される。例えば、分解処理を行なう
前、分解処理装置に、図４（Ａ）または図４（Ｂ）に示
すように、アルミニウム化合物の造粒物１から成る処理
剤、ランタノイド化合物の造粒物２から成る処理剤、及
びアルカリ土類金属化合物の造粒物３から成る処理剤が
積層される。尚、本発明においては、これらの３処理剤
層を１単位層として、単数または複数の単位層を積層さ
せて分解処理を行なうことが可能である。

【００３７】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法におけ
る第５の形態は、フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下
で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接
触させた後、ランタノイドの酸化物及びアルカリ土類金
属の酸化物を有効成分として含む処理剤と接触させてフ
ッ化硫黄を分解する方法であり、図５はそのための分解
処理装置の例を示す断面図である。

【００３８】フッ化硫黄の分解を、第５の形態により実
施する場合は、通常はアルミニウム化合物を有効成分と
して含む処理剤としてアルミニウム化合物の造粒物が、
ランタノイドの酸化物とアルカリ土類金属の酸化物を有
効成分として含む処理剤として、ランタノイド化合物及
びアルカリ土類金属化合物を混合し造粒したもの、ある
いはランタノイド化合物の造粒物及びアルカリ土類金属
化合物の造粒物を混合したものが使用される。例えば、
分解処理を行なう前、分解処理装置に、図５（Ａ）に示
すように、アルミニウム化合物の造粒物１から成る処理
剤、ランタノイド化合物及びアルカリ土類金属化合物の
混合造粒物６から成る処理剤が積層されるか、図５
（Ｂ）に示すように、アルミニウム化合物の造粒物１か
ら成る処理剤、ランタノイド化合物の造粒物２及びアル
カリ土類金属化合物の造粒物３から成る処理剤が積層さ
れる。尚、本発明においては、これらの２処理剤層を１
単位層として、単数または複数の単位層を積層させて分
解処理を行なうことが可能である。

【００３９】尚、第３の形態、第４の形態、第５の形態
においても、第１の形態、第２の形態の場合と同様に、
アルミニウム化合物、ランタノイド化合物、アルカリ土
類金属化合物として、各々酸化物以外のものを用いる場
合は、フッ化硫黄を分解処理する温度またはその近辺の
温度で分解されて、各々容易にランタノイドの酸化物、
アルカリ土類金属の酸化物、酸化アルミニウムとなる化
合物を用いることが好ましい。これらのアルミニウム化
合物、ランタノイド化合物、アルカリ土類金属化合物
は、各々前述の本発明の分解処理剤におけるランタノイ
ド化合物、アルカリ土類金属化合物、アルミニウム化合
物と同様のものである。また、各々の造粒物の大きさ、
形状、調製方法、有効成分の含有量、不純物等も前述の
本発明の分解処理剤と同様である。

【００４０】本発明において、分解処理装置の形状は通
常は円筒状であり、大きさは通常は内径１０〜５００ｍ
ｍ、長さは２０〜２０００ｍｍ程度である。分解処理装
置に充填される分解処理剤の充填長は、通常は１０〜１
０００ｍｍ程度、好ましくは５０〜５００ｍｍ程度であ
る。分解処理剤の充填長が１０ｍｍ以下の場合はフッ化
硫黄の分解が不充分となり、１０００ｍｍ以上の場合は
圧力損失が大きくなる。また、処理剤の各層の厚さは、
通常は２〜２００ｍｍである。分解処理装置を加熱する
ための手段としては、通常は図１乃至図５のように分解
処理装置の外側にヒーターが設置され、外部の制御装置
により温度がコントロールされる。

【００４１】本発明によるフッ化硫黄の分解処理におい
ては、分解処理を行なう際に、空気等の酸素を含有する
ガス、水、水蒸気、またはこれらの混合物を添加しても
よいが、これらを添加しなくてもフッ化硫黄を分解でき
る。しかし、フッ化硫黄がＳＦ_６以外の場合は、何も添
加することなく、または水、水蒸気のみ添加して分解処
理を行なうと、硫黄酸化物の排出あるいは硫黄の析出の
虞があるので、分解処理を行なう際に酸素を添加するこ
とが好ましい。

【００４２】本発明によりＳＦ_６を、酸化アルミニウ
ム、酸化ランタン、及び酸化カルシウムを有効成分とし
て含む分解処理剤により、酸素及び水蒸気を共存させる
ことなく分解処理する場合は、次の（式1）〜（式５）
の反応が起こると推測される。また、ＳＦ_６以外のフッ
化硫黄、例えばＳＦ_４を、酸化アルミニウム、酸化ラン
タン、及び酸化カルシウムを有効成分として含む分解処
理剤により、酸素の共存下で分解する場合は、次の（式
６）〜（式１０）の反応が起こると推測される。また、
ＳＦ_６を、酸化アルミニウム、酸化ランタン、及び酸化
カルシウムを有効成分として含む分解処理剤により、水
蒸気の共存下で分解する場合は、（式１１）〜（式２
１）の反応が起こると推測される。

【００４３】

【化１】

【００４４】

【化２】

【００４５】

【化３】

【００４６】すなわち、本発明によりフッ化硫黄の分解
を行なう際には、酸化アルミニウムの表面にはフッ化硫
黄との反応によりフッ化アルミニウムが生成するが、フ
ッ化アルミニウムは直ちにランタノイドの酸化物、アル
カリ土類金属の酸化物と反応して酸化アルミニウムが再
生され、またフッ素はランタノイド、アルカリ土類金属
に固定されて、フッ素による酸化アルミニウムの劣化が
最小限におさえられるので、長時間連続でフッ化硫黄を
分解処理することができる。尚、前記反応式から明らか
なように、分解処理剤には、アルカリ土類金属化合物よ
りランタノイド化合物を多く含ませた方が、分解処理能
力（分解処理剤単位量当たりに対するフッ化硫黄の分解
処理量）が向上する。

【００４７】また、フッ化硫黄の分解の際に生成する硫
黄酸化物は、ランタノイドの酸化物、アルカリ土類金属
の酸化物と反応して固定される。この際、酸素が共存す
る場合は、フッ化硫黄がＳＦ_６以外のものであっても、
硫黄酸化物の排出及び硫黄の析出を防止することができ
る。また、水蒸気が共存する場合は、水蒸気がフッ化ア
ルミニウムと反応し酸化アルミニウムを再生するが、こ
の際、酸化アルミニウムの活性点の再生率が、ランタノ
イドの酸化物、アルカリ土類金属の酸化物によるときよ
りも良好であるため、さらに長時間の分解処理が可能で
ある。この際は腐食性ガスであるフッ化水素が一時的に
発生するが、直ちにランタノイドの酸化物、アルカリ土
類金属の酸化物と反応してフッ化物として固定されるの
で、分解処理装置からこの腐食性ガスが排出されること
はない。尚、本発明の第３の形態、第４の形態、第５の
形態によるフッ化硫黄の分解処理方法において水蒸気を
共存させた場合は、ＨＦによる下層部の酸化アルミニウ
ムの失活を防ぐことができる。

【００４８】フッ化硫黄と分解処理剤が接触する際の温
度は、フッ化硫黄の種類、濃度、流量等により異なり一
概に限定することはできないが、通常は３００〜１００
０℃である。分解温度が３００℃以下ではフッ化硫黄の
分解率が低く、一方１０００℃以上では分解処理装置に
耐熱性の高い材料が要求される不都合がある。また、フ
ッ化硫黄を分解処理する際の圧力は、通常は常圧で行わ
れるが、減圧あるいは加圧下で行なうこともできる。

【００４９】本発明においてフッ化硫黄を含むガスの流
速に特に制限はないが、一般的にガス中に含有されるフ
ッ化硫黄の濃度が高いほど流速を小さくすることが好ま
しい。このため分解処理装置はフッ化硫黄の種類、濃度
等などに応じて設計されるが、通常は空筒基準線速度
（ＬＶ）が５０ｃｍ／ｓｅｃ以下の範囲となるようにさ
れる。

【００５０】図６は、本発明のフッ化硫黄の分解処理方
法を実施するための分解処理システムの一例を示す構成
図である。図６のフッ化硫黄の分解処理システムにおい
て、フッ化硫黄を含有するガス、酸素及び／または水蒸
気は、各々フッ化硫黄導入ライン９、酸素及び／または
水蒸気導入ライン１０からフッ化硫黄の分解処理装置１
２に導入され、フッ化硫黄が分解処理された後、分解ガ
スの排出ライン１４により排出される。尚、本発明の第
一の形態によりＳＦ_６の分解処理を行なう場合は、酸素
及び／または水蒸気導入ライン１０を使用することなく
分解処理を行なうこともできる。本発明においては、腐
食性ガスが排出しないので、図６に示すように分解処理
前のフッ化硫黄を含有するガスと分解処理後のガスを熱
交換器１１により熱交換させることが可能である。ま
た、硫黄酸化物、フッ化水素等の腐食性ガスを浄化する
ための装置が不要である。

【００５１】

【実施例】次に、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明がこれらにより限定されるものではない。

【００５２】実施例１（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％）を１００μｍ以下になる
まで粉砕したものと、市販の酸化ランタン粉末（純度９
９％）を、原子数の比（Ａｌ：Ｌａ）が１：２となるよ
うに混合した。混合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型
に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ
／ｃｍ ^２の圧力で３０秒間加圧することにより成型して
得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの
目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しない
ものを分解処理剤とした。

【００５３】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分
解処理装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長
が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処
理剤の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０
ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００５４】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管
（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表
１に示す。

【００５５】実施例２，３実施例１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウム
と酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ：Ｌａ）
が、各々１：６、１：１となるように混合したほかは、
実施例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの
分解処理剤を用いて、実施例１と同様にしてフッ化硫黄
の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００５６】実施例４，５実施例１の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１と同様にし
てフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表
１に示す。

【００５７】実施例６実施例１の分解処理試験におけるフッ化硫黄をＳＦ_４に
替えたほかは実施例１と同様にしてフッ化硫黄の分解処
理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００５８】実施例７，８実施例１の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、
各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施
例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解
処理剤を用いて、実施例１と同様にしてフッ化硫黄の分
解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００５９】実施例９実施例１の分解処理試験における分解処理装置への導入
ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒
素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）のみに替えたほか
は実施例１と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験を行
なった。その結果を表１に示す。

【００６０】実施例１０実施例１の分解処理試験における分解処理装置への導入
ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒
素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０
ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例１と同様にしてフ
ッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表１に
示す。

【００６１】実施例１１実施例１の分解処理試験における分解処理装置への導入
ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒
素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及び水蒸気（流量７
３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例１と同様にして
フッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表１
に示す。

【００６２】実施例１２（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化
アルミニウムの造粒物として用いた。また、市販の酸化
ランタン粉末（純度９９％）を、内径２０ｍｍ、高さ５
ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキ用いて１５０〜１６
０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０秒間加圧することにより成
型し、得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６
ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過
しないものを酸化ランタンの造粒物として用いた。これ
らを原子数の比（Ａｌ：Ｌａ）が、１：２となるように
混合して分解処理剤を得た。

【００６３】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分
解処理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長
が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処
理剤の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０
ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００６４】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
及びＧＣ−ＴＣＤによってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６
の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して
分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分
解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、Ｈ
Ｆの排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管によ
り調査した。その結果を表２に示す。

【００６５】実施例１３，１４実施例１２の分解処理剤の調製における酸化アルミニウ
ムの造粒物と酸化ランタンの造粒物を、原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ）が、各々１：６、１：１となるように混合し
たほかは、実施例１２と同様にして分解処理剤を調製し
た。これらの分解処理剤を用いて、実施例１２と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表２に示す。

【００６６】実施例１５，１６実施例１２の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１２と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表２に示す。

【００６７】実施例１７実施例１２の分解処理試験におけるフッ化硫黄をＳＦ_４
に替えたほかは実施例１２と同様にしてフッ化硫黄の分
解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。

【００６８】実施例１８，１９実施例１２の分解処理剤の調製における酸化ランタン
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例１２と同様にして分解処理剤を調製した。これら
の分解処理剤を用いて、実施例１２と同様にしてフッ化
硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示
す。

【００６９】実施例２０実施例１２の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）のみに替えたほ
かは実施例１２と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験
を行なった。その結果を表２に示す。

【００７０】実施例２１実施例１２の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例１２と同様にし
てフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表
２に示す。

【００７１】実施例２２実施例１２の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及び水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例１２と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表２に示す。

【００７２】実施例２３（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％）、及び酸化カルシウム粒
（純度９９％）を各々１００μｍ以下になるまで粉砕し
たものと、市販の酸化ランタン粉末（純度９９％）を、
原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるよ
うに混合した。混合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型
に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ
／ｃｍ^２の圧力で３０秒間加圧することにより成型して
得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの
目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しない
ものを分解処理剤とした。

【００７３】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分
解処理装置の内部に、図２（Ａ）のような構成で充填長
が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処
理剤の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０
ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００７４】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
及びＧＣ−ＴＣＤによってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６
の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して
分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分
解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、Ｈ
Ｆの排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管によ
り調査した。その結果を表３に示す。

【００７５】実施例２４，２５実施例２３の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々２：９：１、１０：９：１とな
るように混合したほかは、実施例２３と同様にして分解
処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施
例２３と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験を行なっ
た。その結果を表３に示す。

【００７６】実施例２６，２７実施例２３の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例２３と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表３に示す。

【００７７】実施例２８実施例２３の分解処理試験におけるフッ化硫黄をＳＦ_４
に替えたほかは実施例２３と同様にしてフッ化硫黄の分
解処理試験を行なった。その結果を表３に示す。

【００７８】実施例２９，３０実施例２３の分解処理剤の調製における酸化カルシウム
を、各々酸化マグネシウム、酸化ストロンチウムに替え
たほかは実施例２３と同様にして分解処理剤を調製し
た。これらの分解処理剤を用いて、実施例２３と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表３に示す。

【００７９】実施例３１実施例２３の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）のみに替えたほ
かは実施例２３と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験
を行なった。その結果を表３に示す。

【００８０】実施例３２実施例２３の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例２３と同様にし
てフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表
３に示す。

【００８１】実施例３３実施例２３の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及び水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例２３と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表３に示す。

【００８２】実施例３４（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化
アルミニウムの造粒物として用いた。また、市販の酸化
ランタン粉末（純度９９％）を、内径２０ｍｍ、高さ５
ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキ用いて１５０〜１６
０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０秒間加圧することにより成
型し、得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６
ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過
しないものを酸化ランタンの造粒物として用いた。さら
に、市販の酸化カルシウム粒（純度９９％）を１００μ
ｍ以下になるまで粉砕した後、前記と同様に成型し、破
砕、篩分けしたものを酸化カルシウムの造粒物として用
いた。これらを原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：
９：１となるように混合して分解処理剤を得た。

【００８３】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分
解処理装置の内部に、図２（Ｂ）のような構成で充填長
が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処
理剤の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０
ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００８４】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
及びＧＣ−ＴＣＤによってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６
の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して
分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分
解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、Ｈ
Ｆの排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管によ
り調査した。その結果を表４に示す。

【００８５】実施例３５，３６実施例３４の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々２：９：１、１０：９：１とな
るように混合したほかは、実施例３４と同様にして分解
処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施
例３４と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験を行なっ
た。その結果を表４に示す。

【００８６】実施例３７，３８実施例３４の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例３４と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表４に示す。

【００８７】実施例３９実施例３４の分解処理試験におけるフッ化硫黄をＳＦ_４
に替えたほかは実施例３４と同様にしてフッ化硫黄の分
解処理試験を行なった。その結果を表４に示す。

【００８８】実施例４０，４１実施例３４の分解処理剤の調製における酸化カルシウム
を、各々酸化マグネシウム、酸化ストロンチウムに替え
たほかは実施例３４と同様にして分解処理剤を調製し
た。これらの分解処理剤を用いて、実施例３４と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表４に示す。

【００８９】実施例４２実施例３４の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）のみに替えたほ
かは実施例３４と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験
を行なった。その結果を表４に示す。

【００９０】実施例４３実施例３４の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例３４と同様にし
てフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表
４に示す。

【００９１】実施例４４実施例３４の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及び水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例３４と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表４に示す。

【００９２】実施例４５（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化
アルミニウムの造粒物として用いた。また、市販の酸化
カルシウム粒（純度９９％）を１００μｍ以下になるま
で粉砕したものと、市販の酸化ランタン粉末（純度９９
％）を、原子数の比（Ｌａ：Ｃａ）が９：１となるよう
に混合した。混合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に
詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／
ｃｍ^２の圧力で３０秒間加圧することにより成型して得
られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目
の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないも
のを混合造粒物とした。さらに、酸化アルミニウムの造
粒物と、酸化ランタン及び酸化カルシウムの混合造粒物
を、原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１とな
るように混合して分解処理剤を得た。

【００９３】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分
解処理装置の内部に、図２（Ｃ）のような構成で充填長
が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処
理剤の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０
ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【００９４】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
及びＧＣ−ＴＣＤによってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６
の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して
分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分
解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、Ｈ
Ｆの排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管によ
り調査した。その結果を表５に示す。

【００９５】実施例４６，４７実施例４５の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々２：９：１、１０：９：１とな
るように混合したほかは、実施例４５と同様にして分解
処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施
例４５と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験を行なっ
た。その結果を表５に示す。

【００９６】実施例４８，４９実施例４５の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例４５と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表５に示す。

【００９７】実施例５０実施例４５の分解処理試験におけるフッ化硫黄をＳＦ_４
に替えたほかは実施例４５と同様にしてフッ化硫黄の分
解処理試験を行なった。その結果を表５に示す。

【００９８】実施例５１，５２実施例４５の分解処理剤の調製における酸化カルシウム
を、各々水酸化マグネシウム、水酸化ストロンチウムに
替えたほかは実施例４５と同様にして分解処理剤を調製
した。これらの分解処理剤を用いて、実施例４５と同様
にしてフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果
を表５に示す。

【００９９】実施例５３実施例４５の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）のみに替えたほ
かは実施例４５と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験
を行なった。その結果を表５に示す。

【０１００】実施例５４実施例４５の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例４５と同様にし
てフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表
５に示す。

【０１０１】実施例５５実施例４５の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及び水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例４５と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表５に示す。

【０１０２】実施例５６（処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１
３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アル
ミニウムの造粒物から成る処理剤として用いた。また、
市販の酸化ランタン粉末（純度９９％）を、内径２０ｍ
ｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキ用いて１
５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０秒間加圧するこ
とにより成型し、得られた剤を破砕して、さらに篩によ
り３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の
開きを通過しないものを酸化ランタンの造粒物から成る
処理剤として用いた。

【０１０３】（分解処理試験）前記の処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図３のような構成で原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ）が１：２となるように交互に４層ずつ充填し
た（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装置の処理剤の温
度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）
を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３
ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分
解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【０１０４】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
及びＧＣ−ＴＣＤによってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６
の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して
分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分
解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、Ｈ
Ｆの排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管によ
り調査した。その結果を表６に示す。

【０１０５】実施例５７，５８実施例５６の分解処理試験における酸化アルミニウムの
原子数と酸化ランタンの原子数の比（Ａｌ：Ｌａ）が、
各々１：６、１：１となるように処理剤を積層したほか
は、実施例５６と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験
を行なった。その結果を表６に示す。

【０１０６】実施例５９，６０実施例５６の分解処理試験におけるＳＦ_６の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例５６と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表６に示す。

【０１０７】実施例６１実施例５６の分解処理試験におけるフッ化硫黄をＳＦ_４
に替えたほかは実施例５６と同様にしてフッ化硫黄の分
解処理試験を行なった。その結果を表６に示す。

【０１０８】実施例６２，６３実施例５６の分解処理剤の調製における酸化カルシウム
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例５６と同様にして分解処理剤を調製した。これら
の分解処理剤を用いて、実施例５６と同様にしてフッ化
硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表６に示
す。

【０１０９】実施例６４実施例５６の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）のみに替えたほ
かは実施例５６と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験
を行なった。その結果を表６に示す。

【０１１０】実施例６５実施例５６の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例５６と同様にし
てフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表
６に示す。

【０１１１】実施例６６実施例５６の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及び水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例５６と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表６に示す。

【０１１２】実施例６７（処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１
３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アル
ミニウムの造粒物から成る処理剤として用いた。また、
市販の酸化ランタン粉末（純度９９％）を、内径２０ｍ
ｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキ用いて１
５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０秒間加圧するこ
とにより成型し、得られた剤を破砕して、さらに篩によ
り３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の
開きを通過しないものを酸化ランタンの造粒物から成る
処理剤として用いた。さらに、市販の酸化カルシウム粒
（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕した
後、前記と同様に成型し、破砕、篩分けしたものを酸化
カルシウムの造粒物から成る処理剤として用いた。

【０１１３】（分解処理試験）前記の処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図４（Ａ）のような構成で原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように交互に
４層ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装
置の処理剤の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流
量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７
ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水
蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ
／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解し
た。

【０１１４】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
及びＧＣ−ＴＣＤによってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６
の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して
分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分
解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、Ｈ
Ｆの排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管によ
り調査した。その結果を表７に示す。

【０１１５】実施例６８実施例６７の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）のみに替えたほ
かは実施例６７と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験
を行なった。その結果を表７に示す。

【０１１６】実施例６９実施例６７の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例６７と同様にし
てフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表
７に示す。

【０１１７】実施例７０実施例６７の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及び水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例６７と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表７に示す。

【０１１８】実施例７１実施例６７と同様にして調製した処理剤を、内径４２ｍ
ｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装
置の内部に、図４（Ｂ）のような構成で原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように交互に４層
ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装置の
処理剤の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１
０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ
／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【０１１９】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
及びＧＣ−ＴＣＤによってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６
の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して
分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分
解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、Ｈ
Ｆの排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管によ
り調査した。その結果を表８に示す。

【０１２０】実施例７２実施例７１の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）のみに替えたほ
かは実施例７１と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験
を行なった。その結果を表８に示す。

【０１２１】実施例７３実施例７１の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例７１と同様にし
てフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表
８に示す。

【０１２２】実施例７４実施例７１の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及び水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例７１と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表８に示す。

【０１２３】実施例７５（処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１
３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アル
ミニウムの造粒物から成る処理剤として用いた。また、
市販の酸化カルシウム粒（純度９９％）を１００μｍ以
下になるまで粉砕したものと、市販の酸化ランタン粉末
（純度９９％）を、原子数の比（Ｌａ：Ｃａ）が９：１
となるように混合した。混合物を内径２０ｍｍ、高さ５
ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１
６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０秒間加圧することにより
成型して得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３
６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通
過しないものを酸化ランタン及び酸化カルシウムから成
る処理剤とした。

【０１２４】（分解処理試験）前記の処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図５（Ａ）のような構成で原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように交互に
４層ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装
置の処理剤の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流
量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７
ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水
蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ
／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解し
た。

【０１２５】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
及びＧＣ−ＴＣＤによってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６
の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して
分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分
解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、Ｈ
Ｆの排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管によ
り調査した。その結果を表９に示す。

【０１２６】実施例７６実施例７５の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）のみに替えたほ
かは実施例７５と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験
を行なった。その結果を表９に示す。

【０１２７】実施例７７実施例７５の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例７５と同様にし
てフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表
９に示す。

【０１２８】実施例７８実施例７５の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及び水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例７５と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表９に示す。

【０１２９】実施例７９（処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１
３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アル
ミニウムの造粒物から成る処理剤として用いた。また、
市販の酸化ランタン粉末（純度９９％）を、内径２０ｍ
ｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキ用いて１
５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０秒間加圧するこ
とにより成型し、得られた剤を破砕して、さらに篩によ
り３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の
開きを通過しないものを酸化ランタンの造粒物として用
いた。さらに、市販の酸化カルシウム粒（純度９９％）
を１００μｍ以下になるまで粉砕した後、前記と同様に
成型し、破砕、篩分けしたものを酸化カルシウムの造粒
物として用いた。これらの造粒物を原子数の比（Ｌａ：
Ｃａ）が９：１となるように混合して、酸化ランタン及
び酸化カルシウムから成る処理剤として用いた。

【０１３０】（分解処理試験）前記の処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図５（Ｂ）のような構成で原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように交互に
４層ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装
置の処理剤の温度を８００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流
量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７
ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水
蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ
／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解し
た。

【０１３１】この間、約２０分毎に分解処理装置の排出
口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
及びＧＣ−ＴＣＤによってＳＦ_６の分析を行ないＳＦ_６
の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して
分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分
解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、Ｈ
Ｆの排出の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管によ
り調査した。その結果を表１０に示す。

【０１３２】実施例８０実施例７９の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）のみに替えたほ
かは実施例７９と同様にしてフッ化硫黄の分解処理試験
を行なった。その結果を表１０に示す。

【０１３３】実施例８１実施例７９の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例７９と同様にし
てフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を表
１０に示す。

【０１３４】実施例８２実施例７９の分解処理試験における分解処理装置への導
入ガスを、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する
窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）及び水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）に替えたほかは実施例７９と同様に
してフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結果を
表１０に示す。

【０１３５】実施例８３〜８６実施例２３の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々（５：７：３）、（５：５：
５）、（５：３：７）、（５：１：９）となるように混
合したほかは、実施例２３と同様にして分解処理剤を調
製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例２３と同
様にしてフッ化硫黄の分解処理試験を行なった。その結
果を表１１に示す。

【０１３６】実施例８７〜８９実施例１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０
Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Å
の細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例１と
同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤
を用いて、実施例１と同様にしてフッ化硫黄の分解処理
試験を行なった。その結果を表１２に示す。

【０１３７】実施例９０〜９２実施例１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０
Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Å
の細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例１と
同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤
を用いて、実施例９と同様にしてフッ化硫黄の分解処理
試験を行なった。その結果を表１２に示す。

【０１３８】実施例９３〜９５実施例１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０
Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Å
の細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例１と
同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤
を用いて、実施例１０と同様にしてフッ化硫黄の分解処
理試験を行なった。その結果を表１２に示す。

【０１３９】実施例９６〜９８実施例１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０
Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Å
の細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例１と
同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤
を用いて、実施例１１と同様にしてフッ化硫黄の分解処
理試験を行なった。その結果を表１２に示す。

【０１４０】比較例１市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９
９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒
物から成る分解処理剤として用いた。この分解処理剤
を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ
製の分解処理装置の内部に、充填長が３００ｍｍとなる
ように充填した。分解処理装置の分解処理剤の温度を８
００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）
を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解
処理装置に導入するとともに、酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【０１４１】この間、実施例１と同様にＳＦ_６の分解率
が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理
剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解処理量
（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出
の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管により調査し
た。その結果を表１２に示す。

【０１４２】比較例２市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９
９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒
物から成る分解処理剤として用いた。この分解処理剤
を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ
製の分解処理装置の内部に、充填長が３００ｍｍとなる
ように充填した。分解処理装置の分解処理剤の温度を８
００℃に加熱した後、ＳＦ_６（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）
を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解
処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／
ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理
装置に導入してＳＦ_６を分解した。

【０１４３】この間、実施例１と同様にＳＦ_６の分解率
が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理
剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＳＦ_６の分解処理量
（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出
の有無、硫黄酸化物の排出の有無を検知管により調査し
た。その結果を表１２に示す。

【０１４４】

【表１】

【０１４５】

【表２】

【０１４６】

【表３】

【０１４７】

【表４】

【０１４８】

【表５】

【０１４９】

【表６】

【０１５０】

【表７】

【０１５１】

【表８】

【０１５２】

【表９】

【０１５３】

【表１０】

【０１５４】

【表１１】

【０１５５】

【表１２】

【０１５６】

【表１３】

【０１５７】

【発明の効果】本発明のフッ化硫黄の分解処理剤及び分
解処理方法により、半導体製造工程等から排出される排
ガスに含まれるＳＦ_６等のフッ化硫黄を、短時間で分解
処理剤が失活することなく、硫黄酸化物、フッ化水素等
の腐食性ガスを排出させることなく、１０００℃以下の
比較的低い温度で、９９．９％以上の分解率で分解する
ことが可能になった。また、分解処理装置から排出する
分解ガスに硫黄酸化物、フッ化水素等の腐食性ガスが含
まれないため、これを浄化するための浄化装置が不要と
なるほか、分解処理前のフッ化硫黄を含有するガスと分
解処理後のガスを熱交換器により熱交換させることが可
能となり熱エネルギーの損失を抑制することができるよ
うになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法（第１の形
態）を実施するための分解処理装置の例を示す断面図

【図２】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法（第２の形
態）を実施するための分解処理装置の例を示す断面図

【図３】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法（第３の形
態）を実施するための分解処理装置の例を示す断面図

【図４】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法（第４の形
態）を実施するための分解処理装置の例を示す断面図

【図５】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法（第５の形
態）を実施するための分解処理装置の例を示す断面図

【図６】本発明のフッ化硫黄の分解処理方法を実施する
ための分解処理システムの例を示す構成図

【符号の説明】

１アルミニウム化合物の造粒物２ランタノイド化合物の造粒物３アルカリ土類金属化合物の造粒物４アルミニウム化合物及びランタノイド化合物を混合
し造粒して成る造粒物５アルミニウム化合物、ランタノイド化合物、及びア
ルカリ土類金属化合物を混合し造粒して成る造粒物６ランタノイド化合物及びアルカリ土類金属化合物を
混合し造粒して成る造粒物７ヒーター８温度センサー９フッ化硫黄導入ライン１０酸素及び／または水蒸気導入ライン１１熱交換器１２フッ化硫黄の分解処理装置１３温度制御器１４分解ガスの排出ライン１５冷却器１６ブロワー

フロントページの続き (72)発明者越智幸史神奈川県平塚市田村5181番地日本パイオニクス株式会社平塚研究所内Ｆターム(参考） 4D002 AA22 AC10 BA03 BA20 CA07 DA11 DA16 DA21 DA46 GA01 GA03 GB06 GB11 GB12 5F004 AA16 BC02 BC08 BD04 DA18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】アルミニウム化合物及びランタノイド化
合物を有効成分として含むことを特徴とするフッ化硫黄
の分解処理剤。
【請求項２】アルミニウム化合物、ランタノイド化合
物、及びアルカリ土類金属化合物を有効成分として含む
ことを特徴とするフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項３】アルミニウム化合物とランタノイド化合
物を混合し造粒して成る請求項１に記載のフッ化硫黄の
分解処理剤。
【請求項４】アルミニウム化合物の造粒物とランタノ
イド化合物の造粒物を混合して成る請求項１に記載のフ
ッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項５】アルミニウム化合物、ランタノイド化合
物、及びアルカリ土類金属化合物を混合し造粒して成る
請求項２に記載のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項６】アルミニウム化合物の造粒物、ランタノ
イド化合物の造粒物、及びアルカリ土類金属化合物の造
粒物を混合して成る請求項２に記載のフッ化硫黄の分解
処理剤。
【請求項７】アルミニウム化合物の造粒物と、ランタ
ノイド化合物及びアルカリ土類金属化合物の混合造粒物
を混合して成る請求項２に記載のフッ化硫黄の分解処理
剤。
【請求項８】分解処理剤に含まれるアルミニウムの原
子数とランタノイドの原子数の比が、１：０．１〜１０
である請求項１に記載のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項９】分解処理剤に含まれるアルミニウムの原
子数と、ランタノイドの原子数及びアルカリ土類金属化
合物の原子数を合せた原子数の比が、１：０．１〜１０
である請求項２に記載のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項１０】分解処理剤に含まれるランタノイドの
原子数と、アルカリ土類金属化合物の原子数の比が、
（１：２以下）である請求項２に記載のフッ化硫黄の分
解処理剤。
【請求項１１】ランタノイドが、ランタン、セリウ
ム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、及びユーロ
ピウムから選ばれる少なくとも１種である請求項１また
は請求項２に記載のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項１２】ランタノイド化合物が、ランタノイド
の酸化物、水酸化物、炭酸塩、及び硝酸塩から選ばれる
少なくとも１種である請求項１または請求項２に記載の
フッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項１３】アルミニウム化合物が、酸化アルミニ
ウムまたは水酸化アルミニウムである請求項１または請
求項２に記載のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項１４】酸化アルミニウムが、平均細孔直径５
０〜２００Åの細孔を有する酸化アルミニウムである請
求項１３に記載のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項１５】アルカリ土類金属化合物が、アルカリ
土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、及び硝酸塩から
選ばれる少なくとも１種である請求項２に記載のフッ化
硫黄の分解処理剤。
【請求項１６】分解処理剤中の重量割合として、有効
成分が７０％以上含まれる請求項１または請求項２に記
載のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項１７】フッ化硫黄が六フッ化硫黄である請求
項１または請求項２に記載のフッ化硫黄の分解処理剤。
【請求項１８】フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下
で、酸化アルミニウム及びランタノイドの酸化物を有効
成分として含む分解処理剤と接触させてフッ化硫黄を分
解することを特徴とするフッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項１９】フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下
で、酸化アルミニウム、ランタノイドの酸化物、及びア
ルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む分解処理
剤と接触させてフッ化硫黄を分解することを特徴とする
フッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項２０】フッ化硫黄を含有するガスを、酸素及
び／または水蒸気の共存下で、分解処理剤と接触させて
フッ化硫黄を分解する請求項１８または請求項１９に記
載のフッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項２１】フッ化硫黄を含有するガスと分解処理
剤の接触温度が、３００〜１０００℃である請求項１８
または請求項１９に記載のフッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項２２】失活した分解処理剤を順次反応系から
排出するとともに、新規分解処理剤を反応系に供給する
請求項１８または請求項１９に記載のフッ化硫黄の分解
処理方法。
【請求項２３】フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下
で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接
触させた後、ランタノイドの酸化物を有効成分として含
む処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解することを特徴
とするフッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項２４】フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下
で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接
触させた後、ランタノイドの酸化物を有効成分として含
む処理剤及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分とし
て含む処理剤と接触させてフッ化硫黄を分解することを
特徴とするフッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項２５】フッ化硫黄を含有するガスを、加熱下
で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接
触させた後、ランタノイドの酸化物及びアルカリ土類金
属の酸化物を有効成分として含む処理剤と接触させてフ
ッ化硫黄を分解することを特徴とするフッ化硫黄の分解
処理方法。
【請求項２６】フッ化硫黄を含有するガスを、酸素及
び／または水蒸気の共存下で、処理剤と接触させてフッ
化硫黄を分解する請求項２３、請求項２４、または請求
項２５に記載のフッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項２７】フッ化硫黄を含有するガスと処理剤の
接触温度が、３００〜１０００℃である請求項２３、請
求項２４、または請求項２５に記載のフッ化硫黄の分解
処理方法。
【請求項２８】分解処理前のフッ化硫黄を含有するガ
スと分解処理後のガスを熱交換させる請求項１８、請求
項１９、請求項２３、請求項２４、または請求項２５に
記載のフッ化硫黄の分解処理方法。
【請求項２９】フッ化硫黄が六フッ化硫黄である請求
項１８、請求項１９、請求項２３、請求項２４、または
請求項２５に記載のフッ化硫黄の分解処理方法。