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Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】 耐摩耗性で耐侵食性で耐腐食性の被膜用材料であって、０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成している炭化タングステンで構成されている材料。
【請求項２】 耐摩耗性で耐侵食性で耐腐食性の被膜用材料であって、０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含んで成る材料。
【請求項３】 被膜であって、
− ある基質の上に位置するタングステンで構成される内側層、および
− 前記内側層の上に位置していて請求項１記載の炭化タングステンを含有する外側層、
を含有することを特徴とする被膜。
【請求項４】 六フッ化タングステン、水素、炭素含有ガスおよび場合により不活性ガスを含有する気体混合物を用いて加熱基質に化学蒸着させることで炭化タングステンを生じさせる方法であって、前記炭素含有ガスを前以て５００−８５０℃の温度に加熱してそれに熱による活性化を受けさせておくことを特徴とする方法。
【請求項５】 タングステンの内側層とサブ炭化タングステンＷ12Ｃを含有する外側層で構成される被膜を基質、好適には建設用材料またはそれらから作られた品目の上に位置させる方法であって、下記の段階：
（ａ）前記基質を化学蒸着反応槽に入れ、
（ｂ）前記反応槽に減圧排気を受けさせ、
（ｃ）前記基質を加熱し、
（ｄ）六フッ化タングステンと水素を前記反応槽に供給し、
（ｅ）前記基質を前記気体状媒体中にタングステン層が前記基質上に生じるに必要な時間保持し、
（ｆ）前記六フッ化タングステンと水素に加えて、前以て熱による活性化を受けさせておいた炭素含有ガスを前記反応槽に供給し、
（ｇ）前記基質を段階（ｆ）で生じさせた気体状媒体中に炭化タングステン、それらの互いの混合物、それとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する外側層が生じるに必要な時間保持する、
段階を包含することを特徴とする方法。
【請求項６】 材料であって、
− 建設用材料で作られた基質、
− 前記基質上に位置していて内側のタングステン層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している炭化タングステンを含有する外側層で構成されている被膜、
を含んで成る材料。
【請求項７】 材料であって、
− 建設用材料で作られた基質、および
− 前記基質上に位置していて内側のタングステン層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含有する外側層で構成されている被膜、
を含んで成る材料。
【請求項８】 請求項５記載の方法で得られる材料。
【請求項９】 多積層被膜であって、タングステンの層と請求項１記載の炭化タングステンを含有する層が交互に位置することで作られた多積層被膜。
【請求項１０】 多積層被膜であって、タングステンの層と請求項２記載の炭化タングステンを含有する層が交互に位置することで作られた多積層被膜。
【請求項１１】 タングステンの層と炭化タングステンもしくは炭化タングステンの互いの混合物またはそれとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する層を交互に位置させることで構成させた多積層被膜を基質、好適には建設用材料またはそれらから作られた品目の上に位置させる方法であって、下記の段階：
（ａ）前記基質を化学蒸着反応槽に入れ、
（ｂ）前記反応槽に減圧排気を受けさせ、
（ｃ）前記基質を加熱し、
（ｄ）六フッ化タングステンと水素を前記反応槽に供給し、
（ｅ）前記基質を前記気体状媒体中にタングステン層が前記基質上に生じるに必要な時間保持し、
（ｆ）前記六フッ化タングステンと水素に加えて、前以て熱による活性化を受けさせておいた炭素含有ガスを前記反応槽に供給し、
（ｇ）前記基質を段階（ｆ）で生じさせた気体状媒体中に炭化タングステンもしくは炭化タングステンの互いの混合物またはそれとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する外側層が生じるに必要な時間保持し、
段階（ｄ）から（ｇ）をタングステンの層と炭化タングステンを含有する層が交互に形成されるように数回繰り返す、
段階を包含する方法。
【請求項１２】 建設用材料であって、タングステンの層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している炭化タングステンを含有する層が交互に存在することで構成された多積層被膜と基質を含んで成る建設用材料。
【請求項１３】 建設用材料であって、タングステンの層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含有する層が交互に存在することで構成された多積層被膜と基質を含んで成る建設用材料。
【請求項１４】 建設用材料であって、請求項１１記載の方法を用いて得られた建設用材料。
【請求項１】 耐摩耗性で耐侵食性で耐腐食性の被膜用材料であって、０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成している炭化タングステンで構成されている材料。
【請求項２】 耐摩耗性で耐侵食性で耐腐食性の被膜用材料であって、０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含んで成る材料。
【請求項３】 被膜であって、
− ある基質の上に位置するタングステンで構成される内側層、および
− 前記内側層の上に位置していて請求項１記載の炭化タングステンを含有する外側層、
を含有することを特徴とする被膜。
【請求項４】 六フッ化タングステン、水素、炭素含有ガスおよび場合により不活性ガスを含有する気体混合物を用いて加熱基質に化学蒸着させることで炭化タングステンを生じさせる方法であって、前記炭素含有ガスを前以て５００−８５０℃の温度に加熱してそれに熱による活性化を受けさせておくことを特徴とする方法。
【請求項５】 タングステンの内側層とサブ炭化タングステンＷ12Ｃを含有する外側層で構成される被膜を基質、好適には建設用材料またはそれらから作られた品目の上に位置させる方法であって、下記の段階：
（ａ）前記基質を化学蒸着反応槽に入れ、
（ｂ）前記反応槽に減圧排気を受けさせ、
（ｃ）前記基質を加熱し、
（ｄ）六フッ化タングステンと水素を前記反応槽に供給し、
（ｅ）前記基質を前記気体状媒体中にタングステン層が前記基質上に生じるに必要な時間保持し、
（ｆ）前記六フッ化タングステンと水素に加えて、前以て熱による活性化を受けさせておいた炭素含有ガスを前記反応槽に供給し、
（ｇ）前記基質を段階（ｆ）で生じさせた気体状媒体中に炭化タングステン、それらの互いの混合物、それとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する外側層が生じるに必要な時間保持する、
段階を包含することを特徴とする方法。
【請求項６】 材料であって、
− 建設用材料で作られた基質、
− 前記基質上に位置していて内側のタングステン層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している炭化タングステンを含有する外側層で構成されている被膜、
を含んで成る材料。
【請求項７】 材料であって、
− 建設用材料で作られた基質、および
− 前記基質上に位置していて内側のタングステン層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含有する外側層で構成されている被膜、
を含んで成る材料。
【請求項８】 請求項５記載の方法で得られる材料。
【請求項９】 多積層被膜であって、タングステンの層と請求項１記載の炭化タングステンを含有する層が交互に位置することで作られた多積層被膜。
【請求項１０】 多積層被膜であって、タングステンの層と請求項２記載の炭化タングステンを含有する層が交互に位置することで作られた多積層被膜。
【請求項１１】 タングステンの層と炭化タングステンもしくは炭化タングステンの互いの混合物またはそれとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する層を交互に位置させることで構成させた多積層被膜を基質、好適には建設用材料またはそれらから作られた品目の上に位置させる方法であって、下記の段階：
（ａ）前記基質を化学蒸着反応槽に入れ、
（ｂ）前記反応槽に減圧排気を受けさせ、
（ｃ）前記基質を加熱し、
（ｄ）六フッ化タングステンと水素を前記反応槽に供給し、
（ｅ）前記基質を前記気体状媒体中にタングステン層が前記基質上に生じるに必要な時間保持し、
（ｆ）前記六フッ化タングステンと水素に加えて、前以て熱による活性化を受けさせておいた炭素含有ガスを前記反応槽に供給し、
（ｇ）前記基質を段階（ｆ）で生じさせた気体状媒体中に炭化タングステンもしくは炭化タングステンの互いの混合物またはそれとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する外側層が生じるに必要な時間保持し、
段階（ｄ）から（ｇ）をタングステンの層と炭化タングステンを含有する層が交互に形成されるように数回繰り返す、
段階を包含する方法。
【請求項１２】 建設用材料であって、タングステンの層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している炭化タングステンを含有する層が交互に存在することで構成された多積層被膜と基質を含んで成る建設用材料。
【請求項１３】 建設用材料であって、タングステンの層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含有する層が交互に存在することで構成された多積層被膜と基質を含んで成る建設用材料。
【請求項１４】 建設用材料であって、請求項１１記載の方法を用いて得られた建設用材料。
本発明に従って得る耐摩耗性で耐腐食性の被膜を多数種の品目の油および気体用装置［接地ポンプ（ｇｒｏｕｎｄ−ｌｅｖｅｌ ｐｕｍｐｓ）、浸漬ポンプ（ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ ｐｕｍｐｓ）、クリスマスツリーのアクセサリーなど］に付着させることを通して、それらを有意に改良することができる。
本発明の好適な実施態様は次のとおりである。
１． 耐摩耗性で耐侵食性で耐腐食性の被膜用材料であって、０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成している炭化タングステンで構成されている材料。
２． ０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成している一炭化タングステンＷＣである上記１記載の材料。
３． ０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成している半炭化タングステンＷ2Ｃである上記１記載の材料。
４． ０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成しているサブ炭化タングステンＷ3Ｃである上記１記載の材料。
５． ０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成しているサブ炭化タングステンＷ12Ｃである上記１記載の材料。
６． 炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物を追加的に含有する上記１記載の材料。
７． 耐摩耗性で耐侵食性で耐腐食性の被膜用材料であって、０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含んで成る材料。
８． 被膜であって、
− ある基質の上に位置するタングステンで構成される内側層、および
− 前記内側層の上に位置していて上記１−６記載の炭化タングステンを含有する外側層、
を含有することを特徴とする被膜。
９． 前記外側層が追加的に上記７記載の炭化タングステンの混合物も含有することを特徴とする上記６記載の被膜。
１０． 前記外側層が追加的にタングステンも含有することを特徴とする上記８または９記載の被膜。
１１． 前記外側層が追加的に炭素も含有することを特徴とする上記８または９記載の被膜。
１２． 前記内側層が０．５−３００μｍの厚みを有しそして前記外側層が０．５−３００μｍの厚みを有していて前記内側層の厚みと前記外側層の厚みの比率が１：１から１：６００の範囲であることを特徴とする上記８から１１のいずれか記載の被膜。
１３． 六フッ化タングステン、水素、炭素含有ガスおよび場合により不活性ガスを含有する気体混合物を用いて加熱基質に化学蒸着させることで炭化タングステンを生じさせる方法であって、前記炭素含有ガスを前以て５００−８５０℃の温度に加熱してそれに熱による活性化を受けさせておくことを特徴とする方法。
１４． 前記炭素含有ガスがプロパンであることを特徴とする上記１３記載の方法。
１５． ２−１５０ｋＰａの圧力下、４００−９００℃の基質温度で、水素に対する炭素含有ガスの比率を０．２−１．７にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０２−０．１２にして実施することを特徴とする上記１３または１４記載の方法。
１６． 水素に対する炭素含有ガスの比率を１．０−１．５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．１０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て７５０−８５０℃の温度に加熱しておき、この場合、一炭化タングステンＷＣを得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
１７． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７５−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０６−０．０８にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７５０℃の温度に加熱しておき、この場合、半炭化タングステンＷ2Ｃを得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
１８． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５−０．０５５にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５６０−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、サブ炭化タングステンＷ3Ｃを得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
１９． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．３５−０．４５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４０−０．０４５にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、サブ炭化タングステンＷ12Ｃを得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２０． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．９０−１．００にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０７−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６７０−７９０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物ＷＣとＷ2Ｃの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２１． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．７５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５８０−７３０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ3Ｃの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２２． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５７０−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ12Ｃの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２３． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．４５−０．６０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０５０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５５０−６８０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3ＣとＷ12Ｃの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２４． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６５−０．７０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５７０−７１０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２５． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物ＷＣとタングステンの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２６． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2Ｃとタングステンの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２７． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５５−０．０７０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５６０−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3Ｃとタングステンの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２８． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．２０−０．３５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０７０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−６８０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ12Ｃとタングステンの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２９． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．３５−０．６０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５−０．０７にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−６８０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3ＣとＷ12Ｃとタングステンの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
３０． 水素に対する炭素含有ガスの比率を１．５０−１．７０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．１０−０．１２にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て７５０−８５０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物ＷＣと炭素の混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
３１． タングステンの内側層とサブ炭化タングステンＷ12Ｃを含有する外側層で構成される被膜を基質、好適には建設用材料またはそれらから作られた品目の上に位置させる方法であって、下記の段階：
（ａ）前記基質を化学蒸着反応槽に入れ、
（ｂ）前記反応槽に減圧排気を受けさせ、
（ｃ）前記基質を加熱し、
（ｄ）六フッ化タングステンと水素を前記反応槽に供給し、
（ｅ）前記基質を前記気体状媒体中にタングステン層が前記基質上に生じるに必要な時間保持し、
（ｆ）前記六フッ化タングステンと水素に加えて、前以て熱による活性化を受けさせておいた炭素含有ガスを前記反応槽に供給し、
（ｇ）前記基質を段階（ｆ）で生じさせた気体状媒体中に炭化タングステン、それらの互いの混合物、それとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する外側層が生じるに必要な時間保持する、
段階を包含することを特徴とする方法。
３２． ２−１５０ｋＰａの反応槽圧力下、４００−９００℃の基質温度で、水素に対する炭素含有ガスの比率を０．２−１．７にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０２−０．１２にして実施することを特徴とする上記３１記載の方法。
３３． 鉄、炭素鋼、ステンレス鋼、鋳鉄、チタン合金およびチタンを含有する硬質合金（超硬合金）を包含する群から選択される材料または前記材料から作られた品目に被膜を付着させるに先立ってそれらにフッ化水素に化学的耐性を示す材料、即ちニッケル、コバルト、銅、銀、金、白金、イリジウム、タンタル、モリブデンまたはそれらの合金、化合物または混合物で構成させた被膜を水溶液を用いた電気化学もしくは化学的沈着、溶融物の電気分解または物理的もしくは化学的蒸着で付着させておくことを特徴とする上記３１記載の方法。
３４． 水素に対する炭素含有ガスの比率を１．００−１．５０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．１０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て７５０−８５０℃の温度に加熱しておき、この場合、一炭化タングステンＷＣを含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
３５． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７５−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０６−０．０８にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７５０℃の温度に加熱しておき、この場合、半炭化タングステンＷ2Ｃを含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
３６． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５０−０．０５５にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５６０−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、サブ炭化タングステンＷ3Ｃを含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
３７． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．３５−０．４０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４０−０．０４５にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、サブ炭化タングステンＷ12Ｃを含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
３８． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．９０−１．００にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０７−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６７０−７９０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物ＷＣとＷ2Ｃの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
３９． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．７５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５８０−７３０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ3Ｃの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４０． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６５−０．７０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５７０−７１０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４１． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５７０−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４２． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．４０−０．６０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０５０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５５０−６８０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４３． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2Ｃとタングステンの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４４． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５５−０．０７０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５６０−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3Ｃとタングステンの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４５． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．３５−０．６０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５０−０．０７０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−６９０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3ＣとＷ12Ｃとタングステンの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４６． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．２０−０．３５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０７０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−６８０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ12Ｃとタングステンの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４７． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物ＷＣとタングステンの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４８． 前記被膜を摩擦アセンブリ上に位置させることを特徴とする上記３１から４７のいずれか記載の方法。
４９． 前記被膜を材料の加工で用いられる成形用工具上にプレス加工で位置させることを特徴とする上記３１から４７のいずれか記載の方法。
５０． 前記被膜を圧縮気体もしくは液体または他の空気系もしくは油圧系で作動する機械または機構の構成要素または装置の上に位置させることを特徴とする上記３１から４７のいずれか記載の方法。
５１． 材料であって、
− 建設用材料で作られた基質、
− 前記基質上に位置していて内側のタングステン層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している炭化タングステンを含有する外側層で構成されている被膜、
を含んで成る材料。
５２． 前記炭化タングステンが一炭化タングステンＷＣである上記５１記載の材料。
５３． 前記炭化タングステンが半炭化タングステンＷ2Ｃである上記５１記載の材料。
５４． 前記炭化タングステンがサブ炭化タングステンＷ3Ｃである上記５１記載の材料。
５５． 前記炭化タングステンがサブ炭化タングステンＷ12Ｃである上記５１記載の材料。
５６． 材料であって、
− 建設用材料で作られた基質、および
− 前記基質上に位置していて内側のタングステン層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含有する外側層で構成されている被膜、
を含んで成る材料。
５７． 前記被膜の外側層が炭化タングステンＷＣとＷ12Ｃの混合物を含有することを特徴とする上記５６記載の材料。
５８． 前記被膜の外側層が炭化タングステンＷ3ＣとＷ2Ｃの混合物を含有することを特徴とする上記５６記載の材料。
５９． 前記被膜の外側層が炭化タングステンＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有することを特徴とする上記５６記載の材料。
６０． 前記被膜の外側層が炭化タングステンＷ2ＣとＷ12Ｃの混合物を含有することを特徴とする上記５６記載の材料。
６１． 前記被膜の外側層が炭化タングステンＷ2ＣとＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有することを特徴とする上記５６記載の材料。
６２． 前記被膜の外側層が追加的にタングステンも含有することを特徴とする上記５２−６１記載の材料。
６３． 前記被膜の外側層が追加的に炭素も含有することを特徴とする上記５２−６１記載の材料。
６４． 前記被膜の内側層が０．５−３００μｍの厚みを有していて前記内側層の厚みと前記外側層の厚みの比率が１：１から１：６００の範囲であることを特徴とする上記５２から６３記載の材料。
６５． 前記被膜に隣接して位置する前記基質層がニッケル含有量が２５重量％を越える合金、例えばＩｎｖａｒ、Ｎｉｃｈｒｏｍｅ、Ｍｏｎｅｌを含有することを特徴とする上記５２から６４記載の材料。
６６． 上記３１から４７のいずれか記載の方法で得られる材料。
６７． 多積層被膜であって、タングステンの層と上記１から６のいずれか記載の炭化タングステンを含有する層が交互に位置することで作られた多積層被膜。
６８． 多積層被膜であって、タングステンの層と上記７記載の炭化タングステンを含有する層が交互に位置することで作られた多積層被膜。
６９． 前記個々の層の厚みが２から１０μｍの範囲でありそして前記交互に位置する層の厚みの比率が１：１から１：５の範囲であることを特徴とする上記６７−６８記載の多積層被膜。
７０． タングステンの層と炭化タングステンもしくは炭化タングステンの互いの混合物またはそれとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する層を交互に位置させることで構成させた多積層被膜を基質、好適には建設用材料またはそれらから作られた品目の上に位置させる方法であって、下記の段階：
（ａ）前記基質を化学蒸着反応槽に入れ、
（ｂ）前記反応槽に減圧排気を受けさせ、
（ｃ）前記基質を加熱し、
（ｄ）六フッ化タングステンと水素を前記反応槽に供給し、
（ｅ）前記基質を前記気体状媒体中にタングステン層が前記基質上に生じるに必要な時間保持し、
（ｆ）前記六フッ化タングステンと水素に加えて、前以て熱による活性化を受けさせておいた炭素含有ガスを前記反応槽に供給し、
（ｇ）前記基質を段階（ｆ）で生じさせた気体状媒体中に炭化タングステンもしくは炭化タングステンの互いの混合物またはそれとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する外側層が生じるに必要な時間保持し、
段階（ｄ）から（ｇ）をタングステンの層と炭化タングステンを含有する層が交互に形成されるように数回繰り返す、
段階を包含する方法。
７１． ２−１５０ｋＰａの反応槽圧力下、４００−９００℃の基質温度で、水素に対する炭素含有ガスの比率を０．２−１．７にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０２−０．１２にして実施することを特徴とする上記７０記載の方法。
７２． 鉄、炭素鋼、ステンレス鋼、鋳鉄、チタン合金およびチタンを含有する硬質合金（超硬合金）を包含する群から選択される材料または前記材料から作られた品目に被膜を付着させるに先立ってそれらにフッ化水素に化学的耐性を示す材料、即ちニッケル、コバルト、銅、銀、金、白金、イリジウム、タンタル、モリブデンまたはそれらの合金、化合物または混合物で構成させた被膜を水溶液を用いた電気化学もしくは化学的沈着、溶融物の電気分解または物理的もしくは化学的蒸着で付着させておくことを特徴とする上記７０記載の方法。
７３． 前記被膜を摩擦アセンブリ上に位置させることを特徴とする上記７０から７２のいずれか記載の方法。
７４． 前記被膜を材料の加工で用いられる成形用工具上にプレス加工で位置させることを特徴とする上記７０から７２のいずれか記載の方法。
７５． 前記被膜を圧縮気体もしくは液体または他の空気系もしくは油圧系で作動する機械または機構の装置の上に位置させることを特徴とする上記７０から７２のいずれか記載の方法。
７６． 建設用材料であって、タングステンの層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している炭化タングステンを含有する層が交互に存在することで構成された多積層被膜と基質を含んで成る建設用材料。
７７． 前記炭化タングステンが一炭化タングステンＷＣである上記７６記載の材料。
７８． 前記炭化タングステンが半炭化タングステンＷ2Ｃである上記７６記載の材料。
７９． 前記炭化タングステンがサブ炭化タングステンＷ3Ｃである上記７６記載の材料。
８０． 前記炭化タングステンがサブ炭化タングステンＷ12Ｃである上記７６記載の材料。
８１． 建設用材料であって、タングステンの層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含有する層が交互に存在することで構成された多積層被膜と基質を含んで成る建設用材料。
８２． 前記炭化物層が炭化タングステンＷＣとＷ2Ｃの混合物を含有する上記８１記載の材料。
８３． 前記炭化物層が炭化タングステンＷ3ＣとＷ2Ｃの混合物を含有する上記８１記載の材料。
８４． 前記炭化物層が炭化タングステンＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する上記８１記載の材料。
８５． 前記炭化物層が炭化タングステンＷ2ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する上記８１記載の材料。
８６． 前記炭化物層が炭化タングステンＷ2ＣとＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する上記８１記載の材料。
８７． 前記炭化物層が追加的にタングステンも含有することを特徴とする上記７６から８６のいずれか記載の材料。
８８． 前記炭化物層が追加的に炭素も含有することを特徴とする上記７６から８６のいずれか記載の材料。
８９． 前記層の厚みが２から１０μｍの範囲でありそして前記交互に存在する層の厚みの比率が１：１から１：５の範囲であることを特徴とする上記７６から８８のいずれか記載の材料。
９０． 建設用材料であって、上記７０から７２記載の方法のいずれかを用いて得られた建設用材料。
本発明の好適な実施態様は次のとおりである。
１． 耐摩耗性で耐侵食性で耐腐食性の被膜用材料であって、０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成している炭化タングステンで構成されている材料。
２． ０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成している一炭化タングステンＷＣである上記１記載の材料。
３． ０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成している半炭化タングステンＷ2Ｃである上記１記載の材料。
４． ０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成しているサブ炭化タングステンＷ3Ｃである上記１記載の材料。
５． ０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素と一緒に合金を形成しているサブ炭化タングステンＷ12Ｃである上記１記載の材料。
６． 炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物を追加的に含有する上記１記載の材料。
７． 耐摩耗性で耐侵食性で耐腐食性の被膜用材料であって、０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含んで成る材料。
８． 被膜であって、
− ある基質の上に位置するタングステンで構成される内側層、および
− 前記内側層の上に位置していて上記１−６記載の炭化タングステンを含有する外側層、
を含有することを特徴とする被膜。
９． 前記外側層が追加的に上記７記載の炭化タングステンの混合物も含有することを特徴とする上記６記載の被膜。
１０． 前記外側層が追加的にタングステンも含有することを特徴とする上記８または９記載の被膜。
１１． 前記外側層が追加的に炭素も含有することを特徴とする上記８または９記載の被膜。
１２． 前記内側層が０．５−３００μｍの厚みを有しそして前記外側層が０．５−３００μｍの厚みを有していて前記内側層の厚みと前記外側層の厚みの比率が１：１から１：６００の範囲であることを特徴とする上記８から１１のいずれか記載の被膜。
１３． 六フッ化タングステン、水素、炭素含有ガスおよび場合により不活性ガスを含有する気体混合物を用いて加熱基質に化学蒸着させることで炭化タングステンを生じさせる方法であって、前記炭素含有ガスを前以て５００−８５０℃の温度に加熱してそれに熱による活性化を受けさせておくことを特徴とする方法。
１４． 前記炭素含有ガスがプロパンであることを特徴とする上記１３記載の方法。
１５． ２−１５０ｋＰａの圧力下、４００−９００℃の基質温度で、水素に対する炭素含有ガスの比率を０．２−１．７にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０２−０．１２にして実施することを特徴とする上記１３または１４記載の方法。
１６． 水素に対する炭素含有ガスの比率を１．０−１．５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．１０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て７５０−８５０℃の温度に加熱しておき、この場合、一炭化タングステンＷＣを得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
１７． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７５−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０６−０．０８にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７５０℃の温度に加熱しておき、この場合、半炭化タングステンＷ2Ｃを得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
１８． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５−０．０５５にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５６０−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、サブ炭化タングステンＷ3Ｃを得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
１９． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．３５−０．４５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４０−０．０４５にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、サブ炭化タングステンＷ12Ｃを得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２０． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．９０−１．００にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０７−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６７０−７９０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物ＷＣとＷ2Ｃの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２１． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．７５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５８０−７３０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ3Ｃの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２２． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５７０−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ12Ｃの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２３． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．４５−０．６０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０５０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５５０−６８０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3ＣとＷ12Ｃの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２４． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６５−０．７０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５７０−７１０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２５． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物ＷＣとタングステンの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２６． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2Ｃとタングステンの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２７． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５５−０．０７０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５６０−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3Ｃとタングステンの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２８． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．２０−０．３５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０７０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−６８０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ12Ｃとタングステンの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
２９． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．３５−０．６０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５−０．０７にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−６８０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3ＣとＷ12Ｃとタングステンの混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
３０． 水素に対する炭素含有ガスの比率を１．５０−１．７０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．１０−０．１２にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て７５０−８５０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物ＷＣと炭素の混合物を得ることを特徴とする上記１５記載の方法。
３１． タングステンの内側層とサブ炭化タングステンＷ12Ｃを含有する外側層で構成される被膜を基質、好適には建設用材料またはそれらから作られた品目の上に位置させる方法であって、下記の段階：
（ａ）前記基質を化学蒸着反応槽に入れ、
（ｂ）前記反応槽に減圧排気を受けさせ、
（ｃ）前記基質を加熱し、
（ｄ）六フッ化タングステンと水素を前記反応槽に供給し、
（ｅ）前記基質を前記気体状媒体中にタングステン層が前記基質上に生じるに必要な時間保持し、
（ｆ）前記六フッ化タングステンと水素に加えて、前以て熱による活性化を受けさせておいた炭素含有ガスを前記反応槽に供給し、
（ｇ）前記基質を段階（ｆ）で生じさせた気体状媒体中に炭化タングステン、それらの互いの混合物、それとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する外側層が生じるに必要な時間保持する、
段階を包含することを特徴とする方法。
３２． ２−１５０ｋＰａの反応槽圧力下、４００−９００℃の基質温度で、水素に対する炭素含有ガスの比率を０．２−１．７にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０２−０．１２にして実施することを特徴とする上記３１記載の方法。
３３． 鉄、炭素鋼、ステンレス鋼、鋳鉄、チタン合金およびチタンを含有する硬質合金（超硬合金）を包含する群から選択される材料または前記材料から作られた品目に被膜を付着させるに先立ってそれらにフッ化水素に化学的耐性を示す材料、即ちニッケル、コバルト、銅、銀、金、白金、イリジウム、タンタル、モリブデンまたはそれらの合金、化合物または混合物で構成させた被膜を水溶液を用いた電気化学もしくは化学的沈着、溶融物の電気分解または物理的もしくは化学的蒸着で付着させておくことを特徴とする上記３１記載の方法。
３４． 水素に対する炭素含有ガスの比率を１．００−１．５０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．１０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て７５０−８５０℃の温度に加熱しておき、この場合、一炭化タングステンＷＣを含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
３５． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７５−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０６−０．０８にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７５０℃の温度に加熱しておき、この場合、半炭化タングステンＷ2Ｃを含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
３６． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５０−０．０５５にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５６０−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、サブ炭化タングステンＷ3Ｃを含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
３７． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．３５−０．４０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４０−０．０４５にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、サブ炭化タングステンＷ12Ｃを含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
３８． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．９０−１．００にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０７−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６７０−７９０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物ＷＣとＷ2Ｃの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
３９． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．７５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５８０−７３０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ3Ｃの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４０． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６５−０．７０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５７０−７１０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４１． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０６０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５７０−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４２． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．４０−０．６０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０５０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５５０−６８０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４３． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ2Ｃとタングステンの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４４． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．６０−０．６５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５５−０．０７０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５６０−７００℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3Ｃとタングステンの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４５． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．３５−０．６０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０５０−０．０７０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−６９０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ3ＣとＷ12Ｃとタングステンの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４６． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．２０−０．３５にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０４５−０．０７０にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て５００−６８０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物Ｗ12Ｃとタングステンの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４７． 水素に対する炭素含有ガスの比率を０．７０−０．９０にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０８−０．０９にして実施しそして前記炭素含有ガスを前以て６００−７２０℃の温度に加熱しておき、この場合、炭化物ＷＣとタングステンの混合物を含有する外側層を得ることを特徴とする上記３２記載の方法。
４８． 前記被膜を摩擦アセンブリ上に位置させることを特徴とする上記３１から４７のいずれか記載の方法。
４９． 前記被膜を材料の加工で用いられる成形用工具上にプレス加工で位置させることを特徴とする上記３１から４７のいずれか記載の方法。
５０． 前記被膜を圧縮気体もしくは液体または他の空気系もしくは油圧系で作動する機械または機構の構成要素または装置の上に位置させることを特徴とする上記３１から４７のいずれか記載の方法。
５１． 材料であって、
− 建設用材料で作られた基質、
− 前記基質上に位置していて内側のタングステン層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している炭化タングステンを含有する外側層で構成されている被膜、
を含んで成る材料。
５２． 前記炭化タングステンが一炭化タングステンＷＣである上記５１記載の材料。
５３． 前記炭化タングステンが半炭化タングステンＷ2Ｃである上記５１記載の材料。
５４． 前記炭化タングステンがサブ炭化タングステンＷ3Ｃである上記５１記載の材料。
５５． 前記炭化タングステンがサブ炭化タングステンＷ12Ｃである上記５１記載の材料。
５６． 材料であって、
− 建設用材料で作られた基質、および
− 前記基質上に位置していて内側のタングステン層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含有する外側層で構成されている被膜、
を含んで成る材料。
５７． 前記被膜の外側層が炭化タングステンＷＣとＷ12Ｃの混合物を含有することを特徴とする上記５６記載の材料。
５８． 前記被膜の外側層が炭化タングステンＷ3ＣとＷ2Ｃの混合物を含有することを特徴とする上記５６記載の材料。
５９． 前記被膜の外側層が炭化タングステンＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有することを特徴とする上記５６記載の材料。
６０． 前記被膜の外側層が炭化タングステンＷ2ＣとＷ12Ｃの混合物を含有することを特徴とする上記５６記載の材料。
６１． 前記被膜の外側層が炭化タングステンＷ2ＣとＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有することを特徴とする上記５６記載の材料。
６２． 前記被膜の外側層が追加的にタングステンも含有することを特徴とする上記５２−６１記載の材料。
６３． 前記被膜の外側層が追加的に炭素も含有することを特徴とする上記５２−６１記載の材料。
６４． 前記被膜の内側層が０．５−３００μｍの厚みを有していて前記内側層の厚みと前記外側層の厚みの比率が１：１から１：６００の範囲であることを特徴とする上記５２から６３記載の材料。
６５． 前記被膜に隣接して位置する前記基質層がニッケル含有量が２５重量％を越える合金、例えばＩｎｖａｒ、Ｎｉｃｈｒｏｍｅ、Ｍｏｎｅｌを含有することを特徴とする上記５２から６４記載の材料。
６６． 上記３１から４７のいずれか記載の方法で得られる材料。
６７． 多積層被膜であって、タングステンの層と上記１から６のいずれか記載の炭化タングステンを含有する層が交互に位置することで作られた多積層被膜。
６８． 多積層被膜であって、タングステンの層と上記７記載の炭化タングステンを含有する層が交互に位置することで作られた多積層被膜。
６９． 前記個々の層の厚みが２から１０μｍの範囲でありそして前記交互に位置する層の厚みの比率が１：１から１：５の範囲であることを特徴とする上記６７−６８記載の多積層被膜。
７０． タングステンの層と炭化タングステンもしくは炭化タングステンの互いの混合物またはそれとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する層を交互に位置させることで構成させた多積層被膜を基質、好適には建設用材料またはそれらから作られた品目の上に位置させる方法であって、下記の段階：
（ａ）前記基質を化学蒸着反応槽に入れ、
（ｂ）前記反応槽に減圧排気を受けさせ、
（ｃ）前記基質を加熱し、
（ｄ）六フッ化タングステンと水素を前記反応槽に供給し、
（ｅ）前記基質を前記気体状媒体中にタングステン層が前記基質上に生じるに必要な時間保持し、
（ｆ）前記六フッ化タングステンと水素に加えて、前以て熱による活性化を受けさせておいた炭素含有ガスを前記反応槽に供給し、
（ｇ）前記基質を段階（ｆ）で生じさせた気体状媒体中に炭化タングステンもしくは炭化タングステンの互いの混合物またはそれとタングステンの混合物またはそれと遊離炭素の混合物を含有する外側層が生じるに必要な時間保持し、
段階（ｄ）から（ｇ）をタングステンの層と炭化タングステンを含有する層が交互に形成されるように数回繰り返す、
段階を包含する方法。
７１． ２−１５０ｋＰａの反応槽圧力下、４００−９００℃の基質温度で、水素に対する炭素含有ガスの比率を０．２−１．７にしかつ水素に対する六フッ化タングステンの比率を０．０２−０．１２にして実施することを特徴とする上記７０記載の方法。
７２． 鉄、炭素鋼、ステンレス鋼、鋳鉄、チタン合金およびチタンを含有する硬質合金（超硬合金）を包含する群から選択される材料または前記材料から作られた品目に被膜を付着させるに先立ってそれらにフッ化水素に化学的耐性を示す材料、即ちニッケル、コバルト、銅、銀、金、白金、イリジウム、タンタル、モリブデンまたはそれらの合金、化合物または混合物で構成させた被膜を水溶液を用いた電気化学もしくは化学的沈着、溶融物の電気分解または物理的もしくは化学的蒸着で付着させておくことを特徴とする上記７０記載の方法。
７３． 前記被膜を摩擦アセンブリ上に位置させることを特徴とする上記７０から７２のいずれか記載の方法。
７４． 前記被膜を材料の加工で用いられる成形用工具上にプレス加工で位置させることを特徴とする上記７０から７２のいずれか記載の方法。
７５． 前記被膜を圧縮気体もしくは液体または他の空気系もしくは油圧系で作動する機械または機構の装置の上に位置させることを特徴とする上記７０から７２のいずれか記載の方法。
７６． 建設用材料であって、タングステンの層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を形成している炭化タングステンを含有する層が交互に存在することで構成された多積層被膜と基質を含んで成る建設用材料。
７７． 前記炭化タングステンが一炭化タングステンＷＣである上記７６記載の材料。
７８． 前記炭化タングステンが半炭化タングステンＷ2Ｃである上記７６記載の材料。
７９． 前記炭化タングステンがサブ炭化タングステンＷ3Ｃである上記７６記載の材料。
８０． 前記炭化タングステンがサブ炭化タングステンＷ12Ｃである上記７６記載の材料。
８１． 建設用材料であって、タングステンの層と０．０００５から０．５重量％の範囲の量のフッ素および場合により炭素含有量が１５重量％以下でフッ素含有量が０．５重量％以下のフルオロカーボン組成物と一緒に合金を成している少なくとも２種類の炭化タングステンの混合物を含有する層が交互に存在することで構成された多積層被膜と基質を含んで成る建設用材料。
８２． 前記炭化物層が炭化タングステンＷＣとＷ2Ｃの混合物を含有する上記８１記載の材料。
８３． 前記炭化物層が炭化タングステンＷ3ＣとＷ2Ｃの混合物を含有する上記８１記載の材料。
８４． 前記炭化物層が炭化タングステンＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する上記８１記載の材料。
８５． 前記炭化物層が炭化タングステンＷ2ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する上記８１記載の材料。
８６． 前記炭化物層が炭化タングステンＷ2ＣとＷ3ＣとＷ12Ｃの混合物を含有する上記８１記載の材料。
８７． 前記炭化物層が追加的にタングステンも含有することを特徴とする上記７６から８６のいずれか記載の材料。
８８． 前記炭化物層が追加的に炭素も含有することを特徴とする上記７６から８６のいずれか記載の材料。
８９． 前記層の厚みが２から１０μｍの範囲でありそして前記交互に存在する層の厚みの比率が１：１から１：５の範囲であることを特徴とする上記７６から８８のいずれか記載の材料。
９０． 建設用材料であって、上記７０から７２記載の方法のいずれかを用いて得られた建設用材料。
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