JP2002155118A - 高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 - Google Patents
高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法Info
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Abstract
位を有する高分子化合物。 【化1】 (式中、R1〜R3は水素原子、フッ素原子、又は炭素数
1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又
はフッ素化されたアルキル基であり、各単位中のR1〜
R3は互いに同一でも異なっていてもよい。R4は少なく
とも一つ以上のフッ素原子を含む、炭素数1〜20のフ
ッ素化された1価炭化水素基である。R5、R6はそれぞ
れ酸不安定基、密着性基であり、0<k+m+n≦1で
ある。) 【効果】 本発明のレジスト材料は、高エネルギー線に
感応し、200nm以下、特に170nm以下の波長に
おける感度が優れているうえに、エステル側鎖へのフッ
素の導入により透明性が著しく向上し、それと同時に優
れた解像性を有する。
Description
に微細加工技術に適した化学増幅レジスト材料のベース
ポリマーとして有用な高分子化合物並びにこれを含むレ
ジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法に関す
る。
LSIの高集積化と高速度化に伴い、パターンルールの
微細化が求められている。微細化が急速に進歩した背景
には投影レンズの高NA化、レジストの性能向上、短波
長化が挙げられる。レジストの高解像度化及び高感度化
に関しては、光照射によって発生する酸を触媒とした化
学増幅ポジ型レジスト材料は優れた性能を有するもので
あり、遠紫外線リソグラフィーにおいて特に主流なレジ
スト材料になった(特公平2−27660号、特開昭6
3−27829号公報等に記載)。また、i線(365
nm)からKrF(248nm)への短波長化は大きな
変革をもたらし、KrFエキシマレーザー用レジスト材
料は0.30ミクロンプロセスに始まり、0.25ミク
ロンルールを経て、現在0.18ミクロンルールの量産
化への適用へと展開している。更には、0.15ミクロ
ンルールの検討も始まっており、微細化の勢いはますま
す加速されている。
ルの微細化を0.13μm以下にすることが期待されて
いるが、ノボラックやポリビニルフェノール系などの従
来用いられていた樹脂が193nm付近に非常に強い吸
収を持つため、レジスト用のベース樹脂として用いるこ
とができない。そこで透明性と必要なドライエッチング
耐性の確保のため、アクリル系樹脂やシクロオレフィン
系などの脂環族系の樹脂が検討された(特開平9−73
173号、特開平10−10739号、特開平9−23
0595号公報、WO97/33198)。
m以下の微細化が期待されているが、透明性の確保がま
すます困難になり、ArF用ベースポリマーであるアク
リル樹脂では全く光を透過せず、シクロオレフィン系に
おいてもカルボニル結合を有するものは強い吸収を持つ
ことがわかった。また、KrF用ベースポリマーのポリ
ビニルフェノールについては、160nm付近に吸収の
ウィンドウがあり、若干透過率が向上するものの、実用
的なレベルにはほど遠いことが判明した。
り、300nm以下、特にF2(157nm)、Kr
2(146nm)、KrAr(134nm)、Ar2(1
26nm)などの真空紫外光における透過率に優れた化
学増幅レジスト材料のベースポリマーとして有用な新規
高分子化合物並びにこれを含むレジスト材料及びこれを
用いたパターン形成方法を提供することを目的にする。
発明者は上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結
果、エステル側鎖中にフッ素化アルキル基を含むアクリ
ル酸エステル樹脂をベースポリマーとして用いることに
より、高い透明性を確保したレジスト材料が得られるこ
と知見し、本発明に至ったものである。
増幅レジスト材料及びパターン形成方法を提供する。 請求項1:下記一般式(1)で示される繰り返し単位を
有する高分子化合物。
1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又
はフッ素化されたアルキル基であり、各単位中のR1〜
R3は互いに同一でも異なっていてもよい。R4は少なく
とも一つ以上のフッ素原子を含む、炭素数1〜20のフ
ッ素化された1価炭化水素基である。R5、R6はそれぞ
れ酸不安定基、密着性基であり、0<k+m+n≦1で
ある。) 請求項2:上記一般式(1)において、R4〜R6を含む
単位のうち少なくとも一つが脂環式構造を有することを
特徴とする請求項1記載の高分子化合物。 請求項3:上記一般式(1)において、R5が少なくと
も一つの脂環式構造を有することを特徴とする請求項2
記載の高分子化合物。 請求項4:上記一般式(1)において、R1がメチル基
又はトリフルオロメチル基であることを特徴とする請求
項1、2又は3記載の高分子化合物。 請求項5:上記一般式(1)において、R4中のフッ素
原子数が3〜9個であることを特徴とする請求項1乃至
4のいずれか1項記載の高分子化合物。 請求項6:請求項1乃至5のいずれか1項記載の高分子
化合物を含むことを特徴とするレジスト材料。 請求項7:(A)請求項1乃至5のいずれか1項記載の
高分子化合物、(B)有機溶剤、(C)酸発生剤を含有
することを特徴とする化学増幅ポジ型レジスト材料。 請求項8:更に塩基性化合物を含有する請求項7記載の
レジスト材料。 請求項9:更に溶解阻止剤を含有する請求項7又は8記
載のレジスト材料。 請求項10:(1)請求項6乃至9のいずれか1項に記
載のレジスト材料を基板上に塗布する工程と、(2)次
いで加熱処理後、フォトマスクを介して波長110〜1
80nm帯又は1〜30nm帯の高エネルギー線で露光
する工程と、(3)必要に応じて加熱処理した後、現像
液を用いて現像する工程とを含むことを特徴とするパタ
ーン形成方法。 請求項11:前記高エネルギー線がF2エキシマレーザ
ー、Ar2エキシマレーザー、又は軟X線であることを
特徴とする請求項10記載のパターン形成方法。
る方法としては、カルボニル基や炭素−炭素間二重結合
の数の低減化も一つの方法と考えられるが、ベースポリ
マー中へのフッ素原子の導入も透過率向上に大きく寄与
することがわかってきた。実際、ポリビニルフェノール
の芳香環にフッ素を導入したポリマーは実用的に近い透
過率を得ることができた。しかしながら、このベースポ
リマーはF2レーザーのような高エネルギー光の照射に
よりネガ化が進行することが顕著になり、レジストとし
ての実用化は難しいことが判明した。これに対し、アク
リル系樹脂やノルボルネン誘導体由来の脂肪族環状化合
物を主鎖に含有する高分子化合物にフッ素を導入したポ
リマーは、吸収が低く抑えられるうえにネガ化の問題も
解決できることがわかった。特に、本発明のように、エ
ステル側鎖にフッ素を導入すると、157nm付近での
透過率が著しく向上することが判明したものである。
る。本発明にかかわる高分子化合物は、下記一般式
(1)で示される繰り返し構造を有するものである。
1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又
はフッ素化されたアルキル基であり、各単位中のR1〜
R3は互いに同一でも異なっていてもよい。R4は少なく
とも一つ以上のフッ素原子を含む、炭素数1〜20のフ
ッ素化された1価炭化水素基である。R5、R6はそれぞ
れ酸不安定基、密着性基であり、0<k+m+n≦1で
ある。)
状、分岐状もしくは環状のアルキル基としては、メチル
基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−プロ
ピル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、シク
ロペンチル基、シクロヘキシル基、2−エチルへキシル
基、n−オクチル基などが例示でき、特に炭素数1〜1
2、とりわけ炭素数1〜10のものが好ましい。フッ素
化されたアルキル基としては、上記アルキル基の水素原
子の一部又は全部がフッ素原子で置換されたものであ
り、例えばトリフルオロメチル基、2,2,2−トリフ
ルオロエチル基、3,3,3−トリフルオロプロピル
基、1,1,2,2,3,3,3−ヘプタフルオロプロ
ピル基などが挙げられる。この場合、R1としては、特
にメチル基又はトリフルオロメチル基であることが好ま
しい。
0のフッ素置換1価炭化水素基であり、直鎖状、分岐状
もしくは環状のアルキル基(このアルキル基としては上
記と同様のものが例示される)、フェニル基、トリル
基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基、ベンジル
基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基等のアラル
キル基などの非置換の1価炭化水素基の水素原子の一部
又は全部をフッ素原子で置換した基が挙げられ、具体的
には下記のものを例示できる。
ものが好ましい。
て説明する。酸不安定基については種々選定されるが、
特に下記式(2)〜(4)で示される基等であることが
好ましい。
もしくは環状のアルキル基等の1価炭化水素基であり、
R8、R9は水素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分
岐状もしくは環状のアルキル基である。R11〜R13は、
炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキ
ル基等の1価炭化水素基であり、一部の水素原子がフッ
素原子で置換されていてもよい。R7〜R13は、酸素、
硫黄、窒素、フッ素などのヘテロ原子を含んでもよい。
R8とR9、R8とR10、R9とR10、R11とR12、R11と
R13、R12とR13はそれぞれ結合して環を形成してもよ
い。aは0〜10の整数である。)
(2)において、R7は炭素数4〜20、好ましくは4
〜15の三級アルキル基を示し、式(2)の具体例とし
ては、tert−ブトキシカルボニル基、tert−ブ
トキシカルボニルメチル基、tert−アミロキシカル
ボニル基、tert−アミロキシカルボニルメチル基、
1,1−ジエチルプロピルオキシカルボニル基、1,1
−ジエチルプロピルオキシカルボニルメチル基、1−エ
チルシクロペンチルオキシカルボニル基、1−エチルシ
クロペンチルオキシカルボニルメチル基、1−エチル−
2−シクロペンテニルオキシカルボニル基、1−エチル
−2−シクロペンテニルオキシカルボニルメチル基、1
−エトキシエトキシカルボニルメチル基、2−テトラヒ
ドロピラニルオキシカルボニルメチル基、2−テトラヒ
ドロフラニルオキシカルボニルメチル基等が例示でき
る。
は炭素数1〜18、好ましくは1〜10の直鎖状、分岐
状もしくは環状のアルキル基を示し、具体的にはメチル
基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−
ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、シ
クロペンチル基、シクロヘキシル基、2−エチルシクロ
ヘキシル基、n−オクチル基等を例示できる。R10は炭
素数1〜20、好ましくは1〜10の酸素原子などのヘ
テロ原子を含んでもよい1価炭化水素基を示し、直鎖
状、分岐状、環状のアルキル基、これらの水素原子の一
部が水酸基、アルコキシ基、オキソ基、アミノ基、アル
キルアミノ基などに置換されたものを挙げることができ
る。式(3)で示される置換基の具体例としては、環状
のものとしては、テトラヒドロフラン−2−イル基、2
−メチルテトラヒドロフラン−2−イル基、テトラヒド
ロピラン−2−イル基、2−メチルテトラヒドロピラン
−2−イル基、直鎖状又は分岐状のものとしては具体的
に下記の基が例示できる。このうち、エトキシエチル
基、ブトキシエチル基、エトキシプロピル基が好まし
い。
は、tert−ブチル基、トリエチルカルビル基、1−
エチルノルボルニル基、1−メチルシクロヘキシル基、
1−エチルシクロペンチル基、2−(2−メチル)アダ
マンチル基、2−(2−エチル)アダマンチル基、te
rt−アミル基、1,1,1,3,3,3−ヘキサフル
オロ−2−メチル−イソプロピル基、1,1,1,3,
3,3−ヘキサフルオロ−2−シクロヘキシル−イソプ
ロピル基等を挙げることができる他、下記に示す式
(5)〜(20)のものを具体的に挙げることができ
る。
岐状又は環状のアルキル基を示し、具体的にはメチル
基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチ
ル基、sec−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシ
ル基、シクロプロピル基、シクロプロピルメチル基、シ
クロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等
を例示できる。R15は炭素数2〜6の直鎖状、分岐状又
は環状のアルキル基を示し、具体的にはエチル基、プロ
ピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチ
ル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、シクロプロピ
ル基、シクロプロピルメチル基、シクロブチル基、シク
ロペンチル基、シクロヘキシル基等を例示できる。
テロ原子を含んでもよい1価炭化水素基、又は炭素数1
〜6のヘテロ原子を介してもよい1価炭化水素基を示
す。ヘテロ原子としては、酸素原子、硫黄原子、窒素原
子を挙げることができ、−OH、−OR(Rはアルキル
基、以下同じ)、−O−、−S−、−S(=O)−、−
NH2、−NHR、−NR2、−NH−、−NR−として
含有又は介在することができる。R16、R17としては、
水素原子、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、アルコ
キシ基、アルコキシアルキル基などを挙げることがで
き、これらは直鎖状、分岐状、環状のいずれでもよい。
具体的には、メチル基、ヒドロキシメチル基、エチル
基、ヒドロキシエチル基、プロピル基、イソプロピル
基、n−ブチル基、sec−ブチル基、n−ペンチル
基、n−ヘキシル基、メトキシ基、メトキシメトキシ
基、エトキシ基、tert−ブトキシ基等を例示でき
る。
説明する。密着性基については種々選定されるが、下記
置換基(21)〜(49)が挙げられる。
R6を含む単位(ユニット)のうち少なくとも一つが脂
環式構造を有することが好ましく、特にR5が少なくと
も一つの脂環式構造を有することが好ましい。
1であり、好ましくはk+m+n=1である。k、m、
nは好ましくはそれぞれ正数で、kは0.05〜0.
7、より好ましくは0.1〜0.6、mは0.1〜0.
7、より好ましくは0.1〜0.5、nは0.01〜
0.5であることが好ましい。
単位を含んでもよく、この単位とk、m、nとの合計を
1とすることができる。
000〜1,000,000、特に2,000〜10
0,000とすることが望ましい。
記式(1)の各単位を与えるモノマー類と溶媒を混合
し、触媒を添加して、場合によっては加熱又は冷却しな
がら重合反応を行う。重合反応は開始剤(又は触媒)の
種類、開始の方法(光、熱、放射線、プラズマなど)、
重合条件(温度、圧力、濃度、溶媒、添加物)などによ
っても支配される。本発明の高分子化合物の重合におい
ては、AIBNなどのラジカルによって重合が開始され
るラジカル重合、アルキルリチウムなどの触媒を用いた
イオン重合(アニオン重合)などが一般的である。
るものではないが、例として2,2’−アゾビス(4−
メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,
2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、
2,2−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾ
ビス(2,4,4−トリメチルペンタン)などのアゾ系
化合物、t−ブチルパーオキシピバレート、ラウロイル
パーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチ
ルパーオキシラウレートなどの過酸化物系化合物、また
水溶性開始剤としては過硫酸カリウムのような過硫酸
塩、過酸化水素或いはこれらと亜硫酸水素ナトリウム、
チオ硫酸ナトリウムのような還元剤との組み合わせから
なるレドックス、更にはこれらに少量の鉄、第一鉄塩、
硝酸銀等を共存させた系等の無機系開始剤、又はジコハ
ク酸パーオキサイド、ジグルタル酸パーオキシド、モノ
コハク酸パーオキシドのような二塩基酸化合物、アゾビ
スイソブチルアミジン二塩基酸塩等の有機系開始剤が例
示される。重合開始剤の使用量は、種類、重合反応条件
等に応じて適宜変更可能であるが、通常は重合させるべ
き単量体全量に対して0.001〜5重量%、特に0.
01〜1重量%が採用される。
いてもよい。重合溶媒としては、重合反応を阻害しない
ものが好ましく、代表的なものとしては、酢酸エチル、
酢酸n−ブチルなどのエステル系、アセトン、メチルエ
チルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン系、
トルエン、キシレン、シクロヘキサンなどの脂肪族又は
芳香族炭化水素系、イソプロピルアルコール、エチレン
グリコールモノメチルエーテルなどのアルコール系、ジ
エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフランなど
のエーテル系溶剤が使用できる。これらの溶剤は単独で
も或いは2種類以上を混合しても使用できる。
知の分子量調整剤を併用してもよい。重合反応の反応温
度は重合開始剤の種類或いは溶媒の沸点により適宜変更
され、通常は20〜200℃が好ましく、特に50〜1
40℃が好ましい。かかる重合反応に用いる反応容器は
特に限定されない。
合体の溶液又は分散液から、媒質である有機溶媒又は水
を除去する方法としては、公知の方法のいずれも利用で
きるが、例を挙げれば再沈澱濾過又は減圧下での加熱留
出等の方法がある。
特に化学増幅型、とりわけ化学増幅ポジ型レジスト材料
のベース樹脂として使用することができる。
膜の力学物性、熱的物性、アルカリ可溶性、その他の物
性を変える目的で他の高分子化合物を混合することがで
きる。その際、混合できる高分子化合物の範囲は特に限
定されないが、レジスト用の公知の高分子化合物等と任
意の範囲で混合することができる。
化合物をベース樹脂とする以外は、公知の成分を用いて
調製し得るが、特に化学増幅ポジ型レジスト材料は、
(A)上記高分子化合物(ベース樹脂)、(B)有機溶
剤、(C)酸発生剤を含有する。この場合、これらレジ
スト材料に、更に(D)塩基性化合物、(E)溶解阻止
剤を配合してもよい。
有機溶剤としては、ベース樹脂、酸発生剤、その他の添
加剤等が溶解可能な有機溶剤であればいずれでもよい。
このような有機溶剤としては、例えばシクロヘキサノ
ン、メチル−2−n−アミルケトン等のケトン類、3−
メトキシブタノール、3−メチル−3−メトキシブタノ
ール、1−メトキシ−2−プロパノール、1−エトキシ
−2−プロパノール等のアルコール類、プロピレングリ
コールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメ
チルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレ
ングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコール
ジメチルエーテル等のエーテル類、プロピレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテート、乳酸エチル、ピルビ
ン酸エチル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メ
チル、3−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸tert
−ブチル、プロピオン酸tert−ブチル、プロピレン
グリコールモノtert−ブチルエーテルアセテート等
のエステル類、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香
族類が挙げられる。
とができる。具体的に例示すると、2−フルオロアニソ
ール、3−フルオロアニソール、4−フルオロアニソー
ル、2,3−ジフルオロアニソール、2,4−ジフルオ
ロアニソール、2,5−ジフルオロアニソール、5,8
−ジフルオロ−1,4−ベンゾジオキサン、2,3−ジ
フルオロベンジルアルコール、1,3−ジフルオロ−2
−プロパノール、1,1,1,3,3,3−ヘキサフル
オロイソプロピルアルコール、2’,4’−ジフルオロ
プロピオフェノン、2,4−ジフルオロトルエン、トリ
フルオロアセトアルデヒドエチルヘミアセタール、トリ
フルオロアセトアミド、トリフルオロエタノール、2,
2,2−トリフルオロエチルブチレート、エチルヘプタ
フルオロブチレート、エチルヘプタフルオロブチルアセ
テート、エチルヘキサフルオログルタリルメチル、エチ
ル−3−ヒドロキシ−4,4,4−トリフルオロブチレ
ート、エチル−2−メチル−4,4,4−トリフルオロ
アセトアセテート、エチルペンタフルオロベンゾエー
ト、エチルペンタフルオロプロピオネート、エチルペン
タフルオロプロピニルアセテート、エチルパーフルオロ
オクタノエート、エチル−4,4,4−トリフルオロア
セトアセテート、エチル−4,4,4−トリフルオロブ
チレート、エチル−4,4,4−トリフルオロクロトネ
ート、エチルトリフルオロスルホネート、エチル−3−
(トリフルオロメチル)ブチレート、エチルトリフルオ
ロピルベート、S−エチルトリフルオロアセテート、フ
ルオロシクロヘキサン、2,2,3,3,4,4,4−
ヘプタフルオロ−1−ブタノール、1,1,1,2,
2,3,3−ヘプタフルオロ−7,7−ジメチル−4,
6−オクタンジオン、1,1,1,3,5,5,5−ヘ
プタフルオロペンタン−2,4−ジオン、3,3,4,
4,5,5,5−ヘプタフルオロ−2−ペンタノール、
3,3,4,4,5,5,5−ヘプタフルオロ−2−ペ
ンタノン、イソプロピル−4,4,4−トリフルオロア
セトアセテート、メチルパーフルオロデナノエート、メ
チルパーフルオロ(2−メチル−3−オキサヘキサノエ
ート)、メチルパーフルオロノナノエート、メチルパー
フルオロオクタノエート、メチル−2,3,3,3−テ
トラフルオロプロピオネート、メチルトリフルオロアセ
トアセテート、メチルトリフルオロアセトアセテート、
1,1,1,2,2,6,6,6−オクタフルオロ−
2,4−ヘキサンジオン、2,2,3,3,4,4,
5,5−オクタフルオロ−1−ペンタノール、1H,1
H,2H,2H−パーフルオロ−1−デカノール、パー
フルオロ(2,5−ジメチル−3,6−ジオキサンアニ
オニック)酸メチルエステル、2H−パーフルオロ−5
−メチル−3,6−ジオキサノナン、1H,1H,2
H,3H,3H−パーフルオロノナン−1,2−ジオー
ル、1H,1H,9H−パーフルオロ−1−ノナノー
ル、1H,1H−パーフルオロオクタノール、1H,1
H,2H,2H−パーフルオロオクタノール、2H−パ
ーフルオロ−5,8,11,14−テトラメチル−3,
6,9,12,15−ペンタオキサオクタデカン、パー
フルオロトリブチルアミン、パーフルオロトリヘキシル
アミン、パーフルオロ−2,5,8−トリメチル−3,
6,9−トリオキサドデカン酸メチルエステル、パーフ
ルオロトリペンチルアミン、パーフルオロトリプロピル
アミン、1H,1H,2H,3H,3H−パーフルオロ
ウンデカン−1,2−ジオール、トルフルオロブタノー
ル1,1,1−トリフルオロ−5−メチル−2,4−ヘ
キサンジオン、1,1,1−トリフルオロ−2−プロパ
ノール、3,3,3−トリフルオロ−1−プロパノー
ル、1,1,1−トリフルオロ−2−プロピルアセテー
ト、パーフルオロブチルテトラヒドロフラン、パーフル
オロ(ブチルテトラヒドロフラン)、パーフルオロデカ
リン、パーフルオロ(1,2−ジメチルシクロヘキサ
ン)、パーフルオロ(1,3−ジメチルシクロヘキサ
ン)、プロピレングリコールトリフルオロメチルエーテ
ルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルト
リフルオロメチルアセテート、トリフルオロメチル酢酸
ブチル、3−トリフルオロメトキシプロピオン酸メチ
ル、パーフルオロシクロヘキサノン、プロピレングリコ
ールトリフルオロメチルエーテル、トリフルオロ酢酸ブ
チル、1,1,1−トリフルオロ−5,5−ジメチル−
2,4−ヘキサンジオンなどが挙げられる。
を混合して使用することもできるが、これらに限定され
るものではない。本発明では、これらの有機溶剤の中で
もレジスト成分中の酸発生剤の溶解性が最も優れている
ジエチレングリコールジメチルエーテルや1−エトキシ
−2−プロパノールの他、安全溶剤であるプロピレング
リコールモノメチルエーテルアセテート及びその混合溶
剤が好ましく使用される。
得るが、通常、全ベース樹脂100重量部に対し300
〜10,000重量部、特に400〜5,000重量部
とすることができる。
式(50)のオニウム塩、式(51)のジアゾメタン誘
導体、式(52)のグリオキシム誘導体、β−ケトスル
ホン酸誘導体、ジスルホン誘導体、ニトロベンジルスル
ホネート誘導体、スルホン酸エステル誘導体、イミドイ
ルスルホネート誘導体等が挙げられる。
分岐状又は環状のアルキル基、炭素数6〜20のアリー
ル基、又は炭素数7〜12のアラルキル基を示し、M+
はヨードニウム、スルホニウムを表し、K-は非求核性
対向イオンを表し、nは2又は3である。)
チル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、2−オキ
ソシクロペンチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基
等が挙げられる。アリール基としては、フェニル基、p
−メトキシフェニル基、m−メトキシフェニル基、o−
メトキシフェニル基、エトキシフェニル基、p−ter
t−ブトキシフェニル基、m−tert−ブトキシフェ
ニル基等のアルコキシフェニル基、2−メチルフェニル
基、3−メチルフェニル基、4−メチルフェニル基、エ
チルフェニル基、4−tert−ブチルフェニル基、4
−ブチルフェニル基、ジメチルフェニル基等のアルキル
フェニル基等が挙げられる。アラルキル基としてはベン
ジル基、フェネチル基等が挙げられる。K-の非求核性
対向イオンとしては塩化物イオン、臭化物イオン等のハ
ライドイオン、トリフレート、1,1,1−トリフルオ
ロエタンスルホネート、ノナフルオロブタンスルホネー
ト等のフルオロアルキルスルホネート、トシレート、ベ
ンゼンスルホネート、4−フルオロベンゼンスルホネー
ト、1,2,3,4,5−ペンタフルオロベンゼンスル
ホネート等のアリールスルホネート、メシレート、ブタ
ンスルホネート等のアルキルスルホネートが挙げられ
る。
又は環状のアルキル基又はハロゲン化アルキル基、炭素
数6〜12のアリール基又はハロゲン化アリール基又は
炭素数7〜12のアラルキル基を示す。)
基、エチル基、プロピル基、ブチル基、アミル基、シク
ロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、ア
ダマンチル基等が挙げられる。ハロゲン化アルキル基と
してはトリフルオロメチル基、1,1,1−トリフルオ
ロエチル基、1,1,1−トリクロロエチル基、ノナフ
ルオロブチル基等が挙げられる。アリール基としてはフ
ェニル基、p−メトキシフェニル基、m−メトキシフェ
ニル基、o−メトキシフェニル基、エトキシフェニル
基、p−tert−ブトキシフェニル基、m−tert
−ブトキシフェニル基等のアルコキシフェニル基、2−
メチルフェニル基、3−メチルフェニル基、4−メチル
フェニル基、エチルフェニル基、4−tert−ブチル
フェニル基、4−ブチルフェニル基、ジメチルフェニル
基等のアルキルフェニル基が挙げられる。ハロゲン化ア
リール基としてはフルオロフェニル基、クロロフェニル
基、1,2,3,4,5−ペンタフルオロフェニル基等
が挙げられる。アラルキル基としてはベンジル基、フェ
ネチル基等が挙げられる。
鎖状、分岐状又は環状のアルキル基又はハロゲン化アル
キル基、炭素数6〜12のアリール基又はハロゲン化ア
リール基、又は炭素数7〜12のアラルキル基を示す。
R22、R23は互いに結合して環状構造を形成してもよ
く、環状構造を形成する場合、R22、R23はそれぞれ炭
素数1〜6の直鎖状、分岐状のアルキレン基を示す。)
化アルキル基、アリール基、ハロゲン化アリール基、ア
ラルキル基としては、R19、R20で説明したものと同様
の基が挙げられる。なお、R22、R23のアルキレン基と
してはメチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレ
ン基、ヘキシレン基等が挙げられる。
ルオロメタンスルホン酸ジフェニルヨードニウム、トリ
フルオロメタンスルホン酸(p−tert−ブトキシフ
ェニル)フェニルヨードニウム、p−トルエンスルホン
酸ジフェニルヨードニウム、p−トルエンスルホン酸
(p−tert−ブトキシフェニル)フェニルヨードニ
ウム、トリフルオロメタンスルホン酸トリフェニルスル
ホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸(p−ter
t−ブトキシフェニル)ジフェニルスルホニウム、トリ
フルオロメタンスルホン酸ビス(p−tert−ブトキ
シフェニル)フェニルスルホニウム、トリフルオロメタ
ンスルホン酸トリス(p−tert−ブトキシフェニ
ル)スルホニウム、p−トルエンスルホン酸トリフェニ
ルスルホニウム、p−トルエンスルホン酸(p−ter
t−ブトキシフェニル)ジフェニルスルホニウム、p−
トルエンスルホン酸ビス(p−tert−ブトキシフェ
ニル)フェニルスルホニウム、p−トルエンスルホン酸
トリス(p−tert−ブトキシフェニル)スルホニウ
ム、ノナフルオロブタンスルホン酸トリフェニルスルホ
ニウム、ブタンスルホン酸トリフェニルスルホニウム、
トリフルオロメタンスルホン酸トリメチルスルホニウ
ム、p−トルエンスルホン酸トリメチルスルホニウム、
トリフルオロメタンスルホン酸シクロヘキシルメチル
(2−オキソシクロヘキシル)スルホニウム、p−トル
エンスルホン酸シクロヘキシルメチル(2−オキソシク
ロヘキシル)スルホニウム、トリフルオロメタンスルホ
ン酸ジメチルフェニルスルホニウム、p−トルエンスル
ホン酸ジメチルフェニルスルホニウム、トリフルオロメ
タンスルホン酸ジシクロヘキシルフェニルスルホニウ
ム、p−トルエンスルホン酸ジシクロヘキシルフェニル
スルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸トリナフ
チルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸シク
ロヘキシルメチル(2−オキソシクロヘキシル)スルホ
ニウム、トリフルオロメタンスルホン酸(2−ノルボニ
ル)メチル(2−オキソシクロヘキシル)スルホニウ
ム、エチレンビス[メチル(2−オキソシクロペンチ
ル)スルホニウムトリフルオロメタンスルホナート]、
1,2’−ナフチルカルボニルメチルテトラヒドロチオ
フェニウムトリフレート等のオニウム塩、ビス(ベンゼ
ンスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−トルエンスル
ホニル)ジアゾメタン、ビス(キシレンスルホニル)ジ
アゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾ
メタン、ビス(シクロペンチルスルホニル)ジアゾメタ
ン、ビス(n−ブチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス
(イソブチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(sec
−ブチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(n−プロピ
ルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(イソプロピルスル
ホニル)ジアゾメタン、ビス(tert−ブチルスルホ
ニル)ジアゾメタン、ビス(n−アミルスルホニル)ジ
アゾメタン、ビス(イソアミルスルホニル)ジアゾメタ
ン、ビス(sec−アミルスルホニル)ジアゾメタン、
ビス(tert−アミルスルホニル)ジアゾメタン、1
−シクロヘキシルスルホニル−1−(tert−ブチル
スルホニル)ジアゾメタン、1−シクロヘキシルスルホ
ニル−1−(tert−アミルスルホニル)ジアゾメタ
ン、1−tert−アミルスルホニル−1−(tert
−ブチルスルホニル)ジアゾメタン等のジアゾメタン誘
導体、ビス−O−(p−トルエンスルホニル)−α−ジ
メチルグリオキシム、ビス−O−(p−トルエンスルホ
ニル)−α−ジフェニルグリオキシム、ビス−O−(p
−トルエンスルホニル)−α−ジシクロヘキシルグリオ
キシム、ビス−O−(p−トルエンスルホニル)−2,
3−ペンタンジオングリオキシム、ビス−O−(p−ト
ルエンスルホニル)−2−メチル−3,4−ペンタンジ
オングリオキシム、ビス−O−(n−ブタンスルホニ
ル)−α−ジメチルグリオキシム、ビス−O−(n−ブ
タンスルホニル)−α−ジフェニルグリオキシム、ビス
−O−(n−ブタンスルホニル)−α−ジシクロヘキシ
ルグリオキシム、ビス−O−(n−ブタンスルホニル)
−2,3−ペンタンジオングリオキシム、ビス−O−
(n−ブタンスルホニル)−2−メチル−3,4−ペン
タンジオングリオキシム、ビス−O−(メタンスルホニ
ル)−α−ジメチルグリオキシム、ビス−O−(トリフ
ルオロメタンスルホニル)−α−ジメチルグリオキシ
ム、ビス−O−(1,1,1−トリフルオロエタンスル
ホニル)−α−ジメチルグリオキシム、ビス−O−(t
ert−ブタンスルホニル)−α−ジメチルグリオキシ
ム、ビス−O−(パーフルオロオクタンスルホニル)−
α−ジメチルグリオキシム、ビス−O−(シクロヘキサ
ンスルホニル)−α−ジメチルグリオキシム、ビス−O
−(ベンゼンスルホニル)−α−ジメチルグリオキシ
ム、ビス−O−(p−フルオロベンゼンスルホニル)−
α−ジメチルグリオキシム、ビス−O−(p−tert
−ブチルベンゼンスルホニル)−α−ジメチルグリオキ
シム、ビス−O−(キシレンスルホニル)−α−ジメチ
ルグリオキシム、ビス−O−(カンファースルホニル)
−α−ジメチルグリオキシム等のグリオキシム誘導体、
2−シクロヘキシルカルボニル−2−(p−トルエンス
ルホニル)プロパン、2−イソプロピルカルボニル−2
−(p−トルエンスルホニル)プロパン等のβ−ケトス
ルホン誘導体、ジフェニルジスルホン、ジシクロヘキシ
ルジスルホン等のジスルホン誘導体、p−トルエンスル
ホン酸2,6−ジニトロベンジル、p−トルエンスルホ
ン酸2,4−ジニトロベンジル等のニトロベンジルスル
ホネート誘導体、1,2,3−トリス(メタンスルホニ
ルオキシ)ベンゼン、1,2,3−トリス(トリフルオ
ロメタンスルホニルオキシ)ベンゼン、1,2,3−ト
リス(p−トルエンスルホニルオキシ)ベンゼン等のス
ルホン酸エステル誘導体、フタルイミド−イル−トリフ
レート、フタルイミド−イル−トシレート、5−ノルボ
ルネン−2,3−ジカルボキシイミド−イル−トリフレ
ート、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボキシイミド
−イル−トシレート、5−ノルボルネン−2,3−ジカ
ルボキシイミド−イル−n−ブチルスルホネート等のイ
ミド−イルスルホネート誘導体などが挙げられるが、ト
リフルオロメタンスルホン酸トリフェニルスルホニウ
ム、トリフルオロメタンスルホン酸(p−tert−ブ
トキシフェニル)ジフェニルスルホニウム、トリフルオ
ロメタンスルホン酸トリス(p−tert−ブトキシフ
ェニル)スルホニウム、p−トルエンスルホン酸トリフ
ェニルスルホニウム、p−トルエンスルホン酸(p−t
ert−ブトキシフェニル)ジフェニルスルホニウム、
p−トルエンスルホン酸トリス(p−tert−ブトキ
シフェニル)スルホニウム、トリフルオロメタンスルホ
ン酸トリナフチルスルホニウム、トリフルオロメタンス
ルホン酸シクロヘキシルメチル(2−オキソシクロヘキ
シル)スルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸
(2−ノルボニル)メチル(2−オキソシクロヘキシ
ル)スルホニウム、1,2’−ナフチルカルボニルメチ
ルテトラヒドロチオフェニウムトリフレート等のオニウ
ム塩、ビス(ベンゼンスルホニル)ジアゾメタン、ビス
(p−トルエンスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シク
ロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(n−ブチ
ルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(イソブチルスルホ
ニル)ジアゾメタン、ビス(sec−ブチルスルホニ
ル)ジアゾメタン、ビス(n−プロピルスルホニル)ジ
アゾメタン、ビス(イソプロピルスルホニル)ジアゾメ
タン、ビス(tert−ブチルスルホニル)ジアゾメタ
ン等のジアゾメタン誘導体、ビス−O−(p−トルエン
スルホニル)−α−ジメチルグリオキシム、ビス−O−
(n−ブタンスルホニル)−α−ジメチルグリオキシム
等のグリオキシム誘導体が好ましく用いられる。なお、
上記酸発生剤は1種を単独で又は2種以上を組み合わせ
て用いることができる。オニウム塩は矩形性向上効果に
優れ、ジアゾメタン誘導体及びグリオキシム誘導体は定
在波低減効果に優れるため、両者を組み合わせることに
よりプロファイルの微調整を行うことが可能である。
(重量部、以下同様)に対して0.2〜15部が好まし
く、0.2部より少ないと露光時の酸発生量が少なく、
感度及び解像性が悪い場合があり、15部より多いと透
明性が低くなり解像性が低下する場合がある。
り発生する酸がレジスト膜中に拡散する際の拡散速度を
抑制することができる化合物が適している。このような
塩基性化合物の配合により、レジスト膜中での酸の拡散
速度が抑制されて解像度が向上し、露光後の感度変化を
抑制したり、基板や環境依存性を少なくし、露光余裕度
やパターンプロファイル等を向上することができる(特
開平5−232706号、同5−249683号、同5
−158239号、同5−249662号、同5−25
7282号、同5−289322号、同5−28934
0号公報等記載)。
級、第二級、第三級の脂肪族アミン類、混成アミン類、
芳香族アミン類、複素環アミン類、カルボキシ基を有す
る含窒素化合物、スルホニル基を有する含窒素化合物、
水酸基を有する含窒素化合物、ヒドロキシフェニル基を
有する含窒素化合物、アルコール性含窒素化合物、アミ
ド誘導体、イミド誘導体等が挙げられる。
て、アンモニア、メチルアミン、エチルアミン、n−プ
ロピルアミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミ
ン、イソブチルアミン、sec−ブチルアミン、ter
t−ブチルアミン、ペンチルアミン、tert−アミル
アミン、シクロペンチルアミン、ヘキシルアミン、シク
ロヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、
ノニルアミン、デシルアミン、ドデシルアミン、セチル
アミン、メチレンジアミン、エチレンジアミン、テトラ
エチレンペンタミン等が例示され、第二級の脂肪族アミ
ン類として、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジ−n
−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ−n−ブ
チルアミン、ジイソブチルアミン、ジ−sec−ブチル
アミン、ジペンチルアミン、ジシクロペンチルアミン、
ジヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン、ジヘプチ
ルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシ
ルアミン、ジドデシルアミン、ジセチルアミン、N,N
−ジメチルメチレンジアミン、N,N−ジメチルエチレ
ンジアミン、N,N−ジメチルテトラエチレンペンタミ
ン等が例示され、第三級の脂肪族アミン類として、トリ
メチルアミン、トリエチルアミン、トリ−n−プロピル
アミン、トリイソプロピルアミン、トリ−n−ブチルア
ミン、トリイソブチルアミン、トリ−sec−ブチルア
ミン、トリペンチルアミン、トリシクロペンチルアミ
ン、トリヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミン、
トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニル
アミン、トリデシルアミン、トリドデシルアミン、トリ
セチルアミン、N,N,N’,N’−テトラメチルメチ
レンジアミン、N,N,N’,N’−テトラメチルエチ
レンジアミン、N,N,N’,N’−テトラメチルテト
ラエチレンペンタミン等が例示される。
チルエチルアミン、メチルエチルプロピルアミン、ベン
ジルアミン、フェネチルアミン、ベンジルジメチルアミ
ン等が例示される。芳香族アミン類及び複素環アミン類
の具体例としては、アニリン誘導体(例えばアニリン、
N−メチルアニリン、N−エチルアニリン、N−プロピ
ルアニリン、N,N−ジメチルアニリン、2−メチルア
ニリン、3−メチルアニリン、4−メチルアニリン、エ
チルアニリン、プロピルアニリン、トリメチルアニリ
ン、2−ニトロアニリン、3−ニトロアニリン、4−ニ
トロアニリン、2、4−ジニトロアニリン、2,6−ジ
ニトロアニリン、3,5−ジニトロアニリン、N,N−
ジメチルトルイジン等)、ジフェニル(p−トリル)ア
ミン、メチルジフェニルアミン、トリフェニルアミン、
フェニレンジアミン、ナフチルアミン、ジアミノナフタ
レン、ピロール誘導体(例えばピロール、2H−ピロー
ル、1−メチルピロール、2、4−ジメチルピロール、
2,5−ジメチルピロール、N−メチルピロール等)、
オキサゾール誘導体(例えばオキサゾール、イソオキサ
ゾール等)、チアゾール誘導体(例えばチアゾール、イ
ソチアゾール等)、イミダゾール誘導体(例えばイミダ
ゾール、4−メチルイミダゾール、4−メチル−2−フ
ェニルイミダゾール等)、ピラゾール誘導体、フラザン
誘導体、ピロリン誘導体(例えばピロリン、2−メチル
−1−ピロリン等)、ピロリジン誘導体(例えばピロリ
ジン、N−メチルピロリジン、ピロリジノン、N−メチ
ルピロリドン等)、イミダゾリン誘導体、イミダゾリジ
ン誘導体、ピリジン誘導体(例えばピリジン、メチルピ
リジン、エチルピリジン、プロピルピリジン、ブチルピ
リジン、4−(1−ブチルペンチル)ピリジン、ジメチ
ルピリジン、トリメチルピリジン、トリエチルピリジ
ン、フェニルピリジン、3−メチル−2−フェニルピリ
ジン、4−tert−ブチルピリジン、ジフェニルピリ
ジン、ベンジルピリジン、メトキシピリジン、ブトキシ
ピリジン、ジメトキシピリジン、1−メチル−2−ピリ
ドン、4−ピロリジノピリジン、1−メチル−4−フェ
ニルピリジン、2−(1−エチルプロピル)ピリジン、
アミノピリジン、ジメチルアミノピリジン等)、ピリダ
ジン誘導体、ピリミジン誘導体、ピラジン誘導体、ピラ
ゾリン誘導体、ピラゾリジン誘導体、ピペリジン誘導
体、ピペラジン誘導体、モルホリン誘導体、インドール
誘導体、イソインドール誘導体、1H−インダゾール誘
導体、インドリン誘導体、キノリン誘導体(例えばキノ
リン、3−キノリンカルボニトリル等)、イソキノリン
誘導体、シンノリン誘導体、キナゾリン誘導体、キノキ
サリン誘導体、フタラジン誘導体、プリン誘導体、プテ
リジン誘導体、カルバゾール誘導体、フェナントリジン
誘導体、アクリジン誘導体、フェナジン誘導体、1,1
0−フェナントロリン誘導体、アデニン誘導体、アデノ
シン誘導体、グアニン誘導体、グアノシン誘導体、ウラ
シル誘導体、ウリジン誘導体等が例示される。
としては、例えばアミノ安息香酸、インドールカルボン
酸、アミノ酸誘導体(例えばニコチン酸、アラニン、ア
ルギニン、アスパラギン酸、グルタミン酸、グリシン、
ヒスチジン、イソロイシン、グリシルロイシン、ロイシ
ン、メチオニン、フェニルアラニン、スレオニン、リジ
ン、3−アミノピラジン−2−カルボン酸、メトキシア
ラニン等)等が例示され、スルホニル基を有する含窒素
化合物として3−ピリジンスルホン酸、p−トルエンス
ルホン酸ピリジニウム等が例示され、水酸基を有する含
窒素化合物、ヒドロキシフェニル基を有する含窒素化合
物、アルコール性含窒素化合物としては、2−ヒドロキ
シピリジン、アミノクレゾール、2、4−キノリンジオ
ール、3−インドールメタノールヒドレート、モノエタ
ノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールア
ミン、N−エチルジエタノールアミン、N,N−ジエチ
ルエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、
2,2’−イミノジエタノール、2−アミノエタノ−
ル、3−アミノ−1−プロパノール、4−アミノ−1−
ブタノール、4−(2−ヒドロキシエチル)モルホリ
ン、2−(2−ヒドロキシエチル)ピリジン、1−(2
−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1−[2−(2−ヒ
ドロキシエトキシ)エチル]ピペラジン、ピペリジンエ
タノール、1−(2−ヒドロキシエチル)ピロリジン、
1−(2−ヒドロキシエチル)−2−ピロリジノン、3
−ピペリジノ−1,2−プロパンジオール、3−ピロリ
ジノ−1,2−プロパンジオール、8−ヒドロキシユロ
リジン、3−クイヌクリジノール、3−トロパノール、
1−メチル−2−ピロリジンエタノール、1−アジリジ
ンエタノール、N−(2−ヒドロキシエチル)フタルイ
ミド、N−(2−ヒドロキシエチル)イソニコチンアミ
ド等が例示される。アミド誘導体としては、ホルムアミ
ド、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルム
アミド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、N,
N−ジメチルアセトアミド、プロピオンアミド、ベンズ
アミド等が例示される。イミド誘導体としては、フタル
イミド、サクシンイミド、マレイミド等が例示される。
示される塩基性化合物を配合することもできる。
して直鎖状、分岐鎖状又は環状の炭素数1〜20のアル
キレン基、R27、R28、R29、R32、R33は水素原子、
炭素数1〜20のアルキル基又はアミノ基を示し、R27
とR28、R27とR 29、R28とR29、R27とR28とR29、
R32とR33はそれぞれ結合して環を形成してもよい。
n、o、pはそれぞれ0〜20の整数である。但し、
n、o、p=0のとき、R24、R25、R26、R30、R31
は水素原子を含まない。)
アルキレン基としては、炭素数1〜20、好ましくは1
〜10、更に好ましくは1〜8のものであり、具体的に
は、メチレン基、エチレン基、n−プロピレン基、イソ
プロピレン基、n−ブチレン基、イソブチレン基、n−
ペンチレン基、イソペンチレン基、ヘキシレン基、ノニ
レン基、デシレン基、シクロペンチレン基、シクロへキ
シレン基等が挙げられる。
ルキル基としては、炭素数1〜20、好ましくは1〜
8、更に好ましくは1〜6のものであり、これらは直鎖
状、分岐状、環状のいずれであってもよい。具体的に
は、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピ
ル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル
基、n−ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、ノ
ニル基、デシル基、ドデシル基、トリデシル基、シクロ
ペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。更に、
R27とR28、R27とR29、R28とR29、R27とR28とR
29、R32とR33が環を形成する場合、その環の炭素数は
1〜20、より好ましくは1〜8、更に好ましくは1〜
6であり、またこれらの環は炭素数1〜6、特に1〜4
のアルキル基が分岐していてもよい。
り、より好ましくは1〜10、更に好ましくは1〜8の
整数である。
具体的には、トリス{2−(メトキシメトキシ)エチ
ル}アミン、トリス{2−(メトキシエトキシ)エチ
ル}アミン、トリス[2−{(2−メトキシエトキシ)
メトキシ}エチル]アミン、トリス{2−(2−メトキ
シエトキシ)エチル}アミン、トリス{2−(1−メト
キシエトキシ)エチル}アミン、トリス{2−(1−エ
トキシエトキシ)エチル}アミン、トリス{2−(1−
エトキシプロポキシ)エチル}アミン、トリス[2−
{(2−ヒドロキシエトキシ)エトキシ}エチル]アミ
ン、4,7,13,16,21,24−ヘキサオキサ−
1,10−ジアザビシクロ[8.8.8]ヘキサコサ
ン、4,7,13,18−テトラオキサ−1,10−ジ
アザビシクロ[8.5.5]エイコサン、1,4,1
0,13−テトラオキサ−7,16−ジアザビシクロオ
クタデカン、1−アザ−12−クラウン−4,1−アザ
−15−クラウン−5、1−アザ−18−クラウン−6
等が挙げられる。特に第三級アミン、アニリン誘導体、
ピロリジン誘導体、ピリジン誘導体、キノリン誘導体、
アミノ酸誘導体、水酸基を有する含窒素化合物、ヒドロ
キシフェニル基を有する含窒素化合物、アルコール性含
窒素化合物、アミド誘導体、イミド誘導体、トリス{2
−(メトキシメトキシ)エチル}アミン、トリス{2−
(2−メトキシエトキシ)エチル}アミン、トリス[2
−{(2−メトキシエトキシ)メチル}エチル]アミ
ン、1−アザ−15−クラウン−5等が好ましい。
は2種類以上を組み合わせて用いることができ、その配
合量は前記ベース樹脂100部に対して0.01〜2
部、特に0.01〜1部が好適である。配合量が0.0
1部未満であると添加剤としての効果が十分に得られな
い場合があり、2部を超えると解像度や感度が低下する
場合がある。
酸の作用によりアルカリ現像液への溶解性が変化する分
子量3,000以下の化合物、特に2,500以下の低
分子量フェノール或いはカルボン酸誘導体の一部或いは
全部を酸に不安定な置換基で置換した化合物を挙げるこ
とができる。酸不安定基としては本発明に挙げられるフ
ッ素を含むものであってもよいが、従来のフッ素を含ま
ないものでもよい。
カルボン酸誘導体としては、4,4’−(1−メチルエ
チリデン)ビスフェノール、[1,1’−ビフェニル−
4,4’−ジオール]2,2’−メチレンビス[4−メ
チルフェノール]、4,4−ビス(4’−ヒドロキシフ
ェニル)吉草酸、トリス(4−ヒドロキシフェニル)メ
タン、1,1,1−トリス(4’−ヒドロキシフェニ
ル)エタン、1,1,2−トリス(4’−ヒドロキシフ
ェニル)エタン、フェノールフタレイン、チモールフタ
レイン、3,3’ジフルオロ[(1,1’ビフェニル)
4,4’−ジオール]、3,3’,5,5’−テトラフ
ルオロ[(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジオー
ル]、4,4’−[2,2,2−トリフルオロ−1−
(トリフルオロメチル)エチリデン]ビスフェノール、
4,4’−メチレンビス[2−フルオロフェノール]、
2,2’−メチレンビス[4−フルオロフェノール]、
4,4’イソプロピリデンビス[2−フルオロフェノー
ル]、シクロヘキシリデンビス[2−フルオロフェノー
ル]、4,4’−[(4−フルオロフェニル)メチレ
ン]ビス[2−フルオロフェノール]、4,4’−メチ
レンビス[2,6−ジフルオロフェノール]、4,4’
−(4−フルオロフェニル)メチレンビス[2,6−ジ
フルオロフェノール]、2,6−ビス[(2−ヒドロキ
シ−5−フルオロフェニル)メチル]−4−フルオロフ
ェノール、2,6−ビス[(4−ヒドロキシ−3−フル
オロフェニル)メチル]−4−フルオロフェノール、
2、4−ビス[(3−ヒドロキシ−4−ヒドロキシフェ
ニル)メチル]−6−メチルフェノール等が挙げられ、
酸に不安定な置換基としては、式(2)〜(4)と同様
のものが挙げられる。
は、3,3’,5,5’−テトラフルオロ[(1,1’
−ビフェニル)−4,4’−ジ−t−ブトキシカルボニ
ル]、4,4’−[2,2,2−トリフルオロ−1−
(トリフルオロメチル)エチリデン]ビスフェノール−
4,4’−ジ−t−ブトキシカルボニル、ビス(4−
(2’−テトラヒドロピラニルオキシ)フェニル)メタ
ン、ビス(4−(2’−テトラヒドロフラニルオキシ)
フェニル)メタン、ビス(4−tert−ブトキシフェ
ニル)メタン、ビス(4−tert−ブトキシカルボニ
ルオキシフェニル)メタン、ビス(4−tert−ブト
キシカルボニルメチルオキシフェニル)メタン、ビス
(4−(1’−エトキシエトキシ)フェニル)メタン、
ビス(4−(1’−エトキシプロピルオキシ)フェニ
ル)メタン、2,2−ビス(4’−(2’’−テトラヒ
ドロピラニルオキシ))プロパン、2,2−ビス(4’
−(2’’−テトラヒドロフラニルオキシ)フェニル)
プロパン、2,2−ビス(4’−tert−ブトキシフ
ェニル)プロパン、2,2−ビス(4’−tert−ブ
トキシカルボニルオキシフェニル)プロパン、2,2−
ビス(4−tert−ブトキシカルボニルメチルオキシ
フェニル)プロパン、2,2−ビス(4’−(1’’−
エトキシエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス
(4’−(1’’−エトキシプロピルオキシ)フェニ
ル)プロパン、4,4−ビス(4’−(2’’−テトラ
ヒドロピラニルオキシ)フェニル)吉草酸tert−ブ
チル、4,4−ビス(4’−(2’’−テトラヒドロフ
ラニルオキシ)フェニル)吉草酸tert−ブチル、
4,4−ビス(4’−tert−ブトキシフェニル)吉
草酸tert−ブチル、4,4−ビス(4−tert−
ブトキシカルボニルオキシフェニル)吉草酸tert−
ブチル、4,4−ビス(4’−tert−ブトキシカル
ボニルメチルオキシフェニル)吉草酸tert−ブチ
ル、4,4−ビス(4’−(1’’−エトキシエトキ
シ)フェニル)吉草酸tert−ブチル、4,4−ビス
(4’−(1’’−エトキシプロピルオキシ)フェニ
ル)吉草酸tert−ブチル、トリス(4−(2’−テ
トラヒドロピラニルオキシ)フェニル)メタン、トリス
(4−(2’−テトラヒドロフラニルオキシ)フェニ
ル)メタン、トリス(4−tert−ブトキシフェニ
ル)メタン、トリス(4−tert−ブトキシカルボニ
ルオキシフェニル)メタン、トリス(4−tert−ブ
トキシカルボニルオキシメチルフェニル)メタン、トリ
ス(4−(1’−エトキシエトキシ)フェニル)メタ
ン、トリス(4−(1’−エトキシプロピルオキシ)フ
ェニル)メタン、1,1,2−トリス(4’−(2’’
−テトラヒドロピラニルオキシ)フェニル)エタン、
1,1,2−トリス(4’−(2’’−テトラヒドロフ
ラニルオキシ)フェニル)エタン、1,1,2−トリス
(4’−tert−ブトキシフェニル)エタン、1,
1,2−トリス(4’−tert−ブトキシカルボニル
オキシフェニル)エタン、1,1,2−トリス(4’−
tert−ブトキシカルボニルメチルオキシフェニル)
エタン、1,1,2−トリス(4’−(1’−エトキシ
エトキシ)フェニル)エタン、1,1,2−トリス
(4’−(1’−エトキシプロピルオキシ)フェニル)
エタン、2−トリフルオロメチルベンゼンカルボン酸−
t−ブチルエステル、2−トリフルオロメチルシクロヘ
キサンカルボン酸−t−ブチルエステル、デカヒドロナ
フタレン−2,6−ジカルボン酸−t−ブチルエステ
ル、コール酸−t−ブチルエステル、デオキシコール酸
−t−ブチルエステル、アダマンタンカルボン酸−t−
ブチルエステル、アダマンタン酢酸−t−ブチルエステ
ル、[1,1’−ビシクロヘキシル−3,3’,4,
4’−テトラカルボン酸テトラ−t−ブチルエステル]
等が挙げられる。
剤の添加量としては、レジスト材料中の固形分100部
に対して20部以下、好ましくは15部以下である。2
0部より多いとモノマー成分が増えるためレジスト材料
の耐熱性が低下する。
に任意成分として塗布性を向上させるために慣用されて
いる界面活性剤を添加することができる。なお、任意成
分の添加量は、本発明の効果を妨げない範囲で通常量と
することができる。
ものが好ましく、パーフルオロアルキルポリオキシエチ
レンエタノール、フッ素化アルキルエステル、パーフル
オロアルキルアミンオキサイド、パーフルオロアルキル
EO付加物、含フッ素オルガノシロキサン系化合物等が
挙げられる。例えばフロラード「FC−430」、「F
C−431」(いずれも住友スリーエム(株)製)、サ
ーフロン「S−141」、「S−145」(いずれも旭
硝子(株)製)、ユニダイン「DS−401」、「DS
−403」、「DS−451」(いずれもダイキン工業
(株)製)、メガファック「F−8151」(大日本イ
ンキ工業(株)製)、「X−70−092」、「X−7
0−093」(いずれも信越化学工業(株)製)等を挙
げることができる。好ましくはフロラード「FC−43
0」(住友スリーエム(株)製)、「X−70−09
3」(信越化学工業(株)製)が挙げられる。
を形成するには、公知のリソグラフィー技術を採用して
行うことができる。例えばシリコンウエハー等の基板上
にスピンコーティング等の手法で膜厚が0.1〜1.0
μmとなるように塗布し、これをホットプレート上で6
0〜200℃、10秒〜10分間、好ましくは80〜1
50℃、30秒〜5分間プリベークする。次いで目的の
パターンを形成するためのマスクを上記のレジスト膜上
にかざし、遠紫外線、エキシマレーザー、X線等の高エ
ネルギー線もしくは電子線を露光量1〜200mJ/c
m2程度、好ましくは10〜100mJ/cm2程度とな
るように照射した後、ホットプレート上で60〜150
℃、10秒〜5分間、好ましくは80〜130℃、30
秒〜3分間ポストエクスポージャベーク(PEB)す
る。更に、0.1〜5%、好ましくは2〜3%のテトラ
メチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)等のアル
カリ水溶液の現像液を用い、10秒〜3分間、好ましく
は30秒〜2分間、浸漬(dip)法、パドル(pud
dle)法、スプレー(spray)法等の常法により
現像することにより基板上に目的のパターンが形成され
る。なお、本発明材料は、特に高エネルギー線の中でも
120〜254nmの遠紫外線又はエキシマレーザー、
特に193nmのArF、157nmのF2、146n
mのKr2、134nmのKrAr、126nmのAr2
などのエキシマレーザー、X線及び電子線、とりわけ波
長110〜180nm帯又は1〜30nm帯の高エネル
ギー線による微細パターンニングに最適である。また、
上記範囲を上限及び下限から外れる場合は、目的のパタ
ーンを得ることができない場合がある。
線に感応し、200nm以下、特に170nm以下の波
長における感度が優れているうえに、エステル側鎖への
フッ素の導入により透明性が著しく向上し、それと同時
に優れた解像性を有することがわかった。従って本発明
のレジスト材料は、これらの特性により、特にF2エキ
シマレーザーなどの露光波長での吸収が小さいレジスト
材料となり得るもので、微細でしかも基板に対して垂直
なパターンを容易に形成でき、このため超LSI製造用
の微細パターン形成材料として好適である。
体的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるも
のではない。
トリフルオロエチル)、メタクリル酸(2−エチルアダ
マンチル)及び下記モノマー1の共重合(0.4/0.
4/0.2) 1Lのフラスコ中にメタクリル酸(2,2,2−トリフ
ルオロエチル)を6.2g、メタクリル酸(2−エチル
アダマンチル)を9.2g及び下記モノマー1を4.6
g投入し、それらをトルエン300mLに溶解させ、十
分に系中の酸素を除去した後、開始剤LPOを1.36
g仕込み、60℃まで昇温して24時間重合反応を行っ
た。
混合物をメタノールに注ぎ、得られた重合体を沈澱させ
た。更に得られたポリマーをテトラヒドロフランに溶か
し、メタノール10L中に注いでポリマーを沈澱させる
操作を二回繰り返した後、重合体を分離し、乾燥させ
た。このようにして得られた15.2gの白色重合体は
光散乱法により重量平均分子量が9,100であり、G
PC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.5の重
合体であることが確認できた。また、1H−NMRの測
定により、ポリマー中のメタクリル酸(2,2,2−ト
リフルオロエチル)、メタクリル酸(2−エチルアダマ
ンチル)、モノマー1の含有比が0.40:0.33:
0.27であることがわかった。
3,3,3−ヘキサフルオロイソプロピル)、メタクリ
ル酸(2−エチルアダマンチル)及びモノマー1の共重
合(0.4/0.3/0.3) 1Lのフラスコ中にメタクリル酸(1,1,1,3,
3,3−ヘキサフルオロイソプロピル)を8.3g、メ
タクリル酸(2−エチルアダマンチル)を8.7g及び
モノマー1を3.0g投入し、それらをトルエン300
mLに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開始
剤LPOを1.4g仕込み、60℃まで昇温して24時
間重合反応を行った。
混合物をメタノールに注ぎ、得られた重合体を沈澱させ
た。更に得られたポリマーをテトラヒドロフランに溶か
し、メタノール10L中に注いでポリマーを沈澱させる
操作を二回繰り返した後、重合体を分離し、乾燥させ
た。このようにして得られた13.2gの白色重合体は
光散乱法により重量平均分子量が13,000であり、
GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.4の
重合体であることが確認できた。また、1H−NMRの
測定により、ポリマー中のメタクリル酸(1,1,1,
3,3,3−ヘキサフルオロイソプロピル)、メタクリ
ル酸(2−エチルアダマンチル)、モノマー1の含有比
が0.41:0.20:0.39であることがわかっ
た。
トリフルオロエチル)、メタクリル酸(1−エチルシク
ロペンチル)及びモノマー1の共重合(0.4/0.4
/0.2) 1Lのフラスコ中にメタクリル酸(2,2,2−トリフ
ルオロエチル)を7.7g、メタクリル酸(1−エチル
シクロペンチル)を8.4g及びモノマー1を3.9g
投入し、それらをトルエン300mLに溶解させ、十分
に系中の酸素を除去した後、開始剤LPOを1.8g仕
込み、60℃まで昇温して24時間重合反応を行った。
混合物をメタノールに注ぎ、得られた重合体を沈澱させ
た。更に得られたポリマーをテトラヒドロフランに溶か
し、メタノール10L中に注いでポリマーを沈澱させる
操作を二回繰り返した後、重合体を分離し、乾燥させ
た。このようにして得られた13.9gの白色重合体は
光散乱法により重量平均分子量が11,000であり、
GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.5の
重合体であることが確認できた。また、1H−NMRの
測定により、ポリマー中のメタクリル酸(2,2,2−
トリフルオロエチル)、メタクリル酸(1−エチルシク
ロペンチル)、モノマー1の含有比が0.41:0.3
5:0.24であることがわかった。
3,3,3−ヘキサフルオロイソプロピル)、メタクリ
ル酸(1−エチルシクロペンチル)及びモノマー1の共
重合(0.4/0.3/0.3) 1Lのフラスコ中にメタクリル酸(1,1,1,3,
3,3−ヘキサフルオロイソプロピル)を9.5g、メ
タクリル酸(1−エチルシクロペンチル)を5.5g及
びモノマー1を5.0g投入し、それらをトルエン30
0mLに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開
始剤LPOを1.6g仕込み、60℃まで昇温して24
時間重合反応を行った。
混合物をメタノールに注ぎ、得られた重合体を沈澱させ
た。更に得られたポリマーをテトラヒドロフランに溶か
し、メタノール10L中に注いでポリマーを沈澱させる
操作を二回繰り返した後、重合体を分離し、乾燥させ
た。このようにして得られた14.2gの白色重合体は
光散乱法により重量平均分子量が12,000であり、
GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.5の
重合体であることが確認できた。また、1H−NMRの
測定により、ポリマー中のメタクリル酸(1,1,1,
3,3,3−ヘキサフルオロイソプロピル)、メタクリ
ル酸(1−エチルシクロペンチル)、モノマー1の含有
比が0.40:0.25:0.35であることがわかっ
た。
リル酸(2,2,2−トリフルオロエチル)、メタクリ
ル酸(2−エチルアダマンチル)及びモノマー1の共重
合(0.4/0.4/0.2) 1Lのフラスコ中にα−トリフルオロメチルアクリル酸
(2,2,2−トリフルオロエチル)を16.0g、メ
タクリル酸(2−エチルアダマンチル)を12.7g及
びモノマー1を3.1g投入し、それらをトルエン30
0mLに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開
始剤LPOを1.07g仕込み、60℃まで昇温して2
4時間重合反応を行った。
混合物をメタノールに注ぎ、得られた重合体を沈澱させ
た。更に得られたポリマーをテトラヒドロフランに溶か
し、メタノール10L中に注いでポリマーを沈殿させる
操作を二回繰り返した後、重合体を分離し、乾燥させ
た。このようにして得られた14.2gの白色重合体は
光散乱法により重量平均分子量が9,500であり、G
PC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.5の重
合体であることが確認できた。また、1H−NMRの測
定により、ポリマー中のα−トリフルオロメチルアクリ
ル酸(2,2,2−トリフルオロエチル)、メタクリル
酸(2−エチルアダマンチル)、モノマー1の含有比が
0.37:0.38:0.25であることがわかった。
トリフルオロエチル)、メタクリル酸(2−エチルアダ
マンチル)及びメタクリル酸(2−ヒドロキシエチル)
の共重合(0.4/0.4/0.2) 1Lのフラスコ中にメタクリル酸(2,2,2−トリフ
ルオロエチル)を7.0g、メタクリル酸(2−エチル
アダマンチル)を10.3g及びメタクリル酸(2−ヒ
ドロキシエチル)を2.7g投入し、それらをトルエン
300mLに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した
後、開始剤LPOを1.24g仕込み、60℃まで昇温
して24時間重合反応を行った。
混合物をメタノールに注ぎ、得られた重合体を沈澱させ
た。更に得られたポリマーをテトラヒドロフランに溶か
し、メタノール10L中に注いでポリマーを沈殿させる
操作を二回繰り返した後、重合体を分離し、乾燥させ
た。このようにして得られた13.5gの白色重合体は
光散乱法により重量平均分子量が10,500であり、
GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.6の
重合体であることが確認できた。また、1H−NMRの
測定により、ポリマー中のメタクリル酸(2,2,2−
トリフルオロエチル)、メタクリル酸(2−エチルアダ
マンチル)、メタクリル酸(2−ヒドロキシエチル)の
含有比が0.41:0.38:0.21であることがわ
かった。
トリフルオロエチル)、メタクリル酸(2−エチルアダ
マンチル)及び下記モノマー2の共重合(0.4/0.
4/0.2) 1Lのフラスコ中にメタクリル酸(2,2,2−トリフ
ルオロエチル)を6.4g、メタクリル酸(2−エチル
アダマンチル)を9.4g及び下記モノマー2を4.2
g投入し、それらをトルエン300mLに溶解させ、十
分に系中の酸素を除去した後、開始剤LPOを1.13
g仕込み、60℃まで昇温して24時間重合反応を行っ
た。
混合物をメタノールに注ぎ、得られた重合体を沈澱させ
た。更に得られたポリマーをテトラヒドロフランに溶か
し、メタノール10L中に注いでポリマーを沈殿させる
操作を二回繰り返した後、重合体を分離し、乾燥させ
た。このようにして得られた13.9gの白色重合体は
光散乱法により重量平均分子量が9,700であり、G
PC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.5の重
合体であることが確認できた。また、1H−NMRの測
定により、ポリマー中のメタクリル酸(2,2,2−ト
リフルオロエチル)、メタクリル酸(2−エチルアダマ
ンチル)、モノマー2の含有比が0.45:0.35:
0.20であることがわかった。
ルアダマンチル)及びモノマー1の共重合(0.5/
0.5) 1Lのフラスコ中にメタクリル酸(2−エチルアダマン
チル)を12.8g、モノマー1を7.2g投入し、そ
れらをトルエン300mLに溶解させ、十分に系中の酸
素を除去した後、開始剤LPOを1.5g仕込み、60
℃まで昇温して24時間重合反応を行った。
混合物をメタノールに注ぎ、得られた重合体を沈澱させ
た。更に得られたポリマーをテトラヒドロフランに溶か
し、メタノール10L中に注いでポリマーを沈澱させる
操作を二回繰り返した後、重合体を分離し、乾燥させ
た。このようにして得られた13.2gの白色重合体は
光散乱法により重量平均分子量が11,000であり、
GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.4の
重合体であることが確認できた。また、1H−NMRの
測定により、ポリマー中のメタクリル酸(2−エチルア
ダマンチル)、モノマー1の含有比が0.49:0.5
1であることがわかった。
ルエーテルアセテート10gに十分に溶解させ、0.2
μmのフィルターで濾過して、ポリマー溶液を調製し
た。ポリマー溶液をMgF2基板にスピンコーティング
し、ホットプレートを用いて100℃で90秒間ベーク
し、厚さ200nmのポリマー層をMgF2基板上に作
成した。真空紫外光度計(日本分光製、VUV200
S)を用いて248nm、193nm、157nmにお
ける透過率を測定した。測定結果を表1に示す。
で用いて常法によりレジスト液を調製し、得られたレジ
スト液をシリコンウェハーにDUV−30(Brewe
rScience社製)を80nmの膜厚で製膜した基
板上にスピンコーティングし、ホットプレートを用いて
100℃で90秒間ベークし、レジストの厚みを200
nmの厚さにした。これをF2エキシマレーザー(VU
VES−4500 リソテックジャパン社製)で露光量
を変化させながら露光し、露光後直ちに120℃で90
秒間ベークし、2.38%のテトラメチルアンモニウム
ヒドロキシドの水溶液で60秒間現像を行って、膜厚を
測定し、残膜特性から膜厚が0になる感度(Eth)、
γ値を求めた。実施例4と比較例1の感度曲線の比較を
図1と図2に示す。
アセテート
明の高分子化合物を用いたレジスト材料は、F2エキシ
マレーザー(157nm)付近の波長における十分な透
明性と、コントラストと感度を満たしていることがわか
った。
関係を示すグラフである。
係を示すグラフである。
Claims (11)
- 【請求項1】 下記一般式(1)で示される繰り返し単
位を有する高分子化合物。 【化1】 (式中、R1〜R3は水素原子、フッ素原子、又は炭素数
1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又
はフッ素化されたアルキル基であり、各単位中のR1〜
R3は互いに同一でも異なっていてもよい。R4は少なく
とも一つ以上のフッ素原子を含む、炭素数1〜20のフ
ッ素化された1価炭化水素基である。R5、R6はそれぞ
れ酸不安定基、密着性基であり、0<k+m+n≦1で
ある。) - 【請求項2】 上記一般式(1)において、R4〜R6を
含む単位のうち少なくとも一つが脂環式構造を有するこ
とを特徴とする請求項1記載の高分子化合物。 - 【請求項3】 上記一般式(1)において、R5が少な
くとも一つの脂環式構造を有することを特徴とする請求
項2記載の高分子化合物。 - 【請求項4】 上記一般式(1)において、R1がメチ
ル基又はトリフルオロメチル基であることを特徴とする
請求項1、2又は3記載の高分子化合物。 - 【請求項5】 上記一般式(1)において、R4中のフ
ッ素原子数が3〜9個であることを特徴とする請求項1
乃至4のいずれか1項記載の高分子化合物。 - 【請求項6】 請求項1乃至5のいずれか1項記載の高
分子化合物を含むことを特徴とするレジスト材料。 - 【請求項7】 (A)請求項1乃至5のいずれか1項記
載の高分子化合物、(B)有機溶剤、(C)酸発生剤を
含有することを特徴とする化学増幅ポジ型レジスト材
料。 - 【請求項8】 更に塩基性化合物を含有する請求項7記
載のレジスト材料。 - 【請求項9】 更に溶解阻止剤を含有する請求項7又は
8記載のレジスト材料。 - 【請求項10】 (1)請求項6乃至9のいずれか1項
に記載のレジスト材料を基板上に塗布する工程と、
(2)次いで加熱処理後、フォトマスクを介して波長1
10〜180nm帯又は1〜30nm帯の高エネルギー
線で露光する工程と、(3)必要に応じて加熱処理した
後、現像液を用いて現像する工程とを含むことを特徴と
するパターン形成方法。 - 【請求項11】 前記高エネルギー線がF2エキシマレ
ーザー、Ar2エキシマレーザー、又は軟X線であるこ
とを特徴とする請求項10記載のパターン形成方法。
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