JP2002113406A - 液体吐出装置および液体吐出方法 - Google Patents
液体吐出装置および液体吐出方法Info
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/22—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00 by means of valves
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2205/00—Fluid parameters
- F04B2205/03—Pressure in the compression chamber
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- Materials For Photolithography (AREA)
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液体貯留槽内の液面高さの変化による吐出量
への影響を無くし、液体吐出装置の吐出精度を向上する
ことにある。 【解決手段】 一定圧力を維持する基準液面を形成する
圧力調整用開口部１１により吐出動作前のポンプ室３内
の圧力は液体貯留槽６内の液位に影響されずに一定に保
たれるのでポンプ室３内の容積が一定となり精度の高い
液体の吐出が可能となる。
への影響を無くし、液体吐出装置の吐出精度を向上する
ことにある。 【解決手段】 一定圧力を維持する基準液面を形成する
圧力調整用開口部１１により吐出動作前のポンプ室３内
の圧力は液体貯留槽６内の液位に影響されずに一定に保
たれるのでポンプ室３内の容積が一定となり精度の高い
液体の吐出が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体を一定量吐出
するようにした液体吐出装置および液体吐出方法に関す
る。
するようにした液体吐出装置および液体吐出方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハ製造技術を始めとして、液
晶基板製造技術、磁気ディスク製造技術および多層配線
基盤製造技術などの種々の技術分野における製造プロセ
スにあっては、フォトレジスト液、スピニオンガラス
液、ポリイミド樹脂液、純水、エッチング液、有機溶剤
などの薬液が使用されており、これらの液体の塗布には
液体吐出装置が用いられている。
晶基板製造技術、磁気ディスク製造技術および多層配線
基盤製造技術などの種々の技術分野における製造プロセ
スにあっては、フォトレジスト液、スピニオンガラス
液、ポリイミド樹脂液、純水、エッチング液、有機溶剤
などの薬液が使用されており、これらの液体の塗布には
液体吐出装置が用いられている。
【０００３】たとえば、半導体ウエハの表面にフォトレ
ジスト液を塗布する場合には、半導体ウエハを水平面内
において回転させた状態のもとで、半導体ウエハの表面
にフォトレジスト液を液体吐出装置により一定量滴下す
るようにしている。フォトレジスト液の滴下量は、滴下
されたフォトレジスト液をベークすることで形成される
フォトレジスト膜の厚さに影響するため、正確な制御が
必要である。
ジスト液を塗布する場合には、半導体ウエハを水平面内
において回転させた状態のもとで、半導体ウエハの表面
にフォトレジスト液を液体吐出装置により一定量滴下す
るようにしている。フォトレジスト液の滴下量は、滴下
されたフォトレジスト液をベークすることで形成される
フォトレジスト膜の厚さに影響するため、正確な制御が
必要である。
【０００４】このような液体吐出装置には、液体の吸入
と吐出を行うポンプとして、ポンプ室を形成する弾性変
形自在のポンプ部材を有するものが多く用いられてい
る。
と吐出を行うポンプとして、ポンプ室を形成する弾性変
形自在のポンプ部材を有するものが多く用いられてい
る。
【０００５】弾性変形自在のポンプ部材としては、特開
平１０−４７２３４号公報や特開２０００−１５１６８
号公報に示されるように、蛇腹状のべローズを用いたも
の、特開平８−１７０７４４号公報に示されようにダイ
ヤフラムを用いたもの、さらに、特開平１１−２３００
４８号公報に示されるように、可撓性チューブを用いた
ものなどがある。ベローズなどのポンプ部材を有する液
体吐出装置にあっては、ポンプ部材によって膨張収縮す
るポンプ室が区画形成され、ポンプ室には液体貯留槽と
連通する流入流路と、吐出ノズルと連通する吐出流路と
が接続されている。流入流路と吐出流路とには、それぞ
れの流路を開閉する流入側弁と吐出側弁とが設けられて
いる。
平１０−４７２３４号公報や特開２０００−１５１６８
号公報に示されるように、蛇腹状のべローズを用いたも
の、特開平８−１７０７４４号公報に示されようにダイ
ヤフラムを用いたもの、さらに、特開平１１−２３００
４８号公報に示されるように、可撓性チューブを用いた
ものなどがある。ベローズなどのポンプ部材を有する液
体吐出装置にあっては、ポンプ部材によって膨張収縮す
るポンプ室が区画形成され、ポンプ室には液体貯留槽と
連通する流入流路と、吐出ノズルと連通する吐出流路と
が接続されている。流入流路と吐出流路とには、それぞ
れの流路を開閉する流入側弁と吐出側弁とが設けられて
いる。
【０００６】ベローズなどの弾性変形自在のポンプ部材
は、モータもしくは流体圧アクチュエータなどからなる
駆動部によって駆動され、ポンプ室内の容積が変化する
ようになっており、流入側弁を開き吐出側弁を閉じた状
態でべローズを収縮させ液体貯留槽からポンプ室内に液
体を吸入する吸入工程と、流入側弁を閉じ吐出側弁を開
いた状態でべローズを伸ばすことによりポンプ室から液
体が吐出する吐出工程とを行うことにより吐出ノズルか
ら液体が吐出される。
は、モータもしくは流体圧アクチュエータなどからなる
駆動部によって駆動され、ポンプ室内の容積が変化する
ようになっており、流入側弁を開き吐出側弁を閉じた状
態でべローズを収縮させ液体貯留槽からポンプ室内に液
体を吸入する吸入工程と、流入側弁を閉じ吐出側弁を開
いた状態でべローズを伸ばすことによりポンプ室から液
体が吐出する吐出工程とを行うことにより吐出ノズルか
ら液体が吐出される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】昨今、半導体ウエハ製
造技術を始めとして種々の技術分野における製造プロセ
スにあっては、製品の小型高精度化への対応や製品品質
の向上のため、液体吐出装置には高い吐出精度が要求さ
れている。
造技術を始めとして種々の技術分野における製造プロセ
スにあっては、製品の小型高精度化への対応や製品品質
の向上のため、液体吐出装置には高い吐出精度が要求さ
れている。
【０００８】液体吐出装置では、ポンプが液体を吸入す
る際のポンプ室には、吸入抵抗による負圧と、ポンプ室
と液体貯留槽の液面高さとの差による圧力とが加わって
いる。ポンプ室と液体貯留槽との液面高さの差による圧
力は、液体が消費されるにしたがい変化するので、ポン
プが液体を吸入する際のポンプ室内の圧力も液体が消費
されるにしたがい変化することになる。ポンプ室内の容
積は、ポンプ本体と弾性変形自在のポンプ部材とにより
構成されているため、ポンプ室内の圧力が変化すると弾
性変形自在のポンプ部材の変形量が変化し、結果、ポン
プ室内の容積も変化することになる。
る際のポンプ室には、吸入抵抗による負圧と、ポンプ室
と液体貯留槽の液面高さとの差による圧力とが加わって
いる。ポンプ室と液体貯留槽との液面高さの差による圧
力は、液体が消費されるにしたがい変化するので、ポン
プが液体を吸入する際のポンプ室内の圧力も液体が消費
されるにしたがい変化することになる。ポンプ室内の容
積は、ポンプ本体と弾性変形自在のポンプ部材とにより
構成されているため、ポンプ室内の圧力が変化すると弾
性変形自在のポンプ部材の変形量が変化し、結果、ポン
プ室内の容積も変化することになる。
【０００９】したがって、ポンプ室内に吸入される液体
の量も変化することになり、吐出する液体の量を一定と
することが困難になる。
の量も変化することになり、吐出する液体の量を一定と
することが困難になる。
【００１０】本発明の目的は、液体貯留槽内の液面高さ
の変化による吐出量への影響を無くし、液体吐出装置の
吐出精度を向上することにある。
の変化による吐出量への影響を無くし、液体吐出装置の
吐出精度を向上することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の液体吐出装置
は、弾性変形自在のポンプ部材が組み込まれ、前記ポン
プ部材により膨張収縮するポンプ室を有するポンプ本体
と、液体が収容された液体貯留槽と前記ポンプ室との間
に設けられ、前記ポンプ部材が吸入ストローク動作する
ときに開く流入側弁が設けられた流入流路と、圧力調整
用開口部と前記ポンプ室との間に設けられ、前記ポンプ
部材が廃棄ストローク吐出動作するときに開いて前記ポ
ンプ室内の圧力を一定に保持する圧力調整弁が設けられ
た圧力調整流路と、吐出ノズルと前記ポンプ室との間に
設けられ、前記ポンプ部材が吐出ストローク動作すると
きに開く吐出側弁が設けられた吐出流路とを有すること
を特徴とする。この液体吐出装置は、前記圧力調整用開
口部を前記液体貯留槽の液位より高い位置で大気に開放
して、前記圧力調整流路を介し前記ポンプ室内の圧力を
吸入ストローク動作終了時よりも高い圧力に設定しても
よい。
は、弾性変形自在のポンプ部材が組み込まれ、前記ポン
プ部材により膨張収縮するポンプ室を有するポンプ本体
と、液体が収容された液体貯留槽と前記ポンプ室との間
に設けられ、前記ポンプ部材が吸入ストローク動作する
ときに開く流入側弁が設けられた流入流路と、圧力調整
用開口部と前記ポンプ室との間に設けられ、前記ポンプ
部材が廃棄ストローク吐出動作するときに開いて前記ポ
ンプ室内の圧力を一定に保持する圧力調整弁が設けられ
た圧力調整流路と、吐出ノズルと前記ポンプ室との間に
設けられ、前記ポンプ部材が吐出ストローク動作すると
きに開く吐出側弁が設けられた吐出流路とを有すること
を特徴とする。この液体吐出装置は、前記圧力調整用開
口部を前記液体貯留槽の液位より高い位置で大気に開放
して、前記圧力調整流路を介し前記ポンプ室内の圧力を
吸入ストローク動作終了時よりも高い圧力に設定しても
よい。
【００１２】本発明の液体吐出装置は、弾性変形自在の
ポンプ部材が組み込まれ、前記ポンプ部材により膨張収
縮するポンプ室を有するポンプ本体と、液体が収容され
た液体貯留槽と前記ポンプ室との間に設けられ、前記ポ
ンプ部材が吸入ストローク動作するときに開く流入側弁
が設けられた流入流路と、圧力調整用開口部と前記ポン
プ室との間に設けられ、前記ポンプ部材の吸入ストロー
ク動作終了後に開いて前記ポンプ室内の圧力を吸入スト
ローク動作終了時よりも低い圧力に設定する圧力調整弁
が設けられた圧力調整流路と、吐出ノズルと前記ポンプ
室との間に設けられ、前記ポンプ部材が吐出ストローク
動作するときに開く吐出側弁が設けられた吐出流路とを
有することを特徴とする。この液体吐出装置は、前記圧
力調整用開口部を前記液体貯留槽の液位より低い位置で
大気に開放してもよい。
ポンプ部材が組み込まれ、前記ポンプ部材により膨張収
縮するポンプ室を有するポンプ本体と、液体が収容され
た液体貯留槽と前記ポンプ室との間に設けられ、前記ポ
ンプ部材が吸入ストローク動作するときに開く流入側弁
が設けられた流入流路と、圧力調整用開口部と前記ポン
プ室との間に設けられ、前記ポンプ部材の吸入ストロー
ク動作終了後に開いて前記ポンプ室内の圧力を吸入スト
ローク動作終了時よりも低い圧力に設定する圧力調整弁
が設けられた圧力調整流路と、吐出ノズルと前記ポンプ
室との間に設けられ、前記ポンプ部材が吐出ストローク
動作するときに開く吐出側弁が設けられた吐出流路とを
有することを特徴とする。この液体吐出装置は、前記圧
力調整用開口部を前記液体貯留槽の液位より低い位置で
大気に開放してもよい。
【００１３】この液体吐出装置は、前記圧力調整用開口
部を実質的に下向きに開放し、液体の表面張力による界
面を形成することにより基準液面を維持してもよい。
部を実質的に下向きに開放し、液体の表面張力による界
面を形成することにより基準液面を維持してもよい。
【００１４】この液体吐出装置は、前記圧力調整用開口
部を実質的に上向きに開放してもよい。
部を実質的に上向きに開放してもよい。
【００１５】本発明の液体吐出装置は、ポンプ本体内に
組み込まれてポンプ室を形成する弾性変形自在のポンプ
部材の吸入動作と吐出動作とにより液体貯留槽内の液体
を吐出ノズルに吐出する液体吐出方法であって、前記液
体貯留槽と前記ポンプ室とを接続する流入流路に設けら
れた流入側弁を開いた状態として前記ポンプ部材を吸入
ストローク動作する吸入工程と、圧力調整用開口部と前
記ポンプ室とを接続する圧力調整流路に設けられた圧力
調整弁を開いて前記ポンプ室を一定の圧力に保持した状
態で前記ポンプ部材を所定の廃棄ストローク吐出動作す
る廃棄工程と、前記吐出ノズルと前記ポンプ室とを接続
する吐出流路に設けられた吐出側弁を開いて前記ポンプ
部材を吐出ストローク動作する吐出工程とを有すること
を特徴とする。
組み込まれてポンプ室を形成する弾性変形自在のポンプ
部材の吸入動作と吐出動作とにより液体貯留槽内の液体
を吐出ノズルに吐出する液体吐出方法であって、前記液
体貯留槽と前記ポンプ室とを接続する流入流路に設けら
れた流入側弁を開いた状態として前記ポンプ部材を吸入
ストローク動作する吸入工程と、圧力調整用開口部と前
記ポンプ室とを接続する圧力調整流路に設けられた圧力
調整弁を開いて前記ポンプ室を一定の圧力に保持した状
態で前記ポンプ部材を所定の廃棄ストローク吐出動作す
る廃棄工程と、前記吐出ノズルと前記ポンプ室とを接続
する吐出流路に設けられた吐出側弁を開いて前記ポンプ
部材を吐出ストローク動作する吐出工程とを有すること
を特徴とする。
【００１６】本発明の液体吐出装置は、ポンプ本体内に
組み込まれてポンプ室を形成する弾性変形自在のポンプ
部材の吸入動作と吐出動作とにより液体貯留槽内の液体
を吐出ノズルに吐出する液体吐出方法であって、前記液
体貯留槽と前記ポンプ室とを接続する流入流路に設けら
れた流入側弁を開いた状態として前記ポンプ部材を吸入
ストローク動作する吸入工程と、圧力調整用開口部と前
記ポンプ室とを接続する圧力調整流路に設けられた圧力
調整弁を開いて前記ポンプ室内の圧力を吸入ストローク
動作終了時よりも低い圧力に設定する廃棄工程と、前記
吐出ノズルと前記ポンプ室とを接続する吐出流路に設け
られた吐出側弁を開いて前記ポンプ部材を吐出ストロー
ク動作する吐出工程とを有することを特徴とする。
組み込まれてポンプ室を形成する弾性変形自在のポンプ
部材の吸入動作と吐出動作とにより液体貯留槽内の液体
を吐出ノズルに吐出する液体吐出方法であって、前記液
体貯留槽と前記ポンプ室とを接続する流入流路に設けら
れた流入側弁を開いた状態として前記ポンプ部材を吸入
ストローク動作する吸入工程と、圧力調整用開口部と前
記ポンプ室とを接続する圧力調整流路に設けられた圧力
調整弁を開いて前記ポンプ室内の圧力を吸入ストローク
動作終了時よりも低い圧力に設定する廃棄工程と、前記
吐出ノズルと前記ポンプ室とを接続する吐出流路に設け
られた吐出側弁を開いて前記ポンプ部材を吐出ストロー
ク動作する吐出工程とを有することを特徴とする。
【００１７】本発明にあっては、吐出動作前のポンプ室
内の圧力は液体貯留槽の液面高さによらず圧力調整用開
口部により一定となるので、精度の高い吐出が可能であ
る。
内の圧力は液体貯留槽の液面高さによらず圧力調整用開
口部により一定となるので、精度の高い吐出が可能であ
る。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１９】（実施の形態１）図１は本発明の一実施の
形態である液体吐出装置を示す概略図であり、図５はこ
の液体吐出装置の作動形態を示すタイムチャートであ
る。
形態である液体吐出装置を示す概略図であり、図５はこ
の液体吐出装置の作動形態を示すタイムチャートであ
る。
【００２０】ポンプ本体１内には、軸方向に弾性変形自
在の蛇腹状のベローズ２がポンプ部材として組み込まれ
ており、ベローズ２とポンプ本体１とによりポンプ室３
が区画形成されている。
在の蛇腹状のベローズ２がポンプ部材として組み込まれ
ており、ベローズ２とポンプ本体１とによりポンプ室３
が区画形成されている。
【００２１】べローズ２は、供給される液体がフォトレ
ジスト液である場合はフッ素樹脂であるテトラフルオロ
エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体
（ＰＦＡ）により形成されており、ポンプ本体１も同様
の樹脂材料によって形成されている。ただし、供給され
る液体の特性に合わせてべローズ２およびポンプ本体１
の材料は任意に設定することが可能である。
ジスト液である場合はフッ素樹脂であるテトラフルオロ
エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体
（ＰＦＡ）により形成されており、ポンプ本体１も同様
の樹脂材料によって形成されている。ただし、供給され
る液体の特性に合わせてべローズ２およびポンプ本体１
の材料は任意に設定することが可能である。
【００２２】べローズ２の内部には、一端をべローズ２
に固定された駆動ロッド４が軸方向に往復動自在に設け
られており、駆動ロッド４の他端には駆動部５が設けら
れている。駆動部５は、空気圧シリンダや油圧シリンダ
などの流体圧シリンダによって駆動するようにしてもよ
く、モータにより駆動される送りねじに駆動ロッド４を
ねじ結合してモータにより駆動するようにしてもよい。
駆動部５により駆動される駆動ロッド４が往復ストロー
ク運動することによりべローズ２は伸縮し、ポンプ室３
内の容積を増減することにより吸入圧、吐出圧を発生さ
せポンプとして機能することができる。
に固定された駆動ロッド４が軸方向に往復動自在に設け
られており、駆動ロッド４の他端には駆動部５が設けら
れている。駆動部５は、空気圧シリンダや油圧シリンダ
などの流体圧シリンダによって駆動するようにしてもよ
く、モータにより駆動される送りねじに駆動ロッド４を
ねじ結合してモータにより駆動するようにしてもよい。
駆動部５により駆動される駆動ロッド４が往復ストロー
ク運動することによりべローズ２は伸縮し、ポンプ室３
内の容積を増減することにより吸入圧、吐出圧を発生さ
せポンプとして機能することができる。
【００２３】駆動ロッド４の往復ストローク運動は、吸
入ストロークと廃棄ストロークと吐出ストロークに分け
られ、吸入ストロークは廃棄ストロークと吐出ストロー
クとの合計ストロークであり、駆動ロッド４の最大スト
ロークとなっている。
入ストロークと廃棄ストロークと吐出ストロークに分け
られ、吸入ストロークは廃棄ストロークと吐出ストロー
クとの合計ストロークであり、駆動ロッド４の最大スト
ロークとなっている。
【００２４】ポンプ室３には、液体が収容された液体貯
留槽６とポンプ室３とを連通する流入流路７が接続され
ており、この流入流路７にはこの流入流路７を開閉する
流入側弁８が設けられている。流入側弁８を開いた状態
でべローズ２が駆動ロッド４の最大ストローク分の吸入
ストローク動作を行いポンプ室３内の容積を膨張させる
ことにより、液体貯留槽６内の液体をポンプ室３内に吸
入する吸入工程を行うことができる。
留槽６とポンプ室３とを連通する流入流路７が接続され
ており、この流入流路７にはこの流入流路７を開閉する
流入側弁８が設けられている。流入側弁８を開いた状態
でべローズ２が駆動ロッド４の最大ストローク分の吸入
ストローク動作を行いポンプ室３内の容積を膨張させる
ことにより、液体貯留槽６内の液体をポンプ室３内に吸
入する吸入工程を行うことができる。
【００２５】吸入工程後のポンプ室３内には、吸入抵抗
による負圧と、吸入が繰り返される度に変化するポンプ
室３と液体貯留槽６の液位との差による圧力とが加わる
ので、吸入が繰り返される度にポンプ室３を形成するべ
ローズ２の弾性変形量も変化してポンプ室３内の容積も
変化することになる。
による負圧と、吸入が繰り返される度に変化するポンプ
室３と液体貯留槽６の液位との差による圧力とが加わる
ので、吸入が繰り返される度にポンプ室３を形成するべ
ローズ２の弾性変形量も変化してポンプ室３内の容積も
変化することになる。
【００２６】例えば、液体貯留槽６内の液体の最大液位
と最小液位とでΔｈだけ液面高さが変化すると、ポンプ
室３に対する水頭がｈ１からｈ２に変化するので、同一
の吸入ストロークでポンプ室３内に液体を吸入しても、
ベローズ２の弾性変形量の変化により実際に吸入される
液体の量は変化することになる。
と最小液位とでΔｈだけ液面高さが変化すると、ポンプ
室３に対する水頭がｈ１からｈ２に変化するので、同一
の吸入ストロークでポンプ室３内に液体を吸入しても、
ベローズ２の弾性変形量の変化により実際に吸入される
液体の量は変化することになる。
【００２７】ポンプ室３には、圧力調整弁９が設けられ
た圧力調整流路１０の一端が接続されており、圧力調整
流路１０の他端は液体貯留槽６内の液体の液位より上方
に位置して下向きとなって直接大気に開放された圧力調
整用開口部１１となっている。ポンプ室３内に液体を吸
入した後、流入側弁８を閉じ圧力調整弁９を開いた状態
でべローズ２が廃棄ストローク吐出動作を行いポンプ室
３内の容積を収縮させることにより、ポンプ室３内の液
体を圧力調整用開口部１１から廃棄する廃棄工程を行う
ことができる。
た圧力調整流路１０の一端が接続されており、圧力調整
流路１０の他端は液体貯留槽６内の液体の液位より上方
に位置して下向きとなって直接大気に開放された圧力調
整用開口部１１となっている。ポンプ室３内に液体を吸
入した後、流入側弁８を閉じ圧力調整弁９を開いた状態
でべローズ２が廃棄ストローク吐出動作を行いポンプ室
３内の容積を収縮させることにより、ポンプ室３内の液
体を圧力調整用開口部１１から廃棄する廃棄工程を行う
ことができる。
【００２８】この廃棄工程により排出される液体が表面
張力により圧力調整用開口部１１に気体との界面を構成
することによりポンプ室３に対して一定の水頭ｈ３を維
持する基準液面が形成される。この基準液面は液体貯留
槽６内で変位する液体の液位によらず一定であるため、
吸入工程時に液体貯留槽６の液位により変化したポンプ
室３内の圧力は圧力調整流路１０内の液体を介して圧力
調整用開口部１１に開放されることにより常に一定に維
持されることになる。
張力により圧力調整用開口部１１に気体との界面を構成
することによりポンプ室３に対して一定の水頭ｈ３を維
持する基準液面が形成される。この基準液面は液体貯留
槽６内で変位する液体の液位によらず一定であるため、
吸入工程時に液体貯留槽６の液位により変化したポンプ
室３内の圧力は圧力調整流路１０内の液体を介して圧力
調整用開口部１１に開放されることにより常に一定に維
持されることになる。
【００２９】圧力調整用開口部１１は液体貯留槽６内の
液体の液位より上方に位置されているため、ポンプ室３
内の圧力が一定の圧力値となった状態で圧力調整弁９を
閉じることで、ポンプ室３内の圧力は吸入ストローク動
作終了時よりも高い一定圧力に設定されることになる。
液体の液位より上方に位置されているため、ポンプ室３
内の圧力が一定の圧力値となった状態で圧力調整弁９を
閉じることで、ポンプ室３内の圧力は吸入ストローク動
作終了時よりも高い一定圧力に設定されることになる。
【００３０】廃棄ストロークの終了時点でのポンプ室３
内の容積は吐出予定量となるので吸入工程時に吸入する
液体の量は吐出予定量に液体貯留槽６の液位の変化によ
るポンプ室３の容積変化の最大値分以上の量を加えたも
のとする。
内の容積は吐出予定量となるので吸入工程時に吸入する
液体の量は吐出予定量に液体貯留槽６の液位の変化によ
るポンプ室３の容積変化の最大値分以上の量を加えたも
のとする。
【００３１】なお、圧力調整用開口部１１から廃棄され
た液体は、圧力調整用開口部１１の下部に設けられた廃
棄回収タンク１２内に回収されるようになっている。
た液体は、圧力調整用開口部１１の下部に設けられた廃
棄回収タンク１２内に回収されるようになっている。
【００３２】さらにポンプ室３には、液体を吐出する吐
出ノズル１３とポンプ室３とを連通する吐出流路１４が
接続されており、この吐出流路１４にはこの吐出流路１
４を開閉する吐出側弁１５とノズル開閉弁１６とが設け
られている。したがって、それぞれの弁１５，１６を開
き流入側弁８と圧力調整弁９とを閉じた状態のもとでベ
ローズ２を吐出ストローク吐出動作させると、ポンプ室
３の容積が収縮してポンプ室３内の液体が吐出ノズル１
３から吐出される。
出ノズル１３とポンプ室３とを連通する吐出流路１４が
接続されており、この吐出流路１４にはこの吐出流路１
４を開閉する吐出側弁１５とノズル開閉弁１６とが設け
られている。したがって、それぞれの弁１５，１６を開
き流入側弁８と圧力調整弁９とを閉じた状態のもとでベ
ローズ２を吐出ストローク吐出動作させると、ポンプ室
３の容積が収縮してポンプ室３内の液体が吐出ノズル１
３から吐出される。
【００３３】吐出流路１４には液体を濾過するフィルタ
１７が設けられ、ノズル開閉弁１６を閉じて、吐出側弁
１５を開いた状態で吐出動作を行うと、液体中に含まれ
ている気泡をフィルタ１７から外部に排出することがで
きる。吐出流路１４にはさらに、吐出ノズル１３からの
液体のたれを防止するサックバックバルブ１８が設けら
れ、吐出ノズル１３から液体を吐出した後にこのサック
バックバルブ１８を作動することによって、吐出ノズル
１３内の液体は僅かに引き戻され、吐出ノズル１３から
の液滴の落下が防止される。
１７が設けられ、ノズル開閉弁１６を閉じて、吐出側弁
１５を開いた状態で吐出動作を行うと、液体中に含まれ
ている気泡をフィルタ１７から外部に排出することがで
きる。吐出流路１４にはさらに、吐出ノズル１３からの
液体のたれを防止するサックバックバルブ１８が設けら
れ、吐出ノズル１３から液体を吐出した後にこのサック
バックバルブ１８を作動することによって、吐出ノズル
１３内の液体は僅かに引き戻され、吐出ノズル１３から
の液滴の落下が防止される。
【００３４】このような構造を持つ液体吐出装置の作動
形態を図５に示すタイムチャートに沿って説明する。な
お図５のタイムチャートにおいて、横軸はべローズ２の
作動ストロークを表している。
形態を図５に示すタイムチャートに沿って説明する。な
お図５のタイムチャートにおいて、横軸はべローズ２の
作動ストロークを表している。
【００３５】図５の（ａ）に示すように、流入側弁８の
みを開き吸入ストロークＳ０だけべローズ２を収縮させ
ることにより、図５（ｅ）に示す吸入工程を行ないポン
プ室３内に液体を吸入する。ストロークＳ０はべローズ
２の最大ストロークであり、このときの吸入量は、吐出
予定量に液体貯留槽６内の液面高さによるポンプ室３内
の容積変化の最大値分以上の量を加えたものとする。
みを開き吸入ストロークＳ０だけべローズ２を収縮させ
ることにより、図５（ｅ）に示す吸入工程を行ないポン
プ室３内に液体を吸入する。ストロークＳ０はべローズ
２の最大ストロークであり、このときの吸入量は、吐出
予定量に液体貯留槽６内の液面高さによるポンプ室３内
の容積変化の最大値分以上の量を加えたものとする。
【００３６】次に、図５（ｂ）に示すように圧力調整弁
９のみを開きべローズ２を廃棄ストロークＳ１だけ伸ば
すことにより、図５（ｅ）に示す廃棄工程を行ない圧力
調整用開口部１１から液体を廃棄する。ストロークＳ１
は圧力調整用開口部１１から液体を廃棄した時点でのポ
ンプ室３内の容積が吐出予定量となる位置である。した
がって、このときのポンプ室３の容積、つまりポンプ室
３内の液体の量はべローズ２のストロークがＳ１で一定
であり、またポンプ室３内の圧力が圧力調整用開口部１
１により一定とされていることから液体貯留槽６内の液
面高さに関わらず常に一定に保たれる。
９のみを開きべローズ２を廃棄ストロークＳ１だけ伸ば
すことにより、図５（ｅ）に示す廃棄工程を行ない圧力
調整用開口部１１から液体を廃棄する。ストロークＳ１
は圧力調整用開口部１１から液体を廃棄した時点でのポ
ンプ室３内の容積が吐出予定量となる位置である。した
がって、このときのポンプ室３の容積、つまりポンプ室
３内の液体の量はべローズ２のストロークがＳ１で一定
であり、またポンプ室３内の圧力が圧力調整用開口部１
１により一定とされていることから液体貯留槽６内の液
面高さに関わらず常に一定に保たれる。
【００３７】次に図５（ｃ），（ｄ）とに示すように吐
出側弁１５とノズル開閉弁１６とを開きべローズ２を吐
出ストロークＳ２伸ばすことにより、図５（ｅ）に示す
吐出工程を行ないポンプ室３内の液体を吐出ノズル１３
から吐出する。このとき、ポンプ室３内の液体の量は廃
棄工程時に一定に保たれているので、本工程により吐出
予定量を正確に吐出することができる。
出側弁１５とノズル開閉弁１６とを開きべローズ２を吐
出ストロークＳ２伸ばすことにより、図５（ｅ）に示す
吐出工程を行ないポンプ室３内の液体を吐出ノズル１３
から吐出する。このとき、ポンプ室３内の液体の量は廃
棄工程時に一定に保たれているので、本工程により吐出
予定量を正確に吐出することができる。
【００３８】以後、このサイクルを繰り返すことにより
連続して精度のよい吐出が可能である。
連続して精度のよい吐出が可能である。
【００３９】流入側弁８、吐出側弁１５、ノズル開閉弁
１６および圧力調整弁９を電気信号により開閉作動する
電磁弁とすることにより、制御装置からの信号によって
自動的に開閉動作を行うことができる。ただし、流入側
弁８については、逆止弁を用いるようにしても良い。
１６および圧力調整弁９を電気信号により開閉作動する
電磁弁とすることにより、制御装置からの信号によって
自動的に開閉動作を行うことができる。ただし、流入側
弁８については、逆止弁を用いるようにしても良い。
【００４０】（実施の形態２）図２は、図１で示した液
体吐出装置の変形例であって、図１においてポンプ室３
に接続されていた圧力調整流路１０を吐出流路１４に設
けられたフィルタ１７に接続した場合を示す概略図であ
る。
体吐出装置の変形例であって、図１においてポンプ室３
に接続されていた圧力調整流路１０を吐出流路１４に設
けられたフィルタ１７に接続した場合を示す概略図であ
る。
【００４１】図２に示す液体吐出装置は基本的に図１に
示す液体吐出装置と同様の構造となっているが、図２に
示す液体吐出装置では、圧力調整流路１０は吐出流路１
４に設けられたフィルタ１７のベンドポートに接続され
ており、ポンプ室３と圧力調整用開口部１１との連通は
吐出側弁１５と圧力調整弁９とを介して行われることと
なる。
示す液体吐出装置と同様の構造となっているが、図２に
示す液体吐出装置では、圧力調整流路１０は吐出流路１
４に設けられたフィルタ１７のベンドポートに接続され
ており、ポンプ室３と圧力調整用開口部１１との連通は
吐出側弁１５と圧力調整弁９とを介して行われることと
なる。
【００４２】図２に示すように、圧力調整用開口部１１
は廃棄回収タンク１２内に位置し、この中の流体を介し
て大気に開放されている。したがって、廃棄回収タンク
１２からオーバーフローする液面が基準液面となり、水
頭ｈ３を常に保持することができるようになっている。
このような基準液面形成のための手段は、圧力調整用開
口部１１の位置や雰囲気に関わらず、実施の形態１，３
または４に示された何れの場合にも適応することができ
る。
は廃棄回収タンク１２内に位置し、この中の流体を介し
て大気に開放されている。したがって、廃棄回収タンク
１２からオーバーフローする液面が基準液面となり、水
頭ｈ３を常に保持することができるようになっている。
このような基準液面形成のための手段は、圧力調整用開
口部１１の位置や雰囲気に関わらず、実施の形態１，３
または４に示された何れの場合にも適応することができ
る。
【００４３】このような構造を持つ液体吐出装置の作動
形態を図６に示すタイムチャートに沿って説明する。
形態を図６に示すタイムチャートに沿って説明する。
【００４４】図６の（ａ）に示すように、流入側弁８の
みを開き吸入ストロークＳ０だけべローズ２を収縮させ
ることにより、図６（ｅ）に示す吸入工程を行ないポン
プ室３内に液体を吸入する。
みを開き吸入ストロークＳ０だけべローズ２を収縮させ
ることにより、図６（ｅ）に示す吸入工程を行ないポン
プ室３内に液体を吸入する。
【００４５】次に、図６（ｂ），（ｃ）に示すように圧
力調整弁９と吐出側弁１５とを開きべローズ２を廃棄ス
トロークＳ１だけ伸ばすことにより、図６（ｅ）に示す
廃棄工程を行ない圧力調整用開口部１１から液体を廃棄
する。
力調整弁９と吐出側弁１５とを開きべローズ２を廃棄ス
トロークＳ１だけ伸ばすことにより、図６（ｅ）に示す
廃棄工程を行ない圧力調整用開口部１１から液体を廃棄
する。
【００４６】次に図６（ｃ），（ｄ）とに示すように吐
出側弁１５とノズル開閉弁１６とを開きべローズ２を吐
出ストロークＳ２伸ばすことにより、図６（ｅ）に示す
吐出工程を行ないポンプ室３内の液体を吐出ノズル１３
から吐出する。このとき、ポンプ室３内の液体の量は廃
棄工程時に一定に保たれているので、本工程により吐出
予定量を正確に吐出することができる。
出側弁１５とノズル開閉弁１６とを開きべローズ２を吐
出ストロークＳ２伸ばすことにより、図６（ｅ）に示す
吐出工程を行ないポンプ室３内の液体を吐出ノズル１３
から吐出する。このとき、ポンプ室３内の液体の量は廃
棄工程時に一定に保たれているので、本工程により吐出
予定量を正確に吐出することができる。
【００４７】以後、このサイクルを繰り返すことにより
連続して精度のよい吐出が可能である。
連続して精度のよい吐出が可能である。
【００４８】（実施の形態３）図３は、図１で示した液
体吐出装置の変形例であって、圧力調整用開口部１１の
位置を、液体貯留槽６の液位より低く設定した場合を示
す概略図である。
体吐出装置の変形例であって、圧力調整用開口部１１の
位置を、液体貯留槽６の液位より低く設定した場合を示
す概略図である。
【００４９】図３に示す液体吐出装置は基本的に図１に
示す液体吐出装置と同様の構造となっているが、図３に
示す液体吐出装置では圧力調整用開口部１１は液体貯留
槽６の液位より低い位置に設定されている。
示す液体吐出装置と同様の構造となっているが、図３に
示す液体吐出装置では圧力調整用開口部１１は液体貯留
槽６の液位より低い位置に設定されている。
【００５０】また、圧力調整用開口部１１は圧力調整流
路１０の先端をＪ形に曲げて形成したことにより上向き
に大気に開放されており、液体がオーバーフローするこ
とにより基準液面を形成するようになっている。このよ
うな基準液面形成のための手段は、圧力調整用開口部１
１の位置や雰囲気に関わらず、実施の形態１，２または
４に示された何れの場合にも適応することができる。
路１０の先端をＪ形に曲げて形成したことにより上向き
に大気に開放されており、液体がオーバーフローするこ
とにより基準液面を形成するようになっている。このよ
うな基準液面形成のための手段は、圧力調整用開口部１
１の位置や雰囲気に関わらず、実施の形態１，２または
４に示された何れの場合にも適応することができる。
【００５１】圧力調整用開口部１１を液体貯留槽６の液
位より低い位置に設定したことにより、圧力調整用開口
部１１の水頭より液体貯留槽６の液位の水頭の方が高く
なるため、廃棄工程において圧力調整弁９を開くと同時
に圧力調整用開口部１１から液体が廃棄されることにな
る。
位より低い位置に設定したことにより、圧力調整用開口
部１１の水頭より液体貯留槽６の液位の水頭の方が高く
なるため、廃棄工程において圧力調整弁９を開くと同時
に圧力調整用開口部１１から液体が廃棄されることにな
る。
【００５２】したがって、圧力調整用開口部１１を液体
貯留槽６の液位より低い位置に設定した場合にはべロー
ズ２による廃棄ストローク吐出動作は行われず、圧力調
整弁９の開閉のみで廃棄工程が行われる。
貯留槽６の液位より低い位置に設定した場合にはべロー
ズ２による廃棄ストローク吐出動作は行われず、圧力調
整弁９の開閉のみで廃棄工程が行われる。
【００５３】この状態で圧力調整弁９を閉じることによ
りポンプ室３内は吸入ストローク動作終了時よりも低い
一定圧力に設定される。
りポンプ室３内は吸入ストローク動作終了時よりも低い
一定圧力に設定される。
【００５４】このような構造を持つ液体吐出装置の作動
形態を図７に示すタイムチャートに沿って説明する。
形態を図７に示すタイムチャートに沿って説明する。
【００５５】図７の（ａ）に示すように、流入側弁８の
みを開き吸入ストロークＳ０だけべローズ２を収縮させ
ることにより、図７（ｅ）に示す吸入工程を行ないポン
プ室３内に液体を吸入する。
みを開き吸入ストロークＳ０だけべローズ２を収縮させ
ることにより、図７（ｅ）に示す吸入工程を行ないポン
プ室３内に液体を吸入する。
【００５６】次に、図７（ｂ）に示すように圧力調整弁
９を開くことで廃棄工程を行ない圧力調整用開口部１１
から液体を廃棄する。
９を開くことで廃棄工程を行ない圧力調整用開口部１１
から液体を廃棄する。
【００５７】このとき圧力調整用開口部１１は液体貯留
槽６の液位より低い位置に設定されているので、圧力調
整弁９を開くと同時に圧力調整用開口部１１から液体が
廃棄されることになるためべローズ２は廃棄ストローク
吐出動作を行わない。
槽６の液位より低い位置に設定されているので、圧力調
整弁９を開くと同時に圧力調整用開口部１１から液体が
廃棄されることになるためべローズ２は廃棄ストローク
吐出動作を行わない。
【００５８】次に図７（ｃ），（ｄ）とに示すように吐
出側弁１５とノズル開閉弁１６とを開きべローズ２を吐
出ストロークＳ２伸ばすことにより、図７（ｅ）に示す
吐出工程を行ないポンプ室３内の液体を吐出ノズル１３
から吐出する。このとき、ポンプ室３内の液体の量は廃
棄工程時に一定に保たれているので、本工程により吐出
予定量を正確に吐出することができる。
出側弁１５とノズル開閉弁１６とを開きべローズ２を吐
出ストロークＳ２伸ばすことにより、図７（ｅ）に示す
吐出工程を行ないポンプ室３内の液体を吐出ノズル１３
から吐出する。このとき、ポンプ室３内の液体の量は廃
棄工程時に一定に保たれているので、本工程により吐出
予定量を正確に吐出することができる。
【００５９】以後、このサイクルを繰り返すことにより
連続して精度のよい吐出が可能である。
連続して精度のよい吐出が可能である。
【００６０】このように、圧力調整用開口部１１を液体
貯留槽６の液位より低い位置に設定した場合には圧力調
整弁９を開いたときにべローズ２が廃棄ストローク吐出
動作を行うことなく廃棄工程が行われることになるが、
圧力調整弁９を開いたときにべローズ２が廃棄ストロー
ク吐出動作を行うようにしてもよい。この場合、吸入工
程で吸入される液体の量は、吐出予定量に液体貯留槽６
の液位の変化によるポンプ室３の容積変化の最大値分以
上の量と廃棄ストローク吐出動作により廃棄される量を
加えたものとする。
貯留槽６の液位より低い位置に設定した場合には圧力調
整弁９を開いたときにべローズ２が廃棄ストローク吐出
動作を行うことなく廃棄工程が行われることになるが、
圧力調整弁９を開いたときにべローズ２が廃棄ストロー
ク吐出動作を行うようにしてもよい。この場合、吸入工
程で吸入される液体の量は、吐出予定量に液体貯留槽６
の液位の変化によるポンプ室３の容積変化の最大値分以
上の量と廃棄ストローク吐出動作により廃棄される量を
加えたものとする。
【００６１】（実施の形態４）図４は、図１で示した液
体吐出装置の変形例であって、図１において大気に開放
されていた圧力調整用開口部１１を、ある一定の圧力を
保持する圧力ケース１９内に開放した場合を示す概略図
である。
体吐出装置の変形例であって、図１において大気に開放
されていた圧力調整用開口部１１を、ある一定の圧力を
保持する圧力ケース１９内に開放した場合を示す概略図
である。
【００６２】図４に示す液体吐出装置は基本的に図１に
示す液体吐出装置と同様の構造となっているが、図４に
示す液体吐出装置では、圧力調整用開口部１１は制御装
置２０によりある一定の圧力を保持する圧力ケース１９
内に開放されており、大気圧の変化に左右されない環境
となっている。
示す液体吐出装置と同様の構造となっているが、図４に
示す液体吐出装置では、圧力調整用開口部１１は制御装
置２０によりある一定の圧力を保持する圧力ケース１９
内に開放されており、大気圧の変化に左右されない環境
となっている。
【００６３】したがって、圧力調整用開口部１１に形成
される基準液面の圧力は大気圧の変化に左右されずにさ
らに精度良く保たれるので、さらに高い精度でポンプ室
３内の容積を一定に保つことができる。
される基準液面の圧力は大気圧の変化に左右されずにさ
らに精度良く保たれるので、さらに高い精度でポンプ室
３内の容積を一定に保つことができる。
【００６４】この圧力ケース１９は、圧力調整用開口部
１１の位置や大気への開放方法に関わらず、実施の形態
１，２または３に示された何れの場合にも適応すること
ができ、同様の効果をもたらすことができる。
１１の位置や大気への開放方法に関わらず、実施の形態
１，２または３に示された何れの場合にも適応すること
ができ、同様の効果をもたらすことができる。
【００６５】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実
施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実
施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００６６】たとえば、液体吐出装置としては、ポンプ
部材としてべローズ２を用いたタイプに限られず、ダイ
アフラムを用いたり、可撓性チューブを用いた液体吐出
装置とすることができる。
部材としてべローズ２を用いたタイプに限られず、ダイ
アフラムを用いたり、可撓性チューブを用いた液体吐出
装置とすることができる。
【００６７】
【発明の効果】本発明によれば、吐出動作前のポンプ室
内の圧力は、液体貯留槽内に残留する薬液の液面高さに
影響されずに圧力調整用開口部により一定に保たれるの
でポンプ室内の容積が一定となり精度の高い液体の吐出
が可能である。
内の圧力は、液体貯留槽内に残留する薬液の液面高さに
影響されずに圧力調整用開口部により一定に保たれるの
でポンプ室内の容積が一定となり精度の高い液体の吐出
が可能である。
【図１】本発明の一実施の形態である液体吐出装置を示
す概略図である。
す概略図である。
【図２】実施の形態１で示した液体吐出装置の変形例で
あって、圧力調整流路を吐出流路に設けられたフィルタ
に接続した場合の液体吐出装置を示す概略図である。
あって、圧力調整流路を吐出流路に設けられたフィルタ
に接続した場合の液体吐出装置を示す概略図である。
【図３】実施の形態１で示した液体吐出装置の変形例で
あって、圧力調整用開口部を液体貯留槽内の液位より低
い位置に設けた場合の液体吐出装置を示す概略図であ
る。
あって、圧力調整用開口部を液体貯留槽内の液位より低
い位置に設けた場合の液体吐出装置を示す概略図であ
る。
【図４】実施の形態１で示した液体吐出装置の変形例で
あって、圧力調整用開口部を、ある一定の圧力を保持す
る圧力ケース内に開放した場合の液体吐出装置を示す概
略図である。
あって、圧力調整用開口部を、ある一定の圧力を保持す
る圧力ケース内に開放した場合の液体吐出装置を示す概
略図である。
【図５】実施の形態１で示した液体吐出装置の作動形態
を示すタイムチャートである。
を示すタイムチャートである。
【図６】実施の形態２で示した液体吐出装置の作動形態
を示すタイムチャートである。
を示すタイムチャートである。
【図７】実施の形態３で示した液体吐出装置の作動形態
を示すタイムチャートである。
を示すタイムチャートである。
１ ポンプ本体 ２ べローズ ３ ポンプ室 ４ 駆動ロッド ５ 駆動部 ６ 液体貯留槽 ７ 流入流路 ８ 流入側弁 ９ 圧力調整弁 １０ 圧力調整流路 １１ 圧力調整用開口部 １２ 廃棄回収タンク １３ 吐出ノズル １４ 吐出流路 １５ 吐出側弁 １６ ノズル開閉弁 １７ フィルタ １８ サックバックバルブ １９ 圧力ケース ２０ 制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ０４Ｂ 23/02 Ｆ０４Ｂ 23/02 Ｅ ４Ｆ０４２ Ｆ１６Ｋ 21/00 Ｆ１６Ｋ 21/00 Ｇ Ｇ０３Ｆ 7/16 ５０１ Ｇ０３Ｆ 7/16 ５０１ Ｆターム(参考） 2H025 AB16 EA04 3H071 AA01 BB01 CC13 DD04 DD12 DD13 DD14 DD16 DD72 4D075 AC64 AC84 AC94 AC95 DC22 4F033 AA14 BA03 DA01 EA01 GA02 GA06 GA11 LA13 4F041 AA06 BA02 BA10 BA32 BA35 4F042 AA07 BA07 BA09 CB02 CB10 CB11 CC07
Claims (8)
- 【請求項１】 弾性変形自在のポンプ部材が組み込ま
れ、前記ポンプ部材により膨張収縮するポンプ室を有す
るポンプ本体と、 液体が収容された液体貯留槽と前記ポンプ室との間に設
けられ、前記ポンプ部材が吸入ストローク動作するとき
に開く流入側弁が設けられた流入流路と、 圧力調整用開口部と前記ポンプ室との間に設けられ、前
記ポンプ部材が廃棄ストローク吐出動作するときに開い
て前記ポンプ室内の圧力を一定に保持する圧力調整弁が
設けられた圧力調整流路と、 吐出ノズルと前記ポンプ室との間に設けられ、前記ポン
プ部材が吐出ストローク動作するときに開く吐出側弁が
設けられた吐出流路とを有することを特徴とする液体吐
出装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の液体吐出装置において、
前記圧力調整用開口部を前記液体貯留槽の液位より高い
位置で大気に開放して、前記圧力調整流路を介し前記ポ
ンプ室内の圧力を吸入ストローク動作終了時よりも高い
圧力に設定することを特徴とする液体吐出装置。 - 【請求項３】 弾性変形自在のポンプ部材が組み込ま
れ、前記ポンプ部材により膨張収縮するポンプ室を有す
るポンプ本体と、 液体が収容された液体貯留槽と前記ポンプ室との間に設
けられ、前記ポンプ部材が吸入ストローク動作するとき
に開く流入側弁が設けられた流入流路と、 圧力調整用開口部と前記ポンプ室との間に設けられ、前
記ポンプ部材の吸入ストローク動作終了後に開いて前記
ポンプ室内の圧力を吸入ストローク動作終了時よりも低
い圧力に設定する圧力調整弁が設けられた圧力調整流路
と、 吐出ノズルと前記ポンプ室との間に設けられ、前記ポン
プ部材が吐出ストローク動作するときに開く吐出側弁が
設けられた吐出流路とを有することを特徴とする液体吐
出装置。 - 【請求項４】 請求項３記載の液体吐出装置において、
前記圧力調整用開口部を前記液体貯留槽の液位より低い
位置で大気に開放したことを特徴とする液体吐出装置。 - 【請求項５】 請求項１，２，３または４記載の液体吐
出装置において、前記圧力調整用開口部は実質的に下向
きに開放され、液体の表面張力による界面を形成するこ
とにより基準液面を維持することを特徴とする液体吐出
装置。 - 【請求項６】 請求項１，２，３または４記載の液体吐
出装置において、前記圧力調整用開口部は実質的に上向
きに開放されていることを特徴とする液体吐出装置。 - 【請求項７】 ポンプ本体内に組み込まれてポンプ室を
形成する弾性変形自在のポンプ部材の吸入動作と吐出動
作とにより液体貯留槽内の液体を吐出ノズルに吐出する
液体吐出方法であって、 前記液体貯留槽と前記ポンプ室とを接続する流入流路に
設けられた流入側弁を開いた状態として前記ポンプ部材
を吸入ストローク動作する吸入工程と、 圧力調整用開口部と前記ポンプ室とを接続する圧力調整
流路に設けられた圧力調整弁を開いて前記ポンプ室を一
定の圧力に保持した状態で前記ポンプ部材を所定の廃棄
ストローク吐出動作する廃棄工程と、 前記吐出ノズルと前記ポンプ室とを接続する吐出流路に
設けられた吐出側弁を開いて前記ポンプ部材を吐出スト
ローク動作する吐出工程とを有することを特徴とする液
体吐出方法。 - 【請求項８】 ポンプ本体内に組み込まれてポンプ室を
形成する弾性変形自在のポンプ部材の吸入動作と吐出動
作とにより液体貯留槽内の液体を吐出ノズルに吐出する
液体吐出方法であって、 前記液体貯留槽と前記ポンプ室とを接続する流入流路に
設けられた流入側弁を開いた状態として前記ポンプ部材
を吸入ストローク動作する吸入工程と、 圧力調整用開口部と前記ポンプ室とを接続する圧力調整
流路に設けられた圧力調整弁を開いて前記ポンプ室内の
圧力を吸入ストローク動作終了時よりも低い圧力に設定
する廃棄工程と、 前記吐出ノズルと前記ポンプ室とを接続する吐出流路に
設けられた吐出側弁を開いて前記ポンプ部材を吐出スト
ローク動作する吐出工程とを有することを特徴とする液
体吐出方法。
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