JP4454350B2 - 薬液供給装置 - Google Patents
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Description
11 噴射口
12 ノズルホルダ
13 一次側バルブ
13a 流路部
13b 一次側流路
13c 作動部
13d 収容室
14 二次側バルブ
14a 流路部
14b 二次側流路
14c 作動部
14d 収容室
15 薬液タンク
16 ポンプ
17 ノズル本体
18 接続ポート
19 内管
20 外管
21 二重管
22 継手ブロック
28 温度調節器
29〜31 チューブ
32 駆動装置
32a 媒体室
32b 作動部
33 往復動体
35 ダイヤフラム
36 調節ばね
37 流路開閉室
38 作動圧室
40,41 給排ポート
42 往復動体
43 ダイヤフラム
44,45 作動圧室
46 調節ばね
47 継手ブロック
51 可撓性膜
52 ポンプ室
53 駆動室
55 ベローズ
56 往復動体
57 ナット
58 送りねじ
59 回転防止部材
60 モータ
61 センサ
62 温調水流路
64 回転体
65 回転軸
66 カップ
68 可動アーム
69 代替バルブ
69a 流路部
69b 二次側流路
69c 作動部
70 大径室
70a 封止部材
71 小径室
72 吸着板
73 往復動体
74,75 永久磁石
76 調節ばね
78 往復動体
80 作動圧室
W ワーク
Claims (8)
- 薬液タンク内に収容された薬液をノズル本体の噴射口から噴出する薬液供給装置であって、
前記薬液タンクに連通される一次側流路に一端が連通し、前記ノズル本体に連通される二次側流路に他端が連通するポンプ室を形成する弾性変形自在のチューブ形状の可撓性膜を有し、当該可撓性膜が前記ポンプ室の容積を膨張させると前記薬液タンク内の薬液を前記ポンプ室内に吸引し、前記可撓性膜が前記ポンプ室の容積を収縮させると前記ポンプ室内の薬液を前記ノズル本体に吐出するポンプと、
前記ポンプ、前記ノズル本体、前記一次側流路を開閉する一次側バルブ、および前記二次側流路を開閉する二次側バルブが設けられたノズル組立体と、
前記一次側流路を有する内管と、当該内管が内部に配置されるとともに温度調節器により温調されて前記内管を流れる薬液の温度を調節する温調水が流れる外管とを備えた二重管と、
前記ポンプに前記外管に連通して形成され、前記外管から流れ込む温調水により前記ポンプ室内の薬液の温度を調整する温調水流路とを有することを特徴とする薬液供給装置。 - 請求項1記載の薬液供給装置において、前記二重管の一端部が接続される継手ブロックを前記ノズル組立体に設け、前記外管からの温調水を前記温調水流路に流れ込ませる分岐流路を前記継手ブロックに形成することを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項1または2記載の薬液供給装置において、前記二重管の他端部に継手ブロックを設け、当該継手ブロックに前記温度調節器からの温調水を前記外管に流れ込ませる分岐流路を形成することを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の薬液供給装置において、前記温調水流路と前記温度調節器との間に、温調水を前記温度調節器に環流するチューブを接続することを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の薬液供給装置において、前記可撓性膜を駆動媒体が充填される駆動室に設け、前記駆動媒体の容量又は圧力を減らすことによって前記可撓性膜を膨張させ、前記駆動媒体の容量又は圧力を増やすことによって前記可撓性膜を収縮させることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の薬液供給装置において、前記ノズル組立体は薬液が塗布されるワークの上方を移動する可動アームに固定されることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項5記載の薬液供給装置において、前記ノズル組立体を薬液が塗布されるワークの上方を移動する可動アームに固定し、前記駆動室に充填される前記駆動媒体の容量又は圧力を増減させる駆動装置は前記可動アーム以外の箇所に設置されるとともに、前記駆動装置と前記駆動室とは前記駆動媒体が流れるチューブを介して接続されることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項5〜7のいずれか1項に記載の薬液供給装置において、前記駆動媒体は非圧縮性媒体であり、前記駆動室における前記非圧縮性媒体の容量を減らすことによって前記可撓性膜を膨張させ、前記非圧縮性媒体の容量を増やすことによって前記可撓性膜を収縮させることを特徴とする薬液供給装置。
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