JP4511868B2 - 可撓性タンクとこれを用いた薬液供給装置 - Google Patents
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Description
10a 加圧装置
10b センサ
11 塗布ノズル
12 一次側ポンプ
13 二次側ポンプ
14 ポンプ室
15 薬液導入流路
17 フィルタ
20 可撓性タンク
21 一次側ポート
22 二次側ポート
23 ポンプ室
26 センサ
27a,27b アダプタ部
27c 連結部
27d,27e,27f アダプタ部
27g 連結部
28 可撓性膜
28a,28b 可撓性チューブ
28c ベローズ
29 容積可変室
30 光電センサ
32 排気ポート
34 アダプタ部
36 圧力ポート
37 密閉部
39 加圧室
40 流体供給源
42 バッファタンク
42a 吐出ポート
42b 大気開放ポート
44 補助ポンプ
45 補助タンク
46 バッファタンク
47 バッファタンク室
48 大気開放ポート
49 圧力室
50 可撓性チューブ
51a アダプタ部
51c 密閉部
52 一次側ポート
53 二次側ポート
54 排気ポート
56 センサ
57 可撓性チューブ
58a,58b 固定端部
59 弾性変形部
59a 凸形弧状部
59b 頂点部
59c 凹形弧状部
S 仮想円
V1 吸引弁
V2 吐出弁
V3 開閉弁
V4 脱気弁
V5 吸引弁
V6 吐出弁
V7 サックバックバルブ
V8 塗布ノズル開閉弁
V9 脱気弁
V10 大気開放バルブ
V11 脱気弁
V12 大気開放バルブ
V13 切換バルブ
Claims (10)
- 薬液を収容する薬液ボトル、当該薬液ボトル内の薬液を吸引する一次側ポンプ、当該一次側ポンプから吐出された薬液を濾過するフィルタ、および当該フィルタにより濾過された薬液を塗布ノズルに向けて供給する二次側ポンプを有する薬液回路に用いられ、前記フィルタを通過して前記二次側ポンプに供給される薬液を収容する可撓性タンクであって、
一端部が第1のアダプタ部に装着され、他端部が前記第1のアダプタ部に連結された第2のアダプタ部に装着され、内部に容積可変室が区画形成された可撓性チューブを有し、
前記フィルタを通過した薬液が流入する一次側ポートと、前記二次側ポンプに薬液を流出する二次側ポートとを前記アダプタ部に前記容積可変室に開口して形成し、
前記可撓性チューブは、円周方向にほぼ等間隔の3つの頂点部をそれぞれ変形中心とし前記頂点部に接する仮想円の曲率半径よりも小さい曲率半径で外方に向けて凸状に湾曲した凸形弧状部と、それぞれの前記凸形弧状部の円周方向相互間に連なって外方に向けて凹状に湾曲した凹形弧状部とを備えた弾性変形部を有し、
前記可撓性チューブのそれぞれの前記凸形弧状部が円周方向に弾性変形し、前記凹形弧状部が半径方向に弾性変形し、前記一次側ポートから流入する薬液の容積に応じて膨張し前記二次側ポートから流出する薬液の容積に応じて収縮することを特徴とする可撓性タンク。
- 請求項1に記載の可撓性タンクにおいて、膨張収縮する前記可撓性チューブの径方向の変形をセンサで検出することによって、前記容積可変室に所定量の薬液を収容していることを判定することを特徴とする可撓性タンク。
- 請求項1又は2に記載の可撓性タンクにおいて、それぞれの前記アダプタ部が固定されて前記可撓性チューブが収容される密閉部と前記可撓性チューブとにより加圧室を区画形成し、前記密閉部に設けられた圧力ポートから前記加圧室内に所定の流体圧力を供給することを特徴とする可撓性タンク。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の可撓性タンクにおいて、前記第1のアダプタ部に前記一次側ポートを設け、前記第2のアダプタ部に前記二次側ポートを設けることを特徴とする可撓性タンク。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の可撓性タンクにおいて、前記可撓性チューブを垂直に配置し、前記可撓性チューブの下端部に設けられる前記第1のアダプタ部に前記容積可変室に開口する前記一次側ポートと前記二次側ポートとを設け、前記可撓性チューブの上端部に設けられる前記第2のアダプタ部に前記容積可変室に開口する排気ポートを設けることを特徴とする可撓性タンク。
- 薬液を収容する薬液ボトル、当該ボトル内の薬液を吸引する一次側ポンプ、当該一次側ポンプから吐出された薬液を濾過するフィルタ、及び当該フィルタにより濾過された薬液を塗布ノズルに向けて供給する二次側ポンプを有する薬液供給装置であって、
前記フィルタを通過して前記二次側ポンプに供給される薬液を収容する可撓性タンクを有し、
前記可撓性タンクは、一端部が第1のアダプタ部に装着され、他端部が前記第1のアダプタ部に連結された第2のアダプタ部に装着され、内部に容積可変室が区画形成された可撓性チューブを有し、前記フィルタを通過した薬液が流入する一次側ポートと、前記二次側ポンプに薬液を流出する二次側ポートとを前記アダプタ部に前記容積可変室に開口して形成し、
前記可撓性チューブは、円周方向にほぼ等間隔の3つの頂点部をそれぞれ変形中心とし前記頂点部に接する仮想円の曲率半径よりも小さい曲率半径で外方に向けて凸状に湾曲した凸形弧状部と、それぞれの前記凸形弧状部の円周方向相互間に連なって外方に向けて凹状に湾曲した凹形弧状部とを備えた弾性変形部を有し、
前記可撓性チューブのそれぞれの前記凸形弧状部が円周方向に弾性変形し、前記凹形弧状部が半径方向に弾性変形し、前記可撓性チューブが前記一次側ポートから流入する薬液の容積に応じて膨張し前記二次側ポートから流出する薬液量の容積に応じて収縮することを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項6記載の薬液供給装置において、前記第1のアダプタ部に前記一次側ポートを設け、前記第2のアダプタ部に前記二次側ポートを設けることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項6記載の薬液供給装置において、前記可撓性チューブを垂直に配置し、前記可撓性チューブの下端部に設けられる前記第1のアダプタ部に前記容積可変室に開口する前記一次側ポートと前記二次側ポートとを設け、前記可撓性チューブの上端部に設けられる前記第2のアダプタ部に前記容積可変室に開口する排気ポートを設けることを特徴とする薬液供給装置。
- 請求項6〜8のいずれか1項に記載の薬液供給装置において、前記薬液ボトルと前記一次側ポンプとの間に、前記薬液ボトルから供給される薬液を収容するバッファタンクを設け、
当該バッファタンクは、一端部が第1のアダプタ部に装着され、他端部が前記第1のアダプタ部に密閉部を介して連結された第2のアダプタ部に装着され、内部にバッファタンク室が区画形成された可撓性チューブを有し、
前記密閉部内に前記可撓性チューブの外側との間で区画形成される圧力室に連通する大気開放ポートを前記密閉部に形成し、
前記薬液ボトルからの薬液が流入する一次側ポートと、前記一次側ポンプに薬液を流出する二次側ポートとを前記アダプタ部に前記バッファタンク室に開口して形成し、
前記大気開放ポートを閉じた状態では前記バッファタンク室の容積が一定に保持され、前記大気開放ポートを開放した状態では収容される薬液量に応じて前記バッファタンク室が膨張収縮することを特徴とする薬液供給装置。 - 請求項8記載の薬液供給装置において、前記薬液ボトル、前記一次側ポンプ、前記フィルタ、及び前記二次側ポンプよりも高い位置に前記可撓性タンクを設置することを特徴とする薬液供給装置。
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