JP2001342019A - 金属酸化物前駆体溶液、金属酸化物薄膜及び金属酸化物粉体 - Google Patents
金属酸化物前駆体溶液、金属酸化物薄膜及び金属酸化物粉体Info
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Abstract
族化合物溶媒から得られる金属アルコキシド配位錯体含
有液を原料として用いて調製された、保存安定性に優れ
た金属酸化物前駆体溶液、該溶液より形成されたクラッ
クの全くない均質な金属酸化物薄膜、及び粉砕して得ら
れる金属酸化物粉体を提供。 【解決手段】 金属塩、アルコール及び塩基性芳香族化
合物溶媒を加熱させた後、芳香族化合物溶媒及び水含有
アルコール溶液を加え、加熱、濃縮させて金属酸化物前
駆体溶液を得る。該前駆体溶液を、基体上に、付着、乾
燥、熱処理させて金属酸化物薄膜を得る。また該前駆体
溶液を、乾燥、熱処理、粉砕させて金属酸化物粉体を得
る。
Description
子のような光学材料、表面弾性波フィルター材料、焦電
材料、圧電材料や強誘電体メモリーのような強誘電体材
料、電子材料、光電変換材料、透明導電性薄膜、電池材
料、超伝導材料、表面保護膜等に好適な金属酸化物薄膜
及び金属酸化物粉体、並びに該薄膜及び該粉体の形成に
用いられる金属酸化物前駆体溶液に関する。
的蒸着法(以下、PVD法と略記)、化学的気相成長法
(以下、CVD法と略記)、有機金属分解法(以下、M
OD法と略記)及びゾルゲル法等により形成されてい
た。
に用いられているが、均一組成の薄膜を得るには、基板
温度を低温に保たなくてはならなず、組成制御が困難で
あり、また、複雑な装置が必要であった。
性に優れているが、工程の再現性や単位時間処理量に問
題があり、また、基板温度の厳密な管理が必要であっ
た。
下、「PZT」と略記)等の製造法として一般的に用い
られているが、形成された薄膜表面は、クラックが多
く、表面段差も大きく粗く、また、その断面は、内部に
気泡状空孔があり、機械的強度に問題がみられる。
後、酸やアルカリを触媒にして、加水分解させて調製し
たゾル液を、基体上に付着、乾燥させた後、熱処理させ
て、金属酸化物微粒子薄膜を形成させる。
比較的容易であり、安価であり、また、簡便な工程であ
り、量産化に適している。
ガス下で調製しなくてはならず、また、金属酸化物微粒
子の分散溶液であるため、凝集沈殿しやすく、密閉容器
下、冷暗所保存で、寿命が1〜3ヶ月程度と短い。さら
に、このゾル液より形成された薄膜は、金属酸化物微粒
子の集合体であり、微粒子間の結合力が弱く、クラック
が発生しやすいという欠点を有していた。
薄膜を形成させるには、1回の工程で形成させる薄膜の
厚さをできるだけ薄くし、目的とする厚さの薄膜を得る
には、複数回の工程を繰り返さなくてはならず、多大の
時間を要し、作業性に劣るという問題点があった。
ルコキシドが、通常用いられているが、空気中の水分の
影響を受けやすく、乾燥不活性ガス下でゾル液を調製し
なくてはならず、取り扱いが困難であった。
物、アルコール及びアンモニアを反応させ、金属アルコ
キシドと塩化アンモニウムとし、ついで、塩化アンモニ
ウムを除去し、精製させて得られるが、金属アルコキシ
ドは、水分により加水分解されやすく、また過剰のアン
モニアは、加水分解の触媒となるため、微粒子の集合体
が形成されやすく、製造工程を非常に複雑に制御する必
要があった。
ルコキシドの代りに、上記金属塩化物からの金属アルコ
キシド形成反応を利用した場合には、さらに、副生塩化
アンモニウムの混入という問題点があった。
りに、安価な金属塩とアルコールと塩基性芳香族化合物
溶媒から得られる金属アルコキシド配位錯体含有液を原
料として用いて形成された、芳香環の面を基準にして二
次元方向に十分に構造規制された金属酸化物高分子配位
錯体を含有する、保存安定性に優れた金属酸化物前駆体
溶液を提供することであり、また、該金属酸化物前駆体
溶液を用いて形成させたクラックの全くない均質、平滑
かつ緻密な金属酸化物薄膜を提供することであり、さら
に、該金属酸化物前駆体溶液を用いて、乾燥、熱処理、
粉砕させた金属酸化物粉体を提供することである。
を解決すべく、鋭意検討した結果、安価な金属塩、アル
コール及び塩基性芳香族化合物溶媒を加熱させて、金属
アルコキシド配位錯体含有液を形成させた場合、適量の
塩基性芳香族化合物溶媒が、次工程の金属アルコキシド
の加水分解の制御を阻害しないことを見出し、本発明を
完成するに至った。
及び塩基性芳香族化合物溶媒を加熱させて、金属アルコ
キシド配位錯体含有液を形成させ、ついで該金属アルコ
キシド配位錯体含有液、芳香族化合物溶媒及び水含有ア
ルコール溶液を加熱、濃縮させてなることを特徴とする
金属酸化物前駆体溶液であり、また、基体上に、該金属
酸化物前駆体溶液を付着、乾燥、熱処理させてなること
を特徴とする金属酸化物薄膜であり、さらに、該金属酸
化物前駆体溶液を、乾燥、熱処理、粉砕させてなること
を特徴とする金属酸化物粉体である。
より調製される。
族化合物溶媒を加熱させて、金属アルコキシド形成反応
により、芳香環の面を基準にして十分に構造規制された
金属アルコキシド配位錯体含有液を得る工程、ついで、
該金属アルコキシド配位錯体含有液、芳香族化合物溶媒
及び水含有アルコール溶液を加熱させて、金属アルコキ
シドを加水分解させ、金属水酸化物とすると共に、金属
水酸化物の脱水縮合により、芳香環の面を基準にして二
次元方向に十分に構造規制された金属酸化物高分子配位
錯体を形成させ、さらに、濃縮させる工程を経て、金属
イオン濃度として0.05〜5.0モル/Lとなるよう
に濃度調整させて、本発明の金属酸化物前駆体溶液が調
製される。
モルのアルコール及び4〜12モルの塩基性芳香族化合
物溶媒を加えた後、温度30〜120℃で1〜100時
間加熱させて、芳香環の面を基準にして二次元方向に十
分に構造規制された金属アルコキシド配位錯体含有液を
得る。
との反応により、金属アルコキシドを形成するハロゲン
化物または酢酸塩であり、ハロゲン化物としては、塩化
物、ヨウ化物、臭化物等があげられる。
は、Mg、Al、Si、Ca、Ta、V、Mn、Fe、
Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Cr、Sr、
Y、Zr、Nb、Mo、Ru、In、Sn、Sb、C
s、Ba、Ta、W、Os、Ir、Pb、Bi、La、
Ce、Gdから選ばれた少なくとも1種以上である。
素数1〜6のアルコールから選ばれた少なくとも1種以
上であり、例えば、エタノール、プロパノール、ブタノ
ール、ペンタノール、ヘキサノール等があげられる。
して3〜12モルである。3モル未満の場合、金属アル
コキシド形成反応が不十分となり、12モル超の場合、
次工程において芳香族化合物溶媒の配位が十分行われ
ず、不都合である。
物溶媒としては、例えば、アニリン、ピリジン、α−ピ
コリン、β−ピコリン、γ−ピコリン、ピリダジン、ピ
リミジン等があげられる。
塩1モルに対して4〜12モルである。4モル未満の場
合、金属アルコキシド形成反応が不十分となり、12モ
ル超の場合、次工程において芳香族化合物溶媒の配位が
不十分となり、不都合である。
シド形成反応により生ずる酸等を捕捉すると共に、次工
程において、水含有アルコール溶液中の水による金属ア
ルコキシドの加水分解を制御できるので、調製された金
属アルコキシド配位錯体含有液は、そのまま連続して次
工程へと移すことができる。
工程で調製された金属アルコキシド配位錯体含有液中の
金属イオン濃度が0.01〜3.0モルととなる量の芳
香族化合物溶媒を添加させた後、温度30〜200℃で
の加熱下、金属イオン1モルに対して水0.1〜2.0
モルとなる量の水濃度0.46〜9.2モル/Lの水含
有アルコール溶液を滴下させて、さらに1〜24時間加
熱させて、金属アルコキシドを加水分解させ、金属水酸
化物とすると共に、金属水酸化物を脱水縮合させて、芳
香環の面を基準にして二次元方向に十分に構造規制され
た金属酸化物高分子配位錯体を形成させ、濃縮させる工
程を経た後、金属イオンとして0.05〜5.0モル/
Lとなるように濃度調整させて、本発明の金属酸化物前
駆体溶液を得る。
金属アルコキシド配位錯体含有液中の金属アルコキシド
の脱水縮合を、二次元方向に構造規制させると共に、疎
水性溶媒が水からの攻撃を抑制させ、芳香環の面を基準
にして二次元方向に十分に構造規制された本発明の金属
酸化物前駆体溶液を得るために用いられる。
エトキシベンゼン、ニトロベンゼン、トルエン、キシレ
ン、アニリン、ジメチルアニリン、アセトフェノン、メ
チルベンゾエイト、ナフタレン、エチルベンゼン、ナフ
タリン等があげられる。
コキシド配位錯体含有液中の金属イオンが0.01モル
未満の芳香族化合物溶媒が添加された場合、加水分解速
度が遅くなり、また、3.0モル超の場合、芳香族化合
物溶媒の配位が不十分となり、不都合である。
は、水濃度が0.46〜9.2モル/Lであり、かつア
ルコールが炭素数1〜10のアルコールからなる群から
選ばれた1種以上である。
コール、プロピルアルコール、ブチルアルコール、アミ
ルアルコール、ヘキシルアルコール、ヘプチルアルコー
ル、オクチルアルコール、ノニルアルコール、デシルア
ルコール等があげられる。
6モル未満/Lの場合、金属アルコキシドの加水分解が
抑制されすぎ、9.2モル超/Lの場合、金属アルコキ
シドの加水分解が加速されるため、不都合である。
溶液を得るには、例えば目的とする2種以上の金属塩を
出発原料として用い、アルコール及び塩基性芳香族化合
物と共に加熱させて、金属アルコキシド配位錯体含有液
を得、ついで、加水分解、脱水縮合させて、金属酸化物
前駆体溶液を得る方法、目的とする2種以上の金属の
内、一部の金属塩を出発原料として用い、アルコール及
び塩基性芳香族化合物と共に加熱させて、一部の金属か
らなる金属アルコキシド配位錯体含有液を得、これに、
別に調整された、目的とする2種以上の金属の内、残部
の金属からなる金属酸化物前駆体溶液を加え、加水分
解、脱水縮合させて、目的とする2種以上の金属からな
る金属酸化物前駆体溶液を得る方法、あるいは目的とす
る2種以上の金属の内、一部の金属からなる金属酸化物
前駆体溶液と、目的とする2種以上の金属の内、残部の
金属からなる金属酸化物前駆体溶液とを組合せて、目的
とする2種以上の金属からなる金属酸化物前駆体溶液を
得る方法等があり、いずれでもよい。
ようにして形成される。
体溶液を付着させ、ついで温度20〜150℃で5分〜
1時間乾燥させて、基体上に固着させた後、温度300
〜1100℃で10分〜15時間熱処理させ、結晶化さ
せて、本発明の金属酸化物薄膜を形成させる。
に用いられる基体としては、目的、用途に応じて、材
質、形状、大きさ等適宜選択でき、特に限定されない。
例えば、材質としては、ガラス、金属、セラミックス等
があげられ、また形状、大きさとしては、1枚の厚板、
小断片、ビーズ状球体、リング状物、鎖状物等があげら
れる。
レー塗布、ディップコート、スピンコート、フローコー
ト、スクリーン印刷等により、基体上に付着させる。
一回の工程で形成される金属酸化物薄膜の厚さは、約
0.01〜約7.0μmである。薄膜の厚さは、金属前
駆体溶液中の金属酸化物高分子の重合度及び金属前駆体
溶液濃度により、所望の厚さに制御できる。
は、温度20〜150℃で5分〜1時間乾燥させること
により、金属酸化物前駆体薄膜として固着させる。乾燥
は、溶媒雰囲気下というような特別の条件を必要とせ
ず、自然乾燥あるいは赤外線ランプの照射、乾燥器、電
気炉等により行われる。
150℃超の場合、形成される金属酸化物薄膜が不均一
となり、不都合である。
は、電気炉等を用いて、温度300〜1100℃で10
分〜15時間熱処理させて、結晶化させることにより、
本発明の金属酸化物薄膜が形成される。
化物前駆体薄膜が結晶化せず、不都合である。また11
00℃を超えても、温度300〜1100℃と同様のも
のが得られるだけであり、経済性に劣る。
くない均質、平滑かつ緻密な薄膜であり、基体との密着
性に優れている。また、溶媒雰囲気下という特別な条件
下での乾燥が不要であり、従来より作業性、経済性に優
れている。
製された金属酸化物前駆体溶液を、温度70〜150℃
で1〜10時間乾燥させて固化させた後、温度300〜
1100℃で1〜15時間熱処理させ、結晶化させて、
金属酸化物固体とし、さらに粉砕させることにより得
る。
るつぼ等の適宜選択される容器に入れ、防爆型乾燥機
内、温度60〜200℃で1〜10時間乾燥させて、金
属酸化物前駆体溶液を固化させる。
1100℃で10分〜15時間熱処理させ、結晶化させ
て、金属酸化物固体とする。
砕させて、本発明の金属酸化物固体を得る。粉砕は、ボ
ールミル等通常の方法により行うことができ、特に限定
されない。
例に基き説明する。なお、本発明はこれらの実施例にな
んら限定されない。
モル及び塩基性芳香族化合物溶媒であるアニリン5モル
を混合させた後、温度100℃で10時間加熱させて、
チタンアルコキシド形成反応を行い、チタンアルコキシ
ド配位錯体含有液を得た。次に、芳香族化合物溶媒であ
るベンゼン1Lに対してチタンイオンとして0.5モル
となる量のベンゼンを加え、温度80℃で6時間加熱さ
せた後、さらに、チタンイオン1モルに対して水0.4
モルとなる量の、水濃度1.84モル/Lの水含有ブタ
ノール溶液を滴下させ、温度80℃で12時間加熱させ
て、チタンアルコキシドを加水分解させ、チタン水酸化
物とすると共に、チタン水酸化物を脱水縮合させ、酸化
チタン高分子を形成させて、酸化チタン高分子配位錯体
を形成させ、さらに、エバポレーターを用いて、チタン
イオンとして1.5モル/Lとなるように濃縮させて、
酸化チタン前駆体溶液を得た。得られた溶液は、密閉
下、冷暗所保存で、1年経過後も十分使用できた。
中に、脱脂、洗浄したガラス基体を浸漬させ、ステッピ
ングモーターを用いて、0.15mm/秒の速度で引き
上げ、ついで、空気中、約25℃で1時間、自然乾燥さ
せた後、電気炉内で、空気中、温度500℃で1時間熱
処理をさせた後、室温まで自然放冷させて、ガラス基体
上に酸化チタン薄膜を形成させた。
製F20)で測定した薄膜の厚さは、約1.2μmであ
った。得られた薄膜の表面SEM写真によれば、薄膜
は、クラックが全くなく均質で、平滑かつ緻密であり、
また、ガラス基体との密着性も十分であった。
2モル及び塩基性芳香族化合物溶媒であるピリジン2モ
ルとを混合させた後、温度80℃で10時間加熱させ
て、スズアルコキシド配位錯体含有液を得た。次に、芳
香族化合物溶媒であるエチルベンゼン1Lに対してスズ
イオンとして0.4モルとなる量のエチルベンゼンを加
え、温度110℃で6時間加熱させた後、ついで、スズ
イオン1モルに対して水0.3モルとなる量の、水2.
3モル/Lの水含有ブタノール溶液を滴下させ、温度1
10℃で14時間加熱させて、酸化スズ高分子配位錯体
を形成させ、さらに、エバポレーターを用いて、スズイ
オンとして1.0モル/Lとなるように濃縮させて、酸
化スズ前駆体溶液を得た。得られた溶液は、密閉下、冷
暗所保存で、1年経過後も十分使用できた。
3モル及び塩基性芳香族化合物溶媒であるα−ピコリン
2モルとを混合させた後、温度100℃で12時間加熱
させて、ケイ素アルコキシド配位錯体含有液を得た。次
に、芳香族化合物溶媒であるトルエン1Lに対してケイ
素イオンとして0.5モルとなる量のトルエンを加え、
温度90℃で6時間加熱させた後、ついで、ケイ素イオ
ン1モルに対して水0.4モルとなる量の、水濃度1.
38モル/Lの水含有ペンタノール溶液を滴下させ、温
度90℃で12時間加熱させて、酸化ケイ素高分子配位
錯体を形成させ、さらに、エバポレーターを用いて、ケ
イ素イオンとして1.5モル/Lとなるように濃縮させ
て、酸化ケイ素前駆体溶液を得た。得られた溶液は、密
閉下、冷暗所保存で、1年経過後も十分使用できた。
ール3モル及び塩基性芳香族化合物溶媒であるアニリン
3モルとを混合させた後、温度110℃で8時間加熱さ
せて、ジルコニウムアルコキシド配位錯体含有液を得
た。次に、芳香族化合物溶媒であるベンゼン1Lに対し
てジルコニウムイオンとして0.4モルとなる量のベン
ゼンを加え、温度50℃で6時間加熱させた後、つい
で、ジルコニウムイオン1モルに対して水0.2モルと
なる量の、水濃度0.46モル/Lの水含有ブタノール
溶液を滴下させ、温度70℃で8時間加熱させて、酸化
ジルコニウム高分子配位錯体を形成させ、さらに、ジル
コニウムイオンとして1.5モル/Lとなるように濃縮
させて、酸化ジルコニウム前駆体溶液を得た。得られた
溶液は、密閉下、冷暗所保存で、1年経過後も十分使用
できた。
実施例1と同様にして、ガラス基体上に付着、乾燥、熱
処理させて、厚さ1.2μmの薄膜を得た。
ーン図より、酸化ジルコニウムであることが確認され
た。また、表面SEM写真によれば、薄膜は、クラック
が全くなく均質で、平滑かつ緻密であり、また、ガラス
基体との密着性も十分であった。
0.8モル及び塩基性芳香族化合物溶媒であるアニリン
1.2モルとを混合させた後、温度120℃で8時間加
熱させて、バリウムアルコキシド配位錯体含有液を得
た。次に、得られたバリウムアルコキシド配位錯体含有
液に、チタンイオンとして0.1モルとなる量の、実施
例1で得られた酸化チタン前駆体溶液を加え、さらに、
芳香族化合物溶媒であるベンゼン1Lに対して、バリウ
ムイオン+チタンイオンとして0.5モルとなる量のベ
ンゼンを加えた後、温度80℃で6時間加熱させた後、
ついで、バリウムイオン+チタンイオン1モルに対して
水0.2モルとなる量の、水濃度1.38モル/Lの水
含有ブタノール溶液を滴下させ、温度80℃で8時間加
熱させた後、バリウムイオン+チタンイオンとして1.
5モル/Lとなるように濃縮させて、チタン酸バリウム
前駆体溶液を得た。
ータを用いて、先に得られたチタン酸バリウム前駆体溶
液を塗布させ、空気中、約25℃で1時間、自然乾燥さ
せた後、電気炉を用いて、空気中、温度700℃で1時
間熱処理させた後、室温まで自然冷却させ、厚さ0.5
μmの薄膜を得た。
ーン図より、チタン酸バリウムをであることが確認され
た。また、表面SEM写真によれば、薄膜は、クラック
が全くなく均質で、平滑かつ緻密であり、また、ガラス
基体との密着性も十分であった。
1に準じて得た酸化チタン前駆体溶液と、ジルコニウム
イオンとして0.104モルとなる量の、実施例4に準
じて得た酸化ジルコニウム前駆体溶液とを混合させ、つ
いで、芳香族化合物であるベンゼン1Lに対して、チタ
ンイオン+ジルコニウムイオンとして1モルとなる量の
ベンゼンを加え、温度80℃で5時間加熱させて、酸化
チタン+酸化ジルコニウム前駆体溶液を調製した。次
に、金属有機酸塩である酢酸鉛0.2モルに、先に調製
した酸化チタン+酸化ジルコニウム前駆体溶液を加えた
後、芳香族化合物溶媒であるベンゼン1Lに対して、鉛
イオン+チタンイオン+ジルコニウムイオンとして0.
5モルなる量のベンゼンを加え、温度80℃で2時間加
熱させた後、ついで、鉛イオン1モルに対して水0.2
モルとなる量の、水濃度1.38モル/Lの水含有ブタ
ノール溶液を滴下させ、温度80℃で8時間加熱させた
後、チタンイオン+ジルコニウムイオン+鉛イオンとし
て1.5モルになるよう濃縮させて、PZT前駆体溶液
を得た。
ータを用いて、先に得られたPZT前駆体溶液を塗布さ
せ、空気中、約25℃で1時間、自然乾燥させた後、電
気炉を用いて、空気中、温度450℃で1時間熱処理さ
せた後、室温まで自然冷却させ、厚さ1μmの薄膜を得
た。
ーン図より、PZTのペロブスカイト構造であることが
確認された。また、表面SEM写真によれば、薄膜は、
クラックが全くなく均質で、平滑かつ緻密であり、ま
た、ガラス基体との密着性も十分であった。
れ、乾燥機中、温度60℃で5時間乾燥させ、引き続き
温度200℃で5時間乾燥させて、固化させた後、電気
炉を用いて、空気中、温度500℃で4時間熱処理さ
せ、結晶化させたPZT固体を得た。ついで、乳鉢で粉
砕して、PZT粉体を得た。得られた粉体は、X線回折
パターン図より、PZT粉体であることが確認された。
原料である金属アルコキシド等の代りに、安価な金属塩
とアルコールと塩基性芳香族化合物溶媒から得られる金
属アルコキシド配位錯体含有液を用いて得ることがで
き、取り扱いが容易であり、経済的である。
香環の面を基準にして二次元方向に十分に構造規制され
た金属酸化物高分子配位錯体を含有しており、空気中の
水分に対して極めて安定であり、密閉下、冷暗所保存
時、1年以上経過しても、凝集することなく使用でき、
保存安定性に優れている。
る金属酸化物薄膜は、金属酸化物高分子が、芳香環の面
を基準にしてに二次元方向に十分構造規制されており、
クラックが全くなく均質、平滑かつ緻密な薄膜であり、
基体との密着性に優れている。本発明の金属酸化物薄膜
は、従来のゾルゲル法による微粒子の集合体である薄膜
と比べ、極めて優れた特性を有している。
駆体溶液を乾燥、焼成、粉砕するだけで得られ、複雑な
工程を経ることなく、容易に金属酸化物の粉体が得ら
れ、効率的な作業ができ、経済性にも優れている。
パターン図である。
パターン図である。
パターン図である。
Claims (12)
- 【請求項1】 金属塩、アルコール及び塩基性芳香族化
合物溶媒を加熱させて、金属アルコキシド配位錯体含有
液を形成させ、ついで該金属アルコキシド配位錯体含有
液、芳香族化合物溶媒及び水含有アルコール溶液を加
熱、濃縮させてなることを特徴とする金属酸化物前駆体
溶液。 - 【請求項2】 金属塩が、アルコールとの反応により、
金属アルコキシドを形成させるハロゲン化物または酢酸
塩であることを特徴とする請求項1に記載の金属酸化物
前駆体溶液。 - 【請求項3】 金属塩の金属が、Mg、Al、Si、C
a、Ta、V、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、
Ga、Ge、Cr、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、R
u、In、Sn、Sb、Cs、Ba、Ta、W、Os、
Ir、Pb、Bi、La、Ce、Gdから選ばれた少な
くとも1種以上であることを特徴とする請求項1または
請求項2に記載の金属酸化物前駆体溶液。 - 【請求項4】 アルコールが、炭素数1〜6のアルコー
ルからなる群から選ばれた少なくとも1種以上であるこ
とを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に
記載の金属酸化物前駆体溶液。 - 【請求項5】 塩基性芳香族化合物溶媒が、アニリン、
ピリジン、α−ピコリン、β−ピコリン、γ−ピコリ
ン、ピリダジン、ピリミジンからなる群から選ばれた少
なくとも1種以上であることを特徴とする請求項1から
請求項4のいずれか1項に記載の金属酸化物前駆体溶
液。 - 【請求項6】 芳香族化合物溶媒が、ベンゼン、エトキ
シベンゼン、ニトロベンゼン、トルエン、キシレン、ア
ニリン、ジメチルアニリン、アセトフェノン、メチルベ
ンゾエイト、エチルベンゼン、ナフタリンからなる群か
ら選ばれた少なくとも1種以上であることを特徴とする
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の金属酸化
物前駆体溶液。 - 【請求項7】 芳香族化合物溶媒が、芳香族化合物溶媒
1Lに対して金属イオンが0.01〜3.0モルとなる
量であることを特徴とする請求項1から請求項6のいず
れか1項に記載の金属酸化物前駆体溶液。 - 【請求項8】 水含有アルコール溶液中の水濃度が0.
46〜9.2モル/Lであり、かつアルコールが炭素数
1〜10のアルコールからなる群から選ばれた少なくと
も1種以上であることを特徴とする請求項1から請求項
7のいずれか1項に記載の金属酸化物前駆体溶液。 - 【請求項9】 水含有アルコール溶液が、金属イオン1
モルに対して水0.1〜2.0モルとなる量であること
を特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記
載の金属酸化物前駆体溶液。 - 【請求項10】 基体上に、請求項1から請求項9のい
ずれか1項に記載の金属酸化物前駆体溶液を付着、乾
燥、熱処理させてなることを特徴とする金属酸化物薄
膜。 - 【請求項11】 熱処理温度が、300〜1100℃で
あることを特徴とする請求項10に記載の金属酸化物薄
膜。 - 【請求項12】 請求項1から請求項9のいずれか1項
に記載の金属酸化物前駆体溶液を、乾燥、熱処理、粉砕
させてなることを特徴とする金属酸化物粉体。
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