JP2001059821A

JP2001059821A - 表面検査方法及び装置

Info

Publication number: JP2001059821A
Application number: JP11237208A
Authority: JP
Inventors: Yukinobu Kurokawa; 行修黒川; Akira Kamata; 晃鎌田
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1999-08-24
Filing date: 1999-08-24
Publication date: 2001-03-06
Anticipated expiration: 2019-08-24
Also published as: JP3890430B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ウェブの高精度欠陥検査を行う際の、検査時
間短縮と検査精度の向上とを可能とした表面検査方法及
び装置を提供すること。【解決手段】ウェブ２に検査光を照射して、該ウェブ
２の表面及び内部に存在する欠陥で乱反射した光を光電
素子により検出する表面検査方法である。ロール状に巻
かれたウェブ２を巻き戻して間欠搬送させ、該ウェブ２
の搬送が停止している際に、搬送方向とこれに直交する
方向の両方にその張力を通常該ウェブが製造工程で搬送
される際の値の少なくとも２倍以上作用させつつ、前記
光電素子を移動させてウェブ２の表面を走査し、欠陥と
その欠陥の位置とを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェブの表面及び
内部に存在する欠陥を検出するための表面検査方法及び
装置に関し、特に、検査対象であるウェブに２次元的な
張力を作用させて、その平面性を向上させて検査を行う
ことを可能とした表面検査方法及び装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】写真フイルムの支持体や液晶パネルの偏
光板部材には、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）
やトリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、ポリエチレンナ
フタレート（ＰＥＮ）等のプラスチックフィルムが用い
られている。写真フイルムでは、支持体の表面や内部に
欠陥があると、印画紙に露光現像した際に欠陥像が生ず
る。液晶パネルでは、偏光板部材の欠陥によって液晶の
配向が乱されて目視欠陥が発生する。そのため、欠陥の
少ないプラスチックフイルムを供給することが望まれて
いる。特に、液晶パネルに使用するプラスチックフィル
ムでは、３０μｍ以上の欠陥が無いことが望まれてい
る。

【０００３】プラスチックフイルムの欠陥を減少させる
ために、製造後のプラスチックフイルムには、高精度の
欠陥検査を実施する必要がある。この検査では、製造直
後の幅広のプラスチックフイルムのウェブから検査用の
シートを作成し、この検査用シートを検査員による目視
や、偏光顕微鏡による観察等によって検査しているのが
実状である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、検査員
による目視検査は、およそ５０μｍ以下の大きさの欠陥
を識別することが難しく、更に、作業に対する熟練度合
いや作業時の状態によって検査精度が変化してしまい、
品質管理の面で問題があった。また、偏光顕微鏡による
検査は、目視検査では発見できない微小な欠陥まで見つ
けることができるが、検査に膨大な時間がかかるという
問題がある。

【０００５】更に、ウェブから検査用シートをカットす
る際や、検査用シートを偏光顕微鏡にセットする際に、
検査用シートにゴミや埃等の異物が付着することがあ
り、その異物が製造時のものなのか製造後に付着したも
のなのかが区別できず、検査の正確性に致命的な問題が
あった。

【０００６】上記問題を解決するために、清潔な環境で
製造したウェブロールから巻き戻してウェブを連続搬送
し、この連続搬送されるウェブにレーザー光を照射し、
傷やゴミ等で乱反射したレーザー光を受光器で検出する
ようにした表面検査装置がある（例えば、特許登録第２
６８４４６０号）。しかしながら、この表面検査装置で
は、受光器の検出精度があまり良くなかったことから、
およそ２００μｍ以下の欠陥を検出することができず、
また、検査光の入射が一定方向からとなるため、中には
乱反射しない欠陥もあり、検出されない欠陥が発生する
ことがあった。

【０００７】また、特にフイルムや磁気シート等のよう
に被検査対象が薄い可撓性材料であると、これらの表面
性を極めて均一に保つことは容易ではなかった。このた
め、特に反射光で欠陥を検出する場合、被検査対象にう
ねりや傾きがあると、良品部、欠陥部の反射光が正しく
受光部に入射しなくなり、検出精度が悪くなるといった
問題もあった。

【０００８】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたもので、高精度欠陥検査の時間短縮と検査精度の
向上とを可能とした表面検査方法及び装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明に係る表面検査方法は、ロール状に巻かれ
たウェブを巻き戻して間欠搬送させ、このウェブの搬送
が停止している際に、ウェブの搬送方向とこれに直交す
る方向との両方にその張力を通常該ウェブが製造工程で
搬送される際の値の少なくとも２倍以上作用させつつ、
光電素子を移動させてウェブの表面を走査し、欠陥とそ
の欠陥の位置とを検出するようにしたことを特徴とす
る。また、本発明に係る表面検査方法は、ウェブの同一
部位に、前記光電素子による走査を少なくとも２回行
い、１度目の走査で欠陥の位置を検出し、２度目の走査
で欠陥の状態を識別するようにしたことを特徴とするも
のである。

【００１０】一方、本発明に係る表面検査装置は、ロー
ル状に巻かれたウェブを引き出して間欠搬送させるウェ
ブ搬送部と、該ウェブの停止時に、搬送方向と直交する
方向にその張力を通常該ウェブが製造工程で搬送される
際の値の少なくとも２倍以上作用させる張力作用部材
と、ウェブに検査光を照射する投光部とウェブからの乱
反射光を受光する光電素子とを前記搬送方向と直交する
方向に移動させてウェブの表面を走査させる走査機構と
を設け、欠陥とその欠陥の位置とを検出するようにした
ことを特徴とするものである。

【００１１】また、本発明に係る表面検査装置は、前記
光電素子としてラインＣＣＤを用い、このラインＣＣＤ
の長手方向が前記ウェブの搬送方向に沿うように配置し
たことを特徴とするものである。さらに、ウェブの同一
部位に、前記光電素子による走査を少なくとも２回実施
し、１度目の走査で欠陥の位置を検出し、２度目の走査
で欠陥の形態を撮像するようにしたことを特徴とするも
のである。

【００１２】また、本発明に係る表面検査装置は、投光
部に、受光素子の走査位置の外周を囲むように配置され
た少なくとも一つのリング状ランプ、好ましくは垂直方
向に一定の長さをもった円筒型リング状ランプを用い、
受光素子とともに走査機構によって移動されるようにし
たことを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて、詳細に説明する。図１は、本発明の一実
施形態に係る表面検査装置の構成を示す概略図である。
この表面検査装置は、プラスチックフイルムのウェブ２
がロール状に巻かれたウェブロール３がセットされるウ
ェブ供給部４と、ウェブ２の検査を行う検査部５と、検
査後のウェブ２を巻き取るウェブ回収部６とから構成さ
れている。

【００１４】ウェブ２は、例えば、磁気テープの支持体
として使用されるプラスチックフイルムであり、磁気テ
ープの幅に裁断される前の幅広の状態となっている。ま
た、ウェブ２は、ゴミや埃，傷等がつかないように、両
面にラミネートフイルム７，８が重ねられた状態でロー
ル状に巻かれていることもある。その場合には、ウェブ
供給部４には、ウェブロール３から巻き戻したウェブ２
のラミネートフイルム７，８を剥離して巻き取ることが
必要であり、そのため剥離用ローラ９，１０がウェブ２
の上，下方に配置されている。

【００１５】ウェブロール３から巻き戻されたウェブ２
は、検査部５を経てウェブ回収部６の回収用ローラ１２
に巻き取られる。この回収用ローラ１２は、図示されて
いないモータによってウェブ２を巻き取る方向に間欠回
転される。これにより、ウェブ供給部４のウェブ２は検
査部５に間欠搬送される。ウェブ供給部４と検査部５と
の間には、ウェブ２の静電気を除去するとともに、付着
しているゴミや埃等を吹き飛ばす除電ブロワ１３が配置
されている。

【００１６】検査部５には、ウェブ２に平面性を付与す
る張力作用部材としての一対のローラ１５，１６が配置
されている。この平面性が付与されたウェブ２に対面し
て、ウェブ２に検査光を照射する投光部１７と、光電素
子を含む撮像部１８と、これら投光部１７と撮像部１８
とをウェブ２の搬送方向に直交する方向で移動させる走
査駆動部１９とが配置されている。

【００１７】上述のローラ１５，１６としては、搬送対
象であるウェブ２の幅方向の移動を防止するために、表
面の静止摩擦係数の高いもの、例えば、鏡面化されて表
面粗さが０．４Ｓ以下のものや、合成ゴム層（例えばＮ
ＢＲ８５）を有するものが好ましい。また、ウェブ２
は、その搬送方向に所定の張力、例えば１０ｋｇ／ｍ〜
６０ｋｇ／ｍ程度の張力をかけて搬送される。上記ロー
ラ１５，１６の静止摩擦係数は、ウェブ２に上記範囲の
張力をかけた場合に、ウェブ２がその搬送方向に直交す
る方向に収縮するのを防止するために必要なものであ
る。

【００１８】より詳細に説明すると、上述の、ウェブ２
の搬送方向にかける張力は、通常の製造時にかける５ｋ
ｇ／ｍ程度に比べて少なくとも２倍として、このため、
いわゆるポアソン比による理論で示されるように、ウェ
ブ２の幅方向の収縮しようとする量が通常の製造工程で
の量に比べて大きくなる。しかし、表面の静止摩擦係数
の高いローラ１５，１６が、ウェブ２の幅方向への収縮
を抑制することにより、ウェブ２の幅方向への収縮を防
止するとともに、ローラ１５，１６間に位置するウェブ
２に、その搬送方向と搬送方向と直交する方向との両方
向に所定の張力を作用させることができるものである。
このようなローラ１５，１６を使用することで、検査さ
れる部位の平面性がきわめて均一となり、欠陥検査を容
易かつ高精度に行うことができる。

【００１９】また、図２及び図３に示すように、撮像部
１８は、光電素子である高解像度のラインＣＣＤ２１
と、ウェブ２の表面で反射した光をラインＣＣＤ２１に
結像する結像レンズ２２と、これらが組み込まれる筐体
２３とからなる。ラインＣＣＤ２１は、長手方向がウェ
ブ２の搬送方向に沿うように配置されている。

【００２０】投光部１７は、円筒形状のケース２５と、
このケース２５に収められた複数のリング状ランプ２６
ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄと、各リング状ランプ２６
ａ〜２６ｄの間に配置され、リング状ランプ２６ａ〜２
６ｄから放射された光をウェブ２の表面に向けて照射さ
せる複数の反射板２７ａ，２７ｂ，２７ｃとから構成さ
れている。リング状ランプ２６ａ〜２６ｄとしては、例
えば、リング形状の蛍光灯や、ＥＬ発光素子等が用いら
れる。

【００２１】この投光部１７は、撮像部１８の下方で、
撮像部１８によるウェブ２の撮像位置の周囲を囲むよう
にして配置される。これにより、撮像部１８の撮像位置
に外周から検査光を様々な角度で入射することができ、
色々な反射率や指向性を有する傷やゴミ，埃等で検査光
を乱反射させることができ、表面検査装置の検査精度を
向上させることができる。なお、ウェブ２の下方には、
検出効率を高めるために、黒色の支持板２９が配置され
ている。

【００２２】上記投光部１７と撮像部１８とは、略Ｔ字
形状の支持ステー３１に保持されている。この支持ステ
ー３１は、ウェブ２の幅方向に沿って配置された走査駆
動部に組み込まれており、この走査駆動部によってウェ
ブ２の幅方向に往復移動される。投光部１７はウェブ２
の幅方向に移動しながらウェブ２の表面を照明し、撮像
部１８は投光部１７と一緒に移動しながら、投光部１７
により照明されたウェブ２の表面を撮像する。

【００２３】ウェブ２の欠陥には多種多様なものが存在
し、上記リング状ランプ２６ａ〜２６ｄが最も応用範囲
が広い。しかしながら、図４に示すように、撮像部１８
に対向してウェブ２を挟み込むように配置されたバック
ライト５０による検査光によっても、欠陥検査は可能で
あり、不透明異物や強い傷の類は有効に検出することが
できる。

【００２４】走査駆動部には、撮像部１８と投光部１７
とを移動させる走査機構が内蔵されている。この走査機
構としては、詳しくは図示されていないが、ウェブ２の
幅方向に沿って配置されたプーリーと、このプーリーに
かけられて支持ステー３１が取り付けられたベルトとか
らなり、プーリーがモータで回転される際のベルトの移
動によって支持ステー３１を移動させている。なお、走
査機構は、プーリーとベルトとに限定されるものではな
く、スプロケットとチェーン，ソレノイドとバネ，カム
機構，エアシリンダ，油圧シリンダ，ボールネジとボー
ルナット等を用いることができる。

【００２５】図１に示すように、表面検査装置はコンピ
ュータ３３によって制御される。コンピュータ３３に
は、表面検査装置を制御するための制御プログラムと、
検査の際のスレッシュホールドレベル等の検査条件とが
格納されており、これらに従って表面検査装置の制御が
行われる。

【００２６】また、撮像部１８は、ウェブ２の同一部位
を２回走査し、１度目の走査でウェブ２の欠陥の位置を
検出し、２度目の走査で各欠陥の状態を撮像する。撮像
部１８で撮像された欠陥位置データと欠陥画像データは
コンピュータ３３に入力され、メモリ等の記憶装置に保
存される。また、保存されたデータは、コンピュータ３
３に接続されたモニタ３５によって観察することがで
き、更に、コンピュータ３３に接続されたプリンタ３６
によってプリントアウトして、各種検討に用いることが
できる。このように、欠陥位置の認識と欠陥形状の撮像
とを別々の走査時に行うことで検査速度を飛躍的に高め
ることができ、一度の走査で欠陥位置の認識と欠陥形状
の撮像とを行う場合に比べて、およそ１０倍程度検査時
間の短縮を図ることができる。

【００２７】検査部５とウェブ回収部６との間には、検
査部５で検出された欠陥の位置にマーキングを行うマー
キング装置３８が配置されている。このマーキング装置
３８は、詳しくは図示しないが、ウェブ２にマーキング
を行うプリンタヘッドと、このプリンタヘッドをウェブ
２の幅方向で移動させる移動機構とからなり、コンピュ
ータ３３に保存された欠陥位置データに基づいて移動機
構がプリンタヘッドを移動させ、所定の位置でウェブ２
の表面にマーキングを行う。

【００２８】マーキング装置３８でマーキングするマー
クとしては、例えば、図５に示すように、欠陥の大きさ
によってマーク形状を変更することが有効である。ここ
では、大きな欠陥には同図（Ａ）の五角形マーク４０を
用い、中程度の大きさの欠陥には同図（Ｂ）の四角形マ
ーク４１を用い、小さな欠陥には同図（Ｃ）の円形マー
ク４２を用いるようにしている。これにより、検査後に
欠陥の大きさや分布を容易に調べることができる。な
お、プリンタヘッドには、例えば、インクジェット方式
のものや、インクリボンを使用する熱転写方式等のプリ
ンタヘッドや、背面インク供給型のスタンプ等を用いる
ことができる。

【００２９】次に、図６に示すフローチャートを参照し
て、上記実施形態の表面検査装置の作用について説明す
る。図１に示すように、プラスチックフイルムのウェブ
２は、ロール状に巻かれたウェブロール３の形態で表面
検査装置のウェブ供給部５にセットされる。ウェブ供給
部５にセットされたウェブロール３からは、ウェブ２が
巻き戻され、両面を挟み込んでいるラミネートフイルム
７，８が剥がされてから、検査部５を経てウェブ回収部
６の回収用ローラ１２に係止される。ラミネートフイル
ム７，８は、剥離用ローラ９，１０にそれぞれ係止され
る。このように、ウェブロール３を直接検査装置にセッ
トして検査することができるため、検査用シートを作成
していた従来に比べて検査の正確性が向上する。

【００３０】ウェブ２を表面検査装置にセットした後、
コンピュータ３３を操作して各種設定を行う。ここでの
設定とは、検査する材質やウェブ２の厚み，検査面積，
欠陥の大きさや状態に関するスレッシュホールドレベ
ル，マーキングの実施・不実施等である。

【００３１】設定終了後に検査をスタートさせると、図
示されていないモータが回収用ローラ１２をウェブ巻き
取り方向に間欠回転させ、ウェブ２をウェブ供給部４か
ら引き出して検査部５に間欠搬送する。このとき、ウェ
ブ２は、前述のようなローラ１５，１６の作用により、
搬送方向及びこれに直交する方向の両方に張力をかけら
れ、極めて良好な平面性が得られる。また、図２及び図
３に示すように、投光部１７ではリング状ランプ２６ａ
〜２６ｄが点灯される。ウェブ２の搬送が停止すると、
走査駆動部１９が作動し、支持ステー３１に保持された
投光部１７と撮像部１８とをウェブ２の幅方向に沿って
一定速度で移動させる。その際に撮像部１８ではライン
ＣＣＤ２１が駆動され、投光部１７で照明されたウェブ
２の表面を撮像する。

【００３２】投光部１７をリング状ランプ２６ａ〜２６
ｄで形成する場合には、投光部１７のリング状ランプ２
６ａ〜２６ｄが上下方向で積み重ねられ、反射板２７ａ
〜２７ｃによって反射されていることから、放射された
検査光は様々な角度でウェブ２の表面に入射する。その
ため、ウェブ２の表面及び内部に存在する欠陥がどのよ
うな反射率や指向性を有していても、高い精度で検査光
をウェブ２の欠陥で乱反射させることができる。

【００３３】また、この乱反射した光を検出するのは、
高解像度のラインＣＣＤ２１であるため、従来の受光器
を用いていた検査装置よりも高精度に欠陥を検出するこ
とができる。この１度目の走査である検査スキャニング
の際には、ウェブ２の欠陥の位置が検出され、検査スキ
ャニングで得られた欠陥位置データは、コンピュータ３
３に入力されて記録装置に保存される。

【００３４】検査スキャニングで、予め設定した以上の
レベルの欠陥が発見されなかった場合には、ウェブ２が
再度間欠搬送され、ウェブ２の新たな部分に対して検査
スキャニングが実施される。また、検査スキャニングで
予め設定した以上の大きさの欠陥が発見された場合に
は、投光部１７と撮像部１８とを初期位置に復帰させる
際に、確認スキャニングが行われる。この確認スキャニ
ングでは、検出された各欠陥の撮像が行われる。この欠
陥画像データも、コンピュータ３３に入力され記録され
る。

【００３５】欠陥画像は、後でモニタ３５で観察した
り、プリンタ３６によりプリントアウトする以外に、リ
アルタイムにモニタ３５で観察することもできる。その
際に、欠陥がゴミや埃等のすぐに取り除くことができ
る、悪影響の少ないものならば、コンピュータ３３を操
作して、その欠陥を欠陥位置データと欠陥画像データと
から除外することができる。

【００３６】なお、ウェブ２の幅方向と同じ長さのライ
ンＣＣＤを使用すれば、より検査時間を短縮することが
できるが、表面検査装置のコストが大幅に上昇してしま
う。そのため、本発明では、短いラインＣＣＤでウェブ
２を幅方向に走査するようにして、コストと機能のバラ
ンスを図っている。

【００３７】ウェブ２に欠陥があった場合には、ウェブ
２の間欠搬送後に、コンピュータ３３内に記録されてい
る欠陥位置データに基づいて、ウェブ２の欠陥の位置に
マーキング装置３８によってマーキングが施される。こ
のマーキングは、欠陥の大，中，小に応じて図５（Ａ）
〜（Ｃ）の符号４０〜４１に示すように変えられる。こ
れにより、ウェブ２を直接観察することで、欠陥分布状
況を簡単に調べることができる。

【００３８】以上のような検査スキャニング，確認スキ
ャニング，マーキングが、予め設定した規定面積の検査
が終了するまで繰り返される。規定面積の検査が終了す
ると、検査結果をモニタ３５に表示させて観察したり、
プリンタ３６でプリントアウトして各種検討に用いるこ
とができる。

【００３９】

【実施例】上記実施形態の表面検査装置を、ローラ１
５，１６として表面粗さが０．４Ｓ以下のものを用い、
その間隔を３００ｍｍとして作製した。検査対象として
は、図２に示す幅Ｌが１０００ｍｍ、ＰＥＴ製である支
持体の厚みが１０μｍ、磁性層厚みが３μｍの磁気テー
プ２を用いた。ラインＣＣＤ２１の走査幅Ｌ１は５０ｍ
ｍとし、ラインＣＣＤ２１の解像度を５０００として、
表面検査を行った。磁気テープ２には、その搬送方向に
１３ｋｇ／ｍ及び３０ｋｇ／ｍの張力を与えた。

【００４０】上述の設定によれば何れの場合でも、ロー
ラ１５，１６によって幅方向の収縮が抑制されるため、
検査される部位の平面性が極めて良好となり、最小で２
０μｍの大きさの欠陥を検出し得る速度で投光部１７と
撮像部１８とを移動させても、１ｍ²の面積のウェブ２
を検査するのに５分しかかからなかった。また、マーキ
ングは、平均して５秒／個となった。そのため、検査精
度を向上させながら、ウェブの検査時間を大幅に短縮す
ることができる。

【００４１】上記実施例においては、磁気テープウェブ
の検査を例に説明したが、本発明の表面検査方法及び検
査装置は、透明または不透明な各種ウェブの検査に用い
ることができる。また、ここでは、撮像部と投光部とを
１個ずつ使用したが、これらを２個以上ずつ装備して、
より検査精度を向上させることもできる。なお、撮像部
と投光部とを２個以上ずつ使用する場合、一方を検査ス
キャニング用、他方を確認スキャニング用と分けて使用
してもよい。

【００４２】また、上記実施の形態においては、ローラ
１５，１６として、表面粗さ０．４Ｓ以下のものを用い
た例を示したが、その硬度，表面粗さなどは、検査対象
とするウェブ２の種類，厚みなどに応じて、適宜決定し
てよいことはいうまでもない。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ウェブの検査される部位の良好な平面性が確保されて、
ウェブの欠陥の検査精度を向上させながら検査時間を大
幅に短縮することができるため、このウェブを使用する
磁気テープ，写真フイルム等の製品の品質向上と、製造
効率の向上に大きく貢献する表面検査方法及び装置を実
現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の表面検査装置の構成を示す概略図であ
る。

【図２】検査部の構成を示す斜視図である。

【図３】撮像部及び投光部の要部断面図である。

【図４】別の撮像部及び投光部の要部を示す断面図であ
る。

【図５】マーキングされるマークの例を示す説明図であ
る。

【図６】表面検査装置の動作順序を示すフローチャート
である。

【符号の説明】

２ウェブ３ウェブロール４ウェブ供給部５検査部６ウェブ回収部１５，１６ローラ１７投光部１８撮像部１９走査駆動部２１ラインＣＣＤ２６ａ〜２６ｄリング状ランプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2F065 AA03 AA49 AA61 BB13 BB15 BB23 CC02 FF04 FF44 GG17 JJ02 JJ03 JJ16 JJ25 JJ26 MM03 2G051 AA41 AB02 AC01 AC15 BA01 BA20 BC06 CA03 CA04 CB01 CD06 DA01 DA06 DA15 DA17 EA14 EC01 FA10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェブに検査光を照射し、該ウェブの表
面及び内部に存在する欠陥で乱反射した光を光電素子に
より検出する表面検査方法において、ロール状に巻かれたウェブを巻き戻して間欠搬送させ、
該ウェブの搬送が停止している際に、搬送方向とこれに
直交する方向の両方にその張力を通常該ウェブが製造工
程で搬送される際の値の少なくとも２倍以上作用させつ
つ、前記光電素子を移動させてウェブの表面を走査し、
欠陥とその欠陥の位置とを検出することを特徴とする表
面検査方法。
【請求項２】前期ウェブの同一部位について、前記光
電素子による走査を少なくとも２回行い、一度目の走査
で欠陥の位置を検出し、２度目の走査で欠陥の状態を識
別することを特徴とする請求項１に記載の表面検査方
法。
【請求項３】ウェブに検査光を照射する投光部と、該
ウェブの表面及び内部に存在する欠陥で乱反射された光
を検出する光電素子とを備えた表面検査装置において、ロール状に巻かれたウェブを巻き戻して間欠搬送させる
ウェブ搬送部と、該ウェブの停止時に、搬送方向と直交
する方向にその張力を通常該ウェブが製造工程で搬送さ
れる際の値の少なくとも２倍以上作用させる張力作用部
材と、前記搬送方向と直交する方向に前記光電素子を移
動させて前記ウェブの表面を走査する走査機構とを設
け、欠陥とその欠陥の位置とを検出することを特徴とす
る表面検査装置。
【請求項４】前記光電素子としてラインＣＣＤを用
い、該ラインＣＣＤの長手方向が前記ウェブの搬送方向
に沿うように配置したことを特徴とする請求項３に記載
の表面検査装置。
【請求項５】前記ウェブの同一部位について、前記ラ
インＣＣＤによる走査を少なくとも２回実施し、一度目
の走査で欠陥の位置を検出し、２度目の走査で欠陥の形
態を撮像することを特徴とする請求項４に記載の表面検
査装置。
【請求項６】前記投光部は、受光素子の走査位置の外
周を囲むように配置された少なくとも一つのリング状ラ
ンプからなり、前記受光素子とともに走査機構によって
移動するように構成したことを特徴とする請求項３〜５
のいずれか１項に記載の表面検査装置。
【請求項７】前記リング状ランプは、垂直方向に一定
の長さを持つ円筒型リング状ランプであることを特徴と
する請求項６に記載の表面検査装置。