JP2016014661A - 繊維ガラス及び複合部品内のピンホールを検出するためのシステム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ワークピースの表面内の欠陥を検出するためのシステムであって:
前記ワークピースの前記表面に関して斜角で、前記ワークピースに光を向けるように位置決めされた光源;
前記ワークピースから反射された光を検出し、かつ反射光に対応する光信号を生成するように位置決めされた、少なくとも1つの光検出器;
前記少なくとも1つの光検出器のうちの各々と前記ワークピースとの間に位置決めされた偏光レンズ;及び
前記対応する光信号を受信するために、前記少なくとも1つの光検出器のうちの各々に対して結合されたプロセッサであって、受信した前記光信号の相対的な大きさに基づいて、前記ワークピースの前記表面内の任意の欠陥を検出するために、前記光信号を処理するようにプログラムされた、プロセッサを備える、システム。
前記プロセッサに結合された表示装置を更に備え、かつ前記プロセッサはまた、前記表示装置上で、前記ワークピース及び前記ワークピース上の任意の検出された欠陥を示すビデオ信号を、前記表示装置に対して提供するようにプログラムされている、条項1に記載のシステム。
前記プロセッサに結合されたプリンターを更に備え、かつ前記プロセッサはまた、前記ワークピース及び前記ワークピース上の任意の検出された欠陥を示すプリントアウトを提供するプリント信号を、前記プリンターに対して提供するようにプログラムされている、条項1に記載のシステム。
前記プロセッサに結合され、かつ前記ワークピース上に直接的にプリントするように位置決めされたプリンターを更に備え、かつ前記プロセッサはまた、前記ワークピース上に直接的に任意の検出された欠陥の位置をプリントするために、前記プリンターに対してプリント信号を提供するようにプログラムされている、条項1に記載のシステム。
前記少なくとも1つの光検出器は、2つの光検出器を備える、条項1に記載のシステム。
各々の光検出器は、カメラを備える、条項5に記載のシステム。
各々のカメラは、光照射野(light‐field)カメラを備える、条項6に記載のシステム。
前記光源は、指向性線状光源である、条項1に記載のシステム。
ワークピースの表面内の欠陥を検出するためのシステムであって:
コンベアベルトの上方に位置決めされた走査ヘッドにおいて:
前記ワークピースの前記表面に関して斜角で、前記ワークピースに光を向けるように位置決めされた光源;
前記ワークピースから反射された光を検出し、かつ反射光に対応する光信号を生成するように位置決めされた少なくとも1つの光検出器;
前記少なくとも1つの光検出器のうちの各々と前記ワークピースとの間に位置決めされた偏光レンズ;及び
前記対応する光信号を受信するために前記少なくとも1つの光検出器のうちの各々に対して結合されたプロセッサであって、受信した前記光信号の相対的な大きさに基づいて、前記ワークピースの前記表面内の任意の欠陥を検出するために、前記光信号を処理するようにプログラムされた、プロセッサを備える、走査ヘッドを備え、かつ
前記コンベアベルトは、前記走査ヘッドの下で前記ワークピースを位置決めするためのものである、システム。
前記プロセッサに結合された表示装置を更に備え、かつ前記プロセッサはまた、前記表示装置上で、前記ワークピース及び前記ワークピース上の任意の検出された欠陥を示すビデオ信号を、前記表示装置に対して提供するようにプログラムされている、条項9に記載のシステム。
前記プロセッサに結合されたプリンターを更に備え、かつ前記プロセッサはまた、前記ワークピース及び前記ワークピース上の任意の検出された欠陥を示すプリントアウトを提供するプリント信号を、前記プリンターに対して提供するようにプログラムされている、条項10に記載のシステム。
前記プロセッサに結合され、かつ前記ワークピースが前記コンベアベルト上の前記走査ヘッドの下を通過した後に、前記ワークピース上に直接的にプリントするように位置決めされたプリンターを更に備え、かつ前記プロセッサはまた、前記ワークピース上に直接的に任意の検出された欠陥の位置をプリントするために、前記プリンターに対してプリント信号を提供するようにプログラムされている、条項10に記載のシステム。
前記少なくとも1つの光検出器は、2つの光検出器を備える、条項10に記載のシステム。
各々の光検出器は、カメラを備える、条項13に記載のシステム。
各々のカメラは、光照射野(light‐field)カメラを備える、条項14に記載のシステム。
前記光源は、指向性線状光源である、条項10に記載のシステム。
ワークピースの表面内の欠陥を検出する方法であって:
前記ワークピースの前記表面に関して斜角で、前記ワークピースに光を向けるステップ;
少なくとも1つの光検出器において、偏光レンズを通して前記ワークピースから反射した光を検出するステップ;
前記少なくとも1つの光検出器のうちの各々において、検出された反射光に対応する光信号を生成するステップ;
プロセッサにおいて、前記少なくとも1つの光検出器のうちの各々からの前記光信号の相対的な大きさに基づいて、前記ワークピースの前記表面内の任意の欠陥を検出するために、前記少なくとも1つの光検出器のうちの各々からの前記光信号を処理するステップを含む、方法。
前記プロセッサに結合された表示装置に、前記ワークピース内の各々の検出された欠陥の位置を示す、ビデオ表示を提供するステップを更に含む、条項17に記載の方法。
前記プロセッサに結合されたプリンターに、前記ワークピースの中の各々の検出された欠陥の位置を示す、プリントアウトを提供するステップを更に含む、条項17に記載の方法。
前記プロセッサに結合されたプリンターを介して、前記ワークピース内の各々の検出された欠陥の位置を、直接的に前記ワークピース上にプリントするステップを更に含む、条項17に記載の方法。
101 コア部
102 シェル部
103a‐c ピンホール
104a‐e 光線
105 偏光フィルター
106 カメラ
200 システム
201 光源
202 光線
203 反射光
204 偏光フィルター
205 カメラ
206 プロセッサ
207 表示装置
209 出力装置
300 システム
301 コンベア
302 走査ヘッド
303 カメラ
304 カメラ
305 光源
305a 光線
306 プリンター
401 ステップ
402 ステップ
403 ステップ
404 ステップ
405ステップ
Claims (12)
- ワークピース(100)の表面内の欠陥を検出するためのシステム(200)であって:
前記ワークピース(100)の前記表面に関して斜角で、前記ワークピース(100)に光を向けるように位置決めされた光源(201);
前記ワークピース(100)から反射された光を検出し、かつ反射光(203)に対応する光信号を生成するように位置決めされた、少なくとも1つの光検出器(205);
前記少なくとも1つの光検出器(205)のうちの各々と前記ワークピース(100)との間に位置決めされた偏光レンズ(204);及び
前記対応する光信号を受信するために、前記少なくとも1つの光検出器のうちの各々に対して結合されたプロセッサ(206)であって、受信した前記光信号の相対的な大きさに基づいて、前記ワークピースの前記表面内の任意の欠陥を検出するために、前記光信号を処理するようにプログラムされた、プロセッサ(206)を備える、システム(200)。 - 前記プロセッサ(206)に結合された表示装置(207)を更に備え、かつ前記プロセッサ(206)はまた、前記表示装置(207)上で、前記ワークピース(100)及び前記ワークピース(100)上の任意の検出された欠陥を示すビデオ信号を、前記表示装置(207)に対して提供するようにプログラムされている、請求項1に記載のシステム(200)。
- 前記プロセッサ(206)に結合されたプリンター(209)を更に備え、かつ前記プロセッサ(206)はまた、前記ワークピース(100)及び前記ワークピース(100)上の任意の検出された欠陥を示すプリントアウトを提供するプリント信号を、前記プリンター(209)に対して提供するようにプログラムされている、請求項1又は2に記載のシステム(200)。
- 前記プロセッサ(206)に結合され、かつ前記ワークピース(100)上に直接的にプリントするように位置決めされたプリンター(209)を更に備え、かつ前記プロセッサ(206)はまた、前記ワークピース(100)上に直接的に任意の検出された欠陥の位置をプリントするために、前記プリンター(209)に対してプリント信号を提供するようにプログラムされている、請求項1又は2に記載のシステム(200)。
- 前記少なくとも1つの光検出器(205)は、2つの光検出器を備える、請求項1から4のいずれか一項に記載のシステム(200)。
- 各々の光検出器は、カメラ(205)を備える、請求項5に記載のシステム(200)。
- 各々のカメラ(205)は、光照射野(light‐field)カメラを備える、請求項6に記載のシステム(200)。
- 前記光源(201)は、指向性線状光源(directional linear light source)である、請求項1から7のいずれか一項に記載のシステム(200)。
- ワークピースの表面内の欠陥を検出するためのシステム(200、300)であって:
コンベアベルト(301)の上方に位置決めされた走査ヘッド(302)において:
前記ワークピース(100)の前記表面に関して斜角で、前記ワークピース(100)に光を向けるように位置決めされた光源(201、305);
前記ワークピース(100)から反射された光を検出し、かつ反射光(203)に対応する光信号を生成するように位置決めされた、少なくとも1つの光検出器(205、303、304);
前記少なくとも1つの光検出器のうちの各々と前記ワークピース(100)との間に位置決めされた偏光レンズ(204);及び
前記対応する光信号を受信するために、前記少なくとも1つの光検出器(205、303、304)のうちの各々に対して結合されたプロセッサ(206)であって、受信した前記光信号の相対的な大きさに基づいて、前記ワークピースの前記表面内の任意の欠陥を検出するために、前記光信号を処理するようにプログラムされた、プロセッサ(206)を備える、走査ヘッド(302)を備え、かつ
前記コンベアベルト(301)は、前記走査ヘッド(302)の下で前記ワークピース(100)を位置決めするためのものである、システム(200、300)。 - 前記プロセッサ(206)に結合された表示装置(207)を更に備え、かつ前記プロセッサ(206)はまた、前記表示装置(207)上で、前記ワークピース(100)及び前記ワークピース(100)上の任意の検出された欠陥を示すビデオ信号を、前記表示装置(207)に対して提供するようにプログラムされている、請求項9に記載のシステム(200、300)。
- 前記プロセッサ(206)に結合され、かつ前記ワークピース(100)が前記コンベアベルト上の前記走査ヘッドの下を通過した後に、前記ワークピース(100)上に直接的にプリントするように位置決めされたプリンター(209、306)を更に備え、かつ前記プロセッサ(206)はまた、前記ワークピース(100)上に直接的に任意の検出された欠陥の位置をプリントするために、前記プリンター(209、306)に対してプリント信号を提供するようにプログラムされている、請求項9又は10に記載のシステム(200、300)。
- ワークピース(100)の表面内の欠陥を検出する方法であって:
前記ワークピース(100)の前記表面に関して斜角(401)で、前記ワークピースに光を向けるステップ;
少なくとも1つの光検出器(205、303、304)において、偏光レンズ(204)(402)を通して、前記ワークピースから反射した光(203)を検出するステップ;
前記少なくとも1つの光検出器(205、303、304)のうちの各々において、検出された反射光(203)に対応する光信号を生成するステップ;
プロセッサ(206)において、前記少なくとも1つの光検出器(205、303、304)(403)のうちの各々からの前記光信号の相対的な大きさに基づいて、前記ワークピース(100)の前記表面内の任意の欠陥を検出するために、前記少なくとも1つの光検出器(205、303、304)のうちの各々からの前記光信号を処理するステップを含む、方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/309,713 | 2014-06-19 | ||
US14/309,713 US9217713B1 (en) | 2014-06-19 | 2014-06-19 | System and method for detecting pin-holes in fiberglass and composite parts |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016014661A true JP2016014661A (ja) | 2016-01-28 |
JP6602061B2 JP6602061B2 (ja) | 2019-11-06 |
Family
ID=53489834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015118521A Active JP6602061B2 (ja) | 2014-06-19 | 2015-06-11 | 繊維ガラス及び複合部品内のピンホールを検出するためのシステム及び方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9217713B1 (ja) |
EP (1) | EP2957901B1 (ja) |
JP (1) | JP6602061B2 (ja) |
CN (1) | CN105319217B (ja) |
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JP2012032251A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
JP2013195368A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Hitachi Metals Ltd | 欠陥検出装置 |
JP2014035183A (ja) * | 2012-08-07 | 2014-02-24 | Toray Eng Co Ltd | 繊維強化プラスチックテープの貼付状態を検査する装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105319217B (zh) | 2020-01-31 |
EP2957901A1 (en) | 2015-12-23 |
JP6602061B2 (ja) | 2019-11-06 |
EP2957901B1 (en) | 2020-10-28 |
CN105319217A (zh) | 2016-02-10 |
US20150369749A1 (en) | 2015-12-24 |
US9217713B1 (en) | 2015-12-22 |
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