JP2010127909A - フィルムの検査装置及びこれを備えた光透過性のフィルムの製造装置、並びにフィルムの検査方法及びこれを用いた光透過性のフィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 光透過性のフィルム4の欠陥測定位置を常にカメラに対し一定に保つことができ、光透過性のフィルム4の正確な欠陥測定のできる、フィルムの検査装置1の提供。
【解決手段】 光透過性のフィルム4を接触部で支持しながら搬送する支持ローラ2と、前記接触部におけるフィルム4に光を照射する光照射装置3と、光照射装置3から照射されフィルム4を透過した光を検知する検知装置5とを備え、好ましくは接触部の前後で支持ローラ2ととともにフィルム4を挟持する補助ローラを備えることを特徴とするフィルムの検査装置。
【選択図】 図2
【解決手段】 光透過性のフィルム4を接触部で支持しながら搬送する支持ローラ2と、前記接触部におけるフィルム4に光を照射する光照射装置3と、光照射装置3から照射されフィルム4を透過した光を検知する検知装置5とを備え、好ましくは接触部の前後で支持ローラ2ととともにフィルム4を挟持する補助ローラを備えることを特徴とするフィルムの検査装置。
【選択図】 図2
Description
本発明は、フィルムの検査装置及びこれを備えた光透過性のフィルムの製造装置、並びにフィルムの検査方法及びこれを用いた光透過性のフィルムの製造方法に関する。
近年、偏向板、位相差板等の光学フィルム、或いは、フレキシブルディスプレイの研究が盛んになっており、光学フィルム等の欠陥検査が重要になっている。これらの光学フィルム等に対し、光を照射し透過光を受光して欠陥を検査する欠陥検査方法は良く知られている。
例えば、図6に示すような、光透過性のフィルムやシートの欠陥検査装置が知られている。図6は、連続式の光透過性フィルムの検査装置の概略図であり、このフィルム検査装置10は、それぞれ上下一対のフィルム送りローラ17a,17b及びフィルム受け取りローラ18a,18bを備え、光透過性フィルム14をそれぞれのローラ対で挟持しながらローラを回転させて、光透過性フィルム14を左から右へと搬送する。ふたつのローラ対の間にある光源13から照射された光は、光透過性フィルム14を透過して受光用のカメラ15に到達する。カメラ15は、光透過性フィルム14に焦点が合わされており、光透過性フィルム14に欠陥があると、透過光16の変化によりその欠陥を認識できる。なお、通常は、光源14及びカメラ15は、図6の紙面奥に向かって、ほぼ連続的に細長い形状をしており、光透過性フィルム14の横幅いっぱいに、同時に欠陥測定ができるようになっている。
上記のフィルム検査装置を改良した装置が種々提案されており、例えば、特許文献1には、連続的に移送される透明シート状成形体の片側から、透明シート状成形体に対し斜め方向から高輝度、高指向性の光を照射し、透明シート状成形体を透過してきた光を、反対側の画像入力装置で受光して、あらかじめ設定した高明度閾値と低明度閾値を連続して超える場合を、欠陥と判断する透明シート状成形体の欠陥検査法が提案されている。
特許文献2には、偏光フィルムの欠陥検査方法が開示されており、この偏光フィルムの欠陥検査方法では、偏光フィルムに光源から光を照射し、透過光を、この偏光フィルムとほぼ直角の方向に偏光方向を有する偏光板を通して観察し、その明るさの変化によって、偏光フィルムの表又は裏に欠陥があることを判断している。
特許文献3には、反り等の変形のある枚葉フィルムの欠陥を、フィルム全面にわたって光学的に精度よく容易に検査する検査装置が提案されている。この検査装置は、それぞれ上下一対の送りローラ及び受け取りローラの間を搬送されていく枚葉フィルムを、その中間で上下に光照射光源と受光カメラを配置して、枚葉フィルムの欠陥を検査するものであり(図6参照)、さらに、送りローラのフィルム搬送方向手前側に、上側に浮き矯正ローラ、下側に高さ保持ローラを備えているフィルムの欠陥検査装置である。
特開2005−201783号公報
特開2001−349839号公報
特開平8−128968号公報
図6に示した従来の光透過性のフィルムやシートの欠陥検査装置や、特許文献1〜3に提案されている光透過性のフィルムやシートの欠陥検査方法、欠陥検査装置においては、光透過性のフィルムやシートに光照射してその透過光を測定するため、測定対象の光透過性のフィルムやシートと、光透過性のフィルムに光照射するための光源と、光透過性のフィルムからの透過光を撮影するカメラとは、同じ空間にあることを前提としている。この為、検査対象となる光透過性のフィルムやシートが空間に浮いている状態で測定していることになる。検査対象が、樹脂板やガラス板の様な硬い厚手のシート状物であれば、このような状態でも問題はないが、薄く柔らかいフィルムなどの場合、検査空間において、搬送中のフィルムの一部が垂れ下がったり、反ったり、波打ったりといった変形が起こる恐れがある。
検査空間での光透過性のフィルムの変形により、光透過性のフィルムの検査位置がカメラの焦点位置からずれると、カメラの撮影画像がぼけてしまい、正確な欠陥測定が困難になる。特に、精密に欠陥検査を行うためには、カメラを高解像度とし、小さな欠陥も検出できるようにする必要があるが、カメラを高解像度とするためには、カメラの焦点位置と撮影位置を厳密に合わせる必要があり、カメラと光透過性のフィルムの検査位置との距離を一定に保つことがより重要となる。しかし、上記のフィルムやシートの欠陥検査方法や欠陥検査装置においては、検査対象のフィルムやシートが空間にあり、その位置を常に一定にしておくことが困難であった。測定位置付近でのフィルムの変形を抑えるために、送りローラと受け取りローラの間のフィルムにテンションをかける方法が知られていおり、搬送方向への変形はある程度解消できるが、搬送方向に垂直な幅方向の反りや波打ちなどにはあまり効果が発揮できない。
本発明の目的は、上記問題点を踏まえ、光透過性のフィルムの欠陥測定位置を常に検知装置に対し一定に保つことができ、光透過性のフィルムの正確な欠陥測定のできる、フィルムの検査装置及びこれを備えた光透過性のフィルムの製造装置、並びにフィルムの検査方法及びこれを用いた光透過性のフィルムの製造方法を提供することである。
本発明は、光透過性のフィルムを接触部で支持しながら搬送する支持ローラと、前記接触部において前記フィルムに光を照射する光照射装置と、前記光照射装置から前記フィルムに照射され前記フィルムを透過した透過光を検知する検知装置とを備えることを特徴とするフィルムの検査装置である。
好ましい本発明は、前記接触部よりもフィルム搬送方向の前及び/又は後に、前記ローラとともに前記フィルムを挟持する補助ローラを備えることを特徴とする前記フィルムの検査装置である。
好ましい本発明は、前記接触部は、前記フィルムの搬送方向に所定の幅を有することを特徴とする前記フィルムの検査装置である。
好ましい本発明は、前記支持ローラは、前記フィルムとの接触部が光透過性であり、前記光照射装置は、前記支持ローラ内部に配置した光源を有することを特徴とする前記フィルムの検査装置である。
好ましい本発明は、前記補助ローラは、前記支持ローラの軸方向に沿って、前記支持ローラとともに前記フィルムの幅全体にわたって前記フィルムを挟持することを特徴とする前記フィルムの検査装置である。
好ましい本発明は、前記補助ローラは、前記支持ローラの軸方向に沿って、前記支持ローラとともに前記フィルムの幅の端部を含む一部を挟持することを特徴とする前記フィルムの検査装置である。
好ましい本発明は、前記接触部の異物を除去するクリーニング装置をさらに備えることを特徴とする前記フィルムの検査装置である。
好ましい本発明は、前記支持ローラと前記補助ローラとのフィルム挟持部における接線は、垂直に対して0〜90度の角度を有することを特徴とする前記フィルムの検査装置である。
本発明は、前記のいずれかのフィルムの検査装置を備えたことを特徴とする光透過性フィルムの製造装置である。
本発明は、光透過性のフィルムを支持ローラによって接触部で支持しながら搬送するフィルム支持工程と、前記接触部において前記フィルムに光を照射する光照射工程と、前記フィルムに照射され前記フィルムを透過した光を検知装置で検知する光検知工程とを備えることを特徴とするフィルムの検査方法である。
好ましい本発明は、前記接触部のフィルム搬送方向の前及び/又は後に補助ローラを備え、前記フィルム支持工程においては、前記支持ローラと前記補助ローラとによって前記フィルムを挟持することを特徴とする前記フィルムの検査方法である。
好ましい本発明は、前記接触部は、前記フィルムの搬送方向に所定の幅を有することを特徴とする前記フィルムの検査方法である。
好ましい本発明は、前記支持ローラは、前記フィルムとの接触部が光透過性であり、前記光照射工程は、前記支持ローラ内部に配置された光源から前記接触部に光を照射することを特徴とする前記フィルムの検査方法である。
好ましい本発明は、前記補助ローラは、前記支持ローラの軸方向に沿って、前記支持ローラとともに前記フィルムの幅全体にわたって前記フィルムを挟持することを特徴とする前記フィルムの検査方法である。
好ましい本発明は、前記補助ローラは、前記支持ローラの軸方向に沿って、前記支持ローラとともに前記フィルムの幅の端部を含む一部を挟持することを特徴とする前記フィルムの検査方法である。
好ましい本発明は、前記接触部の異物を除去するクリーニング工程を、さらに備えたことを特徴とする前記フィルムの検査方法である。
本発明は、欠陥検査前の光透過性の粗フィルムを、前記のいずれかのフィルムの検査方法により検査して、フィルムを選別することを特徴とする光透過性フィルムの製造方法である。
本発明によれば、光透過性のフィルムの欠陥測定位置を常に検知装置に対し一定に保つことができ、光透過性のフィルムの正確な欠陥測定のできる、フィルムの検査装置及びこれを備えた光透過性のフィルムの製造装置、並びにフィルムの検査方法及びこれを用いた光透過性フィルムの製造方法を提供することができる。
本発明のフィルムの検査装置を実施形態1〜5として説明する。なお、本発明のフィルムの検査装置は、これらの実施形態に限るものではなく、本発明の目的の範囲内で変形、変更することができる。また、この実施形態1〜5のフィルムの検査装置の説明は、本発明のフィルムの検査方法、本発明の光透過性フィルムの製造装置、及び光透過性フィルムの製造装置の説明にも共通するものである。
(実施形態1)
実施形態1のフィルム検査装置(1)を図1に示す。本発明の実施形態1であるフィルム検査装置(1)は、透光性のフィルム4を接触部に接触させながら支持して搬送する支持ローラ2と、接触部においてフィルム4に光を照射する光照射装置である光源3と、フィルム4を介して支持ローラ2と対向する位置に配置された検知装置であるカメラ5とを備えている。フィルム検査装置(1)を参照にして、本発明のフィルム検査装置、及び本発明のフィルム検査方法について説明する。
実施形態1のフィルム検査装置(1)を図1に示す。本発明の実施形態1であるフィルム検査装置(1)は、透光性のフィルム4を接触部に接触させながら支持して搬送する支持ローラ2と、接触部においてフィルム4に光を照射する光照射装置である光源3と、フィルム4を介して支持ローラ2と対向する位置に配置された検知装置であるカメラ5とを備えている。フィルム検査装置(1)を参照にして、本発明のフィルム検査装置、及び本発明のフィルム検査方法について説明する。
支持ローラ2とフィルム4の接触部は、フィルム4の搬送方向に所定の幅mを有し、フィルム4と支持ローラ2は、線接触ではなく、面接触をしている。なお、所定の幅mは、カメラ5で撮影し、欠陥検査ができる範囲の幅があればよい。そして、フィルム4の搬送方向に対して接触部より手前におけるフィルム4の搬送方向と、接触部より後方におけるフィルム4の搬送方向とは、支持ローラ2を挟んで180度よりも小さい角度をなしている。通常は、フィルム検査装置(1)で検査するフィルム4は、長尺フィルムであり、フィルム4の搬送方向に緊張した状態で搬送されている。言い換えれば、支持ローラ2が、その軸方向を搬送方向に直角にして、フィルム4を押圧するように接触して支持している。このように、フィルム4は、弛みなく搬送されているので、支持ローラ2とフィルム4の接触部においては、支持ローラ2とフィルム4は密着した状態で接触している。カメラ5は支持ローラ2に対し一定の距離で固定されているので、フィルム4の支持ローラ2との接触部は、常にカメラ5と一定の距離を保つことができる。この為、カメラ5は、フィルム4の接触部を常にピントの合った状態で撮影できる。
通常、支持ローラ2は、フィルム4の搬送速度と同じ周速度で回転している。支持ローラ2をローラに駆動装置を配置して回転させ、フィルム4を搬送する駆動力に利用してもよいし、支持ローラ2は自由回転可能なローラとしておき、フィルム4の巻き取り装置などによる搬送力に伴って、支持ローラ2が連れまわりするようにしておいてもよい。さらに、支持ローラ2は必ずしも回転する必要はなく、フィルム4が支持ローラ2の上をスムースに滑って搬送されていてもよい。この場合、光照射装置は、支持ローラ2のフィルムとの接触部のみから光が照射できる構造であればよいので、支持ローラ2の接触部を透明にしておけば、支持ローラ全体が透明である必要もなくなる。この支持ローラ2の動作がフィルム支持工程にあたる。
支持ローラ2は、どのような材料で構成されていてもよいが、透明な材料で形成されていることが好ましい。特に、フィルム検査装置(1)のように支持ローラ2内部に光源3を備えたタイプのフィルム検査装置では、支持ローラ2は光源3から出射される光の透過性が高い透明材料で形成することが好ましい。具体的には、支持ローラ2の材料としては、高光透過率のガラスやアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、その他の透明樹脂材料を挙げることができる。
フィルム検査装置(1)においては、光照射工程として、支持ローラ2の内部に光源3を有し、光源3から出射される光は、フィルム4の支持ローラ2との接触部に照射されている。光源3は、例えば、検査用照明としてよく用いられているメタルハライドランプ、ハロゲンランプ、LEDランプ等を用いることができる。フィルム4の照射光は、照射光がフィルム4の接触部を介してカメラ5の受光部に向かっていれば、光ファイバーからの出射光やその他の光でも良い。また、LEDランプには各色が用いられるが、白色、赤色、青色等特にどのような色でも良く、検査対象物の色や欠陥の色などを勘案して、検出精度が上がる色を用いればよい。
フィルムとの接触部に照射された光は、透明な支持ローラ2と光透過性のフィルム4を通過して透過光6となり、透過光6はカメラ5に到達する。検知装置であるカメラ5の受光部は、フィルム4のローラとの接触部を撮影するように、支持ローラ2とフィルム4の接触部に臨んでおり、透過光6を受光してフィルム4のローラとの接触部を撮影し、フィルム4中の欠陥を検知する。なお、撮影画像からの欠陥の検知は、目視でもよいが、通常は画像処理装置により実行される。この工程が光検知工程である。
このフィルム検査装置(1)においては、カメラ5がフィルム4の支持ローラ2に密着している接触部を撮影するので、カメラ5とフィルム4の距離が変動することがない。カメラ5は、一旦、正確にフィルムに焦点を合わされていれば、フィルム4搬送中に撮影画像に焦点距離の変動によるぼけが生じる恐れがない。この為、カメラ5は、常にフィルム4の明瞭な撮影画像を得ることができ、精密にフィルム4上の欠陥を検知することができる。
図1は、フィルム検査装置(1)の正面図であるが、フィルム4は、ローラの軸方向に幅を持って搬送されているので、光源3及びカメラ5の受光部は、それぞれローラの軸方向にフィルム4の幅に相当する長さで照射し、撮影できることが好ましい。光源3及びカメラ5の受光部がフィルム4の幅に相当する長さで照射し撮影できれば、フィルムの幅方向(フィルム4の搬送方向に垂直な方向をフィルム4の幅方向とする。)全体の欠陥を検査することができる。フィルムの幅方向全体の検査においては、光源3として、発光ダイオード(LED)をフィルム幅だけ細長く並べて配置し、カメラ5として、CCDカメラの受光部をフィルム幅だけ、LEDと対向するように細長く並べて配置すれば、同時にフィルムの幅方向全体を撮影し欠陥検査ができる。また、光源3及び/又はカメラ5は、フィルム4の幅方向に走査できるようにして、幅方向全体を光源3及び/又はカメラ5で走査しながら欠陥検査してもよい。フィルム4を搬送しながら、幅方向全体の欠陥検査を繰り返していけば、フィルム4全体の欠陥検査が連続的にできる。
フィルム検査装置(1)の変形例として、光源3とカメラ5の位置を図1とは逆にしてもよい。この場合、光源3が図1におけるカメラ5の位置にあり、支持ローラ2の外側からフィルム4に光を照射し、フィルム4の透過光を支持ローラ2の内部に配置したカメラで撮影して、フィルムの欠陥検査をすることができる。
フィルム4の搬送速度は、カメラの分解能及び低速の際の画像データの膨大化とタクトダウン、高速の際に発生するフィルム4の微妙な振動による影響を抑えられれば、特に制限はない。通常、フィルム4の搬送速度は、100mm/分〜10000mm/分とすればよい。
検査対象のフィルム4の材質に制限はないが、光透過性のフィルムである必要がある。光透過性であれば、透明である必要はないし、有色であってもよい。具体的なフィルムとしては、光学フィルムとして使用されているPC(ポリカーボネート)、PEN(ポリエチレンナフタレート)、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PMMA(アクリル系樹脂)等のフィルムが挙げられる。上記以外の材質のフィルでも全く問題はなく、また積層タイプのフィルムでも良い。
フィルム検査装置(1)は、支持ローラ2の接触部となる表面に付着した異物を除去するためのクリーニング装置9を備えている。フィルム検査装置(1)においては、クリーニング装置9は、表面に粘着層を形成したローラであり、支持ローラ2の表面に接触しながら回転することにより、支持ローラ2の表面に付着したホコリや塵などを除去し、フィルム4の欠陥検査の誤差要因を取り除いている。
検査対象のフィルム4は、帯電し易い材料が多いので帯電防止材を含んでいる場合が多いが、含んでいない場合もある。帯電防止材を含んでいないフィルム4は、ホコリなどの異物を吸着しやすく、フィルム4に吸着した異物が支持ローラ2上に付着すると、欠陥の誤認を発生させたり、検査対象のフィルム03に再付着したり、新たな欠陥を発生させたりすることがある。これらの異物を除去するクリーニング装置9は、粘着層を形成したローラ以外にも、例えば、静電吸着タイプの清掃冶具、イオナイザー、液体タイプの清掃装置(支持ローラ2の一部を洗浄液中に浸漬しながら回転させ、洗浄液から出てきた支持ローラ2から液切ローラやエアナイフ等で液体を除去する構造の装置)、又は粘着テープによる支持ローラ2上のホコリ除去等がある。
(実施形態2)
本発明の実施形態2のフィルム検査装置(2)を図2に示す。図2において、(a)は、図1と同じようにフィルム検査装置(2)の正面図であり、(b)はフィルム検査装置(2)の平面図である。本発明の実施形態2であるフィルム検査装置(2)は、上述のフィルム検査装置(1)における支持ローラ2のフィルム搬送方向の接触部の前後両端に、それぞれ補助ローラ7、8を備えている。支持ローラ2と補助ローラ7及び8とは、それぞれほぼ接しており、その間にフィルム4を挟持して搬送する。補助ローラ7と補助ローラ8は、搬送方向に沿って支持ローラ2とフィルム4の接触部の前後両側に配置されることになり、補助ローラ7と補助ローラ8によってフィルム4が支持ローラ2に押圧される状態になり、フィルム4が確実に支持ローラ2に密着されることになる。この場合、補助ローラ7と補助ローラ8の回転抵抗、又は駆動力を調整することで、フィルム4の支持ローラ2上への密着の程度を制御することができる。例えば、フィルム4が搬送方向下流で巻き取られているとき、巻き取りに対する律速抵抗を補助ローラ7に担わせることにより、フィルム4は確実に支持ローラ2に密着する。
本発明の実施形態2のフィルム検査装置(2)を図2に示す。図2において、(a)は、図1と同じようにフィルム検査装置(2)の正面図であり、(b)はフィルム検査装置(2)の平面図である。本発明の実施形態2であるフィルム検査装置(2)は、上述のフィルム検査装置(1)における支持ローラ2のフィルム搬送方向の接触部の前後両端に、それぞれ補助ローラ7、8を備えている。支持ローラ2と補助ローラ7及び8とは、それぞれほぼ接しており、その間にフィルム4を挟持して搬送する。補助ローラ7と補助ローラ8は、搬送方向に沿って支持ローラ2とフィルム4の接触部の前後両側に配置されることになり、補助ローラ7と補助ローラ8によってフィルム4が支持ローラ2に押圧される状態になり、フィルム4が確実に支持ローラ2に密着されることになる。この場合、補助ローラ7と補助ローラ8の回転抵抗、又は駆動力を調整することで、フィルム4の支持ローラ2上への密着の程度を制御することができる。例えば、フィルム4が搬送方向下流で巻き取られているとき、巻き取りに対する律速抵抗を補助ローラ7に担わせることにより、フィルム4は確実に支持ローラ2に密着する。
フィルム検査装置(2)におけるフィルム4の欠陥検査方法は、上述のフィルム検査装置(1)におけるフィルム4の欠陥検査方法とほぼ同じである。フィルム検査装置(1)との相違点として、フィルム検査装置(2)は、図2(b)に示すように、フィルム4の幅に相当する長さの補助ローラ7、8を備えている。この為、フィルム4は、上述のように、幅方向全体にわたって支持ローラ2に確実に密着できる。
支持ローラ2と補助ローラ7との接点(フィルム4の挟持部)における、共通接線の垂直に対する角度θ(図2参照)、すなわち、フィルム4が支持ローラ2上に接していくときの、接触開始点での垂線に対する角度θは、好ましくは0〜90度の範囲、より好ましくは0〜45度の範囲である。このようにすることで、フィルム4を支持ローラ2に確実に密着させることができる。
(実施形態3)
本発明の実施形態3のフィルム検査装置(3)を図3に示す。図3において、図2と同じように、(a)はフィルム検査装置(3)の正面図であり、(b)は平面図である。本発明の実施形態3であるフィルム検査装置(3)は、上述のフィルム検査装置(2)における支持ローラ2及び補助ローラ7、8の少なくともひとつが駆動ローラになっている。例えば、フィルム検査装置(3)は、支持ローラ2が駆動ローラになっており、フィルム4の搬送力を担っている。この為、フィルム4は、フィルム検査装置(1)や(2)のように、フィルム検査装置外からのフィルム搬送力によって搬送しなくてもよい。フィルム検査装置(3)においては、例えば、枚葉フィルムを支持ローラ2と補助ローラ7との接続部に差し込み、挟持させてやれば、支持ローラ2の搬送駆動力により搬送されていき、さらに、支持ローラ2に密着させながら支持ローラ2と補助ローラ8との接続部に差し込み、挟持させてやれば、フィルム4は支持ローラ2に密着しながら搬送されていく。なお、この際、補助ローラ8に、補助ローラ7よりも周速が若干速くなるような駆動力を持たせることで、支持ローラ2上のフィルム4の密着性を向上させることができる。
本発明の実施形態3のフィルム検査装置(3)を図3に示す。図3において、図2と同じように、(a)はフィルム検査装置(3)の正面図であり、(b)は平面図である。本発明の実施形態3であるフィルム検査装置(3)は、上述のフィルム検査装置(2)における支持ローラ2及び補助ローラ7、8の少なくともひとつが駆動ローラになっている。例えば、フィルム検査装置(3)は、支持ローラ2が駆動ローラになっており、フィルム4の搬送力を担っている。この為、フィルム4は、フィルム検査装置(1)や(2)のように、フィルム検査装置外からのフィルム搬送力によって搬送しなくてもよい。フィルム検査装置(3)においては、例えば、枚葉フィルムを支持ローラ2と補助ローラ7との接続部に差し込み、挟持させてやれば、支持ローラ2の搬送駆動力により搬送されていき、さらに、支持ローラ2に密着させながら支持ローラ2と補助ローラ8との接続部に差し込み、挟持させてやれば、フィルム4は支持ローラ2に密着しながら搬送されていく。なお、この際、補助ローラ8に、補助ローラ7よりも周速が若干速くなるような駆動力を持たせることで、支持ローラ2上のフィルム4の密着性を向上させることができる。
(実施形態4)
本発明の実施形態4のフィルム検査装置(4)を図4に示す。図4において、図2と同じように、(a)はフィルム検査装置(4)の正面図であり、(b)は平面図である。本発明の実施形態4であるフィルム検査装置(4)は、上述のフィルム検査装置(2)の変形例であり、フィルム検査装置(2)における補助ローラ7、8が、それぞれ軸長の短い補助ローラ7a,7b,7c、及び8a,8b,8cに変更されている。すなわち、補助ローラ7a,7c、及び8a,8cは、それぞれフィルム4の幅方向の端部を挟持するように配置され、補助ローラ7b及び8bはフィルム4の幅方向のほぼ中央部を挟持するように配置されている。
本発明の実施形態4のフィルム検査装置(4)を図4に示す。図4において、図2と同じように、(a)はフィルム検査装置(4)の正面図であり、(b)は平面図である。本発明の実施形態4であるフィルム検査装置(4)は、上述のフィルム検査装置(2)の変形例であり、フィルム検査装置(2)における補助ローラ7、8が、それぞれ軸長の短い補助ローラ7a,7b,7c、及び8a,8b,8cに変更されている。すなわち、補助ローラ7a,7c、及び8a,8cは、それぞれフィルム4の幅方向の端部を挟持するように配置され、補助ローラ7b及び8bはフィルム4の幅方向のほぼ中央部を挟持するように配置されている。
フィルム検査装置(4)は、フィルム検査装置(2)と同じように作動し、同じような作用効果を有するが、搬送方向前後の補助ローラをそれぞれ複数有しているので、それぞれの補助ローラの位置や駆動力、搬送抵抗を調整することにより、フィルム4の部分的な反りや波打ちによる支持ローラ2との密着不良を改善することができる。
(実施形態5)
本発明の実施形態5のフィルム検査装置(5)を図5に示す。図5において、図4と同じように、(a)はフィルム検査装置(5)の正面図であり、(b)は平面図である。本発明の実施形態5であるフィルム検査装置(5)は、上述のフィルム検査装置(3)と同じように、支持ローラ2並びに補助ローラ7a,7b,7c、及び8a,8b,8cの少なくともひとつが駆動ローラになっている。例えば、フィルム検査装置(5)は、支持ローラ2が駆動ローラになっており、フィルム4の搬送力を担っている。この為、フィルム4は、フィルム検査装置(1)のように、フィルム検査装置外からの搬送力によってフィルムを搬送しなくてもよい。フィルム検査装置(5)においては、例えば、枚葉フィルムを支持ローラ2と補助ローラ7a,7b,7cとの接続部に差し込み、挟持させてやれば、支持ローラ2の搬送駆動力により搬送されていき、さらに、フィルム4を支持ローラ2に密着させながら支持ローラ2と補助ローラ8a,8b,8cとの接続部に差し込み、挟持させてやれば、フィルム4は支持ローラ2に密着しながら搬送されていく。なお、この際、補助ローラ8a,8b,8cに、補助ローラ7a,7b,7cよりも周速が若干速くなるような駆動力を持たせることで、支持ローラ2上のフィルム4の密着性を向上させることができる。
本発明の実施形態5のフィルム検査装置(5)を図5に示す。図5において、図4と同じように、(a)はフィルム検査装置(5)の正面図であり、(b)は平面図である。本発明の実施形態5であるフィルム検査装置(5)は、上述のフィルム検査装置(3)と同じように、支持ローラ2並びに補助ローラ7a,7b,7c、及び8a,8b,8cの少なくともひとつが駆動ローラになっている。例えば、フィルム検査装置(5)は、支持ローラ2が駆動ローラになっており、フィルム4の搬送力を担っている。この為、フィルム4は、フィルム検査装置(1)のように、フィルム検査装置外からの搬送力によってフィルムを搬送しなくてもよい。フィルム検査装置(5)においては、例えば、枚葉フィルムを支持ローラ2と補助ローラ7a,7b,7cとの接続部に差し込み、挟持させてやれば、支持ローラ2の搬送駆動力により搬送されていき、さらに、フィルム4を支持ローラ2に密着させながら支持ローラ2と補助ローラ8a,8b,8cとの接続部に差し込み、挟持させてやれば、フィルム4は支持ローラ2に密着しながら搬送されていく。なお、この際、補助ローラ8a,8b,8cに、補助ローラ7a,7b,7cよりも周速が若干速くなるような駆動力を持たせることで、支持ローラ2上のフィルム4の密着性を向上させることができる。
フィルム検査装置(5)は、フィルム検査装置(4)と同じように、搬送方向前後の補助ローラをそれぞれ複数有しているので、それぞれの補助ローラの位置や駆動力、搬送抵抗を調整することにより、フィルム4の部分的な反りや波打ちによる支持ローラ2との密着不良を改善することができる。
以上で説明した実施形態1〜5のフィルム検査装置を、光透過性のフィルムの製造装置に組み込んで、作製されたフィルムの欠陥を検査し、欠陥のないフィルムのみを製品とすれば、欠陥のない光透過性のフィルムが製造できる。
1 :本発明のフィルム検査装置
2 :支持ローラ
3 :光源(光照射装置)
4 :フィルム
5 :カメラ(検知装置)
6 :透過光
7,7a,7b,7c :補助ローラ
8,8a,8b,8c :補助ローラ
9 :クリーニング装置
10 :従来のフィルム検査装置
13 :光源
14 :フィルム
15 :カメラ
16 :透過光
17a,17b :送りローラ
18a,18b :受け取りローラ
m :ローラのフィルムとの接触部の長さ
θ :ローラと補助ローラの接触部の接線の垂直とのなす角度
2 :支持ローラ
3 :光源(光照射装置)
4 :フィルム
5 :カメラ(検知装置)
6 :透過光
7,7a,7b,7c :補助ローラ
8,8a,8b,8c :補助ローラ
9 :クリーニング装置
10 :従来のフィルム検査装置
13 :光源
14 :フィルム
15 :カメラ
16 :透過光
17a,17b :送りローラ
18a,18b :受け取りローラ
m :ローラのフィルムとの接触部の長さ
θ :ローラと補助ローラの接触部の接線の垂直とのなす角度
Claims (17)
- 光透過性のフィルムを接触部で支持しながら搬送する支持ローラと、前記接触部において前記フィルムに光を照射する光照射装置と、前記光照射装置から前記フィルムに照射され前記フィルムを透過した透過光を検知する検知装置とを備えることを特徴とするフィルムの検査装置。
- 前記接触部のフィルム搬送方向の前及び/又は後に、前記ローラとともに前記フィルムを挟持する補助ローラを備えることを特徴とする請求項1に記載のフィルムの検査装置。
- 前記接触部は、前記フィルムの搬送方向に所定の幅を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のフィルムの検査装置。
- 前記支持ローラは、前記フィルムとの接触部が光透過性であり、前記光照射装置は、前記支持ローラ内部に配置した光源を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置。
- 前記補助ローラは、前記支持ローラの軸方向に沿って、前記支持ローラとともに前記フィルムの幅全体にわたって前記フィルムを挟持することを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置。
- 前記補助ローラは、前記支持ローラの軸方向に沿って、前記支持ローラとともに前記フィルムの幅の端部を含む一部を挟持することを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置。
- 前記接触部の異物を除去するクリーニング装置を、さらに備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置。
- 前記支持ローラと前記補助ローラとのフィルム挟持部における接線は、垂直に対して0〜90度の角度を有することを特徴とする請求項2〜7のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置を備えることを特徴とする光透過性フィルムの製造装置。
- 光透過性のフィルムを支持ローラによって接触部で支持しながら搬送するフィルム支持工程と、前記接触部において前記フィルムに光を照射する光照射工程と、前記フィルムに照射され前記フィルムを透過した光を検知する検知工程とを備えることを特徴とするフィルムの検査方法。
- 前記接触部のフィルム搬送方向の前及び/又は後に補助ローラを備え、前記フィルム支持工程においては、前記支持ローラと前記補助ローラとによって前記フィルムを挟持することを特徴とする請求項10に記載のフィルムの検査方法。
- 前記接触部は、前記フィルムの搬送方向に所定の幅を有することを特徴とする請求項10又は11に記載のフィルムの検査方法。
- 前記支持ローラは、前記フィルムとの接触部が光透過性であり、前記光照射工程においては、前記支持ローラ内部に配置された光源から前記接触部に光を照射することを特徴とする請求項10〜12のいずれか一項に記載のフィルムの検査方法。
- 前記補助ローラは、前記支持ローラの軸方向に沿って、前記支持ローラとともに前記フィルムの幅全体にわたって前記フィルムを挟持することを特徴とする請求項11〜13のいずれか一項に記載のフィルムの検査方法。
- 前記補助ローラは、前記支持ローラの軸方向に沿って、前記支持ローラとともに前記フィルムの幅の端部を含む一部を挟持することを特徴とする請求項11〜13のいずれか一項に記載のフィルムの検査方法。
- 前記接触部の異物を除去するクリーニング工程を、さらに備えることを特徴とする請求項10〜15のいずれか一項に記載のフィルムの検査方法。
- 欠陥検査前の光透過性の粗フィルムを、請求項10〜16のいずれか一項に記載のフィルムの検査方法により検査して、フィルムを選別することを特徴とする光透過性フィルムの製造方法。
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JP2008306646A JP2010127909A (ja) | 2008-12-01 | 2008-12-01 | フィルムの検査装置及びこれを備えた光透過性のフィルムの製造装置、並びにフィルムの検査方法及びこれを用いた光透過性のフィルムの製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101621861B1 (ko) * | 2014-04-28 | 2016-05-19 | 주식회사 넥스트아이 | 편광필름 검사장치 |
JP2020502492A (ja) * | 2016-10-26 | 2020-01-23 | ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム | 反射型および透過型ナノフォトニック装置のための高スループット、高解像度光学計測 |
KR102560722B1 (ko) * | 2022-06-08 | 2023-07-28 | 시냅스이미징(주) | 검사 롤러를 구비하는 기판검사장치 |
-
2008
- 2008-12-01 JP JP2008306646A patent/JP2010127909A/ja active Pending
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