JP2001021359A - 圧電振動角速度センサー及びその振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動角速度センサー及びその振動子の製造方法Info
- Publication number
- JP2001021359A JP2001021359A JP11192929A JP19292999A JP2001021359A JP 2001021359 A JP2001021359 A JP 2001021359A JP 11192929 A JP11192929 A JP 11192929A JP 19292999 A JP19292999 A JP 19292999A JP 2001021359 A JP2001021359 A JP 2001021359A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- divided
- vibrator
- angular velocity
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
下げ、加工精度を高くして特性の安定した圧電振動角速
度センサー及びその振動子の製造方法を提供すること。 【解決手段】 圧電振動角速度センサーの振動子30は
四角柱状の圧電体35でなり、その第1の側面33に
は、第1分割電極33aと第2分割電極33bが形成さ
れ、第2の側面34には、第3分割電極34aと第4分
割電極34bが形成されており、この圧電体35は振動
の節点で支持され、励振駆動用電極(第1分割電極)3
3aに交流電圧を印加して、軸方向に関しての両端を自
由端として共振振動させ、回転角速度が加わるとコリオ
リ力の発生で生じる電圧差を2つの検出用電極(第1分
割電極33aと第2分割電極33b)から検出する。
Description
型ビデオテープレコーダに搭載され、手振れを検出する
圧電振動角速度センサー及びその振動子の製造方法に関
する。
に慣性座標系の角速度を検出し進行方向を割り出す用途
に用いられてきたが、最近では、自動車のナビゲーショ
ンの補助機能として、また、カメラ一体型ビデオテープ
レコーダの手振れ防止機能にも応用され、その需要は急
速に拡大している。
ーの振動子1を図32に示す。振動子1は、三角柱状の
ニッケル合金2の各側面に、両面に電極が形成された圧
電体4a、4b、4cが接着されてなる。図には、圧電
体4aしか見えないが、圧電体4bはニッケル合金2の
底面に、圧電体4cは残りのもう一面に取り付けられて
いる。振動子1は、例えばカメラ一体型ビデオテープレ
コーダの筐体内に固定された2つの支持部材3、3に、
側辺2aの2点(符号5で示される)で溶接され、吊り
下げられるようにして支持されている。
で詳しく説明するが図33に示される回路に接続され、
y方向に支持点5、5を節として共振振動させる。この
とき、カメラ一体型ビデオテープレコーダの手振れに起
因する回転力24が振動子の中心Cのまわりに生じる
と、共振しているy方向と直角なx方向にコリオリ力が
生じる。コリオリ力は、振動子1の質量をm、y方向の
振動の速度ベクトルをv、回転力24の角速度ベクトル
をωとすると、2m[v×ω]で表される。このコリオ
リ力を検出することにより回転力24を検出して、カメ
ラ一体型ビデオテープレコーダの光学系を含む撮像ユニ
ットを水平及び垂直方向に駆動するアクチュエータを制
御して、画振れの少ない撮像画像を得るようにしてい
る。
される回路について説明する。
三角柱状ニッケル合金振動子を用いた角速度センサーの
処理回路である。この処理回路は、三角柱状振動子2の
下面圧電素子4bの電極面に入力端が接続された増幅器
18と、この増幅器18の出力端に接続された移相器1
9と、三角柱状振動子2の駆動・検出兼用圧電素子4
a,4cとこれらの電極面4a,4cに接続された差動
増幅器20と、この差動増幅器20の出力端に接続され
た同期検波器22と、この同期検波器22の出力端に接
続されたローパスフィルター23とから成り、移相器1
9の出力端は分割抵抗R及び同期検波器22に接続され
ている。
ンサーの作動原理を説明する。増幅器18への直流電源
の投入によりこの増幅器18を作動状態にし、移相器1
9を通して駆動・検出兼用圧電素子4a,4cに略25
kHzの駆動電圧を印加すると、振動子1は図32に示
す支持点5を節とし、振動子1の両端を自由端としてy
方向に自身の安定した機械的共振周波数で自励振動す
る。移相器19は増幅器18の出力を位相調整している
が、この位相調整で振動子1は自励振動することができ
る。今、振動子1に回転24が加わっていない場合、圧
電素子4a,4cの歪みは全く同じように起こるので両
圧電素子4a,4cからの出力は振幅、位相ともに同一
であり、従って差動増幅器20の出力は0である。
動をしている状態で回転24が加わった場合、回転中心
軸Cとy軸に直角(x方向)にコリオリ力が発生し、励
振によるy方向の力とコリオリ力によるx方向の力の合
成力が振動子2を歪ませる。この歪みはx方向に生じる
ので圧電素子4a,4cの電極面には互いに逆符号の電
圧、すなわち逆位相の電圧が生じる。以下、このコリオ
リ力による生じる信号をコリオリ信号と呼ぶことにす
る。
はそれぞれの励振信号とコリオリ信号とが重畳された形
の交流信号として検出される。この検出信号はそれぞれ
差動増幅器20に反転入力と非反転入力されて、差動後
の出力には同位相である励振信号が互いに打ち消され、
逆位相のコリオリ信号だけが検出される。検出されたコ
リオリ信号は同期検波器22に入力され、移相器19の
出力で同期検波される。同期検波により得られた信号は
励振信号の高周波成分が混じっているのでローパスフィ
ルター23で高周波成分を除去し、回転角速度ωに比例
した振幅を有する信号が得られる。
電振動角速度センサーの振動子6を、図35に振動子6
が接続された回路図を示す。この振動子6は、円柱状の
圧電セラミックス7に、その周面に6個の電極9、1
0、11、12、13、14が、例えばスクリーン印刷
により形成されている。なお、図35では電極9は、回
路の接続関係をわかりやすくするために軸方向に延びて
いるように図示したが、実際は図34に示されるよう
に、円柱状の圧電セラミックス7の周方向に沿って形成
されている。電極11、12、14はつながっており、
電気接続線15を介して接地されている。電極9、1
0、13はそれぞれ電気的に独立しており、それぞれ電
気接続線17、25、16を介して、後述する回路の各
構成要素と接続している。
材8、8によって支持されており、この支持点を節とし
て、上記第1従来例と同様に、y方向に共振振動され、
このとき、回転力24が振動子の中心Cのまわりに生じ
ると、共振しているy方向と直角なx方向にコリオリ力
が生じる。そして、このコリオリ力を検出することによ
り回転力24を検出する。
円柱状圧電振動子7を用いた角速度センサー6の処理回
路である。この処理回路は、円柱状圧電振動子7の駆動
用電極9に出力端が接続された増幅器18と、円柱状圧
電振動子7の検出用電極10,13に接続された差動増
幅器20および加算器21と、差動増幅器20の出力端
に接続された同期検波器22と、この同期検波器22の
出力端に接続されたローパスフィルター23と、加算器
21の出力端と増幅器18の入力端との間に接続された
移相器19とから成り、また電極11,12,14はア
ースされている。なお、図35において、図33に示し
た回路における構成要素と対応するものについては同じ
符号を付するものとする。
ンサーの作動原理を説明する。増幅器18への直流電源
の投入によりこの増幅器18は作動状態になり、電極1
0,13の出力は加算器21で加算され、移相器19で
位相を調整して増幅器18に加えられる。この増幅出力
が電極9に入力されて振動子7は図34に示す支持点部
材8の位置を節とし、振動子7の両端を自由端としてy
方向に略25kHzでに自励振動する。振動子6に回転
24が加わらない場合、図33の場合と同様に検出用電
極10、13には振幅、位相ともに同一の信号が得られ
て差動増幅器20の出力は0である。
転24が加わった場合、図33の場合と同様に、コリオ
リ力がx方向に働き振動子7が歪むので検出用電極1
0、13には互いに逆位相のコリオリ信号が発生する。
そして検出用電極10、13からの励振信号とコリオリ
信号が重畳された信号が差動増幅器20と加算器21に
入力される。加算器21では互いに逆位相のコリオリ信
号は打ち消され、同位相の励振信号だけが出力されて移
相器19に加えられる。移相器19は位相を調整し、そ
の出力は増幅器18に加えられて電極9に加えられる。
また一方で差動増幅器20のコリオリ信号出力は同期検
波器22に入力され、加算器21の出力で同期検波され
る。同期検波によって得られた信号はローパスフィルタ
ー23により回転角速度ωに比例した信号を得る。
柱状の振動子1は、現在最も検出感度が高く主流となっ
ている。しかし、三角柱のニッケル合金2への圧電体4
a、4b、4cの接着や支持点5、5での溶接など、そ
の構造や製造工程が複雑なため量産効果を上げることが
難しい。これは、更に小型化するに従ってその傾向が顕
著に現れる。
ものを振動子としたものは、圧電体の接着に伴う問題は
ない。しかし、円柱形状への加工精度の確保が困難であ
ること、また、電極を一本一本曲面に印刷するために、
やはり量産効果は期待できない構造となっている。更
に、小型化するに従って、円柱加工の精度や曲面への電
極の印刷精度の確保が困難になる。
精度の管理が難しく、よって共振周波数の調整も難し
く、角速度検出特性にバラツキが出る等の問題があっ
た。特に、小型化すると更に厳しい精度を要求され、よ
り低コスト化、より小型化することが困難であった。
及び製造工程を簡単にし、製造コストを下げ、加工精度
を高くして特性の安定した圧電振動角速度センサー及び
その振動子の製造方法を提供することを課題とする。
あたり、本発明では、圧電振動角速度センサーの振動子
は四角柱状の圧電体であり、その側面には、平行に対向
した側面に形成された電極の対が少なくとも2対以上形
成されており、この圧電体は振動の節点で支持され、励
振駆動用電極に交流電圧を印加して、軸方向に関しての
両端を自由端として共振振動させ、回転角速度が加わる
とコリオリ力の発生で生じる電圧差を2つの検出用電極
から検出するようにしている。
面に、メッキ又は印刷により電極を形成し、この厚さ方
向に分極処理し、この平板を多数の四角柱片に切断する
ことにより、電極形成面を有する四角柱形状の圧電体で
なる圧電振動角速度センサーの振動子を得るようにして
いる。
面にそれぞれ、メッキ又は印刷により第1の電極と第2
の電極を形成し、この平板を多数の四角柱片に切断し、
この四角柱片の第1及び第2の電極が形成された両面と
垂直な2つの面それぞれにメッキ又は印刷により第3の
電極と第4の電極を形成した後、分極処理を行い、各側
面に電極が形成された四角柱形状の圧電体でなる圧電振
動角速度センサーの振動子を得るようにしている。
て図面を参照して説明する。
る、圧電振動角速度センサーの振動子30である。振動
子30は、四角柱形状の圧電体35の上下面に、電極が
メッキにより形成されてなる。図2に、振動子30の拡
大断面図を示すが、第1の側面としての上面33には、
軸方向に沿って延びる溝31により2分割された、第1
分割電極33aと第2分割電極33bがメッキにより形
成されている。第2の側面としての下面34には、溝3
1と対称な位置に軸方向に沿って延びる溝32が形成さ
れ、第3分割電極34aと第4分割電極34bがメッキ
により形成されている。矢印Pは分極の方向を示す。
て、図3を参照して説明する。図3Aに示すものは、例
えばPZT(PbZrTiO3 )系の圧電セラミックス
でなる厚さ1mmの薄板36である。この上下両面それ
ぞれの全面に、下地にニッケルメッキを、この上に金を
メッキする。そして、この後この上下のメッキ形成面に
直流の高電圧を印加して、板36を厚さ方向に分極させ
る。次に、図3Bに示すように、薄板36をカッティン
グライン37に沿って切断し、幅1mm、長さ12mm
の多数の四角柱片35を切り出し、振動子30を得る。
このとき、カッティングライン39に沿って、上下両面
に、図1及び図2の振動子30の電極分割溝31、32
となる溝を、四角柱片への切出しと同じ砥石を用いた砥
石加工により、切出しと連続して行う。切り出される四
角柱片35の寸法は、この四角柱片35を振動子として
共振させるときの共振周波数の設定に合わせて決められ
る。
て説明する。切り出された振動子30は、図4Aに示さ
れるように、4個の支持フレーム40の8カ所の支持部
40aと、メッキ形成面(第1〜第4分割電極)とが半
田付けにより接合される。支持フレーム40の材質は、
例えばリン青銅、ステンレス等であり、厚さは100μ
m程度である。そして、図4Bに示されるように、上下
に対向する支持フレーム40間に支持ブロック41を挟
ませて固定させる。支持ブロック41は、非磁性のブロ
ック体で、ある程度の剛性のある材料が用いられてい
る。例えば、セラミックス(CaTiO3 )や樹脂系材
料など。支持ブロック41は、カメラ一体型VTRの筐
体に固定されており、振動子30は宙吊りの状態で、支
持フレーム40の支持部40と固定されており支持され
る。振動子30は図5に示す回路と接続されるが、支持
フレーム40の支持部40を電極として回路と接続され
る。また、支持部40は、この回路により共振させられ
る振動子30の振動の節点(ノード点)となり、振動子
30は軸方向の両端を自由端として共振させられる。
される回路について説明する。
角速度センサーの処理回路である。この処理回路は、圧
電振動子30の駆動・検出兼用電極33aに接続された
移相器19と、この移相器19の出力端に接続された増
幅器18と、駆動・検出兼用電極33aの出力端は減算
器25を介して、検出用電極33bの出力端はそのまま
接続された差動増幅器20と、この差動増幅器20の出
力端に接続された同期検波器22と、この同期検波器2
2の出力端に接続されたローパスフィルター23とから
成り、増幅器18の出力は移相器19を介して駆動・検
出兼用電極33aに加えられ、振動子の電極34aはア
ースされている。
ンサーの作動原理を説明する。増幅器18への直流電源
の投入によりこの増幅器18は作動状態になり、増幅出
力が移相器19を通して駆動・検出兼用電極33aに入
力され、振動子30を図4Aに示す支持部40aを節と
し、振動子30の両端を自由端としてy方向に自身の略
25kHzの機械的共振周波数で自励振動させる。電極
33aには印加電圧分と励振により生じる電圧分が足さ
れて出力される。従って振動子30に回転24が加わっ
ていない場合は差動増幅器20の出力に電圧差が出ない
ようにするために、減算器25は電極33aへの印加電
圧分を差し引いている。振動子30の右側下面電極34
bは回路構成上は必要ないが電極33bに対して振動バ
ランスを確保するためである。
30はx方向にコリオリ力が働き、励振によるy方向の
力との合成力が振動子30を歪ませ、電極33a,33
bには互いに逆位相のコリオリ信号電圧が生じる。これ
を差動増幅器20に入力して励振信号を打ち消し、コリ
オリ信号を検出する。検出されたコリオリ信号は同期検
波器22で同期検波され、ローパスフィルター23によ
り回転角速度ωに比例した信号を出力する。
説明する。上記第1の実施の形態と同じ部分には同一の
符号を付し、その詳細な説明は省略する。
振動角速度センサーの振動子60である。振動子60
は、四角柱形状の圧電体66の各面に、電極がメッキ又
は印刷により形成されてなる。図7に、振動子60の拡
大断面図を示すが、第1の側面としての上面61には、
軸方向に沿って延びる溝65により2分割された、第1
分割電極61aと第2分割電極61bがメッキにより形
成されている。第2の側面としての下面62には第3の
電極62aがメッキにより形成されている。第3の側面
63には、例えばスクリーン印刷により第4の電極63
aが形成されている。同様に、第4の側面64にも印刷
により第5の電極64aが形成されている。矢印Pは分
極の方向を示す。
て、図8を参照して説明する。第1実施例と同様に、先
ず、圧電セラミックスでなる厚さ1mmの薄板36の上
下両面それぞれの全面に、下地にニッケルメッキを、こ
の上に金をメッキする。次に、図8Bに示すように、薄
板36をカッティングライン37に沿って切断し、幅1
mm、長さ12mmの多数の四角柱片66を切り出し、
振動子60を得る。このとき、カッティングライン39
に沿って、上面に、振動子60の電極分割溝65となる
溝を、四角柱片への切出しと同じ砥石を用いた砥石加工
により、切出しと連続して行う。切り出される四角柱片
66の寸法は、この四角柱片66を振動子として共振さ
せるときの共振周波数の設定に合わせて決められる。切
り出された後、四角柱片66の両側面に、図7で示され
るように、印刷により第4の電極63aと第5の電極6
4aを形成して、第1分割電極61aと第4の電極63
aとの間及び第2分割電極61bと第5の電極64aと
の間に直流の高電圧を印加して、矢印Pの方向に分極さ
せる。
て説明する。第1実施の形態と同様、切り出された振動
子60は、図9Aに示されるように、4個の支持フレー
ム40の8カ所の支持部40aと、メッキ形成面(第
1、第2分割電極61a、61bと第3の電極62a)
とが半田付けにより接合される。そして、図9Bに示さ
れるように、上下に対向する支持フレーム40間に支持
ブロック41を挟ませて固定させる。支持ブロック41
は、カメラ一体型VTRの筐体に固定されており、振動
子60は宙吊りの状態で、支持フレーム40の支持部4
0と固定され支持される。振動子60の組立後、振動子
60の縦横方向の振動の共振周波数を調整し、縦方向の
共振周波数を横方向の共振周波数に対して約60Hz高
めにシフトさせて設定した。振動子60は図10に示す
回路と接続されるが、支持フレーム40の支持部40を
電極として回路と接続される。側面に形成された第4の
電極63aと第5の電極64aは、リード線で回路と接
続される。また、支持部40は、この回路により共振さ
せられる振動子60の振動の節点(ノード点)となり、
振動子60は軸方向の両端を自由端として共振させられ
る。
続される回路について説明する。
た角速度センサーの処理回路である。なお、図10にお
いて、図5に示した回路における構成要素と対応するも
のについては同じ符号を付するものとする。
動・検出兼用電極61a,61bに接続された加算器2
1と、この加算器21の出力端に接続された増幅器18
と、この増幅器18の出力端に接続された移相器19
と、駆動・検出兼用電極61a,61bに接続された差
動増幅器20と、この差動増幅器20の出力端に接続さ
れた同期検波器22と、この同期検波器22の出力端に
接続されたローパスフィルター23とから成り、加算器
21の出力は同期検波器22に入力され、振動子60の
両側面電極63a,64aはアースされている。なお、
下面電極62aは振動子60の振動バランスを確保する
ためのものである。
ンサーの作動原理を説明する。図5の場合と同様に、増
幅器18への直流電源の投入によりこの増幅器18は作
動状態に入り、増幅出力が移相器19を通して駆動・検
出兼用電極61a,61bに入力され、振動子60をy
方向に自身の略25kHzの機械的共振周波数で自励振
動させる。振動子60に回転24が加わらないうちは差
動増幅器20の出力は0である。回転24が加わった場
合、コリオリ力による電極61a,61bからの信号が
差動増幅器20で検出され、一方、加算器21では互い
に逆位相のコリオリ信号は打ち消されて同位相の励振信
号だけが出力される。差動増幅器20の出力は同期検波
器22により加算器21の出力で同期検波され、ローパ
スフィルター23により回転角速度ωに比例した信号が
得られる。
説明する。上記実施の形態と同じ部分には同一の符号を
付し、その詳細な説明は省略する。
電振動角速度センサーの振動子70である。振動子70
は、四角柱形状の圧電体75の各面に、電極がメッキ又
は印刷により形成されてなる。図12に、振動子70の
拡大断面図を示すが、第1の側面としての上面71に
は、第1の電極71aがメッキにより形成されている。
第2の側面としての下面72には第2の電極72aがメ
ッキにより形成されている。第3の側面73には、例え
ばスクリーン印刷により第3の電極73aが形成されて
いる。同様に、第4の側面74にも印刷により第4の電
極74aが形成されている。矢印Pは分極の方向を示
す。
て、図13を参照して説明する。上記実施の形態と同様
に、先ず、圧電セラミックスでなる厚さ1mmの薄板3
6の上下両面それぞれの全面に、下地にニッケルメッキ
を、この上に金をメッキする。次に、薄板36をカッテ
ィングライン37に沿って切断し、幅1mm、長さ12
mmの多数の四角柱片75を切り出し、振動子70を得
る。切り出される四角柱片75の寸法は、この四角柱片
75を振動子として共振させるときの共振周波数の設定
に合わせて決められる。切り出された後、四角柱片75
の両側面に、図12で示されるように、印刷により第3
の電極73aと第4の電極74aを形成して、第1の電
極71aと第3の電極73aとの間及び第2の電極72
aと第3の電極73aとの間に直流の高電圧を印加し
て、矢印Pの方向に分極させる。
いて説明する。上記実施の形態と同様、切り出された振
動子60は、図14Aに示されるように、4個の支持フ
レーム40の8カ所の支持部40aと、メッキ形成面
(第1、第2の電極71a、71b)とが半田付けによ
り接合される。そして、図14Bに示されるように、上
下に対向する支持フレーム40間に支持ブロック41を
挟ませて固定させる。支持ブロック41は、カメラ一体
型VTRの筐体に固定されており、振動子70は宙吊り
の状態で、支持フレーム40の支持部40と固定され支
持される。振動子70の組立後、振動子70の縦横方向
の振動の共振周波数を調整し、縦方向の共振周波数を横
方向の共振周波数に対して約60Hz高めにシフトさせ
て設定した。振動子70は図15に示す回路と接続され
るが、支持フレーム40の支持部40を電極として回路
と接続される。側面に形成された第3の電極73aと第
4の電極74aは、リード線で回路と接続される。ま
た、支持部40は、この回路により共振させられる振動
子70の振動の節点(ノード点)となり、振動子70は
軸方向の両端を自由端として共振させられる。
続される回路について説明する。
いた角速度センサーの処理回路である。この回路は、駆
動・検出兼用電極71a,72aが圧電振動子70の上
下全面に設けたこと、側面電極74aはアースしないこ
とを除けば図10と同じであるので、回路構成の説明を
省略する。なお、図15において、図10に示した回路
における構成要素と対応するものについては同じ符号を
付するものとする。
に自励振動させ、コリオリ力によるy方向の振動で生じ
る電極71a,72aの電圧差を検出するが、その信号
処理は図10の場合と同様である。側面電極74aは回
路構成上は必要ないが、側面電極4に対して振動バラン
スを確保するためである。
説明する。上記実施の形態と同じ部分には同一の符号を
付し、その詳細な説明は省略する。
電振動角速度センサーの振動子80である。振動子80
は、四角柱形状の圧電体87の各面に、電極がメッキ又
は印刷により形成されてなる。図17に、振動子80の
拡大断面図を示すが、第1の側面としての上面81に
は、軸方向に沿って延びる溝85により2分割された、
第1分割電極81aと第2分割電極81bがメッキによ
り形成されている。第2の側面としての下面82には、
溝85と対称な位置に形成された軸方向に沿って延びる
溝86により2分割された、第3分割電極82aと第4
分割電極82bがメッキにより形成されている。第3の
側面83には、例えばスクリーン印刷により第5の電極
83aが形成されている。同様に、第4の側面84にも
印刷により第6の電極84aが形成されている。矢印P
は分極の方向を示す。
説明するが、図3に示される第1の実施の形態と同様な
方法で、薄板36から四角柱片87を切り出し、振動子
80を得る。切り出された後、四角柱片87の両側面
に、図17で示されるように、印刷により第5の電極8
3aと第6の電極84aを形成して、第1分割電極81
aと第5の電極83aとの間、第2分割電極81bと第
6の電極84aとの間、第3分割電極82aと第5の電
極83aとの間、第4分割電極82bと第6の電極84
aとの間に直流の高電圧を印加して、矢印Pの方向に分
極させる。
いて説明するが、上記実施の形態と同様であるため、重
複する記載は省略し簡単に説明する。切り出された振動
子80は、4個の支持フレーム40の8カ所の支持部4
0aと半田付けにより接合される。そして、上下に対向
する支持フレーム40間に支持ブロック41を挟ませて
固定させ、振動子80は宙吊りの状態で支持される。そ
の他、回路との接続や共振の節点、共振周波数の調整に
ついても上記実施の形態と同様なことが言える。
続される回路について説明する。
いた角速度センサーの処理回路である。なお、図19に
おいて、図10に示した回路における構成要素と対応す
るものについては同じ符号を付するものとする。
動用電極81a,81bに接続された加算器21と、こ
の加算器21の出力端に接続された増幅器18と、この
増幅器18の出力端に接続された移相器19と、圧電振
動子80の検出用電極82a,82bに接続された差動
増幅器20と、この差動増幅器20の出力端に接続され
た同期検波器22と、この同期検波器22の出力端に接
続されたローパスフィルター23とから成り、加算器2
1の出力は同期検波器22に入力され、振動子80の両
側面電極83a,84aはアースされている。なお、図
19において、図10に示した回路における構成要素と
対応するものについては同じ符号を付するものとする。
ンサーの作動原理は、駆動用電極81a,81bに25
kHzの駆動電圧を印加してy方向に自励振動させ、コ
リオリ力によるx方向の振動で生じる検出用電極82
a,82bのコリオリ信号を差動増幅器20で検出し、
加算器21の出力である励振信号で同期検波器22によ
り同期検波してローパスフィルター23により回転角速
度ωに比例した信号が得られる。
電振動角速度センサーの振動子90である。振動子90
は、四角柱形状の圧電体96の各面に、電極がメッキ又
は印刷により形成されてなる。図21に、振動子90の
拡大断面図を示すが、第1の側面としての上面91に
は、軸方向に沿って延びる溝95により2分割された、
第1分割電極91aと第2分割電極91bがメッキによ
り形成されている。第2の側面としての下面92には第
3の電極92aがメッキにより形成されている。第3の
側面93には、例えばスクリーン印刷により第4の電極
93aが形成されている。同様に、第4の側面94にも
印刷により第5の電極94aが形成されている。矢印P
は分極の方向を示す。
説明するが、図8に示される第2の実施の形態と同様な
方法で、上下面にメッキされ、厚さ方向に分極処理され
た薄板36から四角柱片96を切り出し、振動子90を
得る。切り出された後、四角柱片96の両側面に、図2
1で示されるように、印刷により第4の電極93aと第
5の電極94aを形成する。
が、上記実施の形態と同様であるため簡単に説明する
と、切り出された振動子90は、4個の支持フレーム4
0の8カ所の支持部40aと半田付けにより接合され
る。そして、上下に対向する支持フレーム40間に支持
ブロック41を挟ませて固定させ、振動子90は宙吊り
の状態で支持される。その他、回路との接続や共振の節
点、共振周波数の調整についても上記実施の形態と同様
なことが言える。
いた角速度センサーの処理回路であり、回路構成、作用
は図10と同じで、対応する構成要素には同じ符号を付
してある。
説明する。上記実施の形態と同じ部分には同一の符号を
付し、その詳細な説明は省略する。
電振動角速度センサーの振動子100である。振動子1
00は、四角柱形状の圧電体107の各面に、電極がメ
ッキ又は印刷により形成されてなる。図25に、振動子
100の拡大断面図を示すが、第1の側面としての上面
101には、軸方向に沿って延びる溝105により2分
割された、第1分割電極101aと第2分割電極101
bがメッキにより形成されている。第2の側面としての
下面102には、溝105と対称な位置に形成された軸
方向に沿って延びる溝106により2分割された、第3
分割電極102aと第4分割電極102bがメッキによ
り形成されている。第3の側面103には、例えばスク
リーン印刷により第5の電極103aが形成されてい
る。同様に、第4の側面104にも印刷により第6の電
極104aが形成されている。矢印Pは分極の方向を示
す。
て説明するが、図3に示される第1の実施の形態と同様
な方法で、上下面にメッキされ、厚さ方向に分極処理さ
れた薄板36から四角柱片107を切り出し、振動子1
00を得る。切り出された後、四角柱片107の両側面
に、図25で示されるように、印刷により第5の電極1
03aと第6の電極104aを形成する。
が、上記実施の形態と同様であるため簡単に説明する
と、切り出された振動子100は、4個の支持フレーム
40の8カ所の支持部40aと半田付けにより接合され
る。そして、上下に対向する支持フレーム40間に支持
ブロック41を挟ませて固定させ、振動子100は宙吊
りの状態で支持される。その他、回路との接続や共振の
節点、共振周波数の調整についても上記実施の形態と同
様なことが言える。
接続される回路について説明する。
ンサーの回路を示す図27は加算器21の入力端と差動
増幅器20の入力端とを接続していることを除けば、図
19と同じである。すなわち図27において、左側の上
下電極2aと3aを接続し、右側の上下電極2bと3b
を接続している。
ンサーの作動原理は、駆動用電極101a,101bに
25kHzの駆動電圧を印加してy方向に自励振動さ
せ、コリオリ力によるx方向の振動で生じる検出用電極
102a,102bのコリオリ信号を差動増幅器20で
検出し、加算器21の出力である励振信号で同期検波器
22により同期検波してローパスフィルター23により
回転角速度ωに比例した信号が得られる。
説明する。上記実施の形態と同じ部分には同一の符号を
付し、その詳細な説明は省略する。
電振動角速度センサーの振動子110である。振動子1
10は、四角柱形状の圧電体115の各面に電極がメッ
キ又は印刷により形成されてなる。図29に、振動子1
10の拡大断面図を示すが、第1の側面としての上面1
11には、第1の電極111bがメッキにより形成され
ている。第2の側面としての下面112には第2の電極
112aがメッキにより形成されている。第3の側面1
13には、例えばスクリーン印刷により第3の電極11
3aが形成されている。同様に、第4の側面114にも
印刷により第4の電極114aが形成されている。矢印
Pは分極の方向を示す。
て説明するが、図13に示される第3の実施の形態と同
様な方法で、上下面にメッキされ、厚さ方向に分極処理
された薄板36から四角柱片115を切り出し、振動子
110を得る。切り出された後、四角柱片115の両側
面に、図29で示されるように、印刷により第3の電極
113aと第4の電極114aを形成する。
が、上記実施の形態と同様であるため簡単に説明する
と、切り出された振動子110は、4個の支持フレーム
40の8カ所の支持部40aと半田付けにより接合され
る。そして、上下に対向する支持フレーム40間に支持
ブロック41を挟ませて固定させ、振動子110は宙吊
りの状態で支持される。その他、回路との接続や共振の
節点、共振周波数の調整についても上記実施の形態と同
様なことが言える。
接続される回路について説明する。
用いた角速度センサーの処理回路であり、振動子110
の駆動・検出兼用の側面電極113a,114aに差動
増幅器20が接続されており、下面電極112aはアー
スされており、上面電極111aは振動バランスを確保
するためのものである。それ以外の回路構成は図6と同
様である。作動原理は、電極113a,114aに駆動
電圧が印加されると振動子110はy方向に振動し、回
転24によりx方向にコリオリ力が働くので電極113
a,114bで信号を検出する。この信号処理も図10
の場合と同様である。
る振動子は、接着や溶接等の作業精度の管理が難しい工
程を必要としない工程により製造される簡単な構造であ
り、製造コストを下げることができる。且つ高精度の組
立(製造)が容易になり、小型化による組立精度低下の
問題点を克服できる。すなわち、一体的な圧電体を単純
な四角柱構造とし、しかも平板から砥石加工で切り出す
という簡単な加工で得られ、電極の形成も平面にされる
ので容易に精度良くでき、検出特性に優れた高精度の振
動子の製造ができる。また、平板状の圧電体の上下面に
ひとまとまりに電極をメッキで形成した後、四角柱状の
振動子への切出し加工と同時に溝を設けて電極を分割し
ているので、独立した電極の形成が容易にできる。ま
た、圧電セラミックスで振動子を構成するので、振動子
の構成材料にNiを含む高価な磁性体を使用する第1従
来例に比べ、製品価格の削減、モータなどからの磁界に
よる検出感度の狂いがないという効果も奏する。また、
分極処理は、振動子を切り出す前に、平板両面にメッキ
により電極を形成させた後、厚さ方向に行う方が一回で
行え、切り出した後それぞれの振動子に側面電極を印刷
した後、それぞれについて分極処理をするよりも手間が
かからず簡単に行える。また、分極の方向の違いによ
り、圧電体の伸縮の方向にわずかな違いが生じるが、振
動子としての作動上では本質的な差はない。
したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、
本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能であ
る。
動させ共振させたが、他励振動でもよい。この場合、完
全に共振周波数で振動させることは難しく、共振周波数
に近い値での振動となる。
度は振動子の中心Cのまわりに生ずるとして説明した
が、2つの検出用電極から等距離にある中心Cを通る直
線上の点のまわりに回転角速度が発生すれば検出でき
る。
圧電体の上下面にはメッキにより電極を形成し、振動子
を切り出した後のその側面には印刷により電極を形成し
たが、両者ともメッキあるいは印刷により形成してもよ
い。また、上下面には印刷で、側面にはメッキで形成し
てもよい。
よる圧電振動角速度センサーによれば、その振動子の構
造を単純化し、製造コストを下げ、加工精度も高くする
ことができ、特性の安定化を確保しつつ振動子の小型化
を図ることができる。
圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法によれば、
振動子を簡単な工程で製造でき、製造コストを低くで
き、また加工精度も高くすることができるので、特性の
バラツキのない振動子を製造でき、小型化も可能とな
る。
図である。
ンを示した平板状圧電素子の斜視図で、BはAに示す平
板状圧電素子の部分拡大斜視図である。
と支持フレームとの結合状況を示す斜視図で、Bは更に
フレーム固定ブロックを取り付けた斜視図である。
ある。
図である。
ンを示した平板状圧電素子の斜視図で、BはAに示す平
板状圧電素子の部分拡大斜視図である。
と支持フレームとの結合状況を示す斜視図で、Bは更に
フレーム固定ブロックを取り付けた斜視図である。
である。
視図である。
インを示した平板状圧電素子の斜視図で、BはAに示す
平板状圧電素子の部分拡大斜視図である。
子と支持フレームとの結合状況を示す斜視図で、Bは更
にフレーム固定ブロックを取り付けた斜視図である。
である。
視図である。
子と支持フレームとの結合状況を示す斜視図で、Bは更
にフレーム固定ブロックを取り付けた斜視図である。
である。
視図である。
子と支持フレームとの結合状況を示す斜視図で、Bは更
にフレーム固定ブロックを取り付けた斜視図である。
である。
視図である。
子と支持フレームとの結合状況を示す斜視図で、Bは更
にフレーム固定ブロックを取り付けた斜視図である。
である。
視図である。
子と支持フレームとの結合状況を示す斜視図で、Bは更
にフレーム固定ブロックを取り付けた斜視図である。
である。
ある。
である。
る。
である。
器、21……加算器、22……同期検波器、23……ロ
ーパスフィルター、24……回転、25……減算器、3
0……振動子、33a……第1分割電極、33b……第
2分割電極、34a……第3分割電極、34b……第4
分割電極、40……支持フレーム、41……支持ブロッ
ク、60……振動子、61a……第1分割電極、61b
……第2分割電極、62a……第3の電極、63a……
第4の電極、64a……第5の電極、70……振動子、
71a……第1の電極、72a……第2の電極、73a
……第3の電極、74a……第4の電極、80……振動
子、81a……第1分割電極、81b……第2分割電
極、82a……第3分割電極、82b……第4分割電
極、83a……第5の電極、84a……第6の電極、9
0……振動子、91a……第1分割電極、91b……第
2分割電極、92a……第3の電極、93a……第4の
電極、94a……第5の電極、100……振動子、10
1a……第1分割電極、101b……第2分割電極、1
02a……第3分割電極、102b……第4分割電極、
103a……第5の電極、104a……第6の電極、1
10……振動子、111a……第1の電極、112a…
…第2の電極、113a……第3の電極、114a……
第4の電極、P……分極、ω……角速度ベクトル
Claims (17)
- 【請求項1】 共振振動している振動子に回転角速度が
加わると発生するコリオリ力を検出することにより前記
角速度を検出する圧電振動角速度センサーにおいて、 前記振動子は、分極処理が施され、四角柱状の圧電体で
あり、その側面には、平行に対向した側面に形成された
電極の対が、少なくとも2対以上形成されており、 前記圧電体は振動の節点で支持され、前記電極のうちの
励振駆動用電極に交流電圧を印加して、軸方向に関して
の両端を自由端として共振振動させ、前記回転角速度が
加わると前記コリオリ力の発生で生じる電圧差を前記電
極のうちの2つの検出用電極から検出するようにしたこ
とを特徴とする圧電振動角速度センサー。 - 【請求項2】 前記四角柱の第1の側面には、軸方向に
沿って2分割された、第1分割電極と第2分割電極とが
形成されており、これと対称に、前記第1の側面と対向
する第2の側面にも軸方向に沿って2分割された、第3
分割電極と第4分割電極が形成され、前記第3及び前記
第4分割電極から前記第1及び前記第2分割電極の方向
に分極され、前記第1分割電極を前記励振駆動用兼前記
検出用電極、前記第2分割電極を前記検出用電極とし
て、前記コリオリ力の発生で生じる電圧差を前記第1分
割電極と前記第2分割電極とから検出するようにしたこ
とを特徴とする請求項1に記載の圧電振動角速度センサ
ー。 - 【請求項3】 前記四角柱の第1の側面には、軸方向に
沿って2分割された第1分割電極と第2分割電極とが形
成されており、前記第1の側面と対向する第2の側面に
は第3の電極が形成され、前記第1及び第2の側面と垂
直な第3の側面及びこの第3の側面と対向する第4の側
面には、それぞれ第4、第5の電極が形成されており、
前記第1分割電極と前記第2分割電極とからそれぞれ前
記第4の電極と前記第5の電極の方向に分極され、前記
第1分割電極と前記第2分割電極を前記励振駆動用兼前
記検出用電極として、前記コリオリ力の発生で生じる電
圧差を前記第1分割電極と前記第2分割電極とから検出
するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の圧電
振動角速度センサー。 - 【請求項4】 前記四角柱の第1の側面には第1の電極
が形成され、前記第1の側面と対向する第2の側面には
第2の電極が形成され、前記第1及び第2の側面と垂直
な第3の側面及びこの第3の側面と対向する第4の側面
には、それぞれ第3、第4の電極が形成されており、前
記第1の電極と前記第2の電極とからそれぞれ前記第3
の電極又は前記第4の電極の方向に分極され、前記第1
の電極と前記第2の電極を前記励振駆動用兼前記検出用
電極として、前記コリオリ力の発生で生じる電圧差を前
記第1の電極と前記第2の電極とから検出するようにし
たことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動角速度セ
ンサー。 - 【請求項5】 前記四角柱の第1の側面には、軸方向に
沿って2分割された、第1分割電極と第2分割電極とが
形成されており、これと対称に、前記第1の側面と対向
する第2の側面にも、軸方向に沿って2分割された第3
分割電極と第4分割電極とが形成されており、前記第1
及び第2の側面と垂直で前記第1分割電極及び前記第3
分割電極側の第3の側面には第5の電極が形成され、こ
の第3の側面と対向する第4の側面には、第6の電極が
形成されており、前記第1分割電極から前記第5の電極
の方向と、前記第2分割電極から前記第6の電極の方向
と、前記第3分割電極から前記第5の電極の方向と、前
記第4分割電極から前記第6の電極の方向に分極され、
前記第1分割電極と前記第2分割電極を前記励振駆動用
電極として、前記第3分割電極と前記第4分割電極を前
記検出用電極として、前記コリオリ力の発生で生じる電
圧差を前記第3分割電極と前記第4分割電極とから検出
するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の圧電
振動角速度センサー。 - 【請求項6】 前記四角柱の第1の側面には、軸方向に
沿って2分割された、第1分割電極と第2分割電極とが
形成されており、前記第1の側面と対向する第2の側面
には第3の電極が形成され、前記第1及び第2の側面と
垂直な第3の側面及びこの第3の側面と対向する第4の
側面には、それぞれ第4、第5の電極が形成されてお
り、前記第1及び前記第2分割電極から前記第3の電極
の方向に分極され、前記第1分割電極と前記第2分割電
極を前記自励振駆動用兼前記検出用電極として、前記コ
リオリ力の発生で生じる電圧差を前記第1分割電極と前
記第2分割電極とから検出するようにしたことを特徴と
する請求項1に記載の圧電振動角速度センサー。 - 【請求項7】 前記四角柱の第1の側面には、軸方向に
沿って2分割された、第1分割電極と第2分割電極とが
形成されており、これと対称に、前記第1の側面と対向
する第2の側面にも、軸方向に沿って2分割された、第
3分割電極と第4分割電極とが形成され、前記第1及び
第2の側面と垂直で前記第1分割電極及び前記第3分割
電極側の第3の側面には第5の電極が形成され、この第
3の側面と対向する第4の側面には、第6の電極が形成
されており、前記第1及び前記第2分割電極から前記第
3及び前記第4分割電極の方向に分極され、前記第1分
割電極と前記第2分割電極を前記励振駆動用兼検出用電
極として、前記第3分割電極と前記第4分割電極を前記
検出用電極として、前記コリオリ力の発生で生じる電圧
差を前記第3分割電極と前記第4分割電極とから検出す
るようにしたことを特徴とする請求項1に記載の圧電振
動角速度センサー。 - 【請求項8】 前記四角柱の第1の側面には第1の電極
が形成され、前記第1の側面と対向する第2の側面には
第2の電極が形成され、前記第1及び第2の側面と垂直
な第3の側面及びこの第3の側面と対向する第4の側面
には、それぞれ第3、第4の電極が形成されており、前
記第1の電極から前記第2の電極の方向に分極され、前
記第3の電極と前記第4の電極を前記励振駆動用兼前記
検出用電極として、前記コリオリ力の発生で生じる電圧
差を前記第3の電極と前記第4の電極とから検出するよ
うにしたことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動角
速度センサー。 - 【請求項9】 共振振動している振動子に回転角速度が
加わると発生するコリオリ力を検出することにより前記
角速度を検出する圧電振動角速度センサーの振動子の製
造方法において、 平板状の圧電体の厚さ方向の両面全面に、メッキ又は印
刷により電極を形成し、前記厚さ方向に分極処理し、こ
の平板を多数の四角柱片に切断することにより、電極形
成面を有する四角柱形状の圧電体でなる振動子を得るよ
うにしたことを特徴とする圧電振動角速度センサーの振
動子の製造方法。 - 【請求項10】 前記四角柱片の前記電極が形成された
両面又はどちらか一方の面に軸方向に延びる溝を形成し
前記電極を2分割したことを特徴とする請求項9に記載
の圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。 - 【請求項11】 前記四角柱片への切断と前記溝の形成
を、同一の砥石を用いて連続的に行うようにしたことを
特徴とする請求項10に記載の圧電振動角速度センサー
の振動子の製造方法。 - 【請求項12】 前記平板から切断された四角柱片の前
記電極が形成された両面と垂直な2つの面にもメッキ又
は印刷により電極を形成したことを特徴とする請求項9
乃至請求項11の何れかに記載の圧電振動角速度センサ
ーの振動子の製造方法。 - 【請求項13】 共振振動している振動子に回転角速度
が加わると発生するコリオリ力を検出することにより前
記角速度を検出する圧電振動角速度センサーの振動子の
製造方法において、 平板状の圧電体の厚さ方向の両面全面にそれぞれ、メッ
キ又は印刷により第1の電極と第2の電極を形成し、こ
の平板を多数の四角柱片に切断し、この四角柱片の前記
第1及び第2の電極が形成された両面と垂直な2つの面
それぞれにメッキ又は印刷により第3の電極と第4の電
極を形成した後、分極処理を行い、各側面に電極が形成
された四角柱形状の圧電体でなる振動子を得るようにし
たことを特徴とする圧電振動角速度センサーの振動子の
製造方法。 - 【請求項14】 前記分極の方向は、前記第1及び前記
第2の電極から、前記第3の電極又は前記第4の電極へ
の方向であることを特徴とする請求項13に記載の圧電
振動角速度センサーの振動子の製造方法。 - 【請求項15】 前記四角柱片の前記第1の電極が形成
された面に、軸方向に延びる溝を形成し前記第1の電極
を、前記第3の電極側の第1分割電極と、前記第4の電
極側の第2分割電極とに2分割して、前記第1分割電極
から前記第3の電極の方向に分極させ、前記第2分割電
極から前記第4の電極の方向に分極させたことを特徴と
する請求項13に記載の圧電振動角速度センサーの振動
子の製造方法。 - 【請求項16】 前記四角柱片の前記第1の電極が形成
された面に軸方向に延びる溝を形成し、前記第1の電極
を、前記第3の電極側の第1分割電極と、前記第4の電
極側の第2分割電極とに2分割し、これと対称に、前記
第2の電極が形成された面にも軸方向に延びる溝を形成
し、前記第2の電極を、前記第3の電極側の第3分割電
極と、前記第4の電極側の第4分割電極とに2分割し、
前記第1分割電極から前記第3の電極の方向に分極さ
せ、前記第2分割電極から前記第4の電極の方向に分極
させ、前記第3分割電極から前記第3の電極の方向に分
極させ、前記第4分割電極から前記第4の電極の方向に
分極させたことを特徴とする請求項13に記載の圧電振
動角速度センサーの振動子の製造方法。 - 【請求項17】 前記四角柱片への切断と前記溝の形成
を、同一の砥石を用いて連続的に行うようにしたことを
特徴とする請求項15又は請求項16に記載の圧電振動
角速度センサーの振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19292999A JP4172100B2 (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 圧電振動角速度センサー及びその振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19292999A JP4172100B2 (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 圧電振動角速度センサー及びその振動子の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001021359A true JP2001021359A (ja) | 2001-01-26 |
JP2001021359A5 JP2001021359A5 (ja) | 2005-07-21 |
JP4172100B2 JP4172100B2 (ja) | 2008-10-29 |
Family
ID=16299352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19292999A Expired - Fee Related JP4172100B2 (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 圧電振動角速度センサー及びその振動子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4172100B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007058343A1 (ja) | 2005-11-21 | 2007-05-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 振動子およびその製造方法 |
JP2014233191A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-11 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータおよび光学機器 |
-
1999
- 1999-07-07 JP JP19292999A patent/JP4172100B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007058343A1 (ja) | 2005-11-21 | 2007-05-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 振動子およびその製造方法 |
JPWO2007058343A1 (ja) * | 2005-11-21 | 2009-05-07 | 株式会社村田製作所 | 振動子およびその製造方法 |
US7579760B2 (en) | 2005-11-21 | 2009-08-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator and production method therefor |
JP4636086B2 (ja) * | 2005-11-21 | 2011-02-23 | 株式会社村田製作所 | 振動子およびその製造方法 |
JP2014233191A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-11 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータおよび光学機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4172100B2 (ja) | 2008-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3407689B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH0894362A (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
JP2007108044A (ja) | 振動ジャイロ用素子及び振動ジャイロ | |
JP2006201118A (ja) | 圧電振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ | |
JP2002277248A (ja) | 角速度センサ | |
JPH08278146A (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH08152328A (ja) | 角速度センサ及びその使用方法 | |
JP2007232710A (ja) | 振動ジャイロ用振動子 | |
JP3601822B2 (ja) | 双音さ型振動ジャイロセンサ | |
JP4172100B2 (ja) | 圧電振動角速度センサー及びその振動子の製造方法 | |
JP3368723B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3336730B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2005345404A (ja) | 圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法 | |
JP2009128020A (ja) | 音叉型圧電単結晶振動子を用いた圧電振動ジャイロ | |
JP2000146593A (ja) | 振動ジャイロの支持構造および支持方法 | |
JP2001183140A (ja) | 振動子駆動機構および角速度センサ | |
JP2008145325A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2009192403A (ja) | 角速度および加速度検出装置 | |
JPH09113279A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2010096695A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3122925B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用の圧電振動子 | |
JP3287201B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH09287956A (ja) | 角速度センサ | |
JP4514121B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2000337886A (ja) | マイクロジャイロスコープ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041130 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041130 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20041130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080408 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080604 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080722 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080804 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |