JP2000146593A - 振動ジャイロの支持構造および支持方法 - Google Patents
振動ジャイロの支持構造および支持方法Info
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Abstract
とができる振動ジャイロの支持構造、およびそのような
支持構造を得るための支持方法を得る。 【解決手段】 振動ジャイロ10は、接合された直方体
状の圧電体基板14a,14bと、その対向側面に電極
16,18,20を形成した振動子12を含む。振動子
12の屈曲振動の2つのノード点に対応する部分におい
て、電極20に支持部材22a,22bを取り付ける。
支持部材22a,22bは、電極20と一定の間隔を隔
てるようにして、導電性接着剤24で電極20に固着さ
れる。そのために、電極20に導電性接着剤を印刷し、
これに電極20と平行な面を形成して支持部を作製す
る。支持部の面に支持部材22a,22bを配置して、
導電性接着剤で支持部に固定することにより、支持部材
22a,22bを振動子12に取り付ける。
Description
持構造および支持方法に関し、特にたとえば、カメラの
手振れ防止やカーナビゲーションシステムなどに使用さ
れる振動ジャイロを支持するための、振動ジャイロの支
持構造および支持方法に関する。
ャイロを示す斜視図であり、図9はその断面図である。
振動ジャイロ1は、振動子2を含む。振動子2は、2つ
の圧電体基板3a,3bを接合することによって形成さ
れる。これらの圧電体基板3a,3bは、図9に矢印で
示すように、互いに逆向きの厚み方向に分極される。
された電極4a,4bが形成される。これらの電極4
a,4bは、圧電体基板3aの側面の幅方向に2つに分
割され、圧電体基板3aの長手方向に延びるように形成
される。さらに、他方の圧電体基板3bの外側面の全面
に、別の電極5が形成される。振動子2は、電極5が形
成された面において、支持部材6によって支持される。
支持部材6は、たとえば金属線などで形成される。この
支持部材6が折り曲げられて、突起部6aが形成され
る。この突起部6aが、振動子2の2つのノード点に対
応する部分において、電極5に接触させられる。そし
て、シリコン樹脂を含む弾性接着剤7によって、支持部
材6が振動子2の電極5に固着される。
と電極5との間に駆動信号が印加される。2つの圧電体
基板3a,3bは、互いに逆向きに分極されているた
め、振動子2は、バイモルフ構造となっており、駆動信
号によって振動子2が、電極4a,4b形成面および電
極5形成面に直交する向きに屈曲振動する。このとき、
振動子2は、その長手方向の両端から少し内側にある2
つのノード点を中心として屈曲振動する。このような方
向に振動子2が屈曲振動しているとき、電極4a,4b
からは同じ信号が出力されるため、これらの信号の差を
とれば、2つの出力信号が相殺されて0となる。
子2の軸を中心として回転すると、振動子2の屈曲振動
の向きに直交する向きにコリオリ力が働く。そのため、
振動子2の屈曲振動の方向が変わり、電極4a,4bの
出力信号が変化する。つまり、一方の電極4aからの出
力信号がコリオリ力に対応して増加すると、他方の電極
4bからの出力信号がコリオリ力に対応して減少する。
したがって、これらの電極4a,4bからの出力信号の
差をとれば、コリオリ力に対応した信号のみを得ること
ができる。このように、電極4a,4bの出力信号の差
を測定することにより、振動ジャイロ1に加わった回転
角速度を検出することができる。
うな振動ジャイロの支持構造では、支持部材の突起部を
振動子の側面に接触させ、弾性接着剤で固着しているた
め、振動子が支持部材に対して傾きやすく、振動子と支
持部材との間隔を一定にすることが難しい。そのため、
支持部材によって、振動子の振動がダンピングされ、こ
れが温度ドリフトの原因となる。また、支持部材を介し
て、振動子の振動漏れが発生し、これも温度ドリフトの
原因となる。
度ドリフトを小さくすることができる振動ジャイロの支
持構造を提供することである。また、この発明の目的
は、温度ドリフトを小さくすることができる振動ジャイ
ロの支持構造を得るための支持方法を提供することであ
る。
が形成された振動子の屈曲振動を利用して回転角速度を
検出する振動ジャイロの支持構造であって、振動子を支
持するために振動子の幅方向に延びる支持部材を有し、
振動子の屈曲振動のノード点に対応する部分において、
振動子の側面の電極と支持部材とが一定の間隔を隔て
て、導電性接着剤で電極に支持部材が固着されることを
特徴とする、振動ジャイロの支持構造である。このよう
な振動ジャイロの支持構造において、支持部材は、振動
子の1つの側面に形成された電極または対向側面に形成
された電極に固着することができる。また、導電性接着
剤の硬度は、鉛筆硬度B〜6Hであることが好ましい。
さらに、この発明は、屈曲振動をする振動子のノード点
に対応する部分において振動子の側面に形成されて電極
に導電性接着剤を印刷する工程と、電極から一定の間隔
となる面を導電性接着剤に形成して支持部を形成する工
程と、支持部に形成された面上に支持部材を配置する工
程と、導電性接着剤によって支持部に支持部材を固着す
る工程とを含む、振動ジャイロの支持方法である。
とが一定の間隔を隔てて配置されるため、振動子の振動
がダンピングされにくく、温度ドリフトを抑えることが
できる。また、支持部材が導電性接着剤を介して振動子
に固着されており、直接振動子に接触していないため、
支持部材からの振動漏れを抑えることができる。さら
に、導電性接着剤の硬度を、鉛筆硬度でB〜6Hの範囲
にしておくことにより、温度ドリフトを抑制する効果が
高い。このような振動ジャイロの支持構造を得るため
に、まず、振動子の側面に導電性接着剤が印刷され、こ
の導電性接着剤を加工して、振動子の側面の電極から一
定の間隔となる面を有する支持部が形成される。この面
は、ダイサーなどを用いて、精度よく形成することがで
きる。したがって、この支持部の面に支持部材を配置し
て、導電性接着剤で固着することにより、支持部材の位
置精度がよくなり、電極から一定の間隔で支持部材を固
着することができるとともに、振動子のノード点に近い
位置で支持することができる。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
た振動ジャイロの一例を示す斜視図であり、図2はその
断面図である。振動ジャイロ10は、振動子12を含
む。振動子12は、直方体状の第1の圧電体基板14a
および第2の圧電体基板14bを含む。これらの圧電体
基板14a,14bとしては、たとえば圧電セラミック
やLiNbO3 ,LiTaO3 の単結晶などが用いられ
る。そして、第1の圧電体基板14aおよび第2の圧電
体基板14bは接合される。第1の圧電体基板14aと
第2の圧電体基板14bは、図2に矢印で示すように、
互いに逆向きの厚み方向に分極される。したがって、振
動子12は、バイモルフ構造となる。
つの電極16,18が形成される。これらの電極16,
18は、第1の圧電体基板14aの幅方向に2分割さ
れ、第1の圧電体基板14aの長手方向に延びるように
形成される。さらに、第2の圧電体基板14bの外側面
の全面に、別の電極20が形成される。このような振動
子12を作製するには、たとえば大きい2枚の圧電体基
板をエポキシ樹脂などで接合して積層基板を形成し、積
層基板の両面に電極を形成して、一方の圧電体基板上に
形成された電極に所定の間隔で溝を形成したのち、ダイ
シングカットなどによって積層基板を切断すればよい。
で形成された直線状の支持部材22a,22bが取り付
けられる。支持部材22a,22bは、振動子12の2
つのノード点に対応する部分において、振動子12の幅
方向に延びるようにして、導電性接着剤24で電極20
上に接着される。このとき、振動子12と支持部材22
a,22bとの間隔が一定となるように、支持部材22
a,22bが取り付けられる。
振動子12の2つのノード点に対応する部分において、
電極20上に導電性接着剤が印刷される。この導電性接
着剤が硬化したのち、図3に示すように、ダイサーなど
を用いて、硬化した導電性接着剤に電極20と平行な面
を含む溝26aが形成され、支持部26が形成される。
このように、支持部材26では、溝26aが電極20と
平行、つまり振動子12の外側面と平行であるので、溝
26aと振動子12との間隔は一定となる。そして、図
4に示すように、この支持部26の溝26aに支持部材
22が配置され、支持部材22と支持部26とが導電性
接着剤で固着される。
図5に示すように、第1の圧電体基板14a上に形成さ
れた電極16,18に抵抗30,32が接続される。こ
れらの抵抗30,32と電極20との間には、発振回路
34が接続される。発振回路34は、たとえば増幅回路
と位相補正回路とを含み、電極20から出力される信号
が発振回路34に帰還される。そして、増幅回路および
位相補正回路によって、帰還された信号のレベルおよび
位相が調整され、電極16,18に与えられる。
入力端に接続される。差動回路36の出力端は、同期検
波回路38に接続される。同期検波回路38では、たと
えば発振回路34の信号に同期して、差動回路36の出
力信号が検波される。同期検波回路38は平滑回路40
に接続され、さらに平滑回路40は直流増幅回路42に
接続される。
よって自励振駆動される。このとき、振動子12はバイ
モルフ構造であるため、第1の圧電体基板14aがその
主面に平行する向きに延びたとき、第2の圧電体基板1
4bはその主面に平行する向きに縮む。逆に、第1の圧
電体基板14aがその主面に平行する向きに縮んだと
き、第2の圧電体基板14bがその主面に平行する向き
に延びる。そのため、振動子12は、電極16,18形
成面および電極20形成面に直交する向きに屈曲振動す
る。
いないとき、電極16,18形成部分の振動状態は同じ
でる。そのため、電極16,18から出力される信号は
同じであり、差動回路36で相殺されるため、差動回路
36からは信号が出力されない。振動子12の軸を中心
として回転すると、屈曲振動の向きと直交する向きにコ
リオリ力が働く。このコリオリ力により、振動子12の
屈曲振動の向きが変わる。そのため、電極16,18形
成部分の振動状態に差が生じ、電極16,18から出力
される信号に差が生じる。たとえば、電極16から出力
される信号が大きくなったとき、電極18から出力され
る信号は小さくなる。逆に、電極16から出力される信
号が小さくなったとき、電極18から出力される信号は
大きくなる。したがって、差動回路36から、2つの電
極16,18の出力信号の差が得られる。電極16,1
8の出力信号の変化は、振動子12の屈曲振動の向きの
変化、すなわちコリオリ力に対応している。したがっ
て、差動回路36からは、コリオリ力に対応したレベル
の信号が出力される。
38において、発振回路34の信号に同期して検波され
る。このとき、差動回路36の出力信号の正部分のみ、
または負部分のみ、または正負いずれかを反転した信号
が検波される。同期検波回路38で検波された信号は、
平滑回路40で平滑され、さらに直流増幅回路42で増
幅される。したがって、直流増幅回路42の出力信号を
測定することにより、振動ジャイロ10に加わった回転
角速度を検出することができる。
の屈曲振動の向きの変化も逆になり、電極16,18の
出力信号の変化は逆となる。そのため、差動回路36か
ら出力される信号は逆位相となり、同期検波回路38で
検波される信号も逆極性となる。そのため、直流増幅回
路42からの出力信号の極性も逆となる。したがって、
直流増幅回路42の出力信号の極性から、回転角速度の
方向を検出することができる。
a,22bが導電性接着剤24で形成された支持部26
で振動子12に取り付けられ、振動子12と支持部材2
2a,22bとの間隔が一定に保たれているため、振動
子12の屈曲振動が支持部材22a,22bによってダ
ンピングされにくい。そのため、振動ジャイロ10の温
度ドリフトを小さくすることができる。特に、導電性接
着剤24の硬度が鉛筆硬度B〜6Hの範囲内であると
き、この効果が高いことがわかった。実験例として、導
電性接着剤24の硬度とドリフトとの関係を調べ、その
結果を図6に示した。図6からわかるように、導電性接
着剤24の硬度が、鉛筆硬度B〜6Hの間で、ドリフト
が20(deg/sec)と小さいことがわかる。
着剤24で形成された支持部26を介して振動子12に
取り付けられ、支持部材22a,22bが直接振動子1
2に接触していないため、振動子12の振動が支持部材
22a,22bから漏れにくい。そのため、振動ジャイ
ロ10の温度ドリフトを小さくすることができる。
面のみでなく、対向する両側面に取り付けられてもよ
い。この場合、図7に示すように、4つの支持部材22
a,22b,22c,22dが取り付けられる。ここ
で、隣接する電極16,18が支持部材22c,22d
で短絡されると、振動ジャイロとしての機能が発揮でき
ないため、電極16,18のそれぞれを振動子12のノ
ード点に対応する位置で分割し、ノード点に対応する部
分に形成された電極部分16a,18aに支持部材22
c,22dが取り付けられる。この場合、電極部分16
a,18aに導電性接着剤で支持部を形成し、電極1
6,18と平行になる面を支持部に形成して、この面に
支持部材22c,22dを取り付ければよい。そして、
電極16の中央部の電極部分16bに、支持部材22c
から延びる延長部を接続し、電極18の中央部の電極部
分18bに、支持部材22dから延びる延長部を接続す
ることにより、支持部材22c,22dを介して電極1
6,18に信号を入出力することができる。なお、図7
に示す支持部材22c,22dの接続構造は一例であ
り、支持部材22c,22dがそれぞれ電極16,18
に接続され、かつ電極16,18が短絡しない構造であ
れば、他の接続構造を採用してもよい。
ード点に対応する部分のそれぞれに少なくとも1つ取り
付けられていればよく、振動子12の電極20側の2つ
の部分に支持部材22a,22bを形成し、電極16,
18側の1つの部分に支持部材22cまたは22dのど
ちらか一方を形成してもよい。さらに、振動子12の電
極20側において、一方のノード点に対応する部分に支
持部材22aを形成し、電極16,18側において、他
方のノード点に対応する部分に支持部材22dを形成し
てもよい。もちろん、振動子12の対向側面において、
支持部材22b,22cを形成してもよいことはいうま
でもない。
ることにより、リード線を用いることなく、支持部材を
信号の入出力用として用いることができる。特に、全て
の電極16,18,20に支持部材を取り付ける場合、
全くリード線などを用いる必要がなく、リード線のテン
ションなどの影響を取り除くことができる。そのため、
リード線の影響がなく、温度ドリフトが小さい、良好な
特性を有する振動ジャイロ10を得ることができる。
に延びる支持部材とが一定の間隔を隔てて配置されてい
るため、振動子の振動が支持部材によってダンピングさ
れにくい。また、支持部材が直接振動子に接触していな
いため、振動子の振動が支持部材を介して漏れにくい。
これらのことから、振動ジャイロの温度ドリフトを小さ
くすることができる。特に、導電性接着剤の硬度を鉛筆
硬度B〜6Hの範囲にすることにより、この効果を大き
くすることができる。また、振動子のノード点に対応す
る位置において、予め振動子の側面に形成された電極と
平行な面を有する支持部を形成しておき、この面に支持
部材を配置することにより、支持部材の位置の精度をよ
くすることができる。したがって、支持部材と電極との
間の間隔を一定にすることができ、しかも振動子のノー
ド点に近い部分で振動子を支持することができ、振動ジ
ャイロの温度ドリフトを小さくすることができる。
例を示す斜視図である。
子に支持部を形成した状態を示す斜視図である。
示す図解図である。
を示すブロック図である。
とドリフトとの関係を示すグラフである。
示す斜視図である。
示す斜視図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 側面に電極が形成された振動子の屈曲振
動を利用して回転角速度を検出する振動ジャイロの支持
構造であって、 前記振動子を支持するために前記振動子の幅方向に延び
る支持部材を有し、 前記振動子の屈曲振動のノード点に対応する部分におい
て、前記振動子の側面の前記電極と前記支持部材とが一
定の間隔を隔てて、導電性接着剤で前記電極に前記支持
部材が固着されることを特徴とする、振動ジャイロの支
持構造。 - 【請求項2】 前記支持部材は、前記振動子の1つの側
面に形成された前記電極または対向側面に形成された前
記電極に固着される、請求項1に記載の振動ジャイロの
支持構造。 - 【請求項3】 前記導電性接着剤の硬度は、鉛筆硬度B
〜6Hである、請求項1または請求項2に記載の振動ジ
ャイロの支持構造。 - 【請求項4】 屈曲振動をする振動子のノード点に対応
する部分において前記振動子の側面に形成された前記電
極に導電性接着剤を印刷する工程、 前記電極から一定の間隔となる面を前記導電性接着剤に
形成して支持部を形成する工程、 前記支持部に形成された前記面上に支持部材を配置する
工程、および導電性接着剤によって前記支持部に前記支
持部材を固着する工程を含む、振動ジャイロの支持方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32491798A JP3767212B2 (ja) | 1998-11-16 | 1998-11-16 | 振動ジャイロの支持構造および支持方法 |
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---|---|---|---|
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Publications (2)
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JP2000146593A true JP2000146593A (ja) | 2000-05-26 |
JP3767212B2 JP3767212B2 (ja) | 2006-04-19 |
Family
ID=18171065
Family Applications (1)
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JP32491798A Expired - Fee Related JP3767212B2 (ja) | 1998-11-16 | 1998-11-16 | 振動ジャイロの支持構造および支持方法 |
Country Status (1)
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1496337A1 (en) | 2003-05-12 | 2005-01-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Structures for supporting vibrators |
US7161282B2 (en) | 2003-02-12 | 2007-01-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator support structure and manufacturing method for the support structure |
JP2008022324A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子の支持構造 |
EP1635139A3 (en) * | 2004-09-10 | 2010-04-28 | Seiko Epson Corporation | Structures for supporting vibrators and devices for measuring physical quantities using such structures |
PL238990B1 (pl) * | 2018-09-25 | 2021-10-25 | Inst Spawalnictwa | Urządzenie wibracyjne, zwłaszcza do stabilizacji wymiarów wyrobów metalowych |
-
1998
- 1998-11-16 JP JP32491798A patent/JP3767212B2/ja not_active Expired - Fee Related
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