JP2000098126A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
- Publication number
- JP2000098126A JP2000098126A JP27152798A JP27152798A JP2000098126A JP 2000098126 A JP2000098126 A JP 2000098126A JP 27152798 A JP27152798 A JP 27152798A JP 27152798 A JP27152798 A JP 27152798A JP 2000098126 A JP2000098126 A JP 2000098126A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- color filter
- color
- substrate
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】液晶表示装置に用いるカラーフィルタ基板にお
けるブラックマトリクスの素材として、金属膜および金
属化合物の膜は高価であり、樹脂は、カラーフィルタと
の重なり部分で生じる突起が表示品位に影響するうえ歩
留まりも悪かった。これらのコスト負荷を低減する方法
を提供すること。 【解決手段】画面パターンの額縁部および基板外周部の
アライメントマーカーを、複数色の着色レジストパター
ン形成工程のうち第１色目のパターン形成工程にて同時
に形成すること。
けるブラックマトリクスの素材として、金属膜および金
属化合物の膜は高価であり、樹脂は、カラーフィルタと
の重なり部分で生じる突起が表示品位に影響するうえ歩
留まりも悪かった。これらのコスト負荷を低減する方法
を提供すること。 【解決手段】画面パターンの額縁部および基板外周部の
アライメントマーカーを、複数色の着色レジストパター
ン形成工程のうち第１色目のパターン形成工程にて同時
に形成すること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置等に内蔵されるカラーフィルターの製造方法に関す
る。
置等に内蔵されるカラーフィルターの製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置に用いるカラーフィルタ基
板において、着色フィルタ部の間隙および外枠の遮光部
（ブラックマトリクス）のパターンとして従来から、ク
ロム等の金属膜および金属化合物の膜を使用している。
図２に示すように、ガラス基板１上の全面に形成した金
属膜をフォトリソグラフィーによりパターン形成し、ブ
ラックマトリクス５、その外枠部３、およびマーカー４
を形成した後、着色レジストによるカラーフィルタ２の
パターンを赤、緑、青の各色について順次繰り返し形成
することにより、カラーフィルタ基板を完成する。金属
膜および金属化合物の膜はパターン精度にすぐれ、０．
１〜０．２μｍ程度の薄い膜厚でも遮光性が大きいとい
う利点がある一方、高価で製造コストが高いという欠点
がある。
板において、着色フィルタ部の間隙および外枠の遮光部
（ブラックマトリクス）のパターンとして従来から、ク
ロム等の金属膜および金属化合物の膜を使用している。
図２に示すように、ガラス基板１上の全面に形成した金
属膜をフォトリソグラフィーによりパターン形成し、ブ
ラックマトリクス５、その外枠部３、およびマーカー４
を形成した後、着色レジストによるカラーフィルタ２の
パターンを赤、緑、青の各色について順次繰り返し形成
することにより、カラーフィルタ基板を完成する。金属
膜および金属化合物の膜はパターン精度にすぐれ、０．
１〜０．２μｍ程度の薄い膜厚でも遮光性が大きいとい
う利点がある一方、高価で製造コストが高いという欠点
がある。
【０００３】そこで、低コスト化の要求から、代替材料
として低反射の遮光性樹脂によるブラックマトリクスが
検討され、採用されている。しかしながら、遮光性樹脂
によるブラックマトリクスは、必要な遮光濃度（ＯＤ値
＞３．５）を満たすためには膜厚が１μｍ以上は必要で
あり、白抜け防止のためオーバーラップさせて形成した
ブラックマトリクス５とカラーフィルタ２との重なり部
分では図３に示すように突起状となる。その突起が障害
となって液晶パネル化工程でのセルギャップ量のばらつ
きが大きくなるため、表示品位を大幅に劣化させてしま
うという問題があった。また、カラーフィルタの製造工
程としても金属膜に比べ品質が劣る上に歩留まりも悪
く、全体の品質に影響していた。これらの問題は、カラ
ーフィルタの低価格化の流れの中で、大きなコスト負荷
要因となっている。
として低反射の遮光性樹脂によるブラックマトリクスが
検討され、採用されている。しかしながら、遮光性樹脂
によるブラックマトリクスは、必要な遮光濃度（ＯＤ値
＞３．５）を満たすためには膜厚が１μｍ以上は必要で
あり、白抜け防止のためオーバーラップさせて形成した
ブラックマトリクス５とカラーフィルタ２との重なり部
分では図３に示すように突起状となる。その突起が障害
となって液晶パネル化工程でのセルギャップ量のばらつ
きが大きくなるため、表示品位を大幅に劣化させてしま
うという問題があった。また、カラーフィルタの製造工
程としても金属膜に比べ品質が劣る上に歩留まりも悪
く、全体の品質に影響していた。これらの問題は、カラ
ーフィルタの低価格化の流れの中で、大きなコスト負荷
要因となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記のような
ブラックマトリクス形成を省略して、上記のような問題
点とコスト負荷を低減することを目的とする。
ブラックマトリクス形成を省略して、上記のような問題
点とコスト負荷を低減することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、液晶表示装置
用カラーフィルタの製造方法において、ブラックマトリ
クスを形成していない透明基板上に、画面パターンの額
縁部および基板外周部のアライメントマーカーを、複数
色の着色レジストパターン形成工程のうち第１色目のパ
ターン形成工程にて同時に形成することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造方法である。
用カラーフィルタの製造方法において、ブラックマトリ
クスを形成していない透明基板上に、画面パターンの額
縁部および基板外周部のアライメントマーカーを、複数
色の着色レジストパターン形成工程のうち第１色目のパ
ターン形成工程にて同時に形成することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造方法である。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を以下に図面
を用いて説明する。図１（ａ）において示すように、ガ
ラス基板１上にまず第１色目の赤色の着色レジスト２’
をスピンコート法などにより全面にコーティングして、
乾燥した後、フォトマスク６を介して紫外線を露光し、
現像、水洗して、図１（ｂ）に示すように、カラーフィ
ルタ２の赤色パターン部位、パターンの１画面の外周の
外枠部３、および基板端部近辺のアライメント用マーカ
ー４の各パターンを形成する。次いで、同様にカラーフ
ィルタ２の緑色パターン部位のパターンのみを形成する
ためのフォトマスクを介して紫外線を露光し現像、水洗
して、図１（ｃ）に示すように、同パターンをパターニ
ングする。最後に、図１（ｄ）に示すようにカラーフィ
ルタ２の青色パターン部位を同様にしてパターニングす
ることにより、カラーフィルタ基板を完成する。
を用いて説明する。図１（ａ）において示すように、ガ
ラス基板１上にまず第１色目の赤色の着色レジスト２’
をスピンコート法などにより全面にコーティングして、
乾燥した後、フォトマスク６を介して紫外線を露光し、
現像、水洗して、図１（ｂ）に示すように、カラーフィ
ルタ２の赤色パターン部位、パターンの１画面の外周の
外枠部３、および基板端部近辺のアライメント用マーカ
ー４の各パターンを形成する。次いで、同様にカラーフ
ィルタ２の緑色パターン部位のパターンのみを形成する
ためのフォトマスクを介して紫外線を露光し現像、水洗
して、図１（ｃ）に示すように、同パターンをパターニ
ングする。最後に、図１（ｄ）に示すようにカラーフィ
ルタ２の青色パターン部位を同様にしてパターニングす
ることにより、カラーフィルタ基板を完成する。
【０００７】なお現在、カラーフィルタ２の各色のパタ
ーン間は、僅かにオーバーラップするように形成してい
るが、オーバーラップ量が小さいことから、この重なり
による突起は、従来の樹脂を用いたブラックマトリクス
上にオーバーラップして形成されていたカラーフィルタ
による突起に比較すれば極めて小さく、液晶表示装置と
した場合の画像の表示品位に影響するものではない。ま
た、本発明のカラーフィルタでは省略した、カラーフィ
ルタ間のブラックマトリクスは、かわりに対向基板（Ｔ
ＦＴ回路形成側基板）に設けるが、こうすることで、ブ
ラックマトリクスとカラーフィルタ間の樹脂の重なりは
起こらず、上記のような厚い樹脂の重なりによる大きな
突起が生じることがない。
ーン間は、僅かにオーバーラップするように形成してい
るが、オーバーラップ量が小さいことから、この重なり
による突起は、従来の樹脂を用いたブラックマトリクス
上にオーバーラップして形成されていたカラーフィルタ
による突起に比較すれば極めて小さく、液晶表示装置と
した場合の画像の表示品位に影響するものではない。ま
た、本発明のカラーフィルタでは省略した、カラーフィ
ルタ間のブラックマトリクスは、かわりに対向基板（Ｔ
ＦＴ回路形成側基板）に設けるが、こうすることで、ブ
ラックマトリクスとカラーフィルタ間の樹脂の重なりは
起こらず、上記のような厚い樹脂の重なりによる大きな
突起が生じることがない。
【０００８】
【発明の効果】本発明の方法により、従来クロム等や樹
脂にて別途形成していたブラックマトリクスおよびアラ
イメントマークのうち、画素パターン間のブラックマト
リクスは廃止して対向（ＴＦＴ）電極側に移し、パター
ンの外周枠部およびアライメントマークを着色レジスト
の第１色目にて同時に形成することで、コストダウンと
なり、また工程数も減ることから不良率も低減する効果
がある。
脂にて別途形成していたブラックマトリクスおよびアラ
イメントマークのうち、画素パターン間のブラックマト
リクスは廃止して対向（ＴＦＴ）電極側に移し、パター
ンの外周枠部およびアライメントマークを着色レジスト
の第１色目にて同時に形成することで、コストダウンと
なり、また工程数も減ることから不良率も低減する効果
がある。
【０００９】
【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を工
程順に示す説明図である。
程順に示す説明図である。
【図２】従来の、ブラックマトリクスに金属および金属
化合物を用いたカラーフィルタの断面の一例を示す説明
図である。
化合物を用いたカラーフィルタの断面の一例を示す説明
図である。
【図３】従来の、ブラックマトリクスに樹脂を用いたカ
ラーフィルタの断面の一例を示す説明図である。
ラーフィルタの断面の一例を示す説明図である。
１ ガラス基板 ２ カラーフィルタ ２’ 着色レジスト ３ 外枠部 ４ マーカー ５ ブラックマトリクス ６ フォトマスク
Claims (1)
- 【請求項１】液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法
において、ブラックマトリクスを形成していない透明基
板上に、画面パターンの額縁部および基板外周部のアラ
イメントマーカーを、複数色の着色レジストパターン形
成工程のうち第１色目のパターン形成工程にて同時に形
成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27152798A JP2000098126A (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27152798A JP2000098126A (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000098126A true JP2000098126A (ja) | 2000-04-07 |
Family
ID=17501316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27152798A Pending JP2000098126A (ja) | 1998-09-25 | 1998-09-25 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000098126A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6652062B2 (en) | 2000-03-31 | 2003-11-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge recording head with orifice plate having extended portion fixed to recording head main body, liquid discharge recording apparatus having such head, and method for manufacturing such head |
| WO2004011987A1 (ja) * | 2002-07-29 | 2004-02-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | 視差バリア層付き基板および視差バリア層付き基板の製造方法ならびに３次元表示装置 |
| JP2007065665A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Asml Netherlands Bv | デバイス製造方法、マスクおよびデバイス |
| CN100410756C (zh) * | 2005-01-25 | 2008-08-13 | 统宝光电股份有限公司 | 彩色滤光基板及其制造方法 |
| JP2013025297A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶表示パネル用部材の作成方法及び液晶表示パネル用部材 |
| US20140134770A1 (en) * | 2012-11-09 | 2014-05-15 | Tae-Jong EOM | Methods of manufacturing optical filters and methods of manufacturing organic light emitting display devices having optical filters |
| CN104777664A (zh) * | 2015-04-28 | 2015-07-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 黑色矩阵的制作方法 |
| JP2017151290A (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ及びその製造方法 |
| WO2019223296A1 (zh) * | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板的制作方法和显示面板 |
| US11594707B2 (en) | 2019-10-07 | 2023-02-28 | Joled Inc. | Self-luminous display panel having different distances between openings of light-shielding film and light-emitting elements depending on light emission color of the light-emitting elements |
| US11864443B2 (en) | 2019-10-04 | 2024-01-02 | Jdi Design And Development G. K. | Self-luminous display panel having different optical distances between light-shielding film and light emission reference points depending on light emission color |
-
1998
- 1998-09-25 JP JP27152798A patent/JP2000098126A/ja active Pending
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6652062B2 (en) | 2000-03-31 | 2003-11-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge recording head with orifice plate having extended portion fixed to recording head main body, liquid discharge recording apparatus having such head, and method for manufacturing such head |
| US6975466B2 (en) | 2000-03-31 | 2005-12-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge recording head, liquid discharge recording apparatus, and method for manufacturing liquid discharge head |
| WO2004011987A1 (ja) * | 2002-07-29 | 2004-02-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | 視差バリア層付き基板および視差バリア層付き基板の製造方法ならびに３次元表示装置 |
| US7420637B2 (en) | 2002-07-29 | 2008-09-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate with parallax barrier layer, method for producing substrate with parallax barrier layer, and three-dimensional display |
| CN100410756C (zh) * | 2005-01-25 | 2008-08-13 | 统宝光电股份有限公司 | 彩色滤光基板及其制造方法 |
| JP2007065665A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Asml Netherlands Bv | デバイス製造方法、マスクおよびデバイス |
| JP4658004B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2011-03-23 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | デバイス製造方法 |
| JP2013025297A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶表示パネル用部材の作成方法及び液晶表示パネル用部材 |
| US20140134770A1 (en) * | 2012-11-09 | 2014-05-15 | Tae-Jong EOM | Methods of manufacturing optical filters and methods of manufacturing organic light emitting display devices having optical filters |
| US8951700B2 (en) * | 2012-11-09 | 2015-02-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Methods of manufacturing optical filters and methods of manufacturing organic light emitting display devices having optical filters |
| CN104777664A (zh) * | 2015-04-28 | 2015-07-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 黑色矩阵的制作方法 |
| WO2016173210A1 (zh) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 黑色矩阵的制作方法 |
| JP2017151290A (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ及びその製造方法 |
| WO2019223296A1 (zh) * | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板的制作方法和显示面板 |
| US11864443B2 (en) | 2019-10-04 | 2024-01-02 | Jdi Design And Development G. K. | Self-luminous display panel having different optical distances between light-shielding film and light emission reference points depending on light emission color |
| US11594707B2 (en) | 2019-10-07 | 2023-02-28 | Joled Inc. | Self-luminous display panel having different distances between openings of light-shielding film and light-emitting elements depending on light emission color of the light-emitting elements |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100353167B1 (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
| US6606137B2 (en) | Method of fabricating color filter using a single mask having plurality of patterns, each having different aperture ratios | |
| KR100236613B1 (ko) | 액티브 매트릭스 액정표시 장치의 블랙 매트릭스 제조 방법 | |
| JP2000098126A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JP2003177506A (ja) | フォトリソグラフィ用マスク、薄膜形成方法、並びに液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法 | |
| US7470491B2 (en) | Method of fabricating color filter panel using back exposure and structure of color filter panel | |
| JP2008281919A (ja) | カラーフィルタ形成基板の作製方法およびカラーフィルタ形成基板 | |
| JP4033196B2 (ja) | フォトリソグラフィ用マスク、薄膜形成方法及び液晶表示装置の製造方法 | |
| JPH10142628A (ja) | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 | |
| JPH0687084B2 (ja) | カラーフイルタの製造方法 | |
| JPH07239411A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JP2012042645A (ja) | カラーフィルタとその製造方法、カラーフィルタ基板ならびに液晶表示装置 | |
| JP2003131020A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JP3142900B2 (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JP2000028815A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| KR980010626A (ko) | 컬러 필터 기판의 제조 방법 | |
| JPH02297502A (ja) | 液晶カラーフイルタの製造方法 | |
| KR940007570A (ko) | 액정표시장치(lcd)용 칼라필터 및 그 제조방법 | |
| JPH0954209A (ja) | カラーフィルタの形成方法 | |
| KR101683894B1 (ko) | 칼라필터 제조용 포토마스크 | |
| JPH0317621A (ja) | 多色表示装置の製造方法 | |
| JPH03209203A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPH09171106A (ja) | カラーフィルターの作製方法 | |
| JPH0862606A (ja) | 液晶パネル | |
| JP2022052245A (ja) | カラーフィルタ基板およびカラーフィルタ基板の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041012 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050222 |