KR940007570A - 액정표시장치(lcd)용 칼라필터 및 그 제조방법 - Google Patents

액정표시장치(lcd)용 칼라필터 및 그 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR940007570A
KR940007570A KR1019920017263A KR920017263A KR940007570A KR 940007570 A KR940007570 A KR 940007570A KR 1019920017263 A KR1019920017263 A KR 1019920017263A KR 920017263 A KR920017263 A KR 920017263A KR 940007570 A KR940007570 A KR 940007570A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
color filter
color
pattern
lcd
manufacturing
Prior art date
Application number
KR1019920017263A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100242435B1 (ko
Inventor
진용석
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사 filed Critical 김광호
Priority to KR1019920017263A priority Critical patent/KR100242435B1/ko
Publication of KR940007570A publication Critical patent/KR940007570A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100242435B1 publication Critical patent/KR100242435B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514—Colour filters
    • G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133512—Light shielding layers, e.g. black matrix
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514—Colour filters
    • G02F1/133519—Overcoatings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

본 발명은 LCD용 칼라필터 및 그 제조방법에 관한 것으로서 빛의 3원색인 R, G, B 화소의 정밀한 형태와 정확한 색도를 내기위해 영화 필름이나 슬라이드 필름 현상과 같은 포지티브 칼라필름(POSITIVE COLOR FILM) 현상을 이용한 것이다.
즉, 내열 내광, 내화학성을 가진 포지티브 감광액을 도포한 기판상에 크롬이 패터닝된 1매의 포토마스크를 이용하여 스테퍼(STEPPER)로 여러부위 이동시키면서 각각 노광시켜 동일 높이의 R, G, B 삼원색을 형성함과 동시에 노광시 마스크 패턴에 의하여 상기 R, G, B 삼원색이 겹쳐지는 부분, 즉 적, 녹, 청색이 모두 노광된 부분인 흑색 블랙 매트릭스가 상기 R,G,B 삼원색과 동일 높이로 형성되므로 칼라필터를 제작함에 있어 3번 이상의 코팅 공정 및 에칭공정을 한번에 끝낼수 있어 공정이 단순화되고, 색도 조절이 동일할 뿐 아니라 칼라필터의 표면 평활화를 위한 노력을 감소시킬 수 있는 고신뢰성의 LCD용 칼라필터를 실현할 수 있다.

Description

액정표시장치(LCD)용 칼리필터 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 포토마스크의 단면도, 제3(A)도 내지 제3(E)도는 본 발명에 따른 LCD용 칼라필터의 제초공정도이다.

Claims (11)

  1. 기판상에 박막 트랜지스터의 열화를 방지하기 위해 소정간격을 두고 동일 높이로 형성된 다수의 블랙 매트릭스와, 상기 블랙 매트릭스 사이에 상기 블랙 매트릭스와 동일 높이로 각각 분리되어 순차적으로 형성된 제1 내지 제3색 필터층과, 동일 높이로 형성된 상기 블랙 매트릭스와 색 필터층 위에 도포된 투명 전극막으로 구성됨을 특징으로 하는 LCD용 칼라필터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판은 유리, 석영 또는 고분자 필름으로 형성됨을 특징으로 하는 LCD용 칼라필터.
  3. 제1항에 있어서, R, G, B 패턴과 블랙 매트릭스는 포지티브 칼라 감광액으로 형성됨을 특징으로 하는 LCD용 칼라필터.
  4. 제1항 및 제3항에 있어서, 상기 블랙 매트릭스는 R, G, B 삼원색이 모두 노광되어 상기 삼원색이 겹쳐지는 부분으로 이루어짐을 특징으로 하는 LCD용 칼라필터.
  5. 포지티브 칼라 감광액이 도포된 기판상에 포토마스크를 이용하여 서로 동일 높이로 제1색 내지 제3색 필터층을 순차로 형성함과 동시에 상기 제1색 내지 제3색 필터층 사이에 상기 필터층과 동일 높이로 박막 트랜지스터의 열화를 방지하기 위해 소정간격으로 블랙 매트릭스를 형성하는 단계 및 상기 평탄화된 블랙 매트릭스와 제1색 내지 제3색 필터층 상에 투명 전극막을 형성하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 LCD용 칼리필터.
  6. 제5항에 있어서, 상기 LCD용 칼라필터는 포지티브 칼라 감광물질의 발색원리를 이용하여 제조됨을 특징으로 하는 LCD용 칼라필터의 제조방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 칼라 필터의 발색은 노광후 상기 R,G,B 패턴을 현상액에 침적시키므로써 일어남을 특징으로 하는 LCD용 칼라필터의 제조방법.
  8. 제5항에 있어서, 상기 포토마스크는 석영기판 상에 크롬패턴이 패터닝 된 것으로 상기 마스크 패턴은 소정간격을 두고 연이어 위치한 두개의 크롬패턴과 상기 크롬패턴의 폭 만큼을 다시 띄운 형태가 연속적으로 반복 배열됨을 특징으로 하는 LCD용 칼라필터의 제조방법.
  9. 제5항에 있어서, 상기 제1색 내지 제3색 필터층 및 블랙 매트릭스는 포지티브 칼라 감광액이 도포된 기판상에 1매의 포토마스크를 이용하여 화면 사이즈에 따라 스테퍼로 여러부위를 이동하면서 노광시켜 적색패턴인 제1색 필터층을 형성 시킨뒤, 다시 사기 제조공정과 동일한 방법으로 스테터를 이동, 노광시켜 녹색패턴과 청색패턴인 제2색 및 제3색 필터층을 형성함과 흑색을 나타내는 부분인 블랙 매트릭스가 동시에 형성됨을 특징으로 하는 LCD용 칼라필터의 제조방법.
  10. 제5항 및 제9항에 있어서, 상기 노광장치인 스테퍼는 가시광선으로 노광을 실시하여 상기 칼라필터를 패터닝 시키는 것을 특징으로 하는 LCD용 칼라필터의 제조방법.
  11. 제5항에 있어서, 상기 투명 전극막을 노광후 바로 현상액에 침적, 현상시킨 뒤, 정착과정과 건조과정을 거쳐 형성됨을 특징으로 하는 LCD용 칼라필터의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920017263A 1992-09-22 1992-09-22 액정표시장치용 칼라필터 및 그 제조방법 KR100242435B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019920017263A KR100242435B1 (ko) 1992-09-22 1992-09-22 액정표시장치용 칼라필터 및 그 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019920017263A KR100242435B1 (ko) 1992-09-22 1992-09-22 액정표시장치용 칼라필터 및 그 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR940007570A true KR940007570A (ko) 1994-04-27
KR100242435B1 KR100242435B1 (ko) 2000-02-01

Family

ID=19339938

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019920017263A KR100242435B1 (ko) 1992-09-22 1992-09-22 액정표시장치용 칼라필터 및 그 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100242435B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100432993B1 (ko) * 1996-12-30 2004-08-25 삼성에스디아이 주식회사 칼라필터를채용한액정표시소자및그칼라필터의제조방법
KR100723555B1 (ko) * 2004-05-21 2007-05-31 산요덴키가부시키가이샤 반투과형 액정 표시 장치, 및 수직 배향형 액정 표시 장치및 그 제조 방법
KR100726133B1 (ko) * 2001-02-02 2007-06-12 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치용 컬러필터와 그 제조방법
KR100910555B1 (ko) * 2002-09-11 2009-08-03 삼성전자주식회사 컬러 필터 제조용 마스크 및 이를 이용한 표시 장치용컬러 기판의 제조 방법

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100847811B1 (ko) * 2001-10-22 2008-07-23 엘지디스플레이 주식회사 액정표시소자 및 그 제조방법

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100432993B1 (ko) * 1996-12-30 2004-08-25 삼성에스디아이 주식회사 칼라필터를채용한액정표시소자및그칼라필터의제조방법
KR100726133B1 (ko) * 2001-02-02 2007-06-12 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치용 컬러필터와 그 제조방법
KR100910555B1 (ko) * 2002-09-11 2009-08-03 삼성전자주식회사 컬러 필터 제조용 마스크 및 이를 이용한 표시 장치용컬러 기판의 제조 방법
KR100723555B1 (ko) * 2004-05-21 2007-05-31 산요덴키가부시키가이샤 반투과형 액정 표시 장치, 및 수직 배향형 액정 표시 장치및 그 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR100242435B1 (ko) 2000-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0138459B1 (en) Liquid crystal display device having color filter
US6606137B2 (en) Method of fabricating color filter using a single mask having plurality of patterns, each having different aperture ratios
JP2008281919A (ja) カラーフィルタ形成基板の作製方法およびカラーフィルタ形成基板
KR940007570A (ko) 액정표시장치(lcd)용 칼라필터 및 그 제조방법
JP2000098126A (ja) カラーフィルタの製造方法
KR960035098A (ko) 액정 디스플레이(lcd)용 칼라필터 및 그 제조방법
KR100538291B1 (ko) 컬러필터기판의제조방법
JPH0439603A (ja) カラーフィルタの製造方法
JP3895789B2 (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
KR940015597A (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
JPS62254103A (ja) カラーフィルタの製造方法
KR880000500B1 (ko) 칼라 액정 표시소자의 칼라필터 제조방법
KR960016636B1 (ko) 액정 표시 소자용 컬러 필터 제조 방법
JP4235630B2 (ja) カラーフィルタ基板及び液晶表示装置
JPH0317621A (ja) 多色表示装置の製造方法
JPH07181317A (ja) 液晶表示装置用カラーフィルター基板の製造方法
JP4057697B2 (ja) カラーフィルタ基板及びそれを用いた液晶表示装置
JPS62153904A (ja) 液晶表示体用カラ−フイルタの製造法
JPH06160620A (ja) カラーフィルタと遮光膜の形成方法
JPS63231315A (ja) 遮光膜の形成方法
KR960029817A (ko) 액정디스플레이용 컬러 필터의 제조방법
JPH04278901A (ja) カラーフィルター及びその製造方法
JPS62253123A (ja) 液晶装置用電極基板の製造方法
JPH09159817A (ja) カラーフィルタパネルおよびその製造方法
JPH0311301A (ja) カラーフィルタの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20071029

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee