JP2000022072A - マルチチップモジュール - Google Patents

マルチチップモジュール

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JP2000022072A
JP2000022072A JP19163398A JP19163398A JP2000022072A JP 2000022072 A JP2000022072 A JP 2000022072A JP 19163398 A JP19163398 A JP 19163398A JP 19163398 A JP19163398 A JP 19163398A JP 2000022072 A JP2000022072 A JP 2000022072A
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semiconductor chip
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output
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Takeyoshi Ochiai
勇悦 落合
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 集積回路パッケージを構成する半導体チップ
の単独テストを部品点数を増加させることなく可能とし
たマルチチップモジュールを提供する。 【解決手段】 第一の半導体チップ2に、外部からテス
ト信号を入力する入力端子群12と、通常モードとテス
トモードを切り替える切替回路210と出力をチップ外
部でモニターする出力端子群14を設け、第二の半導体
チップ3に、外部からテスト信号を入力する入力端子群
15と、前記入力をモニターする出力端子群17と通常
モードとテストモードを切り替える切替回路300を設
け、入力端子群11または入力端子群15からテスト信
号を供給して第一の半導体チップ2または第二の半導体
チップ3のテストを行なうと共に、各半導体チップ2,
3間の接続テストを行なうようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は複数の半導体チップ
を一つのパッケージに搭載したマルチチップモジュー
ル、特にそのテスト装置を内蔵したマルチチップモジュ
ールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、各種電子機器の小型軽量化に伴
い、ハードウエア構成として複数の半導体チップを一つ
のパッケージに内蔵したいわゆるマルチチップモジュー
ルが採用され始めている。マルチチップモジュールにし
た場合、内蔵されている各半導体チップのそれぞれの機
能をテストすることが大変重要になっており、そのテス
ト装置を内蔵したマルチチップモジュールとしては、例
えば特開平5−13662号公報に記載されているもの
が知られている。
【0003】以下、従来のこの種のマルチチップモジュ
ールについて図面を参照しながら説明する。図5は従来
のマルチチップモジュールの構成を示すブロック図であ
り、図中、1は集積回路パッケージであり、入力端子群
11、出力端子群18、入出力端子群19、切替制御端
子群20を有している。2は機能Aを有する第一の半導
体チップであり、入力端子群21、出力端子群24を有
する。3は機能Bを有する第二の半導体チップであり、
入力端子群31、出力端子群35を有する。4は第一の
半導体チップ2と第二の半導体チップ3の接続や切断を
行う切替用チップであり、入力端子群41、入出力端子
群42、切替制御端子群43、出力端子群44を有す
る。なお、切替用チップ4は切替制御端子群43に論理
レベル“L,L”を印加すると、入力端子群41に入力
された信号が出力端子群44からそのまま出力される。
また、切替制御端子群43に論理レベル“L,H”を印
加すると、入出力端子群42に入力された信号が出力端
子群44からそのまま出力される。さらに切替制御端子
群43に論理レベル“H,L”を印加すると、入力端子
群41に入力された信号が入出力端子群42からそのま
ま出力されるようになっている。
【0004】図5における各端子の接続関係は次のよう
になっている。すなわち、集積回路パッケージ1の入力
端子群11と第一の半導体チップ2の入力端子群21が
接続され、第一の半導体チップ2の出力端子群24と切
替用チップ4の入力端子群41が接続され、集積回路パ
ッケージ1の入出力端子群19と切替用チップ4の入出
力端子群42が接続され、集積回路パッケージ1の切替
制御端子群20と切替用チップ4の切替制御端子群43
が接続され、切替用チップ4の出力端子群44と第二の
半導体チップ3の入力端子群31が接続され、第二の半
導体チップ3の出力端子群35と集積回路パッケージの
出力端子群18がそれぞれ接続されている。
【0005】以下その動作について説明する。第一の半
導体チップ2をテストする場合は、まず、切替制御端子
群20に論理レベル“H,L”を印加し、次に入力端子
群11に第一の半導体チップ2の機能を確認するための
テスト信号を入力する。第一の半導体チップ2で信号処
理された結果は出力端子群24から出力される。切替用
チップ4は入力端子群41に入力された信号が入出力端
子群42からそのまま出力されるようになっているた
め、第一の半導体チップ2の出力は入出力端子群19に
出力されるので、第一の半導体チップ2をテストするこ
とができる。
【0006】次に、第二の半導体チップ3をテストする
場合は、まず、切替制御端子群20に論理レベル“L,
H”を印加し、次に入出力端子群19に第二の半導体チ
ップ3の機能を確認するためのテスト信号を入力する。
切替用チップ4は入出力端子群42に入力された信号が
出力端子群44からそのまま出力されるようになってい
るため、入出力端子群19に入力された信号は第二の半
導体チップ3の入力端子群31に入力される。第二の半
導体チップ3で信号処理された結果は出力端子群35を
通り集積回路パッケージ1の出力端子群18から出力さ
れるので、第二の半導体チップ3をテストすることがで
きる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な構成では、第一の半導体チップと第二の半導体チップ
の他に切替用チップが必要であるため、集積回路パッケ
ージを構成するための部品点数が増加してしまうという
問題点があった。
【0008】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
であり、集積回路パッケージを構成する半導体チップの
単独テストを部品点数を増加させることなく可能とした
マルチチップモジュールを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明のマルチチップモ
ジュールは、各半導体チップ内に、半導体チップ間を接
続する端子と共に出力をチップ外部でモニターするため
の外部端子とテスト信号を入力するための外部端子と通
常モードとテストモードを切り替えるための切替手段を
備えたものである。
【0010】この発明によれば、集積回路パッケージ内
に切替用チップを設置しなくても各半導体チップを単独
でテストできるので、従来のように、テストのために部
品点数を増加させることがなく、容易にテストを行なう
ことができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施の形態につ
いて図面を参照しながら説明する。なお、前記従来のも
の及び各実施の形態において同一の部分については同一
の符号を用いるものとする。
【0012】(実施の形態1)図1は本発明のマルチチ
ップモジュールの実施の形態1における構成を示すブロ
ック図であり、図中、1は集積回路パッケージ、2は集
積回路パッケージ1に内蔵された機能Aを有する第一の
半導体チップ、3は第一の半導体チップ2と同様に集積
回路パッケージ1に内蔵された機能Bを有する第二の半
導体チップである。集積回路パッケージ1は、入力端子
群11および第一の半導体チップの出力を外部からモニ
ターするための出力端子群14および出力端子群18を
有している。第一の半導体チップ2は、入力端子群2
1、第二の半導体チップに信号を出力するための出力端
子群24、出力をモニターするための出力端子群25、
機能回路200を有する。機能回路200は入力端子群
201、出力端子群202を有する。第二の半導体チッ
プ3は、入力端子群31、出力端子群35を有する。
【0013】図1における各端子の接続関係は次のよう
になっている。集積回路パッケージ1の入力端子群11
と第一の半導体チップ2の入力端子群21と機能回路2
00の入力端子群201がそれぞれ接続され、また、機
能回路200の出力端子群202と出力端子群24と第
二の半導体チップ3の入力端子群31およびモニター用
出力端子群25と集積回路パッケージ1の出力端子群1
4がそれぞれ接続され、更に、第二の半導体チップ3の
出力端子群35と集積回路パッケージ1の出力端子群1
8がそれぞれ接続されている。
【0014】以下、その動作について説明するが、本実
施の形態においては第一の半導体チップ2を単独にテス
トする場合について述べる。まず、集積回路パッケージ
1の入力端子群11にテスト信号を入力する。入力され
たテスト信号は第一の半導体チップ2の入力端子群21
を通り、機能回路200に供給されてこのテスト信号に
対応した信号処理が行なわれ、出力端子群202に出力
される。出力端子群202から出力された信号は、第一
の半導体チップ2の出力端子群24に出力されると同時
に、出力端子群25を通って集積回路パッケージ1の出
力端子群14にも出力される。このため、第一の半導体
チップ2を単独でテストすることができる。
【0015】以上のように本実施の形態によれば、半導
体チップ内に半導体チップ間を接続する端子群と共に出
力をチップ外部でモニターするための出力端子群を備え
ることにより、従来のような切替用チップを用いること
なく半導体チップを単独でテストすることができる。
【0016】(実施の形態2)図2は本発明のマルチチ
ップモジュールの実施の形態2おける構成を示すブロッ
ク図であり、図中、1は集積回路パッケージ、2は集積
回路パッケージ1に内蔵された機能Aを有する第一の半
導体チップ、3は第一の半導体チップ2と同様に集積回
路パッケージ1に内蔵された機能Bを有する第二の半導
体チップである。集積回路パッケージ1は、入力端子群
11、第二の半導体チップ3にテスト信号を入力するた
めの入力端子群15、通常モードとテストモードを選択
するための切替制御端子16、出力端子群18を有して
いる。第一の半導体チップ2は、入力端子群21、出力
端子群24を有する。第二の半導体チップ3は、入力端
子群31、テスト信号を入力するための入力端子群3
2、通常モードとテストモードを選択するための切替制
御端子33、出力端子群35、切替回路300、機能回
路310を有する。切替回路300は入力端子群30
1、テスト信号を入力する入力端子群302、切替制御
端子303、出力端子群304を有する。機能回路31
0は、入力端子群311、出力端子群312を有する。
【0017】図2における各端子の接続関係は次のよう
になっている。すなわち、集積回路パッケージ1の入力
端子群11と第一の半導体チップ2の入力端子群21が
接続され、第一の半導体チップ2の出力端子群24と第
二の半導体チップ3の入力端子群31と切替回路300
の入力端子群301が接続され、集積回路パッケージ1
の入力端子群15と第二の半導体チップ3の入力端子群
32と切替回路300の入力端子群302が接続され、
集積回路パッケージ1の切替制御端子16と第二の半導
体チップ3の切替制御端子33と切替回路300の切替
制御端子303が接続され、切替回路300の出力端子
群304と機能回路310の入力端子群311が接続さ
れ、機能回路310の出力端子群312と第二の半導体
チップ3の出力端子群35と集積回路パッケージ1の出
力端子群18がそれぞれ接続されている。
【0018】ここで、第二の半導体チップ3の切替回路
300は、切替制御端子303に論理レベル“L”を入
力すると、入力端子群301から入力された信号がその
まま出力端子群304に出力されるようになっており、
また、切替制御端子303に論理レベル“H”を入力す
ると、入力端子群302から入力された信号がそのまま
出力端子群304に出力されるようになっている。
【0019】以下、その動作について説明するが、本実
施の形態においては第二の半導体チップ3を単独にテス
トする場合について述べる。まず、集積回路パッケージ
1の切替制御端子16に論理レベル“H”を入力する。
次に入力端子群15から第二の半導体チップ3をテスト
するための信号を入力すると、第二の半導体チップ3の
切替回路300は入力端子群302から入力された信号
がそのまま出力端子群304に出力されるようになって
いるので、集積回路パッケージ1の入力端子群15から
入力されたテスト信号はそのまま機能回路310に入力
される。機能回路310は入力されたテスト信号に対応
した信号処理を行い、その結果を出力端子群312に出
力し、出力された信号は第二の半導体チップ3を通って
集積回路パッケージ1の出力端子群18に出力される。
このため、第一の半導体チップ2を単独でテストするこ
とができる。
【0020】以上のように本実施の形態によれば、集積
回路パッケージに内蔵される複数の半導体チップにおい
て、前段の半導体チップから信号を受け取る入力端子群
の他に、テスト信号を入力するための入力端子群と、通
常モードとテストモードを切り替えるための切替手段を
設けることにより、従来のような切替用チップを用いる
ことなく半導体チップを単独でテストできる。
【0021】(実施の形態3)図3は本発明のマルチチ
ップモジュールの実施の形態3おける構成を示すブロッ
ク図であり、図中、1は集積回路パッケージ、2は集積
回路パッケージ1に内蔵された機能Aを有する第一の半
導体チップ、3は第一の半導体チップ2と同様に、集積
回路パッケージ1に内蔵された機能Bを有する第二の半
導体チップである。集積回路パッケージ1は、入力端子
群11、テスト信号を入力するための入力端子群12、
通常モードとテストモードを選択するための切替制御端
子13、第二の半導体チップ3に入力される信号をモニ
ターするための出力端子群17、出力端子群18を有し
ている。第一の半導体チップ2は、入力端子群21、テ
スト信号を入力するための入力端子群22、通常モード
とテストモードを選択するための切替制御端子23、出
力端子群24、機能回路200、切替回路210を有す
る。機能回路200は入力端子群201、出力端子群2
02を有する。切替回路210は入力端子群211、テ
スト信号を入力するための入力端子群212、通常モー
ドとテストモードを選択するための切替制御端子21
3、出力端子群214を有する。第二の半導体チップ3
は、入力端子群31、入力される信号をモニターするた
めの出力端子群34、出力端子群35、機能回路310
を有する。機能回路310は、入力端子群311、出力
端子群312を有する。
【0022】図3における各端子の接続関係は次のよう
になっている。集積回路パッケージ1の入力端子群11
と第一の半導体チップ2の入力端子群21と機能回路2
00の入力端子群201が接続され、機能回路200の
出力端子群202と切替回路210の入力端子群211
が接続され、集積回路パッケージ1の入力端子群12と
第一の半導体チップ2の入力端子群22と切替回路21
0の入力端子群212が接続され、集積回路パッケージ
1の切替制御端子13と第一の半導体チップ2の切替制
御端子23と切替回路210の切替制御端子213が接
続され、切替回路210の出力端子群214と第一の半
導体チップ2の出力端子群24と第二の半導体チップ3
の入力端子群31と機能回路310の入力端子群311
および第二の半導体チップ3の出力端子群34と集積回
路パッケージ1の出力端子群17がそれぞれ接続され、
機能回路310の出力端子群312と第二の半導体チッ
プ3の出力端子群35と集積回路パッケージ1の出力端
子群18がそれぞれ接続されている。
【0023】ここで第一の半導体チップ2の切替回路2
10は、切替制御端子213に論理レベル“L”を入力
すると、入力端子群211から入力された信号がそのま
ま出力端子群214に出力されるようになっており、ま
た、切替制御端子213に論理レベル“H”を入力する
と、入力端子群212から入力された信号がそのまま出
力端子群214に出力されるようになっている。
【0024】以下、その動作について説明するが、本実
施の形態においては第一の半導体チップ2と第二の半導
体チップ3の接続をテストする場合について述べる。
【0025】まず、集積回路パッケージ1の切替制御端
子13に論理レベル“H”を入力すると共に、集積回路
パッケージ1の入力端子群12から任意の信号を入力す
ると切替回路210は入力端子群212から入力された
信号がそのまま出力端子群214に出力されるようにな
っているので、入力端子群12から入力された信号は切
替回路210の出力端子群214からそのまま出力さ
れ、第一の半導体チップ2の出力端子群24に出力され
る。この信号は図示したように集積回路パッケージ1の
出力端子群17でモニターできるため、第一の半導体チ
ップ2と第二の半導体チップ3の接続をテストすること
ができる。
【0026】以上のように本実施の形態によれば、集積
回路パッケージに内蔵される複数の半導体チップの接続
部において、前段の半導体チップの出力部にテスト信号
を入力するための入力端子群と、通常モードとテストモ
ードを切り替えるための切替手段を設け、さらに次段の
半導体チップの入力部に入力される信号をモニターする
ための出力端子群を設けることにより、半導体チップ間
の接続を非常に簡単にテストできる。
【0027】(実施の形態4)図4は本発明のマルチチ
ップモジュールの実施の形態4おける構成を示すブロッ
ク図であり、本実施の形態は前記の実施の形態1,2,
3を統合したものである。図中、1は集積回路パッケー
ジ、2は集積回路パッケージ1に内蔵された機能Aを有
する第一の半導体チップ、3は第一の半導体チップ2と
同様に、集積回路パッケージ1に内蔵された機能Bを有
する第二の半導体チップである。集積回路パッケージ1
は、入力端子群11、第一の半導体チップ2にテスト信
号を入力するための入力端子群12、通常モードとテス
トモードを選択するための切替制御端子13、第一の半
導体チップ2の出力を外部からモニターするための出力
端子群14、第二の半導体チップ3にテスト信号を入力
するための入力端子群15、通常モードとテストモード
を選択するための切替制御端子16、入力される信号を
モニターするための出力端子群17、出力端子群18を
有している。第一の半導体チップ2は入力端子群21、
テスト信号を入力するための入力端子群22、通常モー
ドとテストモードを選択するための切替制御端子23、
出力端子群24、第一の半導体チップ2の出力をモニタ
ーするための出力端子群25、機能回路200、切替回
路210を有する。機能回路200は入力端子群20
1、出力端子群202を有する。切替回路210は入力
端子群211、テスト信号を入力するための入力端子群
212、切替制御端子213、出力端子群214を有す
る。第二の半導体チップ3は、入力端子群31、テスト
信号を入力するための入力端子群32、通常モードとテ
ストモードを選択するための切替制御端子33、入力さ
れる信号をモニターするための出力端子群34、出力端
子群35、切替回路300、機能回路310を有する。
切替回路300は入力端子群301、テスト信号を入力
するための入力端子群302、切替制御端子303、出
力端子群304を有する。機能回路310は、入力端子
群311、出力端子群312を有する。
【0028】図4における各端子の接続関係は次のよう
になっている。集積回路パッケージ1の入力端子群11
と第一の半導体チップ2の入力端子群21と機能回路2
00の入力端子群201が接続され、機能回路200の
出力端子群202と切替回路210の入力端子群21
1、第一の半導体チップ2の出力端子群25と集積回路
パッケージ1の出力端子群14が接続され、集積回路パ
ッケージ1の入力端子群12と第一の半導体チップ2の
入力端子群22と切替回路210の入力端子群212が
接続され、集積回路パッケージ1の切替制御端子13と
第一の半導体チップ2の切替制御端子23と切替回路2
10の切替制御端子213が接続され、切替回路210
の出力端子群214と第一の半導体チップ2の出力端子
群24と第二の半導体チップ3の入力端子群31と切替
回路300の入力端子群301および出力端子群34と
集積回路パッケージ1の出力端子群17が接続され、集
積回路パッケージ1の入力端子群15と第二の半導体チ
ップ3の入力端子群32と切替回路300の入力端子群
302が接続され、集積回路パッケージ1の切替制御端
子16と第二の半導体チップ3の切替制御端子33と切
替回路300の切替制御端子303が接続され、切替回
路300の出力端子群304と機能回路310の入力端
子群311が接続され、機能回路310の出力端子群3
12と第二の半導体チップ3の出力端子群35と集積回
路パッケージ1の出力端子群18がそれぞれ接続されて
いる。
【0029】ここで、第一の半導体チップ2の切替回路
210は切替制御端子213に論理レベル“L”を入力
すると、入力端子群211から入力された信号がそのま
ま出力端子群214に出力されるようになっており、ま
た、切替制御端子213に論理レベル“H”を入力する
と、入力端子群212から入力された信号がそのまま出
力端子群214に出力されるようになっている。第二の
半導体チップ3の切替回路300は、切替制御端子30
3に論理レベル“L”を入力すると、入力端子群301
から入力された信号がそのまま出力端子群304に出力
されるようになっており、また、切替制御端子303に
論理レベル“H”を入力すると、入力端子群302から
入力された信号がそのまま出力端子群304に出力され
るようになっている。
【0030】以下、その動作について説明する。
【0031】まず、第一の半導体チップ2をテストする
場合について説明する。集積回路パッケージ1の入力端
子群11にテスト信号を入力すると、前記入力されたテ
スト信号は入力端子群21を通って機能回路200に入
力される。機能回路200では入力されたテスト信号に
応じた信号処理を行い、出力端子群202より出力す
る。出力端子群202より出力された信号は出力端子群
25を通って集積回路パッケージ1の出力端子群14か
ら出力される。したがって第一の半導体チップ2をテス
トすることができる。
【0032】次に第二の半導体チップ3をテストする場
合について説明する。切替制御端子16に論理レベル
“H”を入力する。次に入力端子群15にテスト信号を
入力すると、切替回路300は入力端子群302から入
力された信号をそのまま出力端子群304に出力するよ
うになっているので、入力端子群15から入力されたテ
スト信号は機能回路310に入力される。機能回路31
0は入力されたテスト信号に対応した信号処理を行い、
これを出力端子群312に出力する。出力端子群312
から出力された信号は、出力端子群35を通って集積回
路パッケージ1の出力端子群18から出力される。した
がって、第二の半導体チップ3をテストすることができ
る。
【0033】次に、第一の半導体チップ2と第二の半導
体チップ3の接続をテストする場合について説明する。
切替制御端子13に論理レベル“H”を入力すると共
に、集積回路パッケージ1の入力端子群12から任意の
信号を入力する。切替回路210は入力端子群212か
ら入力された信号がそのまま出力端子群214に出力す
るようになっているので、入力端子群12から入力され
た信号は切替回路210の出力端子群214からそのま
ま出力され、第一の半導体チップ2の出力端子群24に
出力される。さらに、出力端子群24から出力された信
号は、第二の半導体チップ3の入力端子群31および出
力端子群34を通って集積回路パッケージ1の出力端子
群17から出力される。このため、第一の半導体チップ
2と第二の半導体チップ3の接続をテストすることがで
きる。
【0034】以上のように本実施の形態によれば、半導
体チップ内に、半導体チップ間を接続する端子群と共に
出力をチップ外部でモニターするための出力端子群を備
え、また、集積回路パッケージに内蔵される複数の半導
体チップにおいて、前段の半導体チップから信号を受け
取る入力端子群の他に、テスト信号を入力するための入
力端子群と、通常モードとテストモードを切り替えるた
めの切替手段を設け、さらに、集積回路パッケージに内
蔵される複数の半導体チップの接続部において、前段の
半導体チップの出力部にテスト信号を入力するための入
力端子群と、通常モードとテストモードを切り替えるた
めの切替手段を設けると共に、次段の半導体チップの入
力部に入力される信号をモニターするための出力端子群
を設けることにより、集積回路パッケージ内の各半導体
チップを単独でテストすることができ、また、半導体チ
ップ間の接続を非常に簡単にテストできる。
【0035】なお、実施の形態4においては、第一の半
導体チップ1の出力をモニターするための出力端子群2
5を設けて、すなわち第一の半導体チップ1の外部端子
数を増やしてテストするようにしたが、第一の半導体チ
ップ1内に切替回路を設けて他の出力端子群と切り替え
(容易に実施できるため、各図には記載していない)て
これら出力端子群25を共用することにより、外部端子
数を削減できることは明らかである。同様に第二の半導
体チップ3の入力端子群32も、他の入力端子群と共用
できることは言うまでもない。
【0036】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、集積回路
パッケージ内の各半導体チップを単独でテストできると
共に、半導体チップ間の接続も非常に簡単にテストで
き、さらに、従来のようなテストのための切替用チップ
は不要となるので、マルチチップモジュールを構成する
部品点数を削減することができるという有利な効果が得
られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のマルチチップモジュールの実施の形態
1における構成を示すブロック図
【図2】本発明のマルチチップモジュールの実施の形態
2における構成を示すブロック図
【図3】本発明のマルチチップモジュールの実施の形態
3における構成を示すブロック図
【図4】本発明のマルチチップモジュールの実施の形態
4における構成を示すブロック図
【図5】従来のマルチチップモジュールの構成を示すブ
ロック図
【符号の説明】
1 集積回路パッケージ 2 第一の半導体チップ 3 第二の半導体チップ 11,12,15,21,22,31,32,201,
211,212,301,302,311 入力端子群 13,16,23,33,213,303 切替制御端
子 14,17,18,24,25,34,35,202,
214,304,312出力端子群 200,310 機能回路 210,300 切替回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/66

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の半導体チップを内蔵した集積回路
    パッケージであって、内蔵された第一の半導体チップ
    に、第一の出力端子群と同じ信号を外部に出力する第二
    の出力端子群を具備したことを特徴とするマルチチップ
    モジュール。
  2. 【請求項2】 複数の半導体チップを内蔵した集積回路
    パッケージであって、内蔵された第二の半導体チップ
    に、テスト信号を供給する入力端子群と、通常モードと
    テストモードを切り替える切替手段を具備したことを特
    徴とするマルチチップモジュール。
  3. 【請求項3】 複数の半導体チップを内蔵した集積回路
    パッケージであって、内蔵された第一の半導体チップに
    テスト信号を供給する入力端子群と、通常モードとテス
    トモードを切り替える切替手段を備え、かつ、内蔵され
    た第二の半導体チップに入力信号を外部に出力する出力
    端子群を具備したことを特徴とするマルチチップモジュ
    ール。
  4. 【請求項4】 複数の半導体チップを内蔵した集積回路
    パッケージであって、内蔵された第一の半導体チップ
    に、第一の出力端子群と同じ信号を外部に出力する第二
    の出力端子群と、テスト信号を供給する入力端子群と、
    通常モードとテストモードを切り替える切替手段を備
    え、かつ、第二の半導体チップに、第一の入力端子群と
    同じ信号を出力する出力端子群と、テスト信号を供給す
    る入力端子群と、通常モードとテストモードを切り替え
    る切替手段を具備したことを特徴とするマルチチップモ
    ジュール。
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