DE69205182T2

DE69205182T2 - Schablonen und Verfahren zum Befestigen und Positionieren einer Einkristallstange.

Info

Publication number: DE69205182T2
Application number: DE69205182T
Authority: DE
Inventors: Hiroyuki Ibe; Tosihisa Nakata
Original assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 1991-01-31
Filing date: 1992-01-30
Publication date: 1996-03-07
Anticipated expiration: 2012-01-31
Also published as: DE69205182D1; US5205080A; EP0498297A1; JPH04343635A; EP0498297B1; JPH0755427B2

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

ERFINDUNGSGEBIET

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Spannvorrichtung zum Positionieren eines Einkristall-Rohlings bezüglich der Rotations-Einspannwellen einer Vorrichtung zum Schleifen der Umfangsfläche dieses Rohlings und auf ein Verfahren zur Anwendung dieser Spannvorrichtung zum Einklemmen des Einkristall-Rohlings.

BESCHREIBUNG DES STANDES DER TECHNIK AUF DIESEM GEBIET

Ein durch ein CZ- oder FZ-Verfahren gezüchteter Einkristall-Rohling wird durch den folgenden Prozeß zu einem Zylinder umgeformt.
(1) Beide Enden des Einkristall-Rohlings werden rechtwinklig zu dessen Axialrichtung abgeschnitten, um so einen zylinderähnlichen Körper zu bilden.
(2) Wie in Fig. 5 gezeigt ist, werden Rotations-Einspannwellen 31L und 31R gegen die Schnittflächen 21L und 21R des Einkristall-Rohlings 20 gedrückt, um diesen leicht einzuklemmen. Meßlehren 70 und 71 werden oberhalb beider Enden des Einkristall-Rohlings 20 befestigt. Bewegliche Stifte der Meßlehren zur Erfassung der Form des Einkristall-Rohlings 20 werden in elastischen Kontakt mit dem Umfang des Rohlings 20 gebracht. Unter den oben genannten Bedingungen wird der Einkristall-Rohling 20 in Rotation versetzt und die Meßlehren 70 und 71 erfassen die Umfangsgestalt des Rohlings 20 als Verschiebungen der Enden der beweglichen Stifte, so daß die Positionsabweichungen zwischen einem Zentrum der Schnittfläche 21L und der Achse der Klemm-Rotations-Einspannwelle 31L und zwischen dem Zentrum der Schnittfläche 21R und der Achse der Rotations-Einspannwelle 31R berechnet werden.
(3) Die Rotation des Einkristall-Rohlings 20 wird angehalten, und die Enden des Einkristall-Rohlings 20 werden mit einem Hammer beaufschlagt, um die Positionsabweichung zu minimieren.
(4) Die oben genannten Prozeßschritte (2) und (3) werden wiederholt, bis keine wesentliche Positionsabweichung mehr auftritt.
(5) Der Einkristall-Rohling 20 wird von den Rotations-Einspannwellen 31L und 31R fest eingespannt und in Rotation versetzt. Ein Schleifstein wird in Kontakt mit der Umfangsfläche des Einkristall-Rohlings 20 gebracht, während er sich bewegt, so daß er zu einem Zylinder geschliffen wird.
Wenn der Einkristall-Rohling 20 jedoch in Prozeßschritt (1) festgeklemmt wird, wird er unter visueller Beobachtung positioniert. Folglich liegt ein relativ großes Maß an Positionsabweichung von der Idealposition vor. Um diese Abweichung zu korrigieren, muß der Einkristall-Rohling 20 mit einem Hammer mehrere Male beaufschlagt werden, was einen ungünstigen Effekt für die Qualität des Rohlings 20 durch die mechanische Beanspruchung von außen hervorruft.
Weiterhin ist es notwendig, den Prozeßschritt (2) zu wiederholen, um den Einkristall-Rohling 20 exakt zu positionieren. Folglich ist eine solche Vorgehensweise kompliziert und zeitraubend.
DE-A-30 36 489 offenbart eine Schleifmaschine für Brillengläser, bei der die Linse zwischen zwei Saugnäpfe eingeklemmt wird. Diese werden an den Rotations-Einspannwellen mittels einer vorspringenden (im Originaltext: "male") Positioniervorrichtung befestigt, die durch einen Block realisiert wird, der von einer entsprechenden Öffnung in der Rotations-Einspannwelle aufgenommen wird. Da das Brillenglas nur durch die Saugnäpfe gehalten wird und keine weitere Stabilisierung gegeben ist, ist es nicht möglich, schwere Einkristall-Rohlinge mit einer Schleifmaschine des Typs gemäß diesem Dokument zu bearbeiten.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Angesichts der obengenannten Probleme ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Klemmvorrichtung zum exakten und einfachen Klemmpositionieren eines Einkristall-Rohlings bezüglich Rotations-Einspannwellen zu schaffen. Eine weitere Aufgabe dieser Erfindung ist es, ein Verfahren zur Anwendung einer solchen Klemmvorrichtung zum Positionieren des Einkristall-Rohlings anzugeben.
Entsprechend einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Klemmvorrichtung zum Klemm-Positionieren eines Einkristall-Rohlings entsprechend dem Oberbegriff des Anspruches 1 vorgesehen, welche Klemmvorrichtung weiterhin die Merkmale des Kennzeichnungsteils des Anspruches 1 umfaßt.
Entsprechend einem weiteren Aspekt der Erfindung lehrt der Kennzeichnungsteil des Anspruches 4 ein erfindungsgemäßes Verfahren zum Klemm- Positionieren eines Einkristall-Rohlings mittels einer transparenten Zentrierplatte.
Weitere Einzelheiten und bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden aus den Unteransprüchen und der folgenden Beschreibung der Erfindung klar.
Die Klemmvorrichtung wird wie folgt angewendet:
(1) Die Saugnäpfe der vorspringen Positioniervorrichtungen werden gegen die Zentren beider Endflächen des Einkristall-Rohlings gepreßt und durch Unterdruck angesaugt, welche Flächen rechtwinklig zur Axialrichtung des Rohlings geschnitten sind.
(2) Die Blöcke der vorspringenden Positioniervorrichtungen werden in die Öffnungen der korrespondierenden (im Originaltext: "female") Positioniervorrichtungen an den einander zugewandten Enden der beiden Rotations- Einspannwellen eingepaßt.
Wie aus dem oben erwähnten Verfahren zur Anwendung der Klemmvorrichtung offensichtlich ist, wird eine exakte und einfache Positionierung des Einkristall-Rohlings bezüglich der Rotations-Einspannwellen erreicht.
Schritt (1) wird detailliert nur für ein Ende des Einkristall-Rohlings beschrieben.
(1a) Eine Zentrieröffnung mit einem Durchmesser, der nur etwas größer als der Durchmesser des einen Endes des Saugnapfes ist, ist in eine transparente Platte, eine Zentrierplatte, eingeformt. Ein Zentrierkreis ist auf die Zentrierplatte eingezeichnet, der konzentrisch mit der Zentrieröffnung liegt und einen Durchmesser aufweist, der im wesentlichen gleich ist dem des Einkristall-Rohlings. Die Zentrierplatte wird gegen die Schnittfläche des Einkristall-Rohlings gedrückt.
(1b) Die Zentrieröffnung wird auf der Basis der relativen Positionen der Zentrieröffnung der Zentrierplatte und der äußeren Umfangsfläche des Einkristall-Rohlings positioniert.
(1c) Der Saugnapf wird gegen die Schnittfläche des Einkristall-Rohlings gedrückt, so daß das Zentrum des Napfes mit dem der Zentrieröffnung in der Zentrierplatte übereinstimmt.
Es ist möglich, die vorspringenden Positioniervorrichtungen exakt und einfach an den Zentren der Schnittflächen des Einkristall-Rohlings festzusaugen.
Die Saugnäpfe und die Blöcke sind beispielsweise ursprünglich getrennte Komponenten, die einstückig miteinander auf die folgende Weise ausgebildet werden können. Schrauben durchdringen die Schaftzentren der Saugnäpfe. Die Enden der Schrauben greifen in die Blöcke ein und die Köpfe der Schrauben liegen innerhalb von Ausnehmungen. Gewindeöffnungen sind in den Schaftzentren der Köpfe der Schrauben ausgebildet.
Nachdem die Umfangsflächen des Einkristall-Rohlings geschliffen worden sind, wird - falls es schwierig ist, die vorspringende Positioniervorrichtung von der korrespondierenden Positioniervorrichtung zu trennen - eine Schraube, die getrennt von der vorgenannten Schraube vorliegt, in die Gewindeöffnung eingesetzt und in ihre Axialrichtung gezogen, so daß eine Trennung einfach gemacht wird.
Die Blöcke der vorspringenden Positioniervorrichtungen haben beispielsweise die Form eines kegelstumpfförmigen Abschnittes. Der Neigungsgrad der in die korrespondierenden Positioniervorrichtungen eingeformten Öffnungen ist der gleiche, wie der Neigungsgrad, mit dem die sich verjüngenden Umfangsflächen der kegelstumpfförmigen Abschnitte schräg verlaufen.
Diese Verjüngung macht es einfacher, die vorspringenden Positioniervorrichtungen mit den korrespondierenden Positioniervorrichtungen in Eingriff zu bringen. Die korrespondierenden Positioniervorrichtungen sind z.B. mit den Enden der Rotations-Einspannwellen gelenkig verbunden.
Wegen der Verbindung kann die vorliegende Erfindung auf einfache Weise bei einer existierenden Vorrichtung zum Schleifen der Umfangsfläche eines Einkristall-Rohlings angewendet werden.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist eine Seitenansicht, die das Einklemmen eines Einkristall-Rohlings zwischen Rotations-Einspannwellen zeigt,
Fig. 2 ist ein Schnitt durch eine Klemmvorrichtung zum Klemmpositionieren des Einkristall-Rohlings,
Fig. 3 ist eine perspektivische Darstellung, die eine vorspringende Positioniervorrichtung der Klemmvorrichtung zeigt;
Fig. 4 ist eine Darstellung, die zeigt, wie eine korrespondierende Positioniervorrichtung bezüglich einer Schnittfläche des Einkristall-Rohlings positioniert wird, und
Fig. 5 ist eine Perspektiv-Darstellung, die die Probleme mit dem konventionellen Verfahren illustriert.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM

Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben:
Wie in Fig. 1 gezeigt ist, werden vorspringende Positioniervorrichtungen 10L und 10R jeweils an den Zentren der Schnittflächen 21L und 21R eines Einkristall-Rohlings 20 festgesaugt. Diese Flächen 21L und 21R werden durch Schneiden beider Enden des Einkristall-Rohlings 20 rechtwinklig zu dessen Axialrichtung gebildet. Die vorspringenden Positioniervorrichtungen 10L und 10R haben den gleichen Aufbau, der in den Fig. 2 und 3 gezeigt ist.
Die folgende Beschreibung bezieht sich nur für die linke Seite des Einkristall-Rohlings 20.
Der sich verjüngende Block 101 weist im wesentlichen die Form eines Kegelstumpfes auf. Eine Gewindeöffnung 102 ist im Zentrum des Endes des sich verjüngenden Blocks 101 vorgesehen, das den größeren Durchmesser aufweist. Der Innendurchmesser der Gewindeöffnung 102 ist der gleiche, wie der eines Kragens 103 und einer Beilagscheibe 104, die beide an dem sich verjüngenden Block 101 befestigt sind. Eine Öffnung ist so ausgebildet, daß sie das Schaftzentrum eines Napfes 105 durchdringt und diese weist den selben Innendurchmesser wie den der Gewindeöffnung 102, des Kragens 103 und der Beilagscheibe 104 auf. Der Napf 105 ist aus Gummi oder Kunstharz mit elastischen oder viscoelastischen Eigenschaften gebildet. Eine Befestigungsschraube 106 ist in die den Napf 105, die Beilagscheibe 104 und den Kragen 103 durchdringende Öffnung eingesetzt. So greifen die Enden der Befestigungsschraube 106 in die Gewindeöffnung 102 in dem sich verjüngenden Block 101 ein. Der sich verjüngende Block 101, der Kragen 103, die Beilagscheibe 104 und der Napf 105 sind so als gemeinsames Teil miteinander ausgebildet. Eine weitere Gewindeöffnung 107 ist im Schaftzentrum des Kopfes der Befestigungsschraube 106 ausgebildet. Eine Abzugsschraube 108 ist vorgesehen, die getrennt von der Befestigungsschraube 106 vorliegt und in Eingriff mit der Gewindeöffnung 107 zu bringen ist, um die vorspringende Positioniervorrichtung 10L zu entfernen, wenn es schwierig ist, diese von einer korrespondieren Positioniervorrichtung 32L abzuziehen.
Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist eine Vorrichtung zum Schleifen der Umfangsfläche des Einkristall-Rohlings 20 so angeordnet, daß eine Rotations-Einspannwelle 30L koaxial einer weiteren Rotations-Einspannwelle 30R zugewandt ist, die in der Lage ist, sich in ihrer Axialrichtung zu bewegen. Die Klemmwelle 30L ist eine Rotations-Antriebswelle, die Klemmwelle 30R ist eine in Drehrichtung mitgenommene Welle. Die korrespondierende Positioniervorrichtung 32L ist mit einem Ende der Rotations-Einspannwelle 30L gelenkig verbunden, und eine weitere korrespondierende Positioniervorrichtung 32R ist mit einem Ende der Rotations-Einspannwelle 30R gelenkig verbunden. Die Enden der Rotations-Einspannwelle 30L und 30R haben den gleichen Aufbau.
Wie in Fig. 2 dargestellt ist, ist ein zylindrischer Verbindungsvorsprung 311, der durch Schleifen dessen Umfangsfläche gebildet ist, an einem Ende einer Welle 31L vorgesehen. Eine Stiftöffnung 312 verläuft in der Diametralrichtung des Verbindungsvorsprunges 311. Eine zylindrische Verbindungsausnehmung 322 ist in einem kurzen Schaft 321 der korrespondierenden Positioniervorrichtung 32L ausgebildet, um so mit dem Verbindungsvorsprung 311 zu korrespondieren. Eine weitere Stiftöffnung 323 ist entsprechend der Stiftöffnung 312 ausgebildet. Der Verbindungsvorsprung 311 greift in die Verbindungsausnehmung 322 ein, und ein Rückhaltestift 324 ist in die Stiftöffnungen 312 und 323 eingesetzt. Die Welle 31L ist mit der korrespondierenden Positioniervorrichtung 32L verbunden. Eine konische Öffnung 325 ist im Schaftzentrum des kurzen Schaftes 321 ausgebildet, so daß ein Ende des kurzen Schaftes 321 mit der Verbindungsausnehmung 322 in Verbindung steht. Die sich verjüngende Öffnung 325 hat die Form eines Kegelstumpfes mit einem kleineren Durchmesser auf der Seite der Verbindungsausnehmung 322. Das Maß, mit dem sich die Öffnung 325 verjüngt, ist gleich dem Maß, mit dem sich der Block 101 der vorspringenden Positioniervorrichtung 10L verjüngt.
Wie in Fig. 4 gezeigt ist, wird eine Zentrierplatte 40 dazu verwendet, die vorstehende Positioniervorrichtung 10L an der Schnittfläche 21L festzusaugen. Die Zentrierplatte 40 ist eine transparente Platte, wie z.B. eine rechteckige Platte 41 aus Acryl, in die eine Zentrieröffnung 42 in ihrem Zentrum eingeformt ist. Der Innendurchmesser der Zentrieröffnung 42 ist um einige Millimeter größer als der Durchmesser des voll angesaugten Napfes 105. Ein Zentrierkreis 43, der konzentrisch zu der Zentrieröffnung 42 angeordnet ist, ist auf der Oberfläche der transparenten Platte 41 eingezeichnet. Der Zentrierkreis 43 kann exakt und einfach beispielsweise mittels einer Drehmaschine aufgebracht werden. Der Durchmesser des Zentrierkreises 43 ist gleich dem Außendurchmesser eines Zylinders, der durch Schleifen der Umfangsfläche des Einkristall-Rohlings 20 gebildet wird. Er ist um einige Millimeter kleiner als der durchschnittliche Durchmesser der Schnittfläche 211 des Einkristall-Rohlings 20.
Ein Verfahren zur Anwendung der so konstruierten Klemmvorrichtung zur Klemmpositionierung eines Einkristall-Rohlings wird im folgenden beschrieben.
(1) Anbringen der Zentrierplatte 40 an der Schnittfläche 21L an einem Ende des Einkristall-Rohlings 20.
(2) Wie in Fig. 4 gezeigt ist, wird die Zentrieröffnung 42 auf der Basis der Lagebeziehung zwischen dem Zentrierkreis 43 und der Schnittfläche 21L des Einkristall-Rohlings 20 positioniert. Zum Beispiel wird die Zentrieröffnung 42 so positioniert, daß der Zentrierkreis 43 konzentrisch mit einem imaginär in die Schnittfläche 21L eingeschriebenen Kreis wird.
(3) Unter den obengenannten Bedingungen wird der Napf 105 der vorspringenden Positioniervorrichtung 10L gegen die Schnittfläche 21L gedrückt, so daß der Napf konzentrisch mit der Zentrieröffnung 42 liegt. Die vorspringende Positioniervorrichtung 10L saugt sich an der Schnittfläche 21L fest.
(4) Die Schritte (1) bis (3) werden für die Schnittfläche 21R am anderen Ende des Einkristall-Rohlings 20 wiederholt.
(5) Wie in Fig. 1 gezeigt ist, wird der Einkristall-Rohling 20 zwischen die Rotations-Einspannwellen 31L und 31R gesetzt. Der sich verjüngende Block 101 der vorspringenden Positioniervorrichtung 10L wird in die sich verjüngende Öffnung 25 der korrespondierenden Positioniervorrichtung 32L eingesetzt.
(6) In diesem Zustand wird die Rotations-Einspannwelle 30R mit einer hohen Geschwindigkeit nahe an die Schnittfläche 21R des Einkristall-Rohlings 20 gebracht. Der andere sich verjüngende Block 101 der vorspringenden Positioniervorrichtung 10R wird mit der anderen sich verjüngenden Öffnung 325 der korrespondierenden Positioniervorrichtung 32R in Eingriff gebracht, während die Welle 30R langsam nahe an die Schnittfläche 21R verbracht wird. Ein Ende der korrespondierenden Positioniervorrichtung 32R wird gegen die Schnittfläche 21R gepreßt, und zur gleichen Zeit wird ein Ende der korrespondierenden Positioniervorrichtung 32L gegen die Schnittfläche 21L gepreßt.
Auf diese Weise ist es möglich, exakt und einfach den Einkristall-Rohling 20 bezüglich der Rotations-Einspannwellen 30L und 30R zu positionieren.
Unter den oben erörterten Bedingungen wird die Einspannwelle 30L in Rotationsrichtung angetrieben, wodurch der Einkristall-Rohling 20 in Rotation versetzt wird. Ein nicht dargestellter Schleifstein wird gegen die Umfangsfläche des Einkristall-Rohlings 20 gedrückt, um diesen in eine zylindrische Form zu schleifen.
Nach dem Abschluß des Schleifvorganges werden die Rotations-Einspannwellen 301 und 30R voneinander weg bewegt, um den Einkristall-Rohling 20 aus der Schleifvorrichtung zu entfernen. Wenn es schwierig ist, die vorspringenden Positioniervorrichtungen 10L und 10R von den korrespondierenden Positioniervorrichtungen 32L und 32R jeweils zu trennen, wird die Abzugsschraube 108 in die Gewindeöffnung 107 eingesetzt und in ihre Axialrichtung gezogen, um die vorspringenden Positioniervorrichtungen 10L und 10R außer Eingriff zu bringen.
Die vorliegenden Erfindung umfaßt verschiedene Modifikationen, die von der vorstehend beschriebenen Ausführungsform abweichen. Zum Beispiel kann sie dort eingesetzt werden, wo die vorspringenden Positioniervorrichtungen 10L und 10R einstückig aus Kunstharz gebildet sind, oder sie kann eingesetzt werden, wo die Rotations-Einspannwellen 30L und 30R ebenfalls einstückig ausgebildet sind.

Claims

1. Klemmvorrichtung zur Klemmpositionierung eines Einkristall-Rohlings, der eine ungleichmäßige Umfangsfläche und zwei flache parallele Enden aufweist, die jeweils näherungsweise ein Zentrum haben, mit:

einem Paar vorspringender Positioniervorrichtungen (10L, 10R), von denen jede einen elastischen oder viscoelastischen Saugnapf (105) zur Saugbefestigung des näherungsweisen Zentrums eines der flachen Enden des Einkristall-Rohlings (20) durch Aufdrücken eines offenen Endes des Saugnapfes (105) gegen das flache Ende des Einkristall-Rohlings (20) aufweist, so daß das Innere des Saugnapfes (105) luftdicht mit dem flachen Ende abschließt und daran durch Unterdruck befestigt ist, wobei jede der vorspringenden Positioniervorrichtungen (10L, 10R) einen Block (101) aufweist, der an dem Saugnapf (105) an den dem offenen Ende gegenüberliegenden Ende befestigt ist, und

einem Paar korrespondierender Positioniervorrichtungen (32L, 32R) die jeweils am einen Ende einer von einem Paar von Rotations-Einspannwellen (30L, 30R) einer Vorrichtung zum Schleifen der Umfangsfläche des Einkristall-Rohlings (20) ausgebildet sind, wobei jede der korrespondierenden Positioniervorrichtungen (32L, 32R) eine Öffnung (325) zur Aufnahme der vorspringenden Positioniervorrichtungen (10L, 10R) durch lösbares Einsetzen des Blockes (101) in die Öffnung (325) aufweist,

dadurch gekennzeichnet, daß

jeder Block (101) sich konzentrisch bezüglich des Saugnapfs (105) verjüngt und jede Öffnung (325) eine konische Wandung mit einem Konizitätsmaß aufweist, das im wesentlichen das gleiche wie das des Blocks (101) ist, wobei die Öffnung (325) konzentrisch mit der Rotations-Einspannwelle (30L, 30R) liegt, wobei zumindest eine der korrespondierenden Positioniervorrichtungen (32L, 32R) mit dem jeweiligen Ende der Rotations-Einspannwelle (30L, 30R) mittels eines Stiftes (324) verbunden ist, der rechtwinklig zur Achse der Rotations-Einspannwelle (30L, 30R) angeordnet ist, wobei das offene Ende des Saugnapfes (105) und das Ende der Rotations- Einspannwelle (30L, 30R) das flache Ende des Rohlings (20) beaufschlagt und wobei jede vorspringende Positioniervorrichtung (10L, 10R) sich innerhalb der jeweiligen Öffnung (325) befindet, wenn der Einkristall-Rohling (20) zwischen die Rotations-Einspannwellen (30L, 30R) eingeklemmt ist.

2. Klemmvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Saugnapf (105) am entgegengesetzten Ende des Saugnapfes (105) mit dem Block (101) durch Eingriff einer Schraube (106) durch eine zentrale Achse des Saugnapfes (105) und des Blocks (101) befestigt ist, wobei ein Kopf der Schraube (106) am Grund des offenen Endes des Saugnapfes (105) angeordnet und eine Gewindeöffnung (107) im Zentrum des Kopfes der Schraube (106) eingeformt ist, welche Gewindeöffnung (107) Mittel zum Abziehen der vorspringenden Positioniervorrichtung (10L, 10R) von der Öffnung (325) der korrespondierenden Positioniervorrichtung (32L, 32R) durch Eingriff einer Abzugsschraube (108) in die Gewindeöffnung (107) und Abziehen der Abzugsschraube (108) bildet.

3. Klemmvorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine transparente Zentrierplatte (40) zur Lokalisierung eines näherungsweisen Zentralbereiches an jedem der zwei flachen parallelen Enden der Rohlings (20), welche transparente Zentrierplatte (40) eine zentrale kreisförmige Öffnung (42) und einen Zentrierkreis (43), der konzentrisch mit der kreisförmigen Öffnung (42) eingeschrieben ist, aufweist, so daß der Zentrierkreis (43) näherungsweise in konzentrischer Weise mit dem flachen Ende des Einkristall-Rohlings (20) ausgerichtet werden kann.

4. Verfahren zur Klemmpositionierung eines Einkristall-Rohlings, der eine ungleichmäßige Umfangsfläche und zwei flache parallele Enden mit jeweils einem Zentrum aufweisen, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:

Positionieren einer transparenten Zentrierplatte (40) auf das flache Ende (21L, 21R) des Einkristall-Rohlings (20), welche tranparente Zentrierplatte (40) eine kreisförmige Öffnung (42) und einen Zentrierkreis (43) aufweist, der konzentrisch mit der kreisförmigen Öffnung (42) eingeschrieben ist, so daß der Zentrierkreis (43) näherungsweise konzentrisch mit dem flachen Ende des Einkristall-Rohlings (20) ausgerichtet ist,

Positionieren eines Paares von vorspringenden Positioniervorrichtungen (10L, 10R), die jeweils einen elastischen oder viscoelastischen Saugnapf (105) mit einem Durchmesser an seinem offenen Ende, der etwas kleiner ist als der Durchmesser der kreisförmigen Öffnung (42) und einen Block (101) aufweisen, der an einem dem offenen Ende jedes der Saugnäpfe (105) gegenüberliegenden Ende befestigt ist, welcher Block (101) konzentrisch mit dem Saugnapf (105) liegt und

In-Kontakt-Bringen des offenen Endes des Saugnapfes (105) am flachen Ende des Einkristall-Rohlings (20) in der Zentrieröffnung (42), so daß der Saugnapf (105) konzenzentrisch mit der Zentrieröffnung (42) liegt,

Befestigen jedes Saugnapfes (105) am flachen Ende des Einkristall-Rohlings (20) durch Anpressen der vorspringenden Positioniervorrichtung gegen das flache Ende des Einkristall-Rohlings (20), um so das Innere des Napfes (105) luftdicht zu machen und an dem Ende des Einkristall- Rohlings (20) durch Unterdruck zu befestigen,

Entfernen der Zentrierplatte (40) von dem flachen Ende des Einkristall--3 Rohlings (20),

Einsetzen jeder der vorspringenden Positioniervorrichtungen in eine Öffnung (325) durch Einsetzen des Blocks (101) in die Öffnung (325), die an einem Ende der Rotations-Einspannwelle (30L, 30R) einer Vorrichtung zum Schleifen der Umfangsfläche des Einkristall-Rohlings (20) ausgebildet ist, welche Öffnung (325) konzentrisch mit der Rotations-Einspannwelle (30L, 30R) ist, und

Einklemmen des Einkristall-Rohlings (20) zwischen die Rotations-Einspannwellen (30L, 30R).