DE4229833A1 - Druckinformation-verarbeitungseinrichtung zur verwendung in einer vakuumeinheit - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumeinheit, insbe­ sondere eine Vakuumeinheit, in welcher eine Vielzahl von Druckwerten in digitaler Form anhand einer Kurve festgelegt werden, die eine Druckänderung eines unter Druck stehenden Fluids anzeigt, um ein in einer Vakuumeinheit verwendetes Kontrollsignal zu erzeugen, wobei ein vorher festgelegtes Signal erzeugt wird, wenn jeder der festgelegten Druckwerte und ein gewünschter Druckwert miteinander übereinstimmen, und wobei die visuelle Darstellung der festgelegten Druckwerte auf der Basis des festgelegten Signals leicht möglich ist.

Bisher wurden Druckschalter für negativen und/oder positiven Druck in großem Maße in pneumatischen Vorrichtungen od. dgl. verwendet.

Nachfolgend wird ein Beispiel zu Veranschaulichung eines Druckschalters für negativen Druck beschrieben, welcher be­ trieben wird, um einen Druckwert in ein Drucksignal oder ein elektrisches Signal umzuwandeln. Ein derartiger Druckschalter wird in einer Unterdruck-(Vakuum-)Einrichtung eingesetzt, die Druckluft, einen Fluiddurchgang und eine pneumatische Vorrich­ tung od. dgl aufweist. D.h., der Druckschalter wird verwendet, um zu bestätigen, ob ein zu beförderndes Subjekt oder Objekt (ein Werkstück) von einem Saugpolster oder einer Saugglocke angezogen oder losgelassen wurde.

Der Druckschalter weist eine Druckschalter-Signalerzeugungs­ schaltung mit einem Trägerdiffusions-Halbleiter-Drucksensor, einen Vergleicher, einen variablen Widerstand, eine Ausgangs­ schaltung (zur Erzeugung eines Pulssignals) etc. auf. Die Druckschalter-Signalerzeugungsschaltung erzeugt ein Ausgangs­ signal S₁, welches einem aufgrund einer Druckänderung (vgl. M in Fig. 1) während des Anziehens und Nicht-Anziehens (Vakuum­ unterbrechung) des Werkstücks entstehenden Differenzdruck entspricht. Der Differenzdruck ist vorgesehen, um unerwünsch­ tes Vibrieren zu vermeiden.

Nun wird ein Grenzwert PH (entsprechend der vorderen Kante des Ausgangssignals S₁) des in Fig. 1 dargestellten Differenz­ druckes mit einem Referenzwert verglichen, welcher durch den variablen Widerstand unter Verwendung des von dem Träger­ diffusions-Halbleiter-Drucksensor mit dem Ausgangssignal S₁ versorgten Vergleichers festgelegt wird. Das Ausgangssignal S₁ wird einer mit einem Computer für FA (Fabrikautomation) und dgl. bedienbaren Sequenz-Überwachungseinrichtung zugeführt, bspw. um für verschiedene Überwachungsantriebseinrichtungen oder dgl. verwendet zu werden. Außerdem wird das Ausgangs­ signal S₁ als ein Modul für CIM (Fertigungssteuerung im Daten­ verbund)-Einrichtungen verwendet und ermöglicht einen Über­ wachungsvorgang einschließlich einer Festlegungs- oder Beur­ teilungsmöglichkeit.

Bei dem oben beschriebenen Stand der Technik weist der Druck­ sensor jedoch normalerweise keine Vakuumanzeigeeinrichtungen auf. Daher wird ein Vorgang des Anziehen des Werkstückes oder Loslassen desselben wiederholt durchgeführt, wenn der Grenz­ wert PH od. dgl. festgelegt wird. Dann wird der variable Wider­ stand od. dgl. verwendet, um jeden der entsprechenden Druck­ werte festzulegen und einzustellen, um den Grenzwert PH fest­ zulegen. Ist eine Anzahl von Druckschaltern in der pneuma­ tischen Vorrichtung od. dgl. vorgesehen, ist es daher notwen­ dig, daß die Schalter die pneumatische Vorrichtung od. dgl. betreiben und daß das Festlegen und Einstellen der entspre­ chenden Druckwerte ausgeführt wird, was jeweils relativ viel Aufwand erfordert. Es stellt sich außerdem ein Fehler zwischen jedem der entsprechenden Druckwerte und einem festgelegten Wert ein, was das quantitative Festlegen der Druckwerte er­ schwert. Außerdem werden die Druckwerte analog festgelegt und eingestellt, was den Nachteil mit sich bringt, daß es schwie­ rig ist, die Druckwerte präzise einzustellen.

Außerdem wird, selbst bei der Verwendung einer normalen Druck­ anzeigeeinrichtung, ein Bestätigungsvorgang der Anzeige er­ schwert, da die Darstellung eines festgelegten Druckwertes bei ihrer visuellen Erkennung in ebener Form erfolgt.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Einrichtung zum elektri­ schen Verarbeiten von Druckinformation zu schaffen, welche in einer Vakuumeinheit eingesetzt wird und welche das Festlegen eines gewünschten Druckwertes auf relativ einfache Weise ermöglicht, um ein vorher festgelegtes Signal, das in der Vakuumeinheit eingesetzt wird, zu erzeugen, und mittels wel­ cher angezeigte Druckwerte visuell leicht erkennbar sind.

Diese Aufgabe wird mit der vorliegenden Erfindung im wesent­ lichen durch die Schaffung einer Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Druckinformation geschaffen, die zur Verwen­ dung in einer Vakuumeinheit geeignet ist, wobei die Einrich­ tung Nachweiseinrichtungen zur Feststellung eines Vakuum­ druckwertes, Einstelleinrichtungen zur Einstellung eines gewünschten Druckwertes, Anzeigeeinrichtungen zur digitalen Anzeige des gewünschten Druckwertes, Speichereinrichtungen zur Speicherung des gewünschten Druckwertes, Bestimmungseinrich­ tungen zum Vergleich des gewünschten Druckwertes, der durch die Einstelleinrichtungen eingestellt und in den Speicherein­ richtungen gespeichert ist, mit dem festgestellten Vakuum­ druckwert und zur Entscheidung, daß sich ein ungeeigneter Zustand eingestellt hat, wenn das Ergebnis des Vergleichs einen bestimmten Wert erreicht, und Ausgabeeinrichtungen zur Ausgabe eines vorher festgelegten Signals, wenn der einge­ stellte gewünschte Druckwert und der festgestellte Vakuum­ druckwert, welche mittels der Entscheidungseinrichtungen verglichen wurden, miteinander in einem vorher festgelegten Bereich übereinstimmen, wobei die Anzeigeeinrichtungen Ein­ stelleinrichtungen zur Einstellung des Zustands der visuellen Erkennung jedes Druckwertes aufweisen.

Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung weisen die Einstell­ einrichtungen einen Verbindungsmechanismus auf.

In Weiterbildung des Erfindungsgedankens weisen die Entschei­ dungseinrichtungen Einrichtungen zum Zählen der Anzahl von Druckwerten auf, die ein geringeres Vakuum als der einge­ stellte gewünschte Druckwert aufweisen, und zur Erzeugung eines Signals, das einen ungeeigneten Zustand anzeigt, wenn die gezählte Anzahl von Druckwerten einen festgelegten Wert erreicht hat.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weisen die Nachweiseinrichtungen Anzeigeeinrichtungen zur digitalen Anzeige des durch die Nachweiseinrichtungen festge­ stellten Vakuumwertes auf.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind Anzeigeeinrichtungen zur digitalen Anzeige midestens eines Druckwertes, der zur Festlegung des ungeeigneten Zustandes verwendet wird, und eines Druckwertes, der zur Fehlerfrüher­ kennung verwendet wird, vorgesehen.

Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich darge­ stellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.

Es zeigt

Fig. 1 eine diagrammartige Darstellung zur Beschreibung der Funktion einer herkömmlichen Vakuumeinheit,

Fig. 2 ein Blockschaltbild, nach welchem eine Druckinforma­ tions-Verarbeitungseinrichtung in einer erfindungs­ gemäßen Vakuumeinheit eingesetzt wird,

Fig. 3 eine perspektivische Gesamtansicht der erfindungsge­ mäßen Vakuumeinheit,

Fig. 4 einen vertikalen Teilschnitt durch die Vakuumeinheit gemäß Fig. 3,

Fig. 5 eine teilweise geschnittene perspektivische Ansicht einer Nachweiseinheit und einer Anzeigeeinheit der Vakuumeinheit gemäß Fig. 3,

Fig. 6 einen Schaltplan einer anderen Ausführungsform einer Vakuumeinheit gemäß der vorliegenden Erfindung,

Fig. 7 ein Diagramm zur Beschreibung zur Festlegung von Grenzwerten in einer erfindungsgemäßen Vakuumein­ heit,

Fig. 8 einen vertikalen Teilschnitt durch eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumein­ heit,

Fig. 9 eine perspektivische Ansicht einer noch weiteren Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumein­ heit,

Fig. 10 eine perspektivische Ansicht einer weiteren Ausfüh­ rungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumeinheit,

Fig. 11 eine teilweise aufgebrochene Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vakuumeinheit mit einem Ejektor,

Fig. 12 eine teilweise aufgebrochene Darstellung der erfin­ dungsgemäßen Vakuumeinheit, an welche eine Vakuum­ pumpe angeschlossen ist,

Fig. 13 ein Diagramm zur Beschreibung der Funktion der Ausführungsformen gemäß Fig. 10 bis 12,

Fig. 14 einen Ablaufplan eines Programms, welches von einer in jeder der Ausführungsformen gemäß den Fig. 10 bis 12 eingesetzten Überwachungseinrichtung ausgeführt wird, und

Fig. 15 einen Ablaufplan eines anderen Programms, welches von einer in den Ausführungsformen gemäß den Fig. 10 bis 12 eingesetzte Überwachungseinrichtung ausge­ führt wird.

Nachfolgend wird unter Bezug auf die Zeichnung, in welcher beispielhaft bevorzugte Ausführungsformen dargestellt sind, eine in einer erfindungsgemäßen Vakuumeinheit verwendete Druckinformation-Verarbeitungseinrichtung beschrieben.

Zunächst wird anhand von Fig. 2 eine in eine Vakuumeinheit erfindungsgemäß integrierte Druckinformation-Verarbeitungsein­ richtung 10 beschrieben.

In Fig. 2 ist mit dem Bezugszeichen W ein Gegenstand und mit dem Bezugszeichen 12 ein Saugpolster oder eine Saugglocke be­ zeichnet, welche an einer in einem Vakuumsystem eingesetzten Transporteinrichtung befestigt ist. Die Druckinformation-Ver­ arbeitungseinrichtung 10 weist einen Halbleiter-Drucksensor 16 zur Feststellung des Wertes (Unterdruck, d. h. Vakuum) von Druckluft A , um ein festgestelltes Signal auszugeben, eine Konstantstrom Schaltung 18 und einen Verstärker 20 auf. Außer­ dem weist die Druckinformation-Verarbeitungseinrichtung 10 einen A/D(Analog/Digital)-Wandler 22 zur Umwandlung eines von dem Verstärker 20 ausgegebenen Signals, d. h. eines dem Wert (des Vakuums) der Druckluft A entsprechenden analogen Signals in ein digitales Nachweissignal S₂, und eine Überwachungsein­ richtung 30, wie einen Ein-Chip-Mikrocomputer od. dgl. auf. Die Überwachungseinrichtung 30 weist eine CPU (Zentral Pro­ zessor Einheit) 30a, einen ROM (Nur-Lese-Speicher) 30b mit einem darin gespeicherten Programm, und eine I/O-(Eingabe/Aus­ gabe)-Einheit 30c od. dgl. auf, sowie Einstell-(Aufwärts/Ab­ wärts)-Schalter S_w1, S_w2, die später beschrieben werden, einen Einstellschalter S_w3 zur Einstellung eines geänderten Wertes, und einen Rückstell-Schalter S_w3 zur Rückstellung des ge­ setzten Wertes auf, die jeweils elektrisch mit der Überwa­ chungseinrichtung 30 verbunden sind. Außerdem sind mit der Überwachungseinrichtung 30 ein EE(E²)PROM (Emitter-Emitter-ge­ koppelter programmierbarer Festwertspeicher) 32, in welchem später zu beschreibende Information gespeichert und gehalten werden kann, wenn eine Stromquelle ausgeschaltet wird, und ein LCD(Flüssigkristallanzeige)-Treiber 34 sowie eine LCD-(Flüs­ sigkristallanzeige) 38, die zur visuellen Anzeige gesetzter Werte und später zu beschreibender Informationen verwendet werden, verbunden. In der Druckinformation-Verarbeitungs­ einrichtung 10 können eine analoge und/oder eine digitale Schaltung durch programmierbare ausgleichende Einrichtungen zur digitalen Signalverarbeitung od. dgl. ersetzt werden.

Eine Vakuumeinheit mit einer wie oben beschriebenen Druckin­ formation-Verarbeitungseinrichtung wird nun anhand Fig. 3 beschrieben.

Die Vakuumeinheit 50 nach den Fig. 3 und 4 weist im wesent­ lichen einen Ventil-Block 52, einen Ejektor 54, einen Fil­ ter-Block 56, einen Filter 58 und ein Verbindungselement 60 auf. Der Filter-Block 52 hat eine Lufzufuhröffnung 62, eine Luftzufuhröffnung 64 für ein Pilotventil und eine Luftzufuhr­ öffnung 66 zur Vakuumunterbrechung, welche jeweils in ihm ausgebildet sind, ein darin angeordnetes auf und ab gehendes Ventil 53 zur Zufuhr von Druckluft zu dem Ejektor 54 und zur Blockierung derselben, sowie erste, zweite und dritte elektro­ magnetische Ventile 68, 69, 70, die an seiner oberen Ober­ fläche befestigt sind, auf.

Das erste elektromagnetische Ventil 68 und das zweite elektro­ magnetische Ventil 69 sind vorgesteuerte elektromagnetische Ventile für Druckluftzufuhrventile, welche aus selbsthaltenden doppelten Solenoiden oder verriegelten Solenoiden gebildet sind. Das dritte elektromagnetische Ventil 70 ist ein vorge­ steuertes elektromagnetisches Ventil zur Vakuumunterbrechung. Um elektrische Energie und ein Kontrollsignal, wie ein Ein/Aus-Signal über nicht dargestellte Leitungen nach außen zu übertragen, weisen die ersten, zweiten und dritten elektromag­ netischen Ventile 68, 69 und 70 erste, zweite bzw. dritte Verbindungsstücke 68a, 69a, 70a auf.

Der Ejektor 54 ist neben dem Ventil-Block 52 angeordnet. Außerdem weist der Ejektor 54 eine Düse 55 und einen Diffusor 57, die jeweils in ihm angeordnet sind, und einen Schalldämpfer 72 an der Seitenfläche des Ejektors 54 auf. Der Schalldämpfer 72 dient der Dämpfung des durch die von dem Diffusor 57 zuge­ führte Druckluft erzeugten Geräuschs.

Die Nachweiseinheit 56 erfaßt Druck unter Vakuum und schließt den Halbleiter-Drucksensor 16 ein. Wie in Fig. 5 dargestellt, weist die Nachweiseinheit 56 außerdem in ihrem oberen Ab­ schnitt ein Verbindungsstück 74, eine digitale Anzeigeeinheit 76, einen Aufwärts-Schalter S_w1, einen Abwärts-Schalter S_w2, einen Einstellschalter S_w3, einen Rückstell-Schalter S_w4 und eine Anzeigeeinheit 78 auf.

Die digitale Anzeigeeinheit 76 weist Flüssigkristallanzeige­ einrichtungen auf und kann "Fehler", "Zusammenbruch" od. dgl. entweder in englischen oder anderssprachigen Buchstaben vi­ suell darstellen. Um das Lesen der Information zu erleichtern, ist die digitale Anzeigeeinheit 76 derart aufgebaut, daß der visuelle Betrachtunswinkel über ein Scharnier, eine mehrge­ lenkige Verbindung 77 etc. einstellbar ist (vgl. Fig. 5).

Der Filter 58 weist einen darin angeordneten Grundkörper 61 auf, der ein hydrophobes Material enthält und dazu dient, Wasser oder Feuchtigkeit am Eintreten in den Filter 58 zu hindern. Zusätzlich ist der Filter 58 lösbar über ein Siche­ rungsorgan 82 an dem Verbindungsglied 60 angebracht.

Selbstverständlich sind der Ventil-Block 52, der Ejektor 54, der Schalldämpfer 72, die Nachweiseinheit 56 und der Filter 58 derart miteinander verbunden, daß unter Druck stehende Fluide durch die internen Durchgänge fließen können. Ein Sperrventil 59 ist in einem Durchgang, der den Ejektor 54 mit dem Filter 58 verbindet, angeordnet. Insbesondere sind in der Nachweis­ einheit 56 der Halbleiter-Drucksensor 16 (einschließlich bspw. eines Differentialdruck-Drucksensors und eines Kapazi­ täts-Drucksensors), der aus einem Piezo-Element od. dgl. gebildet ist, dem Konstantstromkreis (Konstantspannungskreis) 18, dem Verstärker 20, dem A/D-Wandler 22, der Uberwachungs­ einrichtung 30, dem EE(E²)PROM 32, dem LCD-Treiber 34 etc.

Das Verbindungsstück 74 kann elektrisch mit Leitungen verbun­ den werden um ein Fehlerfrüherkennungs-Signal S₄ und ein Druckschalter-Signal S₆ zu erzeugen (vgl. Fig. 2). Das Verbin­ dungsstück 74 kann auch mit einer Stromquelle verbunden werden, die mit der Nachweiseinheit 56 in Verbindung steht, und mit einer Kontrollsignalleitung. Um andere Vakuumeinheiten, eine externe Überwachungseinrichtung etc. mit entsprechenden Infor­ mationen, wie Druckfeststellungsinformationen und Über­ wachungsinformationen zu versorgen, kann das Verbindungsstück 74 auch mit einer Überwachungseinrichtung mit einer Kommuni­ kationsfunktion ausgestattet sein, welche mit einem Verteiler derart verbunden ist, daß sie Kommunikationsfunktionen ausüben kann, bspw. durch Schallübertragung, drahtlose Übertragung, Glasfaserübertragung, etc. Das erste Verbindungsstück 68a, das zweite Verbindungsstück 69a, das dritte Verbindungsstück 70a und das Verbindungsstück 74 können einstückig ausgebildet sein, um ein Überwachungssignal, das zu jedem der Ventile übertragen werden soll, Bestätigung für das Anziehen des Werkstücks W, Fehlerfrüherkennungsinformationen, etc. zu regeln.

In der wie oben beschrieben aufgebauten Vakuumeinheit 50 wird, wenn ein Betriebsstartbefehlssignal die erste Eingabe ist, Druckluft von der Luftzufuhröffnung 56 zugeführt, um ein Vakuum in dem Ejektor 54 zu erzeugen. Dieses Vakuum erreicht die Saugglocke 12, die an einen nicht dargestellten Auslaß des Verbindungsgliedes 60 angeschlossen ist. Dadurch zieht die Saugglocke 12 das Werkstück W an und hält es entsprechend dem Betrieb von Fördereinrichtungen, wie einem Roboter. Dann wird die Saugglocke 12 abgeschaltet, um das Werkstück W loszulas­ sen. Als Folge wird der auf den Halbleiter-Drucksensor 16 in der Nachweiseinheit 56 nacheinander wirkende Druck (Vakuum) in Form von Druckwerten dargestellt, die, wie in Fig. 7, d. h. P₀₁, P₀₂, P₀₃ . . . P_n+1 dargestellt, aufeinanderfolgend variier­ ren. Wie sich aus der Zeichnung ergibt, tritt häufig der Fall auf, in welchem sich der höchste Vakuumdruckwert (das Maß an Vakuum) mit zunehmender Zeit verringert, aufgrund von Leckage des Vakuumdrucks bspw. an der Seite der Saugglocke 12 und Verstopfung des Filters.

Nun wird ein der Druckveränderung oder den Werten P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0n+1 entsprechendes Signal über den Halblei­ ter-Drucksensor 16 und den Verstärker 20 zu dem A/D-Wandler 22 übertragen, wo es in ein digitales Nachweissignal S₂ umgewan­ delt wird, welches wiederum Eingabesignal für die Überwa­ chungseinrichtung 30 ist.

In der Überwachungseinrichtung 30 legt der Maximalwert (P_max) des Druckwechsels P₀₁ zunächst eine erste Adresse des EE(E²)PROM 32 fest und wird dann dort gespeichert.

Danach wird der Schalter S_w3 auf EIN geschaltet, um die Grenz­ werte PH_1a, PH_1b zu berechnen und einen Differenzdruck A dazwischen zu erzeugen, welche ebenfalls in dem EE(E²)PROM 32 gespeichert werden. Zu diesem Zeitpunkt wird eine zweite Adresse in dem EE(E²)PROM 32 festgelegt und 70% (Grenzwert PH_1a) des Maximalwertes (P_max) werden berechnet und unter der festgelegten zweiten Adresse gespeichert. Dann wird eine dritte Adresse in dem EE(E²)PROM 32 festgelegt und 65% (Grenzwert PH_1b) des Maximalwertes (P_max) werden berechnet und unter der festgelegten dritten Adresse gespeichert.

Nun wird ein Druckschalter-Signal S₆, welches von den Druck­ änderungen P₀₁ bis P_0n+1 abhängt, kontinuierlich in Verbindung mit den Grenzwerten PH_1a, PH_1b erzeugt. Das Druckschalter-Sig­ nal S₆ wird zur vollständig geschlossenen Überwachung ver­ schiedener Überwachungsbetriebseinrichtungen, wie einer For­ dereinrichtung und zur Informationsverarbeitung in einem FMS (flexiblen Fertigungssystem), einer CIM (Fertigungssteuerung im Datenverbund), etc. verwendet.

Dann wird eine vierte Adresse des EE(E²)PROM 32 festgelegt und 80% (Grenzwert Ph) des Maximalwertes (P_max) werden berechnet und unter der festgelegten vierten Adresse gespeichert.

Der Grenzwert Ph stellt einen um 20% des normalerweise höchsten Vakuumdruckwertes, d. h. des Maximalwertes (P_max, dem maximalen Maß des Vakuums) der Druckänderung P₀₁, dar. Druck­ werte unterhalb des Grenzwertes Ph werden als unerwünschte und ungeeignete Druckzustände betrachtet.

Dann werden die ungeeigneten Druckwerte oder -änderungen unterhalb des Grenzwertes Ph entsprechend dem Vakuum, das die Fehlerfrüherkennung festlegt, d. h. die Druckänderungen P₀₂ bis P_0n+1 (welche bspw. jeweils dem digitalen Nachweissignal S₂ als Signal entsprechen) der Druckänderungen P01 bis P0n+1 sechs mal kummulativ gespeichert. Wenn die so gespeicherten ungeeigneten Druckwerte mit sechs mal gezählten ungeeigneten eingestellten Werten übereinstimmten, welche vorher durch die Schalter S_w1, S_w2 und S_w3 eingestellt wurden, wird das Fehler­ früherkennung-Signal S₄ kontinuierlich erzeugt.

Ein Prozeß zur Erzeugung des Fehlerfrüherkennung-Signals S₄ wird bspw. durch die Ausführung des Programmes der Über­ wachungseinrichtung 30 ausgeführt. Die Information eines solchen Prozesses wird in dem EE(E²) PROM 32 zusätzlich ge­ speichert. Wird die Überwachungseinrichtung 30 erneut einge­ schaltet, nachdem die Stromquelle ausgeschaltet wurde, wird das Fehlerfrüherkennung-Signal S₄ auf der Basis des Betriebs­ zustandes der Überwachungseinrichtung 30 erzeugt, wodurch es ermöglicht wird, die Information erneut aus dem EE(E²)PROM zu lesen.

Wie oben beschrieben werden die Grenzwerte PH_1a, PH_1b und Ph abhängig von dem Maximalwert (P_max) der Druckänderung P₀₁ automatisch und genau eingestellt.

Nebenbei bemerkt, können die 70%, 65% und 80% der Grenz­ werte PH_1a, PH_1b und Ph geändert werden. Diese geänderten Werte können durch EIN-Schalten des Rückstell-Schalters S_w4 gelöscht werden. Danach können die Aufwärts/Abwärts-Schalter S_w1, S_w2 EIN-geschaltet werden, um diese Werte unter Verwen­ dung des Schalters S_w3 einzustellen, nachdem bspw. ein Wechsel des numerischen Wertes auf der Basis eines 5%-Schritts ausge­ führt wurde.

Bei der oben beschriebenen Ausführungsform werden die Grenz­ werte PH_1a, PH_1b und der Grenzwert Ph digital in Anhängigkeit des Maximalwertes (P_max) der Druckänderung P₀₁ eingestellt. Alternativ ist jedoch eine die Druckänderung P₀₁ anzeigende Druckkurve als Daten gespeichert und die Grenzwerte PH_1a, PH_1b und Ph können in der gleichen Weise wie oben beschrieben eingestellt werden. In einer Vakuumeinheit 132 gemäß Fig. 6 werden Druckwerte, die durch einen Sensor 126, der eine Ent­ scheidung über entweder Zulassung oder Ablehnung des Wertes treffen soll, festgestellt werden, abhängig von einer Druck­ änderung, die durch einen auf der Vakuumerzeugungsseite ange­ ordneten Sensor 124 festgestellt wird, verändert. D.h., daß ein automatisches Verschiebesystem verwendet werden kann, bei welchem der an dem Sensor 126 beim Anziehen oder Nicht-An­ ziehen des Werkstücks W durch die Saugglocke 12 festgestellte Druck gegenüber dem von dem Sensor 124 festgestellten Druck beurteilt wird, um bei einem 50%-Wert als akzeptabel festge­ legt zu werden.

Fig. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Vakuumeinheit als Alternative zu der Vakuumeinheit 50 gemäß Fig. 4, in welcher der Ejektor integriert ist. Die vorliegende Ausfüh­ rungsform ist derart aufgebaut, daß eine (nicht dargestellte) Vakuumpumpe als Alternative zu dem Ejektor 54 mit dem Ausgang 52 verbunden ist.

Der Aufbau der vorliegenden Vakuumeinheit und ihr Betrieb und Wirkungen sind identisch mit denen der Vakuumeinheit 50 gemäß Fig. 4, so daß auf ihre detaillierte Beschreibung verzichtet wird.

Es bedarf keiner weiteren Erläuterung, daß die Vakuumeinheiten 50 gemäß den Fig. 4 und 8 genauso gut mehrfach nebeneinander und verzweigt zueinander vorgesehen sein können.

Wie in Fig. 9 dargestellt, ist ein Verteiler 88 neben einer Serieenübertragungs-Überwachungseinrichtung 90 angeordnet. Sie können auch miteinander über einen Verbindungsblock 96 mit Verbindungsgliedern und darin angeordneten Übertragungswegen verbunden sein, zu welchen Signale und Informationen von einem elektromagnetischen Ventil 92 und einem Drucksensor 94 über­ tragen werden.

Andere Ausführungsformen der Vakuum-Druck-Information-Verar­ beitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung werden hiernach unter Bezugnahme auf die Fig. 10 bis 15 beschrieben.

Das Vakuumüberwachungsgerät 150 gemäß Fig. 10 und 11 enthält im wesentlichen einen Ventilblock 152, einen Ejektor 154, eine Nachweiseinheit 156, einen Filter 158 und ein Verbindungsglied 160. Der Ventilblock 152 hat Lufteinlaßöffnungen 162, 164, 166, welche darin vorgesehen sind, ein Ringventil 153, welches darin für die Zufuhr von Druckluft zu dem Ejektor 154 und zur Sperrung derselben vorgesehen ist, sowie erste und zweite elektromagnetische Ventile 168, 170, welche an der oberen Oberfläche angebracht sind. Das erste elektromagnetische Ventil 168 wird als Druckluftzufuhrventil eingesetzt, während das zweite elektromagnetische Ventil 170 als ein elektrisches Ventil für die Vakuumunterbrechung dient. Für die Versorgung an elektrischem Strom und ein Überwachungssignal, wie bspw. ein AN/AUS-Signal an der Außenseite über (nicht dargestellte) Leiter, sind die ersten und zweiten elektromagnetischen Ven­ tile 168 und 170 mit ersten und zweiten Verbindungsstücken 168a, 170a ausgestattet. Der Ejektor 154 ist benachbart dem Ventilblock 152 vorgesehen. Darüber hinaus hat der Ejektor 154 eine Düse 155 und einen Diffuser 157 in sich angeordnet und einen Schalldämpfer 172 welcher auf der oberen Oberfläche sitzt. Der Schalldämpfer 172 dient zur Dämpfung des Schalles, welcher von der Druckluft herrührt, welche von dem Diffuser 157 des Ejektors 154 erzeugt wird. Die Überwachungseinrichtung 156 ermittelt den Druck unter Vakuum und schließt den Halblei­ ter-Drucksensor 116, welcher darin angeordnet ist, ein. Die Nachweiseinheit 156 enthält auch, auf ihrer oberen Fläche, ein Verbindungsstück 174, eine digitale Anzeigeeinrichtung 176, einen Einstell-Schalter S_W1 für das Aufwärtsschalten des Wertes, einen Einstell-Schalter S_W2 für das Abwärtsschalten eines Wertes, einen Setzschalter S_W3, einen Rückstell-Schalter S_W4, und Anzeigeeinheiten 178, 180. Die digitale Anzeigeein­ heit 176 kann visuelle Darstellungen eines "Fehlers" oder eines "Zusammenbruchs", etc. in englischer oder einer anderen Sprache wiedergeben. Der Filter 158 hat einen darin angeord­ neten Hauptkörper 161, welcher hydrophobes Material aufweisen kann und dafür sorgt, daß Wasser oder Feuchtigkeit an einem Eindringen gehindert wird. Darüber hinaus ist der Filter 158 abnehmbar an dem Verbindungsglied 160 mit einer Kontrollein­ richtung 162 angebracht. Es braucht nicht gesagt zu werden, daß jeder der Komponenten, wie Ventilblock 152, Ejektor 154, Schalldämpfer 172, Nachweiseinheit 156 und Filter 158 sich in der Weise in einem Verbindungsstatus befinden, daß unter Druck stehende Fluide durch jeden der inneren Durchlässe strömen kann. Insbesondere sind in der Nachweiseinheit 156 der Halb­ leiter-Drucksensor 16 (einschließlich eines Differential­ druck-Sensors oder eines Kapazitäts-Sensors) enthaltend eine piezoelektrische Einrichtung od. dgl., der Konstantstrom-Kreis 18, der Verstärker 20, der A/D-Wandler 22, die Überwachungs­ einrichtung 30, der EE(E²)PROM 32, der LCD-Treiber 34, etc. wie bereits in Fig. 1 beschrieben, enthalten. Das Verbindungs­ stück 154 kann elektrisch mit Leitern verbunden sein, um das Fehler-Früherkennung-Signal S₄ und das Druckschalter-Signal S₆, welches in Fig. 1 gezeigt ist, zu erzeugen. Das Verbin­ dungsstück 174 kann auch mit einer Stromquelle relativ zu der Nachweiseinheit 156 verbunden sein sowie mit einer Überwa­ chungssignalleitung oder einem Überwachungssignalleiter. Darüber hinaus kann das Verbindungsstück 174 eine Verbindungs­ funktion für andere Vakuumüberwachungseinrichtungen, ein ex­ ternes Überwachungsgerät, etc. aufweisen, so daß eine Druck­ nachweisinformation oder Überwachungsinformation mitgeteilt wird.

Wenn bei einem so aufgebauten Vakuumüberwachungsgerät ein den Betrieb auslösendes Startsignal als erstes eingegeben wird, wird Druckluft von der Lufteinlaßöffnung 166 eingeführt, um ein Vakuum in dem Ejektor 154 zu erzeugen. In diesem Fall sind die Luftzufuhröffnungen 162, 164 mit einer Abdeckkappe ver­ schlossen. Das so erzeugte Vakuum bringt die Saugglocke 12, welche an eine (nicht dargestellte) Öffnung des Verbindungs­ gliedes 160 angeschlossen ist, auf einen negativen Druck, d. h. auf ein Vakuum. Somit zieht die Saugglocke 12 das Werkstück W an und hält es in Übereinstimmung mit dem Betrieb einer För­ dereinrichtung, bspw. eines Roboters. Dann wird die Saugglocke 12 abgeschaltet, um das Werkstück W freizugeben. Als Ergebnis wird der Druck (das Vakuum), welcher bzw. welches aufeinander­ folgend an dem Halbleiter-Drucksensor 16 in der Überwachungs­ einheit 156 ansteht, in der Form von Druckwerten dargestellt, welche aufeinanderfolgend variieren, wie in Fig. 10 darge­ stellt, d. h. in Form der Werte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1. Wie man aus der Zeichnung zu diesem Zeitpunkt leicht erkennt, tritt häufig der Fall ein, daß der höchste Vakuumdruckwert (das Maß des Vakuums) mit der Zeit abnimmt aufgrund von Leckagen des Vakuumdruckes an der Saugkappe 12 und bspw. aufgrund eines Verstopfens des Filters 158.

Ein Signal entsprechend jedem der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1 wird über den Halbleiter-Drucksensor 16 und den Verstärker 20 an den A/D-Wandler 22 gelegt, wo es in ein digitales Nachweissignal S₂ umgewandelt wird, welches wiederum der Überwachungseinrichtung 30 eingegeben wird.

Die Überwachungseinrichtung 30 besitzt ein darin gespeichertes Programm, welches später beschrieben wird. Zunächst geben Extremwerte der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1 unter einem vorbestimmten Mode eine erste Adresse des EE(E²)PROM 32 und werden darin gespeichert. Die zuvor erwähnten Werte werden aufeinanderfolgend auf der LCD 38 der digitalen Anzeigeeinheit 176 zusammen mit den vorherigen jeweiligen Werten angezeigt. Dann wird der Mode von dem vorbestimmten Mode zu einem anderen umgeschaltet und der Grenzwert für die Erzeugung des Druck­ schalter-Signals S₆ relativ zu jedem der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1, ein sogenannter Differentialdruck PH₁, wird mittels der Schalter S_W1 bis S_W4 unter diesem Mode einge­ stellt. Danach wird der Mode wieder in einen anderen geändert, um ein eine Fehler-Früherkennung bestimmendes Vakuum Ph einzu­ stellen, welches einen Punkt definiert, welcher bspw. um 20% des normalen höchsten Vakuumdruckwertes (des maximalen Maßes an Vakuum) reduziert ist, als ein Druckwert für die Beurtei­ lung einer Fehler-Früherkennung. Dann bestimmt das so einge­ stellte Vakuum eine dritte Adresse und wird dort in dem EE(E²)PROM 32 gespeichert. Eine arithmetische Operation wird auf den Differentialdruck PH₁ ausgeführt. Das Ergebnis der Operation kann in dem EE(E²)PROM 32 als ein Wert gespeichert werden, welcher mehrere Prozent bis mehrere 10% von dem maximalen Wert P_macx der Druckänderung P₀₁ verringert ist.

Weiterhin werden unerwünschte oder unsachgemäße Druckwerte unterhalb des eine Fehler-Früherkennung bestimmenden Vakuums Ph unter den Druckwerten P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1 sechsmal aufgestellt (für eine Einstellung gezählt). Diese eingestel­ lten Werte od. dgl. werden sichtbar auf der LCD 38 angezeigt.

Nachdem der zuvor beschriebene Druckwert vervollständigt worden ist, wird das Druckschalter-Signal S₆ entsprechend dem Differentialdruck PH₁ bezüglich jedes der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1 oder einer Information über den Differential­ druck PH₁ kontinuierlich in einer solchen Weise erzeugt, daß es für eine vollständig geschlossene Überwachung jedes der verschiedenen Überwachungsantriebseinrichtungen, wie eine Fördereinrichtung, und zur Informationsverarbeitung in einem FMS, einem CIM, etc. benutzt wird.

Auf der anderen Seite werden unerwünschte oder unsachgemäße Vakuum-Wert-Daten Pd (bspw. entsprechend dem digitalen Nach­ weissignal S₂ als Signal) unterhalb des Grenzwertes Ph unter den Druckwerten P₀₁, P₀₂, P_{03, . . .,} P_0N+1 fortlaufend sechsmal erzeugt. Dies bedeutet, daß, wenn die Zählung der unsachge­ mäßen Vakuum-Wert-Daten Pd sechsmal ausgeführt wird, das Fehler-Früherkennung-Signal S₄ fortlaufend erzeugt wird.

Zu diesem Zeitpunkt wird die Information über die Erzeugung des Fehler-Früherkennung-Signals S₄ od. dgl. in dem EE(E²)PROM 32 gespeichert und die Information kann wieder aus dem EE(E²)PROM 32 ausgelesen werden, wenn die Überwachungseinrich­ tung nach einem Abstellen der Stromversorgung wieder einge­ schaltet wird. Die aufeinanderfolgende Überwachung der Über­ wachungseinrichtung 30 für die Erzeugung des Fehler-Früher­ kennung-Signals S₄ auf der Basis des in dem ROM 30b gespei­ cherten Programms wird nunmehr nachfolgend beschrieben.

Das vorhandene Programm wird in einer solchen Weise ausge­ führt, daß die Überwachungseinrichtung 30 ihren Betrieb auf den Eingang des Betriebsstartanweisungssignals hin für das gesamte Gerät an die Überwachungseinrichtung 30 beginnt (vgl. Fig. 14 und 15). Dann folgt:

• 1) Ein Verfahren zum Aufnehmen des Fehler-Früherkennung- Signals S₄ wird in dem Schritt 101 (vgl. Fig. 14 und 15) ausgeführt.
• 2) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht das Feh­ ler-Früherkennung-Signal S₄ erzeugt wurde, wird in Schritt 102 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, schreitet die Routine zu Schritt 103 fort. Wenn die Antwort NEIN ist, dann geht die Routine zu Schritt 105 über.
• 3) Ein Verfahren zum Bestimmen, ob oder ob nicht ein AN- Signal erzeugt worden ist, wenn der Schalter S_W4 angeschaltet worden ist, wird in Schritt 103 ausgeführt. Wenn die Antwort NEIN ist, dann kehrt die Routine nach Schritt 103 zurück. Wenn die Antwort JA ist, dann geht die Routine-Prozedur zum nächsten Schritt 104 über.
• 4) Ein Verfahren zum Unterbrüchen der Lieferung des Fehler- Früherkennung-Signals S₄ von der Überwachungseinrichtung 30 wird in Stufe 104 ausgeführt.
  Ein Verfahren zum Unterbrechen der Lieferung des Fehler-Früh­ erkennung-Signals S₄, welches bis jetzt kontinuierlich in den Schritten 101 bis 104 von der Überwachungseinrichtung 30 er­ zeugt wurde, wird ausgeführt.
• 5) Ein Verfahren, welches ermöglicht, daß die Überwachungs­ einrichtung 30 das digitale Nachweissignal S₂ aufnimmt, wird in Schritt 105 ausgeführt.
• 6) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht das Druck­ schalter-Signal S₆ hergestellt worden ist, wird in Schritt 106 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, dann wird der Routine- Prozeß zum nächsten Schritt 107 weitergeführt. Wenn die Ant­ wort NEIN ist, dann geht die Routine zu Schritt 110 über.
• 7) Ein Verfahren zum Überführen einer Marke _SONF auf 1, wenn das Druckschalter-Signal S₆ sich in einem AN-Zustand befindet, wird in Schritt 107 ausgeführt. Wenn das Druckschalter-Signal S₆ sich in einem AUS-Zustand befindet, dann wird die Marke _SONF auf 0 gebracht; daher ist die Marke _SONF verschwunden (zurückgestellt).
• 8) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht die Va­ kuum- Wert-Daten Pd (der höchste Vakuumdruckwert des digitalen Nachweissignals S₂) größer ist als das eine Fehler-Früherken­ nung bestimmende Vakuum Ph (wobei Pd größer Ph), wird in Schritt 108 ausgeführt. Wenn die Antwort NEIN ist, so ergibt sich, daß die Vakuum-Wert-Daten Pd normal sind; demzufolge geht die Routine zu dem Zustand RÜCKKEHR über. Wenn die Ant­ wort JA ist, dann schreitet die Routine zu dem nächsten Schritt 109 fort.
• 9) Ein Verfahren zum Überführen einer Marke _ECF auf 1, wenn die Vakuum-Wert-Daten Pd das eine Fehler-Früherkennung bestim­ mende Vakuum Ph zu einem Zeitpunkt überschreitet, zu welchem das Druckschalter-Signal S₆ sich in einem AN-Zustand befindet, wird in Schritt 109 ausgeführt. Danach geht die Routine zu RÜCKKEHR über.
• 10) Wenn die Antwort in Schritt 106 NEIN ist, dann wird ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht die Marke _SONF auf 1 gebracht worden ist, in Schritt 110 ausgeführt. Wenn die Antwort NEIN ist, dann geht der Routine-Prozeß zu RÜCKKEHR über. Wenn die Antwort JA ist, dann schreitet der Routine-Pro­ zeß zum nächsten Schritt 111 weiter.
• 11) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht die Marke _ECF auf 1 gebracht worden ist, wird in Schritt 111 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, dann schreitet der Routine-Prozeß zu Schritt 115 weiter. Wenn die Antwort NEIN ist, dann schreitet die Routine zum nächsten Schritt 112 weiter.
• 12) Ein Verfahren zum Ausführen eines Zuwachses (Inkrements) in der unerwünschten oder unsachgemäßen Zählung (sechsfach) wird in Schritt 112 ausgeführt.
• 13) Ein Verfahren zum Vergleich jedes Wertes, welcher beim Ausführen des Zuwachses in der unsachgemäßen Zählung (sechs­ fach) erhalten wurde, mit jedem von eingestellten Zählungen (sechsfach), um auf der Basis des Vergleichsergebnisses zu entscheiden, ob oder ob nicht eine Koinzidenz miteinander vor­ liegt, wird in Schritt 113 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, dann schreitet die Routine zu dem nächsten Schritt 114 fort. Wenn die Antwort NEIN ist, dann geht die Routine zu Schritt 116 über.
• 14) Ein Verfahren zur Lieferung des Fehler-Früherkennung- Signals S₄ von der Überwachungseinrichtung, vorausgesetzt, daß jeder Teilwert (sechsfach) in dem Schritt 113 als jeweils ein­ gestellter Zähler (sechsfach) angesehen wird, wird in Schritt 114 ausgeführt. Danach geht das Routine-Verfahren zu RÜCKKEHR über, um den nächsten Nachweisprozeß zu beginnen.
• 15) Wenn die Antwort in Schritt 106 JA ist, d. h. wenn die Vakuum-Wert-Daten Pd das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph in dem AN-Zustand des Druckschalter-Signals S₆ über­ schreiten, dann wird ein Verfahren zum Überführen seines uner­ wünschten Ergebnisses in einen Normalzustand in Schritt 115 ausgeführt, um die unerwünschte oder unsachgemäße Zählung zu löschen.
• 16) Ein Verfahren zum Überführen der Marke _ECF auf 0 wird in Schritt 116 ausgeführt, gefolgt von dem nächsten Schritt 117.
• 17) Ein Verfahren zum Überführen der Marke _SONF auf 0 wird in Schritt 117 ausgeführt. Danach geht die Routine zu RÜCKKEHR über, um den nächsten Bestimmungsprozeß wieder zu beginnen.

Wenn somit die unrichtige Zählung bezüglich des eine Fehler- Früherkennung bestimmenden Vakuums Ph mit der voreingestellten Anzahl von Malen (Wiederholungen) zusammenfällt, d. h. die voreingestellte Zählung zu dem Zeitpunkt, zu welchem der höch­ ste Vakuumdruckwert mit der Zeit abgebaut wird, bspw. durch wiederholtes Ausführen eines Förderprozesses des Werkstückes W, dann wird das Fehler-Früherkennung-Sinal S₄ erzeugt, so daß im Vorhinein eine wirksame Information über den Zeitpunkt zur Verfügung gestellt wird, zu welcher Vorrichtungen, wie der Filter, der Ejektor, etc. durch neue ersetzt werden sollten, aufgrund eines Verstopfens des Filters 158, eines Verschleißes der Ausführung des Ejektors, etc. Zusätzlich zu der Lieferung einer solchen wirksamen Information können die Druckwerte, bspw. wie das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph, der Differentialdruck PH₁, etc. genau und einfach aufgestellt und deutlich zusammen mit dem herrschenden Druckwert angezeigt werden.

Bei dem veranschaulichten Ausführungsbeispiel ist die Anzahl der Male (Wiederholung) unerwünschter oder unsachgemäßer Zäh­ ler, bei welchen die Vakuum-Wert-Daten das eine Fehler-Früher­ kennung bestimmende Vakuum Ph nicht erreichen können, und die voreingestellte Anzahl von Malen (Wiederholungen) N (einge­ stellte Anzahl) sechs in Folge. Darüber hinaus wird das Fehler- Früherkennung-Signal S₄ erzeugt; dies bedeutet, daß das Fehler- Früherkennung-Signal S₄, welches kennzeichnend ist für den Druckwert, welcher den normalen Werkstückförderungs­ vorgang od. dgl. unmöglich macht erzeugt wird um eine Infor­ mation über eine Vorbeurteilung zu geben.

Ein Kriterium für eine derartige vorherige Beurteilung kann abhängig von dem Aufbau und dem Betriebszustand der Förderein­ richtung geändert werden. So wird ein derartiges Kriterium bspw. angewendet in einem Fall, in welchem ein wirksamer und experimenteller Wert, bspw. ein einmal erzeugtes Vakuum-Wert- Datum Pd, das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph nicht erreichen kann, in einem Fall, in welchem die Rate, in welcher das Vakuum-Wert-Datum Pd das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph innerhalb einer vorbestimmten Wiederho­ lungszahl nicht erreichen kann, einen vorbestimmten Wert über­ schreitet, und in einem Fall, in welchem die Rate, in welcher das Vakuum-Wert-Datum Pd das eine Fehler-Früherkennung be­ stimmende Vakuum Ph während einer vorbestimmten Zeitperiode nicht erreichen kann, einen vorgegebenen Wert überschreitet. In diesem Fall kann ein auf dem zuvor erörterten Kriterium beruhendes Programm ausgeführt werden, so daß ein Fehler-Früh­ erkennung-Signal S₄ in ähnlicher Weise, wie bei dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel, erzeugt wird.

Fig. 12 zeigt eine Ausführungsform verschieden von der Ausfüh­ rungsform betreffend das Vakuumüberwachungsgerät 150 von Fig. 11, in welchem der Ejektor eingebaut worden ist. Diese Ausfüh­ rungsform ist derart aufgebaut, daß eine Vakuumpumpe (nicht dargestellt) als eine Alternative zu dem Ejektor 154 an eine Öffnung 166 angekoppelt ist. Daher hat ein Ringventil 153 im wesentlichen die gleiche Gestalt wie das Ringventil nach Fig. 8. Das Ringventil 153 wird jedoch mittels einer Wendelfeder 180 zurückgestellt. Der übrige Aufbau des vorliegenden Ausfüh­ rungsbeispiels ist identisch zu dem des Vakuumüberwachungsge­ rätes 150 von Fig. 11; eine Einzelbeschreibung kann daher entfallen. Die Betriebsweisen und Wirkungen des Vakuumüber­ wachungsgerätes 150, welches in Fig. 12 veranschaulicht ist, sind im wesentlichen die gleichen wie diejenigen des Vakuum­ überwachungsgerätes nach Fig. 11.

Weiterhin können die in den Fig. 11 und 12 veranschaulichten Vakuumüberwachungsgeräte mehrfach hintereinander geschaltet und über Leitungen miteinander verbunden vorgesehen sein. Das Vakuumüberwachungsgerät kann so aufgebaut und eingestellt sein, daß es die in Fig. 5 veranschaulichte Anordnung hat, welche in der japanischen Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 63-154900 beispielsweise offenbart ist. Darüber hinaus können Ventile und Sensorüberwachungsteile (Bezugsziffern 168a, 170a, 174 in der vorliegenden Ausführungsform) integral ausgebildet sein, um Verfahren, bspw. Überwachung von elektro­ magnetischen Ventilen, Bestätigung für die Anziehung des Werkstückes, Früherkennung eines Fehlers und AN/AUS-Überwa­ chung jedes Ventils auszuführen. Bei dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel werden die Grenzwerte in digitaler Form bezüglich des maximalen Wertes der Druckwerte, welche mit der Zeit variieren, aufgestellt. Alternativ zu dieser Verfahrens­ weise gibt es ein Verfahren, bei welchem Information über Kurven, welche für Druckänderungen charakteristisch sind, gespeichert werden; dabei können verschiedene Grenzwerte, basierend auf der Kurveninformation, eingestellt werden.

Die Vakuumeinheit nach der vorliegenden Erfindung bringt fol­ gende Vorteile mit sich:

Innere Drücke der Vakuumeinheit werden von einem Drucksensor festgestellt, welcher stromaufwärtsseitig und stromabwärts­ seitig wenigstens einer der Komponenten, welche in der Vakuum­ einheit vorgesehen sind, angeordnet ist. Darüber hinaus werden Grenzwerte relativ zu den internen Drücken durch Einstell­ mittel eingestellt. Ein festgestellter Druckwert wird mit diesen Grenzwerten verglichen, wodurch ein Fehler in dem Betrieb der Vakuumeinheit erkannt wird. Dabei kann ein Fehler, bspw. das Verstopfen eines Filters, aus Veränderungen in dem Druck der einzelnen Komponenten und demzufolge eine Fehler- oder Ausfallstelle, genau ermittelt werden. Es ist daher möglich, die Ausfallsstellen oder -teile in der Vakuumeinheit schnell zu reparieren oder durch neue zu ersetzen.

Selbstverständlich können ausgehend von den dargestellten Aus­ führungsbeispielen eine Reihe von Änderungen und Modifikatio­ nen vorgenommen werden, ohne von dem Erfindungsgedanken, wie er vorstehend offenbart worden ist, abzuweichen.

Claims (5)

1. Elektrische Druckinformation-Verarbeitungseinrichtung zur Verwendung in einer Vakuumeinheit mit:
Nachweiseinrichtungen zur Feststellung eines Vakuumdruckwer­ tes;
Einstelleinrichtungen zur Einstellung eines gewünschten Druck­ wertes;
Anzeigeeinrichtungen zur digitalen Anzeige des gewünschten Druckwertes;
Speichereinrichtungen zur Speicherung des gewünschten Druck­ wertes;
Festlegungseinrichtungen zum Vergleich des mittels der Ein­ stelleinrichtungen eingestellten und in den Speichereinrich­ tungen gespeicherten gewünschten Druckwertes mit dem festge­ stellten Vakuumdruckwert und zur Festlegung, daß ein ungeeig­ neter Zustand vorliegt, wenn das Ergebnis des Vergleichs einen bestimmten Wert erreicht; und
Ausgabeeinrichtungen zur Ausgabe eines festgelegten Signals, wenn der eingestellte gewünschte Druckwert und der festge­ stellte Vakuumdruckwert, welche mittels der Festlegungsein­ richtungen verglichen wurden, miteinander in einem festgeleg­ ten Bereich übereinstimmen;
wobei die Anzeigeeinrichtungen Einstelleinrichtungen zur Einstellung des Zustands der visuellen Erkennbarkeit jedes Druckwertes aufweisen.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstelleinrichtungen einen Verbindungsmechanismus auf­ weisen.

3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Festlegungseinrichtungen Einrichtungen zum Zählen der Anzahl von Druckwerten mit einem geringeren Vakuum als dem eingestellten gewünschten Druckwert und zur Erzeugung eines einen ungeeigneten Zustand anzeigenden Signals aufweisen, wenn die gezählte Anzahl von Druckwerten einen vorher festgelegten Wert erreicht.

4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Nachweiseinrichtungen Anzeigeeinrichtungen zur digitalen Anzeige des mittels der Anzeigeeinrichtungen festgestellten Vakuumdruckwertes aufweisen.

5. Einrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch Anzei­ geeinrichtungen zur digitalen Anzeige mindestens eines Druck­ wertes zur Verwendung für die Festlegung des ungeeigneten Zustandes und eines Druckwertes zur Verwendung für die Fehler­ früherkennung.