JPH0569996A - 真空ユニツト - Google Patents
真空ユニツトInfo
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- JPH0569996A JPH0569996A JP3226195A JP22619591A JPH0569996A JP H0569996 A JPH0569996 A JP H0569996A JP 3226195 A JP3226195 A JP 3226195A JP 22619591 A JP22619591 A JP 22619591A JP H0569996 A JPH0569996 A JP H0569996A
- Authority
- JP
- Japan
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- pressure
- value
- vacuum unit
- vacuum
- pressure value
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
- G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
- G05D16/2013—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
- G05D16/2026—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means with a plurality of throttling means
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/024—Controlling the inlet pressure, e.g. back-pressure regulator
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
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- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】負圧に係る圧力値の設定をデジタル的に行い且
つ負圧検出時にその圧力値をデジタル的に表示せしめ、
設定値と検出圧力値とが一致した時、所定の信号を導出
する真空ユニットを提供する。 【構成】所望の圧力値がアップ／ダウンスイッチＳW1、
ＳW2によって設定される。半導体圧力センサ１６で検出
された負圧は予め設定されている圧力値と比較され、所
定の範囲で一致した時、ＬＣＤ３８によってデジタル的
に表示される。
つ負圧検出時にその圧力値をデジタル的に表示せしめ、
設定値と検出圧力値とが一致した時、所定の信号を導出
する真空ユニットを提供する。 【構成】所望の圧力値がアップ／ダウンスイッチＳW1、
ＳW2によって設定される。半導体圧力センサ１６で検出
された負圧は予め設定されている圧力値と比較され、所
定の範囲で一致した時、ＬＣＤ３８によってデジタル的
に表示される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空ユニットに関し、
一層詳細には真空ユニットに供される制御用信号を導出
すべく、圧力流体の圧力変化カーブに対する複数の圧力
値の設定をデジタル的に行い、さらに設定された圧力値
と所望の圧力値とが一致した時、所定の信号を導出する
真空ユニットに関する。
一層詳細には真空ユニットに供される制御用信号を導出
すべく、圧力流体の圧力変化カーブに対する複数の圧力
値の設定をデジタル的に行い、さらに設定された圧力値
と所望の圧力値とが一致した時、所定の信号を導出する
真空ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、空気圧機器等には負圧／正圧用の
圧力スイッチが多用されている。
圧力スイッチが多用されている。
【０００３】ここで圧力／電気変換による負圧用の圧力
スイッチの一例を説明する。当該負圧用の圧力スイッチ
は圧力空気、流体路および空気圧機器等からなる負圧
（真空）システム、すなわち、作業対象部材（ワーク）
の搬送の際、ワークの吸着、非吸着の確認等に用いられ
る。
スイッチの一例を説明する。当該負圧用の圧力スイッチ
は圧力空気、流体路および空気圧機器等からなる負圧
（真空）システム、すなわち、作業対象部材（ワーク）
の搬送の際、ワークの吸着、非吸着の確認等に用いられ
る。
【０００４】当該圧力スイッチには拡散型半導体セン
サ、比較器、可変抵抗器、出力回路（パルス信号生成）
等からなる圧力スイッチ信号発生回路が設けられてお
り、この回路からはワークの吸着、非吸着（真空破壊）
に伴う圧力値変化（図９中、Ｍ）に係る応差に対応した
出力信号Ｓ1 が送出される。なお、応差はチャッタリン
グ阻止のために設けられている。
サ、比較器、可変抵抗器、出力回路（パルス信号生成）
等からなる圧力スイッチ信号発生回路が設けられてお
り、この回路からはワークの吸着、非吸着（真空破壊）
に伴う圧力値変化（図９中、Ｍ）に係る応差に対応した
出力信号Ｓ1 が送出される。なお、応差はチャッタリン
グ阻止のために設けられている。
【０００５】ここで図９に示される応差の閾値ＰＨ
1 （出力信号Ｓ1 の前縁に対応）は、拡散型半導体圧力
センサからの出力信号Ｓ1が比較器に供給され、この比
較器で可変抵抗器により設定された基準値と比較され
る。そして、出力信号Ｓ1 は、例えば、ＦＡ用のコンピ
ュータ等に連動するシーケンスコントローラに供給され
て、各種の制御駆動手段等に供される。さらに、ＣＩＭ
のモジュールとして使用され、判断機能を有する制御動
作を可能にしている。
1 （出力信号Ｓ1 の前縁に対応）は、拡散型半導体圧力
センサからの出力信号Ｓ1が比較器に供給され、この比
較器で可変抵抗器により設定された基準値と比較され
る。そして、出力信号Ｓ1 は、例えば、ＦＡ用のコンピ
ュータ等に連動するシーケンスコントローラに供給され
て、各種の制御駆動手段等に供される。さらに、ＣＩＭ
のモジュールとして使用され、判断機能を有する制御動
作を可能にしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の技術において、圧力スイッチには、通常、真空度
表示手段が配設されておらず、このため、上記閾値ＰＨ
1 等を定める際に、吸着、非吸着の反復動作を行い、こ
こで閾値ＰＨ1 を決定すべく可変抵抗器等での設定調整
が行われる。従って、空気圧機器等に多数の圧力スイッ
チが配置される際には、夫々空気圧機器等の駆動、並び
に比較的手間を伴う設定調整が必要となり、さらにその
間に誤差を生起し、すなわち、定量的な設定に困難を伴
う欠点を有していた。しかも、設定調整がアナログ的に
行われるために、精緻な設定が困難であるとの不都合が
ある。
従来の技術において、圧力スイッチには、通常、真空度
表示手段が配設されておらず、このため、上記閾値ＰＨ
1 等を定める際に、吸着、非吸着の反復動作を行い、こ
こで閾値ＰＨ1 を決定すべく可変抵抗器等での設定調整
が行われる。従って、空気圧機器等に多数の圧力スイッ
チが配置される際には、夫々空気圧機器等の駆動、並び
に比較的手間を伴う設定調整が必要となり、さらにその
間に誤差を生起し、すなわち、定量的な設定に困難を伴
う欠点を有していた。しかも、設定調整がアナログ的に
行われるために、精緻な設定が困難であるとの不都合が
ある。
【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされ、真空ユ
ニットにおいて所定の信号を導出するため、所望の圧力
値の設定を比較的簡単に行うことを可能とする真空ユニ
ットを提供することを目的とする。
ニットにおいて所定の信号を導出するため、所望の圧力
値の設定を比較的簡単に行うことを可能とする真空ユニ
ットを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、真空ユニットにおいて、所望の圧力値
を設定する設定手段と、該所望の圧力値をデジタル的に
表示する表示手段と、前記圧力値を記憶する記憶手段
と、前記設定手段により設定され、前記記憶手段により
記憶されている所望の圧力値と該検出された負圧に係る
圧力値とを比較する比較手段と、を備え、真空ポートに
連通する通路に臨む圧力検出素子から導出される負圧を
デジタル信号に変換した後前記表示手段に表示せしめ、
前記比較手段において、設定値と検出値とが所定の範囲
で一致した時、所定の信号を導出することを特徴とす
る。
めに、本発明は、真空ユニットにおいて、所望の圧力値
を設定する設定手段と、該所望の圧力値をデジタル的に
表示する表示手段と、前記圧力値を記憶する記憶手段
と、前記設定手段により設定され、前記記憶手段により
記憶されている所望の圧力値と該検出された負圧に係る
圧力値とを比較する比較手段と、を備え、真空ポートに
連通する通路に臨む圧力検出素子から導出される負圧を
デジタル信号に変換した後前記表示手段に表示せしめ、
前記比較手段において、設定値と検出値とが所定の範囲
で一致した時、所定の信号を導出することを特徴とす
る。
【０００９】
【作用】上記の真空ユニットにおいて、複数の圧力値を
デジタル表示で正確に且つ定量的に設定、あるいは検出
でき、誤差を生じることなく操作が容易になる。
デジタル表示で正確に且つ定量的に設定、あるいは検出
でき、誤差を生じることなく操作が容易になる。
【００１０】
【実施例】次に、本発明に係る真空ユニットの一実施例
を添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
を添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１１】先ず、本発明に係る真空ユニットに組み込
まれた圧力情報処理装置１０を図１に則して説明する。
まれた圧力情報処理装置１０を図１に則して説明する。
【００１２】図中、参照符号Ｗはワーク、参照符号１２
は真空システムに係る搬送手段に配設されたワーク吸着
盤を示す。この圧力情報処理装置１０は圧力空気Ａｐの
値（負圧) に係る検知信号を送出する半導体圧力センサ
１６、定電流回路１８、増幅器２０を有している。そし
て、増幅器２０から導出された信号、すなわち、圧力空
気Ａｐの値（負圧）に対応したアナログ信号をデジタル
信号Ｓ2 に変換するＡ／Ｄ変換器２２と、ワンチップマ
イクロコンピュータ等のコントローラ３０とを備え、当
該コントローラ３０は、ＣＰＵ３０ａ、プログラムを備
えたＲＯＭ３０ｂ、Ｉ／Ｏ３０ｃ等を有するとともに、
後述される設定値アップ／ダウン用のスイッチＳW1、Ｓ
W2と、変更された値のセット用のスイッチＳW3、設定値
に係るリセット用のスイッチＳW4が接続されている。さ
らに、後述される情報を記憶せしめ且つ電源断において
情報が保持されるＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３２と、後述され
る設定値および情報の可視的表示を行うためのＬＣＤド
ライバ３４、ＬＣＤ３８が接続されている。圧力情報処
理装置１０は、、アナログ回路および／またはデジタル
回路をＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏ
ｃｅｓｓｉｎｇ）等のプログラマブルな均等手段で置換
できる。
は真空システムに係る搬送手段に配設されたワーク吸着
盤を示す。この圧力情報処理装置１０は圧力空気Ａｐの
値（負圧) に係る検知信号を送出する半導体圧力センサ
１６、定電流回路１８、増幅器２０を有している。そし
て、増幅器２０から導出された信号、すなわち、圧力空
気Ａｐの値（負圧）に対応したアナログ信号をデジタル
信号Ｓ2 に変換するＡ／Ｄ変換器２２と、ワンチップマ
イクロコンピュータ等のコントローラ３０とを備え、当
該コントローラ３０は、ＣＰＵ３０ａ、プログラムを備
えたＲＯＭ３０ｂ、Ｉ／Ｏ３０ｃ等を有するとともに、
後述される設定値アップ／ダウン用のスイッチＳW1、Ｓ
W2と、変更された値のセット用のスイッチＳW3、設定値
に係るリセット用のスイッチＳW4が接続されている。さ
らに、後述される情報を記憶せしめ且つ電源断において
情報が保持されるＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３２と、後述され
る設定値および情報の可視的表示を行うためのＬＣＤド
ライバ３４、ＬＣＤ３８が接続されている。圧力情報処
理装置１０は、、アナログ回路および／またはデジタル
回路をＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏ
ｃｅｓｓｉｎｇ）等のプログラマブルな均等手段で置換
できる。
【００１３】以上のように構成される圧力情報処理装置
を組み込む真空ユニットを図２に示す。
を組み込む真空ユニットを図２に示す。
【００１４】図２並びに図３において、参照符号５０は
真空ユニットを示し、この真空ユニット５０はバルブブ
ロック５２とエゼクタ５４と検出部５６とフィルタ５８
と接続部材６０とから基本的に構成されている。バルブ
ブロック５２には空気供給ポート６２、パイロット弁空
気供給ポート６４および真空破壊空気供給ポート６６が
形成され、その内部にエゼクタ５４に圧縮空気を送給し
または遮断するためのポペット弁５３が設けられ、さら
にその上面には第１、第２、および第３の電磁弁６８、
６９および７０が設けられている。
真空ユニットを示し、この真空ユニット５０はバルブブ
ロック５２とエゼクタ５４と検出部５６とフィルタ５８
と接続部材６０とから基本的に構成されている。バルブ
ブロック５２には空気供給ポート６２、パイロット弁空
気供給ポート６４および真空破壊空気供給ポート６６が
形成され、その内部にエゼクタ５４に圧縮空気を送給し
または遮断するためのポペット弁５３が設けられ、さら
にその上面には第１、第２、および第３の電磁弁６８、
６９および７０が設けられている。
【００１５】第１電磁弁６８と第２電磁弁６９は自己保
持タイプのダブルソレノイドまたはラッチングソレノイ
ドに構成されている圧縮空気の供給弁用のパイロット電
磁弁であり、第３電磁弁７０は真空破壊用のパイロット
電磁弁である。第１電磁弁６８、第２電磁弁６９、およ
び第３電磁弁７０には夫々電源並びにＯＮ／ＯＦＦ信号
等の制御信号を図示しない導線を介して送給すべく、第
１コネクタ６８ａ、第２コネクタ６９ａおよび第３コネ
クタ７０ａが設けられている。
持タイプのダブルソレノイドまたはラッチングソレノイ
ドに構成されている圧縮空気の供給弁用のパイロット電
磁弁であり、第３電磁弁７０は真空破壊用のパイロット
電磁弁である。第１電磁弁６８、第２電磁弁６９、およ
び第３電磁弁７０には夫々電源並びにＯＮ／ＯＦＦ信号
等の制御信号を図示しない導線を介して送給すべく、第
１コネクタ６８ａ、第２コネクタ６９ａおよび第３コネ
クタ７０ａが設けられている。
【００１６】バルブブロック５２に隣接してエゼクタ５
４が設けられる。エゼクタ５４の内部にはノズル部５５
とディフューザ部５７とが設けられ、さらに該エゼクタ
５４の側面にはサイレンサ７２が配設され、このサイレ
ンサ７２はエゼクタ５４の前記ディフューザ部５７から
導出される圧力空気によって生起する音を消音する。
４が設けられる。エゼクタ５４の内部にはノズル部５５
とディフューザ部５７とが設けられ、さらに該エゼクタ
５４の側面にはサイレンサ７２が配設され、このサイレ
ンサ７２はエゼクタ５４の前記ディフューザ部５７から
導出される圧力空気によって生起する音を消音する。
【００１７】検出部５６は真空圧力を検出するものであ
り、その内部に半導体圧力センサ１６を含む。検出部５
６は、図４に示すように、その上部にコネクタ部７４、
デジタル表示部７６、アップ用スイッチＳW1、ダウン用
スイッチＳW2、セット用スイッチＳW3、リセット用スイ
ッチＳW4を有し、さらに、表示部７８を有する。
り、その内部に半導体圧力センサ１６を含む。検出部５
６は、図４に示すように、その上部にコネクタ部７４、
デジタル表示部７６、アップ用スイッチＳW1、ダウン用
スイッチＳW2、セット用スイッチＳW3、リセット用スイ
ッチＳW4を有し、さらに、表示部７８を有する。
【００１８】デジタル表示部７６には、例えば、漢字ま
たはカタカナで「故障」、「コショウ」等の表示をする
ことができる。また、デジタル表示部７６は読み取りを
容易にするために、目視角度をヒンジ、多関節リンク等
で調整可能に構成されている（図４参照）。
たはカタカナで「故障」、「コショウ」等の表示をする
ことができる。また、デジタル表示部７６は読み取りを
容易にするために、目視角度をヒンジ、多関節リンク等
で調整可能に構成されている（図４参照）。
【００１９】フィルタ５８は内部に疏水性部材からな
り、水分の侵入を阻止するフィルタ本体６１を含み、摘
み８２によって接続部材６０に着脱自在に装着されてい
る。
り、水分の侵入を阻止するフィルタ本体６１を含み、摘
み８２によって接続部材６０に着脱自在に装着されてい
る。
【００２０】言うまでもないが、バルブブロック５２、
エゼクタ５４、サイレンサ７２、検出部５６、フィルタ
５８は、夫々内部通路によって圧力流体が流通すること
が可能なように連通状態にあり、エゼクタ５４とフィル
タ５８を結ぶ通路にはチェック弁５９が備えられてい
る。特に、検出部５６の内部には、ピエゾ等からなる半
導体圧力センサ (差圧型および容量型を含む) １６、定
電流回路 (定電圧回路）１８、増幅器２０、Ａ／Ｄ変換
器２２、コントローラ３０、ＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３２、
ＬＣＤドライバ３４等が配設されている。
エゼクタ５４、サイレンサ７２、検出部５６、フィルタ
５８は、夫々内部通路によって圧力流体が流通すること
が可能なように連通状態にあり、エゼクタ５４とフィル
タ５８を結ぶ通路にはチェック弁５９が備えられてい
る。特に、検出部５６の内部には、ピエゾ等からなる半
導体圧力センサ (差圧型および容量型を含む) １６、定
電流回路 (定電圧回路）１８、増幅器２０、Ａ／Ｄ変換
器２２、コントローラ３０、ＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３２、
ＬＣＤドライバ３４等が配設されている。
【００２１】コネクタ部７４は、図１に示す故障予知信
号Ｓ4 並びに圧力スイッチ信号Ｓ6 を導出するために、
導線の接続が可能であり、また、該コネクタ部７４は検
出部５６に対する電源、制御用信号線を接続することが
でき、さらに他の真空ユニット、外部制御装置等に対し
てその圧力検出情報および制御情報を提供すべく、マニ
ホールドに連設される通信機能付のコントローラを付し
て音波伝送、ワイヤレス伝送、光ファイバ伝送等の通信
機能をもたせることもできる。なお、この場合、第１コ
ネクタ６８ａ、第２コネクタ６９ａおよび第３コネクタ
７０ａ、コネクタ部７４を一体化し、まとめて弁に対す
る制御信号、吸着確認、故障予知情報等を制御してもよ
い。
号Ｓ4 並びに圧力スイッチ信号Ｓ6 を導出するために、
導線の接続が可能であり、また、該コネクタ部７４は検
出部５６に対する電源、制御用信号線を接続することが
でき、さらに他の真空ユニット、外部制御装置等に対し
てその圧力検出情報および制御情報を提供すべく、マニ
ホールドに連設される通信機能付のコントローラを付し
て音波伝送、ワイヤレス伝送、光ファイバ伝送等の通信
機能をもたせることもできる。なお、この場合、第１コ
ネクタ６８ａ、第２コネクタ６９ａおよび第３コネクタ
７０ａ、コネクタ部７４を一体化し、まとめて弁に対す
る制御信号、吸着確認、故障予知情報等を制御してもよ
い。
【００２２】以上のように構成される真空ユニット５０
において、先ず、動作開始指令信号Ｃ1 が供給される
と、空気供給ポート６２から圧縮空気が導入され、エゼ
クタ５４において負圧が発生する。この負圧は接続部材
６０の図示しないポートに接続された吸着盤１２に達
し、ロボット等の搬送手段の稼働に伴い、該吸着盤１２
にワークＷが吸着し、次いで非吸着（離脱）が行われ
る。これにより検出部５６内の半導体圧力センサ１６に
印加される圧力（負圧）は図６に示される変化の圧力値
ＰO1、ＰO2、ＰO3…ＰON+1の状態となる。この場合、図
から容易に理解されるように、例えば、吸着盤１２側の
真空圧力の漏洩、フィルタの目詰まり等の理由により、
経時的に最大圧力値（真空度）が低下する場合がある。
において、先ず、動作開始指令信号Ｃ1 が供給される
と、空気供給ポート６２から圧縮空気が導入され、エゼ
クタ５４において負圧が発生する。この負圧は接続部材
６０の図示しないポートに接続された吸着盤１２に達
し、ロボット等の搬送手段の稼働に伴い、該吸着盤１２
にワークＷが吸着し、次いで非吸着（離脱）が行われ
る。これにより検出部５６内の半導体圧力センサ１６に
印加される圧力（負圧）は図６に示される変化の圧力値
ＰO1、ＰO2、ＰO3…ＰON+1の状態となる。この場合、図
から容易に理解されるように、例えば、吸着盤１２側の
真空圧力の漏洩、フィルタの目詰まり等の理由により、
経時的に最大圧力値（真空度）が低下する場合がある。
【００２３】ここで圧力値ＰO1、ＰO2、ＰO3…ＰON+1に
対応した信号は半導体圧力センサ１６、増幅器２０、Ａ
／Ｄ変換器２２を介してデジタル検知信号Ｓ2 に変換さ
れ、コントローラ３０に入力される。
対応した信号は半導体圧力センサ１６、増幅器２０、Ａ
／Ｄ変換器２２を介してデジタル検知信号Ｓ2 に変換さ
れ、コントローラ３０に入力される。
【００２４】当該コントローラ３０では、先ず、前記圧
力変化ＰO1の最大値（Ｐmax ）がＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３
２の第１のアドレスを指定して記憶される。
力変化ＰO1の最大値（Ｐmax ）がＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３
２の第１のアドレスを指定して記憶される。
【００２５】この後、スイッチＳW3がＯＮされて、応差
Ａに係る閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bの値が演算されてＥＥ（Ｅ
2)ＰＲＯＭ３２に記憶される。この場合、ＥＥ（Ｅ2)Ｐ
ＲＯＭ３２の第２のアドレスを指定し、且つ前記最大値
（Ｐmax ）の７０％（閾値ＰＨ1a）が演算されて記憶さ
れる。次いでＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３２の第３のアドレス
を指定し、且つ前記最大値（Ｐmax ）の６５％（閾値Ｐ
Ｈ1b）が演算されて記憶される。
Ａに係る閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bの値が演算されてＥＥ（Ｅ
2)ＰＲＯＭ３２に記憶される。この場合、ＥＥ（Ｅ2)Ｐ
ＲＯＭ３２の第２のアドレスを指定し、且つ前記最大値
（Ｐmax ）の７０％（閾値ＰＨ1a）が演算されて記憶さ
れる。次いでＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３２の第３のアドレス
を指定し、且つ前記最大値（Ｐmax ）の６５％（閾値Ｐ
Ｈ1b）が演算されて記憶される。
【００２６】ここで前記閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bに対応し
て、圧力変化ＰO1乃至ＰON+1に伴う連続した圧力スイッ
チ信号Ｓ6 が導出される。当該圧力スイッチ信号Ｓ6 は
各種の制御駆動手段等、例えば、搬送装置のフルクロー
ズド制御、ＦＭＳ、ＣＩＭ等の情報処理に供される。
て、圧力変化ＰO1乃至ＰON+1に伴う連続した圧力スイッ
チ信号Ｓ6 が導出される。当該圧力スイッチ信号Ｓ6 は
各種の制御駆動手段等、例えば、搬送装置のフルクロー
ズド制御、ＦＭＳ、ＣＩＭ等の情報処理に供される。
【００２７】次いで、ＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３２の第４の
アドレスを指定し、且つ前記最大値（Ｐmax ）の８０％
（閾値Ｐｈ）が演算されて記憶される。
アドレスを指定し、且つ前記最大値（Ｐmax ）の８０％
（閾値Ｐｈ）が演算されて記憶される。
【００２８】当該閾値Ｐｈは、正常な最大圧力値、すな
わち、圧力変化ＰO1の最大値（Ｐma x 、最大真空度）か
ら２０％の低下点であり、当該閾値Ｐｈ以下において異
常の圧力状態とされる。
わち、圧力変化ＰO1の最大値（Ｐma x 、最大真空度）か
ら２０％の低下点であり、当該閾値Ｐｈ以下において異
常の圧力状態とされる。
【００２９】そして、前記圧力変化ＰO1乃至ＰON+1にお
いて、前記故障予知判定真空度である閾値Ｐｈ以下の異
常とされる圧力の変化、すなわち、前記圧力変化ＰO2乃
至Ｐ ON+1（信号としてのデジタル検知信号Ｓ2)が６回累
積記憶され、且つ予めスイッチＳW1、ＳW2並びにＳW3に
より設定された６回の異常回数設定値と一致した時、故
障予知信号Ｓ4 が連続して導出される。
いて、前記故障予知判定真空度である閾値Ｐｈ以下の異
常とされる圧力の変化、すなわち、前記圧力変化ＰO2乃
至Ｐ ON+1（信号としてのデジタル検知信号Ｓ2)が６回累
積記憶され、且つ予めスイッチＳW1、ＳW2並びにＳW3に
より設定された６回の異常回数設定値と一致した時、故
障予知信号Ｓ4 が連続して導出される。
【００３０】この場合の故障予知信号Ｓ4 の導出等に係
る処理はコントローラ３０のプログラムの遂行により行
われ、且つ情報はＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３２に記憶され
て、電源断の後の再動作時に前記の動作状態に基づく故
障予知信号Ｓ4 が導出されて、前記情報の再現が行われ
る。
る処理はコントローラ３０のプログラムの遂行により行
われ、且つ情報はＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３２に記憶され
て、電源断の後の再動作時に前記の動作状態に基づく故
障予知信号Ｓ4 が導出されて、前記情報の再現が行われ
る。
【００３１】このようにして、圧力変化ＰO1の最大値
（Ｐmax ）に対する閾値ＰＨ1a、ＰＨ 1bおよびＰｈが自
動的、且つ正確に設定される。
（Ｐmax ）に対する閾値ＰＨ1a、ＰＨ 1bおよびＰｈが自
動的、且つ正確に設定される。
【００３２】なお、前記の閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰ
ｈの値である７０％、６５％、８０％は変更が可能であ
る。この場合、リセット用のスイッチＳW4がＯＮされる
ことによってクリヤされ、続いて、アップ／ダウン用の
スイッチＳW1、ＳW2がＯＮされることによって、例え
ば、５％ステップによる数値の変更が行われた後、スイ
ッチＳW3によって設定すればよい。
ｈの値である７０％、６５％、８０％は変更が可能であ
る。この場合、リセット用のスイッチＳW4がＯＮされる
ことによってクリヤされ、続いて、アップ／ダウン用の
スイッチＳW1、ＳW2がＯＮされることによって、例え
ば、５％ステップによる数値の変更が行われた後、スイ
ッチＳW3によって設定すればよい。
【００３３】なお、上記の実施例では、圧力変化ＰO1の
最大値（Ｐmax ）に対して、デジタル的に閾値ＰＨ1a、
ＰＨ1bおよびＰｈの値の設定を行っているが、他の実施
例として、圧力変化ＰO1の圧力カーブを記憶せしめて、
上記と同様に、閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰｈの設定を
行うこともできる。さらに、図５に示すように、真空ユ
ニット１３２において、真空発生側のセンサ１２４の圧
力変動に対してセンサ１２６の合否判断の値を変化させ
る。すなわち、吸着と未吸着のセンサ１２６の圧力を５
０％の値で合否決定するようにセンサ１２４の圧力から
判断する自動シフト方式を採用してもよい。
最大値（Ｐmax ）に対して、デジタル的に閾値ＰＨ1a、
ＰＨ1bおよびＰｈの値の設定を行っているが、他の実施
例として、圧力変化ＰO1の圧力カーブを記憶せしめて、
上記と同様に、閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰｈの設定を
行うこともできる。さらに、図５に示すように、真空ユ
ニット１３２において、真空発生側のセンサ１２４の圧
力変動に対してセンサ１２６の合否判断の値を変化させ
る。すなわち、吸着と未吸着のセンサ１２６の圧力を５
０％の値で合否決定するようにセンサ１２４の圧力から
判断する自動シフト方式を採用してもよい。
【００３４】図７はエゼクタを組み込んだ図３の真空ユ
ニット５０に対する別の実施例であり、エゼクタ５４に
代替して真空ポンプ（図示せず）をポート６２に接続す
るように構成している。
ニット５０に対する別の実施例であり、エゼクタ５４に
代替して真空ポンプ（図示せず）をポート６２に接続す
るように構成している。
【００３５】構成並びに作用効果は図３に示す真空ユニ
ット５０と同じであるので、その詳細な説明を省略す
る。
ット５０と同じであるので、その詳細な説明を省略す
る。
【００３６】なお、図３並びに図７に示す真空ユニット
５０は、複数個連設してマニホールド化することもでき
ることは勿論である。
５０は、複数個連設してマニホールド化することもでき
ることは勿論である。
【００３７】また、図８に示すように、マニホールド８
８にシリアル伝送するコントローラ９０を併設し、電磁
弁９２および圧力センサ９４の信号、情報を規格化され
たコネクタやバスを内挿する接続ブロック９６で接続す
ることもできる。
８にシリアル伝送するコントローラ９０を併設し、電磁
弁９２および圧力センサ９４の信号、情報を規格化され
たコネクタやバスを内挿する接続ブロック９６で接続す
ることもできる。
【００３８】
【発明の効果】以上のように、本発明の真空ユニットに
よれば、圧力検知素子から検出される真空圧に係る圧力
値をデジタル的に表示し、あるいは該所定の目的に利用
される圧力値をスイッチ手段を介してデジタル的に容易
に設定できる。すなわち、複数の所定の圧力値を定量的
に設定することができる。すなわち、複数の所定の圧力
値を定量的に設定することができ、操作が簡単となる効
果が得られる。
よれば、圧力検知素子から検出される真空圧に係る圧力
値をデジタル的に表示し、あるいは該所定の目的に利用
される圧力値をスイッチ手段を介してデジタル的に容易
に設定できる。すなわち、複数の所定の圧力値を定量的
に設定することができる。すなわち、複数の所定の圧力
値を定量的に設定することができ、操作が簡単となる効
果が得られる。
【図１】本発明に係る真空ユニットの圧力設定のための
ブロック回路図である。
ブロック回路図である。
【図２】本発明に係る真空ユニットの全体斜視説明図で
ある。
ある。
【図３】図２に示す真空ユニットの一部省略縦断説明図
である。
である。
【図４】図２に示す真空ユニットの検出部の一部省略斜
視説明図である。
視説明図である。
【図５】本発明に係る真空ユニットの他の実施例の回路
説明図である。
説明図である。
【図６】本発明の真空ユニットにおける閾値設定方法の
説明図である。
説明図である。
【図７】本発明に係る真空ユニットの他の実施例の一部
省略縦断面図である。
省略縦断面図である。
【図８】本発明に係る真空ユニットの他の実施例の斜視
説明図である。
説明図である。
【図９】従来技術の真空ユニットにおける動作説明に供
される図である。
される図である。
１６…半導体圧力センサ ２２…Ａ／Ｄ変換器 ３０…コントローラ ３２…ＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ ３８…ＬＣＤ ＰＨ1a、ＰＨ1b、Ｐｈ……閾値 Ｐmax …最大値 Ｓ1 …出力信号 Ｓ2 …デジタル検知信号 Ｓ4 …故障予知信号 Ｓ6 …圧力スイッチ信号 ＳW1〜ＳW4…スイッチ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹林 隆 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 (72)発明者 松島 宏 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内
Claims (1)
- 【請求項１】真空ユニットにおいて、 所望の圧力値を設定する設定手段と、 該所望の圧力値をデジタル的に表示する表示手段と、 前記圧力値を記憶する記憶手段と、 前記設定手段により設定され、前記記憶手段により記憶
されている所望の圧力値と該検出された負圧に係る圧力
値とを比較する比較手段と、 を備え、 真空ポートに連通する通路に臨む圧力検出素子から導出
される負圧をデジタル信号に変換した後前記表示手段に
表示せしめ、前記比較手段において、設定値と検出値と
が所定の範囲で一致した時、所定の信号を導出すること
を特徴とする真空ユニット。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3226195A JPH0569996A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 真空ユニツト |
| DE4229833A DE4229833C2 (de) | 1991-09-05 | 1992-09-07 | Druckinformation-Verarbeitungseinrichtung zur Verwendung in einer Vakuumeinheit |
| US08/293,601 US5481482A (en) | 1991-09-05 | 1994-08-22 | Pressure information processing system suitable for use in a vacuum unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3226195A JPH0569996A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 真空ユニツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0569996A true JPH0569996A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=16841380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3226195A Pending JPH0569996A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 真空ユニツト |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5481482A (ja) |
| JP (1) | JPH0569996A (ja) |
| DE (1) | DE4229833C2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020147305A (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | 株式会社イシダ | 吸着装置 |
| JP2022536010A (ja) * | 2019-11-19 | 2022-08-12 | ブイテク カンパニー，リミテッド | 真空マルチセンシングユニット |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4326343A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Honeywell Ag | Diganose-System für Regel- und Absperrarmaturen |
| KR100234360B1 (ko) * | 1995-09-25 | 1999-12-15 | 윤종용 | 반도체 장치를 위한 진공장치 |
| JP2000207033A (ja) | 1999-01-18 | 2000-07-28 | Myotoku Ltd | 圧力センサ装置 |
| JP3269041B2 (ja) * | 1999-02-23 | 2002-03-25 | 三洋電機株式会社 | ノズル詰まり検出装置 |
| DE10241270B4 (de) * | 2002-09-06 | 2005-12-22 | Netstal-Maschinen Ag | Entnahmevorrichtung für Spritzgiessteile sowie Verfahren zum automatischen Entnehmen |
| US6772784B1 (en) * | 2003-04-11 | 2004-08-10 | Mac Valves, Inc. | Proportional pressure regulator having positive and negative pressure delivery capability |
| DE10338061B4 (de) * | 2003-08-19 | 2005-08-18 | Daimlerchrysler Ag | Greifervorrichtung |
| DE102011013890A1 (de) * | 2011-03-07 | 2012-09-13 | C. & E. Fein Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Durchtrennen des Klebewulstes von eingeklebten Scheiben |
| TWI559410B (zh) | 2016-05-09 | 2016-11-21 | 以壓差法抑制材料翹曲的方法 | |
| CH714683B1 (de) * | 2018-02-27 | 2021-03-31 | Reishauser Ag | Vorrichtung für die Auflagenkontrolle eines Werkstücks oder Werkzeugs auf einer Spindel einer Werkzeugmaschine. |
| DE102022110636A1 (de) | 2022-05-02 | 2023-11-02 | Festo Se & Co. Kg | Vakuumerzeugervorrichtung |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4378523A (en) * | 1980-10-02 | 1983-03-29 | Torr Vacuum Products, Inc. | Metering and control system |
| US4490800A (en) * | 1981-12-14 | 1984-12-25 | Powers Manufacturing, Inc. | Dual head gauger apparatus with automatic adjustment for pressure variation |
| JPS61104516A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | 株式会社 妙徳 | 負圧スイツチ装置 |
| US4942758A (en) * | 1986-12-04 | 1990-07-24 | Cofield Dennis H | High speed leak tester |
| US4733431A (en) * | 1986-12-09 | 1988-03-29 | Whirlpool Corporation | Vacuum cleaner with performance monitoring system |
| DE3727912A1 (de) * | 1987-08-21 | 1989-03-02 | Congermania Mess & Regel | Mess- oder zaehlgeraet, insbesondere wasserzaehler oder waermemengenzaehler |
| US4991404A (en) * | 1989-02-02 | 1991-02-12 | Emile Yassa | Vacuum pressure monitoring system |
| GB2235915B (en) * | 1989-08-24 | 1994-04-06 | Smc Corp | Method of and apparatus for detecting predicted failure in fluid-pressure system |
| JPH0797599B2 (ja) * | 1990-04-27 | 1995-10-18 | 株式会社芝浦製作所 | 基板検出装置 |
| US5201560A (en) * | 1991-01-24 | 1993-04-13 | John A. Blatt | Vacuum cup control apparatus |
-
1991
- 1991-09-05 JP JP3226195A patent/JPH0569996A/ja active Pending
-
1992
- 1992-09-07 DE DE4229833A patent/DE4229833C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-08-22 US US08/293,601 patent/US5481482A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020147305A (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | 株式会社イシダ | 吸着装置 |
| JP2022536010A (ja) * | 2019-11-19 | 2022-08-12 | ブイテク カンパニー，リミテッド | 真空マルチセンシングユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4229833C2 (de) | 1998-03-26 |
| DE4229833A1 (de) | 1993-03-11 |
| US5481482A (en) | 1996-01-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041012 |