DE4229834A1

DE4229834A1 - Verfahren und einrichtung zum elektrischen verarbeiten von vakuumdruckinformation fuer eine vakuumeinheit

Info

Publication number: DE4229834A1
Application number: DE4229834A
Authority: DE
Inventors: Shigeru Sugano; Takashi Takebayashi; Shigekazu Nagai; Yoshiharu Ito; Mitsuhiro Saito; Hiroshi Matsushima; Akio Saitoh
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1991-09-06
Filing date: 1992-09-07
Publication date: 1993-03-11
Anticipated expiration: 2012-09-08
Also published as: DE4229834C2; US5617338A; JPH0569997A; JP3418411B2

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Einrich tung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinformation, welche für die Verwendung in einer Vakuumeinheit geeignet ist.

Eine Vakuumeinheit wird in einem Zustand eingesetzt, in welcher sie bspw. mit einem Saugpolster oder einer Saugglocke zum An ziehen und Transportieren eines Werkstückes gekoppelt ist. In diesem Fall ist ein Druckschalter in der Vakuumeinrichtung angeordnet. Nachgewiesene Druckwerte werden dann mit einem vor eingestellten Druckwert verglichen, um dadurch festzustellen, ob ein Werkstück von der Saugglocke angezogen worden ist oder nicht. Es ist auch eine Vakuumeinheit derart bekannt, bei welcher ein Fehler in der Betriebsweise der Vakuumeinheit nachgewiesen wird, um dadurch ein Fehlersignal und eine sicht bare Anzeige desselben zu erzeugen.

Bei einer derartigen Vakuumeinheit wird jedoch der Grund, daß ein gewünschter Vakuumdruckwert nicht erreicht werden kann, auf verschiedenen Wegen betrachtet. So wird bspw. erwogen, daß ein bloßes Verstopfen durch Staub od. dgl., welcher in einem Fluid enthalten ist, in einem Richtungssteuerventil, einem Ejektor, einem Filter, einem Schalldämpfer od. dgl. entstehen kann. Es ist deswegen schwierig, Ausfall- oder Fehlerstellen genau anzu geben und schnell Teile durch andere zu ersetzen, so daß die Vakuumeinheit wieder anläuft, auch wenn ein Fehlersignal er zeugt wird.

Es ist ein allgemeines Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinformation vorzusehen, welche bei einer Vakuumein heit eingesetzt wird, wobei ein gewünschter Druckwert auf ver hältnismäßig einfache Weise eingestellt und Fehlerstellen sichtbar angezeigt werden können.

Es ist ein grundsätzliches Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinformation vorzusehen, welche bei einer Vakuumein heit angewendet wird, wobei Fehlerstellen in der Vakuumeinheit sofort genau angegeben und Teile einfach gegen andere ausge tauscht werden können.

Es ist ein weiteres Ziel der Erfindung, ein Verfahren zum elek trischen Verarbeiten von Vakuuminformation vorzusehen, welches für die Verwendung bei einer Vakuumeinheit geeignet ist; das Verfahren soll mittels eines Vakuumüberwachungsgerätes ausge führt werden. Das Verfahren enthält einen Schritt zum Nachwei sen von Druckwerten, Anzeigen eines gewünschten Druckwertes niedriger als der höchste Vakuumdruckwert der festgestellten Druckwerte auf eine Anzeigeeinrichtung in digitaler Form, Speichern des gewünschten Druckwertes in einer Speichereinrich tung, Umwandeln jedes der Druckwerte relativ zu dem Vakuum in ein digitales Signal, wobei die Druckwerte mittels eines Druck nachweiselementes nachgewiesen werden, welches vor einem Durch laß gehalten wird, welcher mit einer Vakuumöffnung in Strömungs verbindung steht. Danach werden die so umgewandelten Digital signale digital auf der Anzeigeeinrichtung angezeigt, der gewünschte Druckwert, welcher in der Speichereinrichtung ge speichert ist, wird mit jedem der nachgewiesenen Druckwerte relativ zu dem Vakuum verglichen und die Information über die Fehlerstellen wird auf der Anzeigeeinrichtung basierend auf dem Vergleichsergebnis angezeigt.

Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Ver fahren zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinformation vorzusehen, bei welchem der gewünschte Druckwert, welcher in der Speichereinrichtung gespeichert ist, einen ersten Druckwert aufweist, welcher niedriger ist als der höchste Vakuumdruck wert, welcher aus den nachgewiesenen Druckwerten bestimmt wurde, sowie einen zweiten Druckwert unterhalb des ersten Druckwertes, sowie eine von den ersten und zweiten Druckwerten genau festgelegte vorbestimmte Druckspanne zur Vermeidung von Ratterwirkung.

Es ist ein noch weiteres Ziel der Erfindung, ein Verfahren zum elektrischen Verarbeiten von Vakuuminformation vorzusehen, bei welchem, wenn jeder der nachgewiesenen Druckwerte relativ zu dem Vakuum mehrmals in Folge bei einem Vergleich des gewünsch ten Druckwertes, welcher in der Speichereinrichtung gespeichert ist, mit jedem der nachgewiesenen Druckwerte relativ zu dem Vakuum niedriger liegt als der gewünschte Druckwert ein Fehler- Stellen-Anzeigesignal als vorbestimmtes Signal erzeugt wird.

Es ist ein noch weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinfor mation vorzusehen, welches für die Verwendung in einer Vakuum einheit geeignet ist, welche betrieben wird, um zu erreichen, daß Komponenten, wie ein Ventilkörper, ein Ejektor, ein Schall dämpfer, ein Filter, etc. miteinander über einen vorbestimmten Durchlaß in Strömungsverbindung stehen. Eine solche Einrichtung soll Einstellmittel zum Einstellen eines gewünschten Druckwer tes aufweisen, einen Drucksensor, welcher auf der stromaufwärts liegenden und der stromabwärts liegenden Seite von wenigstens einem der Komponenten angeordnet ist, Bestimmungsmittel zum Vergleichen eines Druckwertes, welcher von dem Drucksensor erzeugt wurde, mit dem eingestellten gewünschten Druckwert, um dadurch festzustellen, daß die Vakuumeinheit in einen unsach gemäßen Zustand gebracht worden ist, wenn das Vergleichsergeb nis einen vorbestimmten Druckwert zeigt, sowie eine Anzeigeein richtung zum Anzeigen von Information über Fehlerstellen ba sierend auf dem Vergleichsergebnis der Bestimmungseinrichtung.

Es ist ein noch weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinfor mation vorzusehen, bei welcher Drucksensoren auf einer Fluid versorgungsseite entsprechend der stromaufwärts liegenden Seite des Ejektors der Komponenten vorgesehen ist, und auf einer Fluideinlaßseite entsprechend der stromabwärts liegenden Seite des Ejektors.

Ein noch weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinfor mation vorzusehen, bei welcher die Einstelleinrichtung zur Einstellung der Strömungsrate von Luft geeignet und ein Strö mungsmesser auf der Fluideinlaßseite entsprechend der stromab wärts liegenden Seite des Ejektors vorgesehen ist.

Es ist ein noch weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinfor mation vorzusehen, bei welcher die Bestimmungseinrichtung Mittel zum Zählen der Zahl von Druckwerten in ihrem Vakuum unterhalb des gesetzten Druckwertes und zum Erzeugen eines Signals einschließt, welches einen unsachgemäßen Zustand an zeigt, wenn die gezählte Zahl der Druckwerte einen vorbestimm ten Wert erreicht hat.

Es ist ein noch weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinfor mation vorzusehen, welche weiterhin eine Anzeigeeinrichtung zum digitalen Anzeigen eines Vakuumdruckwertes einschließt, welcher von einer Nachweiseinrichtung zum Feststellen des Vakuumdruck wertes ermittelt wurde.

Es ist ein noch weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinfor mation vorzusehen, welches weiterhin eine Anzeigeeinrichtung zum digitalen Anzeigen wenigstens eines Druckwertes ein schließt, welcher für die Bestimmung des unsachgemäßen Zustan des, und eines Druckwertes, welcher für die Fehler-Früherken nung verwendet wird.

Diese und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung und den Ansprüchen, zusammen mit den Zeichnungen, in welchen bevor zugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beispiels weise dargestellt sind.

Es zeigen:

Fig. 1 ein Blockschaltdiagramm, welches eine Vakuumdruck information-Verarbeitungseinrichtung, eingesetzt bei einer Vakuumeinheit, entsprechend der Erfindung ver anschaulicht,

Fig. 2 einen vertikalen Teilschnitt, welcher die Vakuumein heit von Fig. 1 veranschaulicht,

Fig. 3 ein Diagramm zur Beschreibung einer pneumatischen Schaltung der Vakuumeinheit nach Fig. 1,

Fig. 4 ein Diagramm zur Beschreibung eines Verfahrens zum Einstellen von Grenzwerten für die Druckinformation-Ver arbeitungseinrichtung, welche bei der Vakuumein heit nach Fig. 1 eingesetzt wird,

Fig. 5 ein Diagramm zur Beschreibung eines Verfahrens zum Einstellen von Grenzwerten für die Druckinformation-Ver arbeitungseinrichtung, welche bei einer Vakuumein heit gemäß Fig. 1 eingesetzt wird.

Fig. 6 ein Diagramm zur Beschreibung des Verfahrens zum Einstellen von Grenzwerten für die Druckinformation-Ver arbeitungseinrichtung, welches bei einer Vakuumein heit von Fig. 1 eingesetzt wird,

Fig. 7 eine perspektivische Ansicht, welche eine andere Ausführungsform einer Vakuumeinheit nach der Erfin dung zeigt,

Fig. 8 einen vertikalen Teilschnitt, welcher den Aufbau einer Vakuumeinheit nach der vorliegenden Erfindung veranschaulicht, in welche ein Ejektor einbezogen ist,

Fig. 9 einen vertikalen Teilschnitt, welcher den Aufbau einer Vakuumeinheit nach der Erfindung veranschau licht, an welche eine Vakuumpumpe angekoppelt ist,

Fig. 10 ein Diagramm zur Beschreibung des Betriebes jeder der Ausführungsbeispiele nach den Fig. 7 bis 9,

Fig. 11 ein Flußdiagramm zur Beschreibung eines Programms, welches von einer Überwachungseinrichtung ausgeführt wird, welche bei jeder der Ausführungsbeispiele gemäß den Fig. 7 bis 9 eingesetzt wird, und

Fig. 12 ein Flußdiagramm zur Beschreibung eines anderen Pro gramms, welches von der Überwachungseinrichtung aus geführt wird, welche bei jeder der in den Fig. 7 bis 9 dargestellten Ausführungsbeispiele eingesetzt wird.

Ein Vakuumdruck-Information-Verarbeitungsgerät oder -system, welches nach der vorliegenden Erfindung in eine Vakuumeinheit eingebaut ist, wird nachfolgend im einzelnen unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher beschrieben, in welchen bevorzugte Ausführungsbeispiele zur Veranschaulichung in Ver bindung mit einem Verfahren zur Verarbeitung von Vakuumdruck information dargestellt sind.

Eine Vakuumdruck-Information-Verarbeitungseinrichtung 10, welche nach der Erfindung in eine Vakuumeinheit eingebaut ist, wird zunächst unter Bezugnahme auf Fig. 1 beschrieben.

Gemäß der Darstellung von Fig. 1 wird ein Werkstück W mittels eines Saugpolsters bzw. einer Saugglocke 12, welches bzw. welche an einer in einem Vakuumsystem eingesetzten Förderein richtung angeschlossen ist, aufgenommen und transportiert. Die Vakuumdruck-Information-Verarbeitungseinrichtung 10 enthält einen Halbleiter-Drucksensor 16 zur Feststellung des Druck luft-Wertes A_p und gibt danach ein ermitteltes Signal aus. Die Einrichtung 10 weist eine Konstantstrom-Schaltung 18 und einen Verstärker 20 auf. Die Einrichtung 10 schließt ferner einen A/D (Analog-Digital-Umwandler) 22 zur Umwandlung eines Signals, welches von dem Verstärker 20 abgegeben wird, d. h. eines Analog signals entsprechend dem Wert der Druckluft A_p, in ein digi tales Nachweissignal S₂, auf, sowie eine Überwachungseinrich tung 30, welche einen Ein-Chip-Mikrocomputer od. dgl. enthält. Die Überwachungseinrichtung 30 ist mit einem Ein-Chip-Muli-CPU (Zentralprozessor) 30a von höchster Qualität ausgestattet, einem ROM (Nur-Lese-Speicher) 30b mit einem darin gespeicherten Programm, und einem I/O (Eingang/Ausgang) 30c od. dgl. und schließt Einstellschalter S_W1, S_W2 für das Aufwärts- und Ab wärtsstellen eines Wertes ein, welche jeweils dazu verwendet werden, einen Druckwert als Bezugsgröße einzustellen, ferner einen Einstellschalter S_W3 zum Einstellen eines Druckwertes zu dem Zeitpunkt, zu welchem der gesetzte Wert geändert worden ist, und einen Rückstell-Schalter S_W4 zum Zurückstellen des eingestellten Wertes. Die genannten Schalter sind elektrisch mit der Überwachungseinrichtung 30 verbunden. Mit der Überwa chungseinrichtung 30 ist auch ein EE(E²)PROM (Emitter-Emitter gekoppelter programmierbarer Festwertspeicher) 32 verbunden, welcher in der Lage ist, Informationen zu speichern und die Informationen darin zu halten, wenn eine Stromquelle ausgeschal tet wird, ferner eine LCD (Flüssigkristallanzeige)-Treiberschal tung 34 und eine LCD (Flüssigkristallanzeige) 38, welche dazu benutzt werden, um eingestellte Werte und Informationen sicht bar anzuzeigen.

Die Vakuumeinheit, welche das Gerät 10 entsprechend dem zuvor geschilderten Aufbau aufweist, wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 2 und 3 beschrieben.

Die in Fig. 2 dargestellte Vakuumeinheit 50 enthält im wesent lichen einen Ventilblock 52, einen Ejektor 54, einen Filter block 56, einen Überwachungsblock 58 und einen Monitor 60. Die Blocks 52, 56, 58 und der Ejektor 54 sind entweder einstückig spritzgegossen oder aus Kunststoffmaterial geformt. Der Ventil block 52 hat ein (nicht dargestelltes) Ventil, bspw. Ring- oder Tellerventil, für die Zufuhr von Druckluft zu dem Ejektor 54 und zur Unterbrechung derselben, sowie erste und zweite vorge steuerte elektromagnetische Ventile. Die ersten und zweiten vorgesteuerten elektromagnetischen Ventile werden als ein Druckluft-Zufuhr-Ventil 62 und ein Vakuumunterbrechungsventil 64 eingesetzt, wobei beide Ventile in ihrem Normalzustand geschlossen sind. Jedes der ersten und zweiten vorgesteuerten elektromagnetischen Ventile können auch als im Normalzustand offene Ventile ausgebildet sein oder als ein Ventil mit einer Arretierung, um ein Herabfallen des Werkstückes W zu verhin dern, wenn die Stromversorgung ausfällt.

Der Filterblock 56 ist benachbart dem Ventilblock 52 vorge sehen. Der Filterblock 56 hat eine Luftzufuhröffnung 66, welche mit einer Druckluftzufuhr-Quelle 65 und einer Lufteinlaßöffnung 68 darin in Strömungsverbindung steht, welche ihrerseits mit der Saugglocke 12 verbunden ist. Weiterhin hat der Filterblock 56 einen Filter 70 und einen Schalldämpfer 72, welche beide darin nebst darin begrenzten Durchlässen angeordnet sind, welche dazu dienen, daß der Ejektor 54 und der Ventilblock 52 mit dem Filter 70 und dem Schalldämpfer 52 in Strömungsverbin dung stehen. Ferner ist an vorbestimmten Stellen der Durchlässe eine Vielzahl von Löchern vorgesehen, ebenso wie zugeordnete Drucksensoren 74, 76, 78, 80, 82, ein Druckschalter 84 und ein Strömungsmesser 86 in angeschlossenem Zustand, welche so aufge baut sind, daß das Druckinformation-Verarbeitungsgerät 10, welches in Fig. 1 dargestellt ist, gemäß Fig. 3 eingebaut ist. Der Strömungsmesser 86 kann ein solcher sein, bei welchem eine Informationsverarbeitungsschaltung, wie bei bekannten Strö mungsmesern, eingebaut ist. Der Strömungsmesser 86 kann auch als Differentialdruck-Strömungsmesser zur Messung der Strö mungsrate in Übereinstimmung mit der Messung des Druckes ver wendet werden.

Der Ejektor 54 ist benachbart des Filterblocks 56 angeordnet. Der Schalldämpfer 72 ist in der Seitenfläche des Ejektors 54 vorgesehen und dient zur Dämpfung des Schalles, welcher von der von dem Ejektor 54 zugeführten Druckluft erzeugt wird.

Der Überwachungsblock 58 enthält den A/D-Umwandler 22 zur Auf nahme eines Signals, welches von dem Halbleiter-Drucksensor 16 (welcher bspw. einen Differentialdruck-Sensor und einen Kapazi täts-Sensor enthält) stammt. Der Sensor 16 weist eine piezo elektrische Einrichtung od. dgl., die Überwachungseinrichtung 30, den E²PROM 32, etc. auf. Der Überwachungsblock 58 überwacht den Druck und die Strömungsrate an jeder der Stellen, wo die Drucksensoren 74, 76, 78, 80 und 82, der Druckschalter 84 und der Strömungsmesser 86 angeordnet worden sind, in Übereinstim mung mit Signalen, welche von den Drucksensoren 74, 76, 78, 80 und 82, dem Druckschalter 84 und dem Strömungsmesser 86 ge liefert wurden, und vergleicht den Druck und die Strömungsrate, welche so nachgewiesen worden sind, mit einem voreingestellten Wert, um ein Fehler-Früherkennung-Signal S₄ zu erzeugen. Das Fehler-Früherkennung-Signal S₄ löst ein "Fehler-in-Ejektor"-, "Ejektor Ausfall"- od. dgl. Signal aus, welches digital auf einen Ausfall od. dgl. hin angezeigt wird, und zwar bspw. in lateinischen Buchstaben oder sonstigen Zeichen.

Es braucht nicht darauf hingewiesen zu werden, daß der Ventil block 52, der Ejektor 54 und der Filterblock 56 in solcher Weise gebaut sind, daß Druckfluide durch ihre inneren Durch lässe hindurchströmen können. Ein elektrischer Verbindungsblock 90 ist zwischen dem Ventilblock 52 und sowohl dem Überwachungs block 58 als auch dem Monitor 60 vorgesehen.

Die Vakuumeinheit 50 kann weiterhin mit einem Verteiler ver sehen sein. In der Vakuumeinheit 50 kann ebenso eine Serien übertragungseinrichtung, eine drahtlose Einrichtung und eine LAN (Lokales Datennetz)-Einrichtung benutzt werden, so daß ein anstehendes Überwachungssignal für die Diagnose von Fehlern und Informationen, außer den Signalen von den Ventilen und den Schaltern, zu und von den externen Vorrichtungen und anderen Überwachungsvorrichtungen nahe der Vakuumeinheit 50 übertragen bzw. empfangen werden können und eine gegenseitige Überwachung bezüglich der externen Vorrichtung und anderer Überwachungsvor richtungen möglich ist. Diese Überwachungseinrichtungen, d. h. die zuvor erwähnten jeweiligen Einrichtungen, können verstreut in einem CPU eines Sensors angeordnet sein. Jede von ihnen kann aber auch an einer geeigneten Stelle in einem Verteiler vorge sehen sein. Diese Überwachungseinrichtungen können Betriebs vorgänge ausführen, bspw. als Zeitüberwachungseinrichtung sowie Einstelleinrichtung für die Ventile und Schalter, etc. in einheitlicher Form.

In einer nach der obigen Beschreibung aufgebauten Vakuumeinheit 50 wird, wenn ein Betriebsstart-Anweisungssignal als erster Eingang vorliegt, Druckluft von der Druckluft-Zufuhrquelle 65 über die Luftzufuhröffnung 66 eingeführt, so daß ein Vakuum in dem Ejektor 54 erzeugt wird. Das so erzeugte Vakuum bringt die Saugglocke 12, welche an die Lufteinlaßöffnung 68 des Filter blocks 56 angeschlossen ist, auf negativen Druck, d. h. auf Vakuum. Somit zieht die Saugglocke 12 das Werkstück W an und hält es in Übereinstimmung mit der Betriebsweise der Förder einrichtung, wie bspw. eines Roboters. Dann wird die Saugglocke 12 abgeschaltet, um das Werkstück W freizugeben. Als Ergebnis wird der Druck (das Vakuum), welches aufeinanderfolgend an dem Drucksensor, welcher in der Vakuumeinheit 50 vorgesehen ist, anliegt, bspw. dem Halbleiter-Drucksensor 16 in dem Drucksensor 80 zum Nachweis des Luftsaugdruckes (Vakuumdruckes) des Ejek tors 54 in Form von Druckwerten aufeinanderfolgend verändert, wie in Fig. 4 dargestellt, d. h. als Werte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1. Wie man aus der Zeichnung einfach erkennt, besteht zu diesem Zeitpunkt häufig eine Situation, in welcher der höchste Vakuumdruckwert (das Maß an Vakuum) mit der Zeit abnimmt auf grund von Leckagen des Vakuumdruckes an der Saugglocke 12 und bspw. des Verstopfens des Filters. Ein Signal entsprechend jeder der Druckänderungen oder Werte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1 wird über den Halbleiter-Drucksensor 16 und den Verstärker 20 zu dem A/D-Umwandler 22 geliefert, wo es in ein digitales Nachweissignal S₂ umgewandelt wird, welches wiederum in die Überwachungseinrichtung 30 eingegeben wird.

In der Überwachungseinrichtung 30 gibt der maximale Wert (P_max) der Druckänderung P₀₁ zunächst eine erste Adresse in dem E²PROM 32 an und wird darin gespeichert.

Dann wird der Schalter S_W3 auf AN gestellt, um die Grenzwerte PH_1a, PH_1b zur Schaffung eines Differenzdruckes A zwischen ihnen vorzusehen, welche in dem E²PROM 32 gespeichert werden. In diesem Fall wird eine zweite Adresse des E²PROM 32 angegeben und 70% (Grenzwert PH_1a) des maximalen Wertes (P_max) wird er rechnet und an der angegebenen zweiten Adresse gespeichert. Dann wird eine dritte Adresse des E²PROM 32 angegeben und 65% (Grenzwert PH_1b) des maximalen Wertes (PH_max) errechnet und an der angegebenen dritten Adresse gespeichert.

Jetzt wird ein Druckschaltersignal S₆, welches abhängig von den Druckänderungen P₀₁ bis P_0N+1 erscheint, kontinuierlich in Zu ordnung zu den Grenzwerten PH_1a, PH_1b erzeugt. Das Druckschal tersignal S₆ wird als Überwachung des vollständigen Schließzu standes verschiedener Überwachungsantriebseinrichtungen be nutzt, wie bspw. einer Fördervorrichtung und zur Informations verarbeitung in einem FMS (flexiblen Fertigungssystem), einer CIM (Fertigungssteuerung im Datenverbund), etc. Weiterhin können eine Montagevorrichtung und eine Verarbeitungsmaschine od. dgl. auf einen hohen Standard gebracht werden.

Dann wird eine vierte Adresse des E²PROM 32 festgelegt und 80% (Grenzwert Ph) des maximalen Wertes (P_max) errechnet und an der festgelegten vierten Adresse gespeichert.

Der Grenzwert Ph repräsentiert einen Punkt, welcher um 20% des normalen höchsten Vakuumdruckwertes reduziert ist, d. h. des maximalen Wertes (P_max, das maximale Maß an Vakuum) der Druck änderung P₀₁. Druckwerte unterhalb des Grenzwertes Ph werden als unerwünschter oder nicht sachgemäßer Druckzustand ange sehen.

Dann werden die unsachgemäßen Druckwerte oder Änderungen unter halb des Grenzwertes Ph entsprechend einem die Fehler-Früher kennung bestimmenden Vakuum, d. h. den Druckänderungen P₀₂ bis P_0N+1 (jeweils entsprechend bspw. dem digitalen Nachweissignal S₂ als Signal) aus den Druckänderungen P₀ bis P_0N+1 kumulativ sechsmal gespeichert. Wenn die so gespeicherten unsachgemäßen Druckwerte mit unsachgemäßen Setzwerten, welche vorher mittels der Schalter S_W1, S_W2 und S_W3 gesetzt worden sind, sechsmal gezählt, kroinzidieren, wird das Fehler-Früherkennung-Signal S₄ kontinuierlich erzeugt.

Ein Verfahren zur Erzeugung des Fehler-Früherkennung-Signals S₄ wird bspw. durch Ausführen des Programmes der Überwachungsein richtung 30 ausgeführt. Darüber hinaus wird Information über ein solches Verfahren in dem E² PROM 32 gespeichert. Wenn die Überwachungseinrichtung 30 wieder aktiviert wird, nachdem die Stromquelle abgedreht worden ist, wird das Fehler-Früherken nung-Signal S₄ erzeugt, basierend auf dem Betriebszustand der Überwachungseinrichtung 30, wodurch das Wiederauslesen der Information aus dem E²PROM 32 möglich wird.

Wie zuvor beschrieben, setzt die Druckinformation-Verarbeitungs einrichtung 10 selbsttätig und genau die Grenzwerte PH_1a, PH_1b und Ph bezüglich des maximalen Wertes P_max der Druckänderung P₀₁ und führt dann eine Selbstdiagnose aus, ob ein Fehler im Betrieb der Vakuumeinheit 50 stattgefunden hat oder nicht.

Die 70%, 65% und 80%, welche sich auf die Grenzwerte von PH_1a, PH_1b und Ph beziehen, können selbstverständlich geändert werden. Diese geänderten Werte können gelöscht werden durch Drehen des Rückstell-Schalters S_W4 auf AN. Danach können die Aufwärts-Abwärts-Schalter S_W1, S_W2 auf AN gedreht werden, um diese Werte zu setzen, wobei der Schalter S_W3 nach einer Ände rung in dem numerischen Wert, bspw. basierend auf 5%-Schrit ten, benutzt wird.

Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform werden die Grenz werte PH_1a, PH_1b und der Grenzwert Ph digital bezüglich des maximalen Wertes (P_max) der Druckänderung P₀₁ gesetzt. Alter nativ dazu wird jedoch eine Druckkurve als Datenwerte gespei chert, welche für die Druckänderung P₀₁ kennzeichnend ist, und die Grenzwerte PH_1a, PH_1b und Ph können in der gleichen Weise eingestellt werden, wie zuvor beschrieben.

Auf der anderen Seite können die Grenzwerte aber auch in der folgenden Weise eingestellt werden. Zunächst wird das Werkstück W im voraus angezogen. Zu diesem Zeitpunkt stellen die Druck sensoren 76, 80 einen Druck P_S für die Zufuhr von Druckluft zu dem Ejektor 54 und einen Vakuumdruck P_V, welcher von dem Ejek tor 54 erzeugt wird, fest. Eine Kurve (80%-Linie in Fig. 5), in welcher der Wert des Vakuumdruckes P_V 80% beträgt, wird bezüg lich einer P_S-P_V-Kurve aus dem Druck P_S und dem Vakuumdruck P_V erhalten. Nach Vollendung einer solchen Kurveneinstellung wird die Vakuumeinheit 50 in der Weise betrieben, daß die Drucksen soren 76, 80 den Zufuhrdruck P_S und den Vakuumdruck P_V jeweils feststellen. Wenn der ermittelte Zufuhrdruck P_S und der ermit telte Vakuumdruck P_V nicht in einem Bereich (angedeutet durch schräge Linien in Fig. 5) zwischen den P_S-P_V-Kurve und der 80%-Linie fallen, wird das Fehler-Früherkennung-Signal S₄ von der Überwachungseinrichtung 30 erzeugt.

Darüber hinaus können die Grenzwerte in der folgenden Weise eingestellt werden. Zunächst weisen der Drucksensor 80 und der Strömungsmesser 86 im vorhinein den Vakuumdruck P_V, welcher von dem Ejektor 54 erzeugt wird, nach, welcher dem Druck P_S für die Zufuhr vorhandener Luft zu dem Ejektor 54 entspricht, sowie eine Einlaß- oder Saugflußrate Q des Ejektors 54. Dann wird eine Grenzwertgerade bezüglich einer Q-P_V-Geraden eingestellt, welche aus dem nachgewiesenen Vakuumdruck P_V und der Saugfluß rate Q, wie in Fig. 6 gezeigt, bestimmt wird. Wenn der Vakuum druck P_V und die Saugflußrate Q nicht in einen Bereich fallen, welcher durch schräge Linien angedeutet ist, wird das Fehler- Früherkennung-Signal S₄ erzeugt.

Wenn festgestellt wird, daß die Vakuumeinheit 50 nicht mehr in der normalen Weise arbeitet, wird die Überwachungseinrichtung 30 in Betrieb gesetzt, um zu bewirken, daß die Drucksensoren 74, 76, 78, 80, 82 Druckwerte feststellen und die Differenzen in dem jeweils festgestellten Druck zu den jeweiligen Druckwer ten, die so festgestellt wurden, zu berechnen. Es ist somit möglich, jede Ursache für einen Fehler im Betrieb des Luftzu fuhrventils 62, des Vakuumunterbrechungsventils 64, des Ejek tors 54, des Schalldämpfers 72, des Filters 70 und der Saug glocke 12 abhängig von Änderungen in den Druckwerten und dem Differentialdruck festzustellen. Wenn bspw. die Differenz zwischen dem Druck, welcher von dem Drucksensor 80 auf der stromaufwärts liegenden Seite festgestellt wurde, und dem Druck, welcher durch den Drucksensor 82 auf der stromabwärts liegenden Seite festgestellt wurde, d. h. der Differentialdruck, einen vorbestimmten Grenzwert überschreitet, wird ein "Fehler im Filter" auf dem Monitor 60 unter Verwendung der LCD 38 ange zeigt.

Somit kann die Überwachungseinrichtung 30 selbsttätig einen Fehler in dem Betrieb der Vakuumeinheit 50 erkennen, da die Drucksensoren 74, 76, 78, 80, 82 und der Strömungsmesser 86 in geeigneten Stellungen in der Vakuumeinheit 50 positioniert sind. Gleichzeitig können die Drucksensoren 74, 76, 78, 80, 82 Fehlerstellen- oder -positionen des Luftzufuhrventils 62, des Ejektors 54, des Filters 70, etc. genau ermitteln.

Andere Ausführungsformen der Vakuum-Druck-Information-Verar beitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung werden hiernach unter Bezugnahme auf die Fig. 7 bis 12 beschrieben.

Das Vakuumüberwachungsgerät 150 gemäß Fig. 7 und 8 enthält im wesentlichen einen Ventilblock 152, einen Ejektor 154, eine Nachweiseinheit 156, einen Filter 158 und ein Verbindungsglied 160. Der Ventilblock 152 hat Lufteinlaßöffnungen 162, 164, 166, welche darin vorgesehen sind, ein Ringventil 153, welches darin für die Zufuhr von Druckluft zu dem Ejektor 154 und zur Sper rung derselben vorgesehen ist, sowie erste und zweite elektro magnetische Ventile 168, 170, welche an der oberen Oberfläche angebracht sind. Das erste elektromagnetische Ventil 168 wird als Druckluftzufuhrventil eingesetzt, während das zweite elek tromagnetische Ventil 170 als ein elektrisches Ventil für die Vakuumunterbrechung dient. Für die Versorgung an elektrischem Strom und ein Überwachungssignal, wie bspw. ein AN/AUS-Signal an der Außenseite über (nicht dargestellte) Leiter, sind die ersten und zweiten elektromagnetischen Ventile 168 und 170 mit ersten und zweiten Verbindungsstücken 168a, 170a ausgestattet. Der Ejektor 154 ist benachbart dem Ventilblock 152 vorgesehen. Darüber hinaus hat der Ejektor 154 eine Düse 155 und einen Diffuser 157 in sich angeordnet und einen Schalldämpfer 172, welcher auf der oberen Oberfläche sitzt. Der Schalldämpfer 172 dient zur Dämpfung des Schalles, welcher von der Druckluft her rührt, welche von dem Diffuser 157 des Ejektors 154 erzeugt wird. Die Überwachungseinrichtung 156 ermittelt den Druck unter Vakuum und schließt den Halbleiter-Drucksensor 116, welcher darin angeordnet ist, ein. Die Nachweiseinheit 156 enthält auch, auf ihrer oberen Fläche, ein Verbindungsstück 174, eine digitale Anzeigeeinrichtung 176, einen Einstell-Schalter S_W1 für das Aufwärtsschalten des Wertes, einen Einstell-Schalter S_W2 für das Abwärtsschalten eines Wertes, einen Setzschalter S_W3, einen Rückstell-Schalter S_W4, und Anzeigeeinheiten 178, 180. Die digitale Anzeigeeinheit 176 kann visuelle Darstel lungen eines "Fehlers" oder eines "Zusammenbruchs", etc. in englischer oder einer anderen Sprache wiedergeben. Der Filter 158 hat einen darin angeordneten Hauptkörper 161, welcher hydrophobes Material aufweisen kann und dafür sorgt, daß Wasser oder Feuchtigkeit an einem Eindringen gehindert wird. Darüber hinaus ist der Filter 158 abnehmbar an dem Verbindungsglied 160 mit einer Kontrolleinrichtung 162 angebracht. Es braucht nicht gesagt zu werden, daß jeder der Komponenten, wie Ventilblock 152, Ejektor 154, Schalldämpfer 172, Nachweiseinheit 156 und Filter 158 sich in der Weise in einem Verbindungsstatus be finden, daß unter Druck stehende Fluide durch jeden der inneren Durchlässe strömen kann. Insbesondere sind in der Nachweisein heit 156 der Halbleiter-Drucksensor 16 (einschließlich eines Differentialdruck-Sensors oder eines Kapazitäts-Sensors) ent haltend eine piezoelektrische Einrichtung od. dgl., der Kon stantstrom-Kreis 18, der Verstärker 20, der A/D-Wandler 22, die Überwachungseinrichtung 30, der EE(E²)PROM 32, der LCD-Treiber 34, etc. wie bereits in Fig. 1 beschrieben, enthalten. Das Verbindungsstück 154 kann elektrisch mit Leitern verbunden sein, um das Fehler-Früherkennung-Signal S₄ und das Druckschal ter-Signal S₆, welches in Fig. 1 gezeigt ist, zu erzeugen. Das Verbindungsstück 174 kann auch mit einer Stromquelle relativ zu der Nachweiseinheit 156 verbunden sein sowie mit einer Über wachungssignalleitung oder einem Überwachungssignalleiter. Darüber hinaus kann das Verbindungsstück 174 eine Verbindungs funktion für andere Vakuumüberwachungseinrichtungen, ein ex ternes Überwachungsgerät, etc. aufweisen, so daß eine Druck nachweisinformation oder Überwachungsinformation mitgeteilt wird.

Wenn bei einem so aufgebauten Vakuumüberwachungsgerät ein den Betrieb auslösendes Startsignal als erstes eingegeben wird, wird Druckluft von der Lufteinlaßöffnung 166 eingeführt, um ein Vakuum in dem Ejektor 154 zu erzeugen. In diesem Fall sind die Luftzufuhröffnungen 162, 164 mit einer Abdeckkappe verschlos sen. Das so erzeugte Vakuum bringt die Saugglocke 12, welche an eine (nicht dargestellte) Öffnung des Verbindungsgliedes 160 angeschlossen ist, auf einen negativen Druck, d. h. auf ein Vakuum. Somit zieht die Saugglocke 12 das Werkstück W an und hält es in Übereinstimmung mit dem Betrieb einer Fördereinrich tung, bspw. eines Roboters. Dann wird die Saugglocke 12 abge schaltet, um das Werkstück W freizugeben. Als Ergebnis wird der Druck (das Vakuum) , welcher bzw. welches aufeinanderfolgend an dem Halbleiter-Drucksensor 16 in der Überwachungseinheit 156 ansteht, in der Form von Druckwerten dargestellt, welche auf einanderfolgend variieren, wie in Fig. 10 dargestellt, d. h. in Form der Werte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1. Wie man aus der Zeichnung zu diesem Zeitpunkt leicht erkennt, tritt häufig der Fall ein, daß der höchste Vakuumdruckwert (das Maß des Vakuums) mit der Zeit abnimmt aufgrund von Leckagen des Vakuumdruckes an der Saugkappe 12 und bspw. aufgrund eines Verstopfens des Filters 158.

Ein Signal entsprechend jedem der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃ ..., P_0N+1 wird über den Halbleiter-Drucksensor 16 und den Ver stärker 20 an den A/D-Wandler 22 gelegt, wo es in ein digitales Nachweissignal S₂ umgewandelt wird, welches wiederum der Über wachungseinrichtung 30 eingegeben wird.

Die Überwachungseinrichtung 30 besitzt ein darin gespeichertes Programm, welches später beschrieben wird. Zunächst geben Extremwerte der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1 unter einem vorbestimmten Mode eine erste Adresse des EE(E²)PROM 32 und werden darin gespeichert. Die zuvor erwähnten Werte werden aufeinanderfolgend auf der LCD 38 der digitalen Anzeigeeinheit 176 zusammen mit den vorherigen jeweiligen Werten angezeigt. Dann wird der Mode von dem vorbestimmten Mode zu einem anderen umgeschaltet und der Grenzwert für die Erzeugung des Druck schalter-Signals S₆ relativ zu jedem der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1, d. h. ein sogenannter Differentialdruck PH₁, wird mittels der Schalter S_W1 bis W_W4 unter diesem Mode einge stellt. Danach wird der Mode wieder in einen anderen geändert, um ein eine Fehler-Früherkennung bestimmendes Vakuum Ph einzu stellen, welches einen Punkt definiert, welcher bspw. um 20% des normalen höchsten Vakuumdruckwertes (des maximalen Maßes an Vakuum) reduziert ist, als ein Druckwert für die Beurteilung einer Fehler-Früherkennung. Dann bestimmt das so eingestellte Vakuum eine dritte Adresse und wird dort in dem EE(E²)PROM 32 gespeichert. Eine arithmetische Operation wird auf den Dif ferentialdruck PH₁ ausgeführt. Das Ergebnis der Operation kann in dem EE(E²)PROM 32 als ein Wert gespeichert werden, welcher mehrere Prozent bis mehrere 10% von dem maximalen Wert P_max der Druckänderung P₀₁ verringert ist.

Weiterhin werden unerwünschte oder unsachgemäße Druckwerte unterhalb des eine Fehler-Früherkennung bestimmenden Vakuums Ph unter den Druckwerten P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1 sechsmal auf gestellt (für eine Einstellung gezählt). Diese eingestellten Werte od. dgl. werden sichtbar auf der LCD 38 angezeigt.

Nachdem der zuvor beschriebene Druckwert vervollständigt worden ist, wird das Druckschalter-Signal S₆ entsprechend dem Diffe rentialdruck PH₁ bezüglich jedes der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃, ..., P_0N+1 oder einer Information über den Differentialdruck PH₁ kontinuierlich in einer solchen Weise erzeugt, daß es für eine vollständig geschlossene Überwachung jedes der verschiede nen Überwachungsantriebseinrichtungen, wie eine Fördereinrich tung, und zur Informationsverarbeitung in einem FMS, einem CIM, etc. benutzt wird.

Auf der anderen Seite werden unerwünschte oder unsachgemäße Vakuum-Wert-Daten Pd (bspw. entsprechend dem digitalen Nach weissignal S₂ als Signal) unterhalb des Grenzwertes Ph unter den Druckwerten P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_0N+1 fortlaufend sechsmal erzeugt. Dies bedeutet, daß, wenn die Zählung der unsachgemäßen Vakuum-Wert-Daten Pd sechsmal ausgeführt wird, das Fehler-Früh erkennung-Signal S₄ fortlaufend erzeugt wird.

Zu diesem Zeitpunkt wird die Information über die Erzeugung des Fehler-Früherkennung-Signals S₄ od. dgl. in dem EE(E²)PROM 32 gespeichert und die Information kann wieder aus dem EE(E²)PROM 32 ausgelesen werden, wenn die Überwachungseinrichtung nach einem Abstellen der Stromversorgung wieder eingeschaltet wird. Die auf einanderfolgende Überwachung der Überwachungseinrichtung 30 für die Erzeugung des Fehler-Früherkennung-Signals S₄ auf der Basis des in dem ROM 30b gespeicherten Programms wird nunmehr nachfolgend beschrieben.

Das vorhandene Programm wird in einer solchen Weise ausgeführt, daß die Überwachungseinrichtung 30 ihren Betrieb auf den Ein gang des Betriebsstartanweisungssignals hin für das gesamte Gerät an die Überwachungseinrichtung 30 beginnt (vgl. Fig. 11 und 12). Dann folgt:

1) Ein Verfahren zum Aufnehmen des Fehler-Früherkennungs-Signals S₄ wird in dem Schritt 101 (vgl. Fig. 11 und 12) ausge führt.
2) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht das Fehler- Früherkennung-Signal S₄ erzeugt wurde, wird in Schritt 102 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, schreitet die Routine zu Schritt 103 fort. Wenn die Antwort NEIN ist, dann geht die Routine zu Schritt 105 über.
3) Ein Verfahren zum Bestimmen, ob oder ob nicht ein AN-Signal erzeugt worden ist, wenn der Schalter S_W4 angeschaltet worden ist, wird in Schritt 103 ausgeführt. Wenn die Antwort NEIN ist, dann kehrt die Routine nach Schritt 103 zurück. Wenn die Antwort JA ist, dann geht die Routine-Prozedur zum nächsten Schritt 104 über.
4) Ein Verfahren zum Unterbrechen der Lieferung des Fehler- Früherkennung-Signals S₄ von der Überwachungseinrichtung 30 wird in Stufe 104 ausgeführt.
Ein Verfahren zum Unterbrechen der Lieferung des Fehler-Früh erkennung-Signals S₄, welches bis jetzt kontinuierlich in den Schritten 101 bis 104 von der Überwachungseinrichtung 30 er zeugt wurde, wird ausgeführt.
5) Ein Verfahren, welches ermöglicht, daß die Überwachungs einrichtung 30 das digitale Nachweissignal S₂ aufnimmt, wird in Schritt 105 ausgeführt.
6) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht das Druck schalter-Signal S₆ hergestellt worden ist, wird in Schritt 106 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, dann wird der Routine-Pro zeß zum nächsten Schritt 107 weitergeführt. Wenn die Antwort NEIN ist, dann geht die Routine zu Schritt 110 über.
7) Ein Verfahren zum Überführen einer Marke _SONF auf 1, wenn das Druckschalter-Signal S₆ sich in einem AN-Zustand befindet, wird in Schritt 107 ausgeführt. Wenn das Druckschalter-Signal S₆ sich in einem AUS-Zustand befindet, dann wird die Marke _SONF auf 0 gebracht; daher ist die Marke _SONF verschwunden (zurück gestellt).
8) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht die Vakuum- Wert-Daten Pd (der höchste Vakuumdruckwert des digitalen Nach weissignals S₂) größer ist als das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph (wobei Pd größer Ph), wird in Schritt 108 ausgeführt. Wenn die Antwort NEIN ist, so ergibt sich, daß die Vakuum-Wert-Daten Pd normal sind; demzufolge geht die Routine zu dem Zustand RÜCKKEHR über. Wenn die Antwort JA ist, dann schreitet die Routine zu dem nächsten Schritt 109 fort.
9) Ein Verfahren zum Überführen einer Marke _ECF auf 1, wenn die Vakuum-Wert-Daten Pd das eine Fehler-Früherkennung bestim mende Vakuum Ph zu einem Zeitpunkt überschreitet, zu welchem das Druckschalter-Signal S₆ sich in einem AN-Zustand befindet, wird in Schritt 109 ausgeführt. Danach geht die Routine zu RÜCKKEHR über.
10) Wenn die Antwort in Schritt 106 NEIN ist, dann wird ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht die Marke _SONF auf 1 gebracht worden ist, in Schritt 110 ausgeführt. Wenn die Ant wort NEIN ist, dann geht der Routine-Prozeß zu RÜCKKEHR über. Wenn die Antwort JA ist, dann schreitet der Routine-Prozeß zum nächsten Schritt 111 weiter.
11) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht die Marke _ECF auf 1 gebracht worden ist, wird in Schritt 111 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, dann schreitet der Routine-Prozeß zu Schritt 115 weiter. Wenn die Antwort NEIN ist, dann schreitet die Routine zum nächsten Schritt 112 weiter.
12) Ein Verfahren zum Ausführen eines Zuwachses (Inkrements) in der unerwünschten oder unsachgemäßen Zählung (sechsfach) wird in Schritt 112 ausgeführt.
13) Ein Verfahren zum Vergleich jedes Wertes, welcher beim Ausführen des Zuwachses in der unsachgemäßen Zählung (sechs fach) erhalten wurde, mit jedem von eingestellten Zählungen (sechsfach) , um auf der Basis des Vergleichsergebnisses zu ent scheiden, ob oder ob nicht eine Koinzidenz miteinander vor liegt, wird in Schritt 113 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, dann schreitet die Routine zu dem nächsten Schritt 114 fort. Wenn die Antwort NEIN ist, dann geht die Routine zu Schritt 116 über.
14) Ein Verfahren zur Lieferung des Fehler-Früherkennungs-Sig nals S₄ von der Überwachungseinrichtung, vorausgesetzt, daß jeder Teilwert (sechsfach) in dem Schritt 113 als jeweils ein gestellter Zähler (sechsfach) angesehen wird, wird in Schritt 114 ausgeführt. Danach geht das Routine-Verfahren zu RÜCKKEHR über, um den nächsten Nachweisprozeß zu beginnen.
15) Wenn die Antwort in Schritt 106 JA ist, d. h. wenn die Vakuum-Wert-Daten Pd das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph in dem AN-Zustand des Druckschalter-Signals S₆ über schreiten, dann wird ein Verfahren zum Überführen seines uner wünschten Ergebnisses in einen Normalzustand in Schritt 115 ausgeführt, um die unerwünschte oder unsachgemäße Zählung zu löschen.
16) Ein Verfahren zum Überführen der Marke _ECF auf 0 wird in Schritt 116 ausgeführt, gefolgt von dem nächsten Schritt 117.
17) Ein Verfahren zum Überführen der Marke _SONF auf 0 wird in Schritt 117 ausgeführt. Danach geht die Routine zu RÜCKKEHR über, um den nächsten Bestimmungsprozeß wieder zu beginnen.

Wenn somit die unrichtige Zählung bezüglich des eine Fehler-Früh erkennung bestimmenden Vakuums Ph mit der voreingestellten Anzahl von Malen (Wiederholungen) zusammenfällt, d. h. die voreingestellte Zählung zu dem Zeitpunkt, zu welchem der höch ste Vakuumdruckwert mit der Zeit abgebaut wird, bspw. durch wiederholtes Ausführen eines Förderprozesses des Werkstückes W, dann wird das Fehler-Früherkennungs-Signal S₄ erzeugt, so daß im Vorhinein eine wirksame Information über den Zeitpunkt zur Verfügung gestellt wird, zu welcher Vorrichtungen, wie der Filter, der Ejektor, etc. durch neue ersetzt werden sollten, aufgrund eines Verstopfens des Filters 158, eines Verschleißes der Ausführung des Ejektors, etc. Zusätzlich zu der Lieferung einer solchen wirksamen Information können die Druckwerte, bspw. wie das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph, der Differentialdruck PH₁, etc. genau und einfach aufgestellt und deutlich zusammen mit dem herrschenden Druckwert angezeigt werden.

Bei dem veranschaulichten Ausführungsbeispiel ist die Anzahl der Male (Wiederholung) unerwünschter oder unsachgemäßer Zäh ler, bei welchen die Vakuum-Wert-Daten das eine Fehler-Früher kennung bestimmende Vakuum Ph nicht erreichen können, und die voreingestellte Anzahl von Malen (Wiederholungen) N (einge stellte Anzahl) sechs in Folge. Darüber hinaus wird das Fehler- Früherkennung-Signal S₄ erzeugt; dies bedeutet, daß das Fehler- Früherkennung-Signal S₄, welches kennzeichnend ist für den Druckwert, welcher den normalen Werkstückförderungsvorgang od. dgl. unmöglich macht, erzeugt wird, um eine Information über eine Vorbeurteilung zu geben.

Ein Kriterium für eine derartige vorherige Beurteilung kann ab hängig von dem Aufbau und dem Betriebszustand der Förderein richtung geändert werden. So wird ein derartiges Kriterium bspw. angewendet in einem Fall, in welchem ein wirksamer und experimenteller Wert, bspw. ein einmal erzeugtes Vakuum-Wert-Da tum Pd, das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph nicht erreichen kann, in einem Fall, in welchem die Rate, in welcher das Vakuum-Wert-Datum Pd das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph innerhalb einer vorbestimmten Wiederho lungszahl nicht erreichen kann, einen vorbestimmten Wert über schreitet, und in einem Fall, in welchem die Rate, in welcher das Vakuum-Wert-Datum Pd das eine Fehler-Früherkennung be stimmende Vakuum Ph während einer vorbestimmten Zeitperiode nicht erreichen kann, einen vorgegebenen Wert überschreitet. In diesem Fall kann ein auf dem zuvor erörterten Kriterium beruhen des Programm ausgeführt werden, so daß ein Fehler-Früherken nung-Signal S₄ in ähnlicher Weise, wie bei dem zuvor beschriebe nen Ausführungsbeispiel, erzeugt wird.

Fig. 9 zeigt eine Ausführungsform verschieden von der Ausfüh rungsform betreffend das Vakuumüberwachungsgerät 150 von Fig. 8, in welchem der Ejektor eingebaut worden ist. Diese Ausfüh rungsform ist derart aufgebaut, daß eine Vakuumpumpe (nicht dargestellt) als eine Alternative zu dem Ejektor 154 an eine Öffnung 166 angekoppelt ist. Daher hat ein Ringventil 153 im wesentlichen die gleiche Gestalt wie das Ringventil nach Fig. 8. Das Ringventil 153 wird jedoch mittels einer Wendelfeder 180 zurückgestellt. Der übrige Aufbau des vorliegenden Ausführungs beispiels ist identisch zu dem des Vakuumüberwachungsgerätes 150 von Fig. 8; eine Einzelbeschreibung kann daher entfallen.

Die Betriebsweisen und Wirkungen des Vakuumüberwachungsgerätes 150, welches in Fig. 9 veranschaulicht ist, sind im wesentli chen die gleichen wie diejenigen des Vakuumüberwachungsgerätes nach Fig. 8.

Weiterhin können die in den Fig. 8 und 9 veranschaulichten Vakuumüberwachungsgeräte mehrfach hintereinander geschaltet und über Leitungen miteinander verbunden vorgesehen sein. Das Vakuumüberwachungsgerät kann so aufgebaut und eingestellt sein, daß es die in Fig. 5 veranschaulichte Anordnung hat, welche in der japanischen Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 63-1 54 900 beispielsweise offenbart ist. Darüber hinaus können Ventile und Sensorüberwachungsteile (Bezugsziffern 168a, 170a, 174 in der vorliegenden Ausführungsform) integral ausgebildet sein, um Verfahren, bspw. Überwachung von elektromagnetischen Ventilen, Bestätigung für die Anziehung des Werkstückes, Früherkennung eines Fehlers und AN/AUS-Überwachung jedes Ventils auszuführen. Bei dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel werden die Grenzwerte in digitaler Form bezüglich des maximalen Wertes der Druckwerte, welche mit der Zeit variieren, aufgestellt. Alter nativ zu dieser Verfahrensweise gibt es ein Verfahren, bei welchem Information über Kurven, welche für Druckänderungen charakteristisch sind, gespeichert werden; dabei können ver schiedene Grenzwerte, basierend auf der Kurveninformation, eingestellt werden.

Die Vakuumeinheit nach der vorliegenden Erfindung bringt fol gende Vorteile mit sich:

Innere Drücke der Vakuumeinheit werden von einem Drucksensor festgestellt, welcher stromaufwärtsseitig und stromabwärts seitig wenigstens einer der Komponenten, welche in der Vakuum einheit vorgesehen sind, angeordnet ist. Darüber hinaus werden Grenzwerte relativ zu den internen Drücken durch Einstellmittel eingestellt. Ein festgestellter Druckwert wird mit diesen Grenzwerten verglichen, wodurch ein Fehler in dem Betrieb der Vakuumeinheit erkannt wird. Dabei kann ein Fehler, bspw. das Verstopfen eines Filters, aus Veränderungen in dem Druck der einzelnen Komponenten und demzufolge eine Fehler- oder Ausfall stelle, genau ermittelt werden. Es ist daher möglich, die Ausfallsstellen oder -teile in der Vakuumeinheit schnell zu reparieren oder durch neue zu ersetzen.

Selbstverständlich können ausgehend von den dargestellten Aus führungsbeispielen eine Reihe von Änderungen und Modifikationen vorgenommen werden, ohne von dem Erfindungsgedanken, wie er vorstehend offenbart worden ist, abzuweichen.

Claims

1. Verfahren zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckin formation für den Einsatz in einer Vakuumeinheit unter Verwen dung eines Vakuumüberwachungsgerätes, mit folgenden Schritten:

- Nachweisen von Druckwerten;
- Anzeigen eines gewünschten Druckwertes unterhalb des höchsten Vakuumdruckwertes der nachgewiesenen Druckwerte auf einer Anzeigeeinrichtung in digitaler Form;
- Speichern des gewünschten Druckwertes in einer Speicherein richtung;
- Umwandeln jedes Druckwertes bezüglich des Vakuums in ein digitales Signal, wobei die Druckwerte mit Hilfe eines Drucknachweiselementes nachgewiesen werden, welches vor einem Durchlaß gehalten wird, welcher mit einer Vakuumöff nung in Strömungsverbindung steht, und danach digitales Anzeigen des so umgewandelten Digitalsignals an einer Anzeigeeinrichtung;
- Vergleichen des gewünschten Druckwertes, welcher in der Speichereinrichtung gespeichert ist, mit jedem der nach gewiesenen Druckwerte relativ zu dem Vakuum; und
- Anzeigen einer Information betreffend Fehler- oder Aus fall-Stellen auf der Anzeigeeinrichtung auf der Basis des Vergleichsergebnisses.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der gewünschte Druckwert, welcher in der Speichereinrichtung gespeichert ist, einen ersten Druckwert unterhalb des höchsten Vakuumdruckwertes aufweist, welcher unter den nachgewiesenen Druckwerten bestimmt worden ist, und einen zweiten Druckwert unterhalb des ersten Druckwertes, wobei eine durch die ersten und zweiten Druckwerte vorbestimmte Druckspanne zur Vermeidung einer Ratterwirkung festgelegt werden.

3. Verfahren nach Anspruch 2, bei welchem, wenn jeder der nachgewiesenen Druckwerte relativ zu dem Vakuum mehrmals in Folge beim Vergleich des gewünschten Druckwertes, welcher in der Speichereinrichtung gespeichert ist, mit jedem der nachge wiesenen Druckwerte relativ zu dem Vakuum niedriger als der ge wünschte Druckwert ist, ein Fehler- oder Ausfall-Stellen-Anzei gesignal als ein vorbestimmtes Signal erzeugt wird.

4. Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruck information, welche für die Verwendung in einer Vakuumeinheit geeignet ist, welche dazu in Betrieb gesetzt wird um zu er reichen, daß Komponenten, wie ein Ventilkörper, ein Ejektor, ein Schalldämpfer, ein Filter, etc., miteinander über einen vorbestimmten Durchlaß in Strömungsverbindung treten, ent haltend:

- Einstellmittel zum Einstellen eines gewünschten Druck wertes;
- einen Drucksensor, welcher auf der stromaufwärts liegenden und auf der stromabwärts liegenden Seite von wenigstens einem der Komponenten angeordnet ist;
- Bestimmungsmittel zum Vergleichen eines Druckwertes, welcher von dem Drucksensor erzeugt wurde, mit dem einge stellten gewünschten Druckwert, um dadurch festzustellen, daß die Vakuumeinheit in einen unsachgemäßen Zustand ge bracht worden ist, wenn das Vergleichsergebnis einen vor bestimmten Druckwert zeigt; und
- Anzeigemittel zur Anzeige von Informationen über Fehler- oder Ausfall-Stellen basierend auf dem Vergleichsergebnis der Bestimmungseinrichtung.

5. Einrichtung nach Anspruch 4, bei welcher Drucksensoren auf einer Fluidversorgungsseite entsprechend der stromaufwärts lie genden Seite des Ejektors der Komponenten und auf einer Fluid aufnahmeseite entsprechend der stromabwärts liegenden Seite des Ejektors vorgesehen sind.

6. Einrichtung nach Anspruch 4 oder 5, bei welcher Einstell mittel die Einstellung der Strömungsrate der Luft zulassen und ein Strömungsmesser auf der Fluideinlaßseite entsprechend der stromabwärts liegenden Seite des Ejektors vorgesehen ist.

7. Einrichtung nach Anspruch 4, bei welcher die Bestimmungs einrichtung Mittel zum Zählen der Anzahl von Druckwerten auf weist, welche in ihrem Vakuum niedriger liegen als der einge stellte Druckwert, und Mittel zum Erzeugen eines Signals, welches einen unsachgemäßen Zustand anzeigt, wenn die gezählte Zahl der Druckwerte einen vorbestimmten Wert erreicht hat.

8. Einrichtung nach Anspruch 4 oder 5, mit einer Anzeigeein richtung zur digitalen Anzeige eines Vakuumdruckwertes, welcher von einer Nachweiseinrichtung zum Erfassen des Vakuumdruck wertes nachgewiesen wurde.

9. Einrichtung nach Anspruch 5, mit einer Anzeigeeinrichtung zur digitalen Anzeige wenigstens eines Druckwertes, welcher für die Bestimmung des unsachgemäßen Zustandes verwendet wird, und eines Druckwertes, welcher für die Fehler-Früherkennung verwen det wird.