DE4229833C2 - Druckinformation-Verarbeitungseinrichtung zur Verwendung in einer Vakuumeinheit - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Druckinformations-Ver­ arbeitungseinrichtung zur Verwendung in einer Vakuumeinheit.

Bisher wurden Druckschalter für negativen und/oder positiven Druck in großem Maße in pneumatischen Vorrichtungen od. dgl. verwendet.

Nachfolgend wird ein Beispiel zur Veranschaulichung eines Druck­ schalters für negativen Druck beschrieben, welcher betrieben wird, um einen Druckwert in ein Drucksignal oder ein elektrisches Signal umzuwandeln. Ein derartiger Druckschalter wird in einer Unterdruck- (Vakuum-)Einrichtung eingesetzt, die Druckluft, einen Fluiddurchgang und eine pneumatische Vorrichtung od. dgl. aufweist. D.h., der Druckschalter wird verwendet, um zu bestätigen, ob ein zu be­ förderndes Subjekt oder Objekt (Werkstück) von einem Saugpolster oder einer Saugglocke angezogen oder losgelassen wurde.

Der Druckschalter weist eine Druckschalter-Signalerzeugungsschaltung mit einem Halbleiter-Drucksensor, einen Ver­ gleicher, einen variablen Widerstand, eine Ausgangsschaltung (zur Erzeugung eines Pulssignals) etc. auf. Die Druckschalter-Signal­ erzeugungsschaltung erzeugt ein Ausgangssignal S₁, welches einem aufgrund einer Druckänderung (vgl. M in Fig. 2) während des Anziehens und Loslassens (d. h. Vakuumunterbrechung) des Werkstücks entstehenden Differenzdruck entspricht. Der Differenzdruck ist vorgesehen, um unerwünschtes Vibrieren zu vermeiden.

Nun wird ein Grenzwert PH (entsprechend der ansteigenden Flanke des Ausgangssignals S₁) des in Fig. 2 dargestellten Differenzdruckes mit einem Referenzwert verglichen, welcher durch den variablen Wider­ stand unter Verwendung des von dem Trägerdiffusions-Halbleiter-Druck­ sensor mit dem Ausgangssignal S₁ versorgten Vergleichers festgelegt wird. Das Ausgangssignal S₁ wird einer mit einem Computer für FA (Fabrikautomation) und dgl. bedienbaren Sequenz-Überwachungs­ einrichtung zugeführt, bspw. um für verschiedene Überwachungs­ antriebseinrichtungen oder dgl. verwendet zu werden. Außerdem wird das Ausgangssignal S₁ als ein Modul für CIM (Fertigungssteuerung im Datenverbund)-Einrichtungen verwendet und ermöglicht einen Über­ wachungsvorgang einschließlich einer Festlegungs- oder Beur­ teilungsmöglichkeit.

Bei dem oben beschriebenen Stand der Technik weist der Drucksensor jedoch normalerweise keine Vakuumanzeigeeinrichtungen auf. Daher wird ein Vorgang des Anziehen des Werkstückes oder Loslassen desselben wiederholt durchgeführt, wenn der Grenzwert PH od. dgl. festgelegt wird. Dann wird der variable Widerstand od. dgl. verwendet, um jeden der entsprechenden Druckwerte festzulegen und einzustellen, um den Grenzwert PH festzulegen. Ist eine Anzahl von Druckschaltern in der pneumatischen Vorrichtung od. dgl. vorgesehen, ist es daher notwendig, daß die Schalter die pneumatische Vor­ richtung od. dgl. betreiben und daß das Festlegen und Einstellen der entsprechenden Druckwerte ausgeführt wird, was jeweils einen relativ großen Aufwand erfordert. Es stellt sich außerdem ein Fehler zwischen jedem der entsprechenden Druckwerte und einem festgelegten Wert ein, was das quantitative Festlegen der Druckwerte erschwert. Außerdem werden die Druckwerte analog festgelegt und eingestellt, was den Nachteil mit sich bringt, daß es schwierig ist, die Druckwerte präzise einzustellen.

Außerdem wird, selbst bei der Verwendung einer normalen Druck­ anzeigeeinrichtung, ein Bestätigungsvorgang der Anzeige erschwert, da die Darstellung eines festgelegten Druckwertes bei ihrer visuellen Erkennung in ebener Form erfolgt.

Aus der DE 40 26 574 A1 ist eine Vorrichtung bekannt, mit deren Hilfe ein Fehlerverhalten eines Fluiddrucksystems verausgesagt werden kann. Hierzu wird zunächst auf der Basis eines maximalen Druckniveaus P_max am Werkstück ein Druckschwellenwert Ph, der um 20% niedriger liegt als P_max, berechnet. Alle Druckniveaus unterhalb des Druckschwellenwertes Ph werden als abnormal betrachtet. Wenn sich das hierbei gemessene maximale Druckniveau im Laufe von sechs aufeinanderfolgenden Ansaug- und Lösevorgängen unterhalb des festgelegten Druckschwellenwertes Ph befindet, wird ein Fehler­ vorhersagesignal erzeugt. Auf diese Weise kann ein sich entwickeln­ der Druckabfall des Systems festgestellt werden, bevor der Druck so weit abfällt, daß eine Werkstückförderung unmöglich wird. Es wird jedoch nicht berücksichtigt, ob der Druckabfall ggf. auf der Vakuumerzeugungsseite, z. B. durch Verstopfen des Ejektors, hervor­ gerufen wird. Eine entsprechende Erkenntnis kann daher bei der Analyse des festgestellten Druckabfalls und Festlegung der hierauf zu treffenden Maßnahmen nicht berücksichtigt werden.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine zuverlässigere Fehler­ vorhersage in Vakuumeinheiten zur Förderung von Gegenständen zu ermöglichen.

Diese Aufgabe wird mit der vorliegenden Erfindung durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezug auf die beigefügte Zeichnung anhand bevorzugter Ausführungsformen näher beschrieben.

Es zeigen:

Fig. 1 ein Blockschaltbild, nach welchem eine Druckinformations-Ver­ arbeitungseinrichtung in einer erfindungsgemäßen Vakuumeinheit eingesetzt wird,

Fig. 2 eine diagrammartige Darstellung zur Beschreibung der Funktion einer herkömmlichen Vakuumeinheit,

Fig. 3 eine perspektivische Gesamtansicht der erfindungsgemäßen Vakuumeinheit,

Fig. 4 einen vertikalen Teilschnitt durch die Vakuumeinheit gemäß Fig. 3,

Fig. 5 eine teilweise geschnittene perspektivische Ansicht einer Nachweiseinheit und einer Anzeigeeinheit der Vakuum­ einheit gemäß Fig. 3,

Fig. 6 einen Schaltplan der Vakuumeinheit gemäß der vorliegenden Erfindung,

Fig. 7 ein Diagramm zur Beschreibung zur Festlegung von Grenzwerten in einer erfindungsgemäßen Vakuumein­ heit,

Fig. 8 einen vertikalen Teilschnitt durch eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumein­ heit,

Fig. 9 eine perspektivische Ansicht einer noch weiteren Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumein­ heit.

Fig. 10 eine perspektivische Ansicht einer weiteren Ausfüh­ rungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumeinheit,

Fig. 11 eine teilweise aufgebrochene Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vakuumeinheit mit einem Ejektor,

Fig. 12 eine teilweise aufgebrochene Darstellung der erfindungsgemäßen Vakuumeinheit, an welche eine Vakuumpumpe angeschlossen ist,

Fig. 13 ein Diagramm zur Beschreibung der Funktion der Ausführungsformen gemäß Fig. 10 bis 12,

Fig. 14 einen Ablaufplan eines Programms, welches von einer in jeder der Ausführungsformen gemäß den Fig. 10 bis 12 eingesetzten Überwachungseinrichtung ausge­ führt wird, und

Fig. 15 einen Ablaufplan eines anderen Programms, welches von einer in den Ausführungsformen gemäß den Fig. 10 bis 12 eingesetzte Überwachungseinrichtung ausgeführt wird.

Zunächst wird anhand von Fig. 1 eine in eine Vakuumeinheit erfin­ dungsgemäß integrierte Druckinformation-Verarbeitungseinrichtung 10 beschrieben.

In Fig. 1 ist mit dem Bezugszeichen W ein Werkstück und mit dem Bezugszeichen 12 ein Saugpolster oder eine Saugglocke bezeichnet, welche an einer in einem Vakuumsystem eingesetzten Transportein­ richtung befestigt ist. Die Druckinformation-Verarbeitungsein­ richtung 10 weist einen Halbleiter-Drucksensor 16 zur Feststellung des Wertes (Unterdruck, d. h. Vakuum) von Druckluft A_p, um ein festgestelltes Signal auszugeben, eine Konstantstrom-Schaltung 18 und einen Verstärker 20 auf. Außerdem weist die Druckinformation-Ver­ arbeitungseinrichtung 10 einen A/D(Analog/Digital)-Wandler 22 zur Umwandlung eines von dem Verstärker 20 ausgegebenen Signals, d. h. eines dem Wert (des Vakuums) der Druckluft A_p entsprechenden analogen Signals in ein digitales Nachweissignal S₂, und eine Überwachungseinrichtung 30, wie einen Ein-Chip-Mikrocomputer od. dgl. auf. Die Überwachungseinrichtung 30 weist eine CPU (Zentrale Prozessor-Einheit) 30a, einen ROM (Nur-Lese-Speicher) 30b mit einem darin gespeicherten Programm, und eine I/O-(Eingabe/Ausgabe)- Einheit 30c auf, sowie Einstell-(Aufwärts/Abwärts)-Schalter S_w1, S_w2, die später beschrieben werden, einen Einstellschalter S_w3 zur Einstellung eines geänderten Wertes, und einen Rückstell-Schalter S_w3 zur Rückstellung des gesetzten Wertes auf, die jeweils elek­ trisch mit der Überwachungseinrichtung 30 verbunden sind. Außerdem sind mit der Überwachungseinrichtung 30 ein EE(E²)PROM programmierbarer Festwertspeicher) 32, in welchem später zu beschreibende Information gespeichert und gehalten werden kann, wenn eine Stromquelle ausgeschaltet wird, und ein LCD (Flüssigkristallanzeige)-Treiber 34 sowie eine LCD-(Flüs­ sigkristallanzeige) 38, die zur visuellen Anzeige gesetzter Werte und später zu beschreibender Informationen verwendet werden, verbunden. In der Druckinformation-Verarbeitungseinrichtung 10 können eine analoge und/oder eine digitale Schaltung durch program­ mierbare ausgleichende Einrichtungen zur digitalen Signalver­ arbeitung od. dgl. ersetzt werden.

Eine Vakuumeinheit mit einer wie oben beschriebenen Druckin­ formation-Verarbeitungseinrichtung wird nun anhand Fig. 3 be­ schrieben.

Die Vakuumeinheit 50 nach den Fig. 3 und 4 weist im wesentlichen einen Ventil-Block 52, einen Ejektor 54, einen Filter-Block 56, einen Filter 58 und ein Verbindungselement 60 auf. Der Filter-Block 52 hat eine Luftzufuhröffnung 62, eine Luftzufuhröffnung 64 für ein Pilotventil und eine Luftzufuhröffnung 66 zur Vakuumunterbrechung, welche jeweils in ihm ausgebildet sind, ein darin angeordnetes auf und abgehendes Ventil 53 zur Zufuhr von Druckluft zu dem Ejektor 54 und zur Blockierung desselben, sowie erste, zweite und dritte elektro­ magnetische Ventile 68, 69, 70, die an seiner oberen Oberfläche befestigt sind, auf.

Das erste elektromagnetische Ventil 68 und das zweite elektro­ magnetische Ventil 69 sind vorgesteuerte elektromagnetische Ventile für Druckluftzufuhrventile, welche aus selbsthaltenden doppelten Solenoiden oder verriegelten Solenoiden gebildet sind. Das dritte elektromagnetische Ventil 70 ist ein vorgesteuertes elektro­ magnetisches Ventil zur Vakuumunterbrechung. Um elektrische Energie und ein Kontrollsignal, wie ein Ein/Aus-Signal über nicht dar­ gestellte Leitungen nach außen zu übertragen, weisen die ersten, zweiten und dritten elektromagnetischen Ventile 68, 69 und 70 erste, zweite bzw. dritte Verbindungsstücke 68a, 69a, 70a auf.

Der Ejektor 54 ist neben dem Ventil-Block 52 angeordnet. Außerdem weist der Ejektor 54 eine Düse 55 und einen Diffusor 57, die jeweils in ihm angeordnet sind, und einen Schalldämpfer 72 an der Seiten­ fläche des Ejektors 54 auf. Der Schalldämpfer 72 dient der Dämpfung des durch die von dem Diffusor 57 zugeführte Druckluft erzeugten Geräuschs.

Die Nachweiseinheit 56 erfaßt Druck unter Vakuum und schließt den Halbleiter-Drucksensor 16 ein. Wie in Fig. 5 dargestellt, weist die Nachweiseinheit 56 außerdem in ihrem oberen Abschnitt ein Verbin­ dungsstück 74, eine digitale Anzeigeeinheit 76, einen Aufwärts-Schal­ ter S_w1, einen Abwärts-Schalter S_w2, einen Einstellschalter S_w3, einen Rückstell-Schalter S_w4 und eine Anzeigeeinheit 78 auf.

Die digitale Anzeigeeinheit 76 weist Flüssigkristallanzeige­ einrichtungen auf und kann "Fehler", "Zusammenbruch" od. dgl. entweder in englischen oder anderssprachigen Buchstaben vi­ suell darstellen. Um das Lesen der Information zu erleichtern, ist die digitale Anzeigeeinheit 76 derart aufgebaut, daß der visuelle Betrachtungswinkel über ein Scharnier, eine mehrge­ lenkige Verbindung 77 etc. einstellbar ist (vgl. Fig. 5).

Der Filter 58 weist einen darin angeordneten Grundkörper 61 auf, der ein hydrophobes Material enthält und dazu dient, Wasser oder Feuchtigkeit am Eintreten in den Filter 58 zu hindern. Zusätzlich ist der Filter 58 lösbar über ein Siche­ rungsorgan 82 an dem Verbindungsglied 60 angebracht.

Selbstverständlich sind der Ventil-Block 52, der Ejektor 54, der Schalldämpfer 72, die Nachweiseinheit 56 und der Filter 58 derart miteinander verbunden, daß unter Druck stehende Fluide durch die internen Durchgänge fließen können. Ein Sperrventil 59 ist in einem Durchgang, der den Ejektor 54 mit dem Filter 58 verbindet, angeordnet. Insbesondere sind in der Nachweis­ einheit 56 der Halbleiter-Drucksensor 16 (einschließlich bspw. eines Differentialdruck-Drucksensors und eines Kapazi­ täts-Drucksensors), der aus einem Piezo-Element od. dgl. gebildet ist, dem Konstantstromkreis (Konstantspannungskreis) 18, dem Verstärker 20, dem A/D-Wandler 22, der Überwachungs­ einrichtung 30, dem EE(E²)PROM 32, dem LCD-Treiber 34 etc.

Das Verbindungsstück ?4 kann elektrisch mit Leitungen verbunden werden, rum ein Fehlerfrüherkennungs-Signal S₄ und ein Druckschalter-Sig­ nal S₆ zu erzeugen (vgl. Fig. 1). Das Verbindungsstück 74 kann auch mit einer Stromquelle verbunden werden, die mit der Nachweis­ einheit 56 in Verbindung steht, und mit einer Kontrollsignalleitung. Um andere Vakuumeinheiten, eine externe Überwachungseinrichtung etc. mit entsprechenden Informationen, wie Druckfeststellungsinformatio­ nen und Überwachungsinformationen zu versorgen, kann das Verbin­ dungsstück 74 auch mit einer Überwachungseinrichtung mit einer Kommunikationsfunktion ausgestattet sein, welche mit einem Verteiler derart verbunden ist, daß sie Kommunikationsfunktionen ausüben kann, bspw. durch Schallübertragung, drahtlose Übertragung, Glasfaserüber­ tragung, etc. Das erste Verbindungsstück 68a, das zweite Verbin­ dungsstück 69a, das dritte Verbindungsstück 70a und das Verbindungs­ stück 74 können einstückig ausgebildet sein, um ein Überwachungs­ signal, das zu jedem der Ventile übertragen werden soll, Bestätigung für das Anziehen des Werkstücks W, Fehlerfrüherkennungsinformatio­ nen, etc. zu regeln.

In der wie oben beschrieben aufgebauten Vakuumeinheit 50 wird, wenn ein Betriebsstartbefehlssignal die erste Eingabe ist, Druckluft von der Luftzufuhröffnung 56 zugeführt, um ein Vakuum in dem Ejektor 54 zu erzeugen. Dieses Vakuum erreicht die Saugglocke 12, die an einen nicht dargestellten Auslaß des Verbindungsgliedes 60 angeschlossen ist. Dadurch zieht die Saugglocke 12 das Werkstück W an und hält es entsprechend dem Betrieb von Fördereinrichtungen, wie einem Roboter. Dann wird die Saugglocke 12 abgeschaltet, um das Werkstück W loszu­ lassen. Als Folge wird der auf den Halbleiter-Drucksensor 16 in der Nachweiseinheit 56 nacheinander wirkende Druck (Vakuum) in Form von Druckwerten dargestellt, die, wie in Fig. 7, d. h. P₀₁, P₀₂, P₀₃ . . . P_n+1 dargestellt, aufeinanderfolgend variieren. Wie sich aus der Zeichnung ergibt, tritt häufig der Fall auf, in welchem sich der höchste gemessene Vakuumdruckwert (d. h. daß größte Vakuum) mit zunehmender Zeit verringert aufgrund der Leckage von Luft bspw. an der Seite der Saugglocke 12 und der Verstopfung des Filters.

Nun wird ein der Druckveränderung oder den Werten P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_On+1 entsprechendes Signal über den Halbleiter-Drucksensor 16 und den Verstärker 20 zu dem A/D-Wandler 22 übertragen, wo es in ein digitales Nachweissignal S₂ umgewandelt wird, welches wiederum Eingabesignal für die Überwachungseinrichtung 30 ist.

In der Überwachungseinrichtung 30 legt der Maximalwert (P_max) des Druckwechsels P₀₁ zunächst eine erste Adresse des EE(E²)PROM 32 fest und wird dann dort gespeichert.

Danach wird der Schalter S_w3 auf EIN geschaltet, um die Grenzwerte PH_1a, PH_1b, welche ebenfalls in dem EE(E²)PROM 32 gespeichert werden zu berechnen und einen Differenzdruck A dazwischen zu erzeugen. Zu diesem Zeitpunkt wird-eine zweite Adresse in dem EE(E²)PROM 32 festgelegt und 70% (Grenzwert PH_1a) des Maximalwertes (P_max) werden berechnet und unter der festgelegten zweiten Adresse gespeichert. Dann wird eine dritte Adresse in dem EE(E²)PROM 32 festgelegt und 65 % (Grenzwert PH_1b) des Maximalwertes (P_max) werden berechnet und unter der festgelegten dritten Adresse gespeichert.

Nun wird ein Druckschalter-Signal S₆, welches von den Druck­ änderungen P₀₁ bis P_On+1 abhängt, kontinuierlich in Verbindung mit den Grenzwerten PH_1a, PH_1b erzeugt. Das Druckschalter-Signal S₆ wird zur vollständig geschlossenen Überwachung verschiedener Überwachungs­ betriebseinrichtungen, wie einer Fördereinrichtung und zur Informa­ tionsverarbeitung in einem FMS (flexiblen Fertigungssystem), einer CIM (Fertigungssteuerung im Datenverbund), etc. verwendet.

Dann wird eine vierte Adresse des EE(E²)PROM 32 festgelegt und 80% (Grenzwert Ph) des Maximalwertes (P_max) werden berechnet und unter der festgelegten vierten Adresse gespeichert.

Der Grenzwert Ph stellt einen um 20% des normalerweise höchsten gemessenen Vakuumdruckwertes, d. h. des Maximalwertes (P_max) der Druckänderung P₀₁, dar. Druckwerte unterhalb des Grenzwertes Ph werden als unerwünschte und ungeeignete Druckzustände betrachtet.

Dann werden die ungeeigneten Druckwerte- oder änderungen unterhalb des Grenzwertes Ph entsprechend dem Vakuum, das die Fehlerfrüh­ erkennung festlegt, d. h. die Druckänderungen P₀₂ bis P_On+1(welche bspw. jeweils dem digitalen Nachweissignal S₂ entsprechen) der Druckänderungen P₀₁ bis P_On+1 sechs mal kumulativ gespeichert. Wenn die so gespeicherten ungeeigneten Druckwerte mit sechsmal gezählten ungeeigneten eingestellten Werten übereinstimmten, welche vorher durch die Schalter S_w1, S_w2 und S_w3 eingestellt wurden, wird das Fehlerfrüherkennung-Signal S₄ kontinuierlich erzeugt.

Ein Prozeß zur Erzeugung des Fehlerfrüherkennung-Signals S₄ wird bspw. durch die Ausführung des Programmes der Über­ wachungseinrichtung 30 ausgeführt. Die Information eines solchen Prozesses wird in dem EE(E²)PROM 32 zusätzlich ge­ speichert. Wird die Überwachungseinrichtung 30 erneut einge­ schaltet, nachdem die Stromquelle ausgeschaltet wurde, wird das Fehlerfrüherkennung-Signal 54 auf der Basis des Betriebs­ zustandes der Überwachungseinrichtung 30 erzeugt, wodurch es ermöglicht wird, die Information erneut aus dem EE(E²)PROM 32 zu lesen.

Wie oben beschrieben werden die Grenzwerte PH PH und Ph abhängig von dem Maximalwert (P_max) der Druckänderung P₀₁ automatisch und genau eingestellt.

Nebenbei bemerkt, können die 70%, 65% und 80% der Grenz­ werte PH_1a, PH_1b und Ph geändert werden. Diese geänderten Werte können durch EIN-Schalten des Rückstell-Schalters S_w4 gelöscht werden. Danach können die Aufwärts/Abwärts-Schalter S_w1, S_w2 EIN-geschaltet werden, um diese Werte unter Verwen­ dung des Schalters S_w3 einzustellen, nachdem bspw. ein Wechsel des numerischen Wertes auf der Basis eines 5%-Schritts ausge­ führt wurde.

Bei der oben beschriebenen Ausführungsform werden die Grenz­ werte PH_1a, PH_1b und der Grenzwert Ph digital in Anhängigkeit des Maximalwertes (P_max) der Druckänderung P₀₁ eingestellt. Alternativ ist jedoch eine die Druckänderung P₀₁ anzeigende Druckkurve als Daten gespeichert und die Grenzwerte PH_1a, PH_1b und Ph können in der gleichen Weise wie oben beschrieben eingestellt werden. Fig. 6 veranschaulicht die Erfindung die darauf gerichtet ist, Ejektorprobleme zu beseitigen. Die Vakuum­ einheit 132 hat eine Vakuumerzeugungsseite mit einem Ejektor 127 und eine Saugglockenseite. Es ist eine Einstelleinheit 122 vorhanden, welche einen Sensor 124 zum Feststellen des Vakuumniveaus auf der Vakuumerzeugungsseite (und im besonderen im Ejektor 127), einen Sensor 126 zum Feststellen der Vakuumwerte auf der Saugglockenseite und eine Steuereinheit 128 umfaßt. Verstopfungen und ähnliche Probleme können bei dem Ejektor 127 auftreten und so dessen Leistung und damit die Leistung der gesamten Vakuumeinheit 132 verringern. Vorher festgelegte kritische Werte des durch den Sensor 126 festgestellten Vakuumniveaus (wie zum Beispiel diagnostische und Steuerniveaus, welche später beschrieben werden, zum Erzeugen der Signale S4 und S6) werden durch die Steuereinheit 128 als Funktion der vom Sensor 124 festgestellten Vakuumniveaus automatisch angepaßt. Die Anpassung kann zum Beispiel bedeuten, daß, wenn durch Sensor 124 festgestellt wird, daß die Leistung der Vakuumerzeugungs­ seite um 50% abfällt, ein vorher festgelegter, festgestellter kritischer Wert auf der Saugglockenseite, die durch Sensor 126 erfaßt wird, ebenso um 50% verringert wird.

Fig. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Vakuumeinheit als Alternative zu der Vakuumeinheit 50 gemäß Fig. 4, in welcher der Ejektor integriert ist. Die vorliegende Ausführungsform ist derart aufgebaut, daß eine (nicht dargestellte) Vakuumpumpe als Alternative zu dem Ejektor 54 mit dem Ausgang 52 verbunden ist.

Der Aufbau der vorliegenden Vakuumeinheit und ihr Betrieb und Wirkungen sind identisch mit denen der Vakuumeinheit 50 gemäß Fig. 4, so daß auf ihre detaillierte Beschreibung verzichtet wird.

Es bedarf keiner weiteren Erläuterung, daß die Vakuumeinheiten 50 gemäß den Fig. 4 und 8 genauso gut mehrfach nebeneinander und verzweigt zueinander vorgesehen sein können.

Wie in Fig. 9 dargestellt, ist ein Verteiler 88 neben einer Serienübertragungs-Überwachungseinrichtung 90 angeordnet. Sie können auch miteinander über einen Verbindungsblock 96 mit Verbindungs­ gliedern und darin angeordneten Übertragungswegen verbunden sein, zu welchen Signale und Informationen von einem elektromagnetischen Ventil 92 und einem Drucksensor 94 übertragen werden.

Andere Ausführungsformen der Vakuum-Druck-Information-Verar­ beitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung werden hiernach unter Bezugnahme auf die Fig. 10 bis 15 beschrieben.

Das Vakuumüberwachungsgerät 150 gemäß Fig. 10 und 11 enthält im wesentlichen einen Ventilblock 152, einen Ejektor 154, eine Nachweiseinheit 156, einen Filter 158 und ein Verbindungsglied 160. Der Ventilblock 152 hat Lufteinlaßöffnungen 162, 164, 166, welche darin vorgesehen sind, ein Ringventil 153, welches darin für die Zufuhr von Druckluft zu dem Ejektor 154 und zur Sperrung derselben vorgesehen ist, sowie erste und zweite elektromagnetische Ventile 168, 170, welche an der oberen Oberfläche angebracht sind. Das erste elektromagnetische Ventil 168 wird als Druckluftzufuhrventil eingesetzt, während das zweite elektromagnetische Ventil 170 als ein elektrisches Ventil für die Vakuumunterbrechung dient. Für die Versorgung an elektrischem Strom und ein Überwachungssignal, wie bspw. ein AN/AUS-Signal an der Außenseite über (nicht dargestellte) Leiter, sind die ersten und zweiten elektromagnetischen Ventile 168 und 170 mit ersten und zweiten Verbindungsstücken 168a, 170a ausgestattet. Der Ejektor 154 ist benachbart dem Ventilblock 152 vorgesehen. Darüber hinaus hat der Ejektor 154 eine Düse 155 und einen Diffusor 157 in sich angeordnet und einen Schalldämpfer 172, welcher auf der oberen Oberfläche sitzt. Der Schalldämpfer 172 dient zur Dämpfung des Schalles, welcher von der Druckluft herrührt, welche von dem Diffusor 157 des Ejektors 154 erzeugt wird. Die Überwachungseinrichtung 156 ermittelt den Druck unter Vakuum und schließt den Halbleiter-Drucksensor 116, welcher darin angeordnet ist, ein. Die Nachweiseinheit 156 enthält auch, auf ihrer oberen Fläche, ein Verbindungsstück 174, eine digitale Anzeigeeinrichtung 176, einen Einstell-Schalter S_w1 für das Auf­ wärtsschalten des Wertes, einen Einstell-Schalter S_w2 für das Abwärtsschalten eines Wertes, einen Setzschalter S_w3, einen Rück­ stell-Schalter S_w4, und Anzeigeeinheiten 178, 180. Die digitale Anzeigeeinheit 176 kann visuelle Darstellungen eines "Fehlers" oder eines "Zusammenbruchs", etc. in englischer oder einer anderen Sprache wiedergeben. Der Filter 158 hat einen darin angeordneten Hauptkörper 161, welcher hydrophobes Material aufweisen kann und dafür sorgt, daß Wasser oder Feuchtigkeit an einem Eindringen gehindert wird. Darüber hinaus ist der Filter 158 abnehmbar an dem Verbindungsglied 160 mit einer Kontrolleinrichtung 162 angebracht. Jede der Komponenten, wie Ventilblock 152, Ejektor 154, Schall­ dämpfer 172, Nachweiseinheit 156 und Filter 158 stehen derart in Verbindung miteinander, daß unter Druck stehende Fluide durch jede dieser Komponenten strömen kann. Insbesondere sind in der Nachweis­ einheit 156 der Halbleiter-Drucksensor 16 (einschließlich eines Differentialdruck-Sensors oder eines Kapazitäts-Sensors) enthaltend eine piezoelektrische Einrichtung od. dgl., der Konstantstrom-Kreis 18, der Verstärker 20, der A/D-Wandler 22, die Überwachungs­ einrichtung 30, der EE(E²)PROM 32, der LCD-Treiber 34, etc. wie bereits in Fig. 1 beschrieben, enthalten. Das Verbindungsstück 174 kann elektrisch mit Leitern verbunden sein, um das Fehler-Früh­ erkennung-Signal S₄ und das Druckschalter-Signal S₆, welches in Fig. 1 gezeigt ist, zu erzeugen. Das Verbindungsstück 174 kann auch mit einer Stromquelle relativ zu der Nachweiseinheit 156 verbunden sein sowie mit einer Überwachungssignalleitung oder einem Überwachungs­ signalleiter. Darüber hinaus kann das Verbindungsstück 174 eine Verbindungsfunktion für andere Vakuumüberwachungseinrichtungen, ein externes Überwachungsgerät, etc. aufweisen, so daß eine Druck­ nachweisinformation oder Überwachungsinformation mitgeteilt wird.

Wenn bei einem so aufgebauten Vakuumüberwachungsgerät ein den Betrieb auslösendes Startsignal als erstes eingegeben wird, wird Druckluft von der Lufteinlaßöffnung 166 eingeführt, um ein Vakuum in dem Ejektor 154 zu erzeugen. In diesem Fall sind die Luftzufuhr­ öffnungen 162, 164 mit einer Abdeckkappe verschlossen. Das so erzeugte Vakuum bringt die Saugglocke 12, welche an eine (nicht dargestellte) Öffnung des Verbindungsgliedes 160 angeschlossen ist, auf einen negativen Druck, d. h. auf ein Vakuum. Somit zieht die Saugglocke 12 das Werkstück W an und hält es in Übereinstimmung mit dem Betrieb einer Fördereinrichtung, bspw. eines Roboters. Dann wird die Saugglocke 12 abgeschaltet, um das Werkstück W freizugeben. Als Ergebnis wird der Druck (das Vakuum), welcher bzw. welches aufeinanderfolgend an dem Halbleiter-Drucksensor 16 in der Überwa­ chungseinheit 156 ansteht, in der Form von Druckwerten dargestellt, welche aufeinanderfolgend variieren, wie in Fig. 7 darge­ stellt, d. h. in Form der Werte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_On+1. Wie man aus der Zeichnung zu diesem Zeitpunkt leicht erkennt, tritt häufig der Fall ein, daß der höchste gemessene Vakuumdruckwert (d. h. das größte Vakuum) mit der Zeit aufgrund von Leckagen des Vakuumdruckes an der Saugkappe 12 und bspw. aufgrund eines Verstopfens des Filters 158 abnimmt.

Ein Signal entsprechend jedem der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_On+1 wird über den Halbleiter-Drucksensor 16 und den Verstärker 20 an den A/D-Wandler 22 gelegt, wo es in ein digitales Nachweissignal S₂ umgewandelt wird, welches wiederum der Überwachungseinrichtung 30 eingegeben wird.

Die Überwachungseinrichtung 30 besitzt ein darin gespeichertes Programm, welches später beschrieben wird. Zunächst geben Extrem­ werte der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_On+1 unter einem vorbestimmten Mode eine erste Adresse des EE(E²)PROM 32 und werden darin gespei­ chert. Die zuvor erwähnten Werte werden aufeinanderfolgend auf der LCD 38 der digitalen Anzeigeeinheit 176 zusammen mit den vorherigen jeweiligen Werten angezeigt. Dann wird′ der Mode von dem vorbestimmten Mode zu einem anderen umgeschaltet und der Grenzwert für die Erzeugung des Druckschalter-Signals S₆ relativ zu jedem der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_On+1 d. h. ein sogenannter Differenti­ aldruck PH₁, wird mittels der Schalter S_w1 bis S_w4 unter diesem Mode eingestellt. Danach wird der Mode wieder in einen anderen geändert, um ein eine Fehler-Früherkennung bestimmendes Vakuum Ph ein zu­ stellen, welches einen Punkt definiert, welcher bspw. um 20% des normalen höchsten gemessenen Vakuumdruckwertes (des größten Vakuums) reduziert ist, als ein Druckwert für die Beurtei­ lung einer Fehler-Früherkennung. Dann bestimmt das so einge­ stellte Vakuum eine dritte Adresse und wird dort in dem EE(E² )PROM 32 gespeichert. Eine arithmetische Operation wird auf den Differentialdruck PH₁ ausgeführt. Das Ergebnis der Operation kann in dem EE(E² )PROM 32 als ein Wert gespeichert werden, welcher mehrere Prozent bis mehrere 10% von dem maximalen Wert P_max der Druckänderung P₀₁ verringert ist.

Weiterhin werden unerwünschte oder unsachgemäße Druckwerte unterhalb des eine Fehler-Früherkennung bestimmenden Vakuums Ph unter den Druckwerten P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_ON+1 sechsmal aufgestellt (für eine Einstellung gezählt). Diese eingestel­ lten Werte od. dgl. werden sichtbar auf der LCD 38 angezeigt.

Nachdem die zuvor beschriebenen Druckwerte bestimmt worden sind wird das Druckschalter-Signal S₆ entsprechend dem Differentialdruck PH₁ bezüglich jedes der Druckwerte P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_ON+1 oder einer Information über den Differential­ druck PH₁ kontinuierlich erzeugt. Es kann dann für eine vollständige Überwachung einer Fördereinrichtung, und zur Informationsverarbeitung in einem FMS, einem CIM, etc. benutzt werden.

Auf der anderen Seite werden unerwünschte oder unsachgemäße Vakuum-Wert-Daten Pd (bspw. entsprechend dem digitalen Nach­ weissignal S₂ als Signal) unterhalb des Grenzwertes Ph unter den Druckwerten P₀₁, P₀₂, P₀₃, . . ., P_ON+1 fortlaufend sechsmal erzeugt. Dies bedeutet, daß, wenn die Zählung der unsachge­ mäßen Vakuum-Wert-Daten Pd sechsmal ausgeführt wird, das Fehler-Früherkennung-Signal S₄ fortlaufend erzeugt wird.

Zu diesem Zeitpunkt wird die Information über die Erzeugung des Fehler-Früherkennung-Signals S₄ od. dgl. in dem EE(E² )PROM 32 gespeichert und die Information kann wieder aus dem EE(E² )PROM 32 ausgelesen werden, wenn die Überwachungseinrich­ tung nach einem Abstellen der Stromversorgung wieder einge­ schaltet wird. Die aufeinanderfolgende Überwachung der Über­ wachungseinrichtung 30 für die Erzeugung des Fehler-Früher­ kennung-Signals S₄ auf der Basis des in dem ROM 30b gespei­ cherten Programms wird nunmehr nachfolgend beschrieben.

Das vorhandene Programm wird in einer solchen Weise ausge­ führt, daß die Überwachungseinrichtung 30 ihren Betrieb auf den Eingang des Betriebsstartanweisungssignals hin für das gesamte Gerät an die Überwachungseinrichtung 30 beginnt (vgl. Fig. 14 und 15). Dann folgt:

• 1) Ein Verfahren zum Aufnehmen des Fehler-Früherkennung-Sig­ nals S₄ wird in dem Schritt 101 (vgl. Fig. 14 und 15) ausgeführt.
• 2) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht das Feh­ ler- Früherkennung-Signal S₄ erzeugt wurde, wird in Schritt 102 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, schreitet die Routine zu Schritt 103 fort. Wenn die Antwort NEIN ist, dann geht die Routine zu Schritt 105 über.
• 3) Ein Verfahren zum Bestimmen, ob oder ob nicht ein AN-Sig­ nal erzeugt worden ist, wenn der Schalter S_W4 angeschaltet worden ist, wird in Schritt 103 ausgeführt. Wenn die Antwort NEIN ist, dann kehrt die Routine nach Schritt 103 zurück. Wenn die Antwort JA ist, dann geht die Routine-Prozedur zum nächsten Schritt 104 über.
• 4) Ein Verfahren zum Unterbrechen der Lieferung des Fehler- Früherkennung-Signals S₄ von der Überwachungseinrichtung 30 wird in Stufe 104 ausgeführt.
• Ein Verfahren zum Unterbrechen der Lieferung des Fehler-Früh­ erkennung-Signals S₄, welches bis jetzt kontinuierlich in den Schritten 101 bis 104 von der Überwachungseinrichtung 30 er­ zeugt wurde, wird ausgeführt.
• 5) Ein Verfahren, welches ermöglicht, daß die Überwachungs­ einrichtung 30 das digitale Nachweissignal S₂ aufnimmt, wird in Schritt 105 ausgeführt.
• 6) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht das Druck­ schalter-Signal S₆ hergestellt worden ist, wird in Schritt 106 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, dann wird der Routine-Pro­ zeß zum nächsten Schritt 107 weitergeführt. Wenn die Ant­ wort NEIN ist, dann geht die Routine zu Schritt 110 über.
• 7) Ein Verfahren zum Überführen einer Marke _SONF auf 1, wenn das Druckschalter-Signal S₆ sich in einem AN-Zustand befindet, wird in Schritt 107 ausgeführt. Wenn das Druckschalter-Signal S₆ sich in einem AUS-Zustand befindet, dann wird die Marke _SONF auf 0 gebracht; daher ist die Marke _SONF verschwunden (zurückgestellt).
• 8) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht die Va­ kuum- Wert-Daten Pd (der höchste Vakuumdruckwert des digitalen Nachweissignals S₂) größer ist als das eine Fehler-Früherken­ nung bestimmende Vakuum Ph (wobei Pd größer Ph), wird in Schritt 108 ausgeführt. Wenn die Antwort NEIN ist, so ergibt sich, daß die Vakuum-Wert-Daten Pd normal sind; demzufolge geht die Routine zu dem Zustand RÜCKKEHR über. Wenn die Ant­ wort JA ist, dann schreitet die Routine zu dem nächsten Schritt 109 fort.
• 9) Ein Verfahren zum Überführen einer Marke _ECF auf 1, wenn die Vakuum-Wert-Daten Pd das eine Fehler-Früherkennung bestim­ mende Vakuum Ph zu einem Zeitpunkt überschreitet, zu welchem das Druckschalter-Signal S₆ sich in einem AN-Zustand befindet, wird in Schritt 109 ausgeführt. Danach geht die Routine zu RÜCKKEHR über.
• 10) Wenn die Antwort in Schritt 106 NEIN ist, dann wird ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht die Marke _SONF auf 1 gebracht worden ist, in Schritt 110 ausgeführt. Wenn die Antwort NEIN ist, dann geht der Routine-Prozeß zu RÜCKKEHR über. Wenn die Antwort JA ist, dann schreitet der Routine-Pro­ zeß zum nächsten Schritt 111 weiter.
• 11) Ein Verfahren zur Bestimmung, ob oder ob nicht die Marke _ECF auf 1 gebracht worden ist, wird in Schritt 111 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, dann schreitet der Routine-Prozeß zu Schritt 115 weiter. Wenn die Antwort NEIN ist, dann schreitet die Routine zum nächsten Schritt 112 weiter.
• 12) Ein Verfahren zum Ausführen eines Zuwachses (Inkrements) in der unerwünschten oder unsachgemäßen Zählung (sechsfach) wird in Schritt 112 ausgeführt.
• 13) Ein Verfahren zum Vergleich jedes Wertes, welcher beim Ausführen des Zuwachses in der unsachgemäßen Zählung (sechs­ fach) erhalten wurde, mit jedem von eingestellten Zählungen (sechsfach), um auf der Basis des Vergleichsergebnisses zu entscheiden, ob oder ob nicht eine Koinzidenz miteinander vor­ liegt, wird in Schritt 113 ausgeführt. Wenn die Antwort JA ist, dann schreitet die Routine zu dem nächsten Schritt 114 fort. Wenn die Antwort NEIN ist, dann geht die Routine zu Schritt 116 über.
• 14) Ein Verfahren zur Lieferung des Fehler-Früherkennung Signals S₄ von der Überwachungseinrichtung, vorausgesetzt, daß jeder Teilwert (sechsfach) in dem Schritt 113 als jeweils ein­ gestellter Zähler (sechsfach) angesehen wird, wird in Schritt 114 ausgeführt. Danach geht das Routine-Verfahren zu RÜCKKEHR über, um den nächsten Nachweisprozeß zu beginnen.
• 15) Wenn die Antwort in Schritt 106 JA ist, d. h. wenn die Vakuum-Wert-Daten Pd das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph in dem AN-Zustand des Druckschalter-Signals S₆ über­ schreiten, dann wird ein Verfahren zum Überführen seines uner­ wünschten Ergebnisses in einen Normalzustand in Schritt 115 ausgeführt, um die unerwünschte oder unsachgemäße Zählung zu löschen.
• 16) Ein Verfahren zum Überführen der Marke _ECF auf 0 wird in Schritt 116 ausgeführt, gefolgt von dem nächsten Schritt 117.
• 17) Ein Verfahren zum Überführen der Marke _SONF auf 0 wird in Schritt 117 ausgeführt. Danach geht die Routine zu RÜCKKEHR über, um den nächsten Bestimmungsprozeß wieder zu beginnen.

Wenn somit die unrichtige Zählung bezüglich des eine Fehler-Früh­ erkennung bestimmenden Vakuums Ph mit der voreingestellten Anzahl von Malen (Wiederholungen) zusammenfällt, d. h. die vor­ eingestellte Zählung zu dem Zeitpunkt, zu welchem der höchste gemessenen Vakuumdruckwert mit der Zeit abgebaut wird, bspw. durch wiederholtes Ausführen eines Förderprozesses des Werkstückes W, dann wird das Fehler-Früherkennung-Signal S₄ erzeugt, so daß im vornherein eine wirksame Information über den Zeitpunkt zur Verfügung gestellt wird, zu welcher Vorrichtungen, wie der Filter, der Ejektor, etc. durch neue ersetzt werden sollten, aufgrund eines Verstopfens des Filters 158, eines Verschleißes der Ausführung des Ejektors, etc. Zusätzlich zu der Lieferung einer solchen wirksamen Information können die Druckwerte, bspw. wie das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph, der Differentialdruck PH₁, etc. genau und einfach aufgestellt und deutlich zusammen mit dem herrschenden Druckwert angezeigt werden.

Bei dem veranschaulichten Ausführungsbeispiel ist die Anzahl der Male (Wiederholung) unerwünschter oder unsachgemäßer Zähler, bei welchen die Vakuum-Wert-Daten das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph nicht erreichen können, und die voreingestell­ te Anzahl von Malen (Wiederholungen) N (eingestellte Anzahl) sechs in Folge. Darüber hinaus wird das Fehler-Früherkennung-Signal S₄ erzeugt, dies bedeutet, daß das Fehler-Früherkennung-Signal S₄, welches kennzeichnend ist für den Druckwert, welcher den normalen Werkstückförderungs­ vorgang od. dgl. unmöglich macht, erzeugt wird, um eine Infor­ mation über eine Vorbeurteilung zu geben.

Ein Kriterium für eine derartige vorherige Beurteilung kann abhängig von dem Aufbau und dem Betriebszustand der Förderein­ richtung geändert werden. So wird ein derartiges Kriterium bspw. angewendet in einem Fall, in welchem ein wirksamer und experimenteller Wert, bspw. ein einmal erzeugtes Vakuum-Wert-Da­ tum Pd, das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph nicht erreichen kann, in einem Fall, in welchem die Rate, in welcher das Vakuum-Wert-Datum Pd das eine Fehler-Früherkennung bestimmende Vakuum Ph innerhalb einer vorbestimmten Wiederho­ lungszahl nicht erreichen kann, einen vorbestimmten Wert über­ schreitet, und in einem Fall, in welchem die Rate, in welcher das Vakuum-Wert-Datum Pd das eine Fehler-Früherkennung be­ stimmende Vakuum Ph während einer vorbestimmten Zeitperiode nicht erreichen kann, einen vorgegebenen Wert überschreitet. In diesem Fall kann ein auf dem zuvor erörterten Kriterium beruhendes Programm ausgeführt werden, so daß ein Fehler-Früh­ erkennung-Signal S₄ in ähnlicher Weise, wie bei dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel, erzeugt wird.

Fig. 12 zeigt eine Ausführungsform verschieden von der Ausfüh­ rungsform betreffend das Vakuumüberwachungsgerät 150 von- Fig. 11, in welchem der Ejektor eingebaut worden ist. Diese Ausfüh­ rungsform ist derart aufgebaut, daß eine Vakuumpumpe (nicht dargestellt) als eine Alternative zu dem Ejektor 154 an eine Öffnung 166 angekoppelt ist. Daher hat ein Ringventil 153 im wesentlichen die gleiche Gestalt wie das Ringventil nach Fig. 8. Das Ringventil 153 wird jedoch mittels einer Wendelfeder 180 zurückgestellt. Der übrige Aufbau des vorliegenden Ausfüh­ rungsbeispiels ist identisch zu dem des Vakuumüberwachungsgerätes 150 von Fig. 11, eine Einzelbeschreibung kann daher entfallen. Die Betriebsweisen und Wirkungen des Vakuumüberwachungsgerätes 150, welches in Fig. 12 veranschaulicht ist, sind im wesentlichen die gleichen wie diejenigen des Vakuumüberwachungsgerätes nach Fig. 11.

Weiterhin können die in den Fig. 11 und 12 veranschaulichten Vakuumüberwachungsgeräte mehrfach hintereinander geschaltet und über Leitungen miteinander verbunden vorgesehen sein. Das Vakuum­ überwachungsgerät kann so aufgebaut und eingestellt sein, daß es die in Fig. 5 veranschaulichte Anordnung hat, welche in der japanischen Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 63-154900 beispielsweise offenbart ist. Darüber hinaus können Ventile und Sensorüberwachungs­ teile (Bezugsziffern 168a, 170a, 174 in der vorliegenden Aus­ führungsform) integral ausgebildet sein, um Verfahren, bspw. Überwachung von elektromagnetischen Ventilen, Bestätigung für die Anziehung des Werkstückes W, Früherkennung eines Fehlers und AN/AUS-Über­ wachung jedes Ventils auszufahren. Bei dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel werden die Grenzwerte in digitaler Form bezüglich des maximalen Wertes der Druckwerte, welche mit der Zeit variieren, aufgestellt. Alternativ zu dieser Verfahrensweise gibt es ein Verfahren, bei welchem Informationen über Kurven, welche für Druckänderungen charakteristisch sind, gespeichert werden; dabei können verschiedene Grenzwerte, basierend auf der Kurveninformation, eingestellt werden.

Die Vakuumeinheit nach der vorliegenden Erfindung bringt folgende Vorteile mit sich:
Innere Drücke der Vakuumeinheit werden von einem Drucksensor festgestellt, welcher stromaufwärtsseitig und stromabwärtsseitig wenigstens einer der Komponenten, welche in der Vakuumeinheit vorgesehen sind, angeordnet ist. Darüber hinaus werden Grenzwerte relativ zu den internen Drücken durch Einstellmittel eingestellt. Ein festgestellter Druckwert wird mit diesen Grenzwerten verglichen, wodurch ein Fehler in dem Betrieb der Vakuumeinheit erkannt wird. Dabei kann ein Fehler, bspw. das Verstopfen eines Filters, aus Veränderungen in dem Druck der einzelnen Komponenten und demzufolge eine Fehler oder Ausfallstelle, genau ermittelt werden. Es ist daher möglich, die Ausfallstellen oder -teile in der Vakuumeinheit schnell zu reparieren oder durch neue zu ersetzen.

Selbstverständlich können ausgehend von den dargestellten Aus­ führungsbeispielen eine Reihe von Änderungen und Modifikationen vorgenommen werden, ohne von dem Erfindungsgedanken, wie er vorstehend offenbart worden ist, abzuweichen.

Claims (5)

1. Druckinformations-Verarbeitungseinrichtung mit:

• a) einem Vakuumgenerator zum Erzeugen eines Vakuums;
• b) einer ersten Nachweiseinrichtung (124) zur Feststellung eines von dem Vakuumgenerator erzeugten Druckwertes;
• c) einem Verbindungselement (12, 60) zur Kopplung des Vakuumgenerators an ein Werkstück (61);
• d) einer zweiten Nachweiseinrichtung (126) zur Feststellung eines Vakuumdruckwertes in dem Verbindungselement (12, 60);
• e) einer Festlegungseinrichtung (128) zur Festlegung, ob ein vorher festgelegter kritischer Wert erreicht wurde, wobei die Festlegungseinrichtung den Vakuumdruckwert des Verbindungselementes (12, 60) mit dem vorher festgeleg­ ten kritischen Wert vergleicht und wobei der vorher festgelegte kritische Wert anschließend in Abhängigkeit von dem Vakuumdruckwert des Vakuumgenerators angepaßt wird, um einen angepaßten kritischen Wert zu bilden; und
• f) eine Ausgabeeinrichtung zur Steuerung einer externen Einrichtung, wobei der angepaßte kritische Wert einem Vakuumdruckwert in einem vorher festgelegten Druck­ bereich entspricht, welcher durch von der ersten Nach­ weiseinrichtung festgestellte Vakuumdruckwerte bestimmt wird, so daß die Ausgabeeinrichtung aktiviert wird, wenn der Vakuumdruckwert des Verbindungselements (12, 60) innerhalb des vorher festgelegten Druckbereichs liegt.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der vorher festgelegte kritische Wert dann als erreicht festgelegt wird, wenn ein Extremwert (lokales Maximum) des Vakuumdruckwertes des Verbindungselements (12, 60) kleiner ist als der angepaßte kritische Wert.

3. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zur mehrfachen Feststellung, daß das Vakuumniveau des Verbindungselements (12, 60) ein lokales Maximum hat, welches kleiner ist als der angepaßte kritische Wert, wobei die Festlegungseinrichtung bestimmt, daß der kritische Wert dann erreicht wird, wenn die Häufigkeit mit der das Vakuumni­ veau des Verbindungselements (12, 60) ein lokales Maximum erreicht, welches kleiner ist als der angepaßte kritische Wert, eine vorher festgelegte Anzahl überschreitet.

4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Vakuumgenerator einen Ejektor (127), aufweist, und daß die erste Nachweiseinrichtung sich nahe des Ejektors (127) befindet und eine Einrichtung zum Nachweisen eines Vakuumdruckwertes umfaßt.

5. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Anzeigeeinrichtung zum digitalen Anzeigen des Vakuumdruck­ wertes des Vakuumgenerators.