JP3269041B2 - ノズル詰まり検出装置 - Google Patents
ノズル詰まり検出装置Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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- G01L27/007—Malfunction diagnosis, i.e. diagnosing a sensor defect
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品装着装置
における吸着ノズルのノズル詰まりや誤装着を検出する
ノズル詰まり検出装置およびノズル詰まり検出方法に関
するものである。
における吸着ノズルのノズル詰まりや誤装着を検出する
ノズル詰まり検出装置およびノズル詰まり検出方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品を吸着する吸着ノズルでは、電
子部品を吸着する際にキャリアテープの微少な切断片を
吸引したり、基板上のクリーム半田などを吸引すること
があり、これら吸引した切断片やクリーム半田が、ノズ
ル孔の内周面に付着・蓄積してノズル孔を詰まらせるこ
とがある。また、吸着すべき電子部品に対応しない吸着
ノズルを誤って装着してしまうことがある。これらは、
電子部品の吸着ミスや装着ミスの原因となる。従来、こ
の種のノズル詰まりの検出方法では、吸着ノズルと真空
吸引手段とを連通する真空通路に圧力センサを介設し、
圧力センサの実圧力値と設計圧力値とを比較すること
で、吸着ノズルのノズル詰まりを、或いはノズル径の異
なる吸着ノズルの誤装着を検出するようにしている。ま
た、カメラでノズル孔を撮像してノズル孔の詰まりを検
出するものも知られている（例えば特開平６−２０９１
８９号公報）。
子部品を吸着する際にキャリアテープの微少な切断片を
吸引したり、基板上のクリーム半田などを吸引すること
があり、これら吸引した切断片やクリーム半田が、ノズ
ル孔の内周面に付着・蓄積してノズル孔を詰まらせるこ
とがある。また、吸着すべき電子部品に対応しない吸着
ノズルを誤って装着してしまうことがある。これらは、
電子部品の吸着ミスや装着ミスの原因となる。従来、こ
の種のノズル詰まりの検出方法では、吸着ノズルと真空
吸引手段とを連通する真空通路に圧力センサを介設し、
圧力センサの実圧力値と設計圧力値とを比較すること
で、吸着ノズルのノズル詰まりを、或いはノズル径の異
なる吸着ノズルの誤装着を検出するようにしている。ま
た、カメラでノズル孔を撮像してノズル孔の詰まりを検
出するものも知られている（例えば特開平６−２０９１
８９号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の圧力
による検出方法では、ノズル径の小さい吸着ノズルの場
合、詰まりを生じた吸着ノズルの実圧力値と設計圧力値
との差が極めて小さくなってしまうため、誤検出が生じ
易い問題があった。また、ノズル孔を撮像するもので
は、ノズル孔が軸心を貫通する専用のノズルを用いる必
要があると共に、撮像用の照明やカメラを必要とし、構
造が複雑になる問題があった。
による検出方法では、ノズル径の小さい吸着ノズルの場
合、詰まりを生じた吸着ノズルの実圧力値と設計圧力値
との差が極めて小さくなってしまうため、誤検出が生じ
易い問題があった。また、ノズル孔を撮像するもので
は、ノズル孔が軸心を貫通する専用のノズルを用いる必
要があると共に、撮像用の照明やカメラを必要とし、構
造が複雑になる問題があった。
【０００４】本発明は、吸着ノズルのノズル孔の断面積
とノズル孔を通過する吸引エアーの流量とが比例するこ
とに着目して為されたものであり、簡単な構造で、吸着
ノズルのノズル詰まりやノズル径の異なる吸着ノズルの
誤装着を、正確に検出することができるノズル詰まり検
出装置およびノズル詰まり検出方法を提供することをそ
の目的としている。
とノズル孔を通過する吸引エアーの流量とが比例するこ
とに着目して為されたものであり、簡単な構造で、吸着
ノズルのノズル詰まりやノズル径の異なる吸着ノズルの
誤装着を、正確に検出することができるノズル詰まり検
出装置およびノズル詰まり検出方法を提供することをそ
の目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のノズル詰まり検
出装置は、電子部品を吸着するための吸着ノズルのノズ
ル孔の詰まりおよび吸着ノズルの誤装着を検出するノズ
ル詰まり検出装置であって、ノズル孔を介してエアーを
吸引する真空吸引手段とノズル孔とを連通する真空通路
に介設され、ノズル孔を通過する吸引エアーの流量を計
測する流量計測手段と、流量計測手段で計測した実流量
と、予め記憶されているノズル孔の設計流量とを比較す
ることで、ノズル孔の詰まりおよび吸着ノズルの誤装着
を検出するノズル詰まり検出手段とを備えたことを特徴
とする。
出装置は、電子部品を吸着するための吸着ノズルのノズ
ル孔の詰まりおよび吸着ノズルの誤装着を検出するノズ
ル詰まり検出装置であって、ノズル孔を介してエアーを
吸引する真空吸引手段とノズル孔とを連通する真空通路
に介設され、ノズル孔を通過する吸引エアーの流量を計
測する流量計測手段と、流量計測手段で計測した実流量
と、予め記憶されているノズル孔の設計流量とを比較す
ることで、ノズル孔の詰まりおよび吸着ノズルの誤装着
を検出するノズル詰まり検出手段とを備えたことを特徴
とする。
【０００６】真空吸引手段の吸引圧力をほぼ一定とした
場合、ある断面積の通路を通過する吸引エアーの流量
は、通路の断面積に正比例する。このため、流量計測手
段によりノズル孔を通過する吸引エアーの流量を計測
し、この計測値と、予め計測しておいた新品の同一吸着
ノズルの設計流量とを比較することで、吸引エアーの流
量を実際に計測した吸着ノズルに、どの程度詰まりが生
じているかを検出することができる。この場合、流量計
測手段は、真空通路に組み込んでおけばよく、また吸着
ノズルは特殊な構造のものを用いる必要はない。
場合、ある断面積の通路を通過する吸引エアーの流量
は、通路の断面積に正比例する。このため、流量計測手
段によりノズル孔を通過する吸引エアーの流量を計測
し、この計測値と、予め計測しておいた新品の同一吸着
ノズルの設計流量とを比較することで、吸引エアーの流
量を実際に計測した吸着ノズルに、どの程度詰まりが生
じているかを検出することができる。この場合、流量計
測手段は、真空通路に組み込んでおけばよく、また吸着
ノズルは特殊な構造のものを用いる必要はない。
【０００７】この場合、真空通路には、真空吸引手段側
の真空通路と大気開放通路とを切り替える真空バルブが
介設されており、流量計測手段は、真空バルブから真空
吸引手段に至る真空通路に介設されていることが、好ま
しい。
の真空通路と大気開放通路とを切り替える真空バルブが
介設されており、流量計測手段は、真空バルブから真空
吸引手段に至る真空通路に介設されていることが、好ま
しい。
【０００８】この構成によれば、電子部品を装着する際
に、真空バルブを真空通路側から大気開放通路側に切り
替えるが、このとき、吸着ノズル側の真空通路に多量の
エアーが流れ込むことになる。このため、微量な流量を
測定する流量計測手段をこの通路部分に組み込むこと
は、故障等を誘発するため、好ましくない。一方、真空
バルブから真空吸引手段に至る真空通路では、吸引エア
ーのみ流れるため、多量のエアーが流れ込むことがな
く、流量計測手段を安定に計測動作させることができ、
精度の高い流量計測が可能になる。
に、真空バルブを真空通路側から大気開放通路側に切り
替えるが、このとき、吸着ノズル側の真空通路に多量の
エアーが流れ込むことになる。このため、微量な流量を
測定する流量計測手段をこの通路部分に組み込むこと
は、故障等を誘発するため、好ましくない。一方、真空
バルブから真空吸引手段に至る真空通路では、吸引エア
ーのみ流れるため、多量のエアーが流れ込むことがな
く、流量計測手段を安定に計測動作させることができ、
精度の高い流量計測が可能になる。
【０００９】これらの場合、流量計測手段は、吸引エア
ーの流れ方向に沿って配設した板状部材の上流側と下流
側の温度差に基づいて流量を計測する流量計であること
が、好ましい。
ーの流れ方向に沿って配設した板状部材の上流側と下流
側の温度差に基づいて流量を計測する流量計であること
が、好ましい。
【００１０】この構成によれば、吸引エアーの微量な流
量を正確に計測することができる。特に、ノズル孔径の
小さい吸着ノズルであっても、その詰まりを正確に検出
することができる。
量を正確に計測することができる。特に、ノズル孔径の
小さい吸着ノズルであっても、その詰まりを正確に検出
することができる。
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の一実施形態に係るノズル詰まり検出装置およびノズ
ル詰まり検出方法を適用した電子部品装着装置について
説明する。図１は電子部品装着装置の側面図であり、図
２はその平面図である。両図に示すように、この電子部
品装着装置１は、装置本体２を挟んで電子部品Ａを供給
する供給系３と、電子部品Ａを基板Ｂに装着する装着系
４とを、相互に平行に配して構成されている。
明の一実施形態に係るノズル詰まり検出装置およびノズ
ル詰まり検出方法を適用した電子部品装着装置について
説明する。図１は電子部品装着装置の側面図であり、図
２はその平面図である。両図に示すように、この電子部
品装着装置１は、装置本体２を挟んで電子部品Ａを供給
する供給系３と、電子部品Ａを基板Ｂに装着する装着系
４とを、相互に平行に配して構成されている。
【００１４】装置本体２には、駆動系の主体を為すイン
デックスユニット１１と、これに連結された回転テーブ
ル１２と、回転テーブル１２の外周部に搭載した複数個
（１２個）の装着ヘッド１３とが設けられており、回転
テーブル１２は、インデックスユニット１１により、装
着ヘッド１３の個数に対応する間欠ピッチで間欠回転さ
れる。回転テーブル１２が間欠回転すると、各装着ヘッ
ド１３に搭載した吸着ノズル１４が供給系３および装着
系４に適宜臨み、供給系３から供給された電子部品Ａを
吸着した後、装着系４に回転搬送され、装着系４に導入
した基板Ｂにこれを装着する。
デックスユニット１１と、これに連結された回転テーブ
ル１２と、回転テーブル１２の外周部に搭載した複数個
（１２個）の装着ヘッド１３とが設けられており、回転
テーブル１２は、インデックスユニット１１により、装
着ヘッド１３の個数に対応する間欠ピッチで間欠回転さ
れる。回転テーブル１２が間欠回転すると、各装着ヘッ
ド１３に搭載した吸着ノズル１４が供給系３および装着
系４に適宜臨み、供給系３から供給された電子部品Ａを
吸着した後、装着系４に回転搬送され、装着系４に導入
した基板Ｂにこれを装着する。
【００１５】供給系３は、基板Ｂに装着する電子部品Ａ
の種類に応じた数のテープカセット２１を有し、多数の
テープカセット２１は、一対のガイドレール２２，２２
にスライド自在に案内された供給台２３に、横並びに着
脱自在に取り付けられている。供給台２３には、そのス
ライド方向にボールねじ２４が螺合しており、供給台２
３は、ボールねじ２４の一方の端に連結した送りモータ
２５の正逆回転により進退し、装着ヘッド１３の吸着位
置に所望のテープカセット２１を選択的に臨ませる。各
テープカセット２１には、所定のピッチで電子部品Ａが
装填されたキャリアテープＣが、テープリール２６に巻
回された状態で搭載されており、電子部品Ａは、テープ
リール２６から繰り出されたキャリアテープＣから随
時、吸着ノズル１４により吸着される。また、電子部品
Ａが吸着された後のキャリアテープＣは、適宜切断され
て廃棄される。
の種類に応じた数のテープカセット２１を有し、多数の
テープカセット２１は、一対のガイドレール２２，２２
にスライド自在に案内された供給台２３に、横並びに着
脱自在に取り付けられている。供給台２３には、そのス
ライド方向にボールねじ２４が螺合しており、供給台２
３は、ボールねじ２４の一方の端に連結した送りモータ
２５の正逆回転により進退し、装着ヘッド１３の吸着位
置に所望のテープカセット２１を選択的に臨ませる。各
テープカセット２１には、所定のピッチで電子部品Ａが
装填されたキャリアテープＣが、テープリール２６に巻
回された状態で搭載されており、電子部品Ａは、テープ
リール２６から繰り出されたキャリアテープＣから随
時、吸着ノズル１４により吸着される。また、電子部品
Ａが吸着された後のキャリアテープＣは、適宜切断され
て廃棄される。
【００１６】装着系４は、載置した基板ＢをＸ軸方向お
よびＹ軸方向に移動させるＸＹテーブル３１と、ＸＹテ
ーブル３１の前後に配設した搬入搬送路３２および搬出
搬送路３３と、搬入搬送路３２上の基板ＢをＸＹテーブ
ル３１に、同時にＸＹテーブル３１上の基板Ｂを搬出搬
送路３３に移送する基板移送装置３４とで、構成されて
いる。搬入搬送路３２の下流端まで送られてきた基板Ｂ
は、基板移送装置３４により、ＸＹテーブル３１上に移
送され、同時に電子部品Ａの装着が完了したＸＹテーブ
ル３１上の基板Ｂは、この基板移送装置３４により、搬
出搬送路３３に移送される。ＸＹテーブル３１上に導入
された基板Ｂは、ＸＹテーブル３１により水平面内にお
いて適宜移動され、各装着ヘッド１３により次々と送ら
れてくる電子部品Ａに対応して、その部品装着部位を装
着位置に臨ませ、各吸着ノズル１４から電子部品Ａの装
着を受ける。
よびＹ軸方向に移動させるＸＹテーブル３１と、ＸＹテ
ーブル３１の前後に配設した搬入搬送路３２および搬出
搬送路３３と、搬入搬送路３２上の基板ＢをＸＹテーブ
ル３１に、同時にＸＹテーブル３１上の基板Ｂを搬出搬
送路３３に移送する基板移送装置３４とで、構成されて
いる。搬入搬送路３２の下流端まで送られてきた基板Ｂ
は、基板移送装置３４により、ＸＹテーブル３１上に移
送され、同時に電子部品Ａの装着が完了したＸＹテーブ
ル３１上の基板Ｂは、この基板移送装置３４により、搬
出搬送路３３に移送される。ＸＹテーブル３１上に導入
された基板Ｂは、ＸＹテーブル３１により水平面内にお
いて適宜移動され、各装着ヘッド１３により次々と送ら
れてくる電子部品Ａに対応して、その部品装着部位を装
着位置に臨ませ、各吸着ノズル１４から電子部品Ａの装
着を受ける。
【００１７】装置本体２は、支持台１５上に駆動系の主
体を為すインデックスユニット１１を有しており、イン
デックスユニット１１は、回転テーブル１２を間欠回転
させると共に、回転テーブル１２の間欠周期に同期（連
動）させ、装置本体２の各種の装置およびテープカセッ
ト２１等を作動させる。
体を為すインデックスユニット１１を有しており、イン
デックスユニット１１は、回転テーブル１２を間欠回転
させると共に、回転テーブル１２の間欠周期に同期（連
動）させ、装置本体２の各種の装置およびテープカセッ
ト２１等を作動させる。
【００１８】回転テーブル１２は、インデックスユニッ
ト１１から垂下した鉛直軸１６に固定され、平面視時計
廻りに間欠回転する。回転テーブル１２の外周部には、
ブラケット１７を介して、周方向に等間隔に１２個の装
着ヘッド１３が、上下動自在に取り付けられている。こ
の場合、回転テーブル１２の間欠回転は、装着ヘッド１
３の数に合わせて、一回転に対して１２間欠周期となっ
ており、この間欠回転により公転する各装着ヘッド１３
は、１２箇所の停止位置にそれぞれ停止する。そして、
１２箇所の停止位置には、電子部品Ａを吸着する吸着位
置および装着する装着位置の他、吸着した電子部品Ａの
撮像および位置補正を行う位置や、装着ヘッド１３にお
けるノズル切替（交換）を行う位置等が含まれている。
ト１１から垂下した鉛直軸１６に固定され、平面視時計
廻りに間欠回転する。回転テーブル１２の外周部には、
ブラケット１７を介して、周方向に等間隔に１２個の装
着ヘッド１３が、上下動自在に取り付けられている。こ
の場合、回転テーブル１２の間欠回転は、装着ヘッド１
３の数に合わせて、一回転に対して１２間欠周期となっ
ており、この間欠回転により公転する各装着ヘッド１３
は、１２箇所の停止位置にそれぞれ停止する。そして、
１２箇所の停止位置には、電子部品Ａを吸着する吸着位
置および装着する装着位置の他、吸着した電子部品Ａの
撮像および位置補正を行う位置や、装着ヘッド１３にお
けるノズル切替（交換）を行う位置等が含まれている。
【００１９】図３に示すように、各装着ヘッド１３は、
周方向に等間隔に配設した複数本（５本程度）の吸着ノ
ズル１４をそれぞれ出没自在に装着したノズルホルダ４
１と、ノズルホルダ４１を回転自在に支持すると共に、
装置本体２側のブラケット１７に取り付けたられたホル
ダ支持部材４２と、ノズルホルダ４１の上面に取り付け
られ、軸心に真空通路４４を形成した通路部材４３とを
備えている。ノズルホルダ４１とホルダ支持部材４２と
の間には、ノズルホルダ４１をロータ側とし、ホルダ支
持部材４２をステータ側とするモータ（ステッピングモ
ータ）４５が構成されており、このモータ４５の駆動に
より、ホルダ支持部材４２に対しノズルホルダ４１が回
転する。すなわち、複数本の吸着ノズル１４が、ノズル
ホルダ４１の軸線廻りに公転する。
周方向に等間隔に配設した複数本（５本程度）の吸着ノ
ズル１４をそれぞれ出没自在に装着したノズルホルダ４
１と、ノズルホルダ４１を回転自在に支持すると共に、
装置本体２側のブラケット１７に取り付けたられたホル
ダ支持部材４２と、ノズルホルダ４１の上面に取り付け
られ、軸心に真空通路４４を形成した通路部材４３とを
備えている。ノズルホルダ４１とホルダ支持部材４２と
の間には、ノズルホルダ４１をロータ側とし、ホルダ支
持部材４２をステータ側とするモータ（ステッピングモ
ータ）４５が構成されており、このモータ４５の駆動に
より、ホルダ支持部材４２に対しノズルホルダ４１が回
転する。すなわち、複数本の吸着ノズル１４が、ノズル
ホルダ４１の軸線廻りに公転する。
【００２０】吸着ノズル１４は、上部でノズルホルダ４
１のガイドピン４７に上下方向に摺動自在に係合し、且
つガイドピン４７に巻回したコイルばね４８により突出
方向に付勢されている。ノズルホルダ４１の上部には、
各吸着ノズル１４に対応して爪部材４９が設けられてお
り、突出している吸着ノズル１４を残して他の吸着ノズ
ル１４は、爪部材４９に掛け止めされている。また、突
出している吸着ノズル１４は、コイルばね４８により下
方に付勢されている。
１のガイドピン４７に上下方向に摺動自在に係合し、且
つガイドピン４７に巻回したコイルばね４８により突出
方向に付勢されている。ノズルホルダ４１の上部には、
各吸着ノズル１４に対応して爪部材４９が設けられてお
り、突出している吸着ノズル１４を残して他の吸着ノズ
ル１４は、爪部材４９に掛け止めされている。また、突
出している吸着ノズル１４は、コイルばね４８により下
方に付勢されている。
【００２１】吸着ノズル１４の軸心にはノズル孔１４ａ
が形成され、ノズル孔１４ａの上端は、吸着ノズル１４
が突出した状態で、ノズルホルダ４１の真空通路４４に
連通している。一方、真空通路４４は、真空ホース５１
を介して通路部材４３から真空源を構成する真空ポンプ
５２に連通している。すなわち、ノズルホルダ４１、通
路部材４３および真空ホース５１に形成した真空通路４
４は、上流端のノズル孔１４ａと下流端の真空ポンプ５
２とを連通している。また、吸着ノズル（ノズル孔１４
ａ）１４と真空ポンプ５２との間に位置して、真空通路
４４には真空バルブ５３および流量計（流量測定手段）
５４が介設されている（図１および図４参照）。
が形成され、ノズル孔１４ａの上端は、吸着ノズル１４
が突出した状態で、ノズルホルダ４１の真空通路４４に
連通している。一方、真空通路４４は、真空ホース５１
を介して通路部材４３から真空源を構成する真空ポンプ
５２に連通している。すなわち、ノズルホルダ４１、通
路部材４３および真空ホース５１に形成した真空通路４
４は、上流端のノズル孔１４ａと下流端の真空ポンプ５
２とを連通している。また、吸着ノズル（ノズル孔１４
ａ）１４と真空ポンプ５２との間に位置して、真空通路
４４には真空バルブ５３および流量計（流量測定手段）
５４が介設されている（図１および図４参照）。
【００２２】真空バルブ５３は、真空ポンプ５側の真空
通路４４と大気開放通路５５とを切り替えるものであ
り、大気開放通路５５側にはコンプレッサ５６が設けら
れている（図１および図４参照）。電子部品Ａを吸着す
る場合には、真空バルブ５３は、真空通路４４を真空ポ
ンプ５２側に切り替えて、吸着ノズル１４のノズル孔１
４ａからエアーを吸引するが、装着する場合には、真空
通路４４をコンプレッサ５６側に切り替えて、ノズル孔
１４ａを大気に開放した後、コンプレッサ５６からノズ
ル孔１４ａにエアーを吹き込むようになっている。これ
により、電子部品Ａは吸着ノズル１４の先端から確実に
離脱して、基板Ｂに装着される。
通路４４と大気開放通路５５とを切り替えるものであ
り、大気開放通路５５側にはコンプレッサ５６が設けら
れている（図１および図４参照）。電子部品Ａを吸着す
る場合には、真空バルブ５３は、真空通路４４を真空ポ
ンプ５２側に切り替えて、吸着ノズル１４のノズル孔１
４ａからエアーを吸引するが、装着する場合には、真空
通路４４をコンプレッサ５６側に切り替えて、ノズル孔
１４ａを大気に開放した後、コンプレッサ５６からノズ
ル孔１４ａにエアーを吹き込むようになっている。これ
により、電子部品Ａは吸着ノズル１４の先端から確実に
離脱して、基板Ｂに装着される。
【００２３】流量計５４は、真空ポンプ５２と真空バル
ブ５３との間の真空通路４４に介設されている（図４参
照）。図５に示すように、流量計５４は、ハウジング６
１内に上流側および下流側を真空通路４４に連通した円
柱状の通路空間６２を有し、通路空間６２には、これを
横断するように半導体素子で構成された流量センサ６３
が配設されている。また、流量センサ６３には、流量計
５４の制御部６４が接続されている。この流量センサ６
３は板状に形成され、その短辺方向が吸引エアーの流れ
に沿うように配設されている。流量センサ６３を通過す
る吸引エアーの流れにより、その上流側と下流側とでは
微小な温度差が生じ、この温度差に基づいて、吸引エア
ーの流量が計測される。そして、この計測結果は、制御
部６４でデジタル信号に変換され、ＣＰＵ（検出手段）
５７に出力される。
ブ５３との間の真空通路４４に介設されている（図４参
照）。図５に示すように、流量計５４は、ハウジング６
１内に上流側および下流側を真空通路４４に連通した円
柱状の通路空間６２を有し、通路空間６２には、これを
横断するように半導体素子で構成された流量センサ６３
が配設されている。また、流量センサ６３には、流量計
５４の制御部６４が接続されている。この流量センサ６
３は板状に形成され、その短辺方向が吸引エアーの流れ
に沿うように配設されている。流量センサ６３を通過す
る吸引エアーの流れにより、その上流側と下流側とでは
微小な温度差が生じ、この温度差に基づいて、吸引エア
ーの流量が計測される。そして、この計測結果は、制御
部６４でデジタル信号に変換され、ＣＰＵ（検出手段）
５７に出力される。
【００２４】図６および図７は、流量計５４の制御部６
４のブロック図および各部の信号のタイミングチャート
を示している。両図に示すように、制御部６４では、流
量センサ６３に接続されたブリッジ回路７１により上記
の上流側と下流側との温度差に応じた（すなわち流量に
応じた）電圧信号を抽出し、それをアンプ７２により増
幅後（センサ出力）、所定の制御信号７３をトリガと
するコンパレータ７４によりＧＮＤレベルと比較してそ
の電位差を抽出し、フィルタ７５により所定の補正を行
ってから（センサ出力）、所定のレベル判定期間内で
の電位差を、Ａ／Ｄコンバータ７６により流量を示す例
えば４ビットのビット信号にＡ／Ｄ変換して出力する。
４のブロック図および各部の信号のタイミングチャート
を示している。両図に示すように、制御部６４では、流
量センサ６３に接続されたブリッジ回路７１により上記
の上流側と下流側との温度差に応じた（すなわち流量に
応じた）電圧信号を抽出し、それをアンプ７２により増
幅後（センサ出力）、所定の制御信号７３をトリガと
するコンパレータ７４によりＧＮＤレベルと比較してそ
の電位差を抽出し、フィルタ７５により所定の補正を行
ってから（センサ出力）、所定のレベル判定期間内で
の電位差を、Ａ／Ｄコンバータ７６により流量を示す例
えば４ビットのビット信号にＡ／Ｄ変換して出力する。
【００２５】Ａ／Ｄ変換されたビット信号は、ＣＰＵ５
７に入力され、ＣＰＵ５７がＲＡＭ５８のノズルデータ
から読み込んだ設計流量（ビット信号）と比較する。こ
こで、実流量と設計流量との間に所定の差があると、こ
れをノズル詰まり或いは吸着ノズルの誤装着と判断し、
報知手段５９を介して、音声による警報を発すると共
に、画面表示によりこれを報知する。
７に入力され、ＣＰＵ５７がＲＡＭ５８のノズルデータ
から読み込んだ設計流量（ビット信号）と比較する。こ
こで、実流量と設計流量との間に所定の差があると、こ
れをノズル詰まり或いは吸着ノズルの誤装着と判断し、
報知手段５９を介して、音声による警報を発すると共
に、画面表示によりこれを報知する。
【００２６】図８は、吸着ノズル１４のノズル孔１４ａ
の断面積と、吸引エアーの流量とのに関係を表してい
る。同図に示すように、設計流量は、ノズル孔１４ａの
断面積に正比例しており、例えば、０．６mm径のノズル
径（ノズル孔断面積１．１４mm 2 ）１４ａでは、その設
計流量はほぼ１０Ｌ／ＭＩＮとなる。また、０．４mm径
のノズル径（ノズル孔断面積０．４mm2 ）では、その設
計流量はほぼ３．５Ｌ／ＭＩＮとなる。したがって、こ
の設計流量に許容範囲を加味した上で、実流量と比較す
ることになる。
の断面積と、吸引エアーの流量とのに関係を表してい
る。同図に示すように、設計流量は、ノズル孔１４ａの
断面積に正比例しており、例えば、０．６mm径のノズル
径（ノズル孔断面積１．１４mm 2 ）１４ａでは、その設
計流量はほぼ１０Ｌ／ＭＩＮとなる。また、０．４mm径
のノズル径（ノズル孔断面積０．４mm2 ）では、その設
計流量はほぼ３．５Ｌ／ＭＩＮとなる。したがって、こ
の設計流量に許容範囲を加味した上で、実流量と比較す
ることになる。
【００２７】以上のように本実施形態によれば、吸着ノ
ズル１４のノズル詰まりや誤装着を、吸着ノズル１４の
ノズル孔１４ａから吸引した吸引エアーの流量で検出す
るようにしているため、ノズル詰まりや誤装着を正確に
検出することができる。特に、細径のノズル孔１４ａを
有する吸着ノズル１４にあっては、誤検出等を有効に防
止することができる。また、流量計５４を、大流量のエ
アーが流れることのない真空バルブ５３と真空ポンプ５
２との間の真空通路４４に設けるようにしているため、
安定な流量計測が可能になると共に、流量計５４の故障
等を極力少なくすることができる。さらに、流量計測
は、装着ヘッド１３の特定の停止位置で行う必要がな
く、検出自体も簡単に行うことができる。
ズル１４のノズル詰まりや誤装着を、吸着ノズル１４の
ノズル孔１４ａから吸引した吸引エアーの流量で検出す
るようにしているため、ノズル詰まりや誤装着を正確に
検出することができる。特に、細径のノズル孔１４ａを
有する吸着ノズル１４にあっては、誤検出等を有効に防
止することができる。また、流量計５４を、大流量のエ
アーが流れることのない真空バルブ５３と真空ポンプ５
２との間の真空通路４４に設けるようにしているため、
安定な流量計測が可能になると共に、流量計５４の故障
等を極力少なくすることができる。さらに、流量計測
は、装着ヘッド１３の特定の停止位置で行う必要がな
く、検出自体も簡単に行うことができる。
【００２８】なお、流量計は上記実施形態のものに限定
されるものではなく、他の形式の流量計であってもよ
い。また、本発明のノズル詰まり検出装置および検出方
法は、いわゆる多機能マウンタの吸着ノズルにも適用で
きることは、いうまでもない。
されるものではなく、他の形式の流量計であってもよ
い。また、本発明のノズル詰まり検出装置および検出方
法は、いわゆる多機能マウンタの吸着ノズルにも適用で
きることは、いうまでもない。
【００２９】
【発明の効果】以上のように本発明のノズル詰まり検出
装置およびノズル詰まり検出方法によれば、吸着ノズル
のノズル孔の断面積とノズル孔を通過する吸引エアーの
流量とが比例することに着目し、流量計測手段により計
測したノズル孔を通過する吸引エアーの流量に基づい
て、吸着ノズルのノズル詰まりおよびノズル径の異なる
吸着ノズルの誤装着を検出しているため、正確な検出が
可能となる。したがって、ノズル詰まりや誤装着に基づ
く吸着ミスおよび装着ミスを、極力防止することができ
る。また、流量計測手段は、真空通路に組み込んでおけ
ばよく、また吸着ノズルは特殊な構造のものを用いる必
要はなく、全体として構造を単純化することができる。
装置およびノズル詰まり検出方法によれば、吸着ノズル
のノズル孔の断面積とノズル孔を通過する吸引エアーの
流量とが比例することに着目し、流量計測手段により計
測したノズル孔を通過する吸引エアーの流量に基づい
て、吸着ノズルのノズル詰まりおよびノズル径の異なる
吸着ノズルの誤装着を検出しているため、正確な検出が
可能となる。したがって、ノズル詰まりや誤装着に基づ
く吸着ミスおよび装着ミスを、極力防止することができ
る。また、流量計測手段は、真空通路に組み込んでおけ
ばよく、また吸着ノズルは特殊な構造のものを用いる必
要はなく、全体として構造を単純化することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係るノズル詰まり検出装
置を備えた電子部品装着装置の側面図である。
置を備えた電子部品装着装置の側面図である。
【図２】実施形態に係るノズル詰まり検出装置を備えた
電子部品装着装置の平面図である。
電子部品装着装置の平面図である。
【図３】実施形態の装着ヘッドの裁断側面図である。
【図４】実施形態の吸着ノズル廻りの吸引系を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図５】実施形態の流量計廻りの構造図である。
【図６】実施形態のコントローラのブロック図である。
【図７】実施形態のコントローラの各部における信号の
タイミングチャートである。
タイミングチャートである。
【図８】実施形態の吸着ノズルのノズル孔の断面積と吸
引エアーの流量との関係を表した線図である。
引エアーの流量との関係を表した線図である。
１ 電子部品装着装置 ２ 装着本体 １３ 装着ヘッド １４ 吸着ノズル １４ａ ノズル孔 ４１ ノズルホルダ ４２ ホルダ支持部材 ４４ 真空通路 ５２ 真空ポンプ ５３ 真空バルブ ５４ 流量計 ５５ 大気開放通路 ５７ ＣＰＵ ５８ ＲＡＭ ６３ 流量センサ ６４ 制御部 Ａ 電子部品
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平11−340689（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05K 13/08 B25J 15/06 H05K 13/04
Claims (3)
- 【請求項１】 電子部品を吸着するための吸着ノズルの
ノズル孔の詰まりおよび吸着ノズルの誤装着を検出する
ノズル詰まり検出装置であって、 前記ノズル孔を介してエアーを吸引する真空吸引手段と
前記ノズル孔とを連通する真空通路に介設され、前記ノ
ズル孔を通過する吸引エアーの流量を計測する流量計測
手段と、 前記流量計測手段で計測した実流量と、予め記憶されて
いる前記ノズル孔の設計流量とを比較することで、当該
ノズル孔の詰まりおよび当該吸着ノズルの誤装着を検出
するノズル詰まり検出手段とを備えたことを特徴とする
ノズル詰まり検出装置。 - 【請求項２】 前記真空通路には、前記真空吸引手段側
の当該真空通路と大気開放通路とを切り替える真空バル
ブが介設されており、 前記流量計測手段は、前記真空バルブから前記真空吸引
手段に至る前記真空通路に介設されていることを特徴と
する請求項１に記載のノズル詰まり検出装置。 - 【請求項３】 前記流量計測手段は、吸引エアーの流れ
方向に沿って配設した板状部材の上流側と下流側の温度
差に基づいて流量を計測する流量計であることを特徴と
する請求項１または２に記載のノズル詰まり検出装置。
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|---|---|---|---|
| JP04535799A JP3269041B2 (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | ノズル詰まり検出装置 |
| US09/510,632 US6393336B1 (en) | 1999-02-23 | 2000-02-22 | Nozzle clogging detection device and method |
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|---|---|---|---|
| JP04535799A JP3269041B2 (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | ノズル詰まり検出装置 |
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| JP2000244200A JP2000244200A (ja) | 2000-09-08 |
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ID=12717042
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|---|---|---|---|
| JP04535799A Expired - Fee Related JP3269041B2 (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | ノズル詰まり検出装置 |
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| JP3846262B2 (ja) * | 2001-10-29 | 2006-11-15 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品実装装置におけるノズル吸着高さの検出方法 |
| JP3905793B2 (ja) * | 2002-06-04 | 2007-04-18 | 株式会社山武 | 吸着確認センサ |
| JP4634204B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2011-02-16 | Ｊｕｋｉ株式会社 | 電子部品実装装置 |
| JP4821246B2 (ja) * | 2005-10-06 | 2011-11-24 | パナソニック株式会社 | 電子部品実装方法 |
| JP5057799B2 (ja) * | 2007-03-01 | 2012-10-24 | パナソニック株式会社 | 部品吸着ヘッド及び部品吸着ツール保持方法 |
| JP4952470B2 (ja) * | 2007-09-19 | 2012-06-13 | 和光純薬工業株式会社 | 分注装置および分注装置における吐出状態判定方法 |
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| JP5657751B1 (ja) * | 2013-07-04 | 2015-01-21 | ファナック株式会社 | 対象物を吸引して搬送する搬送装置 |
| US20150238888A1 (en) * | 2014-02-25 | 2015-08-27 | Thomas A. COMEAU | Apparatus for removing particulate from a filter |
| WO2016009491A1 (ja) * | 2014-07-15 | 2016-01-21 | 富士機械製造株式会社 | 検査方法 |
| JP6100347B2 (ja) * | 2014-12-19 | 2017-03-22 | 白光株式会社 | 半田除去システム |
| JP6588950B2 (ja) * | 2017-09-27 | 2019-10-09 | 株式会社東芝 | 把持ツール、把持システム、及び把持ツールの制御方法 |
| CN117146737B (zh) * | 2023-08-31 | 2024-03-26 | 武汉国创科光电装备有限公司 | 一种阵列化电流体喷头的喷嘴检测装置及方法 |
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|---|---|---|---|---|
| US4668948A (en) * | 1983-03-10 | 1987-05-26 | Nordson Corporation | Dispenser malfunction detector |
| DE4026574C2 (de) * | 1989-08-24 | 1997-04-30 | Smc Corp | Verfahren und Vorrichtung zur Vorhersage eines Fehlverhaltens in einem Fluiddrucksystem |
| JPH07111367B2 (ja) * | 1991-02-26 | 1995-11-29 | ディーエクスエル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 流量センサおよびその検査方法 |
| JPH0569996A (ja) * | 1991-09-05 | 1993-03-23 | Smc Corp | 真空ユニツト |
| JP3418411B2 (ja) * | 1991-09-06 | 2003-06-23 | Ｓｍｃ株式会社 | 真空ユニット |
| TW348933U (en) * | 1992-12-10 | 1998-12-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Chip component supply equipment |
| JPH06209189A (ja) | 1993-01-12 | 1994-07-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品装着装置 |
| US5980034A (en) * | 1996-03-11 | 1999-11-09 | Videojet Systems International, Inc. | Cross flow nozzle system for an ink jet printer |
| US5865764A (en) * | 1996-12-30 | 1999-02-02 | Armoor Opthalmics, Inc. | Device and method for noninvasive measurement of internal pressure within body cavities |
-
1999
- 1999-02-23 JP JP04535799A patent/JP3269041B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-02-22 US US09/510,632 patent/US6393336B1/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| US6393336B1 (en) | 2002-05-21 |
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