JPS61104516A - 負圧スイツチ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は負圧スイッチ装置、更に詳しくは負圧制御装置
中に配置し、負圧状態、即ち真空度の測定が可能である
と共に、負圧発生装置を作動させ続けなくても負圧状態
を維持することが可能な一方弁を内装した負圧スイッチ
装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来より負圧制御装置中には、真空度を測定するための
圧力センサーが設けられ、負圧発生装置によって必要真
空度が維持されているか否かの測定が行なわれていた。

また更に従来より、負圧制御装置中には、空気消費量の
低減を図るために真空保持機構、即ち一方弁を介装する
ことが行なわれていた。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら従来の負圧制御装置にあっては、圧力セン
サーと一方弁とが別体として設けられていたので、負圧
発生装置あるいは実際に負圧状態で仕事をする、例えば
吸着パッド等との間の配管が複雑化していた。

また更に一方弁によって維持された負圧状態、即ち真空
度も、例えば吸着パッドからの不要空気吸入あるいは配
管中の空気漏れ等によって、時間の経過と共に低下する
こともあった。

このような真空度低下が生じた時は、ただちに圧力セン
サーによって検出し、負圧発生装置を作動させ、所定の
真空度を維持しないことにはワークの吸着パッドからの
離脱も生じかねないものであった。

そこで本発明は、圧力センサーと一方弁とを一体に形成
し、一方弁によって真空度の維持を図る一方、空気漏れ
が生じたとしても、一方弁の反負圧発生装置側に設けた
圧力センサーによって圧力低下を測定し、ただちにその
圧力低下に対応できる負圧スイッチ装置を提供すること
をその目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明は、負圧空気の流通
路中に圧力センサーを内装した負圧スイッチ装置におい
て、圧力センサーよりも負圧発生装置側の流通路に、反
負圧発生装置方向への空気流通を阻止する一方弁を設け
たことを特徴とする。

［実施例］ 以下、本発明を用いた負圧制御装置について説明する。

この負圧制御装置は、負圧発生装置５００に、ベース１
００、フィルター装置２００　、　破壊／＜ルブ装置３
００、負圧スイッチ装置４００を適宜組合わて使用が可
能となるように形成しである。

第５図に示した実施例は、下部から順次、はぼ同一外形
のベース１００、フィルター装置２００、破壊バルブ装
置３００、負圧スイッチ装置４００、負圧発生装置５０
０を固定したものである。

ベース１００は、全体形状が横長厚板状に形成されてい
る。

またこのベース１００上面には、長子方向の中心線に沿
って中央から長手方向左右に振り分けたような位置に、
高圧空気のベース送入口１０１と、負圧空気のベース吸
引口１０２とが袋穴となるように穿設しであると共に、
ベース送入口１０１及びベース吸引口１０２の上端のベ
ース１００上には、密封用のパツキン（図示せず）、例
えばスラスト方向の負荷によって塑性変形を生じること
で密封するスチールワッシャ等を収納するための収納段
部１０３が凹設しである。更にこのベース１０１上面に
は、長手方向中心線の左右に、各々２つづつのベース止
め穴１０４が穿設してあり、このベース１００上に他の
各種装置を固定可能としである。またこのベース１００
四隅は、固定ネジ（図示せず）の頭部厚よりもやや深い
切欠部１０５が形成しであると共に、各切欠部１０５か
らはベース１００を貫通した固定穴１０６が穿設してあ
り、ベース１００を所定の装置に固定可能に形成しであ
る。

一方このベース、１００の左右及び前後からは、ベース
送入口１０１及びベース吸引口１０２に連通した通路１
０７が３木づつ設けられていると共に、各通路１０７に
は、メネジ１０８が設けである。

このベース１００は、固定ネジによって、所定の位、置
に固定同右に形成されているので、固定作業が容易に行
なえるものである。更にベース送入口１０１及びベース
吸引口１０２には、各々３本の通路１０７が穿設しであ
るので、所定位置への固定時に高圧側配管及び負圧側配
管を行ない易い方向に配管できるので便利である。また
この時、使用しない通路１０７は、メクラナツトをメネ
ジ１０Ｂにネジ込むことによって閉塞するものである。

フィルター装置２００は、フィルター装置本体２１０と
、このフィルター装置本体２．１０の高圧空気連通側に
固定したフィルター高圧側キャップ２３０と、負圧空気
連通側に固定したフィルター負圧側キャップ２５０とか
ら形成され、全体では、平面形状がベース１００に略一
致するような直方体状に形成されている。

このフィルター装置本体２１０は、ベース１００上に重
ねた時に、ベース１００の上面に穿設したベース送入口
１０１及びベース吸引口１０２の対応・位置に相当する
下面に、フィルター下送入口２１１及びフィルター下吸
引口２１２が穿設しであると共に、その上面にも、フィ
ルター上送入口２１３及びフィルター上吸引口２１４が
穿設しである。更にこれらのフィルター下送入口２１１
、フィルター下吸引口２１２、フィルター上送入口２１
３及びフィルター上吸引口２１４には、密封用のパツキ
ン（図示せず）、例えばスラスト方向の負荷によって塑
性変形を生じることで密封するスチールワッシャ等を収
納するための収納段部２１５が凹設しである。またこの
フィルター装置本体２１０は、４つのベース止め穴１０
４対応位置に相当する上面にフィルター止め穴２１Ｂが
穿設しであると共に、各々のフィルター止め穴２１６下
部がフィルター切欠き部２１７として形成され、更には
、これら４つのフィルター切欠き部２１７のすべてに渡
るように、フィルター装置本体２１０下面にフィルター
四部２１８が欠設しである。このフィルター四部２１８
は、ベース止め穴１０４対応位置にフィルタ一連結穴２
１９を穿設したフィルタ一連結板２２０を位置させて、
まずこのフィルタ一連結板２２０をフィルター装置本体
２１０に固定し、その後このフィルタ一連結穴２１８を
介して、フィルター固定ネジ２２１で、フィルタ一連結
板２２０をベース１００に固定するものである。またこ
のフィルター固定ネジ２２１は、六角穴付ポルトを用い
ているので、フィルター止め穴２１Ｂを介してフィルタ
ー固定ネジ２２１に達する六角レンチ（図示せず）にて
固定することができる。

またこのフィルター装置本体２１０は、フィルター外筒
２０１を挿入するための外筒挿入口２２２が、長手方向
中心軸に沿って高圧空気連通側から、フィルター上吸引
口２１４およびフィルター下吸引口２１２の手前まで穿
設しである。また更にこの外筒挿入口２２２　と軸心を
同一とし、かつ外筒挿入口２２２よりも直径が小さく、
外筒挿入口２２２内面との間に周状の段部２２３を形成
しつつ連通する、負圧側キャップ挿入口２２４がフィル
ター装置本体２１０を貫通するように設けられている。

フィルター高圧側キャップ２３０は、外筒挿入口２２２
最深部に形成される段部２２３との間にフィルター外筒
２０１を固定すると共に、フィルター２０２の脱着を可
能とするものである。即ち、段部２２３との間にフィル
ター外筒２０１を位置させた後、フィルター高圧側キャ
ップ２３０をその外側からフィルター装置本体２１０に
固定することによって、フィルター外筒２０１を固定す
るものである。

またこのフィルター高圧側キャップ２３０は、フィルタ
ー外筒２０１と軸心を同一とし、かつ外筒挿入口２２２
よりも直径が小さいフィルター脱着キャップ２４０をネ
ジ込んで固定するための固定メネジ２３１が設けである
。

なおこのフィルター外筒２０１は、外部からフィルター
２０２の汚れ具合が認識可使なように透明材料で形成さ
れていると共に、フィルター上送入口２１３及びフィル
ター下送入口２１１の対応部分外周に、リング状の凹溝
２０３が設けてあり、この凹溝２０３を介してフィルタ
ー上送入口２１３及びフィルター下送入口２１１　とが
連通ずるように形成しである。更にこのフィルター外筒
２０１の凹溝２０３両側及び段部２２３の対応部分には
、空気漏れを防止するためのパツキン２０４が設けであ
る。

フィルター脱着キャップ２４０は、フィルター高圧側キ
ャップ２３０に設けた固定メネジ２３１にネジ込み自在
な固定オネジ２４１を先端に有する有底筒状に形成され
、この筒内部には、フィルター負圧側キャップ２５０先
端との間に円筒状のフィルター２０２を位置させるよう
に形成しである。また固定オネジ２４１先端は、若干リ
ング状に切り欠かれていると共に、固定オネジ２４１後
端は、フィルター高圧側キャップ２３０表面に当接する
フランジ部２４２が周設しである。またフィルター２０
２をフィルター脱着キャップ２４０内に位置させてフィ
ルター高圧側キャップ２３０にネジ止めした時には、フ
ィルタ−２０２内部の円筒状の空間と、フィルタ−２０
２外周とフィルター外筒２０１内周との間のリング筒状
の空間とが形成されることとなる。なおこのフィルター
脱着キャップ２４０の内底には、フィルター２０２をフ
ィルター負圧側キャップ２５０に押し付けるための弾性
材２４３が位置させてあり、固定オネジ２４１端部のフ
ランジ部２４２近傍には、空気漏れを防止するためのパ
ツキン２４４が設けである。

フィルター負圧側キャー２ブ２５０は、フィルター下吸
引口２１２とフィルター上吸引口２１４とを、間にフィ
ルター２０２を介して連通させるためのものである。具
体的な形状は、フィルター装置本体２１０の側面形状に
略一致する側面立方体状でフィルター装置本体２１０に
固定される固定部２５１と、フィルター装置本体２１０
の負圧側キャップ挿入口２２４に挿入されるべく筒状に
固定部２５１から延設された挿入部２５２とから形成さ
れている。

またこの固定部２５１及び挿入部２５２は、フィルター
装置本体２１０への固定時に、筒状のフィルタ−２０２
内部に連通する連通孔２５３が穿設しである。更にこの
連通孔２５３の固定部２５１側先端には、メクラナツト
２５４がネジ止め可能なようにメネジ２５５が設けであ
る。またフィルター装置本体２１０への固定時にフィル
ター上吸引口２１４に対応する挿入部２５２には、フィ
ルター上吸引口２１４と連通孔２５３とを連通させる上
進通孔２５６が上下方向に穿設しである。更にフィルタ
ー装置本体２１０への固定時にフィルター上吸引口２１
２に対応する挿入部２５２には、フィルター上吸引口２
１２と、フィルタ−２０２外周とフィルター外筒２０１
内周との間のリング筒状の空間とを連通させる子連通孔
２５７がフィルター２０２の軸心に平行に設けである。

従って、フィルター上吸引口２１２から吸引された空気
は、子連通孔２５７、フィルタ−２０２外周とフィルタ
ー外筒２０１内周との間のリング筒状の空間、フィルタ
ー２０２、フィルタ−２０２内部。

上進通孔２５Ｂを介してフィルター上吸引口２１４に達
することとなり、その途中のフィルター２０２通過時に
ゴミあるいはホコリ等の除去が行なわれるものである。

このフィルター装置２００は、フィルター２０２を内装
したフィルター外筒２０１を透明材料にて形成しである
ので、フィルター２０２の汚れをフィルター切欠き部２
１７から可視可使であり、交換期を誤ることがない。特
にこの実施例では、フィルター２０２を筒状に形成し、
かつ空気通過をフィルター２０２の外側から内側に行な
わせているので、フィルター２０２に付着するゴミ等は
フィルタ−２０２外周面に付着することとなり、フィル
ター外筒２０１からのフィルター２０２の汚れ具合の観
察がより確実なものとなる。

更にこの実施例では、フィルター２０２は、その一端を
フィルター脱着キャップ２４０内に位置させた状態で、
他端をフィルター負圧側キャップ２５０に当接させて固
定しである。従ってこのフィルター２０２の取換え時に
は、フィルター脱着キャップ２４０をフィルター高圧側
キャップ２３０から外すことによって、このフィルター
脱着キャップ２４０に差し込まれたままでフィルター２
０２が取り出せることとなるので、その後フィルター２
０２をフィルター脱着キャップ２４０から外して交換す
るものである。また仮に、フィルター脱着キャップ２４
０からフィルター２０２が外れてしまった時であっても
、フィルター２０２の先端がフィルター高圧側キャップ
２３０の固定メネジ２３１から外部に突出しているので
、この突出部分をつかんで抜き出して交換することがで
きる。即ち、この実施例では、フィルター２０２の交換
が極めて容易に行なえるものである。

また更に、この実施例では、フィルター２０２と、フィ
ルター上送入口２１３及びフィルター下送入口２１１と
が直交するが、フィルター上送入口２１３及びフィルタ
ー下送入口２１１とをフィルター外筒２０１周囲の凹溝
２０３によって連通させであるので、空気の流通に支障
を来たすことがない。

破壊バルブ装置３００は、高圧空気によって負圧状態を
解除するためのものであり、破壊バルブ装置本体３１０
と、この破壊バルブ装置本体３１０の高圧空気連通側に
固定した破壊バルブ高圧側キャー２プ３５０　とキャッ
プ押え３７０、及び負圧空気連通側に固定した破壊バル
ブ負圧側キャップ３８０とから形成され、全体では、平
面形状がベース１００に略一致するような直方体状に形
成されている。

この破壊バルブ装置本体３１０は、フィルター装置２０
０上に重ねた時に、フィルター装置２００上面に穿設し
たフィルター上吸引口２１４の対応位置に相当する下面
に、破壊バルブ下吸引口３１１が穿設しであると共に、
その上面にも、破壊バルブ上吸引口３１２が穿設しであ
る。更にこれらの破壊バルブ下吸引口３１１及び破壊バ
ルブ上吸引口３１２には、密封用のパツキン（図示せず
）、例えばスラスト方向の負荷によって塑性変形を生じ
ることで密封するスチールワッシャ等を収納するための
収納段部３１３が凹設しである。またこの破壊バルブ装
置本体３１０は、４つのフィルター止め穴２１Ｂ対応位
置に相当する上面に破壊バルブ止め穴３１４が穿設しで
あると共に、各々の破壊バルブ止め穴３１４下部が破壊
バルブ切欠き部３１５として形成され、更には、これら
４つの破壊バルブ切欠き部３１５のすべてに渡るように
、破壊バルブ装置本体３１０下面に破壊バルブ四部３１
６が欠設しである。この破壊バルブ四部３１Ｂは、フィ
ルター止め穴２１６対応位置に破壊バルブ連結穴３１７
を穿設した破壊バルブ連結板３１８を位置させて、まず
この破壊バルブ連結板３１８を破壊バルブ装置本体３１
０に固定し、その後この破壊バルブ連結穴３１７を介し
て、破壊バルブ固定ネジ３１８で、破壊バルブ連結板３
１８をフィルター装置２００に固定するものである。ま
たこの破壊バルブ固定ネジ３１９は、六角穴付ボルトを
用いているので、破壊バルブ止め穴３１４を介して破壊
バルブ固定ネジ３１９に達する六角レンチ（図示せず）
にて固定することができる。なお破壊バルブ装置本体３
１０の下側部から破壊バルブ高圧側キャップ３５０方向
に突出しているのは、位置決めピン３４６である。

またこの破壊バルブ装置本体３１０は、破壊バルブ高圧
側キャップ３５０方向からソレノイド内装穴３２０及び
ピン固定穴３２１が穿設され、破壊バルブ負圧側キャッ
プ３８０方向から負圧側キャップ挿入口３２２が穿設さ
れていると共に、ソレノイド内装穴３２０と負圧側キャ
ップ挿入口３２２との間は、若干の内向フランジ３２３
を突出しであるものの連通させである。

ソレノイド内装穴３２０には、ポビン３２４に巻装した
ソレノイド３２５が内装しである。またこのソレノイド
３２５の作動によって移動する可動鉄心３２６は可動筒
３２７に固定しであると共に、ポビン３２４の破壊バル
ブ高圧側キャップ３５０側には、可動筒３２７のガイド
３２８が破壊バルブ高圧側キャップ３５０によって固定
しである。なおソレノイド３２５と破壊バルブ装置本体
３１０との間には、ソレノイド３２５を確実に固定する
ための固定材３２９が介装しである。またここで可動筒
３２７は、その後端がガイド３２８から後方に突出させ
て、スプリング受け３４４によって閉塞されているもの
の、側面に連通口３４５が穿設されている。更に、可動
鉄心３２６先端は、可動筒３２７内部と可動鉄心３２６
先端とが連通ずるような連通部３３０によって連通して
いると共に、その最先端が、角柱状の先端部３３１　と
して形成しである。更にこの先端部３３１には、先端部
３３１を覆うカバー３３２がかぶせである。このカバー
３３２は、先端部３３１の外径よりも若干大きな内径を
有し、かつ先端部３３１長さよりも長い内寸として形成
された筒体３３３の後端には抜は止めのための内向フラ
ンジ３３４を設けると共に、先端には中心に連通孔３３
５を有する円錐台状の密封部３３Ｂを設けて形成しであ
る。

なお固定材３２８と内向フランジ３３４との間、及び固
定材３２８とガイド３２８との間には、各々密封用のパ
ツキン３３７を位置させである。

ピン固定穴３２１は、ソレノイド３２５の端子としての
ピン３３８を、破壊バルブ装置本体３１０から破壊バル
ブ高圧側キャップ３５０方向に突出させるために、ピン
３３８を固定したモールド部３３９を位置させるもので
ある。

負圧倒キャップ挿入口３２２には、破壊バルブ負圧側キ
ャップ３８０によって、密封部の錯角に一致した錐面を
有する密封体３４０が固定しである。またこの密封体３
４０には、密封部３３６の連通孔３３５に対応する位置
に高圧空気の吹出口３４１が穿設しである。この吹出口
３４１の破壊バルブ負圧側キャップ３８０側は、円錐状
の拡開面３４２として形成されている。なお密封体３３
Ｂと内向フランジ３３４との間には、密封用のパツキン
３４３が位置させである。

破壊バルブ高圧側キャップ３５０は、この破壊バルブ高
圧側キャップ３５０を破壊バルブ装置本体３１０に固定
した状態でフィルター装置２００上に重ねた時に、フィ
ルター装置２００上面に穿設したフィルター上送入口２
１３の対応位置に相当する下面に、破壊バルブ下送入口
３５１が穿設しであると共に、その上面にも、破壊バル
ブ上送入口３５２が穿設しである。更にこれらの破壊バ
ルブ下送入口３５１及び破壊バルブ上送入口３５２には
、密封用のパツキン（図示せず）、例えばスラスト方向
の負荷によって塑性変形を生じることで密封するスチー
ルワッシャ等を収納するための収納段部３５３が凹設し
である。またこれら破壊バルブ下送入口３５１及び破壊
バルブ」二進入口３５２は、可動筒３２７と軸心を同一
とした連通室３５４によって連通しているものである。

この連通室３５４には、前記したガイド３２８から突出
している可動筒３２７が位置しており、その結果高圧空
気が破壊パルプ下送入口３５１、破壊バルブ上送入口３
５２、可動筒３２７及び固定材３２８と密封体３４０と
の間には常に高圧空気が充満しているものである。

更にこの破壊バルブ高圧側キャップ３５０の連通室３５
４内部には、可動筒３２７及び可動鉄心３２６を破壊バ
ルブ負圧倒キャップ３８０方向に押し付け、カバー３３
２によって吹出口３４１をふさいで高圧空気の負圧側へ
の流出を防ぐためのスプリング３５５が縮装しである。

またこの破壊バルブ高圧側キャップ３５０を破壊バルブ
装置本体３１０に固定した時にピン３３８に対応する位
置には、ソケット３５Ｂが設けてあり、固定によって電
気的接続が行なわれるように形成しである。更にこの破
壊バルブ高圧側キャップ３５０には、ソケット３５６に
接続したバリスタ３５７、抵抗３５８、ダイオード３５
８等から成る電気回路が内装されていると共に、作動時
を可視的に示すためのランプ３８０が設けである。また
破壊バルブ装置本体３１０の位置決めピン３４Ｂに対応
する位置には、位置決めピン挿入穴３６２が穿設してあ
り、破壊バルブ高圧側キャップ３５０と破壊バルブ装置
本体３１０との固定を容易かつ確実としている。なおこ
の破壊バルブ高圧側キャップ３５０とガイド３２８との
間には、密封用のパツキン３５１が位置させである。

キャップ押え３７０は、破壊バルブ高圧側キャップ３５
０に固定されて電気回路の損傷を防止するためのもので
あり、ランプ３８０の透視穴３７０及び気団路の接続端
子３７２が設けられている。

破壊バルブ負圧倒キャップ３８０は、負圧状態を高圧空
気によって停止、破壊する詩の破壊速度を調整可能に形
成しであると共に、高圧空気が負圧発生装置５００側に
逆流しないように形成しである。具体的な形状は、破壊
バルブ装置本体３１０の側面形状に略一致する側面立方
体状で破壊バルブ装置本体３１０に固定される固定部３
８１と、破壊バルブ装置本体３１０の負圧倒ギャップ挿
入口３２２に挿入され、その先端で密封体３４０を固定
するために筒状に固定部３８１から延設された挿入部３
８２とから形成されている。

固定部３８１は、破壊バルブ装置本体３１０への固定時
に、可動筒３２７の軸心と同一軸心となるような進退穴
３８３が穿設しであると共に、この進退穴３８３の外方
に調整メネジ３８４が設けである。

また進退穴３８３先方に相当する挿入部３８２には、こ
の進退穴３８３よりも内径が大きい閉塞穴°３８５と、
この閉塞穴３８５に連続して更に内径の大きいスライド
穴３８６が挿入部３８２を貫通するように設けられてい
る。更に破壊バルブ装置本体３１０の破壊パルプ下吸引
口３１１は、子連通孔３８７を介してスライド穴３８Ｂ
に連通していると共に、破壊バルブ上吸引口３１２は、
上達通孔３８８を介して閉塞穴３８５に連通している。

また固定部３８１から挿入部３８２にかけての進退穴３
８３、閉塞穴３８５及びスライド穴３８Ｂには、先端を
密封体３４０の拡開面３４２に一致させた円錐台状に形
成した弁棒３８８が進退自在に位置させである。更にこ
の弁棒３８９は、その反省封体３４０側に固定部３８１
の調整メネジ３８４にネジ止めされる調整ネジ部３８０
が延設しである。従ってこの調整ネジ部３９０を回転さ
せることによって弁棒３８８を拡開面３４２方向に進退
可能となるので、拡開面３４２に近接させた時は高圧空
気の流入量が減少し、逆に離した時は増加することとな
る。なお図示例は、弁棒３８８先端が拡開面３４２の吹
出口３４１をふさいでいる状態を示したものである。

またこの弁棒３８８の密封体３４０側には、密封体３４
０側に閉塞穴３８５内径よりも若干大きい直径のフラン
ジ部３９１を有する移動体３９２が緩挿してあり、かつ
この移動体３８２が常態で密封体３４０側に位置するよ
うにスプリング３９３が縮装しである。

この移動体３８２は、ソレノイド３２５を作動させない
場合には、スプリング３９３の弾発力で密封体３４０に
接触しているので負圧空気が、破壊バルブ下吸引口３１
１、子連通孔３８７、スライド穴３８Ｂ、閉塞穴３８５
、上達通孔３８８、破壊バルブ上吸引口３１２へと連通
ずるものである。しかしながらソレノイド３２５を作動
させて、密封体３４０の吹出口３４１から高圧空気を吹
出した時には、その高圧空気の圧力によって移動体３９
２がスプリング３８３の弾発力に抗して反省封体３４０
側に移動し、移動体３９２のフランジ部３９１で閉塞穴
３８５をふさぐこととなり、その結果高圧空気が破壊バ
ルブ上吸引口３１２、即ち負圧発生装置５００方向に流
れず、すべて負圧の停止、破壊に用いられることとなる
。

またこの実施例では、可動鉄心３２６の先端部３３１に
は、先端部３３１の外径よりも若干大きな内径を有し、
かつ先端部３３１長さよりも長い内寸として形成された
筒体３３３の後端には抜は止めのための内向フランジ３
３４を設けると共に、先端には中心に連通孔３３５を有
する円錐台状の密封部３３６を設けたカバー３３２がか
ぶせである。更にこのカバー３３２によって、密封体３
４０の吹出口３４１が閉塞され、高圧空気の負圧側への
流入を防止しているものである。

ここでソレノイド３２５が作動して、負圧側に高圧空気
が流入する場合を、第１４図乃至第１６図に従って説明
する。

第１４図は、ソレノイド３２５が作動していない状態を
示したものである。この時は、スプリング受け３４４と
破壊バルブ高圧側キャップ３５０とのとの間に縮装した
スプリング３５５の弾発力によって、可動筒３２７、可
動鉄心３２６が密封体３４０方向に押されているので、
先端部３３１がカバ−３３２内面に押し付けられている
と共に、このカバー３３２が密封体３４０の吹出口３４
１をふさぐこととなり、その結果高圧空気の負圧側への
流入が防止されることとなる。

第１５図は、ソレノイド３２５の作動開始直後を示した
ものである。即ち、ソレノイド３２５が励磁すると、可
動筒３２７及び可動鉄心３２Ｂが圧密封体３４０方向に
移動する。この移動時に、可動鉄心３２６の先端部３３
１は、可動筒３２７の移動に伴って移動するものの、先
端部３３１に緩挿されているカバー３３２は、高圧空気
によって密封体３４０に押し付けられたままとなってい
る。しかしながらこの時、高圧空気は、先端部３３１と
カバー３３２との間隙、カバー３３２の連通孔３３５、
吹出口３４１を介して少しづつ負圧側に流入し、高圧側
と負圧側との圧力差を減少させ、負圧の停止、破壊を徐
々に開始していることとなる。

第１６図は、更にソレノイド３２４が作動して、カバー
３３２が完全に密封体３３６から離れた状態を示すもの
である。この時には、第１５図の状態から更に先端部３
３１が移動して、先端部３３１後端で力／＜　−３３２
の内向フランジ３３４をソレノイド３２５側に引っばり
、その結果、カバー３３２を密封体３４０から離し、吹
出口３４１を介して高圧空気を負圧側に流入させるもの
である。

このように形成すると、カバー３３２をソレノイド３２
５で直接引っばった場合に比べて、はとんど圧力抵抗が
ない状態で先端部３３１を移動させ、高圧空気を負圧側
に送り、その後カバー３３２の移動によって本格的に連
通させるので、ソレノイド３２５への負荷が少なく、従
ってソレノイド３２５の小型化及び消費電力の低減を図
ることができる。

また更にこの実施例における破壊バルブ装置３００は、
ソレノイド３２５の作動によって負圧の停止、破壊を行
なうものであるが、ソレノイド３２５の可動鉄心３２６
を可動筒３２７に固定し、かつ負圧の停止、破壊を行な
うための空気を可動筒３２７内を流通させたので、この
流通する空気によってソレノイド３２５を冷却すること
となり、高速でソレノイド３２５を作動させても、加熱
による性能低下が生じないものである。更に、このソレ
ノイド３２５は、固定材を介して破壊バルブ装置本体３
１０に熱放出を行なうので、破壊バルブ装置３００全体
が放熱器として作用し、加熱による性能低下が一層防止
できることとなる。

またこの実施例によると、破壊バルブ負圧側キャップ３
８０にネジ止めした弁棒３８８によって、密封体３４０
の吹出口３４１に連通した拡開面３４２からの流出空気
量を調整できるので、ソレノイド３２５の作動から完全
な負圧の停止、破壊までの時間制御が可使である。

更に高圧空気の流出により、フランジ部３９１で閉塞穴
３８５をふさぐ移動体３８２が設けであるので、吹出さ
れた高圧空気が負圧発生装置側に流れず、すべて負圧停
止、破壊に用いられるので、空気効率の良いものである
。

負圧スイッチ装置４００は、負圧スイッチ装置本体４１
０と、この負圧スイッチ装置本体４１０の高圧空気連通
側に固定した負圧スイッチ高圧側キャップ４５０と、負
圧空気連通側に弁座４３０を介して固定した負圧スイッ
チ負圧側キャップ４Ｈとから形成され、全体では、平面
形状がベース１００に略一致するような直方体状に形成
されている。

この負圧スイッチ装置本体４１０は、破壊バルブ装置３
００上に重ねた時に、破壊バルブ装置３００の上面に穿
設した破壊バルブ上送入口３５２及び破壊バルブ上吸引
口３１２の対応位置に相当する下面に、負圧スイッチ下
送入口４１１及び負圧スイッチ下吸引口４１２が穿設し
であると共に、その上面にも、負圧スイッチ上送入口４
１３及び負圧スイッチ上吸引口４１４が穿設しである。

更にこれらの負圧スイッチ下送入口４１１、負圧スイッ
チ下吸引口４１２、負圧スイッチ上送入口４１３及び負
圧スイッチ上吸引口４１４には、密封用のパツキン（図
示せず）、例えばスラスト方向の負荷によって塑性変形
を生じることで密封するスチールワッシャ等を収納する
ための収納段部４１５が凹設しである。

またこの負圧スイッチ装置本体４１０は、破壊バルブ装
置３００の４つの破壊バルブ止め穴３１４対応位置に相
当する上面に負圧スイッチ止め穴４１Ｂが穿設しである
と共に、各々の負圧スイッチ止め穴４１６下部が負圧ス
イッチ切欠き部４１７として形成され、更には、これら
４つの負圧スイッチ切欠き部４１７のすべてに渡るよう
に、負圧スィッチ装置本体４１０下面に負圧スイッチ凹
部４１８が欠設しである。この負圧スイッチ凹部４１８
は、破壊破壊バルブ止め穴３１４対応位置に負圧スイッ
チ連結穴４１９を穿設した負圧スイッチ連結板４２０を
位置させて、まずこの負圧スイッチ連結板４２０を負圧
スイッチ装置本体４１０に固定し、その後この負圧スイ
ッチ連結穴４１９を介して、負圧スイッチ固定ネジ４．
２１で、負圧スイッチ連結板４２０を破壊バルブ装置３
００に固定するものである。またこの負圧スイッチ固定
ネジ４２１は、六角穴付ポルトを用いているので、負圧
スイ−２チ止め穴４１６を介して負圧スイッチ固定ネジ
４２１に達する六角レンチ（図示せず）にて固定するこ
とができる。

負圧スイッチ装置本体４１０は、その内部に圧力センサ
ー４０１を内装していると共に、この圧力センサー４０
１の配線を負圧スイッチ高圧側キャップ４５０に導くた
めの導通穴４２２が負圧スイッチ高圧側キャップ４５０
方向に穿設しである。

この導通穴４２２には、導通穴４２２への固定時に、負
圧スイッチ上送入口４１３及び負圧スイッチ下送入口４
１１の対応位置外周に、リング状の凹溝４２３が設けで
ある連通筒４２４が固定しである。

従って負圧スイッチ下送入口４１１からの高圧空気は、
凹溝４２３を介して負圧スイッチ上送入口４１３に連通
することとなる。なおこの凹溝４２３の両側に相当する
連通筒４２４外周には、空気漏れを防止するためのパツ
キン４２５が設けである。

一方、この負圧スイッチ装置本体４１０の負圧スイッチ
上吸引口４１４と負圧スイッチ下吸引口４１２との間は
、弁座４３０及び一方弁４３１を介して連通路４３２に
て連通している。

ここで弁座４３０の説明に合わせて連通路４３２につい
て説明する。負圧スイッチ下吸引口４１２からは、負圧
スイッチ装置本体４１０の高さ方向中程まで下吸引穴４
３３が穿設されている。またその下吸引穴４３３は、圧
力センサー４０１に通じるために圧力センサー４０１方
向に穿設した測定穴４３４に連通していると共に、弁座
４３０に設けた負圧穴４３５にも連通している。更にこ
の負圧穴４３５は、反負圧スイッチ低圧側キャップ４６
０側に弁穴４３６が穿設しである。また負圧スイッチ装
置本体４１０には、弁穴４３６と軸心を一致した移動穴
４３７及びこの移動穴４３７に連続したガイド穴４３８
が穿設しである。更にこの移動穴４３７は、負圧スイッ
チ装置本体４１０の左右方向に穿設した左右連通穴４３
９、この左右連通穴４３９に連通した前後連通穴４４０
、この前後連通穴４４０に連通した上下方向への上吸引
穴４４１を介して負圧スイッチ上吸引口４１４に連通し
ている。更に前記移動穴４３７には、先端に弁穴４３６
をふさぐＶリング４４２を固定した一方弁４３１が移動
自在に位置していると共に、この一方弁４３１の他方が
ガイド穴４３８中に位置している。

またこの一方弁４３１には、常態ではＶリング４４２が
弁穴４３Ｂをふさぐようにスプリング４４３が縮装しで
ある。なお測定穴４３４、左右連通穴４３９及び前後連
通穴４４０は、いずれもパツキン４４４を設けた止栓４
４５にて空気漏れを防止しである。また弁座４３０の弁
穴４３６両側には、空気漏れを防止するためのパツキン
４４Ｂが位置させである。

従って負圧発生装置５００によって負圧スイッチ上吸引
口４１４から空気を吸引して負圧状態とすると、その吸
引力で一方弁４３１がスプリング４４３の弾発力に抗す
るよう反弁穴４３８方向に移動することとなり、負圧ス
イッチ下吸引口４１２側から空気を抜くこととなる。こ
のように負圧状態とした後に、負圧発生装置５００の作
動を停止すると、あるいは負圧スイッチ上吸引口４１４
と負圧スイッチ下吸引口４１２との真空度が近似してく
ると、スプリング４４３の弾発力でＶリング４４２が弁
穴をふさぐように一方弁４３１が移動する。するとこの
Ｖリング４４２によって弁穴４３６がふさがれ、その結
果負圧発生装置５００を作動させなくても負圧状態を維
持することができるものである。

また負圧スイッチ高圧側キャップ４５０は、負圧スイッ
チ装置本体４１０に固定されるものであり、全体形状が
圧力センサー４０１のコードを内装するように有底角筒
状に形成され、底部表面に圧力センサー４０１の出力端
子４５１が設けである。

更に負圧スイッチ低圧側キャップ４８０は、弁座４３０
、止栓４４５を負圧スイッチ装置本体４１０に固定する
ために、負圧スイッチ装置本体４１０に固定するもので
ある。

この負圧スイッチ装置４００は、弁座４３０に設けた一
方弁４３１によって負圧状態の維持が可能であるために
、必要な真空度とした後は負圧発生装置５００の作動を
停止することによって、ランニングコストの低減を図る
ことができる。またこの一方弁４３１は、スプリング４
４３の弾発力のみで作動するので、負圧状態の維持が経
済的に行なえる。

またこの負圧スイッチ装置４００は、圧力センサー４０
１を、一方弁４３１の反負圧発生装置５００側、即ちベ
ース１００のベース吸引口１０２側に位置させたので、
この圧力センサー４０１による一定の真空度測定によっ
て負圧発生装置５００の作動を停止した後に、真空度が
落だことの測定が行なえることとなる。従ってこのよう
な時には、再び負圧発生装置５００を作動させて、ベー
ス吸引口１０２側を常に一定の真空度とすることが可能
である。具体的には、例えばベース吸引口１０２側に負
圧吸着パッド（図示せず）を接続し、この負圧吸着パッ
ドによってワーク（図示せず）を吸着持ち上げ移動させ
る場合において、ワーク重量に合致した一定負圧を負圧
発生装置５００によって形成してワークを吸着し、一方
弁４３１によってその負圧状態を維持したままこれを持
ち上げて移動するが、その移動途中で負圧吸着パッドか
らの負圧漏れによって徐々に真空度の低下をきたしたと
しても、その真空度が一定以下となったことを圧力セン
サー４０１によって検出した時には、再び負圧発生装置
４００を作動させることによって、ワークの負圧吸着パ
ッドからの落下を防止できるものである。

負圧発生装置５００は、高圧空気によって負圧状態を形
成する、いわゆるエゼクタ式真空ポンプであり、負圧発
生装置本体５１０と、この負圧発生装置本体５１０の高
圧空気連通側に固定した負圧発生装置高圧側キャップ５
６０とキャップ押え５８０、及び負圧空気連通側に固定
した負圧発生後の高圧空気を排出するためのサイレンサ
ー５８０とから形成され、全体では、平面形状がベース
１００に略一致するような直方体状に形成されている。

この負圧発生装置本体５００は、負圧スイッチ装置４０
０上に重ねた時に、負圧スィッチ装置４００上面に穿設
した負圧スイッチ上吸引口４１４の対応位置に相当する
下面に、負圧発生装置上吸引口５１１が穿設しであると
共に、その上面にも、負圧発生装置上吸引口５１２が穿
設しである。更にこれらの負圧発生装置上吸引口５１１
及び負圧発生装置」二吸引口５１２には、密封用のパツ
キン５１３、例えばスラスト方向の負荷によって塑性変
形を生じることで密封するスチールワッシャ等を収納す
るための収納段部５１４が凹設しである。またこの負圧
発生装置本体５１０は、４つの負圧スイッチ止め穴４１
６対応位置に相当する上面に負圧発生装置止め穴５１５
が穿設しであると共に、各々の負圧発生装置止め穴５１
５下部が負圧発生装置切欠き部５１Ｂとして形成され、
更には、これら４つの負圧発生装置切欠き部５１６のす
べてに渡るように、負圧発生装置本体５１０下面に負圧
発生装置凹部５１７が欠設しである。この負圧発生装置
凹部５１７は、負圧スイッチ止め穴４１６対応位置に負
圧発生装置連結穴５１８を穿設した負圧発生装置連結板
５１９を位置させて、まずこの負圧発生装置連結板５１
９を負圧発生装置本体５１０に固定し、その後この負圧
発生装置連結穴５１８を介して、負圧発生装置固定ネジ
５２０で、負圧発生装置連結板５１９を負圧スイッチ装
置４００に固定するものである。またこの負圧発生装置
固定ネジ５２０は、六角穴付ポルトを用いているので、
負圧発生装置止め穴５１５を介して負圧発生装置固定ネ
ジ５２０に達する六角レンチ（図示せず）にて固定する
ことができる。

なお負圧発生装置５００の下側部から負圧発生装置高圧
側キャップ５６０方向に突出しているのは、位置決めビ
ン５５３である。

負圧発生装置本体５１０は、負圧発生装置高圧側キャッ
プ５６０方向からソレノイド内装穴５２１及びピン固定
穴５２２が穿設され、このソレノイド内装穴５２１の奥
には軸心を同一にし、内径が小さい真空発生穴５２３が
穿設されていると共に、サイレンサージ９０方向からメ
ネジ５５２を設けたサイレンサー挿入穴５２４が穿設さ
れ、更には真空発生穴５２３とサイレンサー挿入穴５２
４との間は、若干の内向７ランジ５２５を突出させて連
通している。

ソレノイド内装穴５２１には、ボビン５２８に巻装した
ソレノイド５２トが内装しである。またこのソレノイド
５２７の作動によって移動する可動鉄心５２８は可動筒
５２８に固定しであると共に、ポビイ５２６の負圧発生
装置高圧側キャップ５６０側には、可動筒５２８のガイ
ド５３０が負圧発生装置高圧側キャップ５８０によって
固定しである。なおツレノイド５２７と負圧発生装置本
体５１０との間には、ソレノイド５２７を確実に固定す
るための固定材５３１が介装しである。またここで可動
筒５２９は、その後端をガイド５３０から後方に突出さ
せてスプリング受け５３２によって閉塞されているもの
の、側面には連通口５３３が穿設されている。更に可動
鉄心５２８先端は、可動筒５２８内部と可動鉄心５２８
先端とが連通ずるような連通部５３４によって連通して
いると共に、その最先端が、角柱状の先端部５３５とし
て形成しである。更にこの先端部５３５には、先端部を
覆うカバー５３６がかぶせである。

このカバー５３６は、先端部５３５の外径よりも若干大
きな内径を有し、かつ先端部５３５よりも長い筒体５５
４の後端に内向フランジ５３７を設けると共に、先端に
中心に連通孔５３８を有する円錐台状の密封部５３９を
設けて形成しである。なお固定材５３１とソレノイド内
装穴５２１との間、及び固定材５３１　とガイド５３０
との間には、各々密封用のパツキン５４０を位置させで
ある。

ピン固定穴５２２は、ソレノイド５２７の端子としての
ピン５４１を、負圧発生装置本体５１０から負圧発生装
置高圧側キャップ５８０方向に突出させるために、ピン
５４１を固定したモールド部５４２を位置させるもので
ある。

真空発生穴５２３には、密封部５３９の錯角に一致した
錐面を有する密封体５４３及びディフューザー５４４が
固定しである。密封体５４３の密封部５３９の連通孔５
３８に対応する位置には、サイレンサー５９０側を円錐
状の拡開面５４５として形成した高圧空気の吹出口５４
６が穿設しである。またディフューザー５４４は、密封
体５４３の拡開面５４５先端から若干距離を有して拡散
室５４７を形成しつつ、拡開面５４５先端面積よりも広
い流入面積を有し、かつ先すぼみ状に形成した空気の放
出穴５４８を設けであると共に、この放出穴５４８を、
サイレンサー５９０にかけて直線部、拡開部として連通
させである。なお真空発生装置本体５１０の負圧発生装
置下吸引口５１１及び負圧発生装置上吸引口５１２に対
応するディフューザー５４４には、拡散室５４７と負圧
発生装置下吸引口５１１及び負圧発生装置上吸引口５１
２とを連通させるための下連通孔５４８及び上達通孔５
５０とが穿設しである。なお密封体５４３とディフュー
ザー５４４との間、及びディフューザー５４４と内向フ
ランジ５３７との間には、各々密封用のパツキン５５１
が位置ｙせである。

負圧発生装置高圧側キャップ５６０は、この負圧発生装
置高圧側キャップ５６０を負圧発生装置本体５１０に固
定した状態で負圧スイッチ装置４００上に重ねた時に、
負圧スィッチ装置４００上面に穿設した負圧スイッチ上
送入口４１３の対応位置に相当する下面に、負圧発生装
置下送入口５６１が穿設しであると共に、その上面にも
、負圧発生装置上送入口５６２が穿設しである。更にこ
れらの負圧発生装置下送入口５６１及び負圧発生装置上
送入口５６２には、密封用のパツキン５６３、例えばス
ラスト方向の負荷によって塑性変形を生じることで密封
するスチールワッシャ等を収納するための収納段部５６
４が凹設しである。またこれら負圧発生装置下送入口５
６１及び負圧発生装置上送入口５６２は、可動筒５２８
と軸心を同一とした連通室５６５によって連通している
ものである。この連通室５６５には、前記したガイド５
３０から突出している可動筒５２９が位置しており、そ
の結果高圧空気が負圧発生装置下送入口５６１、負圧発
生装置上送入口５６２、可動筒５２９及び固定材５３１
と密封体５４３との間には常に高圧空気が充満している
ものである。更にこの負圧発生装置高圧側キャップ５．
８０の連通室５６５内部には、可動筒５２８及び可動鉄
心５２８をサイレンサージ９０方向に押し付け、カバー
５３６によって吹出口５４Ｂをふさいで高圧空気の負圧
側への流出を防ぐためのスプリング５６Ｂが縮装しであ
る。またこの負圧発生装置高圧側ギャップ５６０を負圧
発生装置本体５１０に固定した時にピン５４１に対応す
る位置には、ソケット５６７が設けてあり、固定によっ
て電気的接続が行なわれるように形成しである。更にこ
の負圧発生装置高圧側キャップ５８０には、ソケット５
６７に接続したバリスタ５６８、抵抗５６９、ダイオー
ド５７０等から成る電気回路が内装されていると共に、
作動時を可視的に示すためのランプ５７１が設けである
。

更に負圧発生装置本体５１０の位置決めピン５５３に対
応する位置には、位置決めピン挿入口５７２が穿設され
、負圧発生装置本体５１０と負圧発生装置高圧側キャッ
プ５６０との位置ズレを防止している。

なおこの負圧発生装置高圧側キャップ５６０とガイド５
３０との間には、密封用のパツキン５７３が位置させで
ある。

またキャップ押え５８０は、負圧発生装置高圧側キャッ
プ５６０に固定されて電気回路の損傷を防止するための
ものであり、ランプ５７１の透視穴５８１及び電気回路
の接続端子５８２が設けられている。

サイレンサー５８０は、ディフューザー５４４の放出穴
５４８から放出される高圧空気放出に伴う騒音を減少さ
せるために、負圧発生装置本体５１０のサイレンサー挿
入穴５２４に設けたメネジ５５２に固定するものである
。具体的な形状は、内部にディフューザー５４４を収納
する収納穴５９１を穿設したサイレンサ一本体５９２と
、このサイレンサ一本体５９２先端に固定するサイレン
サーキャップ５９３とから形成され、高圧空気は、サイ
リンサーキャップ５９３先端及びサイレンサ一本体５９
２とサイレンサーキャップ５９３の間とから外部に放出
されるものであるφ なお図示例では、負圧発生装置本体５１０の負圧発生装
置上吸引口５１２及び負圧発生装置高圧側キャップ５６
０の負圧発生装置上送入口５６２には、各々パツキン５
１３，５６３を介して密封ネジ５０１が固定しである。

ここでソレノイド５２７が作動して、負圧側に高圧空気
が流入する場合は、破壊バルブ装置３００と同様なため
、第１４図乃至第１６図に従って説明する。

第１４図は、ソレノイド５２７が作動していない　・状
態を示したものである。この時は、スプリング受け５３
２と負圧発生装置高圧側キャップ５６０とのとの間に縮
装したスプリング５６５の弾発力によって、可動筒５２
９、可動鉄心５２８が密封体５４３方向に押されている
ので、先端部５３５がカバ−５３６内面に押し付けられ
ていると共に、このカバー５３８が密封体５４３の吹出
口５４８をふさぐこととなり、その結果高圧空気の負圧
倒への流入が防止されることとなる。

第１５図は、ソレノイド５２７の作動開始直後を示した
ものである。即ち、ソレノイド５２７が励磁すると、可
動筒５２８及び可動鉄心５２８が圧密封体５４３方向に
移動する。この移動時に、可動鉄心５２８の先端部５３
５は、可動筒５２９の移動に伴って移動するものの、先
端ｉ　５３５に緩挿されているカバー５３６は、高圧空
気によって密封体５４３に押し付けられたままとなって
いる。しかしながらこの時、高圧空気は、先端部５３５
とカバー５３６との間隙、カバー５３６の連通孔５３８
、吹出口５４Ｂを介して少しづつ負圧側に流入している
こととなる。

第１６図は、更にソレノイド５２７が作動して。

カバー５３６が完全に密封体５４３から離れた状態を示
すものである。この時には、第１５図の状態から更に先
端部５３５が移動して、先端部５３５後端でカバー５３
６の内向フランジ５３７をソレノイド５２７側に引っば
り、その結果、カバー５３６を密封体５４３から離し、
吹出口５４６を介して高圧空気を負圧側に流入させるも
のである。

このように形成すると、カバー５３６をソレノイド５２
７で直接引っばった場合に比べて、はとんど圧力抵抗が
ない状態で先端部５３５を移動させ、高圧空気を負圧側
に送り、その後カバー５３６の移動によって本格的に連
通させるので、ソレノイド５２７への負荷が少なく、従
ってソレノイド５２７の小型化及び消費電力の低減を図
ることができる。

また更にこの実施例における負圧発生装置５００は、ソ
レノイド５２７の作動によって負圧の停止、破壊を行な
うものであるが、ソレノイド５２７の可動鉄心５２８を
可動筒５２９に固定し、かつ負圧の停止、破壊を行なう
ための空気を可動筒５２９内を流通させたので、この流
通する空気によってソレノイド５２７を冷却することと
なり、高速でソレノイド５２７を作動させても、加熱に
よる性能低下が生じないものである。更に、このソレノ
イド５２７は、固定材を介して負圧発生装置本体５１０
に熱放出を行なうので、負圧発生装置５００全体が放熱
器として作用し、加熱による性能低下が一層防止できる
こととなる。

またこの負圧発生装置５００は、図示例では密封ネジ５
０１によって密封されているものの、負圧発生装置上吸
引口５１２及び負圧発生装置上送入口５６２にも配管で
きるものである。従ってこの負圧発生装置５００を単体
で使用する場合にあっては、基台（図示せず）上に直接
負圧発生装置５００を固定し、この負圧発生装置５００
の上面に配管を施すことによって、使用が可能である。

なお実施例ではベース１００上に順次、フィルター装置
２００、破壊バルブ装置３００、負圧スイッチ装置４０
０、負圧発生装Ｍ５００を固定した場合について説明し
た。ここで負圧発生装置５００は必ず必要とされるが、
ベース１００を含めた他の各装置２００．３００，４０
０，５００は、必ずしも必要とはされない。

ベースＩ００がない場合であっても、他の装置の内で、
例えばフィルター装置２００を最下端とした場合には、
このフィルター装置２００のフィルター装置下送入口２
１１から高圧空気を送入し、フィルター装置下吸引口２
１２から負圧空気を吸引するようにすれば充分機能する
ものである。

またフィルター装置２００は、負圧側が清浄空気雰囲気
であれば、除去すべきゴミ等の混入がないから不要とさ
れる。

破壊バルブ装置３００は、負圧発生装置５００の作動の
有無のみで充分機能する負圧制御装置にあっては、付設
が不要とされる。

また負圧スイッチ装置４００も、真空度測定が不要であ
れば、付設が不要とされる。

即ち、ベース１００．フィルター装置２００．破壊バル
ブ装置３００．負圧スイッチ装置４００等は、その必要
に応じて、負圧発生装置５００と組合わせて使用するも
のである。本実施例にあっては、このような各種の組合
わせ使用が可能なように、各装置の止め穴の位置、及び
送入口、吸引口位置を平面的に一致させである。

［発明の効果］ 以−ヒ説明したように、本発明は、負圧空気の流通路中
に圧力センサーを内装した負圧スイッチ装置において、
圧力センサーよりも負圧発生装置側の流通路に、反負圧
発生装置方向への空気流通を阻止する一方弁を設けたの
で、一方弁によって負圧状態を維持可能であるだけでな
く、なんらかの原因によって一方弁の反負圧発生装置側
の真空度が低下した時であっても、その真空度低下が圧
力センサーによって測定できるので、すかさず負圧発生
装置を作動させる等のことができる。

また一方弁を、常態では、負圧発生装置側から先端のＶ
リングで弁穴を閉塞するようにスプリングで付勢して形
成すると、単にスプリングの弾発力で負圧状態の維持が
行なえるので、経済的であると共に、確実な作動が行な
える。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明を負圧制御装置に組み込んだ場合を示した
一実施例であって、第１図は負圧スイッ子装置の断面図
、第２図は同側面図、第３図は同一部切欠平面図、第１
図は同底面図、第５図は負圧制御装置として重ねた場合
の正面図、第６図はベースの平面図、第７図は同断面図
、第８図は同正面図、第９図はフィルター装置の断面図
、第１０図は同底面図、第１１図は破壊バルブ装置の断
面図、第１２図は同一部切欠平面図、第１３図は同底面
図、第１４図乃至第１６図は高圧空気が負圧側に流入す
る場合を順次水した断面図、第１７図は負圧発生装置の
断面図、第１８図は同側面図、第１９図は同一部切欠平
面図、第２０図は同底面図である。 ４００・・・負圧スイッチ装置 ４０１・・・圧力センサー　　４３１・・・一方弁４３
６・・・弁穴　　　　　　４４１・・・Ｖリング４４３
・・・スプリング　　　５００・・・負圧発生装置第１
図 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、負圧空気の流通路中に圧力センサーを内装した負圧
   スイッチ装置において、圧力センサーよりも負圧発生装
   置側の流通路に、反負圧発生装置方向への空気流通を阻
   止する一方弁を設けたことを特徴とする負圧スイッチ装
   置。 ２、一方弁を、常態では、負圧発生装置側から先端のＶ
   リングで弁穴を閉塞するようにスプリングで付勢して形
   成した特許請求の範囲第１項記載の負圧スイッチ装置。