DE4201811A1 - Abgabevorrichtung fuer fluessigkeiten - Google Patents
Abgabevorrichtung fuer fluessigkeitenInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Mischen
von Flüssigkeiten in einem bestimmten Verhältnis und im
besonderen auf eine Vorrichtung zum Mischen von entionisiertem
Wasser und Flußsäure beispielsweise im genauen Verhältnis 100 : 1,
um eine Mischung herzustellen, die zum Ätzen von Platten
(wafers) geeignet benutzt ist.
Um bei der Herstellung von Halbleiterprodukten ein schlechtes
Ergebnis beim Plattenätzen zu verhindern, sollten entionisier
tes Wasser und Flußsäure in einem vorgegebenen Verhältnis
gemischt werden, beispielsweise im Verhältnis 100 : 1. Fig.
1 zeigt ein Beispiel einer herkömmlichen Mischvorrichtung. In
der Mischvorrichtung werden in einen Puffertank 33 eine
vorbestimmte Menge entionisiertes Wasser und Flußsäure durch
die Flüssigkeits-Mengenmesser 31 bzw. 32 eingeführt, so daß
das entionisierte Wasser und die Flußsäure darin in einem
Verhältnis 100 : 1 gemischt werden. Die sich ergebende
Mischung wird dann mit einer Chemikalienpumpe 34 in ein
chemisches Bad 35 gepumpt.
Bei einem solchen herkömmlichen Fall werden jedoch die
Volumina des entionisierten Wassers und der Flußsäure nicht
genau gemessen, so daß das Mischverhältnis vom gewünschten
Verhältnis etwa um 2% abweicht. Daraus resultiert, daß das
Ätzen der Platten verschlechtert wird.
Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, die oben erwähnten
Nachteile, die sich beim Stand der Technik ergeben haben, zu
überwinden und eine Vorrichtung zum Mischen von
Flüssigkeiten zu schaffen, die eine Mischung in dem genauen
Mischverhältnis herstellt.
Nach einem Aspekt sieht die Erfindung eine Abgabevorrichtung
für Flüssigkeiten vor, die folgendes enthält: Mittel zum
Fühlen der Flüssigkeitshöhen einer Flüssigkeit in einem
Behälter, vorzugsweise aus Teflon, sowie Mittel zur Abgabe der
Flüssigkeit vom Behälter an ein chemisches Bad in einer Menge,
die der Kapazität des Behälters entspricht, und weiterhin
automatische Flüssigkeits-Zuleitungsmittel zur automatischen
Zuleitung der Flüssigkeit aus einem chemischen Tank zum
Behälter.
Nach einem anderen Aspekt sieht die Erfindung eine Vorrichtung
zum Mischen einer Flüssigkeit und der anderen Flüssigkeiten
in einem vorbestimmten Verhältnis vor
mit einer Abgabevorrichtung nach Anspruch 1;
mit Mischmitteln zum genauen Mischen der Flüssigkeiten in dem genauen Mischverhältnis;
mit Ablaßmitteln für die Flüssigkeitsmischung zum Zuführen der Flüssigkeitsmischung zu einem Vorratstank
und mit Kontrollmitteln Steuern der gesamten Arbeitsvorgänge.
mit einer Abgabevorrichtung nach Anspruch 1;
mit Mischmitteln zum genauen Mischen der Flüssigkeiten in dem genauen Mischverhältnis;
mit Ablaßmitteln für die Flüssigkeitsmischung zum Zuführen der Flüssigkeitsmischung zu einem Vorratstank
und mit Kontrollmitteln Steuern der gesamten Arbeitsvorgänge.
Andere Aufgaben und Gesichtspunkte der Erfindung werden aus der
folgenden Beschreibung der Ausführungsformen und in den
Zeichnungen deutlich. Es zeigt
Fig. 1 eine schematische Ansicht einer her
kömmlichen Mischvorrichtung;
Fig. 2 eine Stirnansicht einer Abgabevorrichtung für
Flüssigkeiten nach der Erfindung;
Fig. 3 einen teilweisen Schnitt der Vorrichtung nach
Fig. 2;
Fig. 4 eine Stirnansicht einer Mischvorrichtung
nach der Erfindung.
Fig. 2 zeigt eine Abgabevorrichtung für Flüssigkeiten, bei
einer Vorrichtung zum Mischen von Flüssigkeiten in einem
vorbestimmten Verhältnis nach der Erfindung angewendet wird.
Die Abgabevorrichtung schließt eine Einheit zum Fühlen von
Flüssigkeitshöhen A, B und C einer in einem Teflonbehälter
vorhandenen Flüssigkeit ein, eine Flüssigkeits-Abgabevorrich
tung zum Abgeben der Flüssigkeit von einem Teflonbehälter an
ein chemisches Bad 17 in einer Menge, die der Kapazität des
Teflonbehälters entspricht und eine automatische Flüssigkeits-
Zuführeinheit zum automatischen Zuführen der Flüssigkeit vom
chemischen Tank 2 an den Teflonbehälter 1.
Die Flüssigkeitshöhen-Fühlereinheit schließt einen Luft
membranfühler 3 ein, der die Höhe der Flüssigkeit im Tef
lonbehälter 1 fühlt, einen Luftregler 4 zum Regulieren des
Drucks von N2 (Stickstoffgas) derart, daß er der Spezifikation
des Luftmembranfühlers 3 entspricht und ein Nadelventil 5 zum
Regulieren der Strömungsrate von N2.
Die Flüssigkeits-Abgabeeinheit schließt einen doppelten
Teflonbehälter 1 ein mit einem Abgabebehälter 1a und mit einem
äußeren Behälter 1b, einer Teflonleitung 6 und einem automati
schen Ventil 7, die derart angeordnet sind, daß eine vorbe
stimmte Menge der Flüssigkeit vom Abgabebehälter 1a abgelas
sen wird, wobei eine Teflonleitung 8 und ein automatisches
Ventil 9 die Flüssigkeit vom äußeren Behälter 1b zum chemi
schen Tank 2 zuführen sowie ein Luftfilter (Luftöffnung) 10.
Die automatische Flüssigkeits-Zuführungseinheit schließt den
chemischen Tank 2 ein, der die Flüssigkeit enthält, die vom
äußeren Behälter 1b der Flüssigkeits-Abgabeeinheit zugeführt
wurde, eine Teflonleitung 11, die mit der Teflonleitung 8 der
Flüssigkeits-Abgabeeinheit verbunden ist, und ein auto
matisches Ventil 12, das in der Teflonleitung 11 angeordnet
ist, ferner eine Blasebalgpumpe 13 zum Pumpen der Flüssigkeit
vom chemischen Tank 2 zum Teflonbehälter 1, eine Teflonleitung
14 und ein automatisches Ventil 15, die die Flüssigkeit vom
chemischen Tank 2 zum Teflonbehälter 1 leiten und einen
Leerfühler 16, der fühlt, wenn keine Flüssigkeit im chemischen
Tank 2 vorhanden ist.
Es wird nunmehr der Betrieb der Flüssigkeitsabgabe be
schrieben.
Um das Flüssigkeitsniveau zu fühlen, wird der Luftregler 4 der
Flüssigkeitshöhen-Fühlereinheit, die mit einem Teflonrohr des
Teflonbehälters 1 verbunden ist, zunächst einreguliert derart,
daß der Differentialdruck über dem Luftregler 4 20 psi ist.
Auch die N2-Strömungsrate am Nadelventil 5 wird auf 2 bis 3
Blasen/Sek. reguliert. Es wird auch geprüft, daß die entspre
chenden automatischen Ventile 7, 9, 12 in ihrem Aus-Zustand
sind.
Sodann wird die Abgabe eingeschaltet, um zu prüfen, ob der
Fühler 16 des chemischen Tanks 2 ausgeschaltet ist. Im Aus-
Zustand des Fühlers 16 ist keine Flüssigkeit im chemischen
Tank 2.
Unter der vorgenannten Bedingung werden die Ventile 12 und 15
der automatischen Flüssigkeits-Zuführeinheit geöffnet. Die
Blasebalgpumpe 13 wird auch betrieben, um die Flüssigkeit über
die Teflonleitung 14 vom chemischen Tank 2 zum Teflonbehälter
1 zu führen, so daß die Flüssigkeit auf der Höhe A im
Teflonbehälters verbleibt.
Wenn der Luftfilter 3 fühlt, daß die Flüssigkeit zur Höhe A
des Teflonbehälter zugeführt ist, gibt er ein elektrisches
Signal ab, das den automatischen Ventilen 12 und 15 zugeführt
wird, um sie zu schließen. Auch die Blasebalgpumpe 13 wird
durch das elektrische Signal angehalten.
Danach wird das automatische Ventil 9 der Flüssigkeits-
Abgabeeinheit geöffnet, so daß die Flüssigkeit im äußeren
Behälter 1b abgelassen und bei Höhe C gehalten wird. Daraus
ergibt sich, daß die Flüssigkeit im Verteilerbehälter 1a bei
Höhe B gehalten wird, was genau der Kapazität des Verteiler
behälters 1a entspricht.
An der oberen Umfangskante hat der Flüssigkeitsbehälter 1a
eine Vielzahl von beabstandeten Ausnehmungen 1c, um mögliche
Ungenauigkeiten im Volumen, bedingt durch die Oberflächenspan
nung an der oberen Umfangskante des Behälters 1a, zu vermeiden,
so daß eine genauere Flüssigkeitsmenge im Verteilerbehälter
1a enthalten ist.
Wenn eine vorbestimmte Flüssigkeitsmenge im Verteilerbehälter
1a enthalten ist, wird das automatische Ventil 7 der Ab
gabeeinheit geöffnet, um die Flüssigkeit vom Abgabebehälter
1a dem chemischen Behälter 17 zuzuführen. Dadurch wird dem
chemischen Behälter 17 eine genauere Flüssigkeitsmenge
zugeführt.
Fig. 4 zeigt eine Vorrichtung zum Mischen von Flüssigkeiten
in einem bestimmten Verhältnis unter Benutzung der vorstehend
beschriebenen Abgabevorrichtung. Die Mischvorrichtung nach der
Erfindung wird nunmehr beschrieben in Verbindung mit dem Fall,
daß entionisiertes Wasser und Flußsäure im Verhältnis 100 : 1
gemischt werden.
Die Mischvorrichtung nach der Erfindung schließt eine An
ordnung der vorstehend beschriebenen Flüssigkeits-Abgabevor
richtung nach Fig. 2 ohne jede Änderung ein.
Die Mischvorrichtung enthält eine Fühlereinheit für die Höhe
der Flußsäure zum Fühlen der Höhen A, B und C der Flußsäure,
die in einem Teflonbehälter 1′ enthalten ist, eine Flußsäure-
Abgabeeinheit zur Abgabe der Flußsäure vom Teflonbehälter 1′
an einen Mischtank 17′ in einer Menge entsprechend 100 cc und
eine automatische Flußsäure-Zuführeinheit zum automatischen
Zuführen der Flußsäure aus einem Flußsäuretank 2′ mit einer
Kapazität von 23 l zum Teflonbehälter 1′. Die Mischvorrichtung
schließt auch eine Mischeinheit zum genauen Mischen des
entionisierten Wassers und der Flußsäure im Verhältnis 100 : 1
ein, eine Ablaßeinheit für die Mischflüssigkeit zum Zuführen
der Mischflüssigkeit zum Vorratstank und eine Kontrollein
heit zum Kontrollieren des Arbeitsvorgangs der Mischein
richtung.
Die Fühlereinheit für die Flußsäure enthält einen Luftmembran
fühler 3 (Fig. 2) zum Fühlen der Höhe des Flußsäure im Teflon
behälter 1′, einen Luftregler 4 (Fig. 2) zum Regeln des
Drucks von N2 derart, daß er der Spezifikation des
Luftmembran-Fühlers 3 entspricht, ferner ein Nadelventil 5
(Fig. 2) zum Regeln der Strömungsrate von N2.
Die Flußsäure-Abgabeeinheit besitzt den doppelten Teflonbe
hälter 1′ mit einem Abgabebehälter 1a′ und einen äußeren
Behälter 1b′, eine Teflonleitung 6′ und ein automatisches
Ventil 7′, die eine vorbestimmte Menge der Flußsäure vom
Verteilerbehälter 1a′ ablassen, eine Teflonleitung 8′ und ein
automatisches Ventil 9′, die die Flußsäure von dem äußeren
Behälter 1b′ zum Mischtank 17′ zuführen, sowie ein Luftfilter
10 (Fig. 2).
Die automatische Zuführeinheit für die Flußsäure schließt
einen Flußsäuretank 2′ ein, der die vom äußeren Behälter 1′b
der Flußsäure-Verteilereinheit zugeführte Flußsäure enthält,
ferner eine Teflonleitung 11′, die mit der Teflonleitung 8′
der Flußsäure-Abgabeeinheit und einem automatischen Ventil
12′, das sich in der Teflonleitung 11′ befindet, verbunden
ist, eine Blasebalgpumpe 13′ zum Pumpen der Flußsäure vom
Flußsäuretank 2′ zum Teflonbehälter 1′, eine Teflonleitung 14′
und ein automatisches Ventil 15′ für die Flußsäure zum
Ablassen vom Flußsäuretank 2 zum Teflonbehälter 1′ sowie einen
Leerfühler 16′, der feststellt, ob keine Flußsäure im
chemischen Tank 2 enthalten ist.
Die Mischeinheit besitzt eine elektronische Waage 20 für 30
kg ± 2,5 g, die das Gewicht der gemischten Flüssigkeit genau
wiegen kann, eine Anzeige 21 zum numerischen Anzeigen des von
der Waage gewogenen Gewichts, den Mischtank 17′ zum Mischen
des entionisierten Wassers mit der Flußsäure, Kontrollventile
22 und 23 für die Zufuhr von entionisiertem Wasser, die das
entionisierte Wasser dem Mischtank 17′ in großen bzw. kleinen
Mengen zuführen, ein Kontrollventil 24 zum Kontrollieren der
Strömung der gemischten Flüssigkeit, die vom Mischtank 17′ zum
Vorratstank gepumpt wird, eine N2-Blaseneinheit zum gleich
förmigen Mischen des entionisierten Wassers mit der Flußsäure.
Die Ablaßeinheit für die gemischte Flüssigkeit schließt eine
Abflußpumpe 25 ein, die die gemischte Flüssigkeit vom
Mischtank 17′ zum Vorratstank pumpt und ein Chemikalienfilter
26 zum Abtrennen von Teilchen aus der gemischten
Flüssigkeit.
Die Kontrolleinheit enthält eine Kontrollvorrichtung 27, die
darin ein Leitungssubstrat und elektronische Elemente mit
einem Schaltpult enthält. Die Kontrollvorrichtung ist auch mit
einer Fehleranzeigefunktion versehen.
Es wird nunmehr der Betrieb der Mischvorrichtung mit der
Anordnung nach der Erfindung beschrieben.
Zum Fühlen der Höhe der Flußsäure wird zunächst der Luftreg
ler 4 derart eingestellt, daß der N2-Druck über dem Luftregler
4 20 psi beträgt. Andere Luftdrücke werden auf 4 bis 5 kg/cm2
eingestellt. Es wird sodann geprüft, ob die entsprechenden
automatischen Ventile 7′, 9′, 12′, 15′, 22, 23 und 24 des
normalen, geschlossenen Typs in ihrem geschlossenen Zustand
verbleiben. Der Ausgangswert der elektronischen Waage 20 wird
auch geprüft.
Sodann wird die Mischvorrichtung angestellt, um zu prüfen, ob
der Leerfühler 16′ des Tanks 2′ für 23 l Flußsäure in seinem
Aus-Zustand verbleibt. Wenn sich der Leerfühler in seinem An-
Zustand, d. h. nicht im Flußsäure-Zustand, befindet, wird der
Flußsäuretank 2′ durch einen neuen ersetzt. Bei diesem
vorstehend beschriebenen Zustand werden die automatischen
Ventile 12′ und 15′ der automatischen Flußsäure-Zuführeinheit
geöffnet. Die Blasebalgpumpe 13′ wird für die Zufuhr der
Flußsäure vom Flußsäuretank 2′ zum Teflonbehälter 1′ über die
Teflonleitung 14′ betrieben, so daß die Flußsäure bei Höhe A
des Teflonbehälters 1′ gehalten wird.
Wenn die Flußsäure der Höhe A des Teflonbehälters 1 zugeführt
wird, schließt die Fühlereinheit für die Flußsäurehöhe die
automatischen Ventile 12′ und 15′. Auch wird die Blasebalgpum
pe 13′ durch die Fühlereinheit für die Flußsäurehöhe angehal
ten.
Danach wird das automatische Ventil 9′ der Flußsäure-Ver
teilereinheit geöffnet, so daß die Flußsäure im äußeren
Behälter 1b′ abgelassen und auf Höhe C gehalten wird. Daraus
folgt, daß die Flußsäure im Verteilerbehälter 1a′ auf der Höhe
B gehalten wird, was 100 cc entspricht.
Da der Flußsäure-Verteilerbehälter 1a′ an seiner Umfangskante
eine Vielzahl von Ausnehmungen 1c′ besitzt, um eine mögliche
Oberflächenspannung der oberen Umfangskante des Behälters 1a
zu vermeiden, sind genau 100 cc von Flußsäure enthalten und
in dem Abgabebehälter 1a gehalten.
Wenn genau 100 cc Flußsäure im Verteilerbehälter 1a′ enthalten
ist, wird das automatische Ventil 7′ der Flußsäure-Abgabeein
heit geöffnet, um die Flußsäure vom Verteilerbehälter 1a′ zum
Mischtank 17′ zu führen, der auf der elektronischen Waage 20
liegt. Nach Beendigung der Abgabe der Flußsäure wird das
Luftventil 7′ geschlossen.
Darauf wird das Zuleitungskontrollventil 22 zum Kontrollieren
der Zuleitung einer großen Menge von Flußsäure geöffnet, so
daß 9,9 l entionisiertes Wasser, welche Menge nahezu ein
hundertmal größer ist als 100 cc, in den Mischtank 17′
eintreten.
Nun kann die Menge von entionisiertem Wasser durch die Anzeige
21 der elektronischen Waage 20 eingestellt werden.
Unter der Bedingung, daß das entionisierte Wasser dem
Mischtank 17′ in der Menge von weniger als 10 l, jedoch nahezu
diese Menge, zugeführt wird, wird das Zuleitungskontrollventil
22 geschlossen. Darauf wird das Zuleitungskontrollventil 23
zum Kontrollieren der Zuleitung einer kleinen Menge von Flußs
äure geöffnet, so daß das entionisierte Wasser zusätzlich zum
Mischtank 17′ zugeführt wird, um genau 10 l zu füllen. Die
genaue Menge des zugeführten entionisierten Wassers wird
angezeigt und von der Anzeige 21 kontrolliert. Nach der
Beendigung der Zuleitung der genauen Menge von entionisiertem
Wasser wird ein herkömmliches N2-Aufwallen durchgeführt, um das
entionisierte Wasser und Flußsäure gleichförmig zu mischen.
Danach wird das Luftventil 24 in Beantwortung auf das Signal
vom Fühler geöffnet, welches Signal die Leere des Vorratstanks
anzeigt. Gleichzeitig wird die Ablaßpumpe 25 betrieben, um die
Mischflüssigkeit vom Mischtank 17′ zum Vorratstank zu pumpen.
Während des Pumpbetriebs der Ablaßpumpe 25 werden Teilchen von
der gepumpten Flüssigkeit durch das Chemikalienfilter 26
getrennt. Dieses Pumpen wird kontinuierlich wiederholt, bis
die Flüssigkeit die entsprechende Höhe im Vorratstank
erreicht.
In der vorstehenden Beschreibung ist die Erfindung in Ver
bindung mit dem Beispiel beschrieben, in dem entionisiertes
Wasser und Flußsäure in einem Verhältnis 100 : 1 gemischt
werden. Die Erfindung ist jedoch nicht auf das Beispiel
begrenzt und kann bei allen Vorrichtungen angewendet werden,
bei denen eine große Menge der einen Flüssigkeit und eine
kleine Menge der anderen Flüssigkeit in einem bestimmten
Verhältnis gemischt werden sollen.
Wie die vorstehende Beschreibung zeigt, schafft die Erfindung
eine Mischvorrichtung mit einem Teflonbehälter mit doppelter
Konstruktion, wodurch es ermöglicht wird, eine genaue
Flüssigkeitsmenge zu erhalten. Mit der vorliegenden Erfindung
ist es auch möglich, eine Mischung einer großen Flüssigkeits
menge oder einer kleinen Flüssigkeitsmenge in einem genauen
Mischverhältnis mit einer Toleranz innerhalb 1% zu erhalten.
Da das entionisierte Wasser und Flußsäure im Verhältnis
100 : 1 nach dem beschriebenen Beispiel der Erfindung gemischt
werden können, kann ein schlechtes Ätzen der Platten vermieden
werden.
Obwohl die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung zum
Zweck der Darstellung offenbart wurden, werden Fachleute
würdigen, daß die verschiedenen Abänderungen, Zusätze und
Ersetzungen möglich sind, ohne den Bereich und den Sinn der
offenbarten Erfindung zu verlassen, wie sie in den Ansprüchen
offenbart wurde.
Claims (9)
1. Abgabevorrichtung für Flüssigkeiten,
dadurch gekennzeichnet,
daß Mittel zum Fühlen der Flüssigkeitshöhen einer
Flüssigkeit in einem Behälter, vorzugsweise aus Teflon,
vorgesehen sind sowie Mittel zur Abgabe der Flüssigkeit
vom Behälter an ein chemisches Bad in einer Menge, die
der Kapazität des Behälters entspricht, und daß weiterhin
automatische Flüssigkeits-Zuleitungsmittel zur automati
schen Zuleitung der Flüssigkeit aus einem chemischen Tank
zum Behälter vorgesehen sind.
2. Abgabevorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Mittel zum Fühlen der Flüssigkeitshöhe einen
Luftmembranfühler einschließen derart, daß die Flüssig
keitshöhe im Behälter gefühlt wird und einen Luftregler,
der den Druck von N2 (Stickstoffgas) regulieren kann, und
zwar in der Weise, daß er der Spezifikation des Luftmem
branfühlers entspricht, und daß ein Nadelventil vor
gesehen ist, das die Strömungsrate von N2 reguliert.
3. Abgabevorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Teflonbehälter einen Abgabebehälter sowie einen
äußeren Behälter hat, daß eine Teflonleitung und ein
automatisches Ventil vorgesehen sind derart, daß eine
vorbestimmte Menge der Flüssigkeit vom Abgabebehälter
abgelassen werden kann, daß eine weitere Teflonleitung
mit automatischem Ventil vorgesehen sind derart, die die
Flüssigkeit vom äußeren Behälter zum chemischen Tank
fördern können und daß ein Luftfilter vorgesehen ist.
4. Abgabevorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Mittel zur automatischen Flüssigkeits-Zuleitung
den chemischen Tank einschließen, in dem die Flüssigkeit
untergebracht ist, sowie eine Teflonleitung, die mit der
Teflonleitung der Flüssigkeits-Abgabevorrichtung verbunden
ist und die die Flüssigkeit vom äußeren Behälter zum
chemischen Tank leiten kann, daß ein automatisches Ventil
in der Teflonleitung vorgesehen ist, daß eine Blasebalg
pumpe zum Pumpen der Flüssigkeit vom chemischen Tank zum
Teflonbehälter vorgesehen ist, daß eine weitere Teflon
leitung und ein automatisches Ventil vorgesehen sind, die
die Flüssigkeit vom chemischen Tank zum Teflonbehälter
führen können sowie ein Leerfühler, der fühlt, ob
Flüssigkeit im chemischen Tank vorhanden ist oder nicht.
5. Abgabevorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Abgabebehälter für die Flüssigkeit an seiner obe
ren Umfangskante eine Vielzahl von beabstandeten Ausneh
mungen hat, so daß eine genauere Menge der Flüssigkeit
in dem Abgabebehälter enthalten ist.
6. Vorrichtung zum Mischen der einen Flüssigkeit und der an
deren Flüssigkeiten in einem vorbestimmten Misch
verhältnis
mit einer Abgabevorrichtung nach Anspruch 1;
mit Mischmitteln zum genauen Mischen der Flüssigkeiten in dem genauen Mischverhältnis;
mit Ablaßmitteln für die Flüssigkeitsmischung zum Zuführen der Flüssigkeitsmischung zu einem Vorratstank;
und mit Kontrollmitteln Steuern der gesamten Arbeitsvorgänge.
mit einer Abgabevorrichtung nach Anspruch 1;
mit Mischmitteln zum genauen Mischen der Flüssigkeiten in dem genauen Mischverhältnis;
mit Ablaßmitteln für die Flüssigkeitsmischung zum Zuführen der Flüssigkeitsmischung zu einem Vorratstank;
und mit Kontrollmitteln Steuern der gesamten Arbeitsvorgänge.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Mischmittel eine elektronische Waage ein
schließen, die das Gewicht der Flüssigkeitsmischung genau
wiegt, eine Anzeige zur numerischen Anzeige des durch
die Waage gemessenen Gewichts, einen Mischtank zum
Mischen der Flüssigkeiten, ein Paar Steuerventile, die
die Flüssigkeiten in großen und kleinen Mengen liefern,
ein weiteres Steuerventil zum Steuern der Strömung der
Flüssigkeitsmischung, die vom Mischtank zum Vorratstank
geleitet wird, und eine N2-Durchperlungsvorrichtung, die
die Flüssigkeiten gleichmäßig mischt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Ablaßmittel der Flüssigkeitsmischung eine
Entleerpumpe einschließen, die die Flüssigkeitsmischung
vom Mischtank zum Vorratstank pumpt und einen Chemika
lienfilter zum Abtrennen von Teilchen von der Flüssig
keitsmischung.
9. Vorrichtung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Steuermittel ein Leitungssubstrat, elektronische
Elemente und ein Schaltpult einschließen sowie eine Feh
leranzeigefunktion.
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