DE4134531C2 - Erhöhung der Lebensdauer eines Speicherkondensators durch Wahl einer Festspannung - Google Patents
Erhöhung der Lebensdauer eines Speicherkondensators durch Wahl einer FestspannungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Verwendung einer Fest
spannung, die an eine Elektrode eines Speicherkondensators in einer
Halbleiterspeichervorrichtung angelegt wird und auf den zugehöri
gen Speicherkondensator.
In den vergangenen Jahren hat sich die Nachfrage nach Halb
leiterspeichervorrichtungen durch die bemerkenswerte
Verbreitung von Informationsverarbeitungsgeräten wie Computern
drastisch erhöht. Es werden Halbleiterspeichervorrichtungen
benötigt, die eine hohe funktionale Speicherkapazität
aufweisen, und die für verschiedenste Operationen geeignet
sind. Folglich werden im besonderen Maße Entwicklungen
vorangetrieben, die hohe Integrationsdichte, schnelle
Antwortzeiten und hohe Zuverlässigkeiten der Halbleiter
speichervorrichtungen betreffen.
Die Fig. 2 zeigt eine Schnittansicht einer Halbleiterzelle
eines herkömmlichen DRAM vom Stapeltyp, wie sie in der US-
Patentschrift 49 22 312 und der japanischen Offenlegungsschrift
Nr. 57-23 261 beispielhaft offenbart sind. Wie in Fig. 2
gezeigt, umfaßt eine herkömmliche Speicherzelle eines DRAM ein
Halbleitersubstrat 101, einen Isolationsbereich 102, einen
Isolationsfilm 103 für einen MOS-Transistor, eine Gate-
Elektrode (Wortleitung) 104 für den MOS-Transistor, einen
Störstellendiffusionsbereich 105 eines Leitungstyps entgegen
gesetzt dem des Halbleitersubstrates 101, einen Zwischen
schichtisolationsfilm 106, eine mit der Diffusionsschicht 105
elektrisch verbundene untere Elektrode 107 eines Kondensators,
einen dielektrischen Film 108 des Kondensators, eine obere
Elektrode 109 des Kondensators, einen Zwischenschicht
isolationsfilm 110 sowie eine Bit-Leitung 111, die durch einen
Leiter gebildet wird, der elektrisch mit der Diffusionsschicht
105 gegenüber der Kondensator-Elektrode 107 verbunden ist. Der
MOS-Transistor 114 wird durch ein Paar von Diffusionsschichten
105, einen Isolationsfilm 103, eine Gate-Elektrode 104 und das
Halbleitersubstrat 101 gebildet. Der Kondensator 113 wird durch
die untere Elektrode 107, den dielektrischen Film 108 und die
obere Elektrode 109 gebildet. Diese Vorrichtung wird als
allgemeiner MOS-DRAM vom Ein-Transistor-Ein-Kondensatortyp
bezeichnet. Dessen Betriebsverfahren als Speicher ist zum
Beispiel im fünften Kapitel von "Introduction to MOS LSI
Design" von John Mavor, Marvyn Jack, Peter Denyer, Addison-
Wesley Publishing Co., London, 1983, beschrieben.
Die Fig. 3 zeigt ein Equivalenz-Schaltbild einer Speicherzelle
eines DRAM. Wie in Fig. 3 gezeigt, ist die Bit-Leitung 111
eine Signaleingabe/ausgabeleitung, und die Wortleitung 104 ist
eine Auswahlleitung. Das Transfer-Gate 112 wird durch einen MOS-
Transistor implementiert. Die Kapazität des Kondensators 113
zum Speichern von Signalladungen beträgt Cs (Speicherkapa
zität). Eine Zellplatte 116 ist equivalent der oberen Elektrode
109 des Kondensators 113. Die Gate-Elektrode 104 in Fig. 2 ist
ebenfalls die Gate-Elektrode des Transistors und ist verlän
gert, um als Wortleitung 104 zu dienen.
Der Betrieb des DRAM als Speicher wird nachfolgend unter Bezug
auf Fig. 3 beschrieben. Der Speicherbetrieb wird in diesem
DRAM in der Binärnotation durchgeführt, wie in anderen
Halbleiterspeichern. Das bedeutet, daß zwei Zustände von "High"-
und "Low"-Logikpegeln für eine spezifische Speicherzelle imple
mentiert sind. Information wird gespeichert, indem der Zustand
jeder Zelle als entweder "H" oder "L" festgestellt wird. Die
Speicherung von H und L im DRAM wird durch das Elektroden-
Potential des Kondensators 115 unterschieden, der mit dem
Transfer-Gate verbunden ist (bezeichnet durch A in Fig. 3,
dieser Punkt wird Speicherknoten genannt). Es ist üblich, den
H-Zustand und L-Zustand auf folgende Weise zu definieren.
H-Zustand: das Potential am Punkt A ist hoch (high) (VH).
Elektronen sind extrem rar verglichen mit dem thermischen
Gleichgewichtszustand.
L-Zustand: das Potential am Punkt A ist niedrig (low) (VL). Die
Vorrichtung befindet sich normal auf Null-Volt-Potential.
Der Absolutwert kann jeden Wert für V aus der Sicht des
Operationsprinzips des Speichers annehmen, solange eine kon
stante Differenz zwischen dem Potential VH entsprechend einem
logisch H-Pegel und dem Potential VL entsprechend einem logisch
L-Pegel sichergestellt ist. In der Praxis nimmt VH die Versor
gungsspannung Vcc des die Speicherzellen steuernden Schaltungs
systems an, und VL nimmt Erdpotential (Vss = 0 V) desselben
Schaltungssystems an.
Die Ladungsspeichermenge QH bei H-Pegel drückt sich durch die
folgende Gleichung (1) aus:
QH = CS · VH (1)
Die Ladungsspeichermenge QL bei L-Pegel drückt sich durch die
folgende Gleichung (2) aus:
QL = CS · VL (2)
Der H-Pegel und der L-Pegel werden unterschieden, indem die
Differenz der Speicherladungsmengen Q =
QH-QL in eine Potentialdifferenz konvertiert und ausgelesen
wird. Eine Differenzialverstärkerschaltung hoher Empfindlich
keit, Leseverstärker genannt, wird für diesen Zweck benutzt.
Dessen Betrieb ist gemeinhin bekannt, und dessen Beschreibung
wird in dem bereits erwähnten "Introduction to MOS LSI Design"
gefunden.
Es wird darauf hingewiesen, daß ein Potential VGG der
Zellplatte 116 in Fig. 3 nicht die gespeicherte differenzielle
Ladung beeinflußt. Dies bedeutet, daß VGG jeden Wert von V
annehmen kann, solange es ein konstantes Potential zum Betrei
ben des DRAM ist.
Daher wurde die Versorgungsspannung Vcc der Schaltung oder die
Erdspannung Vss als VGG in der Mengenproduktion von DRAMs be
nutzt. Die durch Kondensatoren in derartigen DRAMs belegte
Fläche ist vermindert, um die Integrationsdichte von DRAMs zu
erhöhen. Andererseits ist die Verminderung der Kondensatorkapa
zität CS durch die Tatsache beschränkt, daß das S/N-Verhältnis
(Signal to Noise-Ratio = Signal/Rauschverhältnis) der Schal
tung erhalten bleiben muß, um eine Fehlfunktion zu verhindern
(mindestens 20 fF ist unter den gegenwärtigen Umständen
notwendig). Dies führt zu der Notwendigkeit, die Dicke des
dielektrischen Films des Kondensators zu vermindern, um die
Kapazität pro Einheitsfläche zu vergrößern. Die Kapazität CS
des Kondensators wird durch die folgende Gleichung (3) ausge
drückt:
S: Einander gegenüberliegende Fläche des Kondensators
d: Dicke des dielektrischen Films
∈₀: Vakuumpermittivität (absolute Dielektrizitäts konstante)
∈: Relative Permittivität (Dielektrizitätszahl)
∈₀ · ∈: Dielektrizitätszahl des dielektrischen Films
d: Dicke des dielektrischen Films
∈₀: Vakuumpermittivität (absolute Dielektrizitäts konstante)
∈: Relative Permittivität (Dielektrizitätszahl)
∈₀ · ∈: Dielektrizitätszahl des dielektrischen Films
Es soll die Verminderung der sich gegenüberliegenden Fläche S
des Kondensators in Gleichung (3) durch die Verminderung der
Dicke d des dielektrischen Films kompensiert werden. Es exis
tiert allerdings ein Problem bezüglich der Zuverlässigkeit des
dielektrischen Films durch den Anstieg der elektrischen Feld
stärke E bezogen auf den dielektrischen Film. Es ist allgemein
bekannt, daß die mittlere Ausfallzeit ("mean time to failure",
nachfolgend als MTTF) des dielektrischen Films weitgehend mit
dem angelegten elektrischen Feld E korreliert, wie in der
folgenden Gleichung (4) gezeigt.
MTTF ∼ e- α E
E: Angelegte Feldstärke
α: Feldbeschleunigungsfaktor (4)
α: Feldbeschleunigungsfaktor (4)
Es wurden etwa 1,5/(MV/cm) für den Wert α gemessen, wenn SiO2
als dielektrischer Film benutzt wurde. Dies bedeutet, daß die
Lebensdauer des Films (10n Sekunden angenommen) um n = 1,5
reduziert wird, als Funktion des an das SiO2 angelegten elek
trischen Feldes, das um 1 MV/cm ansteigt.
Ein Verfahren zum Verbessern der kurzen Lebenszeit des Films
wird in der japanischen Patentschrift Nr. 60-50 065 beispielhaft
vorgeschlagen. Durch diesen Ansatz wird das Zellplattenpoten
tial VGG auf die Hälfte des logischen Spannungshubs des Spei
chers vermindert, der in den meisten Fällen der Versorgungs
spannung Vcc der Schaltung entspricht.
Die Fig. 4 zeigt eine Schnittansicht einer planaren DRAM-Zelle
wie sie in der japanischen Patentschrift Nr. 60-50 065 vorge
schlagen wird. Wie in Fig. 4 gezeigt, ist der Kondensator
mit einer Diffusionsschicht 205 auf der Oberfläche eines Sili
ziumsubstrates 201 als eine Elektrode und mit einer Zellplatte
209 als andere Elektrode implementiert. Der Zwischenschicht
isolationsfilm 217 des Kondensators wird aus SiO2 gebildet, das
durch thermische Oxidation des Siliziumsubstrats 201 erzeugt
wird. Das Merkmal der in der japanischen Patentveröffentlichung
Nr. 60-50 065 offenbarten Erfindung liegt darin, das Potential
der Zellplatte 209 auf die Hälfte des in den Speicher geschrie
benen logischen Spannungshubes (hier als Vcc angenommen) zu
vermindern. Der erreichte Vorteil wird deutlich unter dem Ge
sichtspunkt des Wertes der an den SiO2-Film angelegten
elektrischen Feldstärke E, wie in der folgenden Tabelle 1
gezeigt.
Die Richtungen des elektrischen Feldes (Code) sind bei dem
herkömmlich verwandten Vcc Zellplattenverfahren (VGG = Vcc)
und dem Vss Zellplattenverfahren (VGG = Vss) verschieden. Der
Absolutwert der an den Isolationsfilm angelegten elektrischen
Feldstärke beträgt Vcc/d. Durch Setzen des Zellplattenpoten
tials auf 1/2 von Vcc beträgt der Absolutwert der elektrischen
Feldstärke Vcc/2d in jedem Fall der H-Speicherung und der
L-Speicherung, was der Hälfte im Vergleich zur Vcc Zellplatte und
zur Vss-Zellplatte entspricht.
Allerdings ist die Anlegezeit des elektrischen Feldes an die
1/2 Vcc Zellplatte durchschnittlich zweimal so lang wie die der
Vcc- und Vss-Zellplatten, unter der Annahme, daß die
Wahrscheinlichkeit des Speicherns von H und L gleich ist.
Die Abhängigkeit der Lebenszeit des Isolationsfilms von der
elektrischen Feldstärke ist hoch, wie oben erwähnt, z. B. α =
1,5 MV/cm im Fall von SiO2. Vom Gesichtspunkt der Zuverlässig
keit ist es vorteilhaft, das elektrische Feld auf die Hälfte zu
reduzieren, selbst wenn die Zeit verdoppelt wird. Es wird
erwähnt, daß der Zweck des Einsatzes einer 1/2 Vcc Zellplatte
darin liegt, die an den dielektrischen Film des Kondensators
angelegten Absolutwerte des elektrischen Feldes zu erreichen,
wie +Vcc/2d zum Zeitpunkt E (High) sowie -Vcc/2d zum
Zeitpunkt von E (Low). (Obwohl leichte Abweichungen durch
Fluktation in der Generatorschaltung für das Zellplattenpo
tential existieren können, ist das Ziel 1/2 Vcc). Dies basiert
auf der Tatsache, daß die Lebensdauer des Isolationsfilms
gleich ist, unabhängig davon, ob das elektrische Feld des
Kondensators positiv (Zellplattenseite auf hohem Potential)
oder negativ ist (der Speicherknoten, die Seite A in Fig. 3,
auf hohem Potential).
Die durch eine Zelle belegte Fläche wird weiter vermindert,
wenn der DRAM höher integriert wird. Die für Kondensatoren zu
benutzende Fläche wird bei Zellen mit der in Fig. 4 gezeigten
Struktur deutlich vermindert. Daher wurde eine Zellstruktur
eines in Fig. 2 gezeigten gestapelten Typs als Kondensator
struktur eingesetzt. Derartige Kondensatoren werden mit 2 dün
nen leitenden Filmen als obere Elektrode 109 und untere
Elektrode 107 mit einem dazwischenliegenden dielektrischen Film
108 implementiert. Die untere Elektrode 107 entspricht dem
Speicherknoten A in Fig. 3. Der Speicherknoten ist gemustert
(eingeteilt), da getrennte Zellen mit deren unteren Abschnitten
elektrisch mit einer Diffusionsschicht 105 verbunden sind, über
die die Signalladung ein- und ausgegeben wird.
Die obere Elektrode 109 ist elektrisch und in den meisten
Fällen physisch mit einer Mehrzahl von Zellen als Zellplatte
verbunden, wobei die gesamte Zellplatte auf einem konstanten
Zellplattenpotential VGG gehalten wird.
Es wird in Fig. 2 gezeigt, daß eine Speicherknotenelektrode
107 sich oberhalb der Transfer-Gate-Elektrode 104 und dem
Isolationsbereich 102 erstreckt und die effektive
Kondensatorfläche vergrößert. Die obere und untere Elektrode
109 und 107 sind aus Polysiliziumfilm oder dergleichen
gebildet, deren Widerstand dadurch vermindert wurde, daß sie
mit Störstellen wie Phosphor oder Arsen verunreinigt wurden.
Derartige Polysiliziumfilme werden normalerweise durch ein
Niedrigdruck-CVD-Verfahren gebildet, bei welchem Störstellen zu
oder nach dem Zeitpunkt der CVD-Filmbildung zugeführt werden.
Wenn die untere Elektrode aus Polysilizium besteht und ein
Kondensatorisolationsfilm 108 darauf zu bilden ist, kann die im
Zusammenhang mit Fig. 4 beschriebene thermische Oxidations
methode selbstverständlich angewendet werden. Aus der Erfahrung
hat sich gezeigt, daß die Zuverlässigkeit des erzeugten SiO2
extrem schlecht ist, da der Polysiliziumfilm oxidiert wird.
Dies kann durch die Erzeugung von Schwachstellen niedriger
Zuverlässigkeit bewirkt sein, die im thermisch oxidierten Film
verteilt sind, als Resultat der deutlichen polykristallinen
Korngrenzenverschiebung des unterliegenden Polysilizium während
der Oxidation. Durch die CVD-Methode gebildete Isolationsfilme
werden daher im wesentlichen für Kondensatorstrukturen vom
Stapeltyp wie in Fig. 2 benutzt.
Jedes beliebige Material kann für die Bildung des Films benutzt
werden, unabhängig vom unterliegenden Material, wenn der
Kondensatorisolationsfilm durch die CVD-Methode gebildet wird.
Ein Siliziumnitridfilm (Si3N4) wird oft benutzt, da dessen
Permittivität etwa zweimal so groß wie bei SiO2 ist, wodurch
die Kondensatorkapazität Cs nach Gleichung (3) sichergestellt
werden kann. Allerdings ist ein Leckstrom durch den gesamten
Film groß, wenn ein Si3N4-Film, der durch die CVD-Methode
gebildet wurde, allein als dielektrischer Film für den
Kondensator benutzt wird. Daher folgt auf die Bildung von
Si3N4-Film generell die Oxidation von dessen Oberfläche in
einer oxidierenden Hochtemperaturumgebung, zum Bilden einer
Struktur eines ON-Films (oxidiertes Nitrid) .
Die Fig. 5 zeigt eine Schnittansicht zum detaillierten
Verdeutlichen des dielektrischen Kondensatorfilms der DRAM-
Zelle vom Stapeltyp nach Fig. 2. Wie in Fig. 5 gezeigt,
umfaßt ein dielektrischer Kondensatorfilm 108 einen Si3N4-Film
108a, der durch CVD aufgebracht wurde, und einen SiO2-Film
108b, der durch Oxidieren des Si3N4-Films 108a erzeugt wurde.
Es existiert eine sehr dünne SiO2-Schicht (nicht gezeigt) an
der Grenze zwischen dem unterliegenden Polysilizium (untere
Elektrode 107) und dem durch CVD abgelagerten Si3N4-Film 108a.
Diese dünne Schicht ist dadurch entstanden, daß die Polysili
ziumoberfläche leicht thermisch oxidiert wurde, bevor der Film
zum Bilden eines Si3N4-Films 108a durch die CVD-Methode auf dem
Polysilizium (untere Elektrode 107) abgelagert wurde, bei einer
Temperatur von nicht weniger als etwa 700°C. Die Dicke der
SiO2-Schicht wird auf nicht mehr als etwa 0,5 nm bei einer
Niederdruck-CVD-Vorrichtung geschätzt.
Das Zellplattenpotential benutzt ebenfalls die 1/2 Vcc der
DRAM-Zellen vom Stapeltyp nach Fig. 2 und 5. Dies geschieht
dadurch, daß die Zuverlässigkeitseigenschaften des ON-
Films vom SiO2-Typ nicht klar verstanden waren. Das übliche
Verwenden von 1/2 Vcc ist lediglich das Ergebnis einer
herkömmlichen Auswahl.
Der oben erwähnte ON-Film ist nicht nur auf einen Kondensator
vom Stapeltyp wie nach Fig. 2 anwendbar, sondern auch auf
einen Kondensator vom Grabentyp, der eine Kondensatorelektrode
aufweist, die in einer ausgehöhlten Ausnehmung in einem
Substrat gebildet ist. Die meisten vorhandenen DRAMs mit
Kondensatoren vom Grabentyp benutzen einen ähnlichen ON-Film
und die 1/2 Vcc-Zellplattenmethode.
Bei herkömmlichen DRAMs vom MOS-Typ wurde die Zellplatten
spannung auf 1/2 Vcc gesetzt, um das elektrische Feld innerhalb
des dielektrischen Films zu vermindern, wenn thermisch
oxidierte SiO2-Filme als Dielektrika, wie oben erwähnt, benutzt
werden. Dann wurde eine Zellstruktur vom Stapeltyp oder
Grabentyp benutzt, um die effektive Fläche des Kondensators zu
vergrößern. Um den Einfluß von Migration der polykristallinen
Körnergrenzen in solchen Fällen zu vermeiden, wurde ein ON-Film
als dielektrischer Film benutzt, der hauptsächlich aus durch
CVD aufgebrachtes Si3N4 gebildet wurde.
Die oben erwähnte Wahl von 1/2 Vcc für VGG geschah aus
folgenden Gründen. Die Zuverlässigkeit des dielektrischen Films
ist unabhängig von der Richtung des an die Kondensatorelektrode
angelegten elektrischen Feldes, wie in dem Fall, daß ein
thermisch oxidierter Siliziumfilm über monokristallinem
Silizium gebildet ist. Es gab auch die physikalische Tatsache,
daß die Wirkung der elektrischen Feldverminderung vorteilhafter
als die Wirkung der Feldanlegezeit auf die Lebensdauer war, vom
Gesichtspunkt der Zuverlässigkeit.
Der ON-Film, der bei Kondensatoren vom Stapeltyp oder Grabentyp
mit einer Zweischichtstruktur (genauer gesagt, einer
Dreischichtstruktur) von Oxidfilm/Nitridfilm benutzt wird, ist
in Richtung der Filmdicke asymmetrisch. Es existiert daher die
Möglichkeit, daß die oben erwähnten Bedingungen nicht anzu
wenden sind. Trotzdem wurde eine 1/2 Vcc Zellplatte bei DRAMs
vom herkömmlichen Stapel- oder Grabentyp eingesetzt. Es gab
daher den Nachteil, daß eine Verschlechterung (Degradation)
über Zeiträume zu beobachten ist, die deutlich kürzer als die
normale Lebensdauer des dielektrischen Kondensatorfilms sind.
Aus der DE 33 30 046 A1 ist eine Halbleiterspeichereinrichtung mit
Speicherzellen bekannt, wobei jede Speicherzelle einen Feldeffekt
transistor und einen Speicherkondensator aufweist. Der Speicher
kondensator weist einen Halbleiterbereich in der Hauptoberfläche
eines Halbleitersubtrates auf, der die untere Elektrode bildet.
Darauf ist ein dünner Siliziumoxidfilm, darauf ein Siliziumnitrid
film und wiederum darauf ein zweiter Siliziumoxidfilm gebildet.
Eine obere Elektrode des Kondensators wird durch eine Polysili
ziumschicht gebildet. Das zu speichernde Signal wird über den
Transistor in die untere Elektrode eingeschrieben. Die obere Elek
trode wird mit einer Spannung beaufschlagt, die bevorzugt gleich
dem arithmetischen Mittel der hochpegeligen und der niedrigpege
ligen Signalspannung ist. Dadurch ist es möglich, eine Flachband
spannung über dem Siliziumnitridfilm konstant zu halten, auch wenn
sich eine Belastungsspannung ändert, wodurch eine bessere Lebens
dauer erzielt wird.
Aus IEEE Transactions on Electron Devices, Bd. 37, Nr. 9, Septem
ber 1990, S. 1939 bis 1947 ist es bekannt, daß bei Speicherkonden
satoren die Lebensdauern von der Polarität angelegter Spannungen
abhängen können.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Lebensdauer
eines Speicherkondensators mit einem dielektrischen Mehrschicht
film, insbesondere mit einem Siliziumnitridfilm zu erhöhen.
Diese Aufgabe wird gelöst durch die Verwendung einer Festspannung,
die an eine Elektrode eines Speicherkondensators in einer Halblei
terspeichervorrichtung zum Speichern eines Hochpegellogiksignales
und eines Niedrigpegellogiksignales angelegt wird, mit den Merk
malen des Patentanspruches 1.
Die Aufgabe wird auch gelöst duch einen Speicherkondensator in
einer Halbleiterspeichervorrichtung zum Speichern eines Hochpegel
logiksignales und eines Niedrigpegellogiksignales mit den Merk
malen des Patentanspruches 2.
Bevorzugte Ausgestaltungen des Speicherkondensators ergeben sich
aus den zugehörigen Unteransprüchen.
Während des Betriebs werden die hohe logische Spannung VH und
die niedrige logische Spannung VL abwechselnd an die erste
Elektrode angelegt, und eine Festspannung, die größer als 0 und
niedriger als das arithmetische Mittel von hoher logischer
Spannung VH und niedriger logischer Spannung VL gewählt ist,
wird an die zweite Elektrode angelegt. Daher wird eine Fest
spannung, die geeignet der Lebensdauercharakteristik des
dielektrischen Mehrschichtfilms entspricht, an die zweite
Elektrode angelegt, um die Lebensdauer des dielektrischen Kon
densatorfilms zu verbessern.
Es folgt die Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der
Figuren.
Von den Figuren zeigen:
Fig. 1 ein Äquivalenzschaltbild eines Speicherkondensators
in einer Halbleiterspeichervorrichtung nach einer
ersten Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 2 eine Schnittansicht einer Speicherzelle eines
herkömmlichen DRAM vom Stapeltyp;
Fig. 3 ein Equivalentschaltbild einer Speicherzelle
eines DRAM;
Fig. 4 eine Schnittansicht einer Speicherzelle eines
herkömmlichen DRAM vom Planartyp;
Fig. 5 eine Schnittansicht zum detaillierten Erklären
eines dielektrischen Kondensatorfilms des DRAM
vom Stapeltyp;
Fig. 6A eine Schnittansicht zum schematischen Verdeut
lichen der Struktur eines Kondensators zum Er
klären des Merkmals der vorliegenden Erfindung;
Fig. 6B und 6C Energiediagramme des Kondensators nach Fig.
6A;
Fig. 7 ein Graph zum Verdeutlichen der gemessenen Daten
der Lebensdauer des dielektrischen Films als
Grundlage für die vorliegende Erfindung;
Fig. 8 ein Graph zum Anzeigen der zulässigen Span
nungsbreite der Zellplattenspannung VGG des Kon
densators nach der vorliegenden Erfindung;
Fig. 9 ein Blockschaltbild einer Struktur eines DRAM mit
einem VGG-Generator entsprechend einer Ausfüh
rungsform; und
Fig. 10 ein Diagramm zum detaillierten Erklären des VGG-
Generators nach Fig. 9.
Der Isolationsfilm eines DRAM sollte eine Lebensdauer von 9,5 × 108
Sekunden (30 Jahre) aufweisen, um als im wesentlichen
teilpermanent zu gelten. In der Praxis ist es sehr schwer, tat
sächlich zu messen, ob die Lebensdauer wirklich der oben er
wähnten Lebensdauer entspricht. Diese Lebensdauer wird
üblicherweise durch einen Test mit beschleunigter Degradation
ermittelt. Bezüglich der Zuverlässigkeit eines dielektrischen
Films wird eine Degradation dieses dielektrischen Films hoch
gradig durch das angelegte elektrische Feld beschleunigt, wie
in der oben erwähnten Gleichung (4) gezeigt. Das Verfahren zum
Beschleunigen der Degradation wird ausgeführt, indem eine Span
nung höher als die tatsächlich benutzte Spannung an den dielek
trischen Film angelegt wird. Die Lebensdauer zum Zeitpunkt des
niedrigen elektrischen Feldes kann sehr genau abgeschätzt
werden, selbst wenn die Abschätzung durch eine Spannung höher
als unter tatsächlichen Betriebsbedingungen durchgeführt wird,
solange Gleichung (4) gilt.
Wie in den Fig. 6A bis 6C gezeigt, wird eine Oxidfilmschicht
8c gebildet, indem ein Siliziumnitridfilm 8a durch CVD auf
einer Polysiliziumschicht 7 aufgebracht wird, die einen Spei
cherknoten darstellt. Mit anderen Worten, die Oxidfilmschicht
8c wird erzeugt, indem die Polysiliziumschicht 7 durch in der
CVD-Kammer verbleibenden Sauerstoff oxidiert wird, vor der Bil
dung des Siliziumnitridfilms 8a. Als Ergebnis hat der tatsäch
liche ON-Film eine Dreischichtstruktur von Oxidfilm/Nitrid
film/Oxidfilm, wie in den Fig. 6A bis 6C gezeigt. Es zeigt
sich aus den Fig. 6B und 6C, daß ∈0 · ∈ · E (∈0 : Vakuumper
mittivität (Dielektrizitätkonstante), ∈ : Relative Permittivität
(Dielektrizitätszahl), E : elektrische Feldstärke) durch das
Gauss-Theorem konstant gehalten wird, bezüglich der elektri
schen Feldstärke im Dreischichtfilm. Die Neigung des Bandes
repräsentiert die elektrische Feldstärke in den Bänderdiagram
men nach Fig. 6B und 6C. Als Ergebnis ist die elektrische
Feldstärke in Si3N4 mit hoher Permittivität reduziert (etwa
2mal die von SiO2 (∈ = 7,6), auf etwa die Hälfte der Neigung
von SiO2. Eine hohe Feldstärke wird an solch einen Film
angelegt, in den Löcher und Elektronen jeweils durch die
positiven Löcher und negativen Elektronen tunnelimplantiert werden.
Diese Löcher und Elektronen erzeugen Trap-Ladungen im Inneren
des Isolationsfilms. Die Implantation dieser Löcher und
Elektronen wird beschleunigt, wenn das durch die Traps erzeugte
lokale elektrische Feld einen kritischen Pegel übersteigt. Dies
führt zur Zerstörung des Isolationsfilms. Die obere
Beschreibung ist ein Model der Zerstörung von Isolationsfilm.
Die folgenden Schlußfolgerungen basieren auf experimentellen
Ergebnissen bezüglich der Zuverlässigkeit eines Kondensators
mit polykristallinem Silizium für sowohl die obere als auch die
untere Kondensatorelektrode und einer Dreischichtstruktur von
(i) Oxidfilm, (ii) Nitridfilm und (iii) Oxidfilm, wie in Fig.
6A gezeigt.
- i) Der untere Oxidfilm 8c sollte so dünn wie möglich sein. Es wird angenommen, daß die Migration der Kristallkorngrenzen des Polysiliziums bei der Oxidation eine Ungleichmäßigkeit der Oxid filmzuverlässigkeit bewirkt. Die Dicke des unteren Oxidfilms kann bis auf die Größenordnung von 0,5 nm mit existierenden CVD- Vorrichtungen vermindert werden.
- ii) Der obere Oxidfilm 8b dient dazu, Leckströme innerhalb des Isolationsfilms zu steuern, wobei der Leckstrom des gesamten Films von der Zahl der durchfließenden Ladungsträger abhängt. Die Dicke des oberen Oxidfilms 8b muß einen Wert einnehmen, der durch die folgende Gleichung (5) beschrieben wird, um eine ausreichende Refresh-Zeit des DRAM sicherzustellen.
Obere Oxidfilmdicke (nm) 3/5 VH (nm/Volt) (5)
Experimente wurden mit den oberen und unteren aus Polysilizium
gebildeten Elektroden durchgeführt. Eine Mehrzahl von Konden
satoren wurden gebildet, indem der oben beschriebene ON-Film
als dielektrischer Film dazwischen benutzt wurde. Die Lebens
dauer dieses Isolationsfilms wurde gemessen, indem die zwischen
beide Elektroden angelegte Spannung geändert wurde. Die Ergeb
nisse werden in Fig. 7 gezeigt. Die Dicke des dielektrischen
Films beträgt oberes SiO2/mittleres Si3N4/unteres SiO2 =
3 nm/8 nm/0,5 nm. Wenn die ganze Dicke des dielektrischen Films
als SiO2 angenommen wird, ist der Kondensator equivalent einem
SiO2-Film von 7,5 nm. Eine Änderung der Filmdicke wird die
folgenden Schlußfolgerungen nicht beeinflussen, da die sich er
gebende geradlinige Beziehung gleich ist, d. h. die Neigung der
Geraden ist gleich. Bezüglich der Messungen der Experimente
wurden die folgenden drei Verfahren benutzt, um Störstellen in
die unterliegende Elektrode 7 aus Polysilizium einzubringen.
- a) Mit Phosphor dotiertes Polysilizium, das mit Phosphor mit mehr als 1020 cm-3 simultan während der CVD dotiert wurde.
- b) Mit Arsen von mehr als 1019 cm-3 ionenimplantiertes Silizium nach der CVD-Polysiliziumbildung.
- c) Für 30 Minuten bei 900°C in einer Nitridumgebung geglühtes Polysilizium zum vorherigen Aktivieren von Arsen nach der Bil dung von Film (b).
Ein Kondensator wurde gebildet durch Bilden des oben erwähnten
dielektrischen Films über diese drei Arten von Polysilizium.
Der MTTF des Kondensators wurde gemessen, indem die zwischen
die Elektroden angelegte Spannung (VGG-VStore) geändert
wurde, was zu den in Fig. 7 gezeigten Werten führte. Wie in
Fig. 7 gezeigt, stellte sich heraus, daß die Zuverlässigkeit
gegenüber einem elektrischen Feld eine leicht geneigte Kurve in
Bereichen hat, bei denen die Spannungen einen Absolutwert ober
halb 8 Volt aufweisen. In den durch diese Figur gezeigten
Bereichen weisen allerdings log MTTF und (VGG-VStore) eine
lineare Beziehung auf, wo die in der vorerwähnten Gleichung (4)
gezeigte Feldbeständigkeit erhalten ist.
Die Linie 18 ist eine Lebenszeit/Schätzkurve, wenn die Seite
der oberen Elektrode 9 negativ ist, in der jedes Polysilizium,
welches nach den Methoden (a), (b) und (c) gebildet wurde, fast
keinen Unterschied aufweist und auf derselben geraden Linie
liegt. Die Kurve 19 ist die Lebenszeit-Schätzkurve, wobei die
obere Elektrode 9 positiv ist, und wobei Polysilizium durch
Methode (a) oder (b) gebildet wird. Die Linie 20 ist eine
Lebenszeit-Schätzkurve für eine positive obere Elektrode 9, bei
welcher das Polysilizium durch die Methode (c) gebildet wird.
Es wird erkannt, daß die Zuverlässigkeit von ON-Film (Lebens
dauer) auf Polysilizium sich asymmetrisch zur Richtung des auf
den Film angewendeten elektrischen Feldes verhält, wobei die
Lebensdauer mit einem an die obere Elektrode 9 angelegten
positiven Potential kürzer ist. Dies kann unter Bezug auf die
Fig. 6A bis 6C beschrieben werden. Wie in Fig. 6B gezeigt,
wird durch den Film fließender Strom durch Elektronen domi
niert, die durch den oberen Oxidfilm 8b hindurch tunneln, wenn
die obere Elektrode 9 negativ ist. Wenn, wie in Fig. 6C, die
obere Elektrode positiv ist, wird durch den oberen Oxidfilm
fließender Strom im wesentlichen durch Löcher dominiert, die
durch den oberen Oxidfilm 8b fließen.
Löcher haben eine viel größere Wirkung als Elektronen in ihrer
Zerstörung des dielektrischen Films (Erzeugung von Traps). Eine
positive obere Elektrode 9 verschlechtert den ON-Film und ver
kürzt seine Lebenszeit.
Es wurde herausgefunden, daß die 1/2 Vcc Zellplatten-Methode,
in der ein elektrisches Feld desselben Absolutwertes im Posi
tiven und Negativen an den ON-Film angelegt wird, sich auf die
Polysiliziumschicht und bezüglich der Zuverlässigkeit unvor
teilhaft auswirkt, da die Lebensdauer des dielektrischen Films
sich bezüglich der Richtung des elektrischen Feldes asymmetrisch
verhält. Zum Beispiel wird die Lebenszeit aus Fig. 7 erhalten,
indem eine Spannung entsprechend des 1/2 Vcc Zellplatten
verfahrens mit Vcc = 5 V an die Lebensdauer-Schätzkurve angelegt
wird (positive Seite: Lebensdauer-Schätzkurve 20; negative
Seite: Lebensdauer-Schätzkurve 18), für den Film auf dem
Polysilizium nach Methode (c). Das Ergebnis wird durch den
Pfeil 21 in Fig. 7 angezeigt. Dies bedeutet, daß die
Lebensdauer 1012 Sekunden auf der positiven Seite beträgt,
andererseits 1018 Sekunden auf der negativen Seite. Obwohl eine
große Reserve auf der negativen Seite besteht, führt dies dazu,
daß die Lebensdauer auf der positiven Seite zuerst verbraucht
ist und zu einem MTTF von etwa 1012 Sekunden für den gesamten
Film führt.
Wenn die Spannung der Zellplatte (der zweiten Kondensatorplatte) auf
1,2 V im Betrieb mit Vcc = 5 V bei derselben Art von dielek
trischem Film gesenkt wird, und die an den dielektrischen Film
angelegten Spannungen auf 1,2 V für die positive Seite und
-3,8 V für die negative Seite gesetzt werden, führt dies zu
einem Resultat wie durch den Pfeil 22 gezeigt, wobei die
Lebensdauer der positiven und negativen Seite sich für beide
auf etwa 5 × 1013 Sekunden erweitert. Eine längere Lebensdauer
von etwa 1014 Sekunden kann verglichen mit dem Fall einer her
kömmlichen 1/2 Vcc Zellplatte erreicht werden (1012 Sekunden).
Die obigen Fakten gelten ebenfalls in den Fällen der
vorerwähnten Methoden (a) und (b) (Lebensdauer-Schätzkurven 18
und 19). Die Lebensdauer entsprechend der 1/2 Vcc Zellplatte
ist auf 1013 Sekunden beschränkt, wie durch Pfeil 23 in Fig. 7
gezeigt. Indem die Zellplattenspannung auf 1,6 V gesetzt wird
und die Spannung von 1,6 V auf der positiven Seite und -3,4 V
an die negative Seite des dielektrischen Films angelegt wird
(Spannungshub beträgt 5 V), wird die Lebensdauer auf 5 × 1014
Sekunden verbessert.
Die vorliegende Erfindung macht sich die Tatsache zunutze, daß
die Lebensdauer des dielektrischen Films der Kondensatorelek
trode asymmetrisch in Richtung des dielektrischen Feldes ist,
welches an die Zellplatte (zweite Kondensatorelektrode) als
Spannung VGG anzulegen ist, so daß der maximale logische Span
nungshub, der zum Zeitpunkt des Betriebs der ersten Konden
satorelektrode angelegt wird, in ungleiche Spannungen aufge
teilt wird.
Der Optimalwert für eine Spannungswertaufteilung der obigen
ungleichen Aufteilung verhält sich vorzugsweise wie in der
folgenden Gleichung (7).
Der Optimalwert von VGG, der wie beschrieben erhalten wird,
wenn der logische Spannungshub 5 V wie in Fig. 7 gezeigt
beträgt, wird als ein allgemeiner Spannungshub (VH-VL) in
Fig. 8 dargestellt.
Wie in Fig. 8 gezeigt, zeigt die gestrichelte Fläche den opti
malen Wertbereich von VGG an, unter Berücksichtigung verschie
dener unterliegender Polysiliziumschichten (untere Kondensator
elektroden).
Es kann gesagt werden, daß der Optimalwert von VGG einen Wert
annehmen sollte, der im Bereich der folgenden Gleichung (6)
liegt, bei dem der logische Spannungshub (VH-VL) oberhalb
2,5 V liegt, entsprechend der Ergebnisse der Experimente (die
Einheit der Spannung ist Volt).
0,65 (VH - VL) - 1,6 VGG 0,65 (VH - VL) - 2,1 (6)
Die obige Gleichung wurde erstellt, indem die Experimente mit
drei Arten von unterliegendem Polysilizium (untere Kondensator
elektrode) gemäß (a), (b) und (c) in Fig. 7 zugrunde gelegt
wurden. Wenn 20% Toleranz bezüglich der oberen und unteren
Grenzen durch Unterschiede im darunterliegenden Polysilizium
einberechnet werden, wird der maximale Wertebereich von VGG
leicht vergrößert, wie in der folgenden Gleichung (7) gezeigt,
deren Einheit Volt ist.
0,65 (VH - VL) - 1,3 VGG 0,65 (VH - VL) - 2,5 (7)
Es wird auch der Fig. 8 entnommen, daß die Zuverlässigkeit des
Films sich verbessert, indem VGG auf 0 V gesetzt wird, solange
der oben beschriebene ON-Film als dielektrischer Kondensator
film benutzt wird, in Bereichen, in denen der logische Span
nungshub (VH-VL) nicht größer als 2 V beträgt. Dies ist eben
falls eine wichtige Schlußfolgerung, die durch die mit der vor
liegenden Erfindung zusammenhängenden Experimente erhalten
wurde.
Die Kondensatorstruk
tur umfaßt untere und obere Elektroden aus Polysilizium und
einen Isolationszwischenfilm mit drei Schichten aus
SiO2/Si3N4/SiO2. Das Schaltbild einer derartigen DRAM-Zelle ist
in Fig. 1 gezeigt. Eine Elektrode des mit VGG verbundenen
Kondensators ist äquivalent der oberen
Kondensatorelektrode 9. Durch Setzen der Spannung VGG, die an
diesen Bereich angelegt wird, auf einen speziellen Wert
innerhalb des Bereiches der Gleichung (7) kann die Lebensdauer
des oxidierten Siliziumnitridfilms auf mehr als n = 1,5 erhöht
werden, verglichen mit der einer herkömmlichen 1/2 Vcc-Zell
plattenpotentialmethode.
Das Setzen von VGG auf den oben erwähnten Wert in der Schaltung
verlangt nur danach, daß das Teilungsverhältnis der Versor
gungsspannung Vcc geändert wird, und es kann einfach ohne große
Modifikationen in der Schaltung implementiert werden.
Die Fig. 9 zeigt ein Blockschaltbild einer Struktur eines DRAM
mit einem VGG-Generator entsprechend einer Ausführungsform. Wie
in Fig. 9 gezeigt, ist eine Mehrzahl von Wortleitungen 4 mit
einer vorbestimmten dazwischenliegenden Distanz in einer die
Bit-Leitung 11 kreuzenden Richtung angeordnet. Eine Elektrode
des Transfer-Gate-Transistors 12 ist an einer vorbestimmten
Position mit der Bitleitung 11 verbunden. Die Steuerelektrode
des Transfer-Gate-Transistors 12 ist mit einer Wortleitung 4
verbunden. Die andere Elektrode des Transfer-Gate-Transistors
12 ist mit einer unteren Elektrode 7 des Kondensators 13
verbunden. Die obere Elektrode 9 des Kondensators 13 ist mit
dem VGG-Generator 17 verbunden. Die Versorgungsspannung Vcc
(5 V) und die Erdspannung Vss (0 V) sind mit dem Generator 17
verbunden. VGG wird aus der Gleichung (7) erhalten, die den
zulässigen Bereich (±20%) von VGG angibt. In der vorliegenden
Ausführungsform entspricht VH Vcc, und VL entspricht Vss. Vcc
ist 5 V, und Vss ist 0 V. Folglich kann VGG so gesetzt werden,
daß es innerhalb eines Bereiches von nicht weniger als 0,75 V
und nicht mehr als 1,95 V liegt. Der Speicherbetrieb wird aus
geführt, indem eine Spannung von VH oder VL an die untere Elek
trode 7 des Kondensators 13 angelegt wird, während VGG inner
halb des oben erwähnten Bereiches an die obere Elektrode 9 des
Kondensators 13 angelegt wird. Dies kann die Lebensdauer des
dielektrischen Films 8 des Kondensators 13 verglichen mit der
herkömmlichen 1/2 Vcc-Zellplattenmethode verlängern.
Fig. 10 zeigt ein Diagramm, zum detaillierten Erklären des
VGG-Generators nach Fig. 9.
Wie in Fig. 10 gezeigt, sind Widerstände R1 und R2 in Reihe
zwischen einem Anschluß 17a, an den Vcc angelegt wird, und
einen Anschluß 17b, an den Vss angelegt wird, verbunden. Die
Verbindungsstelle der Widerstände R1 und R2 ist mit einem
Anschluß 17c verbunden, an dem VGG anliegt. Eine derartige Struk
tur erlaubt die Aufteilung von VGG mit einem vorbestimmten
Teilungsverhältnis, um einfach VGG auf einen vorbestimmten Wert
zu setzen. In dem Fall einer derartigen Struktur wird VGG durch
die folgende Gleichung (8) dargestellt.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf den beschriebenen Fest
spannungsgenerator 17, der VCC mit Hilfe der Widerstände R1 und
R2 teilt, sondern es kann ein Fixspannungsgenerator eingesetzt
werden, der VGG auf einen vorbestimmten Wert setzt, ohne einen
Widerstand zu verwenden.
Obwohl die vorliegende Erfindung beschrieben wurde, in der eine
DRAM-Zelle aus Polysilizium vom gestapelten Typ verwendet
wurde, kann die vorliegende Erfindung auf einen DRAM vom
Grabentyp angewendet werden, der einen Kondensator in einer
Ausnehmung eines Siliziumsubstrates aufweist. Bei der herkömm
lichen DRAM-Zelle vom Planartyp nach Fig. 4 können die dreige
schichteten Filme vom SiO2/Si3N4/SiO2 als dielektrischer Film
des Kondensators verwendet werden. In diesem Fall ist die vor
liegende Erfindung zum Setzen der Spannung von VGG wirksam.
Dies geschieht dadurch, daß das für die vorliegende Erfindung
essentielle physikalische Phänomen mit der Trap-Bildung
innerhalb des Isolationsfilms zusammenhängt, wie unter Bezug
auf die Fig. 6B und 6C beschrieben wurde.
Claims (9)
1. Verwendung einer Festspannung (VGG), die an eine Elektrode (9)
eines Speicherkondensators (13) in einer Halbleiterspeicher
vorrichtung zum Speichern eines Hochpegellogiksignales (VH)
und eines Niedrigpegellogiksignales (VL) angelegt wird,
wobei der Speicherkondensator (13) eine erste und eine zweite
Elektrode (7, 9) aufweist,
die durch einen dielektrischen Mehrschichtfilm (8) getrennt sind,
die erste Elektrode (7) zum Empfang der Logikpegelsignale verbunden ist und
die Festspannung (VGG) größer als 0 und kleiner als das arith metische Mittel von dem Hochpegellogiksignal und dem Niedrig pegellogiksignal (VL, VH) ist,
zur Erhöhung der Lebensdauer des dielektrischen Mehrschichtfilms (8) durch wesentliche Angleichung der Lebensdauer des dielektrischen Mehrschichtfilms (8) für beide Polaritäten der Potentialdiffe renzen der Festspannung (VGG) zu den beiden Logikpegelsignalen (VL, VH).
die erste Elektrode (7) zum Empfang der Logikpegelsignale verbunden ist und
die Festspannung (VGG) größer als 0 und kleiner als das arith metische Mittel von dem Hochpegellogiksignal und dem Niedrig pegellogiksignal (VL, VH) ist,
zur Erhöhung der Lebensdauer des dielektrischen Mehrschichtfilms (8) durch wesentliche Angleichung der Lebensdauer des dielektrischen Mehrschichtfilms (8) für beide Polaritäten der Potentialdiffe renzen der Festspannung (VGG) zu den beiden Logikpegelsignalen (VL, VH).
2. Speicherkondensator (13) in einer Halbleiterspeichervorrich
tung zum Speichern eines Hochpegellogiksignals (VH) und eines
Niedrigpegellogiksignals (VL),
wobei der Speicherkondensator (13) eine erste und eine zweite, durch einen dielektrischen Mehrschichtfilm (8) getrennte Elek trode (7, 9) aufweist,
die erste Elektrode (7) zum Empfang der Logikpegelsignale ver bunden ist, und
ein Fixpotentialgenerator (17), der mit der zweiten Elektrode (9) verbunden ist, und eine Festspannung (VGG) gemäß der Beziehung: 0,65 (VH - VL) - 1,3 VGG 0,65 (VH - VL) - 2,5generiert.
wobei der Speicherkondensator (13) eine erste und eine zweite, durch einen dielektrischen Mehrschichtfilm (8) getrennte Elek trode (7, 9) aufweist,
die erste Elektrode (7) zum Empfang der Logikpegelsignale ver bunden ist, und
ein Fixpotentialgenerator (17), der mit der zweiten Elektrode (9) verbunden ist, und eine Festspannung (VGG) gemäß der Beziehung: 0,65 (VH - VL) - 1,3 VGG 0,65 (VH - VL) - 2,5generiert.
3. Speicherkondensator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das Niedrigpegellogiksignal (VL) nominell 0 V beträgt, die
Festspannung (VGG) nominell innerhalb eines Bereiches von 0,75
bis 1,95 Volt liegt, und das Hochpegellogiksignal (VH) nomi
nell 5 Volt beträgt.
4. Speicherkondensator nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß
das Niedrigpegellogiksignal (VL) nominell 0 Volt beträgt, die
Festspannung (VGG) nominell innerhalb eines Bereiches von 0,9
bis 1,3 Volt liegt, und das Hochpegellogiksignal (VH) nominell
5 Volt beträgt.
5. Speicherkondensator nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß
der dielektrische Mehrschichtfilm (8) einen auf der ersten
Elektrode (7) gebildeten Siliziumnitridfilm (8a) sowie einen
Siliziumoxidfilm (8b) aufweist, der den Siliziumnitridfilm (8a)
auf der der ersten Elektrode (7) gegenüberliegenden Seite
bedeckt.
6. Speicherkondensator nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß
der dielektrische Mehrschichtfilm (8) einen auf der ersten
Elektrode (7) gebildeten Siliziumnitridfilm (8a) und einen
zwischen der ersten Elektrode (7) und dem Siliziumnitridfilm
angeordneten zweiten Siliziumoxidfilm (8c) aufweist.
7. Speicherkondensator nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß
die Dicke des zweiten Siliziumoxidfilms (8c) größer oder
gleich 0,5 nm ist.
8. Speicherkondensator nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß
die Dicke des ersten Siliziumoxidfilms (8b) größer oder gleich
0,6 nm/V×VH ist.
9. Speicherkondensator nach einem der Ansprüche 2 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß
die erste Elektrode (7) und die zweite Elektrode (9) aus dem
selben Material ausgebildet sind, insbesondere aus Polysili
zium.
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