DE3538743C2 - - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Magnetkopf einer Zusammensetzung aus mehreren Kompo­ nenten gemäß den Merkmalen im Oberbegriff des An­ spruchs 1 sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Magnetkopfes. Ein solcher Magnetkopf wird im folgenden kurz Kompoundmagnetkopf ge­ nannt. Er dient zum Ausführen magnetischer Aufzeichnung und Wiedergabe.

Ein Magnetkopf, der eine Aufzeichnung und Wieder­ gabe von einem Signal bezüglich eines magnetischen Auf­ zeichnungsmediums einer hohen Koerzitivkraft, wie z. B. eines Metallbandes, ausführt, muß bei der Aufzeichnung eine hohe Sättigungsflußdichte haben und bei der Wie­ dergabe insbesondere im Hochfrequenzbereich eine hohe Permeabilität haben, um eine ausreichende Wiedergabe­ empfindlichkeit zu erzielen. Es ist bekannt, daß ein Magnetkopf mit einer hohen Sättigungsflußdichte herge­ stellt werden kann, indem ein magnetisches metallisches Material wie Sendust (registriertes Warenzeichen) und amorphe Metalle zur Herstellung des Magnetkopfes be­ nutzt werden. Andererseits ist es auch bekannt, daß ein Magnetkopf mit einer hohen Permeabilität herstell­ bar ist, indem ein magnetisches Ferrit zur Herstellung des Magnetkopfes benutzt wird.

Wird jedoch der Magnetkopf im wesentlichen aus magnetischem metallischen Material hergestellt, so ist es zwar möglich, eine zufriedenstellende Aufzeich­ nungscharakteristik zu erzielen, jedoch ist der elek­ trische Widerstand des magnetischen metallischen Mate­ rials bei der Wiedergabe klein, und die Permeabilität nimmt entsprechend aufgrund von Wirbelströmen ab. In­ folgedessen ergibt sich bei der Wiedergabe eine Ver­ schlechterung in der Permeabilität insbesondere im Hochfrequenzbereich, und es ist unmöglich, eine zu­ friedenstellende Wiedergabecharakteristik zu erzielen. Ist andererseits der Magnetkopf im wesentlichen aus einem magnetischen Ferrit hergestellt, ist es zwar möglich, eine zufriedenstellende Wiedergabecharakte­ ristik zu erzielen, jedoch unmöglich, eine zufrieden­ stellende Aufzeichnungscharakteristik zu erzielen.

Um daher sowohl eine zufriedenstellende Aufzeich­ nungscharakteristik und auch eine zufriedenstellende Wiedergabecharakteristik zu erzielen, wurden verschie­ denste Arten von Kompoundmagnetköpfen vorgeschlagen. In der vorliegenden Anmeldung bezeichnet ein "Kompound- oder Kompositmagnetkopf" einen Magnetkopf, der aus meh­ reren Komponenten zusammengesetzt ist und aus einem magnetischen metallischen Material und einem magneti­ schen Ferrit hergestellt ist.

Ein erster bekannter gebräuchlicher Kompoundma­ gnetkopf weist ein Paar von Magnetkopfkernhälften auf, die aus einem magnetischen Ferrit hergestellt sind, und wird weiter unten in der Figurenbeschreibung näher er­ läutert. In einem Bereich dieses Magnetkopfes, in dem ein Spalt ausgebildet ist, ist jede dieser Magnetkopf­ kernhälften auf angenähert die Spurbreite verjüngt, und ein aus einem magnetischen metallischen Material herge­ stellter Film ist auf einem vorderen Endbereich des verjüngten Bereichs der Magnetkopfkernhälfte ausgebil­ det. Das Paar von Magnetkopfkernhälften ist mit einem Spaltglied miteinander verbunden, welches zwischen den jeweiligen magnetischen Metallfilmen liegt. Entspre­ chend dieser ersten Art von gebräuchlichen Magnetköp­ fen ist der Spalt durch die aus magnetischem metalli­ schem Material hergestellten magnetischen Metallfilme gebildet, so daß es möglich ist, eine hohe Sättigungs­ flußdichte zu erzielen. Da jedoch die Filmdicken der magnetischen Metallfilme extrem klein sind, ist der Magnetkopf während der Aufzeichnung in einem Zustand nahe der Sättigungsmagnetisierung. Aus diesem Grund besteht der Nachteil, daß die Aufzeichnungscharakteri­ stik nicht merklich verbessert ist. Darüber hinaus existiert eine Begrenzung zwischen den Magnetkopfkern­ hälften und dem magnetischen Metallfilm auf dem vorde­ ren Endbereich des verjüngten Bereichs der Magnetkopf­ kernhälfte, wobei diese Begrenzung parallel zu dem Spalt ist. Aus diesem Grund wirkt die Begrenzung wie ein Pseudospalt. Folglich besteht ein weiterer Nach­ teil darin, daß die Aufzeichnungs- und Wiedergabecha­ rakteristik durch diesen Pseudospalt verschlechtert ist.

Andererseits gibt es eine zweite Art von gebräuch­ lichem Kompoundmagnetkopf, der ebenfalls ein Paar von Magnetkopfkernhälften aus einem magnetischen Ferrit auf­ weist und der im Zusammenhang mit der Figurenbeschrei­ bung an Hand der Zeichnungen näher erläutert wird. Bei diesem Magnetkopf ist jede Magnetkopfkernhälfte auf eine Breite verjüngt, die im Bereich des Magnetkopfes, in dem der Spalt ausgebildet ist, schmaler als die Spurbreite ist. Ein aus einem magnetischen metallischen Material hergestellter Film ist auf einem Scheitelbe­ reich und geneigten Oberflächen des verjüngten Bereichs der Magnetkopfkernhälfte ausgebildet. Das Paar von Ma­ gnetkopfkernhälften ist miteinander mit einem Spalt­ glied verbunden, das zwischen den jeweiligen magneti­ schen Metallfilmen liegt, die auf den Scheitelbereichen der verjüngten Bereiche ausgebildet sind. Betrachtet man die magnetischen Metallfilme dieses Magnetkopfes von einer Kontaktfläche aus, die mit einem magneti­ schen Aufzeichnungsmedium (beispielsweise einem Magnet­ band) in Gleitkontakt kommt, so bilden diese Metall­ filme angenähert die Form eines X. Entsprechend dieser zweiten Art von gebräuchlichem Magnetkopf ist eine Be­ grenzung zwischen der Magnetkopfkernhälfte und dem ma­ gnetischen Metallfilm auf dem Scheitelbereich des ver­ jüngten Bereiches nicht parallel zu dem Spalt, so daß der Nachteil des Pseudospaltes nicht auftritt. Jedoch ist die Oberfläche des magnetischen Metallfilmes auf dem Scheitelbereich des verjüngten Bereiches nicht glatt und flach, und diese Oberfläche wird vor dem Zusammenfügen des Paares von Magnetkopfkernhälften geläppt und ab­ geflacht. Wird die Oberfläche des magnetischen Metall­ filmes derart geläppt, so ändert sich die Spurbreite und es ist außerordentlich schwer, die Spurbreite auf eine gewünschte Spurbreite zu regeln. Wird die Kontakt­ fläche nach dem Zusammenfügen der Magnetkopfkernhälften begradigt oder geläppt, so daß die Kontaktfläche eine gewünschte Krümmung aufweist, so ändert sich die Spur­ breite aufgrund dieser Läppung ebenfalls. Infolgedessen ist es außerordentlich schwierig, eine genaue Einstel­ lung der gewünschten Spurbreite zu erzielen. Da sich darüber hinaus die Spurbreite bei der Durchführung der Läppung ändert, ist die Produktivität des Magnetkopfes schlecht, und die Herstellungskosten sind daher hoch.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfin­ dung, einen Magnetkopf einer Zusammensetzung aus meh­ reren Komponenten ausgehend von den Merkmalen des Ober­ begriffs des Anspruchs 1 anzugeben, dessen Spurbreite auf einen genauen Wert einstellbar ist und der zufrieden­ stellende Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften hat. Ferner soll ein Verfahren zur Herstellung eines derarti­ gen Magnetkopfes einer Zusammensetzung aus mehreren Kom­ ponenten angegeben werden.

Diese Aufgabe wird durch die Gegenstände der Ansprüche 1 und 7 gelöst.

Einerseits ist der in Rede stehende Magnetkopf durch die sich angenähert mit S-förmigem Umriß über die Kontaktfläche hinweg er­ streckenden Filme im Spalt­ bereich allein durch diese Filme mit der der Spurbreite entsprechenden Dicke ausgebildet. Daher kann die Spurbreite, die der Filmdicke in diesem Bereich ent­ spricht, auf einen genauen Wert eingestellt werden. Ferner treten keine Pseudospalte auf, und die Aufzeich­ nung und Wiedergabe können mit geringem Rauschanteil aus­ geführt werden.

Andererseits sind die sich derart erstreckenden Filme über einen großen Bereich der kurvenförmigen Ver­ tiefungen in den Magnetkopfkernhälften ausgebildet, so daß in der Umgebung des Spaltbereichs keine magnetische Sättigung auftritt und Aufzeichnungsmedien hoher Koerzi­ tivfeldstärke benutzt werden können.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes einer Zusammensetzung aus mehreren Komponenten mit einer Kontaktfläche zur Abtastung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums weist die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 7 angegebenen Verfahrensschritte auf. Durch Aus­ bildung der Filme in den kurvenförmigen Vertiefungen kann der S-förmige Umriß ihres Verlaufs auf der Kontaktfläche leicht erzielt werden. Es kann die Spur­ breite exakt eingestellt werden. Das Einfüllen der Glas­ füllungen über den in den Vertiefungen liegenden Filmen schützt letztere insbesondere beim Läppen der Spaltflä­ chen und fixiert ihre Lage. Durch teilweises Freilegen der derart gesicherten Filme kann die Spurbreite durch geringfügiges Abtragen des Films genau eingestellt werden. Auch eine Bearbeitung der Kontaktfläche hat aus den ge­ nannten Gründen nicht zur Folge, daß die Spurbreite sich ändert, so daß eine Herstellung mit hoher Produktivität erfolgen kann.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben. Danach eignen sich Fe-Si- Al Legierungen, die im Sputterverfahren aufgebracht werden, besonders zur Ausbildung der Filme.

Im folgenden wird die Erfindung an Hand der Zeich­ nungen näher erläutert. Dabei zeigen

Fig. 1A und 1B eine perspektivische Ansicht und eine vergrößerte teilweise Aufsicht eines Beispiels von einem bekannten gebräuchlichen Kompoundmagnetkopf;

Fig. 2A und 2B eine perspektivische Ansicht und eine vergrößerte teilweise Aufsicht eines weiteren Bei­ spiels von einem bekannten gebräuchlichen Kompoundma­ gnetkopf;

Fig. 3A und 3B eine perspektivische Ansicht und eine vergrößerte teilweise Aufsicht eines Ausfüh­ rungsbeispieles des erfindungsgemäßen Kompoundmagnet­ kopfes; und

Fig. 4 bis 9 Blockhälften, die ein Ausführungs­ beispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstel­ lung des erfindungsgemäßen Kompoundmagnetkopfes ver­ deutlichen.

Zunächst wird an Hand der Fig. 1A und 1B ein Beispiel von einem gebräuchlichen Kompoundmagnetkopf beschrieben. Ein Magnetkopf 10 weist ein Paar von Magnetkopfkernhälften 11 und 12 auf, die aus einem magnetischen Ferrit hergestellt sind. Dabei ist in der Fig. 1A auf die Darstellung einer Spule verzichtet. Die Kernhälften 11 und 12 weisen jeweils sich verjün­ gende oder verengte Bereiche 11 a und 12 a auf, die zu einem Spaltbereich 13 hin angenähert auf eine Spur­ breite t verengt sind. Ferner weisen die Kernhälften Filme oder dünne Schichten 14 und 15 auf, die aus einem magnetischen Metallmaterial hergestellt sind und die jeweils auf den vorderen Endbereichen der verjüng­ ten Bereiche 11 a und 12 a ausgebildet sind. Die Kern­ hälften 11 und 12 sind über ein Spaltglied 16 verbun­ den, das zwischen den Filmen 14 und 15 liegt. Eine Glasdichtung oder Glasfüllung 17 füllt ausgeschnittene Bereiche, die zur Schaffung der sich verjüngenden Be­ reiche 11 a und 12 a ausgebildet werden.

In diesem bekannten Magnetkopf 10 ist jedoch ferner ein Spalt durch die Filme 14 und 15 ausgebildet, die aus dem magnetischen Metallmaterial hergestellt sind, der es ermöglicht, eine hohe Sättigungsflußdichte zu erzielen. Da jedoch die Schichtdicken der Filme 14 und 15 extrem klein sind, so wird der Magnetkopf 10 bei einer Aufzeichnung nahe der Sättigungsmagnetisierung betrieben. Daher ergibt sich als Nachteil, daß die Aufzeichnungseigenschaft nicht merklich verbessert ist. Zusätzlich ist eine Begrenzung 18 zwischen der Kern­ hälfte 11 und dem Film 14 auf dem vorderen Endbereich des sich verjüngenden Bereiches 11 a der Kernhälfte 11 parallel zu dem Spalt ausgebildet, und es ist eine weitere Begrenzung 19 zwischen der Kernhälfte 12 und dem Film 15 auf dem vorderen Endbereich des sich ver­ jüngenden Bereichs 12 a der Kernhälfte 12 ebenfalls parallel zu dem Spalt ausgebildet. Diese Begrenzungen 18 und 19 wirken als Pseudospalte. Folglich tritt als weiterer Nachteil auf, daß die Aufzeichnungs- und Wie­ dergabecharakteristiken durch diese Pseudospalte ver­ schlechtert sind.

In den Fig. 2A und 2B ist ein weiteres Beispiel eines gebräuchlichen Kompoundmagnetkopfes gezeigt. Dieser Magnetkopf ist beispielsweise in der japani­ schen Offenlegungsschrift 58-1 55 513 beschrieben. Hier­ bei weist ein Magnetkopf 20 ein Paar von Magnetkopf­ kernhälften 21 und 22 auf, die aus einem magnetischen Ferrit hergestellt sind. In der Fig. 2A ist auf die Darstellung einer Spule verzichtet. Die Kernhälften 21 und 22 weisen sich verjüngende oder verengte Berei­ che 21 a und 22 a auf, die zu einem Spaltbereich 23 hin auf eine Breite, die kleiner als die Spurbreite t ist, verengt sind. Ferner weisen die Kernhälften Filme 24 und 25 auf, die aus einem magnetischen Metallmaterial hergestellt sind und die auf Scheitelbereichen und ab­ geschrägten Oberflächen der sich verjüngenden Bereiche 21 a und 22 a ausgebildet sind. Die Kernhälften 21 und 22 sind über ein Spaltglied 26 verbunden, das zwischen den Filmen 24 und 25 auf den Scheitelbereichen ausgebildet ist. Eine Glasdichtung 27 füllt ausgeschnittene Berei­ che, die bei der Schaffung der verengten Bereiche 21 a und 22 a ausgebildet werden.

Entsprechend diesem gebräuchlichen Magnetkopf 20 ist eine Begrenzung 28 zwischen der Kernhälfte 21 und dem Film 24 auf dem Scheitelbereich des verengten Bereiches 21 a nicht parallel zu dem Spalt, und es ist eine Begrenzung 29 zwischen der Kernhälfte 22 und dem Film 25 auf dem Scheitelbereich des verengten Berei­ ches 22 a nicht parallel zu dem Spalt. Folglich tritt der Nachteil des Pseudospalts nicht auf. Die Oberflä­ chen der Filme 24 und 25 auf den Scheitelbereichen der jeweiligen verengten Bereiche 21 a und 22 a sind nicht flach, und diese Oberflächen werden vor der Zusammen­ fügung der Kernhälften 21 und 22 geläppt und abge­ flacht bzw. egalisiert. Werden die Oberflächen geläppt, ändert sich die Spurbreite, wobei es jedoch extrem schwer ist, die Spurbreite auf einen gewünschten Wert einzustellen. Wenn ferner eine Kontaktfläche, die einen Gleitkontakt mit einem nicht dargestellten magnetischen Aufzeichnungsmedium herstellt, nach der Zusammenfügung der Kernhälften 21 und 22 so geläppt und poliert wird, daß diese Kontaktfläche eine gewünschte Krümmung oder Kurve aufweist, so ändert sich die Spurbreite auch aufgrund dieser Läppung. Es ist infolgedessen außer­ ordentlich schwer, exakt die gewünschte Spurbreite einzustellen, da sich die Spurbreiten vor und nach der Zusammenfügung der Kernhälften 21 und 22 ändern. Da die Spurbreite sich ändert, wenn die Läppung ausge­ führt wird, ist darüber hinaus die Produktivität des Magnetkopfes 20 schlecht, und die Herstellungskosten für den Magnetkopf sind hoch.

Es ist möglich, den Aufbau des Magnetkopfes 20 so zu modifizieren, daß die Spurbreite sich während der Läppung nicht ändert, die nach dem Zusammenfügen der Kernhälften 21 und 22 ausgeführt wird. In diesem Fall wird jedoch der Wiedergabewirkungsgrad schlecht, da die Reluktanz oder der magnetische Widerstand des Rückspaltes groß wird.

In den Fig. 1A, 1B, 2A, 2B und den im folgenden beschriebenen Figuren sind die Dicke des Filmes und die Breite des Spaltes jeweils im Vergleich zu den übrigen Teilen des Magnetkopfes vergrößert dargestellt, um auf diese Weise den Aufbau des Magnetkopfes leicht erkennbar und verständlich darzustellen.

In dem erfindungsgemäßen Magnetkopf sind die Nachteile der beschriebenen gebräuchlichen Magnetköpfe beseitigt, wobei im folgenden an Hand der Fig. 3A und 3B ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Kom­ poundmagnetkopfes erläutert wird. Ein gezeigter Ma­ gnetkopf 30 ist beispielsweise für den Einsatz in einem Videobandaufzeichnungsgerät geeignet. Der Magnetkopf 30 weist im großen und ganzen ein Paar von Magnetkopfkern­ hälften 31 und 32 auf, die auf einem magnetischen Fer­ rit hergestellt sind. Ferner weist er Filme 33 und 34 auf, die aus magnetischem Metallmaterial hergestellt sind, ferner Glasfüllungen oder Glasdichtungen 35 und 36 und ein Spaltglied 37. Die Kernhälften 31 und 32 weisen jeweils schmal zulaufende Bereiche 31 a und 32 a auf, die zu einem Spaltbereich 38 hin verjüngt sind. Der verjüngte Bereich 31 a ist durch ein Paar von kur­ venförmigen Vertiefungen 31 b 1 und 31 b 2 ausgebildet, und der verjüngte Bereich 32 a ist durch ein Paar von ent­ sprechenden kurvenförmigen Vertiefungen 32 b 1 und 32 b 2 ausgebildet. Der Film 33 ist auf einer der Oberflächen der kurvenförmigen Vertiefung 31 b 1 ausgebildet, und der Film 34 ist auf einer der Oberflächen der kurven­ förmigen Vertiefung 32 b 1 ausgebildet. In dem vorliegen­ den Ausführungsbeispiel sind die Filme 33 und 34 aus einer Legierung des Fe-Si-Al-Systems ausgebildet und durch ein Sputter- oder Zerstäubungsverfahren aufge­ bracht. Jedoch sind die Verfahren zur Ausbildung der Filme 33 und 34 nicht auf Sputterverfahren beschränkt, und es sind andere Verfahren wie Anlagerungs-, Aufdampf- und Niederschlagverfahren denkbar. Außerdem ist das magnetische metallische Material für die Filme 33 und 34 nicht auf die Legierung im Fe-Si-Al-System beschränkt, und es sind magnetische metallische Materialien mit einer hohen Sättigungsflußdichte denkbar wie beispiels­ weise eine amorphe Legierung im Co-Zr-System. Die Film­ dicken der Filme 33 und 34 sind beim Spaltbereich 38 gleich der Spurbreite t, und die Spurbreite t ist bei­ spielsweise im Bereich 15 µm bis 22 µm eingestellt.

Für die Glasfüllungen 35 und 36 wird ferner bei­ spielsweise ein tiefschmelzendes Glas benutzt. Die Glasfüllung 35 wird über den Film 33 in die eine kur­ venförmige Vertiefung 31 b 1 gefüllt und in die andere kurvenförmige Vertiefung 31 b 2, auf der kein Film vorge­ sehen ist, so daß der Film 33 durch die Glasfüllung 35 geschützt ist. In ähnlicher Weise wird die Glasfüllung 36 über den Film 34 in die eine kurvenförmige Vertie­ fung 32 b 1 gefüllt und in die andere kurvenförmige Vertie­ fung 32 b 2, auf der kein Film vorgesehen ist, so daß der Film 34 ebenfalls durch die Glasfüllung 36 ge­ schützt ist. Wenn folglich eine Kontaktfläche 39 des Magnetkopfes 30 zur Schaffung eines Gleitkontaktes mit einem nicht dargestellten magnetischen Aufzeichnungs­ medium wie eines Magnetbandes geläppt wird, um eine ge­ wünschte Krümmung oder Kurve zu erhalten, so werden die Filme 33 und 34 durch diesen Läppungsprozeß nicht beschädigt.

Eine Öffnung 40 ist in der Kernhälfte 32 vorge­ sehen, die dazu dient, eine nicht gezeigte Spule auf­ zunehmen.

Die Kernhälften 31 und 32 sind mit dem Spaltglied 37, das zwischen den Filmen 33 und 34 liegt, durch ein Bindeagens wie ein tiefschmelzendes Glas verbunden, wo­ bei bei dieser Zusammenfügung die Filme 33 und 34 in Richtung der Filmdicke in ihrer Lage zusammenfallen und ausgerichtet sind, d. h. exakt zusammenfallen. Das Spalt­ glied 37 ist beispielsweise ein Quarzfilm. Entsprechend ist der Magnetkopf 30 in der Umgebung des Spaltbereiches 38 allein durch die Filme 33 und 34 ausgebildet. Ferner erstrecken sich die Filme 33 und 34 von der Kontaktflä­ che 39 aus gesehen angenähert S-förmig über diese Kon­ taktfläche. Daher ist eine Begrenzung zwischen der Kern­ hälfte 31 und dem Film 33 auf der Oberfläche der kurven­ förmigen Vertiefung 31 b 1 der Kernhälte 31 nicht parallel zu dem Spalt, und es ist eine Begrenzung zwischen der Kernhälfte 32 und dem Film 34 auf der Oberfläche der kurvenförmigen Vertiefung 32 b 1 der Kernhälfte 32 eben­ falls nicht parallel zu dem Spalt. Infolgedessen wirken die Begrenzungen nicht als Pseudospalte, und es ist mög­ lich, eine zufriedenstellende Aufzeichnung und Wieder­ gabe mit geringem Rauschen auszuführen. Da die Filme 33 und 34 ferner auf den Oberflächen der jeweiligen kur­ venförmigen Vertiefungen 31 b 1 und 32 b 1 über einen großen Bereich ausgebildet sind, wird in der Umgebung des Spaltbereichs 38 keine magnetische Sättigung vorliegen, so daß der Magnetkopf 30 für die Benutzung eines ma­ gnetischen Aufzeichnungsmediums (beispielsweise eines Metallbandes, das für Videobandaufzeichnungsgeräte be­ nutzt wird) mit einer hohen Koerzitivfeldstärke geeig­ net ist.

Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung des er­ findungsgemäßen Kompoundmagnetkopfes an Hand der Fig. 4 bis 9 beschrieben. In diesen Figuren sind die Teile und Bereiche, die denen in den Fig. 3A und 3B entsprechen, mit denselben Bezugszeichen versehen.

Die Fig. 4 zeigt eine magnetische Ferritblock­ hälfte 42 a. Da eine weitere magnetische Ferritblock­ hälfte 42 b, die zusammen mit der Blockhälfte 42 a einen Block 45 bildet, mit der Blockhälfte 42 a über­ einstimmt und demselben Verfahren wie die Blockhälfte 42 a unterworfen wird, wird im folgenden das Herstel­ lungsverfahren nur für die eine Blockhälfte 42 a be­ schrieben, und auf die Beschreibung des äquivalenten Verfahrens für die andere Blockhälfte 42 b wird ver­ zichtet.

Mehrere von kurvenförmigen Vertiefungen 31 b 1 sind auf der Oberfläche der Blockhälfte 42 a je­ weils mit vorbestimmten Zwischenräumen ausgebildet, wie die Fig. 4 zeigt. Dabei ist der Abstand oder das Intervall zwischen zwei benachbarten ersten kurven­ förmigen Vertiefungen 31 b 2 so gewählt, daß eine zweite kurvenförmige Vertiefung 31 b 2 mit angenähert der gleichen Form und Anordnung wie der ersten kurvenför­ migen Vertiefung 31 b 1 zwischen zwei benachbarten er­ sten kurvenförmigen Vertiefungen 31 b 1 in einem späte­ ren Verfahrensschritt ausgebildet werden kann.

Anschließend wird der Film 33, der aus magneti­ schem metallischem Material wie einer Legierung des Fe-Si-Al-Systems oder einer amorphen Legierung des Co-Zr-Systems hergestellt ist, auf der Oberfläche von jeder der ersten kurvenförmigen Vertiefungen 31 b 1 der Blockhälfte 42 a beispielsweise durch ein Sputterver­ fahren oder Aufdampfungs- und Anlagerungsverfahren aufgebracht. Diese Aufbringungsverfahren werden in einer schrägen Richtung A bezüglich einer Oberfläche 42 a-1 der Blockhälfte 42 a durchgeführt, so daß der Film 33 über angenähert die Hälfte der gesamten Ober­ fläche von jeder der ersten kurvenförmigen Vertiefungen 31 b 1 ausgebildet ist, wie es durch die Schraffuren in Fig. 5 angedeutet ist. Die Filmdicke des Films 33 ist so ausgewählt, daß sie in dem Bereich der Oberfläche 42 a-1, in dem der Spalt liegt, gleich der gewünsch­ ten Spurbreite ist. Die Oberfläche 42 a-1 ist die Ober­ fläche, die die Spaltoberfläche ausbildet und entspricht der Oberfläche in Fig. 4.

Die Glasfüllung 35, die beispielsweise ein tief­ schmelzendes Glas ist, ist entsprechend der Fig. 6 in jede der ersten kurvenförmigen Vertiefungen 31 b 1 über dem Film 33 ausgebildet. Anschließend werden Verfah­ rensschritte wie das Ausbilden von Öffnungen und Rillen für die nicht gezeigte Spule in der Blockhälfte 42 a durchgeführt. Ferner werden überstehende Teile der Glasfüllung 35 entfernt, und die Oberfläche 42 a-1 wird geläppt, um die Blockhälfte 42 a, wie sie in Fig. 7 gezeigt ist, mit einer Spaltfläche 43 herzustellen. Da der Film 33 an Ort und Stelle gehalten wird bzw. fixiert ist und durch die Glasfüllung 35 geschützt ist, so kann der während der Verfahrensschritte, bei denen die Öffnungen und Rillen für die Spule auf der Blockhälfte 42 a ausgebildet werden und die Oberfläche 42 a-1 geläppt wird, nicht beschädigt werden.

Wie die Fig. 8 zeigt, werden daraufhin die zwei­ ten kurvenförmigen Vertiefungen 31 b 2 angrenzend zu entsprechenden ersten kurvenförmigen Vertiefungen 31 b 1 ausgebildet, um so die Filme 33 über einen vorbestimm­ ten Bereich in der Umgebung der Spaltfläche 43 freizu­ legen. Auch wenn der Film 33 derart über den vorbe­ stimmten Bereich in der Umgebung der Spaltfläche 43 freigelegt ist, so bleibt doch der übrige Bereich des Films 33 zuverlässig an Ort und Stelle fixiert und ist darüber hinaus durch die Glasfüllung 35 geschützt, so daß der Film 33 sich nicht von der Blockhälfte 42 a ablösen kann. Beim Freilegen des Films 33 über den vorbestimmten Bereich in der Umgebung der Spaltfläche 43 ist es möglich, den Film 33 in Richtung der Film­ dicke geringfügig abzutragen, um so die gewünschte Spurbreite einzustellen. Das Spaltglied 37, das bei­ spielsweise aus einem Quarzfilm besteht, wird auf der Spaltfläche von einer der Blockhälften 42 a und 42 b ausgebildet. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist das Spaltglied 37 entsprechend der Fig. 8 auf der Spaltfläche 43 der Blockhälfte 42 a ausgebildet.

Das Paar von Blockhälften 42 a und 42 b, die durch die zuvor beschriebenen Verfahrensschritte hergestellt werden, werden mittels eines Bindeagens wie beispiels­ weise eines tiefschmelzenden Glases zusammengefügt, um den in Fig. 9 gezeigten Block 45 herzustellen. Die Block­ hälften 42 a und 42 b werden dabei so zusammengefügt, daß die Filmdicken der Filme 33 und 34 an den Spaltflächen (Spaltbereich 38) ausgerichtet sind und zusammenfallen, wobei das Spaltglied 37 zwischen den ausgerichteten Spaltflächen liegt.

Daraufhin werden die Glasfüllungen 35 und 36 in die entsprechenden kurvenförmigen Vertiefungen 31 b 2 und 32 b 2 gefüllt, und die Kontaktfläche 39 wird ge­ läppt, um die gewünschte Oberflächenkrümmung zu erhal­ ten. Danach wird der Block 45 scheibenweise in mehrere der Kompoundmagnetköpfe 30 zerschnitten, die den in den Fig. 3A und 3B gezeigten Aufbau haben. Es ist mög­ lich, den Block 45 entlang der gestrichelten Linien der Fig. 9 schräg zu schneiden, wenn der Spaltbereich 38 einen Azimutwinkel aufweisen soll. Falls der Spalt­ bereich 38 keinen Azimutwinkel erfordert, kann der Block 45 auch in senkrechter Richtung zu der Spalt­ fläche geschnitten werden.

Entsprechend der vorliegenden Erfindung ist es möglich, mit einer hohen Produktivität den erfindungs­ gemäßen Kompoundmagnetkopf herzustellen, der sowohl eine zufriedenstellende Aufzeichnungscharakteristik und eine zufriedenstellende Wiedergabecharakteristik aufweist als auch geringes Rauschen bewirkt, da keine Pseudospalte vorhanden sind.

Claims (12)

1. Magnetkopf einer Zusammensetzung aus mehreren Komponen­ ten, aufweisend eine Kontaktfläche zur Abtastung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums, eine erste und eine zweite Magnetkopfkernhälfte, die aus einem magnetischen Ferrit hergestellt sind; ein zwischen der ersten und zweiten Magnetkopfkernhälfte angeordnetes Spaltglied; einen ersten verjüngten Bereich, der auf der ersten Magnetkopfkernhälfte ausgebildet ist und zum Spaltglied hin verjüngt ist und der durch eine erste und eine zweite kurvenförmige Ver­ tiefung ausgebildet ist; einen zweiten verjüngten Bereich, der auf der zweiten Magnetkopfkernhälfte ausgebildet ist und zum Spaltglied hin verjüngt ist und der durch eine dritte und eine vierte kurvenförmige Vertiefung ausgebildet ist; einen ersten Film, der aus einem magnetischen metalli­ schen Material hergestellt ist und auf der Oberfläche der ersten kurvenförmigen Vertiefung ausgebildet ist; und einen zweiten aus einem magnetischen metallischen Material hergestellten Film, der auf der Oberfläche der dritten kurvenförmigen Vertiefung ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Film (33, 34) jeweils eine Filmdicke aufweisen, die in einem Spaltbereich (38), in dem der erste und der zweite Film mit dem Spaltglied (37) in Kontakt sind und an der Kontaktfläche einen Spalt des Ma­ gnetkopfes bilden, gleich einer gewünschten Spurbreite (t) ist, so daß der Magnetkopf in der Umgebung des Spaltbe­ reichs, allein durch diesen ersten und zweiten Film ausge­ bildet ist, und daß sich der erste und der zweite Film mit angenähert S-förmigem Umriß in der Kontaktflächenebene erstrecken.

2. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Glasfüllung (35, 36) vorgesehen ist, die über dem ersten (33) und zweiten (34) Film in die erste (31 b 1) und dritte (32 b 1) kurvenförmige Vertiefung ge­ füllt sind.

3. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste (33) und zweite (34) Film durch ein Sputterverfahren hergestellt sind.

4. Magnetkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicken des ersten (33) und zweiten (34) Films jeweils zu den vorderen Enden des ersten (31 a) und zweiten (31 b) verjüngten Bereichs hin zunehmen.

5. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das magnetische metallische Material eine Legie­ rung des Fe-Si-Al Systems ist.

6. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste (33) und zweite Film (34) eine Dicke im Bereich von 15 µm bis zu 22 µm im Spaltbereich (38) aufweisen, in dem der Spalt des Magnetkopfes (30) aus­ gebildet ist.

7. Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes einer Zusammensetzung aus mehreren Komponenten mit einer Kontaktfläche zur Abtastung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: Ausbilden von ersten kurven­ förmigen Vertiefungen (31 b 1) auf einer ersten aus einem magnetischen Ferrit hergestellten Blockhälfte (42 a), und von zweiten kurvenförmigen Vertiefungen (32 b 1) auf einer zweiten aus dem magnetischen Ferrit hergestellten Block­ hälfte (42 b), jeweils in vorbestimmten Abstandsinter­ vallen; Aufbringen eines ersten Films (33) aus einem magnetischen metallischen Material auf den Oberflächen jeder ersten kurvenförmigen Vertiefung und eines zweiten Films (34) aus einem magnetischen metallischen Material auf den Oberflächen jeder zweiten kurvenförmigen Vertie­ fung; Einfüllen einer Glasfüllung (35, 36) über die Ober­ seite des ersten und zweiten Films in die ersten und zweiten kurvenförmigen Vertiefungen; Läppen von Spaltflächen (43) der ersten und der zweiten Blockhälfte; Ausbilden von dritten kurvenförmigen Vertiefungen (31 b 2) so angrenzend an die ersten kurvenförmigen Vertiefungen auf der ersten Blockhälfte, daß der erste Film über einen vorbestimmten Bereich in einer Umgebung der Spaltfläche freiliegt, und von vierten kurvenförmigen Vertiefungen (32 b 2) auf der zwei­ ten Blockhälfte so angrenzend an die zweiten kurvenförmigen Vertiefungen, daß der zweite Film über den vorbestimm­ ten Bereich in einer Umgebung der Spaltfläche freiliegt; Herstellen eines Blockes (45) durch Verbinden der ersten und zweiten Blockhälfte mit einem Spaltglied (37), das zwischen den Spaltflächen liegt, so daß die Filmdicken des ersten und zweiten Films zusammenfallen und in einem Spaltbereich (38), in dem der erste und zweite Film mit dem Spaltglied (37) in Kontakt sind und an der Kontakt­ fläche einen Spalt des Magnetkopfes bilden, gleich einer gewünschten Spurbreite (t) sind, so daß der Magnetkopf in der Umgebung des Spaltbereichs allein durch diesen ersten und diesen zweiten Film gebildet wird, die sich in Kontaktflächenebene mit angenähert S-förmigem Umriß erstrecken; und scheibenweises Zerteilen des Blocks in mehrere Magnetköpfe (30).

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Verfahrensschritt des Aufbringens der ersten (33) und zweiten (34) Filme durch ein Sputterverfahren ausgeführt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß beim Verfahrensschritt des Aufbringens der ersten (33) und zweiten (34) Filme diese Filme durch ein Sputterverfahren einer Legierung des Fe-Si-Al Systems aufgebracht werden.

10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß beim Verfahrensschritt des Aufbringens der ersten (33) und zweiten (34) Filme diese Filme über angenä­ hert jeweils der Hälfte der Oberflächen der ersten (31 b 1) und zweiten (32 b 1) kurvenförmigen Vertiefungen durch ein Sputterverfahren des magnetischen metalli­ schen Materials in schräger Richtung (A) zu den Spalt­ flächen (43) aufgebracht werden.

11. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß beim Verfahrensschritt des Ausbildens der dritten (31 b 2) und vierten (32 b 2) kurvenförmigen Vertiefungen die ersten (33) und zweiten (34) Filme über den vor­ bestimmten Bereich in Richtung der Filmdicke so ab­ getragen werden, daß die Filmdicke der ersten und zwei­ ten Filme in einem Bereich (38), in dem der Spalt des Magnetkopfes ausgebildet ist, gleich der gewünschten Spurbreite ist.

12. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren weiterhin vor dem Verfahrensschritt des scheibenweisen Zerteilens des Blockes (45) einen Verfah­ rensschritt, in dem eine Glasfüllung (35, 36) in die drit­ ten (31 b 2) und vierten (32 b 2) kurvenförmigen Vertiefungen gefüllt wird, und einen Verfahrensschritt aufweist, in dem die Kontaktfläche (39), die in Gleitkontakt mit einem magnetischen Aufzeichnungsmedium kommt, geläppt wird.