DE19758748C2 - Laser-Scanning-Mikroskop - Google Patents

Laser-Scanning-Mikroskop

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Abstract

Lasercanmikrokop, DOLLAR A mit einem UV-Laser und einem dem UV-Laser nachgeschalteten Lichtleiter zur Übertrtagung des UV-Laserlichtes auf eine zu untersuchende Probe, wobei das das vom Lichtleiter (14.1) fernzuhaltende UV-Licht in eine Lichtfalle lenkbar ist und als Modulationsmittel ein AOTF(AcoustoOpticalTunableFilter) (32) vorgesehen ist, der das von dem Lichtleiter (14.1) fernzuhaltende UV-Licht in die Lichtfalle ablenkt und das in den Lichtleiter (14.1) einzuspeisende UV-Licht auf konstante Intensität steuert.

Description

Stand der Technik
Im Handbook of Biological Confocal Microscopy, Second Edition (James B. Pawley), Plenum Press New York and London 1995 ist auf S. 519, Fig. 6 eine Fasereinkopplungsoptik beschrieben.
Auf Seite 595, Fig. 14 wird ein telezentrisches System für mehrere Detektionsstrahlengänge beschrieben.
US 5283433 zeigt eine Einkoppeloptik für Detektionsstrahlengänge.
DE 43 23 129 A1 beschreibt in Spalte 6 zentrierbare und bezüglich ihres Durchmessers variierbare Konfokalblenden. US 5444528, US 5377003, US 5317379, US 5216484 beschreiben die Wirkungsweise eines AOTF.
US 5081350, EP 283256 A2, WO 90/00754 A1 beschreiben eine Faserverbindung zwischen Laser und Scaneinheit.
In EP 283256 A2 wird ein Mikroskop mit scannender Faser beschrieben, bei der an der Faser ausgangsseitig eine Optik befestigt ist, um das Licht in einem Lichtpunkt zu konvergieren. Zur Überwachung der Laserleistung ist eine Monitordiode vorgesehen.
In einem Laser-Scanning-Mikroskop werden beleuchtungsseitig mehrere Wellenlängen eingestrahlt und auch mehrere Wellenlängenbänder detektiert.
DE 44 46 185 A1 beschreibt die Einkopplung eines UV- Laserstrahles in eine Lichtleitfaser unter Verwendung magnetooptischer, mechanischer oder elektrooptischer Verschlußmittel.
Aufgabe der Erfindung ist es, die Einkoppelung eines UV- Laserstrahls in ein Laserscanmikroskop zu vereinfachen und zugleich die Stabilität der Anregung zu gewährleisten.
Die Aufgabe wird bei einem Laserscanmikroskop nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 durch die kennzeichnenden Merkmale gelöst.
Darstellung der Wirkungsweise und Vorteile der erfindungsgemäßen Lösung anhand der Ausführungsbeispiele gemäß der schematischen Darstellungen Fig. 1-6:
Es zeigen:
Fig. 1 eine modulare Anordnung aus Mikroskop M, Scankopf S und Lasereinheit
Fig. 2 eine Darstellung des Strahlverlaufs im Scankopf S
Fig. 3 die optische Wirkung der verschieblichen Kollimationsoptik 16
Fig. 4 die optische Wirkung der in Richtung der optischen Achse verschieblichen Pinholes
Fig. 5 die optische Wirkung der senkrecht zur optischen Achse verschieblichen Pinholes bei verschiedenen reflektierenden Strahlteilern
Fig. 6 Scankopf S. Mikroskop M sowie eine Faser hinter dem Pinhole im Detektionsstrahlengang
  • 1. In Fig. 1 sind schematisch eine Mikroskopeinheit M und ein Scankopf S dargestellt, die eine gemeinsame optische Schnittstelle über eine Zwischenabbildung Z gemäß Fig. 2 ausweisen.
    Der Scankopf S kann sowohl an den Phototubus eines aufrechten Mikroskopes sowie auch vorteilhaft an einen seitlichen Ausgang eines inversen Mikroskopes angeschlossen sein. In Fig. 1 ist ein zwischen Auflichtscan und Durchlichtscan mitttels eines schwenkbaren Spiegels 14 umschaltbarer mikroskopischer Strahlengang dargestellt, mit Lichtquelle 1, Beleuchtungsoptik 2, Strahlteiler 3, Objektiv 4, Probe 5, Kondensor 5, Lichtquelle 7, Empfängeranordnung 8, einer ersten Tubuslinse 9, einem Beobachtungsstrahlengang mit einer zweiten Tubuslinse 10 und einem Okular 11 sowie einem Strahlteiler zur Einkopplung des Scanstrahls.
    Ein Lasermodul 13.1, 13.2 nimmt die Laser auf und ist über Lichtleitfasern 14.1, 14.2 mit der Lasereinkoppeleinheit des Scankopfes S verbunden.
    Die Einkopplung der Lichtleitfasern 14.1, 14.2 erfolgt mittels einer verschieblichen Kollimationsoptik 16, auf die noch näher eingegangen wird, sowie Strahlumlenkelementen 17.1, 17.2.
    Mittels eines teildurchlässigen Spiegels 18 wird ein Überwachungsstrahlengang in Richtung einer Monitordiode 19, der, vorteilhaft auf einem nicht dargestellten drehbaren Filterrad Linienfilter 21 sowie Neutralfilter 20 vorgeordnet sind, ausgeblendet.
    Die eigentliche Scaneinheit besteht aus Scanningobjektiv 22, Scanner 23, Hauptstrahlteiler 24 und einer gemeinsamen Abbildungsoptik 25 für Detektionskanäle 26.1-26.4.
    Ein Umlenkprisma 27 hinter der Abbildungsoptik 25 spiegelt die vom Objekt 5 kommende Strahlung in Richtung dichroitischer Strahleiler 28 im konvergenten Strahlengang der Abbildungsoptik 25, denen in Richtung und senkrecht zur optischen Achse verstellbare und in ihrem Durchmesser veränderbare Pinholes 29, individuell für jeden Detektionskanal sowie Emissionsfilter 30 und geeignete Empfängerelemente 31 (PMT, Photomultiplier) nachgeordnet sind.
    Die Strahlteiler 27, 28 können vorteilhaft, wie in Fig. 5 schematisch dargestellt, als Teilerrad mit mehreren Positionen, motorisch durch Schrittmotoren umschaltbar, ausgebildet sein.
  • 2. Vorteilhaft erfolgt eine Einkopplung von UV - Strahlung in Glasfaser 14.1, vorzugsweise einer Single-Mode-Glasfaser mittel eines AOTF Acousto Optical Tunable Filter, als Strahlablenker, d. h. wenn die Strahlung nicht den auf Fasereingang fallen soll, wird sie mittels des AOTF vom Fasereingang, beispielsweise in Richtung einer nicht dargestellten Lichtfalle, abgelenkt.
    Die Einkoppeloptik 33 zur Einkopplung der Laserstrahlung weist zur Einkopplung nicht dargestellte Linsensysteme auf, deren Brennweite durch den Strahlquerschnitt der Laser und die für die optimale Einkopplung erforderliche numerische Apertur festgelegt ist.
    Im Lasermodul 13.2, sind Einzel- und Multiwellenlängenlaser vorgesehen, die einzeln oder gemeinsam über einen AOTF in eine oder mehrere Fasern eingekoppelt werden.
    Weiterhin kann die Einkopplung auch über mehrere Fasern gleichzeitig erfolgen, deren Strahlung mikroskopseitig nach Durchlaufen einer Anpaßoptik durch Farbvereiniger gemischt wird.
    Auch die Mischung der Strahlung verschiedener Laser am Fasereingang ist möglich und kann anhand der schematisch dargestellten, auswechselbar und schaltbar ausgebildeten Teilerspiegel 39 erfolgen.
  • 3. Die in Fig. 2 und 3 divergent aus dem Faserende der Fasern 14.1, 2 an der Scaneinheit S austretende Laserstrahlung wird mittels der Kollimationsoptik 16 auf einen Unendlichstrahl kollimiert.
    Das erfolgt vorteilhaft mit einer einzelnen Linse, die durch Verschiebung entlang der optischen Achse mittels einer über eine zentrale Ansteuereinheit 34 ansteuerbare Steuereinheit 37 eine Fokussierungsfunktion hat, indem ihr Abstand zum Ende der Lichtleitfaser 14.1, 2 an der Scaneinheit erfindungsgemäß veränderbar ist.
    Die Wirkung der Verschiebung der Kollimationsoptik 16 ist schematisch in Fig. 3a und 3b dargestellt.
    In Fig. 3a ist der Strahlverlauf für zwei unterschiedliche Wellenlängen, λ1, λ2 dargestellt. Da für eine polychromatische Lichtquelle mittels einer feststehenden Abbildungsoptik in eine Bildebene nur für eine mittlere Wellenlänge des Spektralbereiches abgebildet wird, wird mittels der Ansteuereinheit 37 der Abstand von Faserende und Kollimationsoptik verändert. Für die beiden dargestellten Wellenlängen ergeben sich die Linsenstellungen S1, S2, um für beide Wellenlängen die gleiche Fokuslage zu gewährleisten.
    Dadurch wird vorteilhaft bewirkt, daß im Falle der Fluoreszenzmikroskopie die Fluoreszenzstrahlung im Fokus des auf unendlich eingestellten Objektives 4 entsteht und die Anregungsstrahlung in dieselbe Ebene fokussiert wird. Es können auch mehrere Fasern und Faserkollimatoren zur Einstellung unterschiedlicher chromatischer Kompensationen für unterschiedliche Anregungswellenlängen Verwendung finden.
    Weiterhin kann hierdurch eine chromatische Korrektion der eingesetzten Optik, insbesondere der Mikroskopobjektive erfolgen. Durch mehrere Einkoppelfasern und Kollimationsoptiken für unterschiedliche Wellenlängen können unabhängig verschiedene chromatische Kompensationen eingestellt werden.
    Die variable Kollimation durch Verschiebung der Linse 16 kann auch zur Realisierung eines z-scans verwendet werden, indem mittels der verschieblichen Kollimatorlinse 16 der Fokus im Präparat in z-Richtung verschoben wird und ein optischer Schnitt nach dem anderen detektiert wird. Dies ist in Fig. 3b für eine Wellenlänge λ dargestellt, wobei den Stellungen S1, S2 die Fokuslagen F1, F2 entsprechen.
  • 4. In Fig. 2 dient eine Monitordiode 19 (die auch, hier nicht dargestellt, eine vorgesetzte Fokussierlinse aufweisen kann) in Verbindung mit einem linien- oder bereichsselektiven Filterrad oder Filterschieber 21, angesteuert von einer Steuereinheit 36, zur permanenten Überwachung der in das Scanmodul eingekoppelten Laserstrahlung, insbesondere um die Leistung in einer bestimmten Laserlinie isoliert zu kontrollieren und gegebenenfalls mittels eines Regelsignales der Ansteuereinheit 34 zu stabilisieren Die Detektion mittels der Monitordiode 19 erfaßt das Laserrauschen und Variationen aufgrund des mechanisch- optischen Übertragungssystems.
    Aus der detektierten momentanen Laserleistung kann dabei ein Fehlersignal abgeleitet werden, das on-line direkt auf den Laser oder einen dem Laser nachgeschalteten Intensitätsmodulator (ASOM, AOTF, EOM, Shutter) zwecks der Stabilisierung der in das Scanmodul eingestrahlten Laserleistung zurückwirkt.
    Durch die Ansteuerung der Filtereinheit 21 kann somit eine wellenlängenweise Stabilisierung der Intensität und Laserleistungskontrolle erfolgen.
    Durch eine Verbindung zur Detektion 31 (PMT) und jeweils zur zentralen Ansteuereinheit kann durch Bildung von Signalquotienen/oder Signalsubtraktion des Detektionssignales und des Monitorsignales der Diode 19 eine Rauschverminderung bewirkt werden, indem das entsprechende Sensorsignal eines Detektionskanals pixelweise als Pixel-Bildinformation auf das Signal der Monitordiode normiert wird (z. B. Division), um auf diese Weise Intensitätsfluktuationen im Bild zu verringern.
  • 5. In Fig. 1 sind schematisch in verschiedener Weise verstellbare Pinholes 29 in den Detektionskanälen 26.1-26.4 dargestellt. Sie können insbesondere senkrecht zur optischen Achse oder in Richtung der optischen Achse verschiebbar angeordnet sowie in bekannter Weise in ihrem Durchmesser, beispielsweise mittels Scherenmechanismus oder Katzenauge veränderbar sein. Die Verstellung der Pinholedurchmesser gestattet ihre Anpassung an die Durchmesser der Airyscheibchen bei unterschiedlichen Beobachtungswellenlängen.
    In Fig. 4 und 5 sind schematisch Ansteuermittel 38 für die Verstellung oder Verschiebung der einzelnen Pinholes dargestellt, die Datenleitungen zur zentralen Ansteuereinheit 34 aufweisen.
    Die ansteuerbare Verschiebbarkeit der Pinholes in Richtung der optischen Achse ist in Fig. 4 schematisch dargestellt. Sie ist für den Ausgleich von optischen Fehlern, insbesondere chromatischen Längsaberrtionen, vorteilhaft. Diese Fehler können beim Scanobjektiv 22, aber auch beispielsweise bei der für die Detektionskanäle gemeinsamen Abbildungsoptik 25 auftreten.
    Für unterschiedliche Wellenlängen λ1, λ2 ergeben sich durch chromatische Längsabweichungen unterschiedliche Fokuslagen, die unterschiedlichen Pinholelagen P1, P2 entsprechen. Bei Auswechslung abbildender Optik, beispielsweise des Mikroskopobjektives, kann bei bekanntem chromatischen Längsfehler der eingesetzten Optik über die Ansteuereinheit 34 und Steuer- und Verschiebemittel 38 eine automatische Verschiebung der Pinholes entlang der optischen Achse erfolgen. Es kann eine genaue Einstellung auf die verwendete Anregungswellenlänge erfolgen.
    Durch eine gemeinsame Abbildungsoptik 25 für alle Detektionskanäle, die vorteilhaft nur aus einem optischen Glied besteht, wird das vom Scanobjektiv 22 erzeugte, im Unendlichen liegende Bild in die Pinholeebene abgebildet. Die gemeinsame Abbildungsoptik 25 bewirkt eine verbesserte Transmissionseffizienz gegenüber bekannten Lösungen. Im Zusammenwirken der Abbildungsoptik mit individuell verstellbaren Pinholes in den einzelnen Detektionskanälen kann dennoch eine genaue Justierung erfolgen.
  • 6. Im Strahlengang können unterschiedliche dichroitische Strahlteiler 28 eingesetzt werden, je nach verwendeter Wellenlänge, um nur diese zu sperren und einem Detektionsstrahlengang zuzuführen Es sind daher (nicht dargestellte) Teilerrevolver oder Teileräder in verschiedenen Strahlengängen zur Einschwenkung unterschiedliche, möglichst kleiner Teiler vorgesehen insbesondere Teilerräder, deren Radachse in 45 Grad gegen die optische Achse geneigt ist, so daß die Teiler immer nur in der Reflexionsebene verschoben werden. Da die auf den Teilerrädern angebrachten Teiler 28 nicht genau gleich justiert sein können oder Schwankungen innerhalb ihrer Justierung oder Standard-Keiltoleranzen unterschiedliche Strahlablenkwinkel verursachen können, erfolgt gemäß der Darstellung in Fig. 5 eine Verschiebung des jeweiligen Pinholes über Steuereinheit 38 senkrecht zur optischen Achse entsprechend der Strahlablenkung. Hier sind schematisch zwei durch unterschiedliche Stellungen von Teilern 28.1, 28.2 auf einem nicht dargestellten durch eine Steuereinheit 36 angetriebenen Teilerrad dargestellt, die senkrecht zur optischen Achse verschobene Fokuslagen in der Ebene der Pinholes 29 bewirken.
    Hierbei kann mittels der Ansteuereinheit 34 über die Steuereinheiten 36, 38 eine Kopplung der Stellung des Pinholes 29 mit der Teilerradstellung für die Teiler 28 erfolgen, d. h. für alle Teilerkonfigurationen verschiedener Teilerrevolver ist eine optimale Pinholeposiition abgespeichert und abrufbar.
    Dies betrifft nicht nur die Stellung eines bestimmten Teilerrades, sonden auch die Stellung mehrerer Teilerräder, so daß immer die jeweils optimale Pinholepositon automatisch eingestellt wird.
  • 7. In Fig. 6 ist schematisch dargestellt, wie am Pinhole 29, am Ausgang zum PMT hinter dem Pinhole, eine Lichtleitfaser 40 angesetzt werden kann, um durch das Pinhole des Detektionskanals die Strahlung zu einem externen Sensor 31 zu leiten.
    Dies erfolgt vorteilhaft ohne zusätzliche Koppeloptik dicht hinter dem Pinhole mit Hilfe der Lichtleitfaser 38.
    Da die Pinholeöffnung verstellbar ist, wird das Austauschen von Fasern mit unterschiedlichen Kerndurchmessern stark vereinfacht, indem die Pinholegröße an den Kerndurchmesser angepaßt wird.
Aufstellung der verwendeten Bezugszeichen
M Mikroskop
S Scankopf
1
Lichtquelle
2
Beleuchtungsoptik
3
Strahlteiler
4
Objektiv
5
Probe
6
Kondensor
7
Lichtquelle
8
Empfänger
9
Tubuslinse
10
Tubuslinse
11
Okular
12
Strahlteiler
13.1
,
13.2
Laser
14
Lichtleitfasern
15
schwenkbarer Spiegel
16
Kollimationsoptik
17
Strahlumlenkelement
18
teildurchlässiger Spiegel
19
Monitordiode
20
Neutralfilter
21
Linienfilter
22
Scanobjektiv
23
Scanner
24
Hauptstrahlteiler
25
Abbildungsoptik
26.1-26.4
Detektionskanäle
27
Umlenkprisma
28
,
28.1
,
28.2
dichroitische Strahlteiler
29
verstellbare Pinholes (Lochblenden)
30
Emissionsfilter
31
PMT (Photomultiplier)
32
AOTF (Acousto Optical Tunable Filter)
33
Einkoppeloptik
34
zentrale Ansteuereinheit
35
,
36
,
37
,
38
lokale Ansteuereinheiten für Diode
19
, Filterwechsler
21
, Kollimatoroptik
16
, verstellbare Pinholes
29
39
Strahlteiler
40
Lichtleitfaser
S1, S2, F1, F2 Fokusstellungen
P1, P2 Pinholestellungen

Claims (1)

  1. Laserscanmikroskop,
    mit einem UV-Laser und einem dem UV-Laser nachgeschalteten Lichtleiter zur Übertragung des UW-Laserlichtes auf eine zu untersuchende Probe
    und mit Modulationsmitteln vor dem Lichtleiter, die das UW-Laser­ licht nur für einen gewünschten Zeitraum in den Lichtleiter einkoppeln und außerhalb dieses Zeitraums von dem Lichtleiter fernhalten,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß das vom Lichtleiter (14 : 1) fernzuhaltende UV-Laserlicht in eine Lichtfalle lenkbar ist
    und daß die Modulationsmittel als AOTF (Acousto Optical Tunable Filter)(32) ausgebildet sind, der das von dem Lichtleiter (14.1) fernzuhaltende UW-Laserlicht in die Lichtfalle ablenkt
    und das in den Lichtleiter (14.1) einzuspeisende UV-Laserlicht auf konstante Intensität steuert.
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Families Citing this family (112)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19835070B4 (de) * 1998-08-04 2006-03-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Anordnung zur einstellbaren wellenlängenabhängigen Detektion in einem Fluoreszenzmikroskop
DE19936573A1 (de) 1998-12-22 2001-02-08 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur Separierung von Anregungs- und Emissionslicht in einem Mikroskop
DE19919091C2 (de) * 1999-04-27 2002-01-17 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur Einstellung der Laserleistung und/oder der Pulslänge eines Kurzpulslasers in einem Mikroskop
DE19949272C2 (de) * 1999-10-12 2003-09-11 Leica Microsystems Scanmikroskop
DE19951482C2 (de) * 1999-10-26 2003-01-09 Zeiss Carl Jena Gmbh Fluoreszenzmikroskop
DE19951480A1 (de) * 1999-10-26 2001-05-03 Zeiss Carl Jena Gmbh Teilerwechsler in einem Laser-Scanning-Mikroskop und Verfahren zur Korrektur von Toleranzfehlern
US6423960B1 (en) * 1999-12-31 2002-07-23 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Method and system for processing scan-data from a confocal microscope
EP1186929B2 (de) * 2000-06-17 2009-09-30 Leica Microsystems CMS GmbH Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop
US6898367B2 (en) 2000-06-17 2005-05-24 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Method and instrument for microscopy
DE20122782U1 (de) * 2000-06-17 2007-11-15 Leica Microsystems Cms Gmbh Beleuchtungseinrichtung
DE20122783U1 (de) * 2000-06-17 2007-11-15 Leica Microsystems Cms Gmbh Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop und Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop
DE10115590B4 (de) * 2000-06-17 2020-11-05 Leica Microsystems Cms Gmbh Scanmikroskop
DE20122791U1 (de) * 2000-06-17 2007-11-29 Leica Microsystems Cms Gmbh Scanmikroskop
EP1164402B1 (de) * 2000-06-17 2010-04-28 Leica Microsystems CMS GmbH Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauelement für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung
DE10029680B4 (de) * 2000-06-23 2016-06-16 Leica Microsystems Cms Gmbh Mikroskop-Aufbau
DE10033269B4 (de) * 2000-07-10 2010-07-01 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung zum Einkoppeln von Licht mindestens einer Wellenlänge einer Laserlichtquelle in ein konfokales Rastermikroskop
DE10038526B4 (de) * 2000-08-08 2004-09-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Erfassung des wellenlängenabhängigen Verhaltens einer beleuchteten Probe
DE10125469B4 (de) 2001-05-25 2008-01-10 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung zur Ermittlung einer Lichtleistung, Mikroskop und Verfahren zur Mikroskopie
DE10142945B4 (de) * 2001-09-01 2004-07-29 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Vorrichtung zur Ermittlung einer Lichtleistung und Mikroskop
DE10151217B4 (de) * 2001-10-16 2012-05-16 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Laser-Scanning-Mikroskops
DE10156506C1 (de) * 2001-11-16 2003-05-22 Leica Microsystems Verfahren zur Erzeugung eines mehrfarbigen Bildes und Mikroskop
US6888148B2 (en) * 2001-12-10 2005-05-03 Carl Zeiss Jena Gmbh Arrangement for the optical capture of excited and /or back scattered light beam in a sample
US6947127B2 (en) 2001-12-10 2005-09-20 Carl Zeiss Jena Gmbh Arrangement for the optical capture of excited and/or back scattered light beam in a sample
DE10217544A1 (de) 2002-04-17 2003-11-06 Zeiss Carl Jena Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop mit Kollimator- und/oder Pinholeoptik
DE10217545A1 (de) 2002-04-17 2003-11-06 Zeiss Carl Jena Gmbh Mikroskop mit Positionserkennung von Wechslern optischer Elemente
DE10222779A1 (de) 2002-05-16 2004-03-04 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Untersuchung von Proben
DE10231667A1 (de) * 2002-07-12 2004-01-22 Olympus Biosystems Gmbh Beleuchtungsvorrichtung und optische Objektuntersuchungseinrichtung
DE10241472B4 (de) 2002-09-04 2019-04-11 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren und Anordnung zur einstellbaren Veränderung von Beleuchtungslicht und/oder Probenlicht bezüglich seiner spektralen Zusammensetzung und/oder Intensität
DE10302259B3 (de) 2003-01-22 2004-06-03 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Scanmikroskop mit einem akustooptischen Bauteil
DE10323921A1 (de) * 2003-05-22 2004-12-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Einstellbares Pinhole, insbesondere für ein Laser-Scanning-Mikroskop
DE10324478B3 (de) 2003-05-30 2004-12-09 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Vorrichtung zum Ermitteln der Lichtleistung eines Lichtstrahles und Scanmikroskop
DE10332064A1 (de) * 2003-07-11 2005-01-27 Carl Zeiss Jena Gmbh Anordnung zur Erfassung der Beleuchtungsstrahlung ineinem Laser-Scanning-Mikroskop
DE10332062A1 (de) * 2003-07-11 2005-01-27 Carl Zeiss Jena Gmbh Anordnung im Beleuchtungsstrahlengang eines Laser-Scanning-Mikroskopes
DE10332073A1 (de) 2003-07-11 2005-02-10 Carl Zeiss Jena Gmbh Anordnung zur optischen Erfassung von in einer Probe angeregter und / oder rückgestreuter Lichtstrahlung mit Doppelobjektivanordnung
DE10332063A1 (de) * 2003-07-11 2005-01-27 Carl Zeiss Jena Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
DE10331906B4 (de) * 2003-07-15 2005-06-16 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Lichtquelle mit einem Mikrostruktuierten optischen Element und Mikroskop mit Lichtquelle
DE10357584B4 (de) * 2003-12-08 2006-06-14 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren zum Trennen unterschiedlicher Emissionswellenlängen in einem Scanmikroskop
DE10359734A1 (de) 2003-12-19 2005-08-11 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur Scanneransteuerung in mindestens einer Scanachse in einem Laser-Scanning-Mikroskop
DE102004034987A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop und Verwendung
DE102004034956A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur Erfassung mindestens eines Probenbereiches mit einem Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung
DE102004034988A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop und Verwendung
DE102004034971A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-09 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung und Verwendung
DE102004034991A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Zoomoptik für ein Lichtrastermikroskop
DE102004034970A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop und Verwendung
DE102004034951A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur bildlichen Erfassung von Objekten mittels eines Lichtrastermikrokopes mit linienförmiger Abtastung
DE102004034975A1 (de) 2004-07-16 2006-02-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur Erfassung von Bildern einer Probe mit einem Mikroskop
DE102004034976A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop und Verwendung
DE102004034954A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur Erfassung mindestens eines Probenbereiches mit einem Lichtrastermikroskop
DE102004034990A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Zoomoptik für ein Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung und Verwendung
DE102004034959A1 (de) 2004-07-16 2006-02-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop mit punktförmiger Lichtquellenverteilung und Verwendung
DE102004034996A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung
DE102004034977A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop und Verwendung
DE102004034979A1 (de) 2004-07-16 2006-02-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur Erfassung mindestens eines Probenbereiches mit einem Lichtrastermikroskop mit punktförmiger Lichtquellenverteilung
DE102004034962A1 (de) 2004-07-16 2006-02-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Mikroskop mit erhöhter Auflösung
JP4800655B2 (ja) 2005-04-01 2011-10-26 オリンパス株式会社 光測定装置
DE102005020543A1 (de) 2005-05-03 2006-11-09 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur einstellbaren Veränderung von Licht
DE102005020541A1 (de) * 2005-05-03 2006-11-09 Carl Zeiss Jena Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
ATE441103T1 (de) 2005-07-22 2009-09-15 Zeiss Carl Microimaging Gmbh Auflísungsgesteigerte lumineszenz-mikroskopie
US7485875B2 (en) 2005-07-22 2009-02-03 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Resolution-enhanced luminescence microscopy
DE102005046510B4 (de) 2005-09-29 2022-02-17 Leica Microsystems Cms Gmbh Mikroskopsystem für FCS-Messungen
DE102005047261A1 (de) 2005-10-01 2007-04-05 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur Erzeugung von Darstellungsbildern aus erfaßten Aufnahmebildern und Mittel zur Durchführung des Verfahrens
DE102006017705B4 (de) 2006-04-15 2010-01-07 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Spektralanalytische Einheit mit einem Beugungsgitter und Laserscanning-Mikroskop
DE102006027836B4 (de) 2006-06-16 2020-02-20 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskop mit Autofokuseinrichtung
DE102006034908B4 (de) 2006-07-28 2023-01-26 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
DE102006034907A1 (de) * 2006-07-28 2008-01-31 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
DE102006034912A1 (de) 2006-07-28 2008-01-31 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop zur Fluoreszenzuntersuchung
DE102006034906A1 (de) 2006-07-28 2008-01-31 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop und Verfahren zu seinem Betrieb
DE102006040169A1 (de) * 2006-08-25 2008-02-28 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Konfokales Scanmikroskop mit optischem Ausgang und Pinholebaugruppe zur Raumfilterung eines Lichtstrahls
DE102006045130B4 (de) 2006-09-25 2023-06-22 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Laserscanning-Mikroskopieverfahren zur Analyse des Bleichverhaltens einer Probe sowie dazu ausgebildetes Laserscanning-Mikroskop und Computerprogrammprodukt hierfür
DE102006047911A1 (de) * 2006-10-06 2008-04-10 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Anordnung zur Aufteilung von Detektionslicht
EP1935498A1 (de) 2006-12-22 2008-06-25 Universität Leipzig Vorrichtung und Verfahren zum berührungslosen Manipulieren und Ausrichten von Probenteilchen in einem Messvolumen mit Hilfe eines inhomogenen elektrischen Wechselfelds
DE102007003134A1 (de) 2007-01-18 2008-07-24 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Laserscanmikroskop und strahlvereinigende optische Baugruppe
DE102007009660A1 (de) * 2007-02-21 2008-08-28 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Konfokales Lasermikroskop
DE102007009659B4 (de) 2007-02-21 2024-05-16 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verwendung eines diodengepumpten Festkörperlasers und Laser-Scanning-Mikroskop mit einem UV-Beleuchtungsstrahlengang
DE102007025821A1 (de) 2007-06-02 2008-12-04 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Anordnung und Verfahren zur zeitlichen Einstellung der Pulse eines Kurzpulslasers
DE102007040238A1 (de) 2007-08-25 2009-03-05 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Verfahren zur Laser-Scanning-Mikroskopie und Strahlverteiler
DE102007047467A1 (de) 2007-09-28 2009-04-02 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Anordnung zur optischen Erfassung von in einer Probe angeregter und/oder rückgestreuter Lichtstrahlung
DE102007047183A1 (de) 2007-10-02 2009-04-09 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Spiegeltreppe zur Vereinigung mehrerer Lichtquellen und Laser-Scanning-Mikroskop
DE102007047187A1 (de) 2007-10-02 2009-04-09 Carl Zeiss Sms Gmbh Abbildungs- oder Inspektionssystem mit Energiemonitoring
AU2008320236A1 (en) 2007-10-31 2009-05-07 Nikon Corporation Laser-exciting fluorescence microscope
DE102008007452A1 (de) 2008-01-31 2009-08-06 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop und Baugruppe zur non-descannten Detektion
DE102008028707A1 (de) 2008-06-17 2009-12-24 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop mit einer Laserdiode
DE102008038467A1 (de) 2008-08-21 2010-02-25 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Verfahren zur Bildauswertung und/oder Manipulation einer Probe
DE102008055655B4 (de) 2008-10-29 2021-04-08 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zur Einstellung eines Dunkelsignals einer Laserquelle in einem Laser- Scanning-Mikroskop
DE102009006729B4 (de) 2009-01-29 2021-12-23 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
DE102009021993B4 (de) 2009-05-19 2023-11-09 Leica Microsystems Cms Gmbh Scanmikroskop und zugehörige Verfahren
DE202009007789U1 (de) 2009-06-03 2009-08-20 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Breitbandige Lichtquelle und Mikroskop
DE102009034347A1 (de) 2009-07-23 2011-01-27 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Justierelement zur Einstellung der Pinholelage
DE102009043747A1 (de) 2009-09-30 2011-03-31 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Verfahren zur Erzeugung eines Mikroskopbildes und Mikroskop
DE102009048710B4 (de) * 2009-10-08 2020-04-02 Leica Microsystems Cms Gmbh Lasersystem für ein Mikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Lasersystems für ein Mikroskop
DE102009049050B4 (de) * 2009-10-12 2011-07-21 Leica Microsystems CMS GmbH, 35578 Verfahren und Vorrichtung zum Stabilisieren einer Lichtleistung eines Beleuchtungslichtstrahls und Mikroskop
DE102009050021B4 (de) 2009-10-16 2019-05-02 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskop, insbesondere Laser-Scanning-Mikroskop und Betriebsverfahren
EP2317362B1 (de) 2009-10-28 2020-01-15 Carl Zeiss Microscopy GmbH Mikroskopisches Verfahren und Mikroskop mit gesteigerter Auflösung
DE102010018967B4 (de) 2010-04-29 2021-11-04 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Anordnungen und Verfahren zur nichtlinearen Mikroskopie
DE102010033722A1 (de) 2010-08-07 2012-02-09 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Anordnung und/oder Verfahren zur Eliminierung unerwünschter Strahlungsanteile aus detektiertem Licht von einer beleuchteten Probe
DE102010055882A1 (de) 2010-12-22 2012-06-28 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Pinhole für ein konfokales Laser-Scanning Mikroskop
DE102011013614A1 (de) 2011-03-08 2012-09-13 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop und Verfahren zu seinem Betrieb
JP5616824B2 (ja) 2011-03-10 2014-10-29 オリンパス株式会社 顕微鏡装置
DE102011104379B4 (de) 2011-06-18 2021-11-25 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Konfokales Rastermikroskop und Verwendung, Steuerverfahren sowie programmierbare Steuereinheit für ein solches Mikroskop
DE102011109653B4 (de) 2011-08-06 2021-11-25 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop mit einem Beleuchtungsarray
DE102012010208A1 (de) 2012-05-15 2013-11-21 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskop
DE102012016346B4 (de) 2012-08-16 2023-01-05 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
DE102014000473A1 (de) 2014-01-16 2015-07-16 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop und Verstärkerbaugruppe
DE102014002328B4 (de) 2014-02-12 2021-08-05 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Multifokales Fluoreszenzrastermikroskop
DE102014009142A1 (de) 2014-06-20 2015-12-24 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Ansteuerung eines akustooptischen Bauteils
DE102014010185A1 (de) 2014-07-09 2016-01-14 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Laser-Scanning-Mikroskops
DE102014110575B4 (de) 2014-07-25 2017-10-12 Leica Microsystems Cms Gmbh Mikroskop und Verfahren zum optischen Untersuchen und/oder Manipulieren einer mikroskopischen Probe
DE102015107367A1 (de) 2015-05-11 2016-11-17 Carl Zeiss Ag Auswertung von Signalen der Fluoreszenzrastermikroskopie unter Verwendung eines konfokalen Laserscanning-Mikroskops
EP3156838B1 (de) 2015-10-14 2021-03-24 Abberior Instruments GmbH Scannerkopf und vorrichtung mit scannerkopf
DE102016116311A1 (de) 2016-05-02 2017-11-02 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Winkelselektive Beleuchtung
DE102019116626B4 (de) 2019-06-19 2021-03-18 Abberior Instruments Gmbh Verfahren und Vorrichtungen zur Überprüfung der Konfokalität einer scannenden und entscannenden Mikroskopbaugruppe
DE102022102763A1 (de) 2022-02-07 2023-08-10 Carl Zeiss Meditec Ag Mikroskop und Bildgebungsverfahren für ein Mikroskop

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0283256A2 (de) * 1987-03-18 1988-09-21 Tektronix Inc. Optisches Abtastmikroskop
WO1990000754A1 (en) * 1988-07-13 1990-01-25 Martin Russell Harris Scanning confocal microscope
US5081350A (en) * 1989-09-22 1992-01-14 Fuji Photo Film Co., Ltd. Scanning microscope and scanning mechanism for the same
DE4128506A1 (de) * 1991-08-28 1993-03-04 Zeiss Carl Fa Verfahren zum betreiben eines spektrometers
US5216484A (en) * 1991-12-09 1993-06-01 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Real-time imaging spectrometer
US5283433A (en) * 1992-10-05 1994-02-01 The Regents Of The University Of California Scanning confocal microscope providing a continuous display
DE4323129A1 (de) * 1992-07-24 1994-02-03 Zeiss Carl Fa Lasermikroskop
US5317379A (en) * 1992-02-11 1994-05-31 Rosemount Analytical Inc. Chemical species optical analyzer with multiple fiber channels
US5377003A (en) * 1992-03-06 1994-12-27 The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services Spectroscopic imaging device employing imaging quality spectral filters
US5444528A (en) * 1994-07-27 1995-08-22 The Titan Corporation Tunable spectrometer with acousto-optical tunable filter
DE19517670A1 (de) * 1994-06-15 1995-12-21 Zeiss Carl Fa Laser-Adapter zur Anordnung an einem Operationsmikroskop sowie geeigneter Laser hierzu
DE4446185A1 (de) * 1994-08-25 1996-02-29 Leica Lasertechnik Vorrichtung zum Einkoppeln des Lichtstrahls eines UV-Lasers in ein Laser-Scanmikroskop

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8700612A (nl) * 1987-03-13 1988-10-03 Tno Confocale laserscanning microscoop.
JP2625330B2 (ja) * 1992-09-30 1997-07-02 浜松ホトニクス株式会社 共焦点光学系のピンホール位置制御方法及びその制御装置
DE19533092A1 (de) * 1995-09-07 1997-03-13 Basf Ag Vorrichtung zur parallelisierten Zweiphotonen-Fluoreszenz-Korrelations-Spektroskopie (TPA-FCS) und deren Verwendung zum Wirkstoff-Screening

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0283256A2 (de) * 1987-03-18 1988-09-21 Tektronix Inc. Optisches Abtastmikroskop
WO1990000754A1 (en) * 1988-07-13 1990-01-25 Martin Russell Harris Scanning confocal microscope
US5081350A (en) * 1989-09-22 1992-01-14 Fuji Photo Film Co., Ltd. Scanning microscope and scanning mechanism for the same
DE4128506A1 (de) * 1991-08-28 1993-03-04 Zeiss Carl Fa Verfahren zum betreiben eines spektrometers
US5216484A (en) * 1991-12-09 1993-06-01 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Real-time imaging spectrometer
US5317379A (en) * 1992-02-11 1994-05-31 Rosemount Analytical Inc. Chemical species optical analyzer with multiple fiber channels
US5377003A (en) * 1992-03-06 1994-12-27 The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services Spectroscopic imaging device employing imaging quality spectral filters
DE4323129A1 (de) * 1992-07-24 1994-02-03 Zeiss Carl Fa Lasermikroskop
US5283433A (en) * 1992-10-05 1994-02-01 The Regents Of The University Of California Scanning confocal microscope providing a continuous display
DE19517670A1 (de) * 1994-06-15 1995-12-21 Zeiss Carl Fa Laser-Adapter zur Anordnung an einem Operationsmikroskop sowie geeigneter Laser hierzu
US5444528A (en) * 1994-07-27 1995-08-22 The Titan Corporation Tunable spectrometer with acousto-optical tunable filter
DE4446185A1 (de) * 1994-08-25 1996-02-29 Leica Lasertechnik Vorrichtung zum Einkoppeln des Lichtstrahls eines UV-Lasers in ein Laser-Scanmikroskop

Also Published As

Publication number Publication date
DE19702753A1 (de) 1998-07-30
DE19702753C2 (de) 2003-04-10
DE19758745C5 (de) 2008-09-25
DE19758746C2 (de) 2003-07-31
DE19758744C2 (de) 2003-08-07
DE19758745C2 (de) 2003-08-14

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