JP2625330B2 - 共焦点光学系のピンホール位置制御方法及びその制御装置 - Google Patents
共焦点光学系のピンホール位置制御方法及びその制御装置Info
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- JP2625330B2 JP2625330B2 JP26197792A JP26197792A JP2625330B2 JP 2625330 B2 JP2625330 B2 JP 2625330B2 JP 26197792 A JP26197792 A JP 26197792A JP 26197792 A JP26197792 A JP 26197792A JP 2625330 B2 JP2625330 B2 JP 2625330B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光源側ピンホールと
検出器側ピンホールの位置が共役の位置関係にある、例
えばレーザ・スキャン顕微鏡等の共焦点光学系におい
て、これら光源側ピンホール位置と検出器側ピンホール
位置の位置調整を自動化する技術に関するものである。
検出器側ピンホールの位置が共役の位置関係にある、例
えばレーザ・スキャン顕微鏡等の共焦点光学系におい
て、これら光源側ピンホール位置と検出器側ピンホール
位置の位置調整を自動化する技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、共焦点光学系としては、例えば
レーザ・スキャン顕微鏡等がよく知られており、図３
は、特に従来のレーザ・スキャン顕微鏡の構成を示すブ
ロック図である。
レーザ・スキャン顕微鏡等がよく知られており、図３
は、特に従来のレーザ・スキャン顕微鏡の構成を示すブ
ロック図である。
【０００３】このレーザ・スキャン顕微鏡（図３）で
は、第１の光源１から照射された光が光源側ピンホール
２で絞り込まれ、レンズ３ａで平行光線に修正されてビ
ームスプリッタ４により光路を直角方向に変更される。
そして、ＸＹスキャナ５で光路を変更させることで、対
物レンズ３ｂで集光した光をスキャンさせ、試料６に照
射する。
は、第１の光源１から照射された光が光源側ピンホール
２で絞り込まれ、レンズ３ａで平行光線に修正されてビ
ームスプリッタ４により光路を直角方向に変更される。
そして、ＸＹスキャナ５で光路を変更させることで、対
物レンズ３ｂで集光した光をスキャンさせ、試料６に照
射する。
【０００４】一方、この試料６の反射光又は蛍光は対物
レンズ３ｂにより平行光束に修正され、ＸＹスキャナ
５、及びビームスプリッタ４を介してレンズ３ｃで集光
されて、さらに、検出器側ピンホール７で絞り込まれた
スポット光の中心部のみが検出器８で検出される。
レンズ３ｂにより平行光束に修正され、ＸＹスキャナ
５、及びビームスプリッタ４を介してレンズ３ｃで集光
されて、さらに、検出器側ピンホール７で絞り込まれた
スポット光の中心部のみが検出器８で検出される。
【０００５】従来、この共焦点光学系の各ピンホール
２、７の位置の検出は、まず、試料６に代えて平面ミラ
ーを置き、実際に第１の光源１を点灯させて集光レンズ
３ｃ、あるいは検出器側ピンホール７を光軸に対して直
交する面上で移動させ（移動方法としては、精密な送り
機構を持つＸＹステージが利用されることが多い）、最
も光量が得られる検出器側ピンホール７の位置を最適位
置としていた。
２、７の位置の検出は、まず、試料６に代えて平面ミラ
ーを置き、実際に第１の光源１を点灯させて集光レンズ
３ｃ、あるいは検出器側ピンホール７を光軸に対して直
交する面上で移動させ（移動方法としては、精密な送り
機構を持つＸＹステージが利用されることが多い）、最
も光量が得られる検出器側ピンホール７の位置を最適位
置としていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の共焦点光学系に
おいては以上のように、当該光路中にフィルタ等の光学
素子を挿入するなどした場合、光源側及び検出器側ピン
ホールが共役位置からずれることが起こるので、試料の
代わりに平面ミラーを置くなどして手動により、各ピン
ホールの位置合わせを行わなければならないなどの課題
があった。
おいては以上のように、当該光路中にフィルタ等の光学
素子を挿入するなどした場合、光源側及び検出器側ピン
ホールが共役位置からずれることが起こるので、試料の
代わりに平面ミラーを置くなどして手動により、各ピン
ホールの位置合わせを行わなければならないなどの課題
があった。
【０００７】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、光源側及び検出器側ピンホールが
共役位置にある共焦点光学系において、これら各ピンホ
ールの位置を自動的に調整する方法及び装置を提供する
ことを目的とする。
めになされたもので、光源側及び検出器側ピンホールが
共役位置にある共焦点光学系において、これら各ピンホ
ールの位置を自動的に調整する方法及び装置を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る共
焦点光学系のピンホール位置制御方法は、共焦点光学系
における検出器側ピンホールと検出器との間に、該検出
器側ピンホールを通過させる光を照射する第２の光源を
設置し、前記光源側及び検出器側それぞれのピンホール
を通過した光を、該光源側及び検出器側ピンホールの位
置に対応しているスポット光として、当該共焦点光学系
の光路上から交互に集光して取出し、このスポット光の
位置ずれを検出することで、該光源側及び検出器側ピン
ホールの位置ずれを検出することを特徴としている。
焦点光学系のピンホール位置制御方法は、共焦点光学系
における検出器側ピンホールと検出器との間に、該検出
器側ピンホールを通過させる光を照射する第２の光源を
設置し、前記光源側及び検出器側それぞれのピンホール
を通過した光を、該光源側及び検出器側ピンホールの位
置に対応しているスポット光として、当該共焦点光学系
の光路上から交互に集光して取出し、このスポット光の
位置ずれを検出することで、該光源側及び検出器側ピン
ホールの位置ずれを検出することを特徴としている。
【０００９】また、請求項２の発明では、上記共焦点光
学系のピンホール位置制御方法を自動的に実現する装置
として、前記検出器側ピンホールと検出器との間に設置
され、該検出器側ピンホールを通過させる光を照射する
第２の光源と、前記第１及び第２の光源から照射された
光を当該共焦点光学系から集光して取出したスポット光
であって、該光源側及び検出器側ピンホールの位置にそ
れぞれ対応したスポット光の位置を検出する位置検出装
置と、前記検出器側ピンホールあるいは前記検出器側ピ
ンホールを介して検出器に試料からの反射光又は蛍光を
結像させるレンズを光軸に対して垂直方向に移動させる
駆動手段と、前記位置検出装置から出力される前記光源
側及び検出器側ピンホールに対応したスポット光の位置
情報に基づいて、前記駆動手段に対して移動指示を行う
制御手段を備えたことを特徴としている。
学系のピンホール位置制御方法を自動的に実現する装置
として、前記検出器側ピンホールと検出器との間に設置
され、該検出器側ピンホールを通過させる光を照射する
第２の光源と、前記第１及び第２の光源から照射された
光を当該共焦点光学系から集光して取出したスポット光
であって、該光源側及び検出器側ピンホールの位置にそ
れぞれ対応したスポット光の位置を検出する位置検出装
置と、前記検出器側ピンホールあるいは前記検出器側ピ
ンホールを介して検出器に試料からの反射光又は蛍光を
結像させるレンズを光軸に対して垂直方向に移動させる
駆動手段と、前記位置検出装置から出力される前記光源
側及び検出器側ピンホールに対応したスポット光の位置
情報に基づいて、前記駆動手段に対して移動指示を行う
制御手段を備えたことを特徴としている。
【００１０】
【作用】請求項１の発明では、共焦点光学系における検
出器側ピンホールと検出器との間に、該検出器側ピンホ
ールの位置を示す第２の光源を設置し、前記光源側及び
検出器側それぞれのピンホールを通過した光を、該光源
側及び検出器側ピンホールの位置に対応しているスポッ
ト光として、当該共焦点光学系の光路上から交互に集光
して取出して、位置検出装置でこのスポット光の位置ず
れを検出するように構成したので、同じ位置（１つの位
置検出器）で光源側及び検出器側ピンホールの位置を確
認することができる。
出器側ピンホールと検出器との間に、該検出器側ピンホ
ールの位置を示す第２の光源を設置し、前記光源側及び
検出器側それぞれのピンホールを通過した光を、該光源
側及び検出器側ピンホールの位置に対応しているスポッ
ト光として、当該共焦点光学系の光路上から交互に集光
して取出して、位置検出装置でこのスポット光の位置ず
れを検出するように構成したので、同じ位置（１つの位
置検出器）で光源側及び検出器側ピンホールの位置を確
認することができる。
【００１１】また、請求項２の発明では、これらの動作
を実施する検出手段（第２の光源及び位置検出器）、制
御手段、駆動手段を設けることで、ピンホール位置の自
動制御化が可能になる。
を実施する検出手段（第２の光源及び位置検出器）、制
御手段、駆動手段を設けることで、ピンホール位置の自
動制御化が可能になる。
【００１２】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１及び２を用
いて説明する。なお、図中同一部分には同一符号を付し
て説明を省略する。
いて説明する。なお、図中同一部分には同一符号を付し
て説明を省略する。
【００１３】図１は、請求項１の発明に係る共焦点光学
系のピンホール位置制御方法を説明するための共焦点光
学系の構成図であり、検出器側ピンホール７の位置を示
すために、検出器８と検出器側ピンホール７との間に第
２の光源９を設け、この第２の光源９から照射される光
を検出器側ピンホール７の方向に光路変更させるため
に、レンズ３ｄ及びビームスプリッタ４ａを設置してい
る。
系のピンホール位置制御方法を説明するための共焦点光
学系の構成図であり、検出器側ピンホール７の位置を示
すために、検出器８と検出器側ピンホール７との間に第
２の光源９を設け、この第２の光源９から照射される光
を検出器側ピンホール７の方向に光路変更させるため
に、レンズ３ｄ及びビームスプリッタ４ａを設置してい
る。
【００１４】また、当該共焦点光学系の光路上から光源
側及び検出器側ピンホール２、７の位置に対応している
光は、ビームスプリッタ４ｃを介してレンズ３ｅで集光
されたスポット光として、位置検出器１０としてのＰＳ
Ｄ（Position Sensitive Detector ）で検出できるよう
に構成されている。
側及び検出器側ピンホール２、７の位置に対応している
光は、ビームスプリッタ４ｃを介してレンズ３ｅで集光
されたスポット光として、位置検出器１０としてのＰＳ
Ｄ（Position Sensitive Detector ）で検出できるよう
に構成されている。
【００１５】第１の光源１から照射された光は、光源側
ピンホール２を通過し、ビームスプリッタ４ｂ、４ｃに
よりある割合で反射され、ＰＳＤ１０上にスポット光を
形成する。一方、第２の光源９から照射された光は、ビ
ームスプリッタ４ａを介して検出器側ピンホール７を通
過する。そして、この検出器側ピンホール７を通過した
光はビームスプリッタ４ｂ、４ｃを経て同様にＰＳＤ１
０上にスポット光を形成する。
ピンホール２を通過し、ビームスプリッタ４ｂ、４ｃに
よりある割合で反射され、ＰＳＤ１０上にスポット光を
形成する。一方、第２の光源９から照射された光は、ビ
ームスプリッタ４ａを介して検出器側ピンホール７を通
過する。そして、この検出器側ピンホール７を通過した
光はビームスプリッタ４ｂ、４ｃを経て同様にＰＳＤ１
０上にスポット光を形成する。
【００１６】この時、ＰＳＤ１０上に形成されたスポッ
ト光が一致していれば光源側ピンホール２と検出器側ピ
ンホール７、そして、試料６上のスポットがすべて共役
位置にあるといえる。
ト光が一致していれば光源側ピンホール２と検出器側ピ
ンホール７、そして、試料６上のスポットがすべて共役
位置にあるといえる。
【００１７】なお、この実施例では位置合わせとして、
第１及び第２の光源１、９を交互に点灯させたが、一方
のみを点滅させて、ＰＳＤ１０からの位置出力が等しく
なるように光源側ピンホール２、あるいは検出器側ピン
ホール７を移動させるようにしても同様の効果を奏す
る。
第１及び第２の光源１、９を交互に点灯させたが、一方
のみを点滅させて、ＰＳＤ１０からの位置出力が等しく
なるように光源側ピンホール２、あるいは検出器側ピン
ホール７を移動させるようにしても同様の効果を奏す
る。
【００１８】次に、請求項２の発明について図２を用い
て説明する。
て説明する。
【００１９】図２は、請求項２の発明に係る共焦点光学
系のピンホール位置制御装置の一実施例の構成を示すブ
ロック図であり、共焦点走査顕微鏡に応用した例であ
る。
系のピンホール位置制御装置の一実施例の構成を示すブ
ロック図であり、共焦点走査顕微鏡に応用した例であ
る。
【００２０】このピンホール位置制御装置は、前述した
ように該検出器側ピンホール７の位置を示す第２の光源
９と、第１の光源１から照射された光を当該共焦点光学
系からビームスプリッタ４ｃ及びレンズ３ｃで交互に集
光して取出したスポット光を位置検出器１０であるＰＳ
Ｄで検出している。
ように該検出器側ピンホール７の位置を示す第２の光源
９と、第１の光源１から照射された光を当該共焦点光学
系からビームスプリッタ４ｃ及びレンズ３ｃで交互に集
光して取出したスポット光を位置検出器１０であるＰＳ
Ｄで検出している。
【００２１】そして、制御手段１１ではこのＰＳＤ１０
で検出された各スポット位置からその位置ずれ量を検出
し、このスポット位置を一致させるように駆動手段１２
としての２軸ステージに移動指示を出す。
で検出された各スポット位置からその位置ずれ量を検出
し、このスポット位置を一致させるように駆動手段１２
としての２軸ステージに移動指示を出す。
【００２２】これにより、２軸ステージ１２は検出器８
に試料６からの反射光を集光させる可動レンズ３ｃを移
動させ、光源側及び検出器側ピンホール２、７を共役の
位置に自動的に修正する。
に試料６からの反射光を集光させる可動レンズ３ｃを移
動させ、光源側及び検出器側ピンホール２、７を共役の
位置に自動的に修正する。
【００２３】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、共焦点
光学系における検出器側ピンホールと検出器との間に、
該検出器側ピンホールの位置を示す第２の光源を設置
し、前記光源側及び検出器側それぞれのピンホールを通
過した光を、該光源側及び検出器側ピンホールの位置に
対応しているスポット光として、当該共焦点光学系の光
路上から交互に集光して取出し、このスポット光の位置
ずれを検出することで、該光源側及び検出器側ピンホー
ルの位置ずれを検出するように構成しているので、簡単
に光源側ピンホールと検出器側ピンホールの共役位置の
位置合わせを可能にする効果がある。
光学系における検出器側ピンホールと検出器との間に、
該検出器側ピンホールの位置を示す第２の光源を設置
し、前記光源側及び検出器側それぞれのピンホールを通
過した光を、該光源側及び検出器側ピンホールの位置に
対応しているスポット光として、当該共焦点光学系の光
路上から交互に集光して取出し、このスポット光の位置
ずれを検出することで、該光源側及び検出器側ピンホー
ルの位置ずれを検出するように構成しているので、簡単
に光源側ピンホールと検出器側ピンホールの共役位置の
位置合わせを可能にする効果がある。
【００２４】また、上記共焦点光学系のピンホール位置
制御方法を自動的に実現する装置として、検出手段（第
２の光源及び位置検出器）、制御手段、駆動手段を設け
ることで、各ピンホールの位置合わせの自動化が実現で
き、位置修正での個人差が発生しない効果がある。
制御方法を自動的に実現する装置として、検出手段（第
２の光源及び位置検出器）、制御手段、駆動手段を設け
ることで、各ピンホールの位置合わせの自動化が実現で
き、位置修正での個人差が発生しない効果がある。
【図１】請求項１の発明に係る共焦点光学系のピンホー
ル位置制御方法を説明するための共焦点光学系の構成図
である。
ル位置制御方法を説明するための共焦点光学系の構成図
である。
【図２】請求項２の発明に係る共焦点光学系のピンホー
ル位置制御装置の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
ル位置制御装置の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
【図３】従来の共焦点光学系としてのレーザ・スキャン
顕微鏡の構成図である。
顕微鏡の構成図である。
１…第１の光源、２…光源側ピンホール、３ａ、３ｂ、
３ｃ、３ｄ、３ｅ…レンズ、４ａ、４ｂ、４ｃ…ビーム
スプリッタ、５…ＸＹスキャナ、６…試料、７…検出器
側ピンホール、８…検出器、９…第２の光源、１０…Ｐ
ＳＤ、１１…制御手段、１２…２軸ステージ。
３ｃ、３ｄ、３ｅ…レンズ、４ａ、４ｂ、４ｃ…ビーム
スプリッタ、５…ＸＹスキャナ、６…試料、７…検出器
側ピンホール、８…検出器、９…第２の光源、１０…Ｐ
ＳＤ、１１…制御手段、１２…２軸ステージ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中嶋 裕司 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松 ホトニクス株式会社内 (72)発明者 寺田 浩敏 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松 ホトニクス株式会社内 (72)発明者 松浦 浩幸 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松 ホトニクス株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−140914（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−208017（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−42117（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−130919（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】 第１の光源から試料に対して照射する光
を絞り込む光源側ピンホールと、検出器で検出する該試
料からの反射光又は蛍光を絞り込む検出器側ピンホール
とを、共役の位置に設置するための共焦点光学系のピン
ホール位置制御方法において、 前記検出器側ピンホールと検出器との間に、該検出器側
ピンホールを通過させる光を照射する第２の光源を設置
し、前記光源側及び検出器側それぞれのピンホールを通
過した光を、該光源側及び検出器側ピンホールの位置に
対応しているスポット光として、当該共焦点光学系の光
路上から交互に集光して取出し、このスポット光の位置
ずれを検出することで、該光源側及び検出器側ピンホー
ルの位置ずれを検出することを特徴としている共焦点光
学系のピンホール位置制御方法。 - 【請求項２】 第１の光源から試料に対して照射する光
を絞り込む光源側ピンホールと、検出器で検出する該試
料からの反射光又は蛍光を絞り込む検出器側ピンホール
とを、共役の位置に設置するための共焦点光学系のピン
ホール位置制御装置において、 前記検出器側ピンホールと検出器との間に設置され、該
検出器側ピンホールを通過させる光を照射する第２の光
源と、 前記第１及び第２の光源から照射された光を当該共焦点
光学系から集光して取出したスポット光であって、該光
源側及び検出器側ピンホールの位置にそれぞれ対応した
スポット光の位置を検出する位置検出装置と、 前記検出器側ピンホールあるいは前記検出器側ピンホー
ルを介して検出器に試料からの反射光又は蛍光を結像さ
せるレンズを光軸に対して垂直方向に移動させる駆動手
段と、 前記位置検出装置から出力される前記光源側及び検出器
側ピンホールに対応したスポット光の各位置情報に基づ
いて、前記駆動手段に対して移動指示を行う制御手段と
を備えた共焦点光学系のピンホール位置制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26197792A JP2625330B2 (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 共焦点光学系のピンホール位置制御方法及びその制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26197792A JP2625330B2 (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 共焦点光学系のピンホール位置制御方法及びその制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06109958A JPH06109958A (ja) | 1994-04-22 |
| JP2625330B2 true JP2625330B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=17369294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26197792A Expired - Fee Related JP2625330B2 (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 共焦点光学系のピンホール位置制御方法及びその制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2625330B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7764589B2 (en) | 2004-04-21 | 2010-07-27 | Panasonic Corporation | Confocal optical system aperture detector that measures a light quantity balance of light received to detect a position displacement, and a confocal optical system aperture position controller, an optical head and a position detecting method performing the same |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19758746C2 (de) * | 1997-01-27 | 2003-07-31 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Laser-Scanning-Mikroskop |
| TWI467155B (zh) | 2011-12-14 | 2015-01-01 | Ind Tech Res Inst | 調整針孔位置與大小之光學裝置及其方法 |
| WO2015114743A1 (ja) * | 2014-01-29 | 2015-08-06 | 日立コンシューマエレクトロニクス株式会社 | 光情報装置、光情報処理方法 |
| DE102019116626B4 (de) * | 2019-06-19 | 2021-03-18 | Abberior Instruments Gmbh | Verfahren und Vorrichtungen zur Überprüfung der Konfokalität einer scannenden und entscannenden Mikroskopbaugruppe |
-
1992
- 1992-09-30 JP JP26197792A patent/JP2625330B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7764589B2 (en) | 2004-04-21 | 2010-07-27 | Panasonic Corporation | Confocal optical system aperture detector that measures a light quantity balance of light received to detect a position displacement, and a confocal optical system aperture position controller, an optical head and a position detecting method performing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06109958A (ja) | 1994-04-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |