DE102006047911A1 - Anordnung zur Aufteilung von Detektionslicht - Google Patents
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Abstract
Anordnung zur Aufteilung von Detektionslicht in einem Laser-Scanning-Mikroskop, wobei eine spektrale Separierung unterschiedlicher Spektralanteile in transmittierte und ausgeblendete Anteile erfolgt, wobei die Aufteilung durch mindestens einen in einem Winkel ungleich 90° und 0° zur optischen Achse verkippten beschichteten Filter erfolgt, wobei der Winkel zu optischen Achse weniger als 20°, vorteilhaft weniger als 10°, von der optischen Achse abweicht.
Description
- In einem Laser-Scanning-System werden Laser unterschiedlicher Leistungsklassen verwendet. Weiterhin ist ein Laser-Scanning-System durch eine grosse Anzahl von variablen Modulen gekennzeichnet, die als Detektor oder zur Beleuchtung dienen.
- Ein konfokales Scanmikroskop enthält ein Lichtquellenmodul, das bevorzugt aus mehreren Laserstrahlquellen besteht, die Beleuchtungslicht unterschiedlicher Wellenlängen erzeugen. Eine Scaneinrichtung, in die das Beleuchtungslicht als Beleuchtungsstrahl eingekoppelt wird, weist einen Hauptfarbteiler, einen x-y-Scanner und ein Scanobjektiv auf, um den Beleuchtungsstrahl durch Strahlablenkung über eine Probe zu führen, die sich auf einem Mikroskoptisch einer Mikroskopeinheit befindet. Ein dadurch erzeugter von der Probe kommender Messlichtstrahl wird über einen Hauptfarbteiler und eine Abbildungsoptik auf mindestens eine konfokale Detektionsblende (Detektionspinhole) eines Detektionskanals gerichtet.
- In
1 ist schematisch ein Strahlengang eines Laser-Scanning-Mikroskopes dargestellt. - Ein LSM gliedert sich im wesentlichen wie in
1 dargestellt in 4 Module: Lichtquelle, Scanmodul, Detektionseinheit und Mikroskop. Diese Module werden im folgenden näher beschrieben. Es wird zusätzlich aufDE 197 02 753 A1 verwiesen. - Zur spezifischen Anregung der verschiedenen Farbstoffe in einem Präparat werden in einem LSM Laser mit verschiedenen Wellenlängen eingesetzt. Die Wahl der Anregungswellenlänge richtet sich nach den Absorptionseigenschaften der zu untersuchenden Farbstoffe. Der Anregungsstrahlung wird im Lichtquellenmodul erzeugt. Zum Einsatz kommen hierbei verschiedene Laser (Argon, Argon Krypton, TiSa-Laser). Weiterhin erfolgt im Lichtquellenmodul die Selektion der Wellenlängen und die Einstellung der Intensität der benötigten Anregungswellenlänge, z.B. durch den Einsatz eines akusto-optischen Kristalls. Anschließend gelangt die Laserstrahlung über eine Faser oder eine geeignete Spiegelanordnung in das Scanmodul.
- Die in der Lichtquelle erzeugte Laserstrahlung wird mit Hilfe des Objektivs beugungsbegrenzt über die Scanner, die Scanoptik und die Tubuslinse in das Präparat fokussiert. Der Fokus rastert punktförmig die Probe in x-y-Richtung ab. Die Pixelverweilzeiten beim Scannen über die Probe liegen meist im Bereich von weniger als einer Mikrosekunde bis zu einigen 100 Mikrosekunden.
- Bei einer konfokales Detektion (descanned Detection) des Fluoreszenzlichtes, gelangt das Licht das aus der Fokusebene (Specimen) und aus den darüber- und darunterliegenden Ebenen emittiert wird, über die Scanner auf einen dichroitischen Strahlteiler (MD). Dieser trennt das Fluoreszenzlicht vom Anregungslicht. Anschließend wird das Fluoreszenzlicht auf eine Blende (konfokale Blende/Pinhole) fokussiert, die sich genau in einer zur Fokusebene konjugierten Ebene befindet. Dadurch werden Fluoreszenzlichtanteile außerhalb des Fokus unterdrückt. Durch Variieren der Blendengröße kann die optische Tiefenauflösung des Mikroskops eingestellt werden. Hinter der Blende befindet sich ein weiterer dichroitischer Blockfilter (EF) der nochmals die Anregungsstrahlung unterdrückt. Nach Passieren des Blockfilters wird das Fluoreszenzlicht mittels eines Punktdetektors (PMT) gemessen.
- Bei Verwendung einer Mehrphotonen-Absorption erfolgt die Anregung der Farbstofffluoreszenz in einem kleinen Volumen an dem die Anregungsintensität besonders hoch ist. Dieser Bereich ist nur unwesentlich größer als der detektierte Bereich bei Verwendung einer konfokalen Anordnung. Der Einsatz einer konfokalen Blende kann somit entfallen und die Detektion kann direkt nach dem Objektiv erfolgen (non descannte Detektion).
- In einer weiteren Anordnung zur Detektion einer durch Mehrphotonenabsorption angeregten Farbstofffluoreszenz erfolgt weiterhin eine descannte Detektion, jedoch wird diesmal die Pupille des Objektives in die Detektionseinheit abgebildet (nichtkonfokal descannte Detektion).
- Von einem dreidimensional ausgeleuchteten Bild wird durch beide Detektionsanordnungen in Verbindung mit der entsprechenden Einphotonen bzw. Mehrphotonen-Absorption nur die Ebene (optischer Schnitt) wiedergegeben, die sich in der Fokusebene des Objektivs befindet. Durch die Aufzeichnung mehrerer optische Schnitte in der x-y Ebene in verschiedenen Tiefen z der Probe kann anschließend rechnergestützt ein dreidimensionales Bild der Probe generiert werden.
- Das LSM ist somit zur Untersuchung von dicken Präparaten geeignet. Die Anregungswellenlängen werden durch den verwendeten Farbstoff mit seinen spezifischen Absorptionseigenschaften bestimmt. Auf die Emissionseigenschaften des Farbstoffes abgestimmte dichroitische Filter stellen sicher, dass nur das vom jeweiligen Farbstoff ausgesendete Fluoreszenzlicht vom Punktdetektor gemessen wird.
- In biomedizinischen Applikationen werden zur Zeit mehrere verschiedene Zellregionen mit verschiedenen Farbstoffe gleichzeitig markiert (Multifluoreszenz). Die einzelnen Farbstoffe können mit den Stand der Technik entweder aufgrund verschiedener Absorptionseigenschaften oder Emissionseigenschaften (Spektren) getrennt nachgewiesen werden. Dazu erfolgt eine zusätzliche Aufspaltung des Fluoreszenzlichts von mehreren Farbstoffen mit den Nebenstrahlteilern (DBS) und eine getrennte Detektion der einzelnen Farbstoffemissionen in getrennten Punktdetektoren (PMT x).
- Das LSM LIVE der Carl Zeiss Micolmaging GmbH realisiert einen sehr schnellen Linienscanner mit einer Bilderzeugung um 120 Bildern pro Sekunde
(http://www.zeiss.de/c12567be00459794/Contents-Frame/fd9fa0090eee01a641256a550036267b). - Die Verbindung der Lichtquellenmodule mit dem Scanmodul erfolgt in der Regel über Lichtleitfasern.
- Das Einkoppeln mehrerer unabhängiger Laser in eine Faser zur Übertragung zum Scankopf wurde beispielsweise in Pawley: „Handbook of Confocal Microskopy„, Plenum Press, 1994, Seite 151 sowie in
DE 196 33 185 A1 beschrieben. - In
2 ist der Bereich nach dem Hauptfarbteiler in Richtung der Detektion dargestellt. Die in1 als DBS bezeichneten Nebenfarbteiler sind hier NFT1 und NFT2, die die Detektionsstrahlung wellenlängenabhängig (Vorselektion) in Richtung von DetektorenD1-D3, denen noch vorzugsweise motorisch wechselbare Emissionsfilter EF1-EF3 (Hauptselektion der Wellenlänge) vorgeordnet sind. - In
3 ist dargestellt, dass NFT1 und 2 sowie EF 1-3 als motorisch betriebene Filterräder ausgebildet sein können, um die Flexibilität bei der Einstellung von detektierten Wellenlängenbereichen zu optimieren. - Die in
1 dargestellten Pinholes PH1-4 sind aus Gründen der Anschaulichkeit in2 -5 n nicht vorhanden, da auch ein Pinhole für alle Teilstrahlengänge, diesen vorangesetzt ausführbar wäre. - Emissionsfilter und dichroitische Strahlteiler wurden nach dem Stand der Technik bisher unterschiedlich eingesetzt:
- • Emissionsfilter im Strahlengang vor dem Detektor zur Auswahl der detektierten Wellenlängen, senkrecht zur optischen Achse angeordnet. Gleichzeitig unterdrücken die Emissionsfilter das Licht außerhalb des gewählten Spektralbereiches
- • Dichroitische Strahlteiler (mit deutlich schwächeren Unterdrückungseigenschaften ausserhalb ihres transmissiven Wirkungsbereiches) zur Vorselektion von Wellenlängenbereichen, ebenfalls, auch wechselbar, nicht senkrecht, typisch unter 45° zur optischen Achse angeordnet
- Zum Erreichen der in
2 nach dem Stand der Technik dargestellten Flexibilität sind zur Detektion von drei Spektralbereichen 5 Filterräder und bei maximal variabler Detektion auch 5 Antriebe zum Wechseln der Filter erforderlich. - Daneben gibt es einen hohen Platzbedarf für die benötigten Elemente.
- Dieser hohe Aufwand soll durch die Erfindung reduziert werden.
- Erfindungsgemäss wurde erkannt, dass vorteilhaft beschichtete Emissionsfilter praktisch keine Absorption aufweisen. Diese Filter reflektieren alles Licht mit Wellenlängen außerhalb des selektierten Spektralbereiches. Es scheint daher möglich, dieses reflektierte Licht für weitere spektrale Kanäle zu nutzen Damit das reflektierte Licht vom einfallenden Licht ohne weitere Filter getrennt werden kann, werden die Emissionsfilter leicht aus dem senkrechten Einfall heraus gekippt. Ein kleiner Winkel (<< 20°) wurde dabei als besonders vorteilhaft erkannt, weil die spektralen Eigenschaften typischer Emissionsfilter (hohe Unterdrückung, steile Bandkanten) sich für senkrechten Einfall und kleine vom senkrechten Einfall abweichende Winkel sich besonders gut realisieren lassen.
- Weiterhin erfolgt mit den Filtern eine Transmission des nicht reflektierten Strahlanteils mit hoher Unterdrückung der nicht erwünschten Strahlung (vorteilhaft grösser 10-3) in diesem Bereich.
- Durch diese Anordnung ergibt sich vorteilhaft die Möglichkeit einer einfacheren, kompakteren und kostenreduzierten „Kaskadierung" der Detektionskanäle in einer oder mehreren Ebenen.
- Die Erfindung wird nachstehend anhand der
4 ,5 und6 näher beschrieben. - Es zeigen:
-
4 : Erfindungsgemäss angeordnete Emissionsfilter NEF 1-3, Detektoren D1-D3, Strahlfalle S -
5 : - Die NEF 1-3 jeweils auf Filterrädern zur Auswechslung
-
6 : Zusätzliche schaltbare Filter F1-3 im Strahlengang von4 . - Erfindungsgemäss sind die Emissionsfilter so ausgebildet, dass sie einen definierten Teil der Lichtstrahlung transmittieren und den Rest nahezu vollständig reflektieren.
- Zu diesem Zweck sind sie in einem Winkel ungleich 90 Grad im Strahlengang angeordnet, der einen Einfallswinkel auf dem Filter von ungleich null Grad realisiert
- Es erfolgt also eine Gestaltung der Emissionsfilter so, dass reflektiertes Spektrum noch genutzt werden kann:
- – Reflektion des noch gewünschten Restspektrums
- – Nicht gewünschtes Restspektrum kann absorbiert werden
- – Einfallswinkel abweichend von 0°, aber noch klein (typischerweise 10°, auf jeden Fall deutlich kleiner 45°)
- – kleiner Einfallswinkel garantiert nahezu gleiche Eigenschaften für s- und p-polarisiertes Licht sowie hocheffiziente Unterdrückung der nicht gewünschten Spektralbereiche in Transmission.
- In einem weiteren Schritt erfolgt ein Nachschalten eines zweiten vorzugsweise schaltbaren Emissionsfilters vor dem Detektor mit folgenden Vorteilen:
- – Erhöhung der Flexibilität, mit dem Filter kann Spektralbereich weiter eingeschränkt werden
- – Zur einseitigen Einengung des Spektrums reicht ein zusätzlicher Kurz- bzw. Langpaß, das ergibt zusammen mit dem vorgeschalteten Filter ein Bandpaß und ist kostengünstiger als zwei schaltbare Bandpässe
- – Das reflektiertes Licht vom nachgeschalteten Filter kann ebenfalls genutzt werden.
- Der ungenutzte Teil des Spektrums kann auch in eine Strahlfalle S geleitet werden. Eine Detektion des Lichts mit einem weiteren Detektor z.B. für Kontrollzwecke ist ebenfalls denkbar.
-
4 zeigt einen einfachen Aufbau ohne nachgeschaltete Filter: Die Filter können auch wechselbar geschaltet werden: -
5 zeigt feste Filter zur Hauptselektion, zusätzlich schaltbare Filter, vorzugsweise Lang- und Kurzpässe, zur Einengung der Spektren der festen Filter: -
6 zeigt eine Anordnung mit im Strahlengang angeordneten „üblichen„ Emissionsfilterrädern NEF 1-3. - Beispielhaft wurden hier immer Anordnungen mit 3 Kanälen gezeigt, es können aber auch nur zwei oder beliebig viele Kanäle sein.
Claims (8)
- Anordnung zur Aufteilung von Detektionslicht in einem Laser-Scanning-Mikroskop, wobei eine spektrale Separierung unterschiedlicher Spektralanteile in transmittierte und ausgeblendete Anteile erfolgt, dadurch gekennzeichnet dass die Aufteilung durch mindestens einen in einem Winkel ungleich 90 und Null Grad zur optischen Achse verkippten beschichteten ersten Filter erfolgt.
- Anordnung nach Anspruch 1, wobei der Winkel zur optischen Achse weniger als 20 Grad, vorteilhaft weniger als 10 Grad von der optischen Achse abweicht.
- Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, Wobei der Filter zur Aufteilung eine für Emissionsfilter typische Unterdrückung der ausgeblendeten Spektralanteile von > 10-3 aufweist.
- Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei dem ersten Filter mindestens in der Richtung der ausgeblendeten Strahlung mindestens ein zweiter Filter nachgeordnet ist.
- Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei eine kaskadenförmige Aufspaltung des Detektionslichtes mindestens in einer Ebene erfolgt, durch die die optische Achse führt.
- Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei dem ersten oder zweiten Filter nachgeordnete Emissionsfilter zur Einengung des transmittierten Spektrums vorgesehen sind.
- Anordnung nach Anspruch 6, wobei der nachgeordnete Emissionsfilter ist Lang- oder Kurzpaß ist und mit dem vorgeschalteten Filter einen Bandpaß bildet.
- Laser-Scanning-Mikroskop mit mindestens einer Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200610047911 DE102006047911A1 (de) | 2006-10-06 | 2006-10-06 | Anordnung zur Aufteilung von Detektionslicht |
PCT/EP2007/008555 WO2008043459A2 (de) | 2006-10-06 | 2007-10-02 | Anordnung zur aufteilung von detektionslicht |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200610047911 DE102006047911A1 (de) | 2006-10-06 | 2006-10-06 | Anordnung zur Aufteilung von Detektionslicht |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102006047911A1 true DE102006047911A1 (de) | 2008-04-10 |
Family
ID=39154696
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE200610047911 Pending DE102006047911A1 (de) | 2006-10-06 | 2006-10-06 | Anordnung zur Aufteilung von Detektionslicht |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102006047911A1 (de) |
WO (1) | WO2008043459A2 (de) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US7508507B2 (en) * | 2004-10-12 | 2009-03-24 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Device for selecting and detecting at least two spectral regions of a light beam |
-
2006
- 2006-10-06 DE DE200610047911 patent/DE102006047911A1/de active Pending
-
2007
- 2007-10-02 WO PCT/EP2007/008555 patent/WO2008043459A2/de active Application Filing
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DE102019101773B4 (de) * | 2019-01-24 | 2021-06-17 | Carl Zeiss Meditec Ag | Mikroskopiesystem und Verfahren zum Betreiben eines Mikroskopiesystems |
DE102019101773B9 (de) | 2019-01-24 | 2021-11-25 | Carl Zeiss Meditec Ag | Mikroskopiesystem und Verfahren zum Betreiben eines Mikroskopiesystems |
US11835461B2 (en) | 2019-01-24 | 2023-12-05 | Carl Zeiss Meditec Ag | Microscopy system and method for operating a microscopy system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008043459A3 (de) | 2008-07-10 |
WO2008043459A2 (de) | 2008-04-17 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8181 | Inventor (new situation) |
Inventor name: STEINERT, JOERG, 07743 JENA, DE Inventor name: HUHSE, DIETER, DR., 12167 BERLIN, DE Inventor name: BATHE, WOLFGANG, 07743 JENA, DE Inventor name: WOLLESCHENSKY, RALF, 07743 JENA, DE |
|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH, 07745 JENA, DE Effective date: 20130204 |
|
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|
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