DE19604043A1 - Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement - Google Patents

Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement

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Description

Die Erfindung betrifft ein durch Feldeffekt steuerbares Halb­ leiterbauelement gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Derartige durch Feldeffekt steuerbare Halbleiterbauelemente sind z. B. MOS-Feldeffekttransistoren. Diese Transistoren sind seit langem bekannt und z. B. im Siemens Datenbuch 1993/94 SIPMOS-Halbleiter, Leistungstransistoren und Dioden, auf Sei­ te 29ff beschrieben. Fig. 4 auf Seite 30 dieses Datenbuchs zeigt den Prinzipiellen Aufbau eines derartigen Lei­ stungstransistors. Der dort gezeigte Transistor stellt einen vertikalen n-Kanal-SIPMOS-Transistor dar. Bei einem derarti­ gen Transistor dient das n⁺-Substrat als Träger mit der dar­ unterliegenden Drainmetallisierung. Über dem n⁺-Substrat schließt sich eine n⁻-Epitaxieschicht an, die je nach Sperr­ spannung verschieden dick und entsprechend dotiert ist. Das darüberliegende Gate aus n⁺-Polysilizium ist in isolierendes Siliziumdioxid eingebettet und dient als Implantationsmaske für die p-Wanne und für die n⁺-Sourcezone. Die Sourcemetalli­ sierung überdeckt die gesamte Struktur und schaltet die ein­ zelnen Transistorzellen des Chips parallel. Weitere Einzel­ heiten dieses vertikal aufgebauten Leistungstransistors sind auf Seite 30ff des Datenbuchs zu entnehmen.
Nachteil einer derartigen Anordnung ist, daß der Durchlaßwi­ derstand Ron der Drain-Source-Laststrecke mit zunehmender Spannungsfestigkeit des Halbleiterbauelements zunimmt, da die Dicke der Epitaxieschicht zunehmen muß. Bei 50 V liegt der flächenbezogene Durchlaßwiderstand Ron bei ungefähr 0,20 Ohm/m² und steigt bei einer Sperrspannung von 1000 V bei­ spielsweise auf einen Wert von ca. 10 Ohm/m² an.
Aus der US 5,216,275 ist ein Halbleiterbauelement bekannt, bei dem die auf dem Substrat aufgebrachte Drainschicht aus vertikalen abwechselnd p- und n-dotierten Schichten besteht. Die US 5,216,275 zeigt diese Schichten beispielsweise in Fig. 4 der Beschreibung. Die p-Schichten sind mit 7 und die n- Schicht mit 6 bezeichnet. Aus der Beschreibung, insbesondere aus Spalte 2, Zeile 8 geht hervor das die abwechselnden p- und n-Schichten jeweils mit der p-Region 8 bzw. der n-Region 4 verbunden werden müssen. Dies führt jedoch zu einer starken Einschränkung im Design eines Halbleiterbauelementes, da die Randbereiche nicht mehr frei gestaltet werden können.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein durch Feldef­ fekt steuerbares Halbleiterbauelement anzugeben, welches trotz hoher Sperrspannung einen niedrigen Durchlaßwiderstand bereitstellt und die aufgezeigten Nachteile nicht aufweist.
Diese Aufgabe wird durch den kennzeichnenden Teil des An­ spruchs 1 gelöst. Weiterbildungen sind Kennzeichen der Un­ teransprüche.
Die Erfindung weist den Vorteil auf, daß durch einfaches Ein­ bringen von gepaarten n- bzw. p-Bereichen, insbesondere ent­ lang des Strompfads, zum einen durch die n-Schicht eine gute Leitfähigkeit gewährleistet wird und sich zum anderen bei Er­ höhung der Drainspannung die gepaarten Bereiche gegenseitig ausräumen, wodurch eine hohe Sperrspannung gesichert bleibt.
Eine besonders vorteilhafte Anordnung ergibt sich bei Verwen­ dung eines Graben (Trench)-Bereiches, dessen Randbereiche der­ artig dotiert werden, daß sich jeweils paarweise n- bzw. p- Bereiche ergeben.
Ein weiterer Vorteil ergibt sich bei Verwendung von annähernd V-förmigen Isolationsgräben, da die Wände Ionenimplantation mit 0° Einfallswinkel bei gleichzeitig hoher Genauigkeit be­ legt werden können und somit die n- bzw. p-Bereiche in je­ weils einem Arbeitsgang hergestellt werden können.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Figuren näher er­ läutert.
Es zeigen:
Fig. 1 einen Teilschnitt durch einen erfindungsgemäßen ver­ tikalen MOSFET, der, in entsprechend mit A, B, C ge­ kennzeichneten Bereichen, verschiedene Realisierungs­ möglichkeiten aufzeigt,
Fig. 2a bis 2d zeigen jeweils teilweise Schnitte anhand de­ rer die charakteristischen Verfahrensschritte zur Herstellung eines erfindungsgemäßen vertikalen MOSFET gezeigt werden,
Fig. 3 zeigt einen Teilschnitt durch einen erfindungsgemäßen vertikalen MOSFET mit einer Grabenstruktur,
Fig. 4 zeigt einen Teilschnitt durch einen weiteren vertika­ len MOSFET mit Grabenstruktur, und
Fig. 5 zeigt einen Teilschnitt durch einen vertikalen MOSFET mit V-förmiger Grabenstruktur.
In Fig. 1 zeigt verschiedene Ausführungsformen einer erfin­ dungsgeinäßen Anordnung, die der Übersichtlichkeit wegen in einer Figur dargestellt sind.
Diese Fig. 1 stellt einen vertikalen MOSFET dar. Das n⁺- dotierte Substrat 1 bildet einen Teil der Drainzone und wird rückseitig über eine übliche Metallisierung kontaktiert, die den Drainanschluß D bildet. Über dieser Schicht 1 ist eine n⁻- dotierte Epitaxieschicht 2 abgeschieden, die ebenfalls einen Teil der Drainzone bildet, und in welcher p-dotierte Source­ bereiche 3 eingebracht sind. Diese p-dotierten Sourcebereiche 3 weisen eingebettete n⁺-Bereiche 4 auf. Die Sourcemetalli­ sierung 5 bildet einen Kurzschluß zwischen diesem n⁺- und p- Sourcegebiet 3, 4. In der Figur sind mehrere Sourcebereiche 3, 4 dargestellt, die voneinander beabstandet sind und von denen jeweils zwei einen Zwischenbereich in Verbindung mit der Drainzone 1, 2 definieren, über dem, eingebettet in Ga­ teoxid 17, ein Gate 6 angeordnet ist.
Innerhalb der schwächer dotierten n⁻-Drainzone 2 sind p- und n-dotierte Gebiete 7, 8 bzw. 9, 10 bzw. 11, 12 bzw. 13, 14 eingepflanzt. Diese müssen nicht, können aber einander berüh­ ren und einen pn-Übergang bilden.
Die p-/n-Gebiete 7, 8 können wie im Bereich A dargestellt ku­ gelförmig ausgebildet sein und sich entlang des Strompfades der Drain-Source-Laststrecke erstrecken. Im Bereich B bilden diese p-/n-Bereiche 10, 11 oder 11, 12 beispielsweise Fä­ den, Streifen oder vertikal verlaufende Ebenen. Diese Berei­ che können, wie durch die Bereiche 9 und 10 angedeutet inner­ halb der Epitaxiechicht 2 "floatend", d. h. frei schwebend, liegen und nur einen Teil der Epitaxiechicht 2 ausfüllen oder, wie durch 11, 12 angedeutet, von der oberen Oberfläche der Epitaxieschicht 2 bis zum Substrat 1 und/oder in das Substrat 1 hineinreichen. Wie im Bereich B gezeigt kann der Abstand d der Schichten 9, 10 bzw. 11, 12 größer gleich 0 sein.
Im Bereich C ist eine weitere Ausführungsform dargestellt bei der eine statistische Verteilung der p- und n-dotierten Ge­ biete 13, 14 vorgesehen ist. Dabei kann der Querschnitt die­ ser p-/n-Gebiete 13, 14 sowie auch die Dotierungsverteilung unregelmäßig sein.
Wesentlich ist, daß die Anzahl der eingebrachten p-Gebiete 7, 10, 12, 13 ungefähr gleich der Anzahl der eingebrachten n- Gebiete 8, 9, 11, 14 ist. Dabei ist des weiteren zu beachten, daß die Summe der Volumenausdehnungen der eingebrachten p- Gebiete 7, 10, 12, 13 ungefähr gleich oder kleiner der der n- Gebiete 8, 9, 11, 14 ist.
Ebenso sollte im Fall der Anordnung gemäß dem Bereich C die durchschnittliche Konzentration der verteilten p-Gebiete in etwa gleich oder größer der der eingebrachten n-Gebiete sein.
Der Abstand d zwischen den einzelnen p- und n-Gebieten, soll­ te vorzugsweise kleiner als die Breite der Raumladungszone zwischen den p-/n-Gebieten bei der Durchbruchsspannung zwi­ schen den benachbarten p-/n-Gebieten sein, kann aber wie er­ wähnt auch zu null werden.
Nachfolgend wird die Funktionsweise einer derartigen erfin­ dungsgemäßen Struktur näher erläutert.
Bei kleiner Drainspannung ist die Leitfähigkeit gut, da die n-Zone 15, 25 bzw. die durch die n-dotierten Gebiete 8, 9, 11, 14 gebildeten Zonen niederohmig sind. Wird die Drainspan­ nung erhöht, werden bei moderater Spannung, z. B. einer Span­ nung kleiner 30 V, die p- bzw. n-dotierten Schichten 9, 10; 11, 12 bzw. Gebiete 7, 8; 13, 14 gegenseitig ausgeräumt. Bei einer weiteren Spannungserhöhung wird nun die vertikale Feld­ stärke weiter erhöht und die Epitaxieschicht 2 nimmt die Spannung auf.
Im einzelnen erfolgt dieser Vorgang folgendermaßen. Die Aus­ räumung startet von der Oberfläche unter der Gateelektrode 6 und den Sourcebereichen 3, 4. Sie schreitet dann in das Ge­ biet 9, 10; 11, 12 bzw. die Gebiete 7, 8; 13, 14 voran. Wenn die Raumladungszone die ersten p-Gebiete 7, 10, 12, 13 er­ reicht, bleiben diese Gebiete auf der Spannung, die das Po­ tential der Raumladungszone erreicht hat. Dann wird die näch­ ste Umgebung in Richtung des Drainanschlusses D ausgeräumt. Dieser Vorgang wiederholt sich von Schicht zu Schicht.
Auf diese Weise schreitet die Raumladungszone voran, bis die Zone unterhalb der eingebrachten Dotierungen innerhalb der Epitaxieschicht 2 erreicht wird. Insgesamt wird dann die Raumladungszone so aufgebaut, als ob die zusätzlich einge­ brachten p-/n-Bereiche 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14 nicht vor­ handen wären.
Die Spannungsfestigkeit wird dabei nur durch die Dicke der Epitaxieschicht 2 bestimmt. Somit kann die erfindungsgemäße Anordnung beide Erfordernisse erfüllen, nämlich einen niede­ rohmigen Durchlaßwiderstand Ron bei gleichzeitiger hoher Spannungsfestigkeit.
In einer Abwandlung ist eine derartige Struktur auch als IGBT funktionsfähig, wenn z. B. die untere n⁺-Zone 1 gemäß Fig. 1 auf p⁺ umgeschaltet wird.
Die erfindungsgemäßen Strukturen können sowohl bei vertikal als auch bei lateral aufgebauten Halbleiterstrukturen verwen­ det werden. Bei lateralen Strukturen sollten streifenförmig ausgebildete p- und n-Bereiche dann in horizontalen Ebenen ausgerichtet werden. Diese können z. B. als buried layer in die n⁻-Schicht 2 vergraben werden.
Die Fig. 2a bis 2d zeigen ein mögliches Herstellverfahren einer Anordnung gemäß Fig. 3. Auf einem n⁺-dotierten Substrat 1 wird eine erste dünne n⁻-dotierte Epitaxieschicht 2 aufgewachsen. Diese wird beispielsweise durch entsprechende Maskierung und Ionenimplantation mit sich abwechselnden n- bzw. p-Bereichen 28 und 29 dotiert. Die Dotierung kann selbstverständlich auch durch andere bekannte Verfahren er­ folgen.
Danach wird, wie in Fig. 2b zu sehen ist, eine weitere Epi­ taxieschicht aufgebracht, die in gleicher Weise wie zuvor do­ tiert wird.
Durch Wiederholen dieses Schrittes wird durch eine mehrstufi­ ge Epitaxieabscheidung schließlich die n⁻-dotierte Zone 2 bis zu den noch einzubringenden Sourcebereichen 3, 4 vervollstän­ digt.
Je nach verwendeten Maske können pro Schicht die unterschied­ lichsten Strukturen gebildet werden. Die Dotierungen der Be­ reiche 28 und 29 können z. B. derart gewählt werden, daß sich die einzelnen dotierten Bereiche 28, 29 einer Schicht nach einer Hochtemperaturbehandlung mit denjenigen der darunter­ liegenden Schicht verbinden, so daß sich insgesamt, wie in Fig. 2c dargestellt, streifenförmige Bereiche 28 und 29 aus­ bilden. Die in den einzelnen Schichten dotierten Bereiche 28, 29 können jedoch auch voneinander getrennt sein, wie es in den Bereichen A und C in Fig. 1 dargestellt ist. Durch ent­ sprechende Wahl der Masken können auch statistische räumliche Verteilungen der einzelnen Gebiete erreicht werden.
Schließlich werden die Sourcebereiche 3, 4 z. B. in eine wei­ tere aufgebrachte Epitaxieschicht eingebracht, und in den üb­ rigen Bereichen kann z. B. eine weitere Dotierung von n-/p- Bereichen 28, 29 erfolgen, so daß sich die streifenförmigen Bereiche 28, 29 in der Zonen in welcher kein Sourcebereich 3, 4 vorgesehen ist, bis zur Oberfläche der Epitaxieschicht 2 erstrecken.
Die am Randbereich eingebrachten p- und n-dotierten Gebiete, in Fig. 2d mit 30 und 31 bezeichnet, können vorzugsweise schwächer als die übrigen Bereiche 28, 29 dotiert sein.
Es folgen nun weitere Schritte zur Aufbringung der Gateelek­ troden 6 bzw. der Randgateelektrode 32 und der Metallisierung 5 in bekannter Weise.
Fig. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfin­ dungsgemäßen vertikalen MOSFET. Gleiche Bereiche sind gemäß den vorhergehenden Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
Dieser MOSFET unterscheidet sich von dem in Fig. 1 bzw. Fig. 3 gezeigten in der Ausgestaltung der n⁻-dotierten Drain­ zone 2. Unterhalb der Gateelektroden 6 erstreckt sich hier von der Oberfläche der Epitaxieschicht 2 bis in die Substratschicht 1 eine vertikale Grabenstruktur 24. Diese ist vollständig oder teilweise mit Isolatoren z. B. Oxid und/oder schwach dotiertem Polysilizium aufgefüllt. Auch eine Kombina­ tion von mehreren übereinanderliegenden Isolationsschichten mit dazwischenliegendem schwach dotierten Polysilizium ist möglich.
Die Grabenwände sind mit einer n-Zone 25 umhüllt, welche rundum wiederum von einer p-Zone 26 umgeben ist. Die p- und n-Dotierung in der Grabenumhüllung ist so bemessen, daß bei einer UD-Spannung, welche kleiner als die Durchbruchspannung zwischen den Bereichen 25 und 26 ist, beide n- und p-Bereiche 25 und 26 nahezu vollkommen ausgeräumt werden.
Der Querschnitt der Gräben 24 kann rund, streifenförmig, d. h. beliebig sein. Der Graben muß sich dabei nicht bis in die Substratzone 1 erstrecken, vielmehr ist der Tiefenverlauf frei wählbar. Wird z. B. ein runder Grabenquerschnitt ge­ wählt, so erhalten die Schichten 25, 26 eine quasi zylindrige Form.
Selbstverständlich kann auch, wie in Fig. 3 durch Klammern angedeutet, der innere Wandbereich 25 p-dotiert und der ihn umgebende äußere Wandbereich 26 n-dotiert sein.
Es ist auch möglich, nur einen Teil der Grabenwände mit der n- und der p-Schicht zu belegen.
Nachfolgend wird ein mögliches Herstellverfahren beschrieben: Zuerst werden in die Epitaxieschicht 2 die Gräben eingesetzt.
Dann wird von den Gräbenwänden z. B. eine Dotierungsquelle für Bor (p) abgeschieden und eingetrieben. So entsteht die p- Schicht 26. Danach wird die n-Dotierstoffquelle abgeschieden. Diese Quelle ist eine beliebig z. B. durch Ionen-Implantation hergestellte, dünne Oberflächenschicht. Nach der Einbringung der n- und p-Dotierung wird der Graben mit Isolatoren aufge­ füllt. Dies kann z. B. durch Oxidation oder Abscheidung erfol­ gen. Nachdem die Gräben fertig sind kann die Zellenstruktur nach gängigem Verfahren erzeugt werden. Die p-Zonen 26 können mit den Zellen-p-Zonen stellenweise zusammenhängen, wobei dieser Fall in Fig. 3 nicht dargestellt ist.
Fig. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel entsprechend der in Fig. 3 dargestellten Anordnung. Gleiche Elemente sind auch hier mit gleichen Bezugszeichen versehen. Der Unter­ schied zur Anordnung gemäß Fig. 3 besteht in der Ausgestal­ tung der Gatestruktur. Im Gegensatz zu der in Fig. 3 darge­ stellten Anordnung ist hier die Gatestruktur zweigeteilt bzw. weist eine zentrale Aussparung 29 auf, die das Gate in zwei Teilbereiche 27 und 28 aufteilt. Sinn dieser Anordnung ist, daß ein derartiges Poly-Gate den Grabenbereich 24 maskiert. Hierdurch kann eine vereinfachte Herstellung des Grabenbe­ reichs vorgesehen werden. Wie bei bekannten Strukturen, bei denen das Gate zur Maskierung bestimmter Bereiche während des Herstellverfahrens dient, wird hier die Form des Gates ausge­ nutzt, um die Ausbildung des Grabens 24 entsprechend der Formgebung der Aussparung 29 vorzusehen.
Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines vertika­ len MOSFETS. Gleiche Elemente sind auch hier mit gleichen Be­ zugszeichen versehen. Die dargestellte Struktur entspricht im wesentlichen der in Fig. 3 wiedergegebenen mit dem Unter­ schied, daß der Grabenbereich hier als annähernd V-förmiger Graben 31 ausgebildet ist. Dementsprechend sind auch die p- bzw. n-dotierten umhüllenden Randbereiche 30, 32 V-förmig ausgebildet. In dem in Fig. 5 dargestellten Beispiel ist au­ ßerdem die auf der Unterseite des Bauelements auf der Substratschicht 1 aufgebrachte Kontaktierungsschicht 32 dar­ gestellt.
Von besonderem Vorteil kann es sein, den Scheitel- bzw. Um­ kehrpunkt des Grabens eher u-förmig auszubilden.
Ein derartiger Trench(Graben)-Drain-MOSFET ist leicht her­ stellbar, wenn die Gräben 31 wie in Fig. 5 dargestellt V- förmig ausgebildet sind, wobei ein sehr kleiner Winkel (Φ = ungefähr 5° bis 10°) verwendet wird. Dann können die Wände 30, 32 durch Ionenimplantation mit 0° Einfallswinkel mit ho­ her Genauigkeit und Gleichmäßigkeit belegt werden. Die n- und p-Dotierungen können aus der Grabenwand durch eine oder meh­ rere Hochtemperaturbehandlungen in das einkristalline Silizi­ um der Schichten 1 und 2 eingetrieben werden.
Wahlweise könnte auch nur jeweils eine Seitenwand, je nach Ausbildung der Gräben mit den Schichten 30 und 32 belegt werden.
Die Herstellung der Gräben 31 kann als erster Schritt, aber auch nach der Polysiliziumabscheidung erfolgen. Im letzteren Fall wird das Maskieren der Gräben 31 durch Öffnungen im Po­ lysilizium und dem Gateoxid durchgeführt. Die Zellen können dabei als Säulen ausgebildet sein aber die V-förmigen Gräben können auch alleinstehend sein.
Die Gräben 24, 31 können streifenförmig verlaufen und so die einzelnen Zellen eines MOSFET umgeben. Sie können aber auch kegelförmig ausgebildet sein und an den Kreuzungspunkten von in einer Matrix angeordneten Zellen eingebracht werden.
Selbstverständlich kann die Epitaxieschicht in allen Fällen sowohl vom n⁻- oder vom p⁻-Typ sein.
Zusammenfassend ist zu bemerken, daß durch die vorliegende Erfindung sowohl vertikale wie auch laterale MOSFETS mit niedrigem Durchlaßwiderstand Ron bei gleichzeitig hoher Sperrspannung vorgesehen werden können. Wesentlich ist die Ausbildung von paarweisen p- bzw. n-dotierten Bereichen, wel­ che strukturiert oder statistisch verteilt eingebracht sind, wobei vorzugsweise streifenförmiger Bereiche vorgesehen sind, die entlang des Strompfads der Laststrecke ausgebildet sind. Die vorliegende Erfindung ist dabei sowohl bei MOSFETS vom p- Kanal wie auch bei MOSFETS vom n-Kanal oder auch bei entspre­ chenden IGBT′s anwendbar.

Claims (12)

1. Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement mit
  • - einer Drainzone vom ersten Leitungstyp,
  • - wenigstens einer aus polykristallinem Silizium bestehenden Gateelektrode, wobei diese gegenüber der Drainzone isoliert ist,
  • - wenigstens einem in der Drainzone eingebrachten Sourcebe­ reich vom zweiten Leitungstyp,
dadurch gekennzeichnet, daß in der Drainzone (1, 2) Bereiche vom jeweils ersten und zweiten Lei­ tungstyp (7, 8; 9, 10; 11, 12; 13, 14; 28, 29) eingebracht sind, wobei Gesamtmenge der Dotierung der eingebrachten n- Bereiche (8, 9, 11, 14, 28) in etwa der Gesamtmenge der Do­ tierung der eingebrachten p-Bereiche (7, 10, 12, 13, 29) ent­ spricht.
2. Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement nach An­ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Be­ reiche vom ersten und zweiten Leitungstyp (7, 8; 9, 10; 11, 12; 13, 14; 28, 29) in der Drainzone (1, 2) jeweils paarweise angeordnet sind.
3. Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement nach An­ spruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die paar­ weise eingebrachten Bereiche vom ersten und zweiten Leitung­ styp (7, 8; 9, 10; 11, 12; 13, 14; 28, 29) in der Drainzone (1, 2) einen Abstand voneinander größer gleich 0 und kleiner gleich der Breite der Raumladungszone haben.
4. Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement gemäß einem der Ansprüche 2 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die paar­ weise angeordneten Bereiche (9, 10; 11, 12; 28, 29) jeweils streifen- oder fadenförmig ausgebildet sind.
5. Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement gemäß einem der Ansprüche 2 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die in der Drainzone eingebrachten Bereiche (7, 8; 13, 14; 28, 29) kugelförmig ausgebildet sind.
6. Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der Drainzone (1, 2) ein Graben (24, 31) vorgesehen ist, der sich von der Oberfläche in die Drainzone (1, 2) erstreckt, wobei der Graben (24, 31) mit wenigstens einem Isolator aus­ gefüllt ist und der Graben (24, 31) einen ersten vertikal verlaufenden Randbereich (25, 30) aufweist, welcher minde­ stens teilweise vom ersten bzw. zweiten Leitungstyp dotiert ist und welcher mindestens teilweise von einem zweiten verti­ kal parallel verlaufenden Randbereich (26, 32) umgeben ist, der vom jeweils anderen Leitungstyp ist.
7. Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Grä­ ben (31) annähernd V-förmig ausgebildet sind.
8. Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Um­ kehrpunkt der Gräben (31) u-förmig ausgebildet ist.
9. Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Iso­ lator eine Kommbination aus Isolationsmaterial und Polysili­ zium ist.
10. Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement gemäß einem der Ansprüche 6 bis 9 dadurch gekennzeichnet, daß die Grä­ ben (24, 31) streifenförmig verlaufen.
11. Durch Feldeffekt steuerbares Halbleiterbauelement gemäß einem der Ansprüche 6 bis 9 dadurch gekennzeichnet, daß die Grä­ ben (24, 31) kegelförmig ausgebildet sind.
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