DE1741854U - Hochvakuumventil. - Google Patents

Description

• Hochvakuumventil Bei der Konstruktion von Hochvakuum-Ventilen besteht die Aufgabe, eine relativ große Durchtrittsöffnung in Sperrstellung völlig abzudichten, während in der Durchlaßstellung möglichst der ganze Querschnitt ohne Beeinträchtigung durch Einzelteile der Ventilkonstruktion freigegeben werden soll. Jede Behinderung des Durchtrittsquerschnittes durch die Innenteile, z. B. den Ventilteller, führt bei hohem Vakuum zu einer sehr unerwünschten Drosselwirkung.
• Es sind Hochvakuumventile bekannt, bei denen ein scheibenförmig ger Ventilteller in der Sperrstellung den Durchlaß verschließt, während er in der Durchlaßstellung über ein Gestänge parallel zur Strömungsrichtung im Ventil ausgerichtet wird, sodaß der freie Durchtrittsquerschnitt nur durch die schmale rechteckige Querschnittsfläche des Ventiltellers und durch das notwendige Betätigungsgestänge eingeschränkt wird. Dabei ist es sehr stö-

  trend, daß bei größeren Ventilen ein großer Raum zur Aufrichtung

  des Ventiltellers beansprucht wird, sodaß derartige Konstrukt-

  onen nicht in geringer Bauhöhe ausgeführt werden können. Außerdem erfordern große Ventile einen sehr massiven und daher schweren Ventilteller, zu dessen Bewegung ein entsprechend bemessenes Gestänge und große Kräfte nötig sind.
• Die vorliegende neue Ventilkonstruktion gemäß der Erfindung erreicht dagegen bei geringer Einbauhöhe einen zuverlässigen Abschluß der Durchtrittsöffnung in Sperrstellung, während in der Durchlaßstellung nahezu die volle Querschnittsfläche freigegeben wird. Die neue Konstruktion ist gekennzeichnet durch die Verwendung einer Dichtungsfolie, die jalousieartig über die Querschnittsfläche gezogen wird, wobei in der Sperrstellung ein zusätzlicher Anpreßring die völlig vakuumdichte Auflage auf der kreisringförmigen Auflagefläche des Ventils unter Zwischenschaltung eines elastischen Dichtungsringes herstellt.
• Die Folie stützt sich dabei auf ein rostförmiges Gitter, wodurch jede Überbelastung der Dichtungsfolie vermieden wird. Auch im Anpreßring ist ein derartiges Gitter vorhanden, sodaß hinsichtlich der Abdichtwirkung im Ventil keine Vorzugsrichtung entsteht. Bei der Verwendung als Absperrventil gegen Diffusionspumpen ist es zweckmäßig, die rostförmigen Gitterflächen gleichzeitig so auszubilden, daß entsprechende Kondensationsflächen für die rückströmenden Dämpfe entstehen. (Baffle-Wirkung).
• Dient ein derartiges Ventil zur Absperrung der Diffusionspumpe bei der Belüftung eines Arbeitsraumes, so belädt sich die der Pumpe zugekehrte Oberfläche der Dichtungsfolie mit einem dünnen Ölfilm* Es ist jedoch in manchen Fällen unerwünscht, wenn sich dieser Ölbelag beim Einrollen auch auf die bisher nichtbenetzte Oberfläche der Dichtungsfolie verteilt. Dies kann dadurch vermieden werden, daß man beim Einrollen eine gegenseitige Berührung der Oberflächen verhindert. Mittel hierzu sind in verschiedenster Ausführung bekannt. Man kann z. B. den Rand der Folie dicker ausführen oder wellen (Correxband), sodaß nach dem Aufrollen immer noch ein geringer Abstand der Oberflächen bleibt.
• Eine Ausführungsform der Erfindung zeigen die beigefügten Abbildungen 1-3.
• Fig. 1 zeigt einen Längsschnitt durch die Anordnung, Fig. 2 den Querschnitt in der Höhe der Oberfläche der Dichtungsfolie.
• In Fig. 3 sind Einzelheiten der Verriegelungsvorrichtung am Anpreßring dargestellt In dem Ventilgehäuse 1 befindet sich ein rohrförmiges Ansatzstück 2, an dessen oberen Ende eine kreisringförmige Auflagefläche 3 entsteht* In diese ist eine entsprechend geformte, vorzugsweise trapezförmige Nut 4 eingelassen, in die ein elastischer Dichtungsring 5, etwa aus Perbunan oder dergl., eingelegt ist. Von einer Rolle 6, die durch eine Spiralfeder 7 eine Vorspannung erhält, wird die Dichtungsfolie 8 durch Führungsseile 9 dadurch abgewickelt, daß sich die Führungsseile auf eine weitere Rolle 10 aufspulen, die zum Absperren des Ventils in Pfeilrichtung bewegt wird. Im rohrförmigen Ansatzstück 2 befindet sich ein rostförmiges Gitter 11, das hier bereits als Kondensa-

  tionsflächen für die rückströmenden Dämpfe ausgebildet ist.

• Die Dichtungsfolie kann aus vakuumdichten Kunststoffen oder Gummi bestehen, wobei unter Umständen auch eine Gewebeeinlage nützlich ist. Als Werkstoff kommt ferner dünnes Stahlblech (Federstahl) in Frage.
• Nachdem die Dichtungsfolie über den ganzen freien Querschnitt gezogen worden ist, schiebt man den Betätigungsknopf 12 ein und dadurch bewegt sich der Anpreßring 13 über ein entsprechendes Gestänge. Das Gestänge besteht aus einem Verbindungstück 14, an dem Rollen 22 befestigt sind, die in den Aussparungen 21 der Hebel 17 gleiten. Die Hebel 17 sind um die Wellen-

  stummel 20 drehbar und fest am Gehäuse 1 gelagert. Beim Ver-

  riegelungsvorgang drehen sich die Hebel 17 um die Festpunkt

  und dabei bewegen sich die Verriegelungsrollen 18 in den Verriegelungsnuten 19 des Anpreßringes 13. Der Anpreßring 13 wird dabei nach unten gedrückt. Hierdurch wird die Dichtungsfolie fest auf den Dichtungsring gepreßt und anschließend verriegelt das Einrasten des Federnockens 15 in die Aussparung 16 des Verbindungsstückes 14 den Anpreßring in der Abdichtstellung. Damit ist auch die Lage der Dichtungsfolie fixiert.
• Im Anpreßring 13 ist ebenfalls ein gitterartiger Träger 21 an-

  geordnet, der auch als Baffle ausgebildet sein kann

  Beide Vorgänge, das Aufwickeln der Dichtungsfolie und die Be-

  wegung des Anpreßringes 13, können durch an sich bekannte mechanische hydraulische oder elektrische Bauelemente zwangsläufig derart miteinander gekoppelt sein, daß nachdem die Folie den ganzen Querschnitt abgedeckt hat, selbsttätig der Bewegungsvorgang des Anpreßringes und seine Verriegelung eingeleitet

  werden. Beim Öffnen des Ventils erfolgt der Ablauf dieser Vor-

  .

  gänge dann ebenfalls zwangsläufig, jedoch in umgekehrter Reihenfolge.
• Die vorstehende Erfindung schafft ein Hochvakuumventil, das gegenüber den bisherigen Ausführungsformen eine wesentlich kleinere Bauhöhe aufweist und in dem nur geringe Massen bewegt werden müssen. Es ist besonders geeignet für große und größte Querschnittsflächen und kann vorteilhaft mit einem Baffle für rückströmende Dämpfe vereinigt werden.

Claims (7)

1. Patentansprüche 1) Ventil in Vakuumleitungen, vorzugsweise Hochvakuumventil, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abdichtung des Durchtrittsquerschnittes eine elastische Dichtungsfolie angewendet wird, die in der Absperrstellung unter Zwischenschaltung eines elastischen Dichtungsringes auf der Fläche vakuumdicht aufliegt, welche den freien Durchtrittsquerschnitt begrenzt, wobei nach der Seite des geringeren absoluten Druckes oder oberhalb und unterhalb der Dichtungsfolie ein rostförmiges Abstützgitter angeordnet ist, das die entstehenden Druckkräfte aufnehmen kann.
2. 2) Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungsfolie über Rollen geführt wird, wobei je eine oder mehrere Rollen zum Ab-und Aufspulen zusammenarbeiten und daß die Abdichtung an der Randfläche derart vorgenommen wird, daß nachdem der ganze Durchtrittsquerschnitt von der Dichtungsfolie abgedeckt ist, diese durch ein vorzugsweise ringförmiges Anpreßstück'gegen einen elastischen Dichtungsring gepreßt wird, der in die Randflächen eingelassen ist, sodaß eine vakuumdichte Auflage entsteht.
3. 3) Vorrichtung nach 1 oder 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß beim Schließen des Ventils nach Abdeckung des Durchtrittsquerschnittes unter Benutzung von an sich bekannten mechanischen, hydraulischen oder elektrischen Mitteln automatisch der Anpreßvorgang der Dichtungsfolie an die RandfLäche eingeleitet wird, wobei die Kopplung zwangsläufig so getroffen ist, daß beim Öffnen des Ventils dieselben Vorgänge in umgekehrter Reihenfolge ablaufen.
4. 4) Anordnung gemäß Anspruch 1,2 und 3 oder eine derselben, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungsfolie aus einem elastin schen vakuumdichten Werkstoff, wie Gummi, Perbunan oder ähnlichen Kunst-oder Naturstoff besteht.
5. 5) Anordnung gemäß Anspruch 1,2 und 3 oder eine derselben, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungsfolie aus Federstab besteht.
6. 6) Anordnung gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die elastische Dichtungsfolie eine Gewebeeinlage enthält.
7. 7) Anordnung gemäß Anspruch 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß die rostförmigen Gitter im rohrförmigen Ansatzstück und/oder im Anpreßring als Kondensationsflächen für rückströmende Dämpfe ausgebildet sind