-
Hochvakuumventil Bei der Konstruktion von Hochvakuum-Ventilen besteht
die Aufgabe, eine relativ große Durchtrittsöffnung in Sperrstellung völlig abzudichten,
während in der Durchlaßstellung möglichst der ganze Querschnitt ohne Beeinträchtigung
durch Einzelteile der Ventilkonstruktion freigegeben werden soll. Jede Behinderung
des Durchtrittsquerschnittes durch die Innenteile, z. B. den Ventilteller, führt
bei hohem Vakuum zu einer sehr unerwünschten Drosselwirkung.
-
Es sind Hochvakuumventile bekannt, bei denen ein scheibenförmig ger
Ventilteller in der Sperrstellung den Durchlaß verschließt, während er in der Durchlaßstellung
über ein Gestänge parallel zur Strömungsrichtung im Ventil ausgerichtet wird, sodaß
der freie Durchtrittsquerschnitt nur durch die schmale rechteckige Querschnittsfläche
des Ventiltellers und durch das notwendige Betätigungsgestänge eingeschränkt wird.
Dabei ist es sehr stö-
trend, daß bei größeren Ventilen ein großer Raum zur Aufrichtung |
des Ventiltellers beansprucht wird, sodaß derartige Konstrukt- |
onen nicht in geringer Bauhöhe ausgeführt werden können. Außerdem erfordern große
Ventile einen sehr massiven und daher schweren Ventilteller, zu dessen Bewegung
ein entsprechend bemessenes Gestänge und große Kräfte nötig sind.
-
Die vorliegende neue Ventilkonstruktion gemäß der Erfindung erreicht
dagegen bei geringer Einbauhöhe einen zuverlässigen Abschluß der Durchtrittsöffnung
in Sperrstellung, während in der Durchlaßstellung nahezu die volle Querschnittsfläche
freigegeben wird. Die neue Konstruktion ist gekennzeichnet durch die Verwendung
einer Dichtungsfolie, die jalousieartig über die Querschnittsfläche gezogen wird,
wobei in der Sperrstellung ein zusätzlicher Anpreßring die völlig vakuumdichte Auflage
auf der kreisringförmigen Auflagefläche des Ventils unter Zwischenschaltung eines
elastischen Dichtungsringes herstellt.
-
Die Folie stützt sich dabei auf ein rostförmiges Gitter, wodurch jede
Überbelastung der Dichtungsfolie vermieden wird. Auch im Anpreßring ist ein derartiges
Gitter vorhanden, sodaß hinsichtlich der Abdichtwirkung im Ventil keine Vorzugsrichtung
entsteht. Bei der Verwendung als Absperrventil gegen Diffusionspumpen ist es zweckmäßig,
die rostförmigen Gitterflächen gleichzeitig so auszubilden, daß entsprechende Kondensationsflächen
für die rückströmenden Dämpfe entstehen. (Baffle-Wirkung).
-
Dient ein derartiges Ventil zur Absperrung der Diffusionspumpe bei
der Belüftung eines Arbeitsraumes, so belädt sich die der Pumpe zugekehrte Oberfläche
der Dichtungsfolie mit einem dünnen Ölfilm* Es ist jedoch in manchen Fällen unerwünscht,
wenn sich dieser Ölbelag beim Einrollen auch auf die bisher nichtbenetzte Oberfläche
der Dichtungsfolie verteilt. Dies kann dadurch vermieden werden, daß man beim Einrollen
eine gegenseitige
Berührung der Oberflächen verhindert. Mittel
hierzu sind in verschiedenster Ausführung bekannt. Man kann z. B. den Rand der Folie
dicker ausführen oder wellen (Correxband), sodaß nach dem Aufrollen immer noch ein
geringer Abstand der Oberflächen bleibt.
-
Eine Ausführungsform der Erfindung zeigen die beigefügten Abbildungen
1-3.
-
Fig. 1 zeigt einen Längsschnitt durch die Anordnung, Fig. 2 den Querschnitt
in der Höhe der Oberfläche der Dichtungsfolie.
-
In Fig. 3 sind Einzelheiten der Verriegelungsvorrichtung am Anpreßring
dargestellt In dem Ventilgehäuse 1 befindet sich ein rohrförmiges Ansatzstück 2,
an dessen oberen Ende eine kreisringförmige Auflagefläche 3 entsteht* In diese ist
eine entsprechend geformte, vorzugsweise trapezförmige Nut 4 eingelassen, in die
ein elastischer Dichtungsring 5, etwa aus Perbunan oder dergl., eingelegt ist. Von
einer Rolle 6, die durch eine Spiralfeder 7 eine Vorspannung erhält, wird die Dichtungsfolie
8 durch Führungsseile 9 dadurch abgewickelt, daß sich die Führungsseile auf eine
weitere Rolle 10 aufspulen, die zum Absperren des Ventils in Pfeilrichtung bewegt
wird. Im rohrförmigen Ansatzstück 2 befindet sich ein rostförmiges Gitter 11, das
hier bereits als Kondensa-
tionsflächen für die rückströmenden Dämpfe ausgebildet ist. |
-
Die Dichtungsfolie kann aus vakuumdichten Kunststoffen oder Gummi
bestehen, wobei unter Umständen auch eine Gewebeeinlage
nützlich
ist. Als Werkstoff kommt ferner dünnes Stahlblech (Federstahl) in Frage.
-
Nachdem die Dichtungsfolie über den ganzen freien Querschnitt gezogen
worden ist, schiebt man den Betätigungsknopf 12 ein und dadurch bewegt sich der
Anpreßring 13 über ein entsprechendes Gestänge. Das Gestänge besteht aus einem Verbindungstück
14, an dem Rollen 22 befestigt sind, die in den Aussparungen 21 der Hebel 17 gleiten.
Die Hebel 17 sind um die Wellen-
stummel 20 drehbar und fest am Gehäuse 1 gelagert. Beim Ver- |
riegelungsvorgang drehen sich die Hebel 17 um die Festpunkt |
und dabei bewegen sich die Verriegelungsrollen 18 in den Verriegelungsnuten 19 des
Anpreßringes 13. Der Anpreßring 13 wird dabei nach unten gedrückt. Hierdurch wird
die Dichtungsfolie fest auf den Dichtungsring gepreßt und anschließend verriegelt
das Einrasten des Federnockens 15 in die Aussparung 16 des Verbindungsstückes 14
den Anpreßring in der Abdichtstellung. Damit ist auch die Lage der Dichtungsfolie
fixiert.
-
Im Anpreßring 13 ist ebenfalls ein gitterartiger Träger 21 an-
geordnet, der auch als Baffle ausgebildet sein kann |
Beide Vorgänge, das Aufwickeln der Dichtungsfolie und die Be- |
wegung des Anpreßringes 13, können durch an sich bekannte mechanische hydraulische
oder elektrische Bauelemente zwangsläufig derart miteinander gekoppelt sein, daß
nachdem die Folie den ganzen Querschnitt abgedeckt hat, selbsttätig der Bewegungsvorgang
des Anpreßringes und seine Verriegelung eingeleitet
werden. Beim Öffnen des Ventils erfolgt der Ablauf dieser Vor- |
. |
gänge dann ebenfalls zwangsläufig, jedoch in umgekehrter Reihenfolge.
-
Die vorstehende Erfindung schafft ein Hochvakuumventil, das gegenüber
den bisherigen Ausführungsformen eine wesentlich kleinere Bauhöhe aufweist und in
dem nur geringe Massen bewegt werden müssen. Es ist besonders geeignet für große
und größte Querschnittsflächen und kann vorteilhaft mit einem Baffle für rückströmende
Dämpfe vereinigt werden.