DE1284868B - Einrichtung zur Drehrichtungsumkehr der gegen Mitumlaufen auf der Laeppscheibe ortsfest gehaltenen Abricht- und Werkstueckhalteringe - Google Patents

Einrichtung zur Drehrichtungsumkehr der gegen Mitumlaufen auf der Laeppscheibe ortsfest gehaltenen Abricht- und Werkstueckhalteringe

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DE1284868B
DE1284868B DE1962S0082070 DES0082070A DE1284868B DE 1284868 B DE1284868 B DE 1284868B DE 1962S0082070 DE1962S0082070 DE 1962S0082070 DE S0082070 A DES0082070 A DE S0082070A DE 1284868 B DE1284868 B DE 1284868B
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Germany
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dressing
lapping
rotation
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Application number
DE1962S0082070
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English (en)
Inventor
Boettcher Stephen A
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Speedfam Corp
Original Assignee
Speedfam Corp
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/10Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
    • B24B37/102Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping the workpieces or work carriers being able to rotate freely due to a frictional contact with the lapping tool

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Drehrichtungsumkehr der gegen Mitumlaufen auf der Läppscheibe ortsfest gehaltenen Abricht- und Werkstückhalteringe, die mit einer zur Läppscheibe zentralen Antriebs- bzw. Stützscheibe im Eingriff stehen, welche im Fall ihres freien Umlaufes eine zur Läppscheibe gleichsinnige Drehrichtung der Halteringe und im getriebenen Zustand deren entgegengesetzte Drehrichtung verursacht.
  • Es ist bei Läppscheiben bekannt, sogenannte Werkstückhalteringe vorzusehen, die an einer Umlaufbewegung gehindert werden, während die Läppscheibe sich dreht; dies erfolgt z. B. durch einen zentral an der Läppschebe angeordneten, mit ihr rotierenden Stützring, an dem die Halte- und Ahrichtringe anliegen, während sie gleichzeitig an einer außerhalb der Läppscheibe . befestigten Halbrolle gegen Mitnahme gesichert sind. In anderen bekannten Einrichtungen ist an Stelle des zentralen Stützrings und einer außerhalb der Läppscheibe für jeden Abrichtring vorgesehenen Halterolle eine Gabel mit jeweils zwei einen Abrichtring zwischen sich fassenden Halterollen angeordnet.
  • Um eine möglichst genaue Ebenheit der Werkstücke zu erreichen, ist es von großer Bedeutung, daß die Läppscheibe stets eben gehalten wird. Um die Läppscheibe eben zu halten, ist man grundsätzlich dazu übergegangen, die Werkstückhalteringe auch als Abrichtringe zu verwenden und sie dauernd in einer zur Läppscheibendrehung entgegengesetzten oder gleichsinnigen Richtung zu drehen, um ein kontinuierliches Abrichten durchführen zu können, je nachdem, welche Verschleißform die Läppscheibe zeigt. Auch ist das Vorgehen 'bekannt, die in ihrer eigenen Drehrichtung .umkehrbaren, durch einen besonderen motorischen Antrieb in Rotation versetzten Abrichtringe mit regelbarer, d. h. änderbarer Geschwindigkeit in Links- oder Rechtslauf zu versetzen. Hierdurch wird eine gute Planheit der Läppscheibe während des Betriebes aufrechterhalten, jedoch unter Inkaufnahme eines erheblichen baulichen Aufwandes für den Antrieb der Abrichtringe mit eigenem; drehrichtungsumkehrbarem Antriebsmotor, mit einem Geschwindigkeitswechselgetriebe, Antriebsriemen und umfangreichen Halterungen und Lagerungen für die Abrichtringe.
  • Bei einer weiteren Läppmaschine ist wiederum ein zusätzlicher Antrieb für eine zentrale Stützrolle vorgesehen, wodurch die Abrichtringe eine zur Läppscheibe gleichsinnige Drehung erhalten. Obwohl hierzu auch schon theoretische überlegungen dahingehend gemacht worden sind, -daß hier der zusätzliche Antrieb der Abrichtringe abgeschaltet werden kann - auch an die Umkehr `der Läppscheibendrehung ist schon gedacht worden -, um hierdurch bestimmte Betriebszustände zu schaffen, ist- auch hier der bauliche Aufwand für das Ziel, verschiedene Drehrichtungen der Abrichtringe zu erhalten, sehr groß, weil die Fachwelt stets von der Grundüberlegung ausging, daß dauernd während des Läppens das Abrichten geändert werden müsse, um eine möglichst exakte Ebenheit zu erzielen. Dieses mögliche dauernde Wechseln der Abrichtung, das während des Läppens selbst vorgenommen wird, führt zwangläufig zu außerordentlich komplizierten zusätzlichen Maschineneinrichtungen, die sehr teuer sind und die auch ziemlich störanfällig sind.
  • Der Erfindung liegt ebenfalls die Aufgabe zugrunde, einen Wechsel der Abrichtwirkung für stetige Läppscheibenplanheit zu ermöglichen, aber mit einfachsten Mitteln.
  • Um nämlich ausreichend genau plane Werkstückflächen zu erhalten, ist keinesweges im Dauerbetrieb eine absolut plane Läppfläche der Läppscheibe erforderlich, die nur durch ständigen Abrichtwechsel in Drehrichtung (oder auch Verschieben) der Abrichtringe während des Betriebes sichergestellt und durch hohen Bauaufwand erhalten werden könnte. Die je nach Abrichtwirkung entstehende muldenföimige Einwölbung oder nach außen gewölbte, ballige Form der Läppscheibe kann jeweils bis zu gewissen Toleranzen in Kauf genommen werden, ohne daß dadurch die Güte der erzeugten oder bearbeiteten Oberfläche darunter leidet, wenn man nur diese Formabweichungen der Läppscheibe auf die Dauer nicht zu groß werden läßt. Sie nach gewissen, möglichst kurzen Betriebszeiten mit einfachsten Mitteln immer wieder auszugleichen, ermöglicht die Erfindung, und zwar dadurch, daß die zentrale Antriebs- bzw. Stützscheibe durch eine kraftschlüssige Reibungs- oder förmschIüssige Mitnehmerkupplung mit einem nabenartigen, an der Läppscheibenmitte befestigten Teil verbindbar oder von ihm lösbar ist.
  • In vorteilhafter Weise können umfangreiche und komplizierte Apparaturen eingespart werden, die ein dauerndes Wechseln des Abrichtens der Läppscheibe bewirken. Es genügt, lediglich von Zeit zu Zeit die entstandene einseitige Läppscheibenunebenheit zu beseitigen, was mit einem einzigen Handgriff erfolgen kann, indem man nämlich die kraftschlüssige Reibungskupplung oder die formschlüssige Mit-. nehmerkupplung einschaltet und diese Einschaltung so lange beläßt, bis der gewünschte, jeweils entgegengesetzte Abrichtungsgrad erzielt ist.
  • Die Erfindung ist unter Bezugnahme auf die Figuren der Zeichnung erläutert. Es zeigt F i g. 1 eine schematische Draufsicht auf eine Läppscheibe, . F i g. 2 eine vergrößerte Schnittansicht, genommen längs der Linie 3-3 der F i g. 2, und F i g. 3 und 4 eine abgeänderte Ausführungsform der Mitnehmerkupplung.
  • 37 ist ein Maschinentisch, in dem die Läppscheibe ?2 mit ihrer Läppfläche 24 angeordnet ist, die von einem nicht dargestellten, unterhalb des Maschinentisches 37 angeordneten Antrieb angetrieben wird. Dieser Antrieb weist eine Welle 20 auf, an der eine Platte 21 sitzt, mit der, wie bei 22' dargestellt, die Läppscheibe 22 verbunden ist.
  • Der Tisch 37 trägt die beiden vertikalen Profilträger 39 mit einem nicht dargestellten Querholm, an dem vertikale Halterungsstangen 42 für die Abrichtringe 46 befestigt sind. An diesen Halterungsstangen 42 sind hierzu Scheiben 45 über den Werkstücken W gelagert, die innerhalb der Abricht- und Werkstückhalteringe 46 liegen, um diese ortsfest zu halten und an einer Mitdrehung mit der Läppscheibe 24 zu hindern. Normalerweise können sich diese Halteringe 46 in Richtung des Pfeils b drehen, wenn sich die Läppscheibe 22 in Richtung des Pfeils a dreht. In der Läppscheibe können Nuten 25 angeordnet sein.
  • In einem Lösungsfall kann eine Reibungsscheibe 53 koaxial zur Läppscheibe 22 vorgesehen sein, die zentral zur Gruppe der Abrichtringe 46 und zur Läppscheibe angeordnet ist. Die Reibscheibe 53 weist das kreisförmige Reibungsglied 54 auf, welches aus Gummi od. dgl. bestehen kann. Dieses Reibungsglied 54 hat eine mittlere Öffnung 54' und weist ferner zwei Deckplatten 54" aus Metall mit etwas kleinerem Durchmesser als das Reibungsglied auf. Eine Mutter 55 sitzt auf dem Boden der Bohrung 23 der Läppscheibe 22 und weist einen sich nach oben erstreckenden mittleren rohrförmigen Ansatz 56 auf. Die Mutter und die Läppscheiben nehmen einen Gewindebolzen 57 auf, auf dem ein Handknopf 58 verschraubbar ist. Das Reibungsglied 54 steht in Reibungskontakt mit den Umfangsflächen aller Abrichtringe 46. Der Handknopf kann nach jeder von zwei Richtungen gedreht werden, und zwar a) derart, daß sich die Reibungstrommel frei drehen kann, wobei sie im Leerlauf von den Ringen angetrieben wird, oder b) derart, daß die Reibungstrommel fest mit der Läppscheibe verbunden wird, wodurch die Ringe in der umgekehrten Richtung angetrieben werden.
  • In den F i g. 3 und 4 ist die zweite Ausführungsform der Erfindung dargestellt. Die Ringe werden -wie bekannt - über einen Zahnradantrieb angetrieben, und es wird an Stelle einer Reibungskupplung eine Klauenkupplung verwendet.
  • Die Läppscheibe ist mit 22 a, die bei 46 b verzahnten Abrichtringe sind mit 46 a bezeichnet.
  • Ein nach oben sich erstreckender Zapfen 59 ist koaxial an der Läppscheibe 22 a mittels Gewinde 60 und Mutter 61 befestigt. Ein Zahnrad 62, welches in seiner Wirkungsweise der in F i g. 2 dargestellten Reibungstrommel 53 entspricht, ist am Zapfen 59 gelagert. Die Lagerung erfolgt über eine lose Hülse 63, an der das Zahnrad 62 mittels einer Schraube 64 befestigt ist. Die Hülse 63 weist eine innere Schulter 65 auf, die auf einer Schulter 66 des Zapfens 59 ruht.
  • Ein Rastbolzen 67 sitzt mit Preßsitz in einer axialen Bohrung am oberen Ende des Zapfens 59 und nimmt eine Handkappe 68 auf, die eine mittlere Bohrung 69 hat. Das untere Ende der Handkappe 68 weist eine zylindrische Bohrung auf, die zur Aufnahme des oberen Endes der Hülse 63, wie dargestellt, bestimmt ist.
  • In der Handkappe 68, und zwar auf gegenüberliegenden Seiten der Bohrung 69, sind zwei Kupplungszapfen 70 mit Preßsitz befestigt. Diese Kupplungszapfen 70 treten in zwei Bohrungen 71 ein, welche je zur Hälfte im Zapfen 59 und in der Hülse 63 ausgespart sind.
  • Die Handkappe 68 kann eine begrenzte vertikale Kuppel- und Entkuppelbewegung durchführen. Diese wird durch zwei Umfangsnuten 72 a und 72 b im Rastbolzen 67 und durch eine federbelastete Rastkugel 73 in der Kappe 68 bestimmt. Die beiden Zapfen 70 treten, wenn sie sich in ihrer unteren Kuppelstellung befinden, in die Bohrungen 71 ein. Die Kugel ruht dabei in der Umfangsnut 72 b. Dadurch wird das Zahnrad 62 mit der Läppscheibe verriegelt. Die Abrichtringe werden somit in einer Richtung angetrieben, die entgegengesetzt zur Läppscheibendrehung ist. Wenn die Handkappe in ihrer oberen Stellung verrastet wird, kann sich das Zahnrad frei drehen, wodurch die Abrichtringe die Läppscheibendrehrichtung annehmen.

Claims (1)

  1. Patentanspruch: Einrichtung zur Drehrichtungsumkehr der gegen Mitumlaufen auf der Läppscheibe ortsfest gehaltenen Abricht- und Werkstückhalteringe, die mit einer zur Läppscheibe zentralen Antriebs-bzw. Stützscheibe im Eingriff stehen, welche im Fall ihres freien Umlaufes eine zur Läppscheibe gleichsinnige Drehrichtung der Halteringe, im getriebenen Zustand deren entgegengesetzte Drehrichtung verursacht, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t, daß die zentrale Antriebs- bzw. Stützscheibe (54, 62) durch eine kraftschlüssige Reibungs- oder eine formschlüssige Mitnehmerkupplung (54", 58 oder 63, 68, 70, 71, 72a, 72b) mit einem nabenartigen, an der Läppscheibenmitte befestigten Teil (55, 57 oder 59, 60) verbindbar oder von ihm lösbar ist.
DE1962S0082070 1962-10-17 1962-10-17 Einrichtung zur Drehrichtungsumkehr der gegen Mitumlaufen auf der Laeppscheibe ortsfest gehaltenen Abricht- und Werkstueckhalteringe Pending DE1284868B (de)

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DE102015220090B4 (de) * 2015-01-14 2021-02-18 Siltronic Ag Verfahren zum Abrichten von Poliertüchern

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