DE10037926A1

DE10037926A1 - Netzwerkanalysator, Netzwerk-Analyseverfahren und Speichermedium

Info

Publication number: DE10037926A1
Application number: DE10037926A
Authority: DE
Inventors: Yoshikazu Nakayama; Norio Arakawa
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1999-11-25
Filing date: 2000-08-03
Publication date: 2001-06-21
Anticipated expiration: 2020-08-04
Also published as: DE10037926B4; KR20010051520A; KR100351956B1; JP2001153904A; CN1153066C; CN1298105A; US6496785B1

Abstract

Ein Netzwerkanalysator umfaßt einen Meßbereich (13) für Rohrdaten zum Messen eines S-Parameters eines zu testenden Gerätes (20), einen Meßbereich (14) für Fehlerfaktoren des Meßsystems zum Erhalten von Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Gerätes (20) auftreten, einen Berechnungsbereich (15) für einen Parameter-Konversionsfaktor zum Erhalten eines Parameter-Konversionsfaktors, der die Beziehung zwischen einer Impedanz und von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten anzeigt durch das Eleminieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems von dem S-Parameter, einen Berechnungsbereich (17) für erweiterte Fehlerfaktoren zum Erhalten von erweiterten Fehlerfaktoren durch die Kombination der Fehlerfaktoren des Meßsystems und des Parameter-Konversionsfaktors und einen Berechnungsbereich (18) für ein zu testendes Gerät zum Erhalten der Impedanz aus dem S-Parameter und den erweiterten Fehlerfaktoren. Dementsprechend wird die Notwendigkeit von Vorrichtungen eliminiert und ferner die erweiterten Fehlerfaktoren im voraus erhalten. Daher kann der Betrieb des Netzwerkanalysators vereinfacht und die Berechnungsgeschwindigkeit erhöht werden.

Description

Hintergrund der Erfindung 1. Bereich der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Netzwerkanalysator zum Berechnen und Messen eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes.

2. Der Stand der Technik

Es wurden bisher zwei Verfahren angewandt, um verschiedene Schaltkreispara meter eines zu testenden Gerätes zu messen, wie z. B. einen S-Parameter einer beliebigen normalisierten Impedanz, einen S-Parameters für den Fall, daß ein pas sender Schaltkreis hinzugefügt wird und eine Schaltkreisimpedanz.

Ein erstes Verfahren besteht darin, eine Vorrichtung mit einem zu testenden Gerät zu verbinden, so daß ein gewünschter Schaltkreisparameter direkt gemessen wird. In Fig. 10 ist eine Systemkonfiguration eines zu testenden Gerätes dargestellt, das mit einer Vorrichtung verbunden ist. In dem ersten Verfahren, das in Fig. 10 ge zeigt ist, ist die Vorrichtung 120 mit einem zu testenden Gerät 100 verbunden und das zu testende Gerät 100 wird zusammen mit der Vorrichtung 120 durch den Netzwerkanalysator 200 gemessen.

In diesem Fall variieren die Schaltkreisparameter des zu testenden Gerätes 100 mit den Vorrichtungen 120. Daher wird, um Schaltkreisparameter unter vorgege benen Bedingungen zu erhalten, die Messung durchgeführt, indem Vorrichtungen 120 hergestellt werden, die den vorgegebenen Bedingungen genügen und indem diese mit dem zu testenden Gerät 100 verbunden werden. Wenn beispielsweise Schaltkreisparameter für zehn verschiedene Arten von Bedingungen erhalten wer den sollen, können zehn Vorrichtungen 120 hergestellt werden und insgesamt zehn Messungen durchgeführt werden, indem jede Vorrichtung mit dem zu te stenden Gerät 100 verbunden wird.

Ein zweites Verfahren wird wie folgt durchgeführt. Rohdaten des zu testenden Gerätes (beispielsweise ein S-Parameter) werden zunächst gemessen. Daraufhin werden die gemessenen Rohdaten in einen relationalen Ausdruck zwischen einem gewünschten Schaltkreisparameter und den Rohdaten eingesetzt, um dadurch den gewünschten Schaltkreisparameter zu erhalten.

Das zweite Verfahren wird im folgenden beschrieben anhand des Beispiels der Messung der Impedanz des zu testenden Gerätes. Zunächst wird die Impedanz Z als der numerische Ausdruck in Fig. 11 dargestellt, wobei Ed ein Fehler ist, der auf der Richtwirkung der Brücke beruht, Er ein Fehler ist, der im wesentlichen auf dem Frequenzsynchronisieren bzw. -tracken beruht und Es ein Fehler ist, der im wesentlichen auf der Anpassung der Quellen beruht.

Wenn der numerische Ausdruck aus Fig. 11 durch einen Signalflußgraphen darge stellt wird, wird Fig. 12 erhalten. S11 bezeichnet die zu messenden Rohdaten. Indem diese in den numerischen Ausdruck aus Fig. 11 eingesetzt werden, kann die Impedanz Z erhalten werden. Das zweite Verfahren kann effektiv verwendet werden, wenn es prinzipiell schwierig oder unmöglich ist, eine Vorrichtung her zustellen. In dem in Fig. 12 gezeigten Fall kann beispielsweise die Impedanz ge messen werden, wenn der Abschnitt in der Mitte der rechten Seite als eine Vor richtung hergestellt werden kann. Es ist jedoch unmöglich, solche eine Vorrich tung im Prinzip herzustellen. Das zweite Verfahren wird daher zum Erhalten der Impedanz verwendet.

3. Zusammenfassung der Erfindung

Das erste Verfahren hat jedoch die folgenden Schwächen. Zunächst einmal ist es mühsam, eine Vielzahl von Vorrichtungen herzustellen und es ist ferner mühsam, die Messung mehrfach zu wiederholen. Ferner ist es schwierig, Vorrichtungen herzustellen, die ideale Charakteristika haben. Ferner ist es schwierig, wenn eine Vielzahl von Vorrichtungen für denselben Zweck hergestellt werden, diese mit gleichförmigen Charakteristika herzustellen. Außerdem gibt es Fälle, bei denen in Abhängigkeit von den zu messenden Schaltkreisparametern die Herstellung der Vorrichtungen prinzipiell unmöglich ist.

Auf der anderen Seite ist es relativ einfach, die oben genannten Probleme in bezug auf die Herstellung von Vorrichtungen mit dem zweiten Verfahren zu lösen. Je doch wird eine lange Zeit für die Berechnung benötigt und dies verlängert die gesamte Meßzeit. Dementsprechend ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfin dung, einen Netzwerkanalysator zu schaffen, mit dem verschiedene Schaltkreispa rameter eines zu testenden Gerätes einfach erhalten werden können.

Gemäß der vorliegenden Erfindung, so wie sie in Anspruch 1 beschrieben ist, um faßt ein Netzwerkanalysator zum Berechnen eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes: eine Rohdaten-Meßvorrichtung zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes, ein Fehlerfaktor-Meß-Mittel für das Meßsystem zum Er halten von Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Gerätes auftreten; ein Berechnungsmittel für einen Parameter-Konversionsfaktor zum Erhalten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und den fehlerfaktorfreien Daten des Meßsystems an zeigen, die erhalten worden sind durch das Eliminieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems von den Rohdaten; ein Berechnungsmittel für die wahren Werte der Rohdaten zum Erhalten der fehlerfaktorfreien Daten des Meßsystems aus den Rohdaten und den Fehlerfaktoren des Meßsystems; und ein Berechnungsmittel für das zu testende Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den fehlerfak torfreien Daten des Meßsystems und dem Parameter-Konversionsfaktor.

Der hierbei verwendete Ausdruck "Rohdaten" bezeichnet die direkt vom Netz werkanalysator gemessenen Daten. Ein Beispiel der Rohdaten ist ein S-Parameter. Fehlerfaktoren, die in dem Meßsystem auftreten, umfassen einen Fehler, der der Richtwirkung einer Brücke zugeschrieben werden kann, einen Fehler, der dem Frequenzsynchronisieren zugeschrieben werden kann und einen Fehler, der der Anpassung der Quellen zugeschrieben werden kann. Ein Beispiel für den Schalt kreisparameter ist eine Impedanz. Ein Beispiel von Parameter- Konversionsfaktoren ist die Beziehung zwischen einem S-Parameter und der Im pedanz.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Schaltkreisparameter aus Rohdaten, Fehlerfaktoren in dem Meßsystem und Faktoren der Parameterkonversion erhalten werden. Wenn daher ein Schaltkreisparameter mit einem zu testenden Gerät ver bunden wird, kann der Schaltkreisparameter berechnet werden, ohne irgendwel che Vorrichtungen herzustellen und Messungen mehrfach zu wiederholen, mit jeweils veränderten Vorrichtungen. Daher kann ein Schaltkreisparameter leicht berechnet werden.

Die vorliegende Erfindung, so wie sie in Anspruch 2 beschrieben ist, ist ein Netzwerkanalysator nach Anspruch 1, bei dem das Meßmittel die Rohdaten als Daten behandelt, die frei von Fehlerfaktoren des Meßsystems sind.

Für den Fall, in dem die Fehlerfaktoren des Meßsystems vernachlässigt werden können, können die Rohdaten des zu testenden Gerätes als die von Fehlerfaktoren des Systems freien Daten behandelt werden.

Gemäß der vorliegenden Erfindung, so wie sie in Anspruch 3 beschrieben ist, um faßt ein Netzwerkanalysator zum Berechnen eines Schaltkreisparameters für ein zu testendes Gerät: ein Rohdaten-Meßmittel zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes; ein Fehlerfaktor-Meßmittel des Meßsystems zum Erhalten von Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Gerätes auftreten; ein Berechnungsmittel für einen Parameter-Konversionsfaktor zum Er halten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und den Daten, die von Fehlerfaktoren des Meßsystems frei sind, anzeigt, wobei die Daten erhalten worden sind durch das Eliminieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems von den Rohdaten; ein erweitertes Berechnungs mittel für die Fehlerfaktoren zum Erhalten von erweiterten Fehlerfaktoren durch das Kombinieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems und des Parameter- Konversionsfaktors; und ein Berechnungsmittel für das zu testende Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den Rohdaten und den erweiterten Fehler faktoren.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Schaltkreisparameter aus den Roh daten und den Fehlerfaktoren in dem Meßsystem und den Faktoren der Parame terkonversion erhalten werden. Wenn daher eine Vorrichtung mit einem zu te stenden Gerät verbunden ist, kann der Schaltkreisparameter berechnet werden, ohne irgendwelche Vorrichtungen herzustellen und ohne mehrfach eine Messung durchzuführen, wobei die Vorrichtung jedesmal verändert wird. Der Schalt kreisparameter kann daher leicht berechnet werden.

Außerdem erhält ein Berechnungsmittel des Fehlerfaktors die erweiterten Fehler faktoren im voraus durch das Kombinieren der Fehlerfaktoren, die in dem Meßsy stem auftreten und der Faktoren der Parameterkonversion. Die Berechnungsge schwindigkeit kann daher verbessert werden.

Gemäß der vorliegenden Erfindung, so wie sie in Anspruch 4 beschrieben ist, um faßt ein Netzwerkanalysator gemäß einem der Ansprüche 1-3 ferner ein Spei chermittel für den Parameter-Konversionsfaktor zum Speichern des Parameter- Konversionsfaktors.

Die vorliegende Erfindung, so wie sie in Anspruch 5 beschrieben wird, ist ein Netzwerkanalysator gemäß einem der Ansprüche 1-3, wobei der Schaltkreispara meter eine Impedanz ist.

Die vorliegende Erfindung, so wie sie in Anspruch 6 beschrieben ist, ist ein Netzwerkanalysator gemäß einem der Ansprüche 1-3, wobei der Schaltkreispara meter ein S-Parameter ist als eine beliebige normalisierte Impedanz.

Die vorliegende Erfindung, so wie sie in Anspruch 7 beschrieben ist, ist ein Netzwerkanalysator gemäß einem der Ansprüche 1-3, wobei der Schaltkreispara meter ein S-Parameter ist, wenn ein passender Schaltkreis hinzugefügt wird.

Die vorliegende Erfindung, so wie sie in Anspruch 8 beschrieben ist, ist ein Netzwerkanalysator gemäß einem der Ansprüche 1-3, wobei der Schaltkreispara meter eine Admittanz ist.

Gemäß der vorliegenden Erfindung, so wie sie in Anspruch 9 beschrieben ist, um faßt ein Netzwerk-Analyseverfahren des Berechnens eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes: einen Rohdaten-Meßschritt zum Messen von Rohda ten des zu testenden Gerätes; einen Meßschritt für den Fehlerfaktor des Meßsy stems zum Erhalten der Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Gerätes auftreten; einen Berechnungsschritt für den Parameter- Konversionsfaktor zum Erhalten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten anzeigen, die erhalten worden sind, indem die Fehler faktoren des Meßsystems von den Rohdaten entfernt worden sind; einen Berech nungsschritt für die tatsächlichen Rohdaten zum Erhalten der von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten aus den Rohdaten und aus den Fehlerfaktoren des Meßsystems; und einen Berechnungsschritt für das zu testende Gerät zum Erhal ten des Schaltkreisparameters aus den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten und dem Parameter-Konversionsfaktor.

Gemäß der vorliegenden Erfindung, so wie sie in Anspruch 10 beschrieben wor den ist, umfaßt ein Netzwerk-Analyseverfahren des Berechnens eines Schalt kreisparameters eines zu testenden Gerätes: einen Rohdaten-Meßschritt zum Mes sen von Rohdaten des zu testenden Gerätes; einen Meßschritt für die Fehlerfakto ren des Meßsystems zum Erhalten der Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Gerätes auftreten; einen Berechnungsschritt für den Parameter-Konversionsfaktor zum Erhalten der Faktoren der Parameterkonversi on, der die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und den von Fehler faktoren des Meßsystems freien Daten anzeigt, die durch das Entfernen der Feh lerfaktoren des Meßsystems von den Rohdaten erhalten worden sind; ein erwei terter Fehlerfaktor-Berechnungsschritt zum Erhalten der erweiterten Fehlerfakto ren durch das Kombinieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems und des Faktors der Parameterkonversion; und einen Berechnungsschritt für das zu testende Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den Rohdaten und den erweiterten Fehlerfaktoren.

Gemäß der vorliegenden Erfindung, so wie sie in Anspruch 11 beschrieben ist, umfaßt ein computerlesbares Medium, das ein Programm mit Ausführungsanwei sungen durch den Computer verkörpert, damit er ein Netzwerk-Analyseverfahren des Berechnens eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes durch führt: einen Rohdaten-Meßschritt zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes; einen Fehlerfaktor-Meßschritt des Meßsystems zum Erhalten von Fehler faktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Gerätes auftreten; einen Berechnungsschritt für den Parameter-Konversionsfaktor zum Erhalten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schalt kreisparameter und fehlerfaktorfreien Daten des Meßsystems anzeigen, die durch das Eliminieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems aus den Rohdaten erhalten werden; einen Berechnungsschritt für die wahren Werte der Rohdaten zum Er halten der fehlerfaktorfreien Daten des Meßsystems und aus den Rohdaten und den Fehlerfaktoren des Meßsystems; und einen Berechnungsschritt für das zu testende Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den fehlerfaktorfreien Daten des Meßsystems und dem Parameter-Konversionsfaktor.

Gemäß der vorliegenden Erfindung, so wie sie in Anspruch 12 beschrieben ist, umfaßt ein computerlesbares Medium, das ein Programm mit Ausführungsanwei sungen für einen Computer umfaßt zur Durchführung eines Netzwerk- Analyseverfahrens des Berechnens eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes: einen Rohdaten-Meßschritt zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes; einen Fehlerfaktor-Meßschritt des Meßsystems zum Erhalten der Fehler faktoren des Meßsystems, die beim Messen des zu testenden Gerätes auftreten; einen Berechnungsschritt des Parameter-Konversionsfaktors zum Erhalten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schalt kreisparameter und den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten anzei gen, die erhalten werden durch das Eliminieren der Fehlerfaktoren des Meßsy stems von den Rohdaten; einen erweiterten Fehlerfaktor-Berechnungsschritt zum Erhalten von erweiterten Fehlerfaktoren durch das Kombinieren der Fehlerfakto ren des Meßsystems und des Parameter-Konversionsfaktors; und einen Berech nungsschritt für das zu testende Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den Rohdaten und den erweiterten Fehlerfaktoren.

Gemäß der vorliegenden Erfindung, so wie sie in Anspruch 13 beschrieben ist, umfaßt ein Computerprogramm mit Anweisungen zur Durchführung durch einen Computer, damit er ein Netzwerk-Analyseverfahren des Berechnens eines Schalt kreisparameters eines zu testenden Gerätes durchführt: einen Rohdaten-Meßschritt zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes; einen Meßschritt für den Fehlerfaktor des Meßsystems zum Erhalten von Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Gerätes auftreten; einen Berechnungsschritt des Parameter-Konversionsfaktors zum Erhalten von Faktoren der Parameterkon version, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und von Fehler faktoren des Meßsystems freien Daten anzeigen, die durch das Eliminieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems von den Rohdaten erhalten worden sind; einen Berechnungsschritt für die wahren Werte der Rohdaten zum Erhalten der von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten aus den Rohdaten und den Fehler faktoren des Meßsystems; und einen Berechnungsschritt für das zu testende Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den von Fehlerfaktoren des Meßsy stems freien Daten und dem Parameter-Konversionsfaktor.

Gemäß der vorliegenden Erfindung, so wie sie in Anspruch 14 beschrieben ist, umfaßt ein Computerprogramm mit Ausführungsanweisungen für einen Computer zur Durchführung eines Netzwerk-Analyseverfahrens des Berechnens eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes: einen Rohdaten-Meßschritt zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes; einen Meßschritt für den Fehlerfaktor des Meßsystems zum Erhalten der Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Gerätes auftreten; einen Berechnungsschritt für den Parameter-Konversionsfaktor zum Erhalten von Faktoren der Parameter konversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten anzeigen, die durch das Eliminieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems von den Rohdaten erhalten werden; einen erweiterten Berechnungsschritt für Fehlerfaktoren zum Erhalten von erweiterten Fehlerfaktoren durch das Kombinieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems und des Parameter-Konversionsfaktors; und einen Berechnungsschritt für das zu te stende Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den Rohdaten und den erweiterten Fehlerfaktoren.

4. Kurze Beschreibung der Zeichnung

Fig. 1 ist ein Blockdiagramm, das die Struktur eines Netzwerkanalysators 1 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt.

Fig. 2 ist ein Schaltkreisdiagramm, das die Struktur eines Meßbereiches 12 zum Messen eines S-Parameters zeigt.

Fig. 3 ist ein Flußdiagramm, das den Ablauf der Vorgänge in dem Netzwerka nalysator 1 zeigt.

Fig. 4 ist ein Signalflußdiagramm, das eine äquivalente Konversion eines zu testenden Gerätes 20 angibt.

Fig. 5 ist ein Diagramm, das ein Verfahren zur Messung von Ed, Er und Es als Fehlerfaktoren des Meßsystems zeigt.

Fig. 6 ist eine erläuternde Zeichnung eines Verfahrens zum Ausdrücken des Eingangs und Ausgangs vor der Durchführung einer Parameterkonversi on durch den Eingang und Ausgang nach der Durchführung der Parame terkonversion.

Fig. 7 ist ein Blockdiagramm, das die Struktur eines Netzwerkanalysators 1 gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel zeigt.

Fig. 8 ist ein Flußdiagramm, das den Ablauf der Vorgänge in dem Netzwerka nalysator 1 zeigt.

Fig. 9 ist ein Signalflußdiagramm, das eine äquivalente Konversion eines zu testenden Gerätes 20 angibt.

Fig. 10 ist ein Blockdiagramm, das eine konventionelle Anordnung zeigt, die zum Messen eines Schaltkreises verwendet wird mit einer Vorrichtung, die an dem zu testenden Gerät befestigt ist.

Fig. 11 ist ein numerischer Ausdruck zum Erhalten einer Impedanz Z.

Fig. 12 ist eine Darstellung eines Signalflußdiagramms des numerischen Aus drucks zum Erhalten der Impedanz Z.

5. Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen

Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird im folgenden beschrie ben mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen.

Erstes Ausführungsbeispiel

Als erstes wird die Struktur eines Netzwerkanalysators 1 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. Fig. 1 ist ein Blockdiagramm, das den Netzwerkanalysator 1 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel zeigt.

Der Netzwerkanalysator 1 umfaßt einen Meßbereich 12, einen Rohdaten- Meßbereich 13, einen Meßbereich 14 für den Fehlerfaktor des Meßsystems, einen Berechnungsbereich 15 für den Parameter-Konversionsfaktor, einen Berech nungsbereich 16 für den wahren Rohdatenwert, einen Berechnungsbereich 18 für das zu testende Gerät und einen Speicherbereich 19 für den Parameter- Konversionsfaktor.

Der Meßbereich 12 ist mit dem zu testenden Gerät 20 verbunden und erhält Daten von dem zu testenden Gerät. Der Meßbereich 13 für die Rohdaten mißt Rohdaten, die Fehler enthalten, aufgrund des Meßbereichs 12. Der Meßbereich 14 für den Fehlerfaktor des Meßsystems mißt die Fehler des Meßsystems aufgrund des Meß bereichs 12. In dem ersten Ausführungsbeispiel soll angenommen werden, daß die Rohdaten ein S-Parameter sind und daß die Fehler des Meßsystems Ed, d. h. der Fehler, der der Richtwirkung der Brücke zuzuschreiben ist, Er, d. h. ein Fehler, der der Frequenzsynchronisierung zuzuschreiben ist, und Es sind, d. h. ein Fehler, der der Anpassung der Quelle zuzuschreiben ist.

Als Meßbereich 12 zum Erhalten der Daten, die sich auf einen S-Parameter bezie hen, kann der Meßbereich, der in dem japanischen offengelegten Patent mit der Nr. Hei 11-38054 offenbart ist, verwendet werden. Die darin offenbarte Struktur ist in Fig. 2 gezeigt. Die Signalquelle 12a erzeugt ein Signal und ein Ablenkgenerator (bzw. Sweep Generator) wird im allgemeinen dafür verwendet. Die Signal empfangenden Bereiche 12b und 12d empfangen das erzeugte Signal an einem Mischer, um es in ein niederfrequentes Signal zu konvertieren, lassen das Signal analog zu digital konvertieren (A/D) und lassen das Signal orthogonal detektieren, um den Realteil R und den Imaginärteil X zu erhalten, so daß das Signal als ein komplexer Wert gemessen wird. Der Signal empfangende Bereich 12c mißt das von der Signalquelle 12a übertragene Signal. Die drei Signal empfangenden Be reiche 12b, 12c und 12d werden synchronisiert, so daß das Signal des Fre quenzausgangs aus der Signalquelle 12a dadurch detektiert werden kann.

Der Leistungsverteiler (bzw. Power Splitter) 12e ist ein Schaltkreis zum Aufspal ten des Signals aus der Signalquelle 12a, wobei eines der aufgespaltenen Signale an das zu testende Gerät 20 über den RF-Schalter 12f geliefert wird und das ande re an den Signal empfangenden Bereich 12c. Der RF-Schalter 12f gibt das Aus gangssignal von der Signalquelle 12a entweder über den Anschluß 12i oder über den Anschluß 12j aus. Die Bezugszeichen 12g und 12h stellen eine Brücke oder eine direktionale Verbindung zum Abgreifen des Antwortsignals vom Anschluß 12i oder 12j dar.

Der Berechnungsbereich 16 für den wahren Wert der Rohdaten erhält Daten, die frei sind von Fehlerfaktoren des Meßsystems. In dem ersten Ausführungsbeispiel werden die von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten erhalten durch das Eliminieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems Ed, Er und Es von dem S- Parameter.

Der Berechnungsbereich 15 für den Parameterkonversionsfaktor erhält den Para meter-Konversionsfaktor, indem er die Beziehung zwischen dem Schaltkreispa rameter und den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten angibt. In dem ersten Ausführungsbeispiel wird angenommen, daß die Impedanz Z der Schalt kreisparameter ist. Entsprechend berechnet der Berechnungsbereich 15 für den Parameter-Konversionsfaktor die Beziehung zwischen der Impedanz Z und dem S-Parameter (wobei Ed, Er und Es davon entfernt worden sind).

Der Berechnungsbereich 18 für das zu testende Gerät erhält den Schaltkreispara meter von den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten und dem Para meter-Konversionsfaktor. In dem ersten Ausführungsbeispiel wird die Impedanz Z erhalten von dem S-Parameter (wobei Ed, Er und Es davon eliminiert worden sind) und dem Parameter-Konversionsfaktor. Gleichzeitig wird das Ergebnis der Berechnung auf einem Anzeigegerät angezeigt (nicht dargestellt).

Der Speicherbereich 19 für den Parameter-Konversionsfaktor dient zum Spei chern von Daten zur Verwendung bei Berechnung des Parameter- Konversionsfaktors. Die Daten zum Berechnen des Parameter-Konversionsfaktors können in den Speicherbereich 19 des Parameter-Konversionsfaktors eingegeben werden. Im allgemeinen sind darin Formeln zur gegenseitigen Konversion von verschiedenen Schaltkreisparametern gespeichert (beispielsweise Formeln zur Konversion zwischen S-Parametern und Impedanzwerten).

Die oben beschriebene Funktion kann auch in Form von Programmen vorgesehen werden. Die Programme werden auf einer Diskette oder einer CD-ROM gespei chert, die von einem Computer gelesen werden kann und werden von einem Le segerät für das Medium (nicht dargestellt) des Netzwerkanalysators gelesen, damit sie auf einer Festplatte installiert werden können (nicht gezeigt).

Im folgenden wird der Betrieb des ersten Ausführungsbeispiels der Erfindung beschrieben. Fig. 3 ist ein Flußdiagramm, das den Ablauf der Vorgänge zeigt, die von dem Netzwerkanalysator 1 durchgeführt werden. Als erstes erhält der Meßbe reich 12 Daten von dem zu testenden Gerät 20. Aus den Daten mißt der Meßbe reich 13 für die Rohdaten den S-Parameter (B/A) (siehe die linke Seite von Fig. 4) als Rohdaten und der Meßbereich 14 für die Fehlerfaktoren des Meßsystems mißt Ed, Er und Es als die Fehlerfaktoren des Meßsystems (Schritt 10).

Im Hinblick auf das Verfahren des Messens der Fehlerfaktoren des Meßsystems Ed, Er und Es gibt es eine Offenbarung in der offengelegten japanischen Patent veröffentlichung mit der Nr. H 11-38054. Die Erläuterung davon wird durchge führt mit Bezugnahme auf Fig. 5. Fig. 5(A) zeigt ein Meßsystem zum Messen der Reflexionscharakteristik des zu testenden Gerätes 20 in einem Netzwerkanalysa tor. Ein Signal aus der Signalquelle 12a wird an das zu testende Gerät 20 geliefert und das davon reflektierte Signal wird über die Brücke 12g und 12h abgegriffen und durch den Empfangsbereich 12b gemessen.

Fig. 5(B) zeigt die Fehlerfaktoren des Meßsystems, die in diesem Fall auftreten. Die Fehlerfaktoren des Meßsystems sind nämlich Fehler, die durch die Richtwir kung des Meßsystems, die Frequenzsynchronisation und die Quellenabgleichung erzeugt werden. Während das eingehende Signal auf dem zu testenden Gerät 20 und das von dem zu testenden Gerät 20 reflektierte Signal durch die Brücke 12g und 12h getrennt werden, umfaßt der gemessene Wert S11m ein Leck, d. h. ein Lecksignal, in Vorwärtsrichtung, das einen Richtwirkungsfehler verursacht. Der Frequenzsynchronisationsfehler beruht auf der Frequenzantwort des Meßsystems. Wenn die Impedanz auf der Signalquellenseite und die Impedanz auf der Meßsy stemseite nicht übereinstimmen, wird das Signal, das von dem zu testenden Gerät 20 reflektiert wird, wiederum von der Seite der Signalquelle 12a reflektiert und kehrt zu dem zu testenden Gerät 20 zurück, um davon erneut reflektiert zu wer den. Der Fehler am Abgleich der Quellen entsteht aufgrund dieser wiederholten Reflexion.

Mit den oben beschriebenen Faktoren ist das Fehlermodell in der Messung der Reflexionscharakteristik eines Ports gegeben, so wie es in Fig. 5(C) gezeigt ist.

Hier bezeichnet S11m den gemessenen Wert, S11a den tatsächlichen Wert und Ed, Er und Es die Fehlerfaktoren. Wenn dieses Fehlermodell mittels eines Signal flußdiagramms gelöst wird, um S11m zu erhalten (die Beschreibung davon wird ausgelassen), kann es, wie in Fig. 5(D) gezeigt, ausgedrückt werden. Wenn es transformiert wird, um den wahren Wert S11a zu erhalten, kann es wie in Fig. 5(E) ausgedrückt werden. Da die Anzahl der Unbekannten hier Ed, Er und Es drei ist, können die Unbekannten erhalten werden unter der Verwendung von drei Standardgeräten, deren Charakteristika bekannt sind.

Es werden drei Zustände, d. h. "offen" (offener Schaltkreis), "kurzgeschlossen" (kurzgeschlossener Schaltkreis) und "belastet" (mit einer Standardbelastung Z₀) erzeugt und die gemessenen Werte f(kurzgeschlossen), f(offen) und f(belastet) von S11m werden zu jedem Zeitpunkt gespeichert. Daraufhin wird die Berech nung durchgeführt unter der Verwendung dieser Werte. Dadurch kann der tat sächliche Reflexionskoeffizient S11a des zu testenden Gerätes 20 erhalten wer den. Dieser Vorgang wird als Kalibrierung bezeichnet. Genauer ausgedrückt, ist die Kalibrierung ein Vorgang, mit dem die Fehler, die dem Meßsystem inhärent sind, im voraus gemessen werden und mit dem diese Fehler in der Berechnung verwendet werden, um die dadurch verursachten Effekte zu eliminieren.

Wenn die Fehlerfaktoren vernachlässigbar sind, d. h. wenn davon ausgegangen wird, daß Ed = 1, Er = 0 und Es = 1 ist, ist es möglich, S11m (den gemessenen Wert) als S11a (den wahren Wert) zu betrachten.

Unter erneuter Bezugnahme auf Fig. 3 erhält der Berechnungsbereich 16 für den wahren Wert der Rohdaten den wahren Reflexionskoeffizienten S11a aus dem S- Parameter (B/A) als den Rohdatenausgang von dem Meßbereich 13 für die Roh daten und die Fehlerfaktoren Ed, Er und Es des Meßsystems, die von dem Meßbe reich 14 (Schritt 12) für die Fehlerfaktoren des Meßsystems ausgegeben werden. Dies kann unter der Verwendung des numerischen Ausdrucks in Fig. 5(E) durch geführt werden.

Daraufhin drückt der Berechnungsbereich 15 für den Parameter- Konversionsfaktor den Eingang und den Ausgang nach Behandlung durch den Parameter-Konversionsfaktor, durch den Eingang und Ausgang vor der Behand lung durch den Parameter-Konversionsfaktor aus (Schritt 14). An diesem Zeit punkt wird ein Parameter-Konversionsfaktor aus dem Speicherbereich 19 für den Parameter-Konversionsfaktor ausgelesen, um für die Berechnung verwendet zu werden. Ein Beispiel der Berechnung ist in Fig. 6 gezeigt. Der Berechnungsbe reich 15 für den Parameter-Konversionsfaktor verwendet die Daten entsprechend dem Signalflußdiagramm, die aus dem Speicherbereich 19 für den Parameter- Konversionsfaktor ausgelesen worden sind und drückt die Impedanz Z (F/E) aus, die der Eingang und der Ausgang ist nach der Behandlung mit dem Parameter- Konversionsfaktor durch den wahren Reflexionsfaktor S11a (D/C), der der Ein gang und der Ausgang ist vor der Anwendung des Parameter-Konversionsfaktors (siehe Fig. 6).

Unter erneuter Bezugnahme auf Fig. 3 drückt der Berechnungsbereich 18 für das zu testende Gerät basierend auf dem Ausgang des Berechnungsbereichs 15 für den Parameter-Konversionsfaktor und dem wahren Reflexionskoeffizienten S11a, der von dem Berechnungsbereich 16 für den wahren Wert der Rohdaten ausgege ben wird, den Eingang und den Ausgang nach der Behandlung mit dem Parame ter-Konversionsfaktor zu einem Zeitpunkt aus, wenn der wahre Reflexionskoeffi zient S11a (D/C) auf den Parameter-Konversionsfaktor angewendet wird durch den wahren Reflexionskoeffizienten S11a (D/C) (Schritt 16). Ein konkretes Bei spiel wird beschrieben mit Bezug auf die rechte Seite von Fig. 4 und Fig. 6. Wie in Fig. 6 gezeigt, wird die Impedanz Z (F/E) (nachdem sie dem Parameter- Konversionsfaktor unterworfen worden ist) ausgedrückt durch den wahren Refle xionskoeffizienten S11a (D/C) (vor der Behandlung durch den Parameter- Konversionsfaktor). Man erkennt aus Fig. 4, daß D/C der wahre Reflexionskoeffi zient S11a ist. Somit kann die Impedanz Z aus dem wahren Reflexionskoeffizien ten S11a erhalten werden.

Gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung kann die Impedanz Z, wenn Z₀ auf verschiedene Arten verändert wird, erhalten werden, sobald Ed, Er, Es und S11a durch den Meßbereich, den Rohdaten-Meßbereich 13 und den Meß bereich 14 für den Fehlerfaktor des Meßsystems gemessen worden sind. Daher kann der Schaltkreisparameter leicht berechnet werden.

Obwohl in dem ersten Ausführungsbeispiel angenommen wird, daß der Schalt kreisparameter eine Impedanz Z ist, kann es auch ein S-Parameter als eine gege bene normalisierte Impedanz, ein S-Parameter bei einem hinzugefügten passenden Schaltkreis oder eine Schaltkreisadmittanz sein. Da die Beziehung zwischen ei nem S-Parameter als Rohdaten, von denen die Fehlerfaktoren Ed, Er und Es des Meßsystems eliminiert worden sind, und einem S-Parameter als einer gegebenen normalisierten Impedanz und ähnlichem wohlbekannt ist, wird auf eine genaue Beschreibung hier verzichtet. Ferner, obwohl ein S-Parameter (inklusive der Feh lerfaktoren Ed, Er und Es des Meßsystems) als Rohdaten betrachtet wird, kann dies ferner auch irgendein anderer Schaltkreisparameter (Impedanz oder ähnli ches) sein.

Während, wie oben beschrieben, es verschiedene Typen von Rohdaten und Schaltkreisparametern gibt, ist die Beziehung zwischen den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten, d. h. den Rohdaten, von denen die Fehlerfaktoren des Meßsystems eliminiert worden sind, und einem Schaltkreisparameter wohlbe kannt. Daher wird deren Beschreibung ausgelassen.

Zweites Ausführungsbeispiel

Der Netzwerkanalysator in dem zweiten Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem des ersten Ausführungsbeispiels, indem er anstelle des Berechnungsbe reiches 16 für die wahren Rohdatenwerte einen Berechnungsbereich 17 für die erweiterten Fehlerfaktoren umfaßt. Fig. 7 ist ein Blockdiagramm, das die Struktur eines Netzwerkanalysators gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel zeigt. Wenn Bereiche, die denen des ersten Ausführungsbeispiels ähnlich sind, durch entspre chende Bezugszeichen bezeichnet werden, wird deren Beschreibung ausgelassen.

Der Berechnungsbereich 17 für die erweiterten Fehlerfaktoren berechnet einen erweiterten Fehlerfaktor durch das Kombinieren des Fehlerfaktors des Meßsy stems, der durch den Meßbereich 14 für den Fehlerfaktor des Meßsystems gemes sen wird, mit dem Parameter-Konversionsfaktor, der von dem Berechnungsbe reich 15 für den Parameter-Konversionsfaktor berechnet wird. Das heißt, der Faktor, in dem der Fehlerfaktor des Meßsystems und der Parameter- Konversionsfaktor kombiniert werden, wird als ein neuer Fehlerfaktor des Meßsy stems verwendet.

Die oben genannte Funktion kann ebenfalls in der Form von Programmen reali siert werden. Die Programme werden auf einer Diskette oder einer CD-ROM, die von einem Computer gelesen werden kann, gespeichert und von einem Lesegerät für das Medium (nicht dargestellt) des Netzwerkanalysators 1 gelesen, um auf einer Festplatte (nicht dargestellt) installiert zu werden.

Im folgenden wird der Betrieb des zweiten Ausführungsbeispiels beschrieben. Fig. 8 ist ein Flußdiagramm, das den Auflauf der Vorgänge, die von dem Netz werkanalysator 1 durchgeführt werden, darstellt. Als erstes messen der Meßbe reich 12, der Rohdaten-Meßbereich 13 und der Meßbereich 14 für den Fehlerfak tor des Meßsystems ebenso wie im Fall des ersten Ausführungsbeispiels die Roh daten (B/A) des zu testenden Gerätes 20 und die Fehlerfaktoren Ed, Er und Es des Meßsystems (siehe Fig. 9) (Schritt 10).

Daraufhin setzt der Berechnungsbereich 17 für den erweiterten Fehlerfaktor den Faktor, der durch die Kombination des erweiterten Fehlerfaktors und des Para meter-Konversionsfaktors erhalten worden ist als den neuen Fehlerfaktor fest, d. h. den erweiterten Fehlerfaktor (Schritt 13). Der Betrieb des Bereiches 17 zur Be rechnung des erweiterten Fehlerfaktors wird mit Bezug auf Fig. 9 beschrieben.

Die Fehlerfaktoren des Meßsystems und das zu testende Gerät 20 können, wie auf der linken Seite von Fig. 9 gezeigt, durch die Kombination der Fehlerfaktoren Ed, Er und Es und den Reflexionskoeffizienten S11a ausgedrückt werden. Ferner können sie durch den Ausdruck, der in der Mitte von Fig. 9 gezeigt ist, als die Kombination der Impedanz Z und der erweiterten Fehlerfaktoren Ed", Er" und Es" ausgedrückt werden, wie auf der rechten Seite von Fig. 9 gezeigt. Da die erwei terten Fehlerfaktoren Ed", Er" und Es" aus der Impedanz 4 und den Fehlerfakto ren Ed, Er und Es des Meßsystems erhalten werden können, kann der Bereich 17 zur Berechnung des erweiterten Fehlerfaktors die erweiterten Fehlerfaktoren Ed", Er" und Es" erhalten. Schließlich berechnet unter erneuter Bezugnahme auf Fig. 8 der Berechnungsbereich 18 für das zu testende Gerät den Schaltkreisparameter des zu testenden Gerätes 20 (die Impedanz Z im Fall des zweiten Ausführungsbei spiels) aus den Rohdaten (B/A), die vom Meßbereich 12 und dem Rohdaten- Meßbereich 13 gemessen worden sind, und den erweiterten Fehlerfaktoren Ed", Er" und Es", die von dem Berechnungsbereich 17 für die erweiterten Fehlerfakto ren berechnet worden sind (Schritt 18).

Unter Bezugnahme auf Fig. 9 kann die Impedanz Z (F/E) erhalten werden aus dem Eingang und dem Ausgang (B/A) und den erweiterten Fehlerfaktoren Ed", Er" und Es".

Auch in dem zweiten Ausführungsbeispiel wird die Notwendigkeit zur Herstel lung von Vorrichtungen zum Erhalten der Impedanz Z, wenn Z0 auf verschiedene Arten geändert wird und die Notwendigkeit zum Wiederholen von mehreren Mes sungen unter Austausch einer Vorrichtung gegen eine andere eliminiert werden, sobald der Eingang und der Ausgang (B/A) und die Fehlerfaktoren Ed, Er und Es des Meßsystems von dem Meßbereich 12, dem Rohdaten-Meßbereich 13 und dem Meßbereich 14 für den Fehlerfaktor des Meßsystems gemessen worden sind. Der Schaltkreisparameter kann daher einfach gemessen werden.

Ferner, da die erweiterten Fehlerfaktoren Ed", Er" und Es" zuvor erhalten worden sind, kann die Berechnung schnell durchgeführt werden.

Obwohl angenommen wird, daß der Schaltkreisparameter in dem zweiten Ausfüh rungsbeispiel eine Impedanz Z ist, kann es auch ein S-Parameter als eine gegebe ne normalisierte Impedanz sein, ein S-Parameter, wenn ein passender Schaltkreis hinzugefügt wird oder eine Schaltkreisadmittanz. Da die Beziehung zwischen einem S-Parameter als Rohdaten, von denen die Fehlerfaktoren Ed, Er und Es des Meßsystems eliminiert worden sind und einem S-Parameter als einer gegebenen normalisierten Impedanz und ähnlichem wohlbekannt ist, wird auf eine detaillierte Beschreibung verzichtet. Ferner, obwohl ein S-Parameter (inklusive der Fehler faktoren Ed, Er und Es des Meßsystems) als Rohdaten betrachtet wird, kann es ebenso ein anderer Schaltkreisparameter sein (Impedanz oder ähnliches).

Obwohl, wie oben beschrieben, es verschiedene Typen von Rohdaten und Schalt kreisparametern gibt, ist die Beziehung zwischen Daten, von denen die Fehler faktoren des Meßsystems entfernt worden sind, d. h. Rohdaten, von denen Fehler faktoren des Meßsystems entfernt worden sind, und einem Schaltkreisparameter wohlbekannt, so daß auf eine Beschreibung davon verzichtet wird.

Da der Schaltkreisparameter eines zu testenden Gerätes ohne die Herstellung von Vorrichtungen und die Durchführung von vielen Messungen mit jedesmal verän derten Vorrichtungen berechnet werden kann, ist es gemäß der Erfindung mög lich, den Schaltkreisparameter einfach zu berechnen.

Claims

1. Ein Netzwerkanalysator zum Berechnen eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes, aufweisend:
ein Meßmittel für Rohdaten zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes;
ein Meßmittel für Fehlerfaktoren des Meßsystems zum Erhalten von Fehler faktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Gerätes auftreten;
ein Berechnungsmittel für einen Parameter-Konversionsfaktor zum Erhalten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten anzeigen, die durch das Eliminieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems von den Rohdaten erhalten werden;
ein Berechnungsmittel für wahre Werte der Rohdaten, um die von Fehler faktoren des Meßsystems freien Daten aus den Rohdaten und aus den Feh lerfaktoren des Meßsystems zu erhalten; und
ein Berechnungsmittel für ein zu testendes Gerät zum Erhalten des Schalt kreisparameters aus den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten und dem Parameter-Konversionsfaktor.

2. Netzwerkanalysator nach Anspruch 1, wobei das Meßmittel die Rohdaten als von Fehlerfaktoren des Meßsystems freie Daten behandelt.

3. Netzwerkanalysator zum Berechnen eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes, aufweisend:
ein Rohdaten-Meßmittel zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerä tes;
ein Meßmittel für Fehlerfaktoren des Meßsystems zum Erhalten von Fehler faktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Gerätes auftreten;
ein Berechnungsmittel für Parameter-Konversionsfaktoren zum Erhalten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten anzeigen, die erhalten worden sind durch das Eliminieren der Fehlerfaktoren des Meßsystems von den Rohdaten;
ein Berechnungsmittel für erweiterte Fehlerfaktoren zum Erhalten von er weiterten Fehlerfaktoren durch die Kombination der Fehlerfaktoren des Meßsystems und des Parameter-Konversionsfaktors; und
ein Berechnungsmittel für das zu testende Gerät zum Erhalten des Schalt kreisparameters aus den Rohdaten und den erweiterten Fehlerfaktoren.

4. Netzwerkanalysator nach einem der Ansprüche 1-3, ferner aufweisend Spei chermittel für den Parameter-Konversionsfaktor zum Speichern des Para meter-Konversionsfaktors.

5. Netzwerkanalysator nach einem der Ansprüche 1-3, wobei der Schalt kreisparameter eine Impedanz ist.

6. Netzwerkanalysator nach einem der Ansprüche 1-3, wobei der Schalt kreisparameter ein S-Parameter ist als eine beliebige normalisierte Impe danz.

7. Netzwerkanalysator nach einem der Ansprüche 1-3, wobei der Schalt kreisparameter ein S-Parameter ist, wenn ein passender Schaltkreis hinzuge fügt wird.

8. Netzwerkanalysator nach einem der Ansprüche 1-3, wobei der Schalt kreisparameter eine Schaltkreisadmittanz ist.

9. Netzwerk-Analyseverfahren des Berechnens eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes, aufweisend:
einen Rohdaten-Meßschritt zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes;
einen Meßschritt für die Fehlerfaktoren des Meßsystems zum Erhalten der Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Ge rätes auftreten;
einen Berechnungsschritt für einen Parameter-Konversionsfaktor zum Er halten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten anzeigen, die erhalten worden sind durch die Eliminierung der Feh lerfaktoren des Meßsystems von den Rohdaten;
einen Berechnungsschritt für wahre Werte der Rohdaten zum Erhalten der von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten aus den Rohdaten und den Fehlerfaktoren des Meßsystems; und
einen Berechnungsschritt für das zu testende Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten und dem Parameter-Konversionsfaktor.

10. Ein Netzwerk-Analyseverfahren des Berechnens eines Schaltkreisparame ters eines zu testenden Gerätes, aufweisend:
einen Rohdaten-Meßschritt zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes;
einen Meßschritt für Fehlerfaktoren des Meßsystems zum Erhalten von Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Ge rätes auftreten;
einen Berechnungsschritt für Parameter-Konversionsfaktoren zum Erhalten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten anzeigen, die durch die Eliminierung der Fehlerfaktoren des Meßsystems von den Rohdaten erhalten werden;
einen Berechnungsschritt für erweiterte Fehlerfaktoren, zum Erhalten von erweiterten Fehlerfaktoren durch die Kombination der Fehlerfaktoren des Meßsystems und dem Parameter-Konversionsfaktor; und
einen Berechnungsschritt für ein zu testendes Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den Rohdaten und den erweiterten Fehlerfakto ren.

11. Ein computerlesbares Medium zum Verkörpern eines Programms mit Aus führungsanweisungen für einen Computer zur Durchführung eines Netz werk-Analyseverfahrens des Berechnens eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes, aufweisend:
einen Rohdaten-Meßschritt zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes;
einen Meßschritt für Fehlerfaktoren des Meßsystems zum Erhalten von Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Ge rätes auftreten;
einen Berechnungsschritt für Parameter-Konversionsfaktoren zum Erhalten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten anzeigen, die durch die Eliminierung der Fehlerfaktoren des Meßsystems von den Rohdaten erhalten werden;
einen Berechnungsschritt für wahre Werte von Rohdaten, zum Erhalten der von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten aus den Rohdaten und den Fehlerfaktoren des Meßsystems; und
einen Berechnungsschritt für das zu testende Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten und dem Parameter-Konversionsfaktor.

12. Computerlesbares Medium zum Verkörpern eines Programms mit Ausfüh rungsanweisungen für einen Computer zur Durchführung eines Netzwerk- Analyseverfahrens des Berechnens eines Schaltkreisparameters eines zu te stenden Gerätes, aufweisend:
einen Rohdaten-Meßschritt zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes;
einen Meßschritt für Fehlerfaktoren des Meßsystems zum Erhalten von Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Ge rätes auftreten;
einen Berechnungsschritt für Parameter-Konversionsfaktoren zum Erhalten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten anzeigen, die erhalten werden durch die Eliminierung der Fehlerfaktoren des Meßsystems von den Rohdaten;
einen Berechnungsschritt für erweiterte Fehlerfaktoren zum Erhalten von erweiterten Fehlerfaktoren durch die Kombination der Fehlerfaktoren des Meßsystems und des Parameter-Konversionsfaktors; und
einen Berechnungsschritt für ein zu testendes Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den Rohdaten und den erweiterten Fehlerfakto ren.

13. Ein Computerprogramm von Ausführungsanweisungen für einen Computer zur Durchführung eines Netzwerk-Analyseverfahrens des Berechnens eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes, aufweisend:
einen Rohdaten-Meßschritt zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes;
einen Meßschritt für Fehlerfaktoren des Meßsystems zum Erhalten von Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Ge rätes auftreten;
einen Berechnungsschritt von Parameter-Konversionsfaktoren zum Erhalten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten anzeigen, die durch die Eliminierung der Fehlerfaktoren des Meßsy stems von den Rohdaten erhalten werden;
einen Berechnungsschritt für wahre Werte von Rohdaten zum Erhalten der von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten aus den Rohdaten und den Fehlerfaktoren des Meßsystems; und
einen Berechnungsschritt für ein zu testendes Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den von Fehlerfaktoren des Meßsystems freien Daten und dem Parameter-Konversionsfaktor.

14. Ein Computerprogramm aus Ausführungsanweisungen für einen Computer zur Durchführung eines Netzwerk-Analyseverfahrens des Berechnens eines Schaltkreisparameters eines zu testenden Gerätes, aufweisend:
einen Rohdaten-Meßschritt zum Messen von Rohdaten des zu testenden Gerätes;
einen Meßschritt für Fehlerfaktoren des Meßsystems zum Erhalten von Fehlerfaktoren des Meßsystems, die bei der Messung des zu testenden Ge rätes auftreten;
einen Berechnungsschritt für einen Parameter-Konversionsfaktor zum Er halten von Faktoren der Parameterkonversion, die die Beziehung zwischen dem Schaltkreisparameter und den von Fehlerfaktoren des Meßsystems frei en Daten anzeigen, die erhalten werden durch die Eliminierung der Fehler faktoren des Meßsystems von den Rohdaten;
einen Berechnungsschritt für erweiterte Fehlerfaktoren zum Erhalten von erweiterten Fehlerfaktoren durch die Kombination der Fehlerfaktoren des Meßsystems und des Parameter-Konversionsfaktors; und
einen Berechnungsschritt für das zu testende Gerät zum Erhalten des Schaltkreisparameters aus den Rohdaten und den erweiterten Fehlerfakto ren.