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Feldfacette für einen Feldfacettenspiegel einer Projektionsbelichtungsanlage
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Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
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Projektionsbelichtungsanlage mit einer Heizvorrichtung und einem Polarisator
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optische Vorrichtung, Verfahren zur Steuerung einer optischen Vorrichtung, Computerprogrammprodukt und Lithografiesystem
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
Spiegelprojektionsoptik, Verfahren zur Überprüfung eines optischen Elements, optisches Element und Lithografiesystem
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Messung einer Absorption einer elektromagnetischen Strahlung durch ein optisches Element, Vorrichtung zur Messung einer Umformungseigenschaft eines optischen Elements und Lithografiesystem
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Vorrichtung zur Herstellung einer klebenden Verbindung zwischen Bauteilen eines Lithografiesytems, Verfahren zur Herstellung einer klebenden Verbindung zwischen Bauteilen eines Lithografiesystems und Lithografiesystem
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zum herstellen eines mechanischen systems für eine lithographieanlage
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2021-02-03 |
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
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2021-02-15 |
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Herstellung eines mehrteiligen Spiegels einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
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Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas und Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage mit einer Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration von atomarem Wasserstoff
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Bestimmung einer Reflexionseigenschaft eines zu untersuchenden optischen Elements, Vorrichtung zur Bestimmung einer Reflexionseigenschaft eines zu untersuchenden optischen Elements, Computerprogrammprodukt und Lithografiesystem
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2021-05-27 |
2022-12-01 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Komponente für eine Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie und Verfahren zur Auslegung der Komponente
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DE102021205425A1
(de)
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2021-05-27 |
2022-12-01 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optikvorrichtung, Verfahren zur Einstellung einer Soll-Deformation und Lithografiesystem
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DE102021205809B3
(de)
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2021-06-09 |
2022-08-18 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Verschraubung eines Aktuator-Sensor-Moduls einer Projektionsbelichtungsanlage
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DE102022203929A1
(de)
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2021-06-16 |
2022-12-22 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung zur Positionierung einer ersten Komponente eines optischen Systems, Komponente eines optischen Systems, optische Einrichtung und Lithografiesystem
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DE102021206427A1
(de)
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2021-06-22 |
2022-12-22 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie
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(de)
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2021-06-24 |
2022-12-29 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung zur Temperierung eines Bauteils
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(de)
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2021-07-02 |
2022-06-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system, lithographieanlage und verfahren zum betreiben eines optischen systems
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(de)
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2021-07-02 |
2023-01-05 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system, lithographieanlage und verfahren zum herstellen eines optischen systems
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(de)
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2021-07-15 |
2023-01-19 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung einer Komponente für eine Projektionsbelichtungsanlage und Komponente einer Projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2021-08-06 |
2023-02-09 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Temperaturmessvorrichtung, lithographieanlage und verfahren zum messen einer temperatur
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DE102021208563A1
(de)
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2021-08-06 |
2022-09-01 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung und verfahren zum bestimmen einer temperatur in einer lithographieanlage
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(de)
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2021-08-09 |
2023-02-09 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Abstützung eines optischen elements
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(de)
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2021-08-10 |
2023-02-16 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Spiegel für eine Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie
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(de)
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2021-08-10 |
2024-07-11 |
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Verfahren zur Entfernung eines Partikels von einem Maskensystem
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(de)
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2021-08-11 |
2022-08-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Auslegung einer Klebstoffschicht
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(de)
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2021-08-12 |
2023-02-16 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit einem Verbindungselement
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(de)
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2023-02-16 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
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(de)
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2023-02-23 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
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(de)
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2021-08-19 |
2022-05-25 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Schutzschlauch und projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2021-08-23 |
2024-03-07 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Spiegelanordnung für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage mit einer Schutzvorrichtung zum Schutz der optischen Wirkfläche und EUV-Projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2021-08-24 |
2023-03-16 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung einer zu reinigenden Oberfläche, Element für die Lithografie und/oder Halbleiterindustrie und Lithografiesystem
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(de)
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2021-09-14 |
2023-03-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
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(de)
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2021-09-14 |
2022-07-07 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
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(de)
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2021-09-23 |
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
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(de)
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2021-09-24 |
2022-11-24 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Dosiervorrichtung und verfahren zum herstellen einer lithographieanlage
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(de)
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system und verfahren
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2023-04-20 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
EUV- Mehrfachspiegelanordnung
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2021-10-14 |
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
EUV-Mehrfachspiegelanordnung
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
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(de)
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
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2021-11-23 |
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Verfahren zum herstellen eines optischen systems
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2022-08-18 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
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2023-06-01 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
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(de)
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2021-12-01 |
2023-06-01 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren, optisches system, testgerät und anordnung
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(de)
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2021-12-07 |
2022-07-07 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren und Vorrichtung zum Schutz einer Klebstoffverbindung
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(de)
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2021-12-10 |
2023-06-15 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage mit einem Korrekturermittlungsmodul
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(de)
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2021-12-20 |
2022-12-15 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie mit einer Temperierstruktur
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(de)
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2021-12-23 |
2023-06-29 |
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Verfahren und trockenvorrichtung
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(de)
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2022-01-11 |
2022-11-24 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
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(de)
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2022-01-12 |
2022-12-15 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung zur Verkippung eines Spiegels, optisches Bauelement, optische Baugruppe, Verfahren zur Verkippung eines Spiegels, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zur Verkippung eines Spiegels und EUV-Projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2022-01-13 |
2023-01-26 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren, Vorrichtung, Präparationsverfahren und Präparationsvorrichtung zur Herstellung eines Grundkörpers, Grundkörper, optisches Element und Lithografiesystem
|
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(de)
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2022-01-13 |
2023-07-13 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Aktuator-/sensor-vorrichtung, optikmodul und lithographieanlage
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(de)
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2022-01-14 |
2022-06-30 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verbindung von komponenten einer optischen einrichtung
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(de)
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2022-01-18 |
2023-07-20 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Überwachung einer Justageeinstellung, interferometrische Messvorrichtung, Hologrammvorrichtung und Lithografiesystem
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(de)
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2022-01-24 |
2023-07-27 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung zur Aufnahme und Kühlung eines Optikkörpers, Verfahren zur Herstellung eines Optikkörpers, Kühlverfahren zur Kühlung eines Optikkörpers, optisches Element und Lithografiesystem
|
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(de)
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2022-01-25 |
2023-07-27 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system, lithographieanlage und verfahren zum betreiben eines optischen systems
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(de)
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2022-01-31 |
2023-01-05 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Kalibrierkörper und Verfahren zur Kalibrierung
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(de)
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2022-01-31 |
2022-11-17 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung zur Verbindung wenigstens einer ersten und einer zweiten Modulkomponente, Modul eines Lithografiesystems, optisches Element und Lithografiesystem
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(de)
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2022-02-01 |
2023-08-03 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Manipulation von Schwingungen
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DE102022201301A1
(de)
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2022-02-08 |
2023-08-10 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
EUV-Projektionsbelichtungsanlage mit einer Heizvorrichtung
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(de)
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2022-02-08 |
2023-08-10 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie mit einem Verbindungselement
|
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(de)
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2022-02-08 |
2023-01-05 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Bestimmung des Endes einer Aufwärmphase eines optischen Elementes
|
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(de)
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2022-02-16 |
2023-08-17 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren
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(de)
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2022-03-01 |
2023-09-07 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie
|
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(de)
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2022-03-02 |
2023-02-23 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
System und projektionsbelichtungsanlage
|
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(de)
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2022-03-04 |
2023-03-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system und projektionsbelichtungsanlage
|
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(de)
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2023-09-14 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren und Vorrichtung zum Lösen einer Klebstoffverbindung
|
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DE102022202355A1
(de)
|
2022-03-09 |
2023-02-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Mikrospiegelbaugruppe, Herstellungsverfahren zur Herstellung einer Mikrospiegelbaugruppe und Verfahren zum Verkippen einer Spiegelfläche
|
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DE102022202424A1
(de)
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2022-03-10 |
2023-03-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren und Prüfsystem zur Analyse von Dichtungssystemen
|
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(de)
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2022-03-14 |
2023-09-14 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Steckeraufnahme, Heizvorrichtung und Projektionsbelichtungsanlage
|
|
DE102023201560A1
(de)
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2022-03-21 |
2023-09-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Bauteil und projektionsbelichtungsanlage
|
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DE102022202938A1
(de)
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2022-03-24 |
2023-09-28 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Anordnung und projektionsbelichtungsanlage
|
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DE102022202989A1
(de)
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2022-03-25 |
2023-09-28 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optikvorrichtung, Verfahren zur Messung einer Ist-Verkippung einer optischen Oberfläche eines optischen Elements und Lithografiesystem
|
|
DE102022203150A1
(de)
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2022-03-31 |
2023-01-05 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optikvorrichtung, Verfahren zur Erfassung einer Temperaturverteilung und Lithografiesystem
|
|
DE102022203257A1
(de)
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2022-04-01 |
2023-10-05 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Ansteuervorrichtung, optisches system, lithographieanlage und verfahren
|
|
DE102022203299A1
(de)
|
2022-04-01 |
2023-10-05 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Überprüfung der Qualität einer Verschraubung
|
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(de)
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2022-04-01 |
2023-03-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Wasserführendes system, projektionsbelichtungsanlage und messvorrichtung
|
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DE102022203255A1
(de)
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2022-04-01 |
2023-10-05 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Ansteuervorrichtung, optisches system und lithographieanlage
|
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(de)
|
2022-04-01 |
2023-10-05 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren und Vorrichtung zur chemischen Bearbeitung einer Oberfläche
|
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(de)
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2022-04-05 |
2023-10-05 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Anordnung, Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Kalibrierung von Facettenspiegeln
|
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(de)
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2022-04-06 |
2023-12-07 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optische Anordnung, optisches Modul, optische Abbildungseinrichtung und -verfahren, Verfahren zum Abstützen eines optischen Elements, mit aktiv verkippbarem optischem Element
|
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(de)
|
2022-04-06 |
2023-10-12 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung und Verfahren zur Ausrichtung von zwei Komponenten
|
|
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(de)
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2022-08-24 |
2024-02-29 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung und Verfahren zur Ausrichtung von zwei Komponenten
|
|
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(de)
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2022-04-06 |
2023-10-12 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verbindung von komponenten einer optischen einrichtung
|
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WO2023194220A1
(en)
|
2022-04-06 |
2023-10-12 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Device and method for aligning two components
|
|
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(de)
|
2022-04-13 |
2023-10-19 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verbindung von komponenten einer optischen einrichtung
|
|
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(de)
|
2022-04-13 |
2022-09-15 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
EUV-Kollektor für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage
|
|
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(de)
|
2022-04-20 |
2023-04-13 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Leiterplatte für ein optisches system, optisches system, lithographieanlage und verfahren zum herstellen einer leiterplatte für ein optisches system
|
|
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(de)
|
2022-04-26 |
2022-07-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Kalibrierung einer diffraktiven Messstruktur, Vorrichtung zur Kalibrierung einer diffraktiven Messstruktur und Lithografiesystem
|
|
DE102022204044A1
(de)
|
2022-04-27 |
2023-11-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Abstützung von komponenten einer optischen einrichtung
|
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DE102022204095A1
(de)
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2022-04-27 |
2023-11-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zum Vermessen einer Beleuchtungswinkelverteilung auf einem Objektfeld sowie Beleuchtungsoptik mit einer hierüber vorgegebenen Beleuchtungskanal-Zuordnung
|
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(de)
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2022-04-27 |
2023-11-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Beleuchtungsoptik für die Projektionslithografie
|
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(de)
|
2022-04-29 |
2023-11-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches Bauteil für eine Lithographieanlage
|
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(de)
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2022-05-11 |
2023-04-20 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zum herstellen oder betreiben eines spiegels in einer lithographieanlage
|
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(de)
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2022-05-12 |
2023-11-16 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system, lithographieanlage mit einem optischen system und verfahren zum herstellen eines optischen systems
|
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(de)
|
2022-05-25 |
2023-04-27 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optikvorrichtung, Verfahren zur Ermittlung einer Ist-Deformation, Verfahren zur Einstellung einer Solldeformation und Lithografiesystem
|
|
DE102023203580A1
(de)
|
2022-05-31 |
2023-11-30 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Kühlmittelleitung zur Bereitstellung eines Fluids zur Temperierung von Bauteilen
|
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(de)
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2022-06-07 |
2023-12-07 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches System für eine Lithographieanlage und Lithographieanlage
|
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(de)
|
2022-06-08 |
2023-12-14 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Komponente für eine Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie und Projektionsbelichtungsanlage
|
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(de)
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2022-06-15 |
2023-12-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Kompensation von Aktuatoreffekten von Aktuatoren
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DE102022206065B3
(de)
|
2022-06-15 |
2023-02-23 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system, projektionsbelichtungsanlage und verfahren
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DE102022206126A1
(de)
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2022-06-20 |
2023-03-09 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Bauteil zum Einsatz in einer Projektionsbelichtungsanlage
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DE102022206124A1
(de)
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2022-06-20 |
2023-12-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung und verfahren zum bearbeiten einer oberfläche eines optischen elements einer lithographieanlage
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DE102022206112A1
(de)
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2022-06-20 |
2023-12-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Abbildende EUV-Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld
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DE102022206110A1
(de)
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2022-06-20 |
2023-12-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Abbildende EUV-Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld
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(de)
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2022-06-21 |
2022-09-15 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren und Vorrichtung zur Qualifizierung einer Komponente einer Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie
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(de)
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2022-06-30 |
2024-01-04 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zum Betrieb eines Lithografiesystems und Lithografiesystem
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(de)
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2022-07-05 |
2024-01-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Grundkörper für ein optisches Element mit einer Anbindungsgeometrie und Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers eines optischen Elementes sowie Projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2022-07-05 |
2023-09-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
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(de)
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2022-07-05 |
2024-01-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zum regeln einer position einer optischen komponente einer lithographieanlage
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WO2024008676A1
(de)
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2022-07-05 |
2024-01-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur herstellung eines grundkörpers eines optischen elementes für die halbleiterlithografie, grundkörper, optisches element und projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2022-07-05 |
2024-01-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches Element mit schwingungsmindernden Abschnitten von Fluidleitungen und Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers eines optischen Elementes sowie Projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2022-08-09 |
2024-02-15 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers für die Halbleiterlithografie, optisches Element und Projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2022-07-05 |
2024-01-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optische Baugruppe, Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie und Verfahren
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(de)
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2022-07-05 |
2024-01-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Grundkörper für ein optisches Element und Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers für ein optisches Element sowie Projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2022-07-05 |
2024-01-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches Element und Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
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(de)
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2022-07-05 |
2024-01-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers eines optischen Elementes, Grundkörper sowie Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
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(de)
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2022-07-11 |
2024-01-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung und verfahren zur bereitstellung von sensordaten eines optischen systems, optisches system und lithographieanlage mit einem optischen system
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(de)
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2022-07-11 |
2024-01-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Steuervorrichtung und optisches system
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(de)
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2022-07-12 |
2024-01-18 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Zapfen für ein Spannsystem
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(de)
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2022-07-13 |
2024-01-18 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
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(de)
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2022-07-18 |
2024-01-18 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system und projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2022-07-19 |
2022-09-15 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren und justierelementsatz
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(de)
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2022-07-22 |
2024-01-25 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zum Bestimmen eines Gesamtschwerpunkts einer Verteilung von Lichtintensitäten
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(de)
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2022-07-25 |
2023-10-12 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Facettenspiegel-Baugruppe, Beleuchtungsoptik, optisches System, Projektionsbelichtungsanlage, Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Bauteils sowie Bauteil
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DE102022207555A1
(de)
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2022-07-25 |
2024-01-25 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system, lithographieanlage mit einem optischen system und verfahren zum herstellen eines optischen systems
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(de)
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2022-07-25 |
2023-04-27 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optische Komponente
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(de)
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2022-07-27 |
2022-09-29 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren, Vorrichtung und Computerprogrammprodukt zur Identifikation von Kontaminationen bei Komponenten einer EUV-Lithografie-Anlage
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(de)
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2022-07-27 |
2024-02-01 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion eines Bauteils, computerimplementiertes Verfahren und Lithografiesystem
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(de)
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2022-07-29 |
2024-02-15 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Messvorrichtung, Verfahren zur interferometrischen Vermessung, Bearbeitungsverfahren, optisches Element und Lithografiesystem
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DE102022208010A1
(de)
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2022-08-03 |
2024-02-08 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung und Verfahren zur Aufbringung eines Fluids und Komponente
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(de)
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2022-08-08 |
2023-08-31 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Kompensation von Abbildungsfehlern einer EUV-Projektionsbelichtungsanlage
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DE102022208206A1
(de)
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2022-08-08 |
2024-02-08 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Stabilisierung einer Klebstoffverbindung einer optischen Baugruppe
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(de)
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2022-08-08 |
2024-02-08 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung und Verfahren zur Sensorischen Messung Chemischer und/oder Physikalischer Eigenschaften einer Klebeschicht und/oder eines die Klebeschicht Kontaktierenden Mediums, sowie Verfahren zur Herstellung einer entsprechenden Vorrichtung und Verfahren zur Sensorischen Messung
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DE102022208231B3
(de)
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2022-08-08 |
2023-06-07 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Ansteuervorrichtung, optisches system und lithographieanlage
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WO2024052300A1
(en)
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2022-09-09 |
2024-03-14 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Illumination system, radiation source apparatus, method for illuminating a reticle, and lithography system
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DE102022209453A1
(de)
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2022-09-09 |
2024-03-14 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Faserstrang für einen Sektorheizer, Sektorheizer und Projektionsvorrichtung
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DE102023203506A1
(de)
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2022-09-12 |
2024-03-14 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vakuumkammer für Komponenten für die Halbleiterlithografie und Verfahren zur automatisierten Reinigung der Vakuumkammer
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WO2024056600A1
(en)
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2022-09-13 |
2024-03-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Method to adjust an illumination beam path within an illumination optics and illumination optics having an adjustment system
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DE102023206503A1
(de)
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2022-09-14 |
2024-03-14 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Abbildende Optik
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(de)
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2022-09-19 |
2022-11-10 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Thermische aktuatoranordnung
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(de)
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2022-09-19 |
2023-07-06 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
EUV-Kollektor für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2022-09-20 |
2024-03-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Kühlvorrichtung zum kühlen einer positionssensitiven komponente einer lithographieanlage
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DE102022209868A1
(de)
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2022-09-20 |
2024-03-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optische baugruppe, optisches system und projektionsbelichtungsanlage
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DE102022209854A1
(de)
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2022-09-20 |
2022-11-17 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verbindungsanordnung
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(de)
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2022-09-21 |
2024-03-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Facettenspiegel, Beleuchtungsoptik, Anordnung eines Facettenspiegels, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Herstellung eines nanostrukturierten Bauelements
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DE102022209922A1
(de)
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2022-09-21 |
2023-09-21 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Reflektometervorrichtung, messanordnung, verfahren zum herstellen eines optischen referenzelements und verfahren zum vermessen einer probe einer lithographieanlage
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(de)
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2022-09-22 |
2023-09-07 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren und Vorrichtung zur Qualifizierung eines Computergenerierten Hologramms, Regularisierungsverfahren und Lithografiesystem
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DE102022210035A1
(de)
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2022-09-23 |
2024-03-28 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Führung von komponenten einer optischen einrichtung
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DE102022210037A1
(de)
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2022-09-23 |
2024-03-28 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Anordnung zum Tempern mindestens eines Teilbereichs eines optischen Elementes
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DE102022210132A1
(de)
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2022-09-26 |
2022-12-01 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Komponente für eine Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie und Verfahren zur Herstellung der Komponente
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DE102022210158A1
(de)
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2022-09-26 |
2024-03-28 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Anordnung, Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Kalibrierung von Facettenspiegeln
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DE102022210229A1
(de)
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2022-09-27 |
2022-11-24 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Magnetsystem und Verfahren zur reibungsreduzierten Lagerung und/oder Lagebeeinflussung eines optischen Elements
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DE102022210171A1
(de)
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2022-09-27 |
2024-03-28 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches element, optisches system und projektionsbelichtungsanlage
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DE102022210274A1
(de)
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2022-09-28 |
2024-03-28 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Messvorrichtung und messverfahren zum messen einer in einem optischen system abfallenden spannung, optisches system und lithographieanlage
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DE102022210289A1
(de)
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2022-09-28 |
2022-12-01 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung und Verfahren zur Positionierung eines optischen Elements, Messvorrichtung zur Vermessung einer optischen Oberfläche und Lithografiesystem
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DE102022210356A1
(de)
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2022-09-29 |
2022-11-24 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system, lithographieanlage mit einem optischen system und verfahren zum herstellen eines optischen systems
|
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DE102022125354A1
(de)
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2022-09-30 |
2024-04-04 |
Asml Netherlands B.V. |
Kühlvorrichtung zum Kühlen einer positionssensitiven Komponente einer Lithographieanlage
|
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DE102022211226A1
(de)
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2022-10-24 |
2024-04-25 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie und Verfahren
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DE102022211334A1
(de)
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2022-10-26 |
2023-09-14 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Ansteuerung eines Aktuators und Aktuator
|
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DE102023207047A1
(de)
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2022-10-27 |
2024-05-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Kühlleitungsvorrichtung für eine lithographieanlage, lithographieanlage und verfahren zum steuern eines drucks einer kühlflüssigkeit in einer kühlleitung einer lithographieanlage
|
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DE102023208302A1
(de)
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2022-11-02 |
2024-05-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
System für eine lithographieanlage und lithographieanlage
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DE102023208848A1
(de)
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2022-11-07 |
2024-05-08 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Beleuchtungssystem für eine lithographieanlage, lithographieanlage und verfahren zum betreiben eines beleuchtungssystems einer lithographieanlage
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DE102022211696A1
(de)
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2022-11-07 |
2024-05-08 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system und lithographieanlage mit einem optischen system
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DE102022211799A1
(de)
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2022-11-08 |
2022-12-29 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Manipulator, optisches system, projektionsbelichtungsanlage und verfahren
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DE102023208851A1
(de)
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2022-11-08 |
2024-05-08 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system und projektionsbelichtungsanlage
|
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DE102022211875A1
(de)
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2022-11-09 |
2024-05-16 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Korrektur lokaler Oberflächenerhebungen auf spiegelnden Oberflächen
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DE102022212120A1
(de)
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2022-11-15 |
2023-11-23 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren und fasereinblasvorrichtung
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DE102022212136A1
(de)
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2022-11-15 |
2023-01-12 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Ermittlung von Bildfehlern hochauflösender Abbildungssysteme per Wellenfrontmessung
|
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(de)
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2022-11-16 |
2024-05-16 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
EUV-Optik-Modul für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage
|
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(de)
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2022-11-16 |
2023-09-14 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
EUV-Quellen-Modul für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage
|
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(de)
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2022-11-17 |
2023-11-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers und Grundkörper mit einer Leichtbaustruktur sowie Projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2022-11-21 |
2023-10-12 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Dichtungsvorrichtung, verfahren und verwendung
|
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DE102022212463A1
(de)
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2022-11-22 |
2024-05-23 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system, lithographieanlage und verfahren zum betreiben eines optischen systems einer lithographieanlage
|
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DE102022212537A1
(de)
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2022-11-24 |
2024-05-29 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system, lithographieanlage mit einem optischen system und anordnung mit einem optischen system
|
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DE102022213143A1
(de)
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2022-12-06 |
2024-06-06 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Spiegelanordnung zur Absorption von Strahlung und Lithographiesystem
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DE102022213142A1
(de)
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2022-12-06 |
2024-06-06 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Spiegelanordnung mit gekühlten Spiegelelementen und Lithographiesystem
|
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WO2024120941A1
(en)
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2022-12-09 |
2024-06-13 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Mirror socket, optical system and projection exposure apparatus
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US20240192605A1
(en)
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2022-12-13 |
2024-06-13 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Method for producing a mirror of a microlithographic projection exposure apparatus
|
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DE102022213681A1
(de)
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2022-12-15 |
2024-06-20 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Kühlvorrichtung für eine lithographieanlage
|
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DE102022213810A1
(de)
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2022-12-16 |
2023-02-23 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Überwachung einer Linse eines Lithografiesystems, Optikvorrichtung für ein Lithografiesystem und Lithografiesystem
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DE102022213752A1
(de)
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2022-12-16 |
2023-02-09 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Interferometervorrichtung zur Vermessung einer Oberfläche, Verfahren zur interferometrischen Vermessung einer Oberfläche und Lithografiesystem
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DE102022213987A1
(de)
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2022-12-20 |
2023-12-14 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Montage einer optischen Baugruppe, optische Baugruppe und Projektionsbelichtungsanlage
|
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DE102022214184A1
(de)
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2022-12-21 |
2024-06-27 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system und projektionsbelichtungsanlage
|
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DE102023200146A1
(de)
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2023-01-11 |
2023-03-09 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren und justagesystem zur justage einer position eines facettenspiegels einer lithographieanlage
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DE102023200329B3
(de)
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2023-01-17 |
2024-05-02 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optische Baugruppe, Verfahren zur Montage der optischen Baugruppe und Projektionsbelichtungsanlage
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DE102023200423A1
(de)
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2023-01-20 |
2023-12-28 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Kühlvorrichtung für eine lithographieanlage, lithographieanlage und verfahren zum dämpfen einer druckschwankung einer flüssigkeit in einer flüssigkeitsleitung einer kühlvorrichtung einer lithographieanlage
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DE102023201137A1
(de)
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2023-02-13 |
2024-01-11 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Anordnung und Verfahren zum Schutz einer Klebstoffverbindung
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DE102023201546B3
(de)
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2023-02-22 |
2024-01-25 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zum Entschichten einer optischen Oberfläche, Vorrichtung zum Entschichten einer optischen Oberfläche und Lithografiesystem
|
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DE102023201840A1
(de)
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2023-03-01 |
2024-02-22 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Baugruppe für die Halbleitertechnik und Projektionsbelichtungsanlage
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DE102023201860A1
(de)
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2023-03-01 |
2023-04-20 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Baugruppe und Verfahren zur Verbindung zweier Bauteile
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DE102023203832A1
(de)
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2023-04-25 |
2024-04-04 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system und projektionsbelichtungsanlage
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DE102023203830A1
(de)
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2023-04-25 |
2024-03-28 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Distanzvorrichtung, optisches system, lithographieanlage und verfahren
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(de)
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2023-04-27 |
2024-04-04 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zum herstellen einer komponente einer lithographieanlage, komponente und lithographieanlage
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(de)
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2023-05-11 |
2024-05-23 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Minimierung von Druckschwankungen und Projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2023-06-12 |
2024-05-29 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Modul mit zwei Fügepartnern für eine Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren
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DE102023205570A1
(de)
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2023-06-14 |
2024-06-27 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system und projektionsbelichtungsanlage
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(de)
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2023-06-15 |
2023-07-27 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Bauelement für die Halbleiterlithografie, Verfahren zum Herstellen eines Gelenkkörpers für einen Sensor eines Lithografiesystems und Lithografiesystem
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(de)
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2023-06-27 |
2024-06-27 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches Modul und Projektionsbelichtungsanlage
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2023-06-27 |
2024-06-20 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches Modul und Projektionsbelichtungsanlage
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2023-06-27 |
2024-07-04 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung und Verfahren zur Kompensation von Pendelkräften
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2023-06-27 |
2024-07-04 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Verfahren zur Verbesserung der Abbildungseigenschaften eines optischen Moduls, Ansteuerung, optisches Modul und Projektionsbelichtungsanlage
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2023-07-04 |
2024-06-06 |
Carl Zeiss Smt Gmbh |
Optisches system und projektionsbelichtungsanlage
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
Wasserführendes system und projektionsbelichtungsanlage
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2024-01-15 |
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Carl Zeiss Smt Gmbh |
Vorrichtung und Verfahren zur Filtration eines Kühlschmiermittels, Bearbeitungseinrichtung sowie Lithografiesystem
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