CN113457894A - 用于光刻胶喷嘴的封堵接头 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头，包括封堵座和设置于封堵座上并用于封堵喷嘴口部的封堵机构；所述封堵座上设置有用于安装喷嘴的第一沉孔，所述封堵机构包括安装座、堵头、第一弹性件和盖板，所述安装座设置于封堵座上，所述第一沉孔的底部开设有与堵头密封配合的通孔，所述堵头安装于通孔内，所述安装座上开设有用于安装弹性件并与通孔连通的第二沉孔，所述盖板固定设置于第二沉孔内，所述弹性件设置于堵头与盖板之间；其中，在对喷嘴封堵时，所述第一沉孔与喷嘴相配合，并通过所述弹性件将堵头抵紧于喷嘴的端面，从而对喷嘴口部密封。通过封堵机构对喷嘴口部进行封堵，不仅避免喷嘴内的光刻胶外漏而造成污染、光刻胶的浪费，还具有隔绝空气、泄压的作用。

Description

用于光刻胶喷嘴的封堵接头
技术领域
本发明属于半导体生产设备领域，具体涉及一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头。
背景技术
光刻胶主要用于半导体器件的制造，而光刻胶在与空气接触到一定时间后会发生反应，产生光刻胶结晶现象。在光刻胶喷涂完成后，为防止喷嘴口部的光刻胶与空气接触而产生结晶封堵喷嘴口部，影响后续喷涂，目前，多采用将喷嘴口部的光刻胶回吸入喷嘴内，从而避免喷嘴口部被光刻胶结晶封堵，但该方法仍然会使得光刻胶与空气接触，使得部分光刻胶与空气发生反应产生光刻胶结晶。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头，能对喷嘴口部封堵。
为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：
本发明的一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头，包括封堵座和设置于封堵座上并用于封堵喷嘴口部的封堵机构；
所述封堵座上设置有用于安装喷嘴的第一通孔，所述封堵机构包括安装座、堵头、第一弹性件和盖板，所述封堵座上开设有用于安装安装座的第一沉孔，所述安装座安装于第一沉孔内，所述安装座上开设有与堵头密封配合并连通第一通孔的第二通孔，所述堵头安装于第二通孔内，所述安装座上开设有用于安装第一弹性件并与第二通孔连通的第二沉孔，所述盖板固定设置于第二沉孔内，所述第一弹性件设置于堵头与盖板之间；
其中，在对喷嘴封堵时，所述第一通孔与喷嘴相配合，并通过所述弹性件将堵头抵紧于喷嘴的端面，从而对喷嘴口部密封。
进一步，所述封堵机构还包括导向组件，所述导向组件包括第一导向件和第二导向件，所述第一导向件固定设置于堵头上，所述第二导向件固定设置于盖板上并外套于第一导向件，所述第一导向件可沿其轴向在第二导向件内往复移动。
进一步，所述封堵座内设置有用于稀释溶剂流通的流道，所述流道包括第一流道、第二流道和第三流道，所述第二流道设置于第一通孔内，所述第一流道设置于第一沉孔的口部一端，所述第三流道设置于第二沉孔的底部一端，使稀释溶剂从第一流道流入第二流道内对喷嘴口部的光刻胶稀释清理，再通过第三流道流出。
进一步，所述封堵座上设置有管道，所述第一流道设置管道内，所述管道上设置有用于开闭第一流道的开关阀，所述第三流道内设置有单向阀。
进一步，所述第二通孔为锥形孔，所述堵头的侧面与锥形孔相配合的锥形面；
所述封堵机构还包括将堵头固定于通孔内的锁紧组件。
进一步，所述锁紧组件包括抵压件、第二弹性件、第一限位件和第二限位件，所述盖板上设置有用于安装抵压件的安装孔，所述抵压件安装于安装孔内，所述弹性件设置于抵压件与第一导向件之间，所述第一限位件、第二限位件沿安装孔轴向依次设置于安装孔内，所述低压件上设置有限位部；
其中，所述限位部与第一限位件配合时，所述抵压件低压第一导向件，所述第一导向件固定，当所述限位部与第二限位件配合时，所述抵压件脱离第一导向件，所述第一导向件可沿其轴向移动。
进一步，所述第一限位件为沿安装孔周向均布的多个第一凸台，各所述第一凸台之间设置有用于限位部通过的间隙，所述限位部为沿安装孔周向均布的限位台，所述第二限位件为环形凸台；
其中，当所述限位部与第一凸台配合时，抵压件压缩弹性件抵紧于第一导向件，转动抵压件，在限位台与间隙对正后，在第二弹性件弹力的作用下，所述抵压件远离第一导向件移动，并被环形凸台限位。
进一步，所述第二弹性件为弹簧，所述弹簧外套于抵压件上，并抵紧于限位部与第一导向件之间。
进一步，所述第二流道为开设于第一通孔侧面的螺旋槽。
进一步，所述封堵座与喷嘴通过管螺纹连接。
本发明的用于光刻胶喷嘴的封堵接头本发明的有益效果在于：
本发明的一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头，通过设置封堵机构对喷嘴口部进行封堵，不仅避免喷嘴内的光刻胶外漏而造成污染、光刻胶的浪费，从而节约了成本，还具有隔绝空气，避免喷嘴口部的光刻胶与空气接触而结晶阻塞喷嘴口部，同时还具有泄压的作用，从而提高了工作的可靠性。
本发明的其他优点、目标和特征将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上对本领域技术人员而言是显而易见的，或者本领域技术人员可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。
附图说明
为了使本发明的目的、技术方案和有益效果更加清楚，本发明提供如下附图进行说明：
图1为本发明用于光刻胶喷嘴的封堵接头的结构示意图；
图2为本发明用于光刻胶喷嘴的封堵接头的轴测图；
图3为本发明抵压件的轴测图；
图4为本发明抵压件抵紧第一导向件的结构示意图；
图5为本发明抵压件脱离第一导向件的结构示意图；
图6为图4中Ⅰ处的放大图；
图7为图5中Ⅱ处的放大图。
具体实施方式
如图1～7所示，本发明的一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头，包括封堵座1和设置于封堵座1上并用于封堵喷嘴口部的封堵机构；所述封堵座1用于与喷嘴配合连接，并通过封堵机构将喷嘴口部进行封堵，不仅避免喷嘴内的光刻胶外漏而造成污染、光刻胶的浪费，还具有隔绝空气的作用，避免喷嘴口部的光刻胶与空气接触而结晶阻塞喷嘴口部。
所述封堵座1上设置有用于安装喷嘴的第一通孔1a，所述封堵机构包括安装座2、堵头3、第一弹性件5和盖板6，所述封堵座1上开设有用于安装安装座2的第一沉孔1b，所述安装座2安装于第一沉孔1b内，所述安装座2上开设有与堵头3密封配合并连通第一通孔1a的第二通孔2a，所述堵头3安装于第二通孔2a内，所述安装座2上开设有用于安装第一弹性件5并与第二通孔2a连通的第二沉孔2b，所述盖板6固定设置于第二沉孔2b内，所述第一弹性件设置于堵头3与盖板6之间。
当喷嘴7完成光刻胶的喷涂后，通过该封堵装置对喷嘴7的口部进行封堵：所述第一通孔1a外套于喷嘴7上并固定连接于喷嘴7，该第一通孔1a内的部分空气经喷嘴1压缩，从而抵压堵头3，使空气从第二通孔2a排出，待第一通孔1a内的空气排出后，堵头3在第一弹性件5的作用下抵紧喷嘴7的口部，从而封堵喷嘴口部，隔绝空气。当喷嘴7内的压力过大时，还能通过光刻胶抵压堵头3泄压的作用，使得光刻胶流入第二沉孔2b内，从而避免光刻胶流出污染环境，还具有对喷嘴的保护，避免因喷嘴内的压力过大而损坏喷嘴。
所述第二通孔2a可为锥形孔，所述堵头3为与锥形孔相配合的锥形堵头，通过锥形堵头与锥形孔相配合密封(面面密封)，所述第二通孔2a还可为弧形孔，所述堵头3为与弧形孔相配合的锥形堵头，通过锥形堵头与弧形孔相配合密封(面线配合)，或采用其它配合密封的方式，可根据具体需求选择。所述封堵座与喷嘴之间的固定连接可采用螺纹连接、卡接或其它可拆卸的固定连接，可根据具体需求选择。
所述第一弹性件5可为弹簧、橡胶垫或其它具有弹性功能的构件，可根据具体需求选择。
在本实施例中，所述封堵机构还包括导向组件，所述导向组件包括第一导向件41和第二导向件42，所述第一导向件41固定设置于堵头3上，使所述第一导向件41跟随堵头3移动，所述第二导向件42上设置有用于第一导向件41穿设的导向孔，所述第二导向件42固定设置于盖板6上并外套于第一导向件41，所述第一导向件41可沿其轴向在第二导向件42的导向孔42a内往复移动；在堵头移动过程中，通过该导向组件进行导向，能提高堵头移动的可靠性，避免错位而造成麻烦不严的风险。
所述第一导向件41上设置有沿第一沉孔轴向的凸台，所述导向孔内设置有与该凸台相配合的凹槽，所述凸台安装于凹槽内，使得所述第一导向件不会沿第一沉孔周向转动(该凸台与凹槽在图中均未表示，但不影响理解)，进一步提高堵头移动的可靠性。
所述第一弹性件5为弹簧，所述弹簧外套于第二导向件42并沿其轴向抵紧于盖板6与堵头3之间，这里选择弹簧，在满足其弹力需求的条件下，还具有便于生产制造，成本低廉的优点。
在本实施例中，所述封堵座1内设置有用于稀释溶剂(该稀释溶剂用于稀释光刻胶)流通的流道11，所述流道11包括第一流道11a、第二流道11b和第三流道11c，所述第二流道11b设置于第一通孔1a内，所述第一流道11a设置于第一通孔1a的口部一端，所述第三流道11c设置于第一通孔1a的底部一端，使稀释溶剂从第一流道11a流入第二流道11b内对喷嘴口部外侧残余的光刻胶稀释清理，再通过第三流道11c流出；在堵头3与喷嘴口部接触密封后，在喷嘴口部的外侧难免会有少量残余的光刻胶，通过该通道11，将稀释溶剂引向喷嘴口部的外侧将残余的光刻胶稀释然后带出，从而避免光刻胶结晶凝固。
在本实施例中，所述封堵座1上设置有管道8，所述第一流道11a设置管道8内，所述管道8上设置有用于开闭第一流道11a的开关阀9，所述第三流道11c内设置有单向阀10。
当堵头3完成对喷嘴口部进行封堵后，通过在管道8的入口端连接装有稀释溶剂的容器，使稀释溶剂从第一流道11a进入第二流道11b，并对喷嘴口部外侧的残余光刻胶稀释，再由第三流道11c排出；当流道11内的稀释溶剂排出后，在管道8的入口端接入真空泵抽出流道11内的空气，由于单向阀10只能从第二流道11b到第三流道11c导通，在抽取流道11内的空气时，单向阀10起到隔断第三流道11c与外界空气的作用，在空气抽完后，关闭开关阀9，喷嘴口部处于无空气状态下，进一步起到隔绝空气的作用。
在本实施例中，所述第二通孔2a为锥形孔，所述堵头3的侧面与锥形孔相配合的锥形面，通过采用该结构设置，在起到配合密封的作用下，还具有便于制造的优点。
所述封堵机构还包括将堵头固定于通孔内的锁紧组件，通过设置该锁紧组件，在通入稀释溶剂前，通过该锁紧组件将堵头固定，避免因稀释溶剂推动堵头而造成泄漏的风险。
在本实施例中，所述锁紧组件包括抵压件13、第二弹性件12、第一限位件61和第二限位件62，所述盖板6上设置有用于安装抵压件13的安装孔6a，所述安装孔6a与导向孔42a连通，所述抵压件13安装于安装孔6a内，所述低压件13可沿安装孔轴向往复移动，所述第二弹性件设置于抵压件13与第一导向件41之间，所述第一限位件61、第二限位件62沿安装孔轴向依次固定设置于安装孔6a内，所述抵压件13上设置有限位部13a。
当需要对堵头3进行固定时，所述抵压件13沿第一沉孔轴向向第一导向件41一侧移动压缩第二弹性12件并抵住第一导向件41，并通过所述限位部13a与第一限位件61相配合，并被第一限位件61限位，使压紧件13抵紧于第一导向件41而不会松脱；在不再需要通入稀释溶剂后，使限位部13a脱离第一限位件61，在第二弹性件12的弹性力作用下，所述抵压件13沿安装孔轴向向远离第一导向件41一侧移动，使得抵压件13脱离第一导向件41，当限位部13a与第二限位件62配合时，所述抵压件13被第二限位件62限位，使其不得脱离安装孔6a。
在本实施例中，所述第一限位件61为沿安装孔周向均布的多个第一凸台，各所述第一凸台之间设置有用于限位部通过的间隙，所述限位部13a为沿安装孔周向均布的限位台，所述第二限位件为环形凸台。
通过推动抵压件13向第一导向件一侧移动，当限位台穿过间隙后，转动抵压件13，使所述限位台与第一凸台配合时，并被第一凸台限位，此时，抵压件13压缩第二弹性件12抵紧于第一导向件41(如图4、图6)；在需要解除对第一导向件41的抵压时，转动抵压件13，使限位台与间隙对正后，在第二弹性件12弹力的作用下，所述抵压件13向远离第一导向件一侧移动，并被环形凸台限位(如图5、图7)。
在本实施例中，所述第二弹性件12为弹簧，所述弹簧12外套于抵压件13上，并抵紧于抵压件与第一导向件41之间；这里采用弹簧，具有结构简单，成本低廉的优点。
在本实施例中，所述第二流道11b为开设于第一通孔侧面的螺旋槽，通过设置该螺旋槽，能减缓稀释溶剂的冲击力，从而提高该装置工作的可靠性。
在本实施例中，所述封堵座1与喷嘴7通过管螺纹连接，采用管螺纹连接，不仅能起到连接牢固，还具有对第二沉孔进行密封的优点。
最后说明的是，以上优选实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管通过上述优选实施例已经对本发明进行了详细的描述，但本领域技术人员应当理解，可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变，而不偏离本发明权利要求书所限定的范围。

Claims (10)

1.一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头，其特征在于：包括封堵座和设置于封堵座上并用于封堵喷嘴口部的封堵机构；
所述封堵座上设置有用于安装喷嘴的第一通孔，所述封堵机构包括安装座、堵头、第一弹性件和盖板，所述封堵座上开设有用于安装安装座的第一沉孔，所述安装座安装于第一沉孔内，所述安装座上开设有与堵头密封配合并连通第一通孔的第二通孔，所述堵头安装于第二通孔内，所述安装座上开设有用于安装第一弹性件并与第二通孔连通的第二沉孔，所述盖板固定设置于第二沉孔内，所述第一弹性件设置于堵头与盖板之间；
其中，在对喷嘴封堵时，所述第一通孔与喷嘴相配合，并通过所述弹性件将堵头抵紧于喷嘴的端面，从而对喷嘴口部密封。
2.根据权利要求1所述的用于光刻胶喷嘴的封堵接头，其特征在于：所述封堵机构还包括导向组件，所述导向组件包括第一导向件和第二导向件，所述第一导向件固定设置于堵头上，所述第二导向件固定设置于盖板上并外套于第一导向件，所述第一导向件可沿其轴向在第二导向件内往复移动。
3.根据权利要求2所述的用于光刻胶喷嘴的封堵接头，其特征在于：所述封堵座内设置有用于稀释溶剂流通的流道，所述流道包括第一流道、第二流道和第三流道，所述第二流道设置于第一通孔内，所述第一流道设置于第一通孔的口部一端，所述第三流道设置于第一通孔的底部一端，使稀释溶剂从第一流道流入第二流道内对喷嘴口部的光刻胶稀释清理，再通过第三流道流出。
4.根据权利要求3所述的用于光刻胶喷嘴的封堵接头，其特征在于：所述封堵座上设置有管道，所述第一流道设置管道内，所述管道上设置有用于开闭第一流道的开关阀，所述第三流道内设置有单向阀。
5.根据权利要求4所述的用于光刻胶喷嘴的封堵接头，其特征在于：所述第二通孔为锥形孔，所述堵头的侧面与锥形孔相配合的锥形面；
所述封堵机构还包括将堵头固定于通孔内的锁紧组件。
6.根据权利要求5所述的用于光刻胶喷嘴的封堵接头，其特征在于：所述锁紧组件包括抵压件、第二弹性件、第一限位件和第二限位件，所述盖板上设置有用于安装抵压件的安装孔，所述抵压件安装于安装孔内，所述弹性件设置于抵压件与第一导向件之间，所述第一限位件、第二限位件沿安装孔轴向依次设置于安装孔内，所述低压件上设置有限位部；
其中，所述限位部与第一限位件配合时，所述抵压件抵压第一导向件，使所述第一导向件固定，当所述限位部与第二限位件配合时，所述抵压件脱离第一导向件，所述第一导向件可沿其轴向移动。
7.根据权利要求6所述的用于光刻胶喷嘴的封堵接头，其特征在于：所述第一限位件为沿安装孔周向均布的多个第一凸台，各所述第一凸台之间设置有用于限位部通过的间隙，所述限位部为沿安装孔周向均布的限位台，所述第二限位件为环形凸台；
其中，当所述限位部与第一凸台配合时，抵压件压缩弹性件抵紧于第一导向件，转动抵压件，在限位台与间隙对正后，在第二弹性件弹力的作用下，所述抵压件远离第一导向件移动，并被环形凸台限位。
8.根据权利要求7所述的用于光刻胶喷嘴的封堵接头，其特征在于：所述第二弹性件为弹簧，所述弹簧外套于抵压件上，并抵紧于限位部与第一导向件之间。
9.根据权利要求3所述的用于光刻胶喷嘴的封堵接头，其特征在于：所述第二流道为开设于第一通孔侧面的螺旋槽。
10.根据权利要求1所述的用于光刻胶喷嘴的封堵接头，其特征在于：所述封堵座与喷嘴通过管螺纹连接。
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