CN112083588B - 检查*** - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检查液晶面板等显示面板的检查***，与现有技术相比，该检查***能够简化用于输送显示面板的结构。在该检查***中，将收纳有液晶面板(2)的盒(8)搬入检查装置时，在载置于面板搬入机构的盒载置部(37)的盒(8)配置于比检查装置侧的盒载置部(9)靠上侧位置的状态下，使载置于盒载置部(37)的盒(8)移动到盒载置部(9)的上方，之后，使盒载置部(37)下降，将盒(8)载置到盒载置部(9)，从检查装置搬出盒(8)时，使配置在盒载置部(9)所载置的盒(8)的下侧的面板搬出机构的盒载置部(37)上升到盒载置部(9)的上侧，将盒(8)载置到盒载置部(37)，之后，使盒载置部(37)移动。

Description

检查***

技术领域

本发明涉及一种用于检查液晶面板等显示面板的检查***。

背景技术

目前，已知进行液晶面板的检查的检查装置(例如参照专利文献1)。专利文献1所记载的检查装置编入在液晶面板的制造处理工序的中途。该检查装置具备进行液晶面板的点亮检查的探测器、向探测器输送检查前的液晶面板的搬入侧传送带、将由搬入侧传送带输送的液晶面板搬入探测器的搬入机构、从探测器搬出检查后的液晶面板的搬出机构以及输送由搬出机构搬出的液晶面板的搬出侧传送带。

在专利文献1所记载的检查装置中，在搬入侧传送带中设置有面板夹和面板升降器，该面板夹定位并支承由搬入侧传送带输送的液晶面板，该面板升降器将被面板夹支承的液晶面板抬起。被面板升降器抬起的液晶面板由搬入机构搬入探测器。另外，在搬出侧传送带中也设置有面板夹和面板升降器。当由搬出机构从探测器搬出的液晶面板被转移到面板夹时面板升降器使液晶面板下降，将其载置于搬出侧传送带上。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2007－107973号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的检查装置中，作为用于输送液晶面板的结构，除了搬入侧传送带、搬出侧传送带、面板夹及面板升降器之外，还设置有搬入机构及搬出机构。即，在专利文献1所记载的检查装置中，为了输送液晶面板，设置有许多机构，用于输送液晶面板的结构变得复杂。

因此，本发明的技术问题在于提供一种具备检查液晶面板等显示面板的检查装置的检查***，与现有技术相比，该检查***能够简化用于输送显示面板的结构。

用于解决技术问题的技术方案

为了解决上述的技术问题，本发明的检查***的特征在于，具备：检查装置，所述检查装置检查收纳于盒中状态的显示面板；面板搬入机构，所述面板搬入机构将收纳有检查前的显示面板的盒搬入检查装置；以及面板搬出机构，所述面板搬出机构从检查装置搬出收纳有检查后的显示面板的盒，检查装置具备载置盒的装置侧盒载置部，面板搬入机构及面板搬出机构具备载置盒的可动侧盒载置部和使可动侧盒载置部直线移动的移动机构，检查装置具备使装置侧盒载置部上升和下降的升降机构，或者，面板搬入机构及面板搬出机构具备使可动侧盒载置部上升和下降的升降机构，在面板搬入机构及面板搬出机构具备升降机构的情况下，移动机构使可动侧盒载置部与升降机构一起直线移动，升降机构使装置侧盒载置部或可动侧盒载置部在载置于可动侧盒载置部的盒配置得比装置侧盒载置部靠上侧的位置和可动侧盒载置部配置得比载置于装置侧盒载置部的盒靠下侧的位置之间上升和下降，移动机构使可动侧盒载置部在与上下方向正交的左右方向上往复移动，面板搬入机构的可动侧盒载置部和面板搬出机构的可动侧盒载置部在与上下方向和左右方向正交的前后方向上配置于相同位置，面板搬入机构的移动机构配置于可动侧盒载置部的前后方向的一侧，面板搬出机构的移动机构配置于可动侧盒载置部的前后方向的另一侧，将盒搬入检查装置时，在载置于面板搬入机构的可动侧盒载置部的盒配置得比装置侧盒载置部靠上侧的状态下，面板搬入机构的移动机构使载置于面板搬入机构的可动侧盒载置部的盒移动到装置侧盒载置部的上方之后，升降机构使面板搬入机构的可动侧盒载置部相对于装置侧盒载置部相对下降，将盒载置于装置侧盒载置部，从检查装置搬出盒时，升降机构使配置在装置侧盒载置部所载置的盒的下侧的面板搬出机构的可动侧盒载置部相对地上升到装置侧盒载置部的上侧并将盒载置到面板搬出机构的可动侧盒载置部之后，面板搬出机构的移动机构使面板搬出机构的可动侧盒载置部移动。

在本发明的检查***中，将盒搬入检查装置时，在载置于面板搬入机构的可动侧盒载置部的盒配置得比装置侧盒载置部靠上侧的状态下，面板搬入机构的移动机构使载置于面板搬入机构的可动侧盒载置部的盒移动到装置侧盒载置部的上方之后，升降机构使面板搬入机构的可动侧盒载置部相对于装置侧盒载置部相对地下降，将盒载置到装置侧盒载置部。另外，在本发明中，从检查装置搬出盒时，升降机构使配置在装置侧盒载置部所载置的盒的下侧的面板搬出机构的可动侧盒载置部相对地上升到装置侧盒载置部的上侧并将盒载置到面板搬出机构的可动侧盒载置部之后，面板搬出机构的移动机构使面板搬出机构的可动侧盒载置部移动。

因此，在本发明中，即使没有设置专利文献1所记载的搬入机构及搬出机构，也能够将检查前的显示面板搬入检查装置，并且能够将检查后的显示面板从检查装置搬出。因而，在本发明中，与专利文献1所记载的检查装置比较，能够简化用于输送显示面板的结构。即，在本发明中，与现有技术相比，能够简化用于输送显示面板的结构。

另外，在本发明中，尽管面板搬入机构的可动侧盒载置部和面板搬出机构的可动侧盒载置部在前后方向上配置于相同位置，但面板搬入机构的移动机构配置于可动侧盒载置部的前后方向的一侧，面板搬出机构的移动机构配置于可动侧盒载置部的前后方向的另一侧。因此，在本发明中，即使能够通过面板搬入机构的移动机构使可动侧盒载置部移动到在左右方向上配置有装置侧盒载置部的位置，且能够通过面板搬出机构的移动机构使可动侧盒载置部移动到在左右方向上配置有装置侧盒载置部的位置，也能够防止面板搬入机构的移动机构和面板搬出机构的移动机构之间的干扰。

此外，在本发明中，在“面板搬入机构的可动侧盒载置部和面板搬出机构的可动侧盒载置部在前后方向上配置于相同位置”中，除了面板搬入机构的可动侧盒载置部和面板搬出机构的可动侧盒载置部在前后方向上配置于完全相同的位置的情况以外，也包括面板搬入机构的可动侧盒载置部和面板搬出机构的可动侧盒载置部在前后方向上配置于大致相同的位置的情况。

在本发明中，例如，面板搬入机构及面板搬出机构具备升降机构。

在本发明中，例如，由面板搬入机构搬入的盒的移动方向和由面板搬出机构搬出的盒的移动方向为左右方向中的相同方向，面板搬入机构的可动侧盒载置部移动时的高度和面板搬出机构的可动侧盒载置部移动时的高度为相同高度。在这种情况下，能够将面板搬入机构的结构和面板搬出机构的结构设为相同结构。

在本发明中，优选的是，检查***具备在左右方向上排列的多个检查装置，如果将在左右方向上相邻的两个检查装置中的一个设为第一检查装置，将另一个检查装置设为第二检查装置，则由面板搬入机构搬入的盒的移动方向和由面板搬出机构搬出的盒的移动方向为左右方向中的相同方向，从第一检查装置搬出盒的面板搬出机构是将盒搬入第二检查装置的面板搬入机构。如果这样构成，则可以使用相同机构进行盒从第一检查装置的搬出和盒向第二检查装置的搬入，因此，能够简化检查***的结构。

在本发明中，优选的是，在多个检查装置中包括对显示面板进行点亮检查的点亮检查装置，如果将在左右方向上与点亮检查装置相邻的检查装置设为点亮检查相邻装置，则在点亮检查装置和点亮检查相邻装置之间配置有隧道部件，所述隧道部件在点亮检查装置和点亮检查相邻装置之间至少从上侧及前后方向两侧覆盖移动机构。如果这样构成，则即使例如从点亮检查相邻装置搬出盒的面板搬出机构作为将盒搬入点亮检查装置的面板搬入机构，在显示面板的点亮检查时，也能够通过隧道部件抑制来自点亮检查装置的外部的光进入成为暗室的点亮检查装置的内部。

在本发明中，检查***例如具备：面板收纳部，所述面板收纳部配置于由多个检查装置构成的检查装置组的左右方向的一侧，并且将检查前的显示面板收纳于空盒中；以及面板排出部，所述面板排出部配置于检查装置组的左右方向的另一侧，并且从盒取出检查后的显示面板，如果将检查装置组中配置于最靠面板收纳部侧的检查装置设为最上游检查装置，且将检查装置组中配置于最靠面板排出部侧的检查装置设为最下游检查装置，则将盒搬入最上游检查装置的面板搬入机构从面板收纳部搬出盒，从最下游检查装置搬出盒的面板搬出机构将盒搬入面板排出部。

在本发明中，优选的是，在多个检查装置中包括对显示面板进行点亮检查的点亮检查装置，如果将在左右方向上与点亮检查装置相邻的检查装置、面板收纳部或面板排出部设为点亮检查相邻装置，则在点亮检查装置和点亮检查相邻装置之间配置有隧道部件，所述隧道部件在点亮检查装置和点亮检查相邻装置之间至少从上侧及前后方向两侧覆盖移动机构。如果这样构成，则即使例如从点亮检查相邻装置搬出盒的面板搬出机构作为将盒搬入点亮检查装置的面板搬入机构，在显示面板的点亮检查时，也能够通过隧道部件抑制来自点亮检查装置的外部的光进入成为暗室的点亮检查装置的内部。

在本发明中，优选的是，检查***具备闸门部件，该闸门部件用于将隧道部件的左右方向的一端侧的一部分封闭。如果这样构成，则在显示面板的点亮检查时能够抑制来自点亮检查相邻装置的光进入成为暗室的点亮检查装置的内部。

在本发明中，优选的是，在盒及装置侧盒载置部中的任一方形成有多个第一定位孔，所述多个第一定位孔用于相对于装置侧盒载置部在水平方向上定位盒，盒及装置侧盒载置部中的任意另一方具备多个第一定位销，所述多个第一定位销***到第一定位孔中，且相对于装置侧盒载置部在水平方向上定位盒，在盒及可动侧盒载置部中的任一方形成有多个第二定位孔，所述多个第二定位孔用于相对于可动侧盒载置部在水平方向上定位盒，盒及可动侧盒载置部中的任意另一方具备多个第二定位销，所述多个第二定位销***到第二定位孔中，且相对于可动侧盒载置部在水平方向上定位盒。如果这样构成，则能够在装置侧盒载置部和可动侧盒载置部之间高精度地转移盒。

在本发明中，优选的是，检查***具备载置可动侧盒载置部的直线状的轨道，轨道的长度方向与左右方向一致，面板搬入机构及面板搬出机构具备在轨道上滚动的车轮和在前后方向上夹住轨道的一对导辊。在本发明中，因为移动机构配置于可动侧盒载置部的前后方向的一侧或另一侧，所以如果载置于可动侧盒载置部的盒及显示面板的重量增加，则通过移动机构在左右方向上移动的可动侧盒载置部的移动状态可能变得不稳定，但如果这样构成，则即使载置于可动侧盒载置部的盒及显示面板的重量增加，也能够使通过移动机构在左右方向上移动的可动侧盒载置部的移动状态稳定。

在本发明中，优选的是，面板收纳部具备对准机构，所述对准机构用于在将显示面板收纳于空盒中之前对显示面板进行位置对准，对准机构具备面板把持部件，该面板把持部件具有在对显示面板进行位置对准时吸附并把持显示面板的平面状的面板吸附面，面板把持部件由聚醚醚酮形成，在面板吸附面上形成有吸引显示面板的多个吸引孔。如果这样构成，则与在对显示面板进行位置对准时由橡胶制吸附垫把持显示面板的情况比较，能够抑制由面板把持部件把持显示面板时及从面板把持部件分离由面板把持部件把持的显示面板时的显示面板的错位。因此，能够通过对准机构高精度地对显示面板进行位置对准。

发明效果

如上所述，在本发明中，具备检查液晶面板等显示面板的检查装置的检查***与现有技术相比，能够简化用于输送显示面板的结构。

附图说明

图1是用于说明本发明的实施方式的检查***的概略结构的俯视图。

图2是用于说明图1的E部的结构的俯视图。

图3是用于说明图2所示的装置侧盒载置部及面板输送机构的结构的侧视图。

图4是用于说明图2所示的装置侧盒载置部及面板输送机构的结构的侧视图。

图5(A)是用于说明图4的F部的结构的放大图，图5(B)是用于说明图3的G部的结构的放大图。

图6是用于说明图2的H部的结构的俯视图。

图7是用于说明图1所示的对准机构的面板把持部件的结构的图。

附图标记说明

1…检查***；2…液晶面板(显示面板)；3…检查装置(第一检查装置、最上游检查装置)；4…检查装置(第一检查装置、第二检查装置、点亮检查相邻装置)；5…检查装置(第一检查装置、第二检查装置、点亮检查装置、点亮检查相邻装置)；6…检查装置(第一检查装置、第二检查装置、点亮检查装置、点亮检查相邻装置)；7…检查装置(第二检查装置、点亮检查装置、点亮检查相邻装置、最下游检查装置)；8…盒；8a…定位孔(第一定位孔)；8b…定位孔(第二定位孔)；9…盒载置部(装置侧盒载置部)；13…面板收纳部；14…面板排出部(点亮检查相邻装置)；15…检查装置组；21…面板输送机构(面板搬入机构)；22…面板输送机构(面板搬入机构、面板搬出机构)；23…面板输送机构(面板搬入机构、面板搬出机构)；24…面板输送机构(面板搬入机构、面板搬出机构)；25…面板输送机构(面板搬入机构、面板搬出机构)；26…面板输送机构(面板搬出机构)；30…定位销(第一定位销)；37…盒载置部(可动侧盒载置部)；38…升降机构；39…移动机构；42…定位销(第二定位销)；56…轨道；57…车轮；58…导辊；67～71…隧道部件；63…对准机构；64…面板把持部件；64a…面板吸附面；64b、64c…吸引孔；73…闸门部件；X…前后方向；Y…左右方向。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(检查***的概略结构)

图1是用于说明本发明的实施方式的检查***1的概略结构的俯视图。图2是用于说明图1的E部的结构的俯视图。

本实施方式的检查***1是用于检查作为显示面板的液晶面板2的***。检查***1具备检查液晶面板2的多个检查装置3～7。具体来说，检查***1具备五个检查装置3～7。如图1所示，五个检查装置3～7排列成一列。由检查装置3～7检查的液晶面板2收纳在盒8中。即，在检查装置3～7中，检查收纳在盒8中的状态的液晶面板2。

在下面的说明中，将检查装置3～7的排列方向(图1等的Y方向)设为“左右方向”，将与上下方向(铅垂方向)和左右方向正交的图1等的X方向设为“前后方向”。另外，将左右方向的一侧即图1等的Y1方向侧设为“左”侧，将左侧的相反侧即图1等的Y2方向侧设为“右”侧，将前后方向的一侧即图1等的X1方向侧设为“前”侧，将前侧的相反侧即图1等的X2方向侧设为“后”侧。

液晶面板2是中型面板。液晶面板2形成为长方形平板状。盒8整体形成为大致长方形平板状。由检查***1处理的盒8的厚度方向与上下方向一致。另外，在检查***1中，形成为大致长方形平板状的盒8的长边方向与左右方向大致一致。液晶面板2收纳于盒8的上表面侧。另外，液晶面板2以液晶面板2的厚度方向和上下方向一致的方式收纳在盒8中。

检查装置3～7从左侧朝向右侧以该顺序排列。在检查装置3中，例如，进行液晶面板2的短路检查，在检查装置4中，例如，进行液晶面板2的反向偏压检查。在检查装置5～7中，在使液晶面板2点亮的状态下进行检查对象的液晶面板2的点亮检查。即，检查装置5～7是对液晶面板2进行点亮检查的点亮检查装置，在五个检查装置3～7中，包括三个点亮检查装置。在检查液晶面板2时，检查装置5～7的内部成为暗室。此外，在检查液晶面板2时，检查装置3、4的内部也成为暗室，但即使检查液晶面板2时的检查装置3、4的内部比检查液晶面板2时的检查装置5～7的内部亮，也不会对液晶面板2的检查产生障碍。

检查装置3～7具备用于进行各种检查的检查用设备。另外，检查装置3～7具备作为载置盒8的装置侧盒载置部的盒载置部9和载置检查用设备及盒载置部9的台架10(参照图3、图4)。此外，检查装置3～7具备覆盖检查用设备及盒载置部9的前后左右的侧面及上表面的罩11。在本实施方式中，检查装置5～7分别具备罩11。另一方面，检查装置3、4的罩11是共用的，检查装置3的检查用设备及盒载置部9和检查装置4的检查用设备及盒载置部9配置于相同的罩11中。

检查***1具备在空盒8中收纳检查前的液晶面板2的面板收纳部13和从盒8取出检查后的液晶面板2的面板排出部14。面板收纳部13配置于由五个检查装置3～7构成的检查装置组15的左侧，面板排出部14配置于检查装置组15的右侧。即，面板收纳部13配置于检查装置3的左侧，面板排出部14配置于检查装置7的右侧。另外，检查***1具备将空盒8从面板排出部14输送到面板收纳部13的传送带16。传送带16例如是辊式传送带。传送带16配置于检查装置3～7、面板收纳部13及面板排出部14的后侧。

另外，检查***1具备向检查装置3～7输送液晶面板2的多个面板输送机构21～26。具体来说，检查***1具备六个面板输送机构21～26。面板输送机构21从面板收纳部13搬出收纳有检查前的液晶面板2的盒8，并将其搬入检查装置3。面板输送机构22从检查装置3搬出收纳有由检查装置3进行检查后的液晶面板2的盒8，并将其搬入检查装置4。

另外，面板输送机构23从检查装置4搬出收纳有由检查装置4进行检查后的液晶面板2的盒8，并将其搬入检查装置5，面板输送机构24从检查装置5搬出收纳有由检查装置5进行检查后的液晶面板2的盒8，并将其搬入检查装置6，面板输送机构25从检查装置6搬出收纳有由检查装置6进行检查后的液晶面板2的盒8，并将其搬入检查装置7，面板输送机构26从检查装置7搬出收纳有由检查装置7进行检查后的液晶面板2的盒8，并将其搬入面板排出部14。

本实施方式的面板输送机构21是将收纳有由检查装置3进行检查之前(检查前)的液晶面板2的盒8搬入检查装置3的面板搬入机构。即，面板输送机构21对检查装置3来说是将盒8搬入的面板搬入机构。作为将盒8搬入检查装置3的面板搬入机构的面板输送机构21从面板收纳部13搬出盒8。本实施方式的检查装置3是检查装置组15中配置于最靠面板收纳部13侧的最上游检查装置。

另外，本实施方式的面板输送机构26是从检查装置7搬出收纳有由检查装置7进行检查后(检查后)的液晶面板2的盒8的面板搬出机构。即，面板输送机构26对检查装置7来说是将盒8搬出的面板搬出机构。作为从检查装置7搬出盒8的面板搬出机构的面板输送机构26将盒8搬入面板排出部14。本实施方式的检查装置7是在检查装置组15中配置于最靠面板排出部14侧的最下游检查装置。

另外，本实施方式的面板输送机构22是从检查装置3搬出收纳有由检查装置3进行检查后的液晶面板2的盒8的面板搬出机构，并且是将收纳有由检查装置4进行检查之前的液晶面板2的盒8搬入检查装置4的面板搬入机构。即，面板输送机构22对检查装置3来说是将盒8搬出的面板搬出机构，但对检查装置4来说是将盒8搬入的面板搬入机构，从检查装置3搬出收纳有检查后的液晶面板2的盒8的面板搬出机构作为将收纳有检查前的液晶面板2的盒8搬入检查装置4的面板搬入机构。

另外，面板输送机构23是从检查装置4搬出收纳有由检查装置4进行检查后的液晶面板2的盒8的面板搬出机构，并且是将收纳有由检查装置5进行检查之前的液晶面板2的盒8搬入检查装置5的面板搬入机构。即，面板输送机构23对检查装置4来说是将盒8搬出的面板搬出机构，但对检查装置5来说是将盒8搬入的面板搬入机构，从检查装置4搬出收纳有检查后的液晶面板2的盒8的面板搬出机构作为将收纳有检查前的液晶面板2的盒8搬入检查装置5的面板搬入机构。

另外，面板输送机构24是从检查装置5搬出收纳有由检查装置5进行检查后的液晶面板2的盒8的面板搬出机构，并且是将收纳有由检查装置6进行检查之前的液晶面板2的盒8搬入检查装置6的面板搬入机构。即，面板输送机构24对检查装置5来说是将盒8搬出的面板搬出机构，但对检查装置6来说是将盒8搬入的面板搬入机构，将收纳有检查后的液晶面板2的盒8从检查装置5搬出的面板搬出机构作为将收纳有检查前的液晶面板2的盒8搬入检查装置6的面板搬入机构。

另外，面板输送机构25是将收纳有由检查装置6进行检查后的液晶面板2的盒8从检查装置6搬出的面板搬出机构，并且是将收纳有由检查装置7进行检查之前的液晶面板2的盒8搬入检查装置7的面板搬入机构。即，面板输送机构25对检查装置6来说是将盒8搬出的面板搬出机构，但对检查装置7来说是将盒8搬入的面板搬入机构，从检查装置6搬出收纳有检查后的液晶面板2的盒8的面板搬出机构作为将收纳有检查前的液晶面板2的盒8搬入检查装置7的面板搬入机构。

在本实施方式中，在左右方向上相邻的检查装置3和检查装置4的关系中，检查装置3是第一检查装置，检查装置4是第二检查装置。另外，在左右方向上相邻的检查装置4和检查装置5的关系中，检查装置4是第一检查装置，检查装置5是第二检查装置，在左右方向上相邻的检查装置5和检查装置6的关系中，检查装置5是第一检查装置，检查装置6是第二检查装置，在左右方向上相邻的检查装置6和检查装置7的关系中，检查装置6是第一检查装置，检查装置7是第二检查装置。

(盒载置部及盒载置部的周边部的结构)

图3、图4是用于说明图2所示的盒载置部9及面板输送机构24的结构的侧视图。图5(A)是用于说明图4的F部的结构的放大图，图5(B)是用于说明图3的G部的结构的放大图。

盒载置部9具备载置盒8的多个载置部件29和用于相对于盒载置部9在水平方向上定位盒8的多根定位销30。本实施方式的盒载置部9具备八个载置部件29和两根定位销30。另外，盒载置部9具备固定载置部件29及定位销30的支承架31。

支承架31固定于台架10的上表面。本实施方式的盒载置部9具备用于从下侧支承盒8的左前端部的支承架31、用于从下侧支承盒8的右前端部的支承架31、用于从下侧支承盒8的左后端部的支承架31以及用于从下侧支承盒8的右后端部的支承架31。即，盒载置部9具备四个支承架31。

用于从下侧支承盒8的左前端部的支承架31和用于从下侧支承盒8的右前端部的支承架31以在左右方向上隔开间隔的状态配置，用于从下侧支承盒8的左后端部的支承架31和用于从下侧支承盒8的右后端部的支承架31以在左右方向上隔开间隔的状态配置。另外，用于从下侧支承盒8的前端部的两个支承架31和用于从下侧支承盒8的后端部的两个支承架31以在前后方向上隔开间隔的状态配置。

载置部件29的上表面为与上下方向正交的平面。盒8的下表面与载置部件29的上表面接触。盒8的前端部载置在八个载置部件29中的四个载置部件29上，盒8的后端部载置在其余四个载置部件29上。载置盒8的前端部的四个载置部件29以在左右方向上隔开间隔的状态配置，载置盒8的后端部的四个载置部件29以在左右方向上隔开间隔的状态配置。在四个支承架31各自的上表面上固定有两个载置部件29。

两根定位销30以在前后方向及左右方向上相互隔开间隔的状态配置。例如，两根定位销30固定在用于从下侧支承盒8的左前端部的支承架31和用于从下侧支承盒8的右后端部的支承架31。定位销30从支承架31的上表面朝向上侧突出。

在盒8中形成有供定位销30***的两个定位孔8a(参照图5(A))。即，在盒8中形成有用于相对于盒载置部9在水平方向上定位盒8的两个定位孔8a。在本实施方式中，当两根定位销30***到两个定位孔8a中时，盒8相对于盒载置部9在水平方向上被定位。本实施方式的定位销30是第一定位销，定位孔8a是第一定位孔。

检查装置3～7具备用于将载置于载置部件29的盒8按压到载置部件29上的两个夹紧机构32。两个夹紧机构32从上侧按压载置在载置部件29上的盒8的配置于对角线上的两个角部中的每一个。夹紧机构32例如设置于用于从下侧支承盒8的左前端部的支承架31的左侧和用于从下侧支承盒8的右后端部的支承架31的右侧。夹紧机构32具备从上侧按压盒8的角部的爪部件33及使爪部件33上升和下降的气缸34。

(面板输送机构的结构)

图6是用于说明图2的H部的结构的俯视图。

面板输送机构24具备作为载置盒8的可动侧盒载置部的盒载置部37、使盒载置部37上升和下降的升降机构38以及使盒载置部37与升降机构38一起直线移动的移动机构39。面板输送机构21～23、25、26具有与面板输送机构24相同的结构。即，面板输送机构21～23、25、26与面板输送机构24同样地具备盒载置部37、升降机构38以及移动机构39。移动机构39使盒载置部37在左右方向上往复移动。即，左右方向(Y方向)是通过移动机构39而移动的盒载置部37的移动方向。

盒载置部37具备形成为大致长方形的平板状的底板40。盒载置部37配置为底板40的厚度方向和上下方向一致。另外，盒载置部37配置为形成为大致长方形的平板状的底板40的长边方向和左右方向一致。盒载置部37的前后方向的宽度(底板40的短边方向的宽度)比用于从下侧支承盒8的前端部的支承架31和用于从下侧支承盒8的后端部的支承架31的前后方向的间隔窄。

另外，盒配置部37具备载置盒8的多个载置部件41和用于相对于盒载置部37在水平方向上定位盒8的多根定位销42。本实施方式的盒载置部37具备四个载置部件41和两根定位销42。载置部件41的上表面为与上下方向正交的平面。盒8的下表面与载置部件41的上表面接触。载置部件41固定于底板40的上表面。另外，载置部件41固定于底板40的四个角。此外，在图2的一部分及图6中，省略载置部件41的图示。

两根定位销42固定于底板40的前后方向的两端侧。另外，两根定位销42固定于底板40的左右方向的中心位置。定位销42从底板40的上表面朝向上侧突出。在盒8中形成有供定位销42***的两个定位孔8b(参照图5(B))。即，在盒8中形成有用于相对于盒载置部37在水平方向上定位盒8的两个定位孔8b。在本实施方式中，当将两根定位销42***到两个定位孔8b中时，盒8相对于盒载置部37在水平方向上被定位。本实施方式的定位销42是第二定位销，定位孔8b是第二定位孔。

盒载置部37在前后方向上配置于用于从下侧支承盒8的前端部的支承架31和用于从下侧支承盒8的后端部的支承架31之间。另外，面板输送机构21的盒载置部37、面板输送机构22的盒载置部37、面板输送机构23的盒载置部37、面板输送机构24的盒载置部37、面板输送机构25的盒载置部37以及面板输送机构26的盒载置部37在前后方向上配置于相同位置。

具体来说，面板输送机构21的盒载置部37、面板输送机构22的盒载置部37、面板输送机构23的盒载置部37、面板输送机构24的盒载置部37、面板输送机构25的盒载置部37以及面板输送机构26的盒载置部37在前后方向上配置于完全相同的位置，或者，在前后方向上配置于大致相同的位置。

升降机构38使盒载置部37在载置于盒载置部37的盒8配置得比盒载置部9靠上侧的位置(图3所示的位置)和盒载置部37配置得比载置于盒载置部9的盒8靠下侧的位置(图4所示的位置)之间上升和下降。升降机构38具备气缸45、固定气缸45的主体部的支承架46以及在上下方向上引导盒载置部37的引导机构47。

气缸45配置为气缸45的杆45a(参照图3)向上侧突出。杆45a的前端部(上端部)固定于底板40的中心部。引导机构47由固定于底板40上的四根引导轴48和用于插通引导轴48的四个导套49构成。引导轴48配置为引导轴48的轴向和上下方向一致。引导轴48从底板40的下表面向下侧突出。导套49固定于支承架46。

移动机构39具备滑块52和驱动引导机构53，该滑块52在左右方向上呈直线状移动，该驱动引导机构53使滑块52在左右方向上移动，并且在左右方向上引导滑块52。驱动引导机构53形成为在左右方向上细长的直线状。驱动引导机构53安装于台架10的上表面。滑块52从上侧安装于驱动引导机构53上。在滑块52上固定有支承架46。

驱动引导机构53具备用于使滑块52在左右方向上移动的电动机、将电动机的动力传递给滑块52的动力传递机构以及用于在左右方向上引导滑块52的导轨。滑块52与导轨卡合。动力传递机构例如是具备利用电动机的动力来旋转的丝杠轴和固定于滑块52上并且与丝杠轴卡合的螺母的滚珠丝杠。

移动机构39在前后方向上配置于用于从下侧支承盒8的前端部的支承架31和用于从下侧支承盒8的后端部的支承架31之间。另外，面板输送机构21的移动机构39配置于盒载置部37的后侧，面板输送机构22的移动机构39配置于盒载置部37的前侧，面板输送机构23的移动机构39配置于盒载置部37的后侧，面板输送机构24的移动机构39配置于盒载置部37的前侧，面板输送机构25的移动机构39配置于盒载置部37的后侧，面板输送机构26的移动机构39配置于盒载置部37的前侧。

即，面板输送机构21～26的移动机构39在左右方向上交错排列。另外，面板输送机构21的移动机构39、面板输送机构22的移动机构39、面板输送机构23的移动机构39、面板输送机构24的移动机构39、面板输送机构25的移动机构39以及面板输送机构26的移动机构39在上下方向上配置于相同位置。

面板输送机构22的驱动引导机构53的左端配置于比面板输送机构21的驱动引导机构53的右端靠左侧的位置。同样地，面板输送机构23的驱动引导机构53的左端配置于比面板输送机构22的驱动引导机构53的右端靠左侧的位置，面板输送机构24的驱动引导机构53的左端配置于比面板输送机构23的驱动引导机构53的右端靠左侧的位置，面板输送机构25的驱动引导机构53的左端配置于比面板输送机构24的驱动引导机构53的右端靠左侧的位置，面板输送机构26的驱动引导机构53的左端配置于比面板输送机构25的驱动引导机构53的右端靠左侧的位置。

即，从前后方向观察时，面板输送机构21的驱动引导机构53的右端部和面板输送机构22的驱动引导机构53的左端部重叠。另外，从前后方向观察时，面板输送机构22的驱动引导机构53的右端部和面板输送机构23的驱动引导机构53的左端部重叠，面板输送机构23的驱动引导机构53的右端部和面板输送机构24的驱动引导机构53的左端部重叠，面板输送机构24的驱动引导机构53的右端部和面板输送机构25的驱动引导机构53的左端部重叠，面板输送机构25的驱动引导机构53的右端部和面板输送机构26的驱动引导机构53的左端部重叠。

面板输送机构21的移动机构39使面板输送机构21的盒载置部37及升降机构38移动到能够将盒8交付给检查装置3的盒载置部9的位置。面板输送机构22的移动机构39使面板输送机构22的盒载置部37及升降机构38在能够从检查装置3的盒载置部9接收盒8的位置和能够将盒8交付给检查装置4的盒载置部9的位置之间移动。面板输送机构23的移动机构39使面板输送机构23的盒载置部37及升降机构38在能够从检查装置4的盒载置部9接收盒8的位置和能够将盒8交付给检查装置5的盒载置部9的位置之间移动。

面板输送机构24的移动机构39使面板输送机构24的盒载置部37及升降机构38在能够从检查装置5的盒载置部9接收盒8的位置和能够将盒8交付给检查装置6的盒载置部9的位置之间移动。面板输送机构25的移动机构39使面板输送机构25的盒载置部37及升降机构38在能够从检查装置6的盒载置部9接收盒8的位置和能够将盒8交付给检查装置7的盒载置部9的位置之间移动。面板输送机构26的移动机构39使面板输送机构26的盒载置部37及升降机构38移动到能够从检查装置7的盒载置部9接收盒8的位置。

在支承架46的下侧配置有两个轨道56，升降机构38及盒载置部37载置于该两个轨道56上。即，检查***1具备载置升降机构38及盒载置部37的两个轨道56。轨道56固定于台架10的上表面。轨道56的长度方向和左右方向一致。两个轨道56以在前后方向上隔开间隔的状态配置。轨道56在左右方向上形成于面板输送机构21～26的盒载置部37及升降机构38的可动范围的整个区域。

在支承架46上安装有在轨道56上滚动的车轮(辊)57和在前后方向上夹住轨道56的一对导辊58。即，面板输送机构21～26具备车轮57和一对导辊58。车轮57及导辊58是滚珠轴承。车轮57在底板40的四个角的下侧安装于支承架46。一对导辊58例如在前后方向上夹住两个轨道56中配置于前侧的轨道56。另外，一对导辊58安装于支承架46的左右两端侧。

如上所述，检查装置3～7从左侧朝向右侧按该顺序排列，面板收纳部13配置于检查装置3的左侧，面板排出部14配置于检查装置3的右侧。另外，如上所述，面板输送机构21从面板收纳部13搬出盒8并将其搬入检查装置3，面板输送机构22从检查装置3搬出盒8并将其搬入检查装置4，面板输送机构23从检查装置4搬出盒8并将其搬入检查装置5，面板输送机构24从检查装置5搬出盒8并将其搬入检查装置6，面板输送机构25从检查装置6搬出盒8并将其搬入检查装置7，面板输送机构26从检查装置7搬出盒8并将其搬入面板排出部14。

即，由面板输送机构21～25搬入的盒8向右方向移动，由面板输送机构22～26搬出的盒8向右方向移动。即，在本实施方式中，由面板输送机构21～25搬入的盒8的移动方向和由面板输送机构22～26搬出的盒8的移动方向为左右方向中的相同方向。

将盒8搬入检查装置3～7时，在载置于盒载置部37的盒8配置得比盒载置部9靠上侧的状态下(参照图3)，移动机构39使载置于盒载置部37的盒8向右方向移动到盒载置部9的上方之后，升降机构38使盒载置部37下降，将盒8载置到盒载置部9(参照图4)。此时，盒载置部37下降到比载置于盒载置部9的盒8靠下侧的位置。另外，此时，将定位销30***到定位孔8a中。当盒8载置在盒载置部9时，夹紧机构32将盒8按压到载置部件29上。在检查装置3～7中，在该状态下进行液晶面板2的检查。

从检查装置3～7搬出盒8时，首先，使搬出盒8的面板输送机构22～26的盒载置部37移动到载置于盒载置部9的盒8的下侧。此时，盒载置部37配置于比载置于盒载置部9的盒8靠下侧的位置。另外，解除夹紧机构32对盒8的夹紧状态。其后，升降机构38使配置在盒载置部9所载置的盒8的下侧的盒载置部37上升到盒载置部9的上侧并将盒8载置到盒载置部37之后(参照图4、图3)，移动机构39使盒载置部37向右方向移动。当盒8被载置在盒载置部37上时，将定位销42***到定位孔8b中。

在本实施方式中，面板输送机构21的盒载置部37移动时的高度、面板输送机构22的盒载置部37移动时的高度、面板输送机构23的盒载置部37移动时的高度、面板输送机构24的盒载置部37移动时的高度、面板输送机构25的盒载置部37移动时的高度以及面板输送机构26的盒载置部37移动时的高度为相同高度。

此外，检查装置3～7具备探测机构，该探测机构用于探测盒载置部37已经配置于能够在盒载置部9和盒载置部37之间转移盒8的位置。基于该探测机构的探测结果来控制面板输送机构21～26的移动机构39(具体来说，是移动机构39的电动机)。

因此，能够防止在检查装置3的内部的面板输送机构21的盒载置部37与面板输送机构22的盒载置部37的接触、检查装置4的内部的面板输送机构22的盒载置部37与面板输送机构23的盒载置部37的接触，检查装置5的内部的面板输送机构23的盒载置部37与面板输送机构24的盒载置部37的接触、检查装置6的内部的面板输送机构24的盒载置部37与面板输送机构25的盒载置部37的接触以及检查装置7的内部的面板输送机构25的盒载置部37与面板输送机构26的盒载置部37的接触。

(面板收纳部及面板排出部的概略结构)

图7是用于说明图1所示的对准机构63的面板把持部件64的结构的图。

面板收纳部13具备盒输送机构61，其将输送到传送带16的左端部的空盒8输送到检查装置3的左侧。面板排出部14具备盒输送机构62，其将由面板输送机构26输送到面板排出部14并取出液晶面板2后的空盒8输送到传送带16的右端部。盒输送机构61、62例如是二轴正交机器人。

另外，面板收纳部13具备用于在收纳于空盒8之前对液晶面板2进行位置对准的对准机构63。对准机构63具备在对液晶面板2进行位置对准时把持液晶面板2的面板把持部件64。另外，对准机构63具备使面板把持部件64在前后左右方向上移动并且使面板把持部件64以上下方向为转动的轴向而转动的把持部件驱动机构、载置液晶面板2的对准台及对准用摄像头等。

面板把持部件64由聚醚醚酮形成。另外，面板把持部件64例如形成为平板状，配置为面板把持部件64的厚度方向和上下方向一致。面板把持部件64的下表面为吸附并把持液晶面板2的平面状的面板吸附面64a。在面板吸附面64a上形成有吸引液晶面板2的多个吸引孔64b、64c。

具体来说，在面板吸附面64a上形成有用于吸引规定大小的液晶面板2的多个吸引孔64b和用于吸引比由多个吸引孔64b吸引的液晶面板2大的液晶面板2的多个吸引孔64c。在本实施方式中，能够独立地进行多个吸引孔64b对液晶面板2的吸引和多个吸引孔64c对液晶面板2的吸引。

在对准机构63中，由对准用的摄像头确认了载置于对准台上的液晶面板2的方向之后，由面板把持部件64把持液晶面板2并将其抬起。另外，基于摄像头的确认结果，通过使面板把持部件64在前后左右方向上移动或转动，对液晶面板2进行位置对准。位置对准后的液晶面板2被对准机构63自动收纳到盒8中。

(隧道部件及闸门部件的结构)

如图2所示，在检查装置5和检查装置6之间配置有隧道部件67，该隧道部件67在检查装置5和检查装置6之间从上侧及前后方向两侧覆盖面板输送机构24的移动机构39。具体来说，在检查装置5的罩11和检查装置6的罩11之间配置有隧道部件67。

另外，如图1所示，在检查装置4和检查装置5之间配置有隧道部件68，该隧道部件68在检查装置4和检查装置5之间从上侧及前后方向两侧覆盖面板输送机构23的移动机构39，在检查装置6和检查装置7之间配置有隧道部件69，该隧道部件69在检查装置6和检查装置7之间从上侧及前后方向两侧覆盖面板输送机构25的移动机构39。具体来说，在检查装置3、4的罩11和检查装置5的罩11之间配置有隧道部件68，在检查装置6的罩11和检查装置7的罩11之间配置有隧道部件69。

另外，在检查装置7和面板排出部14之间配置有隧道部件70，该隧道部件70在检查装置7和面板排出部14之间从上侧及前后方向两侧覆盖面板输送机构26的移动机构39，在面板收纳部13和检查装置3之间配置有隧道部件71，该隧道部件71从上侧及前后方向两侧覆盖面板输送机构21的移动机构39。具体来说，在检查装置7的罩11和面板排出部14的罩之间配置有隧道部件70，在面板收纳部13的罩和检查装置3、4的罩11之间配置有隧道部件71。

隧道部件67～71形成为左右方向的两侧和下侧开口的方槽状。隧道部件67～71还从上侧及前后方向两侧覆盖两个轨道56。隧道部件67的左端配置于检查装置5的罩11的内部，隧道部件67的右端配置于检查装置6的罩11的内部。隧道部件68的左端配置于检查装置3、4的罩11的内部，隧道部件68的右端配置于检查装置5的罩11的内部。

隧道部件69的左端配置于检查装置6的罩11的内部，隧道部件69的右端配置于检查装置7的罩11的内部。隧道部件70的左端配置于检查装置7的罩11的内部，隧道部件70的右端配置于面板排出部14的罩的内部。隧道部件71的左端配置于面板收纳部13的罩的内部，隧道部件71的右端配置于检查装置3、4的罩11的内部。

在左右方向上的隧道部件67～70的一端侧配置有用于封闭隧道部件67～70的一端侧的一部分的闸门部件73。在本实施方式中，闸门部件73配置于隧道部件67、68、70的右侧和隧道部件69的左侧。闸门部件73连接至使闸门部件73移动的闸门驱动机构。闸门驱动机构使闸门部件73在闸门部件73将隧道部件67～70的一端侧的一部分封闭的关闭位置和闸门部件73将隧道部件67～70的一端侧开放的开放位置之间移动。

在检查装置5中进行液晶面板2的点亮检查时，配置于隧道部件67的右侧的闸门部件73将隧道部件67的右端侧的一部分封闭，并且配置于隧道部件68的右侧的闸门部件73将隧道部件68的右端侧的一部分封闭。另外，在检查装置6中进行液晶面板2的点亮检查时，配置于隧道部件67的右侧的闸门部件73将隧道部件67的右端侧的一部分封闭，并且配置于隧道部件69的左侧的闸门部件73将隧道部件69的左端侧的一部分封闭，在检查装置7中进行液晶面板2的点亮检查时，配置于隧道部件69的左侧的闸门部件73将隧道部件69的左端侧的一部分封闭，并且配置于隧道部件70的右侧的闸门部件73将隧道部件69的右端侧的一部分封闭。

在本实施方式中，对于检查装置5来说，检查装置4及检查装置6是在左右方向上与作为点亮检查装置的检查装置5相邻的点亮检查相邻装置。另外，对于检查装置6来说，检查装置5及检查装置7是在左右方向上与作为点亮检查装置的检查装置6相邻的点亮检查相邻装置。另外，对于检查装置7来说，检查装置6及面板排出部14是在左右方向上与作为点亮检查装置的检查装置7相邻的点亮检查相邻装置。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，在本实施方式中，将盒8搬入检查装置3～7时，在载置于盒载置部37的盒8配置于比盒载置部9靠上侧的位置的状态下，移动机构39使载置于盒载置部37的盒8移动到盒载置部9的上方之后，升降机构38使盒载置部37下降，将盒8载置到盒载置部9。另外，在本实施方式中，从检查装置3～7搬出盒8时，升降机构38使配置在盒载置部9所载置的盒8的下侧的盒载置部37上升到盒载置部9的上侧并将盒8载置到盒载置部37之后，移动机构39使盒载置部37移动。

因此，在本实施方式中，即使未安装上述的专利文献1所记载的搬入机构及搬出机构，也能够将液晶面板2搬入检查装置3～7，并且能够从检查装置3～7搬出液晶面板2。因此，在本实施方式中，与现有技术相比，能够简化用于输送液晶面板2的结构。

在本实施方式中，面板输送机构21的盒载置部37和面板输送机构22的盒载置部37在前后方向上配置于相同位置，但面板输送机构21的移动机构39配置于盒载置部37的后侧，面板输送机构22的移动机构39配置于盒载置部37的前侧。因此，在本实施方式中，即使能够通过面板输送机构21的移动机构39使盒载置部37移动到在左右方向上配置有检查装置3的盒载置部9的位置，且能够通过面板输送机构22的移动机构39使盒载置部37移动到在左右方向上配置有检查装置3的盒载置部9的位置，也能够防止面板输送机构21的移动机构39和面板输送机构22的移动机构39之间的干扰。

同样地，在本实施方式中，面板输送机构23的移动机构39配置于盒载置部37的后侧，面板输送机构24的移动机构39配置于盒载置部37的前侧，面板输送机构25的移动机构39配置于盒载置部37的后侧，面板输送机构26的移动机构39配置于盒载置部37的前侧，因此，能够防止面板输送机构22的移动机构39和面板输送机构23的移动机构39之间的干扰、面板输送机构23的移动机构39和面板输送机构24的移动机构39之间的干扰、面板输送机构24的移动机构39和面板输送机构25的移动机构39之间的干扰及面板输送机构25的移动机构39和面板输送机构26的移动机构39之间的干扰。

在本实施方式中，面板输送机构22是从检查装置3搬出盒8的面板搬出机构，并且是将盒8搬入检查装置4的面板搬入机构，由面板输送机构22进行盒8从检查装置3的搬出和盒8向检查装置4的搬入。因此，在本实施方式中，能够简化检查***1的结构。

同样地，在本实施方式中，面板输送机构23是从检查装置4搬出盒8的面板搬出机构，并且是将盒8搬入检查装置5的面板搬入机构，面板输送机构24是从检查装置5搬出盒8的面板搬出机构，并且是将盒8搬入检查装置6的面板搬入机构，面板输送机构25是从检查装置6搬出盒8的面板搬出机构，并且是将盒8搬入检查装置7的面板搬入机构，因此，能够简化检查***1的结构。

在本实施方式中，在检查装置4和检查装置5之间配置有隧道部件68，该隧道部件68从上侧及前后方向两侧覆盖面板输送机构23的移动机构39，在检查装置5和检查装置6之间配置有隧道部件67，该隧道部件67从上侧及前后方向两侧覆盖面板输送机构24的移动机构39，在检查装置6和检查装置7之间配置有隧道部件69，该隧道部件69从上侧及前后方向两侧覆盖面板输送机构25的移动机构39，在检查装置7和面板排出部14之间配置有隧道部件70，该隧道部件70从上侧及前后方向两侧覆盖面板输送机构26的移动机构39。

因此，在本实施方式中，能够通过隧道部件67～70抑制来自检查装置5～7的外部的光进入作为点亮检查装置的检查装置5～7的内部。即，能够抑制来自检查装置5～7的外部的光进入在液晶面板2的点亮检查时成为暗室的检查装置5～7的内部。因此，在本实施方式中，能够在检查装置5～7中进行液晶面板2的适当的点亮检查。

在本实施方式中，在隧道部件67、68的左右方向上的一端侧配置有用于将隧道部件67、68的一端侧的一部分封闭的闸门部件73，在检查装置5中进行液晶面板2的点亮检查时，闸门部件73将隧道部件67、68的一端侧的一部分封闭。因此，在本实施方式中，即使检查装置4、6中的液晶面板2的检查时机和检查装置5中的液晶面板2的检查时机错开，也能够抑制来自检查装置4、6的光进入进行点亮检查的检查装置5的内部。

另外，在本实施方式中，在隧道部件67、69的左右方向上的一端侧配置有闸门部件73，在检查装置6中进行液晶面板2的点亮检查时，因为闸门部件73将隧道部件67、69的一端侧的一部分封闭，所以即使检查装置5、7中的液晶面板2的检查时机和检查装置6中的液晶面板2的检查时机错开，也能够抑制来自检查装置5、7的光进入进行点亮检查的检查装置6的内部。

另外，在本实施方式中，在隧道部件69、70的左右方向上的一端侧配置有闸门部件73，在检查装置7中进行液晶面板2的点亮检查时，因为闸门部件73将隧道部件69、70的一端侧的一部分封闭，所以即使检查装置6中的液晶面板2的检查时机和检查装置7中的液晶面板2的检查时机错开，也能够抑制来自检查装置6的光进入进行点亮检查的检查装置7的内部，并且能够抑制来自面板排出部14的光进入检查装置7的内部。因此，在本实施方式中，能够在检查装置5～7中进行液晶面板2的适当的点亮检查。

在本实施方式中，在盒8中形成有用于相对于盒载置部9在水平方向上定位盒8的两个定位孔8a，盒载置部9具备***到定位孔8a中并相对于盒载置部9在水平方向上定位盒8的两根定位销30。另外，在本实施方式中，在盒8中形成有用于相对于盒载置部37在水平方向上定位盒8的两个定位孔8b，盒载置部37具备***到定位孔8b中并相对于盒载置部37在水平方向上定位盒8的两根定位销42。因此，在本实施方式中，能够在盒载置部9和盒载置部37之间高精度地转移盒8。

在本实施方式中，在支承架46上安装有在轨道56上滚动的车轮57和在前后方向上夹住轨道56的一对导辊58。因此，在本实施方式中，即使载置于盒载置部37的盒8及液晶面板2的重量增加，也能够使通过移动机构39在左右方向上移动的盒载置部37的移动状态稳定。

在本实施方式中，对液晶面板2进行位置对准时吸附并把持液晶面板2的面板把持部件64由聚醚醚酮形成，并且在面板把持部件64的平面状的面板吸附面64a上形成有多个吸引孔64b、64c。因此，在本实施方式中，与对液晶面板2进行位置对准时由橡胶制吸附垫把持液晶面板2的情况比较，能够抑制由面板把持部件64把持液晶面板2时及从面板把持部件64分离由面板把持部件64把持的液晶面板2时的液晶面板2的错位。因此，在本实施方式中，能够通过对准机构63高精度地对液晶面板2进行位置对准。

(其他实施方式)

上述实施方式是本发明的最佳实施方式的一例，但不限于此，在不变更本发明的主旨的范围内能够实施各种变形。

在上述实施方式中，检查装置3～7也可以具备使盒载置部9上升和下降的升降机构。在这种情况下，不需要升降机构38。另外，在这种情况下，升降机构使盒载置部9在载置于盒载置部37的盒8配置得比盒载置部9靠上侧的位置和盒载置部37配置得比载置于盒载置部9的盒8靠下侧的位置之间上升和下降。

另外，在这种情况下，将盒8搬入检查装置3～7时，在盒载置部9下降以使载置于盒载置部37的盒8配置于比盒载置部9靠上侧的位置的状态下，移动机构39使载置于盒载置部37的盒8向右方向移动到盒载置部9的上方之后，使盒载置部9上升(即，使盒载置部37相对于盒载置部9相对地下降)，将盒8载置到盒载置部9。

另外，在该这种情况下，从检查装置3～7搬出盒8时，在盒载置部37被配置在盒载置部9所载置的盒8的下侧的状态下，使盒载置部9下降到盒载置部37的下侧(即，使配置在盒载置部9所载置的盒8的下侧的盒载置部37相对地上升到盒载置部9的上侧)并将盒8载置到盒载置部37之后，移动机构39使盒载置部37向右方向移动。

在上述实施方式中，也可以是，在盒载置部9形成有相当于定位孔8a的定位孔，且盒8具备相当于定位销30的定位销。另外，在上述实施方式中，也可以是，在盒载置部37形成有相当于定位孔8b的定位孔，且盒8具备相当于定位销42的定位销。

在上述实施方式中，隧道部件67～71也可以从下侧覆盖移动机构39。即，隧道部件67～71也可以从上下方向的两侧及前后方向的两侧覆盖移动机构39。在这种情况下，隧道部件67～71形成为例如左右方向的两侧开口的方筒状。另外，在上述实施方式中，在载置于盒载置部37的盒8及液晶面板2的重量较轻的情况下，检查***1也可以不具备轨道56、车轮57及导辊58。

在上述实施方式中，面板收纳部13也可以不具备盒输送机构61。在这种情况下，作业人员将输送到传送带16的左端部的空盒8运送到检查装置3的左侧。另外，如果作业人员将检查前的液晶面板2收纳到空盒8中，则面板收纳部13也可以不具备对准机构63。另外，在上述实施方式中，面板排出部14也可以不具备盒输送机构62。在这种情况下，作业人员将取出液晶面板2后的空盒8运送到传送带16的右端部。

在上述实施方式中，检查***1具备的检查装置的数量可以是六个以上，也可以是四个以下。另外，在检查***1具备的检查装置的数量是一个的情况下，由面板搬入机构搬入检查装置的盒8的移动方向和由面板搬出机构从检查装置搬出的盒8的移动方向也可以为相反方向。例如也可以是，由面板搬入机构搬入检查装置的盒8的移动方向为右方向，由面板搬出机构从检查装置搬出的盒8的移动方向为左方向。

在上述实施方式中，面板把持部件64也可以由聚醚醚酮以外的材料形成。另外，对准机构63也可以具备吸附并把持液晶面板2的橡胶制吸附垫来代替面板把持部件64。另外，在上述实施方式中，由检查***1检查的显示面板是液晶面板2，但由检查***1输送的显示面板也可以是液晶面板2以外的显示面板。例如，由检查***1输送的显示面板也可以是有机EL(电致发光)面板。

Claims (11)

1.一种检查***，其特征在于，具备：

检查装置，所述检查装置检查收纳在盒中的状态的显示面板；面板搬入机构，所述面板搬入机构将收纳有检查前的所述显示面板的所述盒搬入所述检查装置；以及面板搬出机构，所述面板搬出机构从所述检查装置搬出收纳有检查后的所述显示面板的所述盒，

所述检查装置具备载置所述盒的装置侧盒载置部，

所述面板搬入机构及所述面板搬出机构具备载置所述盒的可动侧盒载置部和使所述可动侧盒载置部直线移动的移动机构，

所述检查装置具备升降机构，所述升降机构使所述装置侧盒载置部在载置于所述可动侧盒载置部的所述盒配置得比所述装置侧盒载置部靠上侧的位置和所述可动侧盒载置部配置得比载置于所述装置侧盒载置部的所述盒靠下侧的位置之间上升和下降；或者，所述面板搬入机构及所述面板搬出机构具备升降机构，所述升降机构使所述可动侧盒载置部在载置于所述可动侧盒载置部的所述盒配置得比所述装置侧盒载置部靠上侧的位置和所述可动侧盒载置部配置得比载置于所述装置侧盒载置部的所述盒靠下侧的位置之间上升和下降，且所述移动机构使所述可动侧盒载置部与所述升降机构一起直线移动，

所述移动机构使所述可动侧盒载置部在与上下方向正交的左右方向上往复移动，

所述面板搬入机构的所述可动侧盒载置部和所述面板搬出机构的所述可动侧盒载置部在与上下方向和左右方向正交的前后方向上配置于相同位置，

所述面板搬入机构的所述移动机构配置于所述可动侧盒载置部的前后方向的一侧，

所述面板搬出机构的所述移动机构配置于所述可动侧盒载置部的前后方向的另一侧，

将所述盒搬入所述检查装置时，在载置于所述面板搬入机构的所述可动侧盒载置部的所述盒配置于比所述装置侧盒载置部靠上侧的位置的状态下，所述面板搬入机构的所述移动机构使载置于所述面板搬入机构的所述可动侧盒载置部的所述盒移动到所述装置侧盒载置部的上方，之后，所述升降机构使所述面板搬入机构的所述可动侧盒载置部相对于所述装置侧盒载置部相对地下降，将所述盒载置在所述装置侧盒载置部，

从所述检查装置搬出所述盒时，所述升降机构使配置在所述装置侧盒载置部所载置的所述盒的下侧的所述面板搬出机构的所述可动侧盒载置部相对地上升到所述装置侧盒载置部的上侧并将所述盒载置到所述面板搬出机构的所述可动侧盒载置部之后，所述面板搬出机构的所述移动机构使所述面板搬出机构的所述可动侧盒载置部移动。

2.根据权利要求1所述的检查***，其特征在于，

所述面板搬入机构及所述面板搬出机构具备所述升降机构。

3.根据权利要求1或2所述的检查***，其特征在于，

由所述面板搬入机构搬入的所述盒的移动方向和由所述面板搬出机构搬出的所述盒的移动方向为左右方向中的相同方向，

所述面板搬入机构的所述可动侧盒载置部移动时的高度和所述面板搬出机构的所述可动侧盒载置部移动时的高度为相同高度。

4.根据权利要求1所述的检查***，其特征在于，

具备在左右方向上排列的多个所述检查装置，

如果将在左右方向上相邻的两个所述检查装置中的一个设为第一检查装置，将另一个所述检查装置设为第二检查装置，

则由所述面板搬入机构搬入的所述盒的移动方向和由所述面板搬出机构搬出的所述盒的移动方向为左右方向中的相同方向，

从所述第一检查装置搬出所述盒的所述面板搬出机构是将所述盒搬入所述第二检查装置的所述面板搬入机构。

5.根据权利要求4所述的检查***，其特征在于，

在多个所述检查装置中包括对所述显示面板进行点亮检查的点亮检查装置，

如果将在左右方向上与所述点亮检查装置相邻的所述检查装置设为点亮检查相邻装置，则

在所述点亮检查装置和所述点亮检查相邻装置之间配置有隧道部件，所述隧道部件在所述点亮检查装置和所述点亮检查相邻装置之间至少从上侧及前后方向两侧覆盖所述移动机构。

6.根据权利要求4所述的检查***，其特征在于，

具备：面板收纳部，所述面板收纳部配置于由多个所述检查装置构成的检查装置组的左右方向的一侧，并且将检查前的所述显示面板收纳在空的所述盒中；以及面板排出部，所述面板排出部配置于所述检查装置组的左右方向的另一侧，并且从所述盒取出检查后的所述显示面板，

如果将所述检查装置组中配置于最靠所述面板收纳部侧的所述检查装置设为最上游检查装置，且将所述检查装置组中配置于最靠所述面板排出部侧的所述检查装置设为最下游检查装置，则

将所述盒搬入所述最上游检查装置的所述面板搬入机构从所述面板收纳部搬出所述盒，

从所述最下游检查装置搬出所述盒的所述面板搬出机构将所述盒搬入所述面板排出部。

7.根据权利要求6所述的检查***，其特征在于，

在多个所述检查装置中，包括对所述显示面板进行点亮检查的点亮检查装置，

如果将在左右方向上与所述点亮检查装置相邻的所述检查装置、所述面板收纳部或所述面板排出部设为点亮检查相邻装置，则

在所述点亮检查装置和所述点亮检查相邻装置之间配置有隧道部件，所述隧道部件在所述点亮检查装置和所述点亮检查相邻装置之间至少从上侧及前后方向两侧覆盖所述移动机构。

8.根据权利要求5或7所述的检查***，其特征在于，

具备闸门部件，所述闸门部件用于将所述隧道部件的左右方向的一端侧的一部分封闭。

9.根据权利要求1所述的检查***，其特征在于，

在所述盒及所述装置侧盒载置部中的任一方形成有多个第一定位孔，所述多个第一定位孔用于相对于所述装置侧盒载置部在水平方向上定位所述盒，

所述盒及所述装置侧盒载置部中的任意另一方具备多个第一定位销，所述多个第一定位销***到所述第一定位孔中，相对于所述装置侧盒载置部在水平方向上定位所述盒，

在所述盒及所述可动侧盒载置部中的任一方形成有多个第二定位孔，所述多个第二定位孔用于相对于所述可动侧盒载置部在水平方向上定位所述盒，

所述盒及所述可动侧盒载置部中的任意另一方具备多个第二定位销，所述多个第二定位销***到所述第二定位孔中，且相对于所述可动侧盒载置部在水平方向上定位所述盒。

10.根据权利要求1所述的检查***，其特征在于，

具备载置所述可动侧盒载置部的直线状的轨道，

所述轨道的长度方向与左右方向一致，

所述面板搬入机构及所述面板搬出机构具备在所述轨道上滚动的车轮和在前后方向上夹住所述轨道的一对导辊。

11.根据权利要求6或7所述的检查***，其特征在于，

所述面板收纳部具备对准机构，所述对准机构用于在将所述显示面板收纳于空的所述盒中之前对所述显示面板进行位置对准，

所述对准机构具备面板把持部件，所述面板把持部件具有平面状的面板吸附面，所述面板吸附面在对所述显示面板进行位置对准时吸附并把持所述显示面板，

所述面板把持部件由聚醚醚酮形成，

在所述面板吸附面上形成有吸引所述显示面板的多个吸引孔。

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