CN111747117A - 面板搬运*** - Google Patents

Abstract

一种面板搬运***，向多个处理装置搬运显示面板，其中，即使每个处理装置中都具备进行搬入处理装置的显示面板的搬运和从处理装置搬出的显示面板的搬运的面板搬运装置，也能够实现小型化。该面板搬运***具备对处理装置(3、4)分别搬运液晶面板的面板搬运装置(7、8)。面板搬运装置(7、8)具备用于进行搬入处理装置(3、4)的显示面板的搬运和从处理装置(3、4)搬出的显示面板的搬运的面板搬运机构(35、55)和使显示面板升降的升降机构(37)，面板搬运机构(35、55)具备载置显示面板的载置部件(41、61)和使载置部件(41、61)向水平方向移动的滑动机构(42、62)。面板搬运机构(35)和面板搬运机构(55)在上下方向上错开。

Description

面板搬运***

技术领域

本发明涉及搬运液晶面板等显示面板的面板搬运***。

背景技术

目前，已知有具备用于点亮检查液晶面板的检查装置的检查***(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的检查***具备多个检查装置、搬运搬入多个检查装置的液晶面板的搬入侧的输送机(搬入侧输送机)、以及搬运从多个检查装置搬出的液晶面板的搬出侧的输送机(搬出侧输送机)。多个检查装置在输送机对液晶面板的搬运方向上排列。另外，搬入侧输送机和搬出侧输送机在与输送机对液晶面板的搬运方向正交的方向上相邻配置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017－198499号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1中记载的检查***中，由于搬入多个检查装置的液晶面板由共同的搬入侧输送机进行搬运，所以如果搬入侧输送机发生故障，则不能将液晶面板搬入全部多个检查装置。另外，在专利文献1中记载的检查***中，由于从多个检查装置搬出的液晶面板由共同的搬出侧输送机进行搬运，所以当搬出侧输送机发生故障时，不能从全部多个检查装置搬出液晶面板。

在专利文献1中记载的检查***中，如果对每个处理装置设置搬入侧输送机，同时对每个处理装置设置搬出侧输送机(即，如果设置与多个检查装置同数量的搬入侧输送机及搬出侧输送机，并使用多个搬入侧输送机及搬出侧输送机分别对多个检查装置分别搬运液晶面板)，则能够消除上述问题。然而，在这种情况下，检查***可能大型化。

因此，本发明的技术问题在于提供一种面板搬运***，其向进行显示面板的处理的多个处理装置搬运显示面板，其中，即使针对每个处理装置具备搬运搬入处理装置的显示面板并且搬运从处理装置搬出的显示面板的面板搬运装置，也能够实现小型化。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种面板搬运***，其特征在于，具备多个面板搬运装置，所述面板搬运装置向进行显示面板的处理的多个处理装置分别搬运显示面板，面板搬运装置具备面板搬运机构、面板搬入搬出机构及面板升降机构，所述面板搬运机构用于搬运搬入处理装置的显示面板，并且，用于搬运从处理装置搬出的显示面板，所述面板搬入搬出机构进行显示面板向处理装置的搬入和显示面板从处理装置的搬出，所述面板升降机构使显示面板升降，面板搬运机构具备载置部件和滑动机构，所述载置部件载置显示面板，所述滑动机构使载置部件向水平方向直线移动，面板搬入搬出机构具备第一面板把持部，第一面板把持部把持显示面板，第一面板把持部配置于比载置部件靠上侧的位置，面板升降机构使载置于载置部件的显示面板上升而转移给第一面板把持部，并且，使从第一面板把持部接收的显示面板下降而载置于载置部件，当将载置部件的移动方向设为第一方向，将与第一方向和上下方向正交的方向设为第二方向时，多个面板搬运装置沿着第一方向配置，多个面板搬运装置具有的面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，多个面板搬运装置具有的面板搬入搬出机构在上下方向上配置于相同的位置。

在本发明的面板搬运***中，对多个处理装置分别搬运显示面板的多个面板搬运装置分别具备搬运搬入处理装置的显示面板并且搬运从处理装置搬出的显示面板的面板搬运机构。面板搬运机构具备载置显示面板的载置部件和使载置部件向水平方向直线移动的滑动机构。因此，在本发明中，在多个面板搬运装置各自中，能够使用共同的载置部件及滑动机构进行搬入处理装置的显示面板的搬运和从处理装置搬出的显示面板的搬运。

因此，在本发明中，与面板搬运装置具备用于搬运搬入处理装置的显示面板的载置部件及滑动机构和用于搬运从处理装置搬出的显示面板的载置部件及滑动机构的情况相比，能够使面板搬运装置实现小型化。另外，在本发明中，由于能够将多个面板搬运装置小型化，所以面板搬运***即使针对每个处理装置具备搬运搬入处理装置的显示面板，并且搬运从处理装置搬出的显示面板的面板搬运装置，也能够将面板搬运***小型化。

另外，在本发明中，多个面板搬运装置具有的面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，因此，容易配置多个面板搬运机构。并且，在本发明中，面板搬运装置具备使显示面板升降的面板升降机构，面板升降机构使载置于载置部件的显示面板上升而转移给面板搬入搬出机构的第一面板把持部，并且使从第一面板把持部接收到的显示面板下降而载置于载置部件，因此，即使多个面板搬运机构在上下方向上相互错开，也能够对在上下方向上配置于相同位置的多个面板搬入搬出机构分别以相同的高度进行显示面板的转移。因此，在本发明中，能够将多个面板搬运装置的面板搬入搬出机构的结构设为共同的结构，并且能够简化面板搬入搬出机构的结构及控制。

另外，在本发明中，由于能够对在上下方向上配置于相同位置的多个面板搬入搬出机构分别以相同的高度进行显示面板的转移，所以能够在多个面板搬入搬出机构各自和多个处理装置各自之间以相同的高度进行显示面板的转移。因此，在本发明中，能够将多个处理装置的显示面板的转移部分的结构设为共同的结构。

在本发明中，例如，面板搬入搬出机构具备本体部、把持部升降机构及把持部转动机构，所述本体部将第一面板把持部能升降且能转动地保持，所述把持部升降机构使第一面板把持部相对于本体部升降，所述把持部转动机构使第一面板把持部以上下方向为转动的轴向相对于本体部转动。

在本发明中，理想的是，以在上下方向上相互错开的状态配置的多个面板搬运机构的至少一部分在第二方向上配置于相同的位置。当这样构成时，即使面板搬运***具备沿着第一方向配置的多个面板搬运装置，也能在第二方向将面板搬运***小型化。

在本发明中，理想的是，以在上下方向上相互错开的状态配置的多个面板搬运机构在第二方向上配置于相同的位置，在上下方向上配置于相同的位置的多个面板搬入搬出机构在第二方向上配置于相同的位置。当这样构成时，即使面板搬运***具备沿着第一方向配置的多个面板搬运装置，也能够在第二方向上将面板搬运***进一步小型化。

在本发明中，理想的是，面板升降机构具备把持显示面板的第二面板把持部，第二面板把持部在向第一面板把持部转移显示面板之前以及从第一面板把持部接收显示面板之前，上升至比在上下方向上配置载置部件的位置高的待机位置并待机。当这样构成时，能够缩短面板搬运装置的循环时间。

在本发明中，理想的是，面板搬运***具备：面板供给部，所述面板供给部供给由处理装置处理之前的显示面板；面板转移机构，所述面板转移机构接收从上述面板供给部供给的显示面板并将其载置于载置部件，面板转移机构具备把持显示面板的第三面板把持部、使第三面板把持部升降的第一把持部滑动机构、以及使第三面板把持部沿第二方向移动的第二把持部滑动机构，在多个面板搬运装置具有的载置部件上载置显示面板。当这样构成时，即使多个面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，也能够使用共同的面板转移机构向多个面板搬运机构转移显示面板。因此，能够简化面板搬运***的构成。

在本发明中，面板供给部例如具备搬运显示面板的输送机。

在本发明中，例如，面板供给部具备面板供给机构，所述面板供给机构接收载置于输送机的显示面板，并将其供给到面板转移机构，输送机朝向第一方向的一侧搬运显示面板，在从第一方向观察时，输送机和面板搬运机构在第二方向上相邻配置，输送机和面板转移机构在第一方向上相邻配置，面板供给机构配置于输送机及面板转移机构的上侧。

在本发明中，理想的是，面板搬运***具备面板收集部，所述面板收集部收集由处理装置处理后的显示面板，当将第一方向的一方设为第三方向，将第三方向的相反方向设为第四方向时，面板收集部配置于面板搬运***的第三方向的端部，多个处理装置在第一方向上排列，多个面板搬运装置具有的面板搬运机构将由处理装置处理后的显示面板搬运到面板收集部，至少对多个处理装置中的配置于最靠第四方向侧的处理装置搬运显示面板的面板搬运装置具备在第一方向上排列的多个面板搬运机构和从在第一方向上相邻的两个面板搬运机构中的一方向另一方转移显示面板的面板转移机构。当这样构成时，在将显示面板搬运到配置于最靠第四方向侧的处理装置的面板搬运装置中，与通过一个面板搬运机构将显示面板搬运至面板收集部的情况相比，能够缩短该面板搬运装置的循环时间。

在本发明中，理想的是，面板搬运***具备防尘罩，所述防尘罩配置于滑动机构和载置部件之间，以防止尘埃附着到载置于载置部件上的显示面板。当这样构成时，能够防止由滑动机构产生的尘埃附着到载置于载置部件上的显示面板。

在本发明中，理想的是，面板搬运***具备吸引机构，所述吸引机构吸引配置滑动机构的空间的空气。当这样构成时，能够更有效地防止由滑动机构产生的尘埃附着到载置于载置部件上的显示面板。

在本发明中，理想的是，面板搬运***具备检测机构，所述检测机构用于在载置部件的停止位置检测显示面板是否载置于载置部件。当这样构成时，能够基于检测机构的检测结果防止面板搬运***的误动作。另外，当这样构成时，因为在载置部件的停止位置检测显示面板是否载置于载置部件，所以通过检测机构能够高精度地检测显示面板是否载置于载置部件。

在本发明中，处理装置例如是用于点亮检查显示面板的检查装置。

发明效果

如上所述，在本发明中，在向进行显示面板的处理的多个处理装置搬运显示面板的面板搬运***中，即使面板搬运***针对每个处理装置具备搬运搬入处理装置的显示面板并且搬运从处理装置搬出的显示面板的面板搬运装置，也能够将面板搬运***小型化。

附图说明

图1是本发明实施方式的面板搬运***及处理装置的立体图。

图2是图1所示的面板搬运***及处理装置的俯视图。

图3是用于说明图1所示的面板搬运***的结构的侧视图。

图4是图2的E部的放大图。

图5是用于说明图1所示的面板供给机构的动作的立体图。

图6是用于从图3的F－F方向说明面板搬运***的结构的主视图。图7是用于说明图1所示的面板转移机构的动作的立体图。

图8是图6的G部的放大图。

附图标记说明

1面板搬运***

2液晶面板(显示面板)

3、4检查装置(处理装置)

7、8面板搬运装置

10面板供给部

11面板转移机构

12面板收集部

16输送机

17机器人(面板供给机构)

35、55面板搬运机构

36机器人(面板搬入搬出机构)

37面板升降机构

38面板升降机构(面板转移机构)

41、61载置部件

42、62滑动机构

44面板把持部(第二面板把持部)

46面板把持部(第一面板把持部)

47本体部

64面板把持部(第三面板把持部)

65滑动机构(第一把持部滑动机构)

66滑动机构(第二把持部滑动机构)

68防尘罩

69吸引机构

70检测机构

X第一方向

X1第四方向

X2第三方向

Y第二方向

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。

(面板搬运***的概略结构)

图1是本发明实施方式的面板搬运***1及检查装置3、4的立体图。图2是图1所示的面板搬运***1及检查装置3、4的俯视图。图3是用于说明图1所示的面板搬运***1的结构的侧视图。图4是图2的E部的放大图。图5是用于说明图1所示的机器人17的动作的立体图。

本实施方式的面板搬运***1被编入移动设备等中使用的较小型的液晶显示器的生产线中使用。面板搬运***1搬运作为显示面板的液晶面板2。具体而言，面板搬运***1进行液晶面板2向检查液晶面板2的检查装置3、4的搬入及液晶面板2从检查装置3、4的搬出。另外，面板搬运***1进行液晶面板2向两台检查装置3、4的搬入和液晶面板2从两台检查装置3、4的搬出。液晶面板2形成为长方形的平板状。本实施方式的检查装置3、4是进行液晶面板2的处理的处理装置。

面板搬运***1具备相对于检查装置3、4搬运液晶面板2的多个面板搬运装置7、8。本实施方式的面板搬运***1具备两台面板搬运装置7、8。即，面板搬运***1具有的面板搬运装置7、8的数量与检查装置3、4的数量相等。两台面板搬运装置7、8分别对两台检查装置3、4分别搬运液晶面板2。具体而言，面板搬运装置7对检查装置3搬运液晶面板2，面板搬运装置8对检查装置4搬运液晶面板2。这样，面板搬运***1针对每个检查装置3、4具备面板搬运装置7、8。

另外，面板搬运***1具备供给由检查装置3、4检查之前(即由检查装置3、4处理之前)的液晶面板2的面板供给部10、接收从面板供给部10供给的液晶面板2并将其转移给面板搬运装置7、8的面板转移机构11以及收集由检查装置3、4检查后(即，由检查装置3、4处理后)的液晶面板2的面板收集部12。

两台检查装置3、4在水平方向上排列。在以下的说明中，将作为两台检查装置3、4的排列方向的图1等的X方向设为“前后方向”，将与上下方向和前后方向正交的图1等的Y方向设为“左右方向”。另外，将作为前后方向的一侧的图1等的X1方向侧设为“前”侧，将作为其相反侧的图1等的X2方向设为“后”侧，将作为左右方向的一侧的图1等的Y1方向侧设为“右”侧，将作为其相反侧的图1等的Y2方向侧设为“左”侧。

检查装置3、4从前侧朝向后侧按顺序配置。即，检查装置3配置于前侧，检查装置4配置于后侧。检查装置3、4是用于点亮检查液晶面板2的点亮检查装置。检查装置3、4例如具备载置液晶面板2的两个面板载置部13、保持两个面板载置部13的保持部、将上下方向作为旋转的轴向而使保持部旋转的旋转机构以及在进行液晶面板2的点亮检查时内部变为暗室的框体。

在框体的内部设置有用于进行液晶面板2的点亮检查的背光灯和摄像头。在面板载置部13上例如载置两片液晶面板2。旋转机构使面板保持部在如下两个位置之间旋转，其中一个位置是两个面板载置部13中的一面板载置部13配置在框体的外部并且另一面板载置部13配置在框体的内部，另一个位置是一面板载置部13配置在框体的内部并且另一面板载置部13配置在框体的外部。配置到框体的外部的面板载置部13配置于框体的右侧。

面板供给部10配置于检查装置3的右侧，且配置于面板搬运***1的前端部。面板供给部10具备搬运液晶面板2的输送机16和接收载置于输送机16的液晶面板2并将其供给到面板转移机构11的作为面板供给机构的机器人17。输送机16朝向后侧搬运液晶面板2。面板转移机构11配置于输送机16的后侧。即，输送机16和面板转移机构11在前后方向上相邻配置。另外，面板转移机构11在前后方向上配置于检查装置3和检查装置4之间。后述面板转移机构11的具体的结构。

输送机16是辊式输送机。输送机16由在前后方向上分割的多个分割输送机18～22构成。例如，输送机16由五个分割输送机18～22构成。分割输送机18～22从前侧朝向后侧依次配置。分割输送机18～22能够单独驱动。此外，输送机16也可以是带式输送机。

机器人17配置于输送机16及面板转移机构11的上侧。具体而言，机器人17配置于分割输送机20、21及面板转移机构11的上侧。机器人17是所谓的二轴正交机器人，具备从上侧吸附并把持液晶面板2的面板把持部23、使面板把持部23升降的滑动机构以及使面板把持部23沿前后方向移动的滑动机构。面板把持部23把持两片液晶面板2。被面板把持部23把持的两片液晶面板2在前后方向上排列。

机器人17通过面板把持部23把持被搬运至分割输送机21的一片液晶面板2和被搬运至分割输送机22的一片液晶面板2(参照图5(A))后，使面板把持部23上升，之后，使面板把持部23向后侧移动，将两片液晶面板2供给到面板转移机构11(参照图5(B))。即，面板把持部23在能够从分割输送机21、22接收液晶面板2的位置和能够将液晶面板2转移给面板转移机构11的位置之间沿前后方向往复移动。如上所述，分割输送机18～22能够单独驱动，单独驱动分割输送机21和分割输送机22，进行吸附于面板把持部23的两片液晶面板2的对位。

面板收集部12配置于面板搬运***1的后端部。另外，面板收集部12的大部分配置于比检查装置4靠后侧的位置。面板收集部12具备将托盘26(参照图2)以多层堆叠的状态配置的多个托盘配置部27、搬运液晶面板2的输送机28、从面板搬运装置7、8向输送机28搬运液晶面板2的机器人29、以及从输送机28向托盘26搬运液晶面板2的机器人30。此外，在图3中，省略托盘配置部27的图示。

在托盘26收容由检查装置3、4进行检查后的液晶面板2。托盘26形成为大致长方形的平板状，在托盘26的上表面形成有收容液晶面板2的凹部。将多个液晶面板2以在上下方向上不重叠的状态收容于托盘26。托盘配置部27具备使托盘26升降的托盘升降机构。

输送机28是辊式输送机。输送机28朝向后侧搬运液晶面板2。输送机28在左右方向上配置于与输送机16相同的位置。输送机28的辊的上端和输送机16的辊的上端在上下方向上配置于相同的位置。此外，输送机28也可以是带式输送机。

机器人29配置于面板搬运装置7、8的后端部及输送机28的前端部的上侧。机器人29是所谓的三轴正交机器人，具备从上侧吸附并把持液晶面板2的面板把持部31(参照图3)、使面板把持部31升降的滑动机构、使面板把持部31沿前后方向移动的滑动机构、以及使面板把持部31沿左右方向移动的滑动机构。面板把持部31把持两片液晶面板2。机器人29从面板搬运装置7、8接收检查后的液晶面板2，在输送机28的前端部载置液晶面板2。

机器人30配置于输送机28的后端部及多个托盘配置部27的上侧。机器人30是所谓的三轴正交机器人，具备从上侧吸附并把持液晶面板2的面板把持部32(参照图3)、使面板把持部32升降的滑动机构、使面板把持部32沿前后方向移动的滑动机构、以及使面板把持部32沿左右方向移动的滑动机构。面板把持部32把持一片液晶面板2。

机器人30从输送机28的后端部接收检查后的液晶面板2，将液晶面板2收容于配置于托盘配置部27的最上层的托盘26。具体而言，机器人30将检查后的液晶面板2搬运到根据检查装置3、4的检查结果被选择的托盘配置部27，并将液晶面板2收容于配置于该托盘配置部27的最上层的托盘26。

(面板搬运装置及面板转移机构的结构)

图6是用于从图3的F－F方向说明面板搬运***1的结构的主视图。图7是用于说明图1所示的面板转移机构11的动作的立体图。图8是图6的G部的放大图。

面板搬运装置7、8配置于检查装置3、4的右侧。另外，面板搬运装置7、8在从前后方向观看时，配置于输送机16、28的左侧。面板搬运装置7、8沿着前后方向配置。面板搬运装置7具备面板搬运机构35，该面板搬运机构35用于搬运搬入检查装置3的液晶面板2，并搬运从检查装置3搬出的液晶面板2。另外，面板搬运装置7具备进行液晶面板2向检查装置3的搬入和液晶面板2从检查装置3的搬出的作为面板搬入搬出机构的机器人36和使液晶面板2升降的面板升降机构37～39。

本实施方式的面板搬运装置7具备多个面板搬运机构35。具体而言，面板搬运装置7具备两个面板搬运机构35(参照图3)。两个面板搬运机构35在前后方向上排列。两个面板搬运机构35在上下方向及左右方向上配置于相同的位置。在以下的说明中，在区分表示两个面板搬运机构35的情况下，将配置于前侧的面板搬运机构35设为“面板搬运机构35A”，将配置于后侧的面板搬运机构35设为“面板搬运机构35B”。

面板搬运机构35具备载置液晶面板2的载置部件41和使载置部件41向水平方向直线移动的滑动机构42。在从前后方向观察时，面板搬运机构35和输送机16在左右方向上相邻配置。载置部件41形成为平板状。载置部件41配置为载置部件41的厚度方向和上下方向一致。载置部件41配置于比输送机16靠下侧的位置。

在载置部件41上能够载置两片液晶面板2。在载置部件41上形成有在将液晶面板2载置于载置部件41上时供后述的面板把持部44、64通过的缺口部41a。缺口部41a以在前后方向上隔开间隔的状态形成于两处。另外，缺口部41a从载置部件41的右端面朝向左侧形成。

滑动机构42安装于面板搬运***1的框架43上。滑动机构42使载置部件41在前后方向上往复移动。即，前后方向是载置部件41的移动方向。本实施方式的前后方向(X方向)为载置部件41的移动方向即第一方向。另外，左右方向(Y方向)为与第一方向和上下方向正交的第二方向。另外，后方向(X2方向)为第一方向的一方即第三方向，前方向(X1方向)为第三方向的相反方向即第四方向。

滑动机构42例如具备电动机、以电动机的动力旋转的带轮及皮带、以及在前后方向上引导载置部件41的导向机构。在滑动机构42上安装有载置部件41的左端部。此外，滑动机构42也可以具备滚珠丝杠来代替带轮及皮带。

如后述，面板升降机构38在前后方向上配置于配置面板搬运机构35A的后端部及面板搬运机构35B的前端部的位置。面板搬运机构35A的载置部件41能够在前后方向上在配置面板载置部13的位置和配置面板升降机构38的位置之间移动。面板搬运机构35A的滑动机构42设置于比在前后方向上配置面板载置部13的位置稍靠前侧的位置和在前后方向上配置面板升降机构38的位置之间。

另外，面板搬运机构35B的载置部件41能够在前后方向上在配置面板升降机构38的位置和配置机器人29的位置之间移动。面板搬运机构35B的滑动机构42设置于在前后方向上配置面板升降机构38的位置和比在前后方向上配置机器人29的位置稍微靠后侧的位置之间。

面板搬运机构35将从面板转移机构11接收到的液晶面板2向前侧搬运至能够向机器人36转移的位置。具体而言，面板搬运机构35A将从面板转移机构11接收到的检查前的液晶面板2向前侧搬运至能够向机器人36转移的位置。另外，两个面板搬运机构35将从检查装置3搬出的检查后的液晶面板2向后侧搬运至能够向机器人29转移的位置。即，面板搬运机构35将由检查装置3检查后的液晶面板2搬运到面板收集部12。

面板升降机构37在前后方向上配置于与面板载置部13相同的位置。另外，面板升降机构37配置于滑动机构42的右侧。面板升降机构37具备把持液晶面板2的作为第二面板把持部的面板把持部44和使面板把持部44沿上下方向移动的滑动机构45。本实施方式的面板升降机构37具备形成为平板状的两片面板把持部44。面板把持部44配置为面板把持部44的厚度方向和上下方向一致。面板把持部44从下侧吸附并把持液晶面板2。两片面板把持部44以在前后方向上隔开间隔的状态配置。

滑动机构45例如具备电动机、具有以电动机的动力旋转的丝杠轴及与丝杠轴卡合的螺母部件的滚珠丝杠、以及将面板把持部44沿上下方向引导的导向机构。在滑动机构45上安装有面板把持部44的右端部。面板把持部44能够向比在上下方向上配置载置部件41的位置靠上侧的位置移动。另外，面板把持部44能够向比在上下方向上配置后述的载置部件61的位置靠上侧的位置移动。另外，面板把持部44能够向比在上下方向上配置载置部件41的位置靠下侧的位置移动。

机器人36具备把持液晶面板2的作为第一面板把持部的面板把持部46、能升降且能转动地保持面板把持部46的本体部47、使面板把持部46相对于本体部47升降的把持部升降机构、以及使面板把持部以上下方向为转动的轴向相对于本体部47转动的把持部转动机构。本体部47在前后方向配置于与面板载置部13相同的位置。即，本体部47在前后方向配置于与面板升降机构37相同的位置。另外，本体部47配置于面板载置部13的左侧，并且配置于滑动机构42的左端部的上侧。

面板把持部46配置于比载置部件41靠上侧的位置。面板把持部46从上侧吸附并把持液晶面板2。本实施方式的机器人36具备两个面板把持部46。在从上侧观察时，两个面板把持部46相对于本体部47的中心以180°的节距配置。两个面板把持部46由连接部件48连接。面板把持部46把持两片液晶面板2。把持部升降机构及把持部转动机构收容于本体部47的内部。在从上侧观察时，把持部转动机构以本体部47的中心为转动中心使两个面板把持部46转动。

面板升降机构37通过面板把持部44从下侧把持检查前的两片液晶面板2，该检查前的两片液晶面板2载置于在前后方向上在配置面板载置部13的位置处停止的载置部件41，之后使检查前的两片液晶面板2上升规定量。具体而言，面板升降机构37使两片液晶面板2上升至比后述的载置部件61靠上侧的位置。机器人36通过面板把持部46把持被面板把持部44把持的检查前的两片液晶面板2，并且通过面板把持部46把持被载置于面板载置部13的检查后的两片液晶面板2，之后，使面板把持部46上升规定量之后使面板把持部46转动180°。

之后，机器人36将被面板把持部46把持的检查前的两片液晶面板2载置于面板载置部13。另外，机器人36将被面板把持部46把持的检查后的两片液晶面板2载置于面板把持部44。即，面板升降机构37从面板把持部46接收被面板把持部46把持的检查后的两片液晶面板2，并由面板把持部44把持。然后，面板升降机构37使面板把持部44下降，将检查后的两片液晶面板2载置于载置部件41。

这样，面板升降机构37使载置于载置部件41的检查前的液晶面板2上升并转移给面板把持部46，并且，使从面板把持部46接收到的检查后的液晶面板2下降而载置于载置部件41。在本实施方式中，面板把持部44在向面板把持部46转移液晶面板2之前、及从面板把持部46接收液晶面板2之前，上升至比在上下方向上配置载置部件41的位置高的待机位置待机。待机位置为比在上下方向上配置后述的载置部件61的位置高的位置。另外，待机位置例如为比在面板把持部44和面板把持部46之间进行液晶面板2的转移时的上下方向的位置(即，在面板升降机构37和机器人36之间转移液晶面板2时的上下方向的位置)低20(mm)的位置。

面板升降机构38在前后方向配置于供面板搬运机构35A的后端部及面板搬运机构35B的前端部配置的位置。另外，面板升降机构38配置于滑动机构42的右侧。面板升降机构38与面板升降机构37同样地构成。即，面板升降机构38具备从下侧吸附并把持液晶面板2的两片面板把持部和使面板把持部沿上下方向移动的滑动机构45。

面板升降机构38的面板把持部能够向比在上下方向上配置载置部件41的位置靠上侧的位置移动，并且能够向比在上下方向配置载置部件41的位置靠下侧的位置移动。面板升降机构38从在前后方向上配置面板升降机构38的位置停止的面板搬运机构35A的载置部件41接收液晶面板2。然后，面板升降机构38使面板把持部升降，将液晶面板2转移给在前后方向上在配置面板升降机构38的位置停止的面板搬运机构35B的载置部件41。本实施方式的面板升降机构38是将液晶面板2从在前后方向上相邻的面板搬运机构35A向面板搬运机构35B转移的面板转移机构。

面板升降机构39在前后方向上配置于配置机器人29的位置。另外，面板升降机构39配置于滑动机构42的右侧。面板升降机构39与面板升降机构37大致同样地构成。即，面板升降机构39具备从下侧吸附并把持液晶面板2的两片面板把持部和使面板把持部沿上下方向移动的滑动机构45。

面板升降机构39的面板把持部能够向比在上下方向上配置载置部件41的位置靠上侧的位置移动，并且能够向比在上下方向上配置载置部件41的位置靠下侧的位置移动。另外，面板升降机构39的面板把持部能够向比在上下方向上配置后述的载置部件61的位置靠上侧的位置移动。

面板升降机构39从在前后方向上在配置机器人29的位置停止的面板搬运机构35B的载置部件41接收液晶面板2。然后，面板升降机构39使面板把持部上升到比后述的载置部件61靠上侧的位置，并将液晶面板2转移给机器人29。此外，在本实施方式中，将液晶面板2从面板升降机构39向机器人29转移时的液晶面板2的高度和在面板升降机构37和机器人36之间进行液晶面板2的转移时的液晶面板2的高度相同。

这样，面板搬运机构35A将从面板升降机构37接收到的液晶面板2向后侧搬运至能够向面板升降机构38转移的位置。即，面板搬运机构35A的滑动机构42使载置部件41在能够从面板升降机构37接收液晶面板2的位置和能够将液晶面板2向面板升降机构38转移的位置之间在前后方向上往复移动。另外，面板搬运机构35B将从面板升降机构38接收到的液晶面板2向后侧搬运至能够向面板升降机构39转移的位置。即，面板搬运机构35B的滑动机构42使载置部件41在能够从面板升降机构38接收液晶面板2的位置和能够将液晶面板2向面板升降机构39转移的位置之间在前后方向上往复移动。

面板搬运装置8与面板搬运装置7大致同样地构成。在以下面板搬运装置8的结构的说明中，对与面板搬运装置7具有的结构相同的结构标注同一符号，并且以与面板搬运装置7的不同点为中心，说明面板搬运装置8的结构。面板搬运装置8具备一个面板搬运机构55，该面板搬运机构55用于搬运搬入检查装置4的液晶面板2，并且搬运从检查装置4搬出的液晶面板2。另外，面板搬运装置8具备机器人36和面板升降机构37、39。

面板搬运机构55具备载置液晶面板2的载置部件61和使载置部件61向水平方向直线移动的滑动机构62。在从前后方向观察时，面板搬运机构55和输送机16在左右方向上相邻配置。载置部件61与载置部件41大致同样地构成。在滑动机构62上安装有载置部件61的左端部。

滑动机构62安装于面板搬运***1的框架43上。滑动机构62使载置部件61在前后方向上往复移动。滑动机构62与滑动机构42大致同样地构成。但是，滑动机构62实现的载置部件61的前后方向的移动量比两个滑动机构42实现的载置部件41的前后方向的移动量短，滑动机构62的前后方向的长度比两个滑动机构42的前后方向的合计长度短。

载置部件61能够在前后方向上在配置面板转移机构11的位置和配置机器人29的位置之间移动。滑动机构62设置于在前后方向上配置面板转移机构11的位置和在前后方向上配置机器人29的位置之间。滑动机构62的后端部配置于比滑动机构42的后端部靠前侧的位置。

面板搬运机构55将从面板转移机构11接收到的检查前的液晶面板2向后侧搬运至能够向面板搬运装置8的机器人36转移的位置。另外，面板搬运机构55将从检查装置4搬出的检查后的液晶面板2向后侧搬运至能够向机器人29转移的位置。即，面板搬运机构55将由检查装置4检查后的液晶面板2搬运到面板收集部12。

面板搬运机构55以在上下方向上与面板搬运机构35相互错开的状态配置。在本实施方式中，面板搬运机构55配置于面板搬运机构35的上侧。另外，面板搬运机构55的至少一部分和面板搬运机构35的至少一部分在左右方向上配置于相同的位置。在本实施方式中，面板搬运机构55和面板搬运机构35在左右方向上配置于相同的位置。

具体而言，载置部件61和载置部件41在左右方向上配置于相同的位置，滑动机构62和滑动机构42在左右方向上配置于相同的位置。即，在从前后方向观察时，载置部件61配置于载置部件41的正上方，滑动机构62配置于滑动机构42的正上方。另外，载置部件61配置于比输送机16的辊靠下侧的位置。

面板搬运装置8的机器人36在上下方向及左右方向上配置于与面板搬运装置7的机器人36相同的位置。面板搬运装置8的机器人36的本体部47在前后方向上配置于与检查装置4的面板载置部13相同的位置。面板搬运装置8的面板升降机构37在前后方向上配置于与检查装置4的面板载置部13相同的位置。另外，该面板升降机构37在上下方向及左右方向上配置于与面板搬运装置7的面板升降机构37相同的位置。面板搬运装置8的面板把持部44能够向比在上下方向上配置载置部件61的位置靠上侧的位置移动。另外，该面板把持部44能够向比在上下方向上配置载置部件61的位置靠下侧的位置移动。

在面板搬运装置8中，面板升降机构37通过面板把持部44从下侧把持检查前的两片液晶面板2，该检查前的两片液晶面板2载置于在前后方向上在配置检查装置4的面板载置部13的位置处停止的载置部件61，之后，使检查前的两片液晶面板2上升规定量。机器人36通过面板把持部46把持被面板把持部44把持的检查前的两片液晶面板2，并且通过面板把持部46把持载置于面板载置部13的检查后的两片液晶面板2，之后，在使面板把持部46上升规定量后使面板把持部46转动180°。

之后，机器人36将被面板把持部46把持的检查前的两片液晶面板2载置于面板载置部13。另外，机器人36将被面板把持部46把持的检查后的两片液晶面板2载置于面板把持部44。即，面板升降机构37从面板把持部46接收被面板把持部46把持的检查后的两片液晶面板2，并由面板把持部44把持。然后，面板升降机构37使面板把持部44下降，将检查后的两片液晶面板2载置于载置部件61。

这样，面板搬运装置8的面板升降机构37使载置于载置部件61的检查前的液晶面板2上升并转移给面板把持部46，并且使从面板把持部46接收到的检查后的液晶面板2下降而载置于载置部件61。在本实施方式中，在面板搬运装置8中于面板升降机构37和机器人36之间转移液晶面板2时的液晶面板2的高度和在面板搬运装置7中于面板升降机构37和机器人36之间转移液晶面板2时的液晶面板2的高度为相同的高度。

与面板搬运装置7相同，在面板搬运装置8中，面板把持部44在向面板把持部46转移液晶面板2之前、及从面板把持部46接收液晶面板2之前，上升至比在上下方向上配置载置部件61的位置高的待机位置待机。待机位置例如为比在面板把持部44和面板把持部46之间进行液晶面板2的转移时的上下方向的位置(即，在面板升降机构37和机器人36之间转移液晶面板2时的上下方向的位置)低20(mm)的位置。

面板搬运装置8的面板升降机构39在前后方向上配置于配置机器人29的位置。另外，该面板升降机构39配置于面板搬运装置7的面板升降机构39的前侧。在面板搬运装置8中，面板升降机构39的面板把持部能够向比在上下方向上配置载置部件61的位置靠上侧的位置移动，并且能够向比在上下方向上配置载置部件61的位置靠下侧的位置移动。

面板搬运装置8的面板升降机构39从在前后方向上在配置机器人29的位置停止的载置部件61接收液晶面板2。然后，面板升降机构39使面板把持部上升到比载置部件61靠上侧的位置，并将液晶面板2转移给机器人29。此外，在面板搬运装置8中，从面板升降机构39向机器人29转移液晶面板2时的液晶面板2的高度和在面板升降机构37与机器人36之间进行液晶面板2的转移时的液晶面板2的高度也相同。

这样，面板搬运机构55将从面板升降机构37接收到的液晶面板2向后侧搬运至能够向面板升降机构39转移的位置。即，滑动机构62使载置部件61在能够从面板升降机构37接收液晶面板2的位置和能够将液晶面板2向面板升降机构39转移的位置之间在前后方向上往复移动。

如上所述，面板转移机构11在前后方向上配置于检查装置3和检查装置4之间。另外，面板转移机构11配置于滑动机构42、62的右侧。面板转移机构11是所谓的二轴正交机器人，具备把持液晶面板2的作为第三面板把持部的面板把持部64、使面板把持部64升降的作为第一把持部滑动机构的滑动机构65、以及使面板把持部64沿左右方向移动的作为第二把持部滑动机构的滑动机构66。

本实施方式的面板转移机构11具备形成为平板状的两片面板把持部64。面板把持部64配置为面板把持部64的厚度方向和上下方向一致。面板把持部64从下侧吸附并把持液晶面板2。两片面板把持部64以在前后方向上隔开间隔的状态配置。滑动机构65例如具备电动机、具有以电动机的动力旋转的丝杠轴及与丝杠轴卡合的螺母部件的滚珠丝杠、以及将面板把持部64沿上下方向引导的导向机构。在滑动机构65上安装有面板把持部64的右端部。

滑动机构66例如具备电动机、具有以电动机的动力旋转的丝杠轴及与丝杠轴卡合的螺母部件的滚珠丝杠、以及将面板把持部64沿左右方向引导的导向机构。在滑动机构66上安装有滑动机构65的固定侧的零件的下端部。面板把持部64能够向比在上下方向上配置载置部件61的位置靠上侧的位置移动。另外，面板把持部64能够向比在上下方向上配置载置部件41的位置靠下侧的位置移动。面板把持部64能够在左右方向上在配置载置部件41、61的位置和配置于比配置载置部件41、61的位置靠右侧的位置(具体而言，在左右方向上配置输送机16及机器人17的位置)之间移动。

面板转移机构11以在左右方向上配置输送机16及机器人17的位置配置有面板把持部64的状态(参照图4的双点划线)从机器人17接收检查前的两片液晶面板2，通过面板把持部64把持，之后使面板把持部64移动至在左右方向上配置载置部件41、61的位置(参照图7(A))。然后，面板转移机构11使面板把持部64下降，将检查前的两片液晶面板2载置于在前后方向上在配置面板转移机构11的位置停止的载置部件41(参照图7(B))。

或者，面板转移机构11在使面板把持部64移动至在左右方向上配置载置部件41、61的位置后，使面板把持部64下降，将检查前的两片液晶面板2载置于在前后方向上在配置面板转移机构11的位置停止的载置部件61。即，面板转移机构11接收从面板供给部10供给的液晶面板2，并将其载置于载置部件41、61。

如图8所示，在面板搬运***1的框架43上固定有用于防止由滑动机构42、62产生的尘埃附着到载置于载置部件41、61上的液晶面板2的防尘罩68。例如，通过将薄钢板折弯成规定形状来形成防尘罩68。防尘罩68配置于滑动机构42、62和载置部件41、61之间。另外，防尘罩68配置于与滑动机构42、62的可动侧的零件及载置部件41、61不干扰的位置。另外，防尘罩68例如配置于前后方向上的滑动机构42、62的设置范围的全部区域。

如图8所示，滑动机构42、62配置于被框架43和防尘罩68包围的空间中。面板搬运***1具备吸引配置滑动机构42、62的空间的空气的吸引机构69。例如，吸引机构69是排气用的泵。另外，面板搬运***1具备用于在载置部件41、61的停止位置检测液晶面板2是否被载置于载置部件41、61的检测机构70(参照图3)。检测机构70例如是光学式的传感器。检测机构70例如在前后方向上配置于设置有面板转移机构11的位置及设置有面板升降机构37～39的位置。

(面板搬运装置及面板转移机构的动作)

面板转移机构11从机器人17接收到检查前的两片液晶面板2时，使液晶面板2移动至在左右方向上配置载置部件41、61的位置，例如将检查前的两片液晶面板2载置于在前后方向上在配置面板转移机构11的位置停止的载置部件41。当两个液晶面板2被载置于载置部件41时，面板搬运机构35将液晶面板2向前侧搬运至能够向机器人36转移的位置。即，面板搬运机构35使载置两片液晶面板2的载置部件41移动至在前后方向上配置面板载置部13的位置而停止。

此后，面板升降机构37把持载置于在前后方向上配置面板载置部13的位置处停止的载置部件41的检查前的两片液晶面板2，使其上升到比载置部件61靠上侧的位置。机器人36在由面板把持部46把持被面板把持部44把持的检查前的两片液晶面板2，并且由面板把持部46把持载置于面板载置部13的检查后的两片液晶面板2后，使面板把持部46上升规定量，之后使面板把持部46转动180°。

之后，机器人36将把持于面板把持部46的检查前的两片液晶面板2载置于面板安装部13，并且将被面板把持部46把持的检查后的两片液晶面板2载置于面板把持部44。然后，面板升降机构37使面板把持部44下降，将检查后的两片液晶面板2载置于面板搬运机构35A的载置部件41。

然后，面板搬运机构35A使载置两个液晶面板2的载置部件41移动至在前后方向上配置面板升降机构38的位置。当面板搬运机构35A的载置部件41移动至在前后方向上配置面板升降机构38的位置并停止时，面板升降机构38使面板把持部升降，将液晶面板2转移给在前后方向上在配置面板升降机构38的位置停止的面板搬运机构35B的载置部件41。

然后，面板搬运机构35B使载置两个液晶面板2的载置部件41移动至在前后方向上配置机器人29的位置并停止。之后，面板升降机构39在由面板把持部接收到载置于载置部件41的两片液晶面板2后，使面板把持部上升，将液晶面板2转移给机器人29。重复以上的动作，面板搬运装置7将液晶面板2搬入检查装置3，并且从检查装置3搬出液晶面板2。

另外，当面板转移机构11将从机器人17接收到的检查前的两片液晶面板2载置于在前后方向上在配置面板转移机构11的位置处停止的载置部件61时，面板搬运装置8进行与面板搬运装置7同样的动作，将液晶面板2搬入检查装置4，并且，从检查装置4搬出液晶面板2。但是，因为面板搬运装置8具有的面板搬运机构55的数量是一个，所以在面板搬运装置8中，在面板搬运机构55对液晶面板2的搬运过程的中途不进行液晶面板2的转移。

(本实施方式的主要效果)

如上所说明，在本实施方式中，在面板搬运装置7中，使用共同的载置部件41及滑动机构42进行搬入检查装置3的液晶面板2的搬运和从检查装置3搬出的液晶面板2的搬运。因此，在本实施方式中，与面板搬运装置7具备用于搬运搬入检查装置3的液晶面板2的载置部件及滑动机构和用于搬运从检查装置3搬出的液晶面板2的载置部件及滑动机构的情况相比，能够使面板搬运装置7实现小型化。

同样，在本实施方式中，在面板搬运装置8中，使用共同的载置部件61及滑动机构62进行搬入检查装置4的液晶面板2的搬运和从检查装置4搬出的液晶面板2的搬运，因此，能够将面板搬运装置8小型化。另外，在本实施方式中，由于能够将两台面板搬运装置7、8小型化，所以即使面板搬运***1针对每个检查装置3、4具备面板搬运***7、8，也能够将面板搬运***1小型化。另外，在本实施方式中，将面板搬运机构35和面板搬运机构55以在上下方向上相互错开的状态配置，因此，容易配置面板搬运机构35、55。

在本实施方式中，面板搬运装置7、8具备面板升降机构37，面板升降机构37使载置于载置部件41、61的液晶面板2上升并转移给机器人36面板把持部46，并且，使从面板把持部46接收到的液晶面板2下降，将其载置于载置部件41、61。因此，在本实施方式中，即使面板搬运机构35和面板搬运机构55在上下方向相互错开，也能够以相同的高度向在上下方向上配置于相同的位置的面板搬运装置7的机器人36和面板搬运装置8的机器人36转移液晶面板2。因此，在本实施方式中，能够将面板搬运装置7的机器人36的结构和面板搬运装置8的机器人36的结构设为共同的结构，并且能够简化机器人36的结构及控制。

另外，在本实施方式中，由于能够以相同的高度向在上下方向上配置于相同的位置的面板搬运装置7的机器人36和面板搬运装置8的机器人36转移液晶面板2，所以能够以相同的高度在面板搬运装置7、8各自的机器人36和检查装置3、4各自之间进行液晶面板2的转移。因此，在本实施方式中，能够将检查装置3的面板载置部13的结构和检查装置4的面板载置部13的结构设为共同的结构。

在本实施方式中，以在上下方向上相互错开的状态配置的面板搬运机构35的至少一部分和面板搬运机构55的至少一部分在左右方向上配置于相同的位置。因此，在本实施方式中，即使面板搬运***1具备沿前后方向配置的两台面板搬运装置7、8，也能够在左右方向上将面板搬运***1小型化。特别是在本实施方式中，面板搬运机构35和面板搬运机构55在左右方向上配置于相同的位置，且面板搬运装置7的机器人36和面板搬运装置8的机器人36在左右方向上配置于相同位置，因此，能够在左右方向上将面板搬运***1进一步小型化。

在本实施方式中，面板转移机构11将液晶面板2载置于载置部件41，并且载置于载置部件61。即，在本实施方式中，使用共同的面板转移机构11将液晶面板2转移给两个面板搬运机构35、55。因此，在本实施方式中，即使面板搬运机构35和面板搬运机构55以在上下方向上相互错开的状态配置，也能够简化面板搬运***1的结构。

在本实施方式中，面板搬运装置7的面板把持部44在向面板把持部46转移液晶面板2之前、及从面板把持部46接收液晶面板2之前，上升至比在上下方向配置载置部件41的位置高的待机位置待机。因此，在本实施方式中，能够缩短面板搬运装置7的循环时间。同样，在本实施方式中，面板搬运装置8的面板把持部44在向面板把持部46转移液晶面板2之前、及从面板把持部46接收液晶面板2之前，上升至比在上下方向上配置载置部件61的位置高的待机位置待机，因此，能够缩短面板搬运装置8的循环时间。

在本实施方式中，面板搬运装置7具备在左右方向上相邻的两个面板搬运机构35A、35B和从面板搬运机构35A向面板搬运机构35B转移液晶面板2的面板升降机构38。因此，在本实施方式中，面板搬运机构35A如果将载置于载置部件41的液晶面板2转移给面板升降机构38，则能够将载置部件41返回到在前后方向上配置面板载置部13的位置。因此，在本实施方式中，与利用一个面板搬运机构35将液晶面板2搬运到面板收集部12的情况相比，能够缩短面板搬运装置7的循环时间。

在本实施方式中，在滑动机构42、62和载置部件41、61之间配置有防尘罩68。因此，在本实施方式中，能够防止由滑动机构42、62产生的尘埃附着到载置于载置部件41、61上的液晶面板2。另外，在本实施方式中，由于设置有吸引配置滑动机构42、62的空间的空气的吸引机构69，所以能够更有效地防止由滑动机构42、62产生的尘埃附着到载置于载置部件41、61上的液晶面板2。

在本实施方式中，面板搬运***1具备用于在载置部件41、61的停止位置检测液晶面板2是否载置于载置部件41、61的检测机构70。因此，在本实施方式中，能够根据检测机构70的检测结果，防止面板搬运***1的误动作。另外，在本实施方式中，由于在载置部件41、61的停止位置检测液晶面板2是否载置于载置部件41、61，从而能够通过检测机构70高精度地检测液晶面板2是否载置于载置部件41、61。

(其它实施方式)

上述的实施方式是本发明的优选的实施方式的一例，但不限于此，在不变更本发明要旨的范围内可以进行各种变形实施。

在上述的实施方式中，面板搬运机构55也可以配置于面板搬运机构35的下侧。另外，在上述的实施方式中，面板搬运机构35和面板搬运机构55也可以在左右方向上错开。此外，在上述的实施方式中，面板搬运装置7的机器人36和面板搬运装置8的机器人36也可以在左右方向上错开。另外，在上述的实施方式中，面板搬运***1所具备的面板搬运装置7、8的数量也可以为三个以上。

在上述的实施方式中，面板搬运装置7也可以具备在前后方向上排列的三个以上的面板搬运机构35。在这种情况下，面板搬运装置7具备与面板搬运机构35的数量对应的多个面板升降机构38。另外，在上述的实施方式中，面板搬运装置8也可以具备在前后方向上排列的两个面板搬运机构55。在这种情况下，面板搬运装置8具备面板升降机构38。另外，在上述的实施方式中，面板搬运装置7具有的面板搬运机构35的数量也可以为一个。此外，在上述的实施方式中，面板搬运***1也可以单独具备将从面板供给部10供给的液晶面板2向面板搬运装置7转移的面板转移机构和将从面板供给部10供给的液晶面板2向面板搬运装置8转移的面板转移机构。

在上述的实施方式中，机器人36可以是垂直多关节机器人，也可以是水平多关节机器人，也可以是并联连杆机器人。另外，在上述的实施方式中，面板转移机构11可以是垂直多关节机器人，也可以是水平多关节机器人，也可以是并联连杆机器人。此外，在上述的实施方式中，滑动机构42、62也可以是线性电动机。在这种情况下，无需防尘罩68及吸引机构69。

在上述的实施方式中，面板供给部10也可以具备载置液晶面板2的载置部件和使该载置部件在前后方向上滑动的滑动机构来代替输送机16。另外，面板供给部10也可以具备收容多片液晶面板2的盒或托盘来代替输送机16。在这种情况下，机器人17从盒或托盘中取出液晶面板2，并将其供给到面板转移机构11。

在上述的实施方式中，检查装置3、4也可以是点亮检查装置以外的检查装置。另外，在上述的实施方式中，面板搬运装置7、8对检查装置3、4搬运液晶面板2，但面板搬运装置7、8也可以对检查装置3、4以外的对液晶面板2进行规定处理的处理装置搬运液晶面板2。此外，在上述的实施方式中，由面板搬运装置7、8搬运的显示面板也可以是液晶面板2以外的显示面板。例如，由面板搬运装置7、8搬运的显示面板也可以是有机EL面板。

Claims (13)

1.一种面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具备多个面板搬运装置，所述面板搬运装置向进行显示面板的处理的多个处理装置分别搬运所述显示面板，

所述面板搬运装置具备面板搬运机构、面板搬入搬出机构及面板升降机构，所述面板搬运机构用于搬运搬入所述处理装置的所述显示面板，并且，用于搬运从所述处理装置搬出的所述显示面板，所述面板搬入搬出机构进行所述显示面板向所述处理装置的搬入和所述显示面板从所述处理装置的搬出，所述面板升降机构使所述显示面板升降，

所述面板搬运机构具备载置部件和滑动机构，所述载置部件载置所述显示面板，所述滑动机构使所述载置部件向水平方向直线移动，

所述面板搬入搬出机构具备第一面板把持部，所述第一面板把持部把持所述显示面板，

所述第一面板把持部配置于比所述载置部件靠上侧的位置，

所述面板升降机构使载置于所述载置部件的所述显示面板上升而转移给所述第一面板把持部，并且，使从所述第一面板把持部接收的所述显示面板下降而载置于所述载置部件，

将所述载置部件的移动方向设为第一方向，将与第一方向和上下方向正交的方向设为第二方向时，

多个所述面板搬运装置沿着第一方向配置，

多个所述面板搬运装置具有的所述面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，

多个所述面板搬运装置具有的所述面板搬入搬出机构在上下方向上配置于相同位置。

2.根据权利要求1所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬入搬出机构具备本体部、把持部升降机构及把持部转动机构，所述本体部将所述第一面板把持部能升降且能转动地保持，所述把持部升降机构使所述第一面板把持部相对于所述本体部升降，所述把持部转动机构使所述第一面板把持部以上下方向为转动的轴向相对于所述本体部转动。

3.根据权利要求1或2所述的面板搬运***，其特征在于，

以在上下方向上相互错开的状态配置的多个所述面板搬运机构的至少一部分在第二方向上配置于相同位置。

4.根据权利要求3所述的面板搬运***，其特征在于，

以在上下方向上相互错开的状态配置的多个所述面板搬运机构在第二方向上配置于相同位置，

在上下方向上配置于相同位置的多个所述面板搬入搬出机构在第二方向上配置于相同位置。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板升降机构具备把持所述显示面板的第二面板把持部，

所述第二面板把持部在向所述第一面板把持部转移所述显示面板之前以及从所述第一面板把持部接收所述显示面板之前，上升至比在上下方向上配置所述载置部件的位置高的待机位置并待机。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的面板搬运***，其特征在于，所述面板搬运***具备：

面板供给部，所述面板供给部供给由所述处理装置处理之前的所述显示面板；以及

面板转移机构，所述面板转移机构接收从所述面板供给部供给的所述显示面板并将其载置于所述载置部件，

所述面板转移机构具备把持所述显示面板的第三面板把持部、使所述第三面板把持部升降的第一把持部滑动机构、以及使所述第三面板把持部沿第二方向移动的第二把持部滑动机构，在多个所述面板搬运装置具有的所述载置部件上载置所述显示面板。

7.根据权利要求6所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板供给部具备搬运所述显示面板的输送机。

8.根据权利要求7所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板供给部具备面板供给机构，所述面板供给机构接收载置于所述输送机的所述显示面板，并将其供给到所述面板转移机构，

所述输送机朝向第一方向的一侧搬运所述显示面板，

在从第一方向观察时，所述输送机和所述面板搬运机构在第二方向上相邻配置，

所述输送机和所述面板转移机构在第一方向上相邻配置，

所述面板供给机构配置于所述输送机及所述面板转移机构的上侧。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具备面板收集部，所述面板收集部收集由所述处理装置处理后的所述显示面板，

当将第一方向的一方设为第三方向，将第三方向的相反方向设为第四方向时，

所述面板收集部配置于所述面板搬运***的第三方向的端部，

多个所述处理装置在第一方向上排列，

多个所述面板搬运装置具有的所述面板搬运机构将由所述处理装置处理后的所述显示面板搬运到所述面板收集部，

至少对多个所述处理装置中的配置于最靠第四方向侧的所述处理装置搬运所述显示面板的所述面板搬运装置具备在第一方向上排列的多个所述面板搬运机构和从在第一方向上相邻的两个所述面板搬运机构中的一方向另一方转移所述显示面板的面板转移机构。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具备防尘罩，所述防尘罩配置于所述滑动机构和所述载置部件之间，以防止尘埃附着到载置于所述载置部件上的所述显示面板。

11.根据权利要求10所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具备吸引机构，所述吸引机构吸引配置所述滑动机构的空间的空气。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具备检测机构，所述检测机构用于在所述载置部件的停止位置检测所述显示面板是否载置于所述载置部件上。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的面板搬运***，其特征在于，

所述处理装置是对所述显示面板进行点亮检查的检查装置。

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