KR101827313B1 - AOI θ축 얼라인 조정이 가능한 이송장치를 갖는 인라인 스테이지 - Google Patents

AOI θ축 얼라인 조정이 가능한 이송장치를 갖는 인라인 스테이지 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 인라인 스테이지의 이송장치는 상기 검사 대상체가 놓여지고, 인라인 스테이지(10)를 왕복이송하며, θ축 얼라인 조정이 가능한 이송 플레이트부(110)와, 승/하강하여 상기 이송 플레이트부(110) 상부에 검사 대상체를 로딩 시키거나 언로딩 시키는 컨베이어부(120)와, 상기 컨베이어부(120)를 지지하도록 길이방향에 수직하게 구비되어 상기 인라인 스테이지(10)의 일측 및 타측에 각각 배치되는 제1 및 제2크로스바(130,131)와, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131)를 승/하강시키며, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131) 각각의 양단에 결합된 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141)를 포함하여 이루어진다.

Description

AOI θ축 얼라인 조정이 가능한 이송장치를 갖는 인라인 스테이지{AOI In-line stage with transport device capable of θ-axis alignment}
본 발명은 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 AOI θ축 얼라인 조정이 가능하며, 디스플레이 패널을 진공 흡착하여 이송시켜 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안전하게 이송시킬 수 있는 AOI θ축 얼라인 조정이 가능한 이송장치를 갖는 인라인 스테이지에 관한 것이다.
일반적으로, 인라인 검사장비는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널의 패턴결함이나 이물질 등을 검사하는 장비이다.
이러한 인라인 스테이지(in-line stage) 검사장비는 검사 대상 패널을 이송시키도록 컨베이어(conveyor)와, 컨베이어를 승/하강 시키는 승/하강 장치(up/down module)가 구비되며, 검사 대상 패널이 놓이는 스테이지 구동축과 동일한 기저면에 구성된다.
한편, 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, Stand Alone AOI 검사 설비의 경우 스테이지를 이송하는 스테이지 메인 베이스 하부에 θ축 얼라인(theta align axis)이 구성된다.
또한, 스테이지에는 각도를 보정할 수 있도록 동력을 전달하는 서보모터(servo motor)와 정밀 회전이 가능하도록 크로스 롤러 베어링(cross roller bearing)이 구비된다.
따라서 상기 컨베이어를 승/하강 시키는 승/하강 장치와 스테이지 구동축이 동일한 기저면에 구성되기 때문에 기존 스테이지 인라이 컨베이어 구조에 각도 보정을 위한 θ축 얼라인 모듈 적용 시 θ축 얼라인 모듈이 컨베이어 승/하강 장치와 간섭이 발생하는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 검사 대상 패널의 θ축 얼라인 보정을 위한 θ축 얼라인 모듈과 컨베이어 승/하강 장치가 간섭이 발생하지 않도록 승/하강 장치를 인라인 스테이지의 외측에 구성함으로서 AOI θ축 얼라인 조정이 가능한 이송장치를 갖는 인라인 스테이지를 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.
그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 부품의 결함을 광학적으로 검출하기 위한 광학 검출기가 구성되고, 검사 대상체를 소정 간격으로 이동시키는 이송장치를 구비하여 검사를 실시하기 위한 인라인 스테이지에 있어서, 상기 이송장치는 상기 검사 대상체가 놓여지고, 인라인 스테이지(10)의 바텀(bottom) 플레이트(12)를 왕복이송하며, θ축 얼라인 조정이 가능한 이송 플레이트부(110);와, 승/하강하여 상기 이송 플레이트부(110) 상부에 검사 대상체를 로딩 시키거나 언로딩 시키는 컨베이어부(120);와, 상기 컨베이어부(120)를 지지하도록 길이방향에 수직하게 구비되어 상기 인라인 스테이지(10)의 일측 및 타측에 각각 배치되는 제1 및 제2크로스바(130,131);와, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131)를 승/하강시키며, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131) 각각의 양단에 결합된 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141);를 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 컨베이어부(120)는 상기 검사 대상체의 이송방향으로 일정간격을 두고 나란하게 다수개 배치되며, 양단이 상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)의 상부에 놓이는 지지프레임(121)과, 상기 지지프레임(121)에 다수개 설치되며 회전하는 컨베이어 롤러(122)와, 상기 컨베이어 롤러(122)를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 롤러 구동부(123)를 포함하여 이루어진다.
그리고 상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)에 상기 지지프레임(121)이 받쳐져 구비됨으로써 상기 컨베이어부(120)와 상기 바텀(bottom) 플레이트(12) 사이에는 공간(13)이 형성되며, 상기 공간(13)으로 상기 이송플레이트부(110)가 왕복 이송된다.
또한, 상기 이송 플레이트부(110)는 상기 바텀(bottom) 플레이트(12)의 상부에 길이방향으로 다수개 배치되어 동작하는 LM 가이드(111)와, 상기 LM 가이드(111) 상부에 배치되어 결합되고, 상기 LM 가이드(111)의 동작에 의해 길이방향으로 이송되는 베이스 플레이트(112)와, 상기 베이스 플레이트(112)의 상부에 배치되어 결합되고, 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인 보정을 위해 회전하는 θ축 조정 플레이트(113)를 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 베이스 플레이트(112)의 상부에는 서보모터(M2)와, 상기 베이스 플레이트(112)의 중심에 대해서 원호를 이루도록 연속 형성된 가이드블록(GB)이 구비된다.
그리고 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 하부에는 상기 가이드 블록(GB) 측으로 돌출된 가이드레일(GL)이 형성됨에 따라 상기 서보모터(M2)의 구동에 의해 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 가이드레일(GL)이 상기 베이스 플레이트(112)의 가이드 블록(GB)을 따라 이송된다.
또한, 상기 이송 플레이트부(110)는 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 복수개 배열되면서 일정간격을 두고 나란하게 배치된 수직판프레임(114)과, 상기 수직판프레임(114)과 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 다수개 배열되면서 상기 검사대상체를 상부면에 흡착 고정시키도록 흡착에어를 형성하는 흡착공(H)이 형성된 수평진공판(115)을 더 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 수평진공판(115)은 서로 인접하는 컨베이어부(120)의 지지프레임(121) 및 롤러(122)와 간섭되지 않도록 일정 간격을 두고 배치되어 상기 수평진공판(115)사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 일정 공간에 상기 컨베이어부(120)의 컨베이어 롤러(122)가 구비된다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따르면, 승/하강 구동부를 인라인 스테이지의 외측에 구성함으로서 이송 플레이트부와 승/하강 구동부의 간섭을 방지하여 θ축 얼라인 조정이 가능하여 검사 대상체의 위치가 틀어지는 문제점을 개선하여 검사결과의 정확도를 향상시킬 수 있다.
또한, 검사 대상체를 진공 흡착하여 이송시켜 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안전하게 이송시켜 결함 검출의 균일성 및 안정성을 확보하고, 검사 대상체의 평탄도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 일반적인 인라인 스테이지의 사시도,
도 2는 종래의 일반적인 Stand Alone AOI을 타나낸 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 컨베이어부가 구비된 인라인 스테이지의 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 인라인 스테이지의 평면도,
도 5는 본 발명에 따른 이송 플레이트부의 분해 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 컨베이어부가 분해된 상태의 인라인 스테이지의 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 컨베이어부 및 승/하강 구동부의 결합상태를 개략적으로 나타낸 확대도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.
아울러, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.
첨부된 도 2는 본 발명에 따른 인라인 스테이지의 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 컨베이어부가 구비된 인라인 스테이지의 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 인라인 스테이지의 정면도, 도 5는 본 발명에 따른 이송 플레이트부의 분해 사시도, 도 6은 본 발명에 따른 컨베이어부가 분해된 상태의 인라인 스테이지의 사시도, 도 7은 본 발명에 따른 컨베이어부 및 승/하강 구동부의 결합상태를 개략적으로 나타낸 확대도이다.
도 3이하에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 인라인 스테이지(10)는 부품의 결함을 광학적으로 검출하기 위한 광학 검출기(11)가 구성되고, 검사 대상체(미도시)를 소정 간격으로 이동시키는 이송장치가 구비된다.
이때, 상기 이송장치는 플레이트부(110)와 컨베이어부(120)와 제1 및 제2크로스바(130,131)와 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141)를 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 플레이트부(110)는 상기 검사 대상체가 놓여지고, 인라인 스테이지(10)의 바텀(bottom) 플레이트(12) 상부를 왕복이송하며, θ축 얼라인 조정이 작동이 가능하다.
또한, 상기 컨베이어부(120)는 승/하강하여 상기 이송 플레이트부(110) 상부에 검사 대상체를 로딩 시키거나 언로딩 시킨다.
또한, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131)는 상기 컨베이어부(120)를 지지하도록 길이방향에 수직하게 구비되어 상기 인라인 스테이지(10)의 일측 및 타측에 각각 배치된다.
또한, 상기 컨베이어부(120)는 상기 검사 대상체의 이송방향으로 일정간격을 두고 나란하게 다수개 배치되며, 양단이 상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)의 상부에 놓이는 지지프레임(121)과, 상기 지지프레임(121)에 다수개 설치되며 회전하는 컨베이어 롤러(122)와, 상기 컨베이어 롤러(122)를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 롤러 구동부(123)를 포함하여 이루어진다.
즉, 상기 컨베이어부(120)는 길이방향에 대해 양쪽을 지지할 수 있도록 상기 제1 및 제2크로스바(130,131)의 상부에 설치되는 지지프레임(121)과, 상기 지지프레임(121)에 다수개 설치되는 컨베이어 롤러(122)를 포함한다.
그리고 상기 지지프레임(121)이 짝수개(4개 이상) 구비될 때, 외측(최외측)에 구비되는 지지프레임(121)을 제외한 지지프레임(121)이 2개씩 연결되도록 일측 및 타측에서 각각 결합된 연결부를 더 포함한다.
또한, 상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)에 상기 지지프레임(121)이 받쳐져 구비됨으로써 상기 컨베이어부(120)와 상기 바텀(bottom) 플레이트(12) 사이에는 공간(13)이 형성되며, 상기 공간(13)으로 상기 이송플레이트부(110)가 왕복 이송된다.
또한, 상기 이송 플레이트부(110)는 상기 바텀(bottom) 플레이트(12)의 상부에 길이방향으로 다수개 배치되어 동작하는 LM 가이드(111)와, 상기 LM 가이드(111) 상부에 배치되어 결합되고, 상기 LM 가이드(111)의 동작에 의해 길이방향으로 이송되는 베이스 플레이트(112)와, 상기 베이스 플레이트(112)의 상부에 배치되어 결합되고, 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인 보정을 위해 회전하는 θ축 조정 플레이트(113)를 포함하여 이루어진다.
이때, 상기 LM 가이드(111)는 레일 위에 블록이 길이방향으로 움직이는 구조로써 구동모터(리니어 모터)에 의해 블록이 레일 위에서 움직이도록 하는 것으로, 이에 대해 공지된 사항이므로 구조 및 작동원리에 대해서 상세한 설명은 생략한다.
또한, 상기 베이스 플레이트(112)의 상부에는 서보모터(M2)와, 상기 베이스 플레이트(112)의 중심에 대해서 원호를 이루도록 연속 형성된 가이드블록(GB)이 구비된다.
그리고 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 하부에는 상기 가이드 블록(GB) 측으로 돌출된 가이드레일(GL)이 형성됨에 따라 상기 서보모터(M2)의 구동에 의해 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 가이드레일(GL)이 상기 베이스 플레이트(112)의 가이드 블록(GB)을 따라 이송된다.
이에 따라 상기 서보모터(M2)의 구동에 의해 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 가이드레일(GL)이 상기 베이스 플레이트(112)의 가이드 블록(GB)을 따라 이송됨으로써 검사 대상체의 θ축 얼라인 조정이 이루어진다.
즉, 상류장비에서 인라인 스테이지(10) 측으로 검사 대상체를 전달하기 위해서 신호를 보내면 인라인 스테이지(10)의 이송장치는 작동을 시작하게 되며, 이때 상기 컨베이어부(120)에 의해 상기 플레이트부(110) 상부에 검사 대상체가 놓여진다.
그리고 상기 수평진공판(115)의 상부면 상에 흡착 고정된 검사 대상체는 얼라인먼트 카메라(미도시)에 의해서 마크(mark)를 읽은 후 상기 서보모터(M2)의 구동에 의해 회전하는 θ축 조정 플레이트(113)에 의해서 검사 대상체의 θ축 얼라인 조정이 이루어진다.
또한, 상기 이송 플레이트부(110)는 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 복수개 배열되면서 일정간격을 두고 나란하게 배치된 수직판프레임(114)과, 상기 수직판프레임(114)과 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 다수개 배열되면서 상기 검사대상체를 상부면에 흡착 고정시키도록 흡착에어를 형성하는 흡착공(H)이 형성된 수평진공판(115)을 더 포함하여 이루어진다.
따라서 상기 수직판프레임(114)의 상부에 상기 수직판프레임(114)을 따라 상기 검사 대상체를 흡착 고정하는 수평진공판(115)이 구비됨으로써 검사 대상체를 진공 흡착하여 흔들림 없이 안전하게 이송시켜 결함 검출의 균일성 및 안정성을 확보하고, 검사 대상체의 평탄도를 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 수평진공판(115)은 서로 인접하는 컨베이어부(120)의 지지프레임(121) 및 롤러(122)와 간섭되지 않도록 일정 간격을 두고 배치되어 상기 수평진공판(115)사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 일정 공간에 상기 컨베이어부(120)의 컨베이어 롤러(122)가 구비된다.
다시 말해서, 상기 수평진공판(115)에는 흡착에어를 형성하는 흡착공(H)이 형성되어 검사 대상체를 수평진공판(115)의 상부면에 흡착 고정시키며, 대략 사각판상의 판체형상이다.
또한, 상기 수직판프레임(114)은 일정간격을 두고 나란하게 배치되며, 상기 수평진공판(115)은 검사 대상체의 이송방향으로 배열되면서 서로 인접하는 컨베이어 롤러(122)와 간섭되지 않도록 배치된다.
또한, 상기 수직판프레임(114)은 상기 수평진공판(115)을 지지하며, 상기 수평진공판(115)은 일정 간격을 두고 배치되어 상기 수평진공판(115) 사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 일정 공간에 상기 컨베이어부(120)의 컨베이어 롤러(122)가 구비된다.
즉, 좌우양측 외측에 배치된 수직판프레임을 제외하고, 하나의 수평진공판이 두개의 수직판프레임 상부면에 접촉되도록 배치되어 상기 수평 진공판이 일정 간격을 두고 배치되며 수평진공판(115) 사이마다 일정 공간이 형성된다.
이때, 상기 하나의 수평진공판과 접촉된 두개의 수직판프레임에 다른 하나의 수평진공판이 겹쳐져 접촉되지 않도록 형성된다.
한편, 상기 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141)는 상기 인라인 스테이지(10)의 상부 모서리 측에 각각 고정 설치된 리니어모터(M1) 및 상기 각각의 리니어모터(M1)에 결합되어 상기 리니어모터(M1) 작동에 의해 수직하게 상하로 동작되는 업다운 포스트(post)(P)를 포함한다.
또한, 상기 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141)는 상기 제1 및 제2크로스바(130,131)를 승/하강시키며, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131) 각각의 양단에 결합된다.
이때, 상기 LM 가이드(111)는 상기 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141)보다 상기 라인 스테이지(10)의 내측에 배치된다.
즉, 상기 LM 가이드(111)는 상기 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141)의 업다운 포스트(P) 사이에 배치된다.
따라서 상기 승/하강 구동부(140,141)를 인라인 스테이지(10)의 외측에 구성함으로서 이송 플레이트부(110)와 승/하강 구동부(140,141)의 간섭을 방지할 수 있다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 범주에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 명확해질 것이다.
10 : 인라인 스테이지 110 : 이송 플레이트부
111 : LM 가이드 112 : 베이스 플레이트
113 : θ축 조정 플레이트 114 : 수직판프레임
115 : 수평진공판 120 : 컨베이어부
121 : 지지프레임 122 : 컨베이어 롤러
123 : 연결부 130,131 : 제1 및 제2크로스바
140,141 : 제1 및 제2 승/하강 구동부
GB : 가이드 블록 GL : 가이드 레일

Claims (6)

  1. 부품의 결함을 광학적으로 검출하기 위한 광학 검출기가 구성되고, 검사 대상체를 소정 간격으로 이동시키는 이송장치를 구비하여 검사를 실시하기 위한 인라인 스테이지에 있어서,
    상기 이송장치는,
    상기 검사 대상체가 놓여지고, 인라인 스테이지(10)의 바텀(bottom) 플레이트(12)를 왕복이송하며, θ축 얼라인 조정이 가능한 이송 플레이트부(110);와,
    승/하강하여 상기 이송 플레이트부(110) 상부에 검사 대상체를 로딩 시키거나 언로딩 시키는 컨베이어부(120);와,
    상기 컨베이어부(120)를 지지하도록 길이방향에 수직하게 구비되어 상기 인라인 스테이지(10)의 일측 및 타측에 각각 배치되는 제1 및 제2크로스바(130,131);와
    상기 제1 및 제2크로스바(130,131)를 승/하강시키며, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131) 각각의 양단에 결합된 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141); 를 포함하되,
    상기 컨베이어부(120)는,
    상기 검사 대상체의 이송방향으로 일정간격을 두고 나란하게 다수개 배치되며, 양단이 상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)의 상부에 놓이는 지지프레임(121)과,
    상기 지지프레임(121)에 다수개 설치되며 회전하는 컨베이어 롤러(122)와,
    상기 컨베이어 롤러(122)를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 롤러 구동부(123)를 포함하여 이루어지되,
    상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)에 상기 지지프레임(121)이 받쳐져 구비됨으로써 상기 컨베이어부(120)와 상기 바텀(bottom) 플레이트(12) 사이에는 공간(13)이 형성되며,
    상기 공간(13)으로 상기 이송플레이트부(110)가 왕복 이송되는 것을 특징으로 하는 인라인 스테이지.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 이송 플레이트부(110)는,
    상기 바텀(bottom) 플레이트(12)의 상부에 길이방향으로 다수개 배치되어 동작하는 LM 가이드(111)와,
    상기 LM 가이드(111) 상부에 배치되어 결합되고, 상기 LM 가이드(111)의 동작에 의해 길이방향으로 이송되는 베이스 플레이트(112)와,
    상기 베이스 플레이트(112)의 상부에 배치되어 결합되고, 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인 보정을 위해 회전하는 θ축 조정 플레이트(113)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 인라인 스테이지.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트(112)의 상부에는 서보모터(M2)와, 상기 베이스 플레이트(112)의 중심에 대해서 원호를 이루도록 연속 형성된 가이드블록(GB)이 구비되되,
    상기 θ축 조정 플레이트(113)의 하부에는 상기 가이드 블록(GB) 측으로 돌출된 가이드레일(GL)이 형성됨에 따라 상기 서보모터(M2)의 구동에 의해 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 가이드레일(GL)이 상기 베이스 플레이트(112)의 가이드 블록(GB)을 따라 이송되는 것을 특징으로 하는 인라인 스테이지.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 이송 플레이트부(110)는,
    상기 θ축 조정 플레이트(113)의 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 복수개 배열되면서 일정간격을 두고 나란하게 배치된 수직판프레임(114)과,
    상기 수직판프레임(114)과 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 다수개 배열되면서 상기 검사대상체를 상부면에 흡착 고정시키도록 흡착에어를 형성하는 흡착공(H)이 형성된 수평진공판(115)을 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 인라인 스테이지.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 수평진공판(115)은 서로 인접하는 컨베이어부(120)의 지지프레임(121) 및 롤러(122)와 간섭되지 않도록 일정 간격을 두고 배치되어 상기 수평진공판(115)사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 일정 공간에 상기 컨베이어부(120)의 컨베이어 롤러(122)가 구비된 것을 특징으로 하는 인라인 스테이지.
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