CN111747116A - 面板搬运装置及面板搬运*** - Google Patents

Abstract

一种面板搬运装置及面板搬运***，该面板搬运装置进行搬入处理装置的显示面板的搬运及从处理装置搬出的显示面板的搬运，能够在与显示面板的搬运方向正交的方向上实现小型化。面板搬运装置(10)具备用于搬运搬入处理装置(3)的液晶面板(2)的面板搬运机构(20)和用于搬运从处理装置搬出的液晶面板的面板搬运机构(21)。面板搬运机构(20)具备载置液晶面板的载置部件(22)，面板搬运机构(21)具备载置液晶面板的载置部件(24)。在面板搬运装置中，载置部件(22)和载置部件(24)以在上下方向上相互错开的状态配置，并且载置部件(22)的至少一部分和载置部件(24)的至少一部分在与液晶面板的搬运方向正交的Y方向上配置于相同位置。

Description

面板搬运装置及面板搬运***

技术领域

本发明涉及搬运液晶面板等显示面板的面板搬运装置。另外，本发明涉及搬运液晶面板等显示面板的面板搬运***。

背景技术

目前，已知有具备用于点亮检查液晶面板的检查装置的检查***(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的检查***具备多个检查装置、搬运搬入多个检查装置的液晶面板的搬入侧的输送机、搬运从多个检查装置搬出的液晶面板的搬出侧的输送机。多个检查装置排列在输送机对液晶面板的搬运方向上。另外，搬入侧的输送机和搬出侧的输送机在与输送机对液晶面板的搬运方向正交的方向上相邻配置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017－198499号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的检查***中，搬入侧的输送机和搬出侧的输送机在与输送机对液晶面板的搬运方向正交的方向(更具体而言，与输送机对液晶面板的搬运方向和上下方向正交的方向)上相邻配置，因此，在与液晶面板的搬运方向正交的方向上，检查***大型化。

于是，本发明的技术问题在于提供一种面板搬运装置，其进行搬入进行显示面板的处理的处理装置的显示面板的搬运及从处理装置搬出的显示面板的搬运，该面板搬运装置能够在与显示面板的搬运方向正交的方向上实现小型化。另外，本发明的技术问题在于提供一种面板搬运***，其具备多个进行搬入处理装置的显示面板的搬运及从处理装置搬出的显示面板的搬运的面板搬运装置，该面板搬运***能够在与显示面板的搬运方向正交的方向上实现小型化。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种面板搬运装置，其特征在于，具备搬入侧面板搬运机构和搬出侧面板搬运机构，所述搬入侧面板搬运机构用于搬运搬入进行显示面板的处理的处理装置的显示面板，所述搬出侧面板搬运机构用于搬运从处理装置搬出的显示面板，搬入侧面板搬运机构具备载置显示面板的搬入侧载置部件和使搬入侧载置部件向水平方向直线地移动的搬入侧滑动机构，搬出侧面板搬运机构具备载置显示面板的搬出侧载置部件和使搬出侧载置部件向水平方向直线地移动的搬出侧滑动机构，搬入侧载置部件的往复移动方向和搬出侧载置部件的往复移动方向一致，将搬入侧载置部件的往复移动方向及搬出侧载置部件的往复移动方向设为第一方向，将与第一方向和上下方向正交的方向设为第二方向时，搬入侧载置部件和搬出侧载置部件以在上下方向上相互错开的状态配置，且搬入侧载置部件的至少一部分和搬出侧载置部件的至少一部分在第二方向上配置于相同位置。

在本发明的面板搬运装置中，用于搬运搬入处理装置的显示面板的搬入侧面板搬运机构的搬入侧载置部件和用于搬运从处理装置搬出的显示面板的搬出侧面板搬运机构的搬出侧载置部件以在上下方向相互错开的状态配置，并且搬入侧载置部件的至少一部分和搬出侧载置部件的至少一部分在第二方向上配置于相同位置。因此，在本发明中，在进行搬入处理装置的显示面板的搬运及从处理装置搬出的显示面板的搬运的面板搬运机构中，能够在与搬入侧面板搬运机构及搬出侧面板搬运机构对显示面板的搬运方向正交的第二方向上使面板搬运装置实现小型化。

在本发明中，理想的是，面板搬运装置具备面板升降机构和面板搬入搬出机构，所述面板升降机构至少使显示面板在上下方向上配置搬入侧载置部件的位置和在上下方向上配置搬出侧载置部件的位置之间升降，所述面板搬入搬出机构进行显示面板向处理装置的搬入和显示面板从处理装置的搬出。当这样构成时，即使搬入侧载置部件和搬出侧载置部件以在上下方向上错开的状态配置，也能够将面板搬入搬出机构接收搬入处理装置的显示面板时的显示面板的高度和面板搬入搬出机构转移从处理装置搬出的显示面板时的显示面板的高度调整为相同高度。因此，能够简化面板搬入搬出机构的结构及控制。

在本发明中，例如，面板搬入搬出机构从搬入侧面板搬运机构接收显示面板，并且向面板升降机构转移显示面板，搬入侧载置部件配置于比搬出侧载置部件靠上侧的位置，面板升降机构在上下方向上在配置有搬入侧载置部件的位置处从面板搬入搬出机构接收到显示面板之后，使显示面板下降，将其载置于搬出侧载置部件上。

在本发明中，例如，面板搬入搬出机构具备面板把持部、本体部、把持部升降机构及把持部转动机构，所述面板把持部从上侧吸附并把持显示面板，所述本体部能升降且能转动地保持面板把持部，所述把持部升降机构使面板把持部相对于本体部升降，所述把持部转动机构使面板把持部以上下方向为转动的轴向相对于本体部转动。

在本发明中，例如，面板搬运装置具备盒配置部和面板转移机构，所述盒配置部配置有收纳多片显示面板的盒，所述面板转移机构从配置于盒配置部的盒搬出显示面板，并将其载置于搬入侧载置部件上。在这种情况下，能够将从盒中搬出的显示面板搬入处理装置。

在本发明中，例如，处理装置是用于点亮检查显示面板的检查装置。

本发明的面板搬运装置能够用于面板搬运***。例如，该面板搬运***具备多个面板搬运装置，多个面板搬运装置沿着第一方向配置，多个面板搬运装置具有的输入侧面板搬运机构或搬出侧面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，以在上下方向上相互错开的状态配置的多个搬入侧面板搬运机构或搬出侧面板搬运机构的至少一部分在第二方向上配置于相同位置。

在该面板搬运***中，能够在与显示面板的搬运方向正交的第二方向上将面板搬运装置小型化，因此，能够在与显示面板的搬运方向正交的第二方向上将面板搬运***小型化。另外，在该面板搬运***中，多个搬入侧面板搬运机构或搬出侧面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，以在上下方向上相互错开的状态配置的多个搬入侧面板搬运机构或搬出侧面板搬运机构的至少一部分在第二方向上配置于相同位置，因此，即使面板搬运***具备沿着第一方向配置的(即，沿着显示面板的搬运方向配置的)多个面板搬运装置，也能够在与显示面板的搬运方向正交的第二方向上将面板搬运***小型化。

在本发明中，理想的是，以在上下方向上相互错开的状态配置的多个搬入侧面板搬运机构或搬出侧面板搬运机构在第二方向上配置于相同位置。当这样构成时，即使面板搬运***具备沿着显示面板的搬运方向配置的多个面板搬运装置，也能够在与显示面板的搬运方向正交的第二方向上将面板搬运***进一步小型化。

在本发明中，例如，面板搬运***具备面板收集部，所述面板收集部收集由处理装置处理后的显示面板，将第一方向的一方设为第三方向时，面板收集部配置于面板搬运***的第三方向的端部，多个面板搬运装置具有的搬出侧面板搬运机构将载置于搬出侧载置部件上的显示面板搬运到面板收集部，多个搬出侧面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，并且在第二方向上配置于相同位置。

另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种面板搬运***，其特征在于，具备多个面板搬运装置，所述面板搬运装置对进行显示面板的处理的处理装置搬运显示面板，面板搬运机构具备搬入侧面板搬运机构和搬出侧面板搬运机构，所述搬入侧面板搬运机构用于搬运搬入处理装置的显示面板，所述搬出侧面板搬运机构用于搬运从处理装置搬出的显示面板，搬入侧面板搬运机构具备载置显示面板的搬入侧载置部件和使搬入侧载置部件向水平方向直线地移动的搬入侧滑动机构，搬出侧面板搬运机构具备载置显示面板的搬出侧载置部件和使搬出侧载置部件向水平方向直线地移动的搬出侧滑动机构，搬入侧载置部件的往复移动方向和搬出侧载置部件的往复移动方向一致，将搬入侧载置部件的往复移动方向及搬出侧载置部件的往复移动方向设为第一方向，将与第一方向和上下方向正交的方向设为第二方向时，多个面板搬运装置沿着第一方向配置，多个面板搬运装置具有的搬入侧面板搬运机构或搬出侧面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，以在上下方向上相互错开的状态配置的多个搬入侧面板搬运机构或搬出侧面板搬运机构的至少一部分在第二方向上配置于相同位置。

在本发明的面板搬运***中，多个面板搬运装置具有的多个搬入侧面板搬运机构或搬出侧面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，以在上下方向上相互错开的状态配置的多个搬入侧面板搬运机构或搬出侧面板搬运机构的至少一部分在第二方向上配置于相同位置。因此，在本发明中，即使面板搬运***具备进行搬入处理装置的显示面板的搬运及从处理装置搬出的显示面板的搬运并且沿着第一方向配置的(即，沿着显示面板的搬运方向配置的)多个面板搬运装置，也能够在与显示面板的搬运方向正交的第二方向上将面板搬运***小型化。

在本发明中，理想的是，以在上下方向上相互错开的状态配置的多个搬入侧面板搬运机构或搬出侧面板搬运机构在第二方向上配置于相同位置。当这样构成时，即使面板搬运***具备沿着显示面板的搬运方向配置的多个面板搬运装置，也能够在与显示面板的搬运方向正交的第二方向上将面板搬运***进一步小型化。

在本发明中，例如，面板搬运***具备面板收集部，所述面板收集部收集由处理装置处理后的显示面板，将第一方向的一方设为第三方向，将第三方向的相反方向设为第四方向时，面板收集部配置于面板搬运***的第三方向的端部，多个面板搬运装置具有的搬出侧面板搬运机构将载置于搬出侧载置部件上的显示面板搬运到面板收集部，多个搬出侧面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，并且在第二方向上配置于相同位置。

在本发明中，理想的是，面板搬运装置具备盒配置部和面板转移机构，所述盒配置部配置有收纳多片显示面板的盒，所述面板转移机构从配置于盒配置部的盒搬出显示面板，并将其载置于搬入侧载置部件上，多个面板搬运装置具有的搬入侧面板搬运机构在第二方向上配置于相同位置。当这样构成时，即使面板搬运***具备沿着显示面板的搬运方向配置的多个面板搬运装置，也能够在与显示面板的搬运方向正交的第二方向将面板搬运***进一步小型化。

在本发明中，例如，多个面板搬运装置具有的搬入侧面板搬运机构在上下方向上配置于相同位置。

在本发明中，理想的是，具备配置于搬出侧滑动机构和搬出侧载置部件之间的防尘罩，以防止灰尘附着到载置于搬出侧载置部件上的显示面板。当这样构成时，即使以在上下方向上相互错开的状态配置的多个搬出侧面板搬运机构在第二方向上配置于相同位置，也能够防止由搬出侧滑动机构产生的尘埃附着到载置于搬出侧载置部件上的显示面板。

在本发明中，理想的是，面板搬运***具备吸引机构，所述吸引机构吸引配置搬出侧滑动机构的空间的空气。当这样构成时，即使以在上下方向上相互错开的状态配置的多个搬出侧面板搬运机构在第二方向上配置于相同位置，也能够更有效地防止由搬出侧滑动机构产生的尘埃附着到载置于搬出侧载置部件上的显示面板。

在本发明中，理想的是，面板搬运***具备检测机构，所述检测机构用于在搬出侧载置部件的停止位置处检测显示面板是否已经载置在搬出侧载置部件上。当这样构成时，能够基于检测机构的检测结果防止面板搬运***的误动作。另外，当这样构成时，由于在搬出侧载置部件的停止位置检测显示面板是否被载置于搬出侧载置部件上，从而通过检测机构能够高精确地检测显示面板是否被载置于搬出侧载置部件上。

在本发明中，理想的是，面板搬运***具有的面板搬运装置的数量与处理装置的数量相等，多个处理装置在第一方向上排列，多个面板搬运装置各自对多个处理装置分别搬运显示面板，至少对多个处理装置中的配置于最靠第四方向侧的处理装置搬运显示面板的面板搬运装置具备多个搬出侧面板搬运机构和面板转移机构，其中，多个搬出侧面板搬运机构在第一方向上排列，面板转移机构将显示面板从在第一方向上相邻的两个搬出侧面板搬运机构中的一方转移到另一方。当这样构成时，在向配置于最靠第四方向侧的处理装置搬运显示面板的面板搬运装置中，与由一个搬出侧面板搬运机构将显示面板搬运到面板收集部的情况相比，能够缩短该面板搬运装置的循环时间。

发明效果

如上所述，在本发明中，在进行被搬入进行显示面板的处理的处理装置的显示面板的搬运及从处理装置搬出的显示面板的搬运的面板搬运装置中，能够在与显示面板的搬运方向正交的方向上将面板搬运装置小型化。另外，在本发明中，在具备多个进行被搬入处理装置的显示面板的搬运及从处理装置搬出的显示面板的搬运的面板搬运装置的面板搬运***中，能够在与显示面板的搬运方向正交的方向上将面板搬运***小型化。

附图说明

图1是本发明实施方式的面板搬运***及处理装置的立体图。

图2是图1所示的面板搬运***及处理装置的俯视图。

图3是用于说明图1所示的面板搬运***的结构的侧视图。

图4是图1所示的面板搬运装置的立体图。

图5是用于说明图4所示的面板搬运装置的结构的俯视图。

图6是用于从图3的E－E方向说明面板搬运***的结构的主视图。

图7是图6的F部的放大图。

图8是用于说明图4所示的面板搬运装置的动作的立体图。

图9是用于说明图4所示的面板搬运装置的动作的立体图。

图10是用于说明图4所示的面板搬运装置的动作的立体图。

图11是用于说明图4所示的面板搬运装置的动作的立体图。

图12是用于说明图4所示的面板搬运装置的动作的立体图。

图13是用于说明图4所示的面板搬运装置的动作的立体图。

图14是用于说明图4所示的面板搬运装置的动作的立体图。

附图标记说明

1面板搬运***

2液晶面板(显示面板)

3～5检查装置(处理装置)

6盒

10～12面板搬运装置

15面板收集部

20面板搬运机构(搬入侧面板搬运机构)

21、41、51面板搬运机构(搬出侧面板搬运机构)

22载置部件(搬入侧载置部件)

23滑动机构(搬入侧滑动机构)

24、44、54载置部件(搬出侧载置部件)

25、45、55滑动机构(搬出侧滑动机构)

27盒配置部

28机器人(面板转移机构)

29机器人(面板搬入搬出机构)

30面板升降机构

31面板升降机构(面板转移机构)

38面板把持部

39本体部

60防尘罩

61吸引机构

62检测机构

X第一方向

X1第四方向

X2第三方向

Y第二方向

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(面板搬运***的概略结构)

图1是本发明实施方式的面板搬运***1及检查装置3～5的立体图。图2是图1所示的面板搬运***1及检查装置3～5的俯视图。图3是用于说明图1所示的面板搬运***1的结构的侧视图。

本实施方式的面板搬运***1被编入移动设备等中使用的较小型的液晶显示器的生产线中使用。面板搬运***1搬运作为显示面板的液晶面板2。具体而言，面板搬运***1进行液晶面板2向检查液晶面板2的检查装置3～5的搬入及液晶面板2从检查装置3～5的搬出。另外，面板搬运***1进行液晶面板2向三台检查装置3～5的搬入及液晶面板2从三台检查装置3～5的搬出。液晶面板2形成为长方形的平板状。本实施方式的检查装置3～5是进行液晶面板2的处理的处理装置。

由检查装置3～5进行检查前的液晶面板2被收纳于盒6中，由检查装置3～5进行了检查后的液晶面板2被收纳于托盘7(参照图2)中。盒6的外形为长方体。在盒6中收纳有多片液晶面板2。在后述的盒配置部27配置有盒6时，收纳于盒6中的液晶面板2被配置为液晶面板2的厚度方向和上下方向大致一致，在上下方向上隔开一定间隔的状态的多片液晶面板2被配置为在上下方向上重叠。托盘7形成为大致长方形的平板状，在托盘7的上表面形成有收纳液晶面板2的凹部。在托盘7中，以在上下方向上不重叠的状态收纳有多片液晶面板2。

面板搬运***1具备将液晶面板2搬运到检查装置3～5的多个面板搬运装置10～12。本实施方式的面板搬运***1具备三台面板搬运装置10～12。即，面板搬运***1具有的面板搬运装置10～12的数量与检查装置3～5的数量相等。三台面板搬运装置10～12分别将液晶面板2搬运到三台检查装置3～5。具体而言，面板搬运装置10将液晶面板2搬运到检查装置3，面板搬运装置11将液晶面板2搬运到检查装置4，面板搬运装置12将液晶面板2搬运到检查装置5。

另外，面板搬运***1具备以多层堆叠的状态配置有托盘7的多个托盘配置部13(参照图2)和将液晶面板2从面板搬运装置10～12搬运到托盘7的一台机器人14。在本实施方式中，由多个托盘配置部13和机器人14构成面板收集部15，该面板收集部15收集由检查装置3～5检查后(即，由检查装置3～5处理后)的液晶面板2。

三台检查装置3～5沿水平方向排列。在以下的说明中，将作为三台检查装置3～5的排列方向的图1等的X方向设为“前后方向”，将与上下方向和前后方向正交的图1等的Y方向设为“左右方向”。另外，将作为前后方向的一侧的图1等的X1方向侧设为“前”侧，将作为其相反侧的图1等的X2方向设为“后”侧，将作为左右方向的一侧的图1等的Y1方向侧设为“右”侧，将作为其相反侧的图1等的Y2方向侧设为“左”侧。

检查装置3～5从前侧朝向后侧依次配置。即，检查装置3配置于最前侧，检查装置5配置于最后侧。检查装置3～5是用于点亮检查液晶面板2的点亮检查装置。检查装置3～5例如具备载置液晶面板2的两个面板载置部16、保持两个面板载置部16的保持部、使保持部以上下方向为旋转的轴向旋转的旋转机构以及在点亮检查液晶面板2时内部为暗室的框体。

框体的内部设置有用于点亮检查液晶面板2的背光灯及摄像头。在面板载置部16例如载置两片液晶面板2。旋转机构使面板保持部在如下两个位置之间旋转，其中一个位置是两个面板载置部16中的一面板载置部16配置在框体的外部并且另一面板载置部16配置在框体的内部，另一个位置是一面板载置部16配置在框体的内部并且另一面板载置部16配置在框体的外部。配置到框体的外部的面板载置部16配置于框体的右侧。

面板收集部15配置于面板搬运***1的后端部。另外，面板收集部15配置于检查装置5的后侧。托盘配置部13具备使托盘7升降的托盘升降机构。机器人14配置于多个托盘配置部13的上侧。机器人14是所谓的双轴正交机器人，具备从上侧吸附并把持液晶面板2的面板把持部、使面板把持部沿前后方向移动的滑动机构以及使面板把持部沿左右方向移动的滑动机构。

机器人14从面板搬运装置10～12接收检查后的液晶面板2，将液晶面板2收纳到配置于托盘配置部13的最上层的托盘7中。具体而言，机器人14将检查后的液晶面板2搬运到根据检查装置3～5的检查结果选择的托盘配置部13，并将液晶面板2收纳到配置于该托盘配置部13的最上层的托盘7中。

(面板搬运装置的结构)

图4是图1所示的面板搬运装置10的立体图。图5是用于说明图4所示的面板搬运装置10的结构的俯视图。图6是用于从图3的E－E方向说明面板搬运***1的结构的主视图。图7是图6的F部的放大图。

面板搬运装置10～12配置于检查装置3～5的右侧。面板搬运装置10～12沿着前后方向配置。面板搬运装置10具备用于搬运搬入检查装置3的液晶面板2的面板搬运机构20和用于搬运从检查装置3搬出的液晶面板2的面板搬运机构21。本实施方式的面板搬运装置10具备一个面板搬运机构20和多个面板搬运机构21。具体而言，面板搬运装置10具备一个面板搬运机构20和两个面板搬运机构21(参照图3)。本实施方式的面板搬运机构20是搬入侧面板搬运机构，面板搬运机构21是搬出侧面板搬运机构。

面板搬运机构20具备载置液晶面板2的载置部件22和使载置部件22向水平方向直线移动的滑动机构23。面板搬运机构21具备载置液晶面板2的载置部件24和使载置部件24向水平方向直线移动的滑动机构25。本实施方式的载置部件22是搬入侧载置部件，滑动机构23是搬入侧滑动机构，载置部件24是搬出侧载置部件，滑动机构25是搬出侧滑动机构。

另外，面板搬运机构10具备配置有盒6的盒配置部27、从配置于盒配置部27的盒6搬出液晶面板2的机器人28、进行液晶面板2向检查装置3的搬入和液晶面板2从检查装置3的搬出的机器人29、以及使液晶面板2升降的面板升降机构30～32。本实施方式的机器人28是面板转移机构，机器人29是面板搬入搬出机构。

盒配置部27配置于检查装置3的右侧，并且配置于检查装置3的后端侧。机器人28在前后方向上配置于与盒配置部27相同的位置。另外，机器人28在左右方向上配置于检查装置3和盒配置部27之间。机器人29配置于比机器人28靠前侧的位置。面板升降机构30在前后方向上配置于与机器人29相同的位置。

机器人28是所谓的三轴正交机器人，具备从下侧吸附并把持液晶面板2的面板把持部35、使面板把持部35升降的滑动机构、使面板把持部35沿左右方向移动的滑动机构以及使面板把持部35沿前后方向移动的滑动机构。机器人28将收纳于盒6中的液晶面板2一片一片地向左侧取出，并载置于载置部件22。

面板搬运机构20配置于盒配置部27的左侧。另外，面板搬运机构20配置于比盒配置部27靠下侧的位置。载置部件22形成为平板状。载置部件22配置为载置部件22的厚度方向和上下方向一致。在载置部件22上可载置两片液晶面板2。在本实施方式中，载置于面板载置部16的液晶面板2的高度和载置于载置部件22的液晶面板2的高度相等。在载置部件22形成有在将液晶面板2载置于载置部件22时供面板把持部35通过的缺口部22a(参照图5)。缺口部22a以在前后方向上隔开间隔的状态形成于两处。另外，缺口部22a从载置部件22的左端面朝向右侧形成。

滑动机构23使载置部件22在前后方向上往复移动。滑动机构23例如具备电动机、具有通过电动机的动力旋转的丝杠轴及与丝杠轴卡合的螺母部件的滚珠丝杠以及在前后方向上引导载置部件22的导向机构。在滑动机构23上安装有载置部件22的右端部。此外，滑动机构23也可以具备通过电动机的动力旋转的带轮及皮带来代替滚珠丝杠。

面板搬运机构20将从机器人28接收到的液晶面板2向前侧搬运到能够向机器人29转移的位置。即，滑动机构23使载置部件22在能够从机器人28接收液晶面板2的位置和能够将液晶面板2转移给机器人29的位置之间在前后方向上往复移动。具体而言，滑动机构23使载置部件22在前后方向上配置有机器人28的位置和在前后方向配置有面板载置部16的位置之间在前后方向上往复移动。

面板搬运机构21在左右方向上配置于与面板搬运机构20大致相同的位置。另外，面板搬运机构21在上下方向配置于与面板搬运机构20错开的位置，载置部件24在上下方向配置于与载置部件22错开的位置。即，载置部件22和载置部件24在上下方向上以相互错开的状态配置。在本实施方式中，面板搬运机构21配置于比面板搬运机构20靠下侧的位置，载置部件24配置于比载置部件22靠下侧的位置。即，载置部件22配置于比载置部件24靠上侧的位置。

另外，两个面板搬运机构21在前后方向上排列。两个面板搬运机构21在上下方向及左右方向上配置于相同位置。在以下的说明中，在区分表示两个面板搬运机构21的情况下，将配置于前侧的面板搬运机构21设为“面板搬运机构21A”，将配置于后侧的面板搬运机构21设为“面板搬运机构21B”。

载置部件24形成为平板状。载置部件24配置为载置部件24的厚度方向和上下方向一致。在载置部件24上可以载置两片液晶面板2。在载置部件24上形成有缺口部24a，该缺口部24a在载置部件24上载置液晶面板2时供构成面板升降机构30的一部分的后述的面板把持部36通过(参照图5)。缺口部24a以在前后方向上隔开间隔的状态形成两处。另外，缺口部24a从载置部件24的右端面朝向左侧形成。

滑动机构25安装于面板搬运***1的框架33上。滑动机构25使载置部件24在前后方向上往复移动。即，载置部件22的往复移动方向和载置部件24的往复移动方向一致。本实施方式的前后方向(X方向)是作为载置部件22、24的往复移动方向的第一方向。另外，左右方向(Y方向)是与第一方向和上下方向正交的第二方向。另外，后方向(X2方向)是作为第一方向的一方的第三方向，前方向(X1方向)是作为第三方向的反方向的第四方向。

滑动机构25例如具备电动机、通过电动机的动力旋转的带轮及皮带和在前后方向上引导载置部件24的导向机构。在滑动机构25上安装有载置部件24的左端部。此外，滑动机构25也可以具备滚珠丝杠来代替带轮及皮带。

如后所述，面板升降机构31在前后方向上配置于配置面板搬运机构21A的后端部及面板搬运机构21B的前端部的位置。面板搬运机构21A的载置部件24在前后方向上，能够在配置面板载置部16的位置和配置面板升降机构31的位置之间移动。面板搬运机构21A的滑动机构25设置于比在前后方向上配置面板载置部16的位置稍靠前侧的位置和在前后方向上配置面板升降机构31的位置之间。

另外，面板搬运机构21B的载置部件24能够在前后方向上，在配置面板升降机构31的位置和配置机器人14的位置之间移动。面板搬运机构21B的滑动机构25在前后方向上设置于配置面板升降机构31的位置和比配置机器人14的位置稍靠后侧的位置之间。两个面板搬运机构21将从检查装置3搬出的液晶面板2向后侧搬运到能够转移给机器人14的位置。即，面板搬运机构21将载置于载置部件24的液晶面板2搬运到面板收集部15。

如上所述，载置部件22配置于比载置部件24靠上侧的位置。另外，如上所述，面板搬运机构21在左右方向上配置于与面板搬运机构20大致相同的位置。在本实施方式中，载置部件22的至少一部分和载置部件24的至少一部分在左右方向上配置于相同位置。具体而言，除载置部件22的右端部以外的载置部件22的大致整体和除载置部件24的左端部以外的载置部件24的大致整体在左右方向上配置于相同位置。滑动机构23配置于比滑动机构25靠右侧的位置。

面板升降机构30在前后方向上配置于与面板载置部16相同的位置。另外，面板升降机构30配置于滑动机构25的右侧。面板升降机构30具备从下侧吸附并把持液晶面板2的面板把持部36和使面板把持部36在上下方向上移动的滑动机构37。本实施方式的面板升降机构30具备形成为平板状的两片面板把持部36。面板把持部36配置为面板把持部36的厚度方向和上下方向一致。两片面板把持部36以在前后方向上隔开间隔的状态配置。

滑动机构37例如包括电动机、具有通过电动机的动力旋转的丝杠轴及与丝杠轴卡合的螺母部件的滚珠丝杠、以及将面板把持部36沿上下方向引导的导向机构。在滑动机构37上安装有面板把持部36的右端部。面板把持部36能够向比在上下方向上配置载置部件22的位置靠上侧的位置移动。另外，面板把持部36能够向比在上下方向上配置载置部件24的位置靠下侧的位置移动。即，面板升降机构30使由面板把持部36把持的液晶面板2至少在上下方向上配置载置部件22的位置和在上下方向上配置载置部件24的位置之间升降。

机器人29具备从上侧吸附并把持液晶面板2的面板把持部38、将面板把持部38能升降且能转动地保持的本体部39、使面板把持部38相对于本体部39升降的把持部升降机构、以及使面板把持部38以上下方向为转动的轴向相对于本体部39转动的把持部转动机构。本体部39在前后方向上配置于与面板载置部16相同的位置。即，本体部39在前后方向上配置于与面板升降机构30相同的位置。另外，本体部39在左右方向上配置于面板载置部16和滑动机构25之间。

本实施方式的机器人29具备两个面板把持部38。在从上侧观察时，两个面板把持部38相对于本体部39的中心以180°节距配置。两个面板把持部38通过连接部件40连接起来。面板把持部38把持两片液晶面板2。把持部升降机构及把持部转动机构收纳于本体部39的内部。从上侧观察，把持部转动机构以本体部39的中心为转动中心，使两个面板把持部38转动。

机器人29通过面板把持部38从上侧吸附并把持载置于在前后方向上配置面板载置部16的位置处停止的载置部件22的检查前的两片液晶面板2，并且通过面板把持部38从上侧吸附并把持了载置于面板载置部16的检查后的两片液晶面板2之后，使面板把持部38转动180°。之后，机器人29将把持于面板把持部38的检查前的两片液晶面板2载置于面板载置部16，并且，在上升至与载置部件22相同的高度而停止的面板把持部36载置由面板把持部38把持的检查后的两片液晶面板2。此时，载置部件22移动至在前后方向上配置有机器人28的位置，以免与面板把持部36有干扰。

即，机器人29从面板搬运机构20接收液晶面板2，并将液晶面板2转移给面板升降机构30。面板升降机构30在上下方向上配置有载置部件22的位置处从机器人29接收到液晶面板2后，使液晶面板2下降，并载置于面板搬运机构21A的载置部件24上。此时，面板搬运机构21A的载置部件24移动至在前后方向上配置面板载置部16的位置并停止。

面板升降机构31在前后方向上配置于配置面板搬运机构21A的后端部及面板搬运机构21B的前端部的位置。另外，面板升降机构31配置于滑动机构25的右侧。面板升降机构31构成为与面板升降机构30大致同样的结构。即，面板升降机构31具备从下侧吸附并保持液晶面板2的两片面板把持部和使面板把持部在上下方向上移动的滑动机构37。

但是，在面板升降机构31中，由滑动机构37进行的面板把持部的升降量比面板升降机构30中的由滑动机构37进行的面板把持部36的升降量小，面板升降机构31的滑动机构37的上下方向的长度比面板升降机构30的滑动机构37的上下方向的长度短。

面板升降机构31的面板把持部能够向比在上下方向上配置载置部件24的位置靠上侧的位置移动，并且能够向比在上下方向上配置载置部件24的位置靠下侧的位置移动。面板升降机构31从在前后方向上配置面板升降机构31的位置处停止的面板搬运机构21A的载置部件24接收液晶面板2。然后，面板升降机构31使面板把持部升降，将液晶面板2转移给在前后方向上配置面板升降机构31的位置处停止的面板搬运机构21B的载置部件24。本实施方式的面板升降机构31是将液晶面板2从在前后方向上相邻的面板搬运机构21A转移给面板搬运机构21B的面板转移机构。

面板升降机构32在前后方向上配置于配置机器人14的位置。另外，面板升降机构32配置于滑动机构25的右侧。面板升降机构32构成为与面板升降机构30大致同样的结构。即，面板升降机构32具备从下侧吸附并把持液晶面板2的两片面板把持部和使面板把持部在上下方向上移动的滑动机构37。

面板升降机构32的面板把持部能够向比在上下方向上配置后述的载置部件54的位置靠上侧的位置移动，并且能够向比在上下方向上配置载置部件24的位置靠下侧的位置移动。面板升降机构32从在前后方向上配置机器人14的位置处停止的面板搬运机构21B的载置部件24接收液晶面板2。然后，面板升降机构32使面板把持部上升至比载置部件54靠上侧的位置，将液晶面板2转移给机器人14。

这样，面板搬运机构21A将从面板升降机构30接收到的液晶面板2向后侧搬运到能够转移给面板升降机构31的位置。即，面板搬运机构21A的滑动机构25使载置部件24在能够从面板升降机构30接收液晶面板2的位置和能够将液晶面板2转移给面板升降机构31的位置之间在前后方向上往复移动。另外，面板搬运机构21B将从面板升降机构31接收到的液晶面板2向后侧搬运到能够转移给面板升降机构32的位置。即，面板搬运机构21B的滑动机构25使载置部件24在能够从面板升降机构31接收液晶面板2的位置和能够将液晶面板2转移给面板升降机构32的位置之间在前后方向上往复移动。

面板搬运装置11构成为与面板搬运装置10大致同样的结构。在以下面板搬运装置11的结构的说明中，对与面板搬运装置10具有的结构相同的结构标注相同的符号，并且以与面板搬运装置10的不同点为中心，说明面板搬运装置11的结构。面板搬运装置11具备用于搬运搬入检查装置4的液晶面板2的一个面板搬运机构20、和用于搬运从检查装置4搬出的面板2的一个面板搬运机构41。另外，面板搬运装置11具备盒配置部27、机器人28、29以及面板升降机构30、32。

面板搬运机构41具备载置液晶面板2的载置部件44和使载置部件44向水平方向直线移动的滑动机构45。载置部件44构成为与载置部件24大致同样的结构。在滑动机构45上安装有载置部件44的左端部。本实施方式的面板搬运机构41是搬出侧面板搬运机构。另外，载置部件44是搬出侧载置部件，滑动机构45是搬出侧滑动机构。

滑动机构45安装于面板搬运***1的框架33。滑动机构45使载置部件44在前后方向上往复移动。滑动机构45构成为与滑动机构25大致同样的结构。但是，由滑动机构45进行的载置部件44的前后方向的移动量比由两个滑动机构25进行的载置部件24的前后方向的移动量短，滑动机构45的前后方向的长度比两个滑动机构25的前后方向的合计长度短。

面板搬运装置11的面板搬运机构20与面板搬运装置10的面板搬运机构20在上下方向和左右方向上配置于相同位置。面板搬运机构41在左右方向上配置于与面板搬运装置11的面板搬运机构20大致相同的位置。另外，面板搬运机构41在上下方向上配置于与面板搬运装置11的面板搬运机构20错开的位置，载置部件22和载置部件44以在上下方向上相互错开的状态配置。在本实施方式中，载置部件22配置于比载置部件44靠上侧的位置。

载置部件44能够在前后方向上在配置检查装置4的面板载置部16的位置和配置机器人14的位置之间移动。滑动机构45设置于在前后方向上配置检查装置4的面板载置部16的位置和在前后方向上配置机器人14的位置之间。滑动机构45的后端部配置于比滑动机构25的后端部靠前侧的位置。面板搬运机构41将从检查装置4搬出的液晶面板2向后侧搬运到能够转移给机器人14的位置。即，面板搬运机构41将载置于载置部件44的液晶面板2搬运到面板收集部15。

如上所述，载置部件22配置于比载置部件44靠上侧的位置。另外，如上所述，面板搬运机构41在左右方向上配置于与面板搬运装置11的面板搬运机构20大致相同的位置。在本实施方式中，面板搬运装置11的除载置部件22的右端部以外的载置部件22的大致整体和除载置部件44的左端部以外的载置部件44的大致整体在左右方向上配置于相同位置。滑动机构45配置于比滑动机构23靠左侧的位置。

面板搬运机构41以在上下方向上与面板搬运机构21相互错开的状态配置。在本实施方式中，面板搬运机构41配置于面板搬运机构21的上侧。另外，面板搬运机构41的至少一部分和面板搬运机构21的至少一部分在左右方向上配置于相同位置。在本实施方式中，面板搬运机构41和面板搬运机构21在左右方向上配置于相同位置。具体而言，载置部件44和载置部件24在左右方向上配置于相同位置，滑动机构45和滑动机构25在左右方向上配置于相同位置。即，在从前后方向观察时，载置部件44配置于载置部件24的正上方，滑动机构45配置于滑动机构25的正上方。

面板搬运装置11的面板升降机构30配置于在前后方向上与检查装置4的面板载置部16相同的位置。另外，该面板升降机构30在上下方向和左右方向上配置于与面板搬运装置10的面板升降机构30相同的位置。面板搬运装置11的面板把持部36能够向比在上下方向上配置载置部件22的位置靠上侧的位置移动。另外，该面板把持部36能够向比在上下方向上配置载置部件44的位置靠下侧的位置移动。

面板搬运装置11的面板升降机构30使由面板把持部36把持的液晶面板2至少在上下方向上配置载置部件22的位置和在上下方向上配置载置部件44的位置之间升降。此外，面板搬运装置11中的面板把持部36的升降量比面板搬运装置10中的面板把持部36的升降量小，面板搬运装置11中的面板升降机构30的滑动机构37的上下方向的长度比面板搬运装置10中的面板升降机构30的滑动机构37的上下方向的长度短。

在面板搬运装置11中，面板升降机构30在上下方向上在配置有载置部件22的位置处从机器人29接收到液晶面板2之后，使液晶面板2下降，并将其载置于载置部件44。此时，载置部件44移动至在前后方向上配置有检查装置4的面板载置部16的位置并停止。面板搬运装置11的面板升降机构32在前后方向上配置于配置机器人14的位置。另外，该面板升降机构32配置于面板搬运装置10的面板升降机构32的前侧。

在面板搬运装置11中，面板升降机构32的面板把持部能够向比在上下方向上配置后述的载置部件54的位置靠上侧的位置移动，并且能够向比在上下方向上配置载置部件44的位置靠下侧的位置移动。该面板升降机构32从在前后方向上配置有机器人14的位置处停止的载置部件44接收液晶面板2。然后，面板升降机构32使面板把持部上升到比安装部件54靠上侧的位置，并将液晶面板2转移给机器人14。

这样，面板搬运机构41将从面板升降机构30接收到的液晶面板2向后侧搬运到能够转移给面板升降机构32的位置。即，滑动机构45在能够从面板升降机构30接收液晶面板2的位置和能够将液晶面板2转移给面板升降机构32的位置之间使载置部件44在前后方向上往复移动。此外，面板搬运装置11中的面板升降机构32的面板把持部的升降量比面板搬运装置10中的面板升降机构32的面板把持部的升降量小，面板搬运装置11中的面板升降机构32的滑动机构37的上下方向的长度比面板搬运装置10中的面板升降机构32的滑动机构37的上下方向的长度短。

面板搬运装置12构成为与面板搬运装置10、11大致相同的结构。在以下的面板搬运装置12的结构的说明中，对与面板搬运装置10、11具有的结构相同的结构标注相同的符号，并且以与面板搬运装置10、11的不同点为中心，说明面板搬运装置12的结构。面板搬运装置12具备用于搬运搬入检查装置5的液晶面板2的一个面板搬运机构20和用于搬运从检查装置5搬出的液晶面板2的一个面板搬运机构51。另外，面板搬运装置12具备盒配置部27、机器人28、29以及面板升降机构30、32。

面板搬运机构51具备载置液晶面板2的载置部件54和使载置部件54向水平方向直线移动的滑动机构55。载置部件54构成为与载置部件44同样的结构。在滑动机构55上安装有载置部件54的左端部。本实施方式的面板搬运机构51是搬出侧面板搬运机构，载置部件54是搬出侧载置部件，滑动机构55是搬出侧滑动机构。

滑动机构55安装于面板搬运***1的框架33。滑动机构55使载置部件54在前后方向上往复移动。滑动机构55配置为与滑动机构45大致同样的结构。但是，由滑动机构55进行的载置部件54的前后方向的移动量比由滑动机构45进行的载置部件44的前后方向的移动量短，滑动机构55的前后方向的长度比滑动机构45的前后方向的合计长度短。

在面板搬运装置12中，盒配置部27配置于检查装置5的前端侧，面板搬运机构20将从机器人28接收到的液晶面板2向后侧搬运到能够转移给机器人29的位置。面板搬运装置12的面板搬运机构20配置于与面板搬运装置10、11的面板搬运机构20在上下方向及左右方向上相同的位置。面板搬运机构51在左右方向上配置于与面板搬运装置12的面板搬运机构20大致相同的位置。另外，载置部件54和载置部件22以在上下方向上彼此错开的状态配置。在本实施方式中，载置部件22配置于比载置部件54靠上侧的位置。

载置部件54能够在前后方向上在配置检查装置5的面板载置部16的位置和配置机器人14的位置之间移动。在本实施方式中，滑动机构55设置于在前后方向上配置面板搬运装置12的盒配置部27的位置和在前后方向上配置机器人14的位置之间。滑动机构55的后端部配置于比滑动机构45的后端部靠前侧的位置。面板搬运机构51将从检查装置5搬出的液晶面板2向后侧搬运到能够转移给机器人14的位置。即，面板搬运机构51将载置于载置部件54的液晶面板2搬运到面板收集部15。

如上所述，载置部件22配置于比载置部件54靠上侧的位置。另外，如上所述，面板搬运机构51在左右方向上配置于与面板搬运装置12的面板搬运机构20大致相同的位置。在本实施方式中，面板搬运装置12的除载置部件22的右端部以外的载置部件22的大致整体和除载置部件54的左端部以外的载置部件54的大致整体在左右方向上配置于相同的位置。滑动机构55配置于比滑动机构23靠左侧的位置。

另外，面板搬运机构51以在上下方向上与面板搬运机构21、41相互错开的状态配置。在本实施方式中，面板搬运机构51配置于面板搬运机构41的上侧。另外，面板搬运机构51的至少一部分和面板搬运机构21、41的至少一部分在左右方向上配置于相同的位置。在本实施方式中，面板搬运机构51、面板搬运机构41以及面板搬运机构21在左右方向上配置于相同的位置。

具体而言，载置部件54、载置部件44以及载置部件24在左右方向上配置于相同的位置，滑动机构55、滑动机构45以及滑动机构25在左右方向上配置于相同的位置。即，在从前后方向观察时，载置部件54配置于载置部件44的正上方，滑动机构55配置于滑动机构45的正上方。另外，在本实施方式中，面板搬运机构21和面板搬运机构41的上下方向的间隔与面板搬运机构41和面板搬运机构51的上下方向的间隔相等。

面板搬运装置12的面板升降机构30在前后方向上配置于与检查装置5的面板载置部16相同的位置。另外，该面板升降机构30在上下方向及左右方向上配置于与面板搬运装置10、11的面板升降机构30相同的位置。面板搬运装置12的面板把持部36能够向比在上下方向上配置载置部件22的位置靠上侧的位置移动。另外，该面板把持部36能够向比在上下方向上配置载置部件54的位置靠下侧的位置移动。

面板搬运装置12的面板升降机构30使由面板把持部36把持的液晶面板2至少在上下方向上配置载置部件22的位置和在上下方向上配置载置部件54的位置之间升降。此外，面板搬运装置12中的面板把持部36的升降量比面板搬运装置11中的面板把持部36的升降量小，面板搬运装置12中的面板升降机构30的滑动机构37的上下方向的长度比面板搬运装置11中的面板升降机构30的滑动机构37的上下方向的长度短。

在面板搬运装置12中，面板升降机构30在上下方向上在配置有载置部件22的位置处从机器人29接收到液晶面板2之后，使液晶面板2下降，并将其载置于载置部件54。此时，载置部件54移动至在前后方向上配置检查装置5的面板载置部16的位置并停止。面板搬运装置12的面板升降机构32在前后方向上配置于配置机器人14的位置。另外，面板升降机构32配置于面板搬运装置11的面板升降机构32的前侧。

在面板搬运装置12中，面板升降机构32的面板把持部能够向比在上下方向上配置载置部件54的位置靠上侧的位置移动，并且能够向比在上下方向上配置载置部件54的位置靠下侧的位置移动。该面板升降机构32从在前后方向上配置有机器人14的位置处停止的载置部件54接收液晶面板2。然后，面板升降机构32使面板把持部上升到比载置部件54靠上侧的位置，并将液晶面板2转移给机器人14。

这样，面板搬运机构51将从面板升降机构30接收到的液晶面板2向后侧搬运到能够转移给面板升降机构32的位置。即，滑动机构55在能够从面板升降机构30接收液晶面板2的位置和能够将液晶面板2转移给面板升降机构32的位置之间使载置部件54在前后方向上往复移动。此外，面板搬运装置12中的面板升降机构32的面板把持部的升降量比面板搬运装置11中的面板升降机构32的面板把持部的升降量小，面板搬运装置12中的面板升降机构32的滑动机构37的上下方向的长度比面板搬运装置11中的面板升降机构32的滑动机构37的上下方向的长度短。

在本实施方式中，面板搬运装置10的盒配置部27、面板搬运装置11的盒配置部27以及面板搬运装置12的盒配置部27在上下方向及左右方向上配置于相同的位置。另外，面板搬运装置10的机器人28、面板搬运装置11的机器人28以及面板搬运装置12的机器人28在上下方向及左右方向上配置于相同的位置，面板搬运装置10的机器人29、面板搬运装置11的机器人29以及面板搬运装置12的机器人29在上下方向及左右方向上配置于相同的位置。

如图7所示，在面板搬运***1的框架33上固定有用于防止由滑动机构25、45、55产生的尘埃附着在载置于载置部件24、44、54的液晶面板2上的防尘罩60。防尘罩60例如通过将薄钢板折弯成规定形状而形成。防尘罩60配置于滑动机构25、45、55和载置部件24、44、54之间。另外，防尘罩60配置于与滑动机构25、45、55的可动侧的零件及载置部件24、44、54不发生干扰的位置。另外，防尘罩60例如配置于前后方向上的滑动机构25、45、55的设置范围的全部区域。

如图7所示，滑动机构25、45、55配置于被框架33和防尘罩60包围的空间中。面板搬运***1具备吸引配置滑动机构25、45、55的空间的空气的吸附机构61。吸引机构61例如是排气用的泵。另外，面板搬运***1具备用于在载置部件24、44、54的停止位置检测载置部件24、44、54上是否载置有液晶面板2的检测机构62(参照图3)。检测机构62例如是光学传感器。检测机构62例如在前后方向上配置于设置有面板升降机构30～32的位置。

(面板搬运装置的动作)

图8～图14是用于说明图4所示的面板搬运装置10的动作的立体图。

在面板搬运装置10中，机器人28将收纳于盒6的检查前的液晶面板2逐一取出，并载置于载置部件22(参照图8～图10)。此时，载置部件22在前后方向上在配置有机器人28的位置处停止。当将两个液晶面板2载置于载置部件22时，面板搬运机构21将液晶面板2向前侧搬运到能够转移给机器人29的位置(参照图11)。即，面板搬运机构21使载置两片液晶面板2的载置部件22移动至在前后方向上配置有面板载置部16的位置并停止。

此后，机器人29利用面板把持部38从上侧吸附并把持载置于在前后方向上配置有面板载置部16的位置处停止的载置部件22的两片液晶面板2，并且，利用面板把持部38从上侧吸附并把持载置于面板载置部16的检查后的两片液晶面板2(参照图11)。之后，机器人29使面板把持部38转动180°，并将由面板把持部38把持的检查前的两片液晶面板2载置于面板载置部16，并且在上升至与载置部件22相同的高度并停止的面板把持部36载置由面板把持部36把持的检查后的两片液晶面板2(参照图12)。

此外，在本实施方式中，为了缩短面板搬运装置10的循环时间，在机器人29通过面板把持部38从上侧吸附并把持载置于载置部件22的两片液晶面板2时，使面板把持部36上升至不与载置部件22等干扰的规定高度并停止。

然后，面板升降机构30使面板把持部36下降，并将从机器人29接收到的两片液晶面板2载置于面板搬运机构21A的载置部件24(参照图13)。然后，面板搬运机构21A使载置两片液晶面板2的载置部件24移动至在前后方向上配置有面板升降机构31的位置(参照图14)。当面板搬运机构21A的载置部件24移动至在前后方向上配置有面板升降机构31的位置并停止时，面板升降机构31使面板把持部升降，并将液晶面板2转移到在前后方向上在配置有面板升降机构31的位置处停止的面板搬运机构21B的载置部件24。

然后，面板搬运机构21B使载置两片液晶面板2的载置部件24移动至在前后方向上配置有机器人14的位置并停止。之后，面板升降机构32在由面板把持部接收到载置于载置部件24的两片液晶面板2后，使面板把持部上升，并将液晶面板2转移给机器人14。重复以上的动作，面板搬运装置10将液晶面板2搬入检查装置3，并且，从检查装置3搬出液晶面板2。

另外，面板搬运装置11进行与面板搬运装置10同样的动作，将液晶面板2搬入检查装置4，并且从检查装置4搬出液晶面板2。但是，面板搬运装置11具有的面板搬运机构41的数量是一个，因此，在面板搬运装置11中，在由面板搬运机构41进行的液晶面板2的搬运过程的中途不进行液晶面板2的转移。另外，面板搬运装置12进行与面板搬运装置11同样的动作，将液晶面板2搬入检查装置5，并且从检查装置5搬出液晶面板2。

(本实施方式的主要效果)

如上所说明，在本实施方式中，在面板搬运装置10～12中，载置部件22配置于比载置部件24、44、54靠上侧的位置。另外，在本实施方式中，载置部件22的至少一部分和载置部件24、44、54的至少一部分在左右方向上配置于相同的位置。因此，在本实施方式中，能够在左右方向上将面板搬运装置10～12小型化，其结果，能够在左右方向上将面板搬运装置1小型化。

特别是在本实施方式中，除载置部件22的右端部以外的载置部件22的大致整体和除载置部件24、44、54的左端部以外的载置部件24、44、54的大致整体在左右方向上配置于相同的位置，因此，能够在左右方向上使面板搬运装置10～12进一步小型化。因此，在本实施方式中，能够在左右方向上使面板搬运***1进一步小型化。

另外，在本实施方式中，将面板搬运机构21、41、51以在上下方向上相互错开的状态配置，并且将面板搬运机构21的至少一部分、面板搬运机构41的至少一部分以及面板搬运机构51的至少一部分在左右方向上配置于相同的位置，因此，即使面板搬运***1具备沿着前后方向配置的三个面板搬运装置10～12，也能够在左右方向上将面板搬运***1小型化。

特别是，在本实施方式中，面板搬运机构21、面板搬运机构41以及面板搬运机构51在左右方向上配置于相同位置，因此，能够在左右方向上将面板搬运***1进一步小型化。另外，在本实施方式中，面板搬运装置10的面板搬运机构20、面板搬运装置11的面板搬运机构20以及面板搬运装置12的面板搬运机构20在左右方向上配置于相同的位置，因此，能够在左右方向上将面板搬运***1进一步小型化。

在本实施方式中，面板搬运装置10～12具备面板升降机构30。因此，在本实施方式中，即使将载置部件22和载置部件24、44、54以在上下方向上错开的状态配置，也能够使机器人29接收搬入检查装置3～5的液晶面板2时的液晶面板2的高度和机器人20转移从检查装置3～5搬出的液晶面板时的液晶面板2的高度调整为相同的高度。因此，在本实施方式中，能够简化机器人29的结构及控制。

在本实施方式中，在滑动机构25、45、55和载置部件24、44、54之间配置有防尘罩60。因此，在本实施方式中，即使以在上下方向上相互错开的状态配置的面板搬运机构21、41、51在左右方向上配置于相同位置，也能够防止由滑动机构25、45、55产生的尘埃附着到载置于载置部件24、44、54上的液晶面板2。另外，在本实施方式中，因为设有吸引配置滑动机构25、45、55的空间的空气的吸引机构61，所以能够更有效地防止由滑动机构25、45、55产生的尘埃附着到载置于载置部件24、44、54上的液晶面板2。

在本实施方式中，面板搬运***1具备用于在载置部件24、44、54的停止位置处检测液晶面板2是否载置于载置部件24、44、54的检测机构62。因此，在本实施方式中，基于检测机构62的检测结果能够防止面板搬运***1的误动作。另外，在本实施方式中，由于在载置部件24、44、54的停止位置处检测液晶面板2是否载置于载置部件24、44、54，从而可通过检测机构62高精度地检测液晶面板2是否载置于载置部件24、44、54。

在本实施方式中，面板搬运装置10具备在左右方向上相邻的两个面板搬运机构21A、21B和从面板搬运机构21A向面板搬运机构21B转移液晶面板2的面板升降机构31。因此，在本实施方式中，面板搬运机构21A如果将载置于载置部件24的液晶面板2转移给面板升降机构31，则能够使载置部件24返回到在前后方向上配置有面板载置部16的位置。因此，在本实施方式中，与由一个面板搬运机构21将液晶面板2搬运到面板收集部15的情况相比，能够缩短面板搬运装置10的循环时间。

(其它实施方式)

上述的实施方式是本发明的优选的实施方式的一例，但不限于此，在不变更本发明的要旨的范围内可以进行各种变形实施。

在上述的实施方式中，从面板搬运装置10的面板搬运机构20、面板搬运装置11的面板搬运机构20以及面板搬运装置12的面板搬运机构20中任意选择的一个面板搬运机构20和其余两个面板搬运机构20也可以在左右方向上错开，面板搬运装置10的面板搬运机构20、面板搬运装置11的面板搬运机构20以及面板搬运装置12的面板搬运机构20也可以在左右方向上相互错开。

另外，在上述的实施方式中，从面板搬运装置10的面板搬运机构20、面板搬运装置11的面板搬运机构20以及面板搬运装置12的面板搬运机构20中任意选择的一个面板搬运机构20和其余两个面板搬运机构2也可以在上下方向上错开，面板搬运装置10的面板搬运机构20、面板搬运装置11的面板搬运机构20以及面板搬运装置12的面板搬运机构20也可以在上下方向上相互错开。

在上述的实施方式中，面板搬运机构21、面板搬运机构41以及面板搬运机构51从下侧朝向上侧按该顺序配置，但面板搬运机构21、面板搬运机构41以及面板搬运机构51也可以从下侧朝向上侧以任何的顺序配置。例如，面板搬运机构51、面板搬运机构41以及面板搬运机构21也可以从下侧朝向上侧按该顺序配置。

在上述的实施方式中，从面板搬运机构21、面板搬运机构41以及面板搬运机构51中任意选择的一个面板搬运机构21、41、51和其余两个面板搬运机构21、41、51也可以在左右方向上错开，面板搬运机构21、面板搬运机构41以及面板搬运机构51也可以在左右方向上相互错开。另外，在上述的实施方式中，载置部件22和载置部件24也可以左右方向上错开，载置部件22和载置部件44也可以在左右方向上错开，载置部件22和载置部件54也可以在左右方向上错开。

在上述的实施方式中，面板搬运***1具备的面板搬运装置10～12的数量可以是一个或两个，也可以是四个以上。另外，在上述的实施方式中，面板搬运装置10也可以具备在前后方向上排列的三个以上的面板搬运机构21。在这种情况下，面板搬运装置10具备与面板搬运机构21的数量对应的多个面板升降机构31。此外，在上述的实施方式中，面板搬运装置11也可以具备在前后方向上排列的两个面板搬运机构41。在这种情况下，面板搬运装置11具备面板升降机构31。另外，在上述的实施方式中，面板搬运装置10具有的面板搬运机构21的数量也可以是一个。

在上述的实施方式中，也可以将检查前的液晶面板2收纳于托盘7，将检查后的液晶面板2收纳于盒6。在这种情况下，面板搬运机构21、41、51为用于搬运搬入检查装置3～5的液晶面板2的搬入侧面板搬运机构，面板搬运机构20为用于搬运从检查装置3～5搬出的液晶面板2的搬出侧面板搬运机构。

另外，在这种情况下，由多个托盘配置部13和机器人14构成供给检查前的液晶面板2的面板供给部。另外，在这种情况下，面板升降机构30在接收到载置于载置部件24、44、54的液晶面板2之后，上升至在上下方向上配置有载置部件22的位置。机器人29从面板升降机构30接收液晶面板2，并且将液晶面板2转移给面板搬运机构20。

在上述的实施方式中，机器人28、29可以是垂直多关节机器人，也可以是水平多关节机器人，也可以是并联连杆机器人。另外，在上述的实施方式中，面板搬运装置10～12也可以不具备面板升降机构30。在这种情况下，机器人29直接将液晶面板2载置于载置部件24、44、54。此外，在上述的实施方式中，滑动机构25、45、55可以是线性电动机。在这种情况下，不需要防尘罩60及吸尘机构61。

在上述的实施方式中，检查装置3～5也可以是点亮检查装置以外的检查装置。另外，在上述的实施方式中，面板搬运机构10～12将液晶面板2搬运到检查装置3～5，但面板搬运机构10～12也可以将液晶面板2搬运到检查装置3～5以外的对液晶面板2进行规定处理的处理装置。此外，在上述的实施方式中，由面板搬运装置10～12搬运的显示面板也可以是液晶面板2以外的显示面板。例如，由面板搬运装置10～12搬运的显示面板也可以是有机EL面板。

Claims (18)

1.一种面板搬运装置，其特征在于，具备搬入侧面板搬运机构和搬出侧面板搬运机构，所述搬入侧面板搬运机构用于搬运搬入进行显示面板的处理的处理装置的所述显示面板，所述搬出侧面板搬运机构用于搬运从所述处理装置搬出的所述显示面板，

所述搬入侧面板搬运机构具备载置所述显示面板的搬入侧载置部件和使所述搬入侧载置部件向水平方向直线地移动的搬入侧滑动机构，

所述搬出侧面板搬运机构具备载置所述显示面板的搬出侧载置部件和使所述搬出侧载置部件向水平方向直线地移动的搬出侧滑动机构，

所述搬入侧载置部件的往复移动方向和所述搬出侧载置部件的往复移动方向一致，

将所述搬入侧载置部件的往复移动方向及所述搬出侧载置部件的往复移动方向设为第一方向，将与第一方向和上下方向正交的方向设为第二方向时，

所述搬入侧载置部件和所述搬出侧载置部件以在上下方向上相互错开的状态配置，所述搬入侧载置部件的至少一部分和所述搬出侧载置部件的至少一部分在第二方向上配置于相同位置。

2.根据权利要求1所述的面板搬运装置，其特征在于，具备面板升降机构和面板搬入搬出机构，所述面板升降机构至少使所述显示面板在上下方向上配置所述搬入侧载置部件的位置和在上下方向上配置所述搬出侧载置部件的位置之间升降，所述面板搬入搬出机构进行所述显示面板向所述处理装置的搬入和所述显示面板从所述处理装置的搬出。

3.根据权利要求2所述的面板搬运装置，其特征在于，

所述面板搬入搬出机构从所述搬入侧面板搬运机构接收所述显示面板，并且向所述面板升降机构转移所述显示面板，

所述搬入侧载置部件配置于比所述搬出侧载置部件靠上侧的位置，

所述面板升降机构在上下方向上在配置有所述搬入侧载置部件的位置处从所述面板搬入搬出机构接收到所述显示面板之后，使所述显示面板下降，并将其载置于所述搬出侧载置部件上。

4.根据权利要求3所述的面板搬运装置，其特征在于，

所述面板搬入搬出机构具备面板把持部、本体部、把持部升降机构及把持部转动机构，所述面板把持部从上侧吸附并把持所述显示面板，所述本体部能升降且能转动地保持所述面板把持部，所述把持部升降机构使所述面板把持部相对于所述本体部升降，所述把持部转动机构使所述面板把持部以上下方向为转动的轴向相对于所述本体部转动。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的面板搬运装置，其特征在于，具备盒配置部和面板转移机构，所述盒配置部配置有收纳多片所述显示面板的盒，所述面板转移机构从配置于所述盒配置部的所述盒搬出所述显示面板，并将其载置于所述搬入侧载置部件上。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的面板搬运装置，其特征在于，

所述处理装置是用于点亮检查所述显示面板的检查装置。

7.一种面板搬运***，其特征在于，

具备多个权利要求1～6中任一项所述的面板搬运装置，

多个所述面板搬运装置沿着第一方向配置，

多个所述面板搬运装置具有的所述输入侧面板搬运机构或所述搬出侧面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，

以在上下方向上相互错开的状态配置的多个所述搬入侧面板搬运机构或所述搬出侧面板搬运机构的至少一部分在第二方向上配置于相同位置。

8.根据权利要求7所述的面板搬运***，其特征在于，

以在上下方向上相互错开的状态配置的多个所述搬入侧面板搬运机构或所述搬出侧面板搬运机构在第二方向上配置于相同位置。

9.根据权利要求8所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具备面板收集部，所述面板收集部收集由所述处理装置处理后的所述显示面板，

将第一方向的一方设为第三方向时，所述面板收集部配置于所述面板搬运***的第三方向的端部，

多个所述面板搬运装置具有的所述搬出侧面板搬运机构将载置于所述搬出侧载置部件上的所述显示面板搬运到所述面板收集部，

多个所述搬出侧面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，并且在第二方向上配置于相同位置。

10.一种面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具备多个面板搬运装置，所述面板搬运装置对进行显示面板的处理的处理装置搬运所述显示面板，

所述面板搬运机构具备搬入侧面板搬运机构和搬出侧面板搬运机构，所述搬入侧面板搬运机构用于搬运搬入所述处理装置的所述显示面板，所述搬出侧面板搬运机构用于搬运从所述处理装置搬出的所述显示面板，

所述搬入侧面板搬运机构具备载置所述显示面板的搬入侧载置部件和使所述搬入侧载置部件向水平方向直线地移动的搬入侧滑动机构，

所述搬出侧面板搬运机构具备载置所述显示面板的搬出侧载置部件和使所述搬出侧载置部件向水平方向直线地移动的搬出侧滑动机构，

所述搬入侧载置部件的往复移动方向和所述搬出侧载置部件的往复移动方向一致，

将所述搬入侧载置部件的往复移动方向及所述搬出侧载置部件的往复移动方向设为第一方向，将与第一方向和上下方向正交的方向设为第二方向时，

多个所述面板搬运装置沿着第一方向配置，

多个所述面板搬运装置具有的所述搬入侧面板搬运机构或所述搬出侧面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，

以在上下方向上相互错开的状态配置的多个所述搬入侧面板搬运机构或所述搬出侧面板搬运机构的至少一部分在第二方向上配置于相同位置。

11.根据权利要求10所述的面板搬运***，其特征在于，

以在上下方向上相互错开的状态配置的多个所述搬入侧面板搬运机构或所述搬出侧面板搬运机构在第二方向上配置于相同位置。

12.根据权利要求11所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具备面板收集部，所述面板收集部收集由所述处理装置处理后的所述显示面板，

将第一方向的一方设为第三方向，将第三方向的相反方向设为第四方向时，所述面板收集部配置于所述面板搬运***的第三方向的端部，

多个所述面板搬运装置具有的所述搬出侧面板搬运机构将载置于所述搬出侧载置部件上的所述显示面板搬运到所述面板收集部，

多个所述搬出侧面板搬运机构以在上下方向上相互错开的状态配置，并且在第二方向上配置于相同位置。

13.根据权利要求12所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运装置具备盒配置部和面板转移机构，所述盒配置部配置有收纳多片所述显示面板的盒，所述面板转移机构从配置于所述盒配置部的所述盒搬出所述显示面板，并将其载置于所述搬入侧载置部件上，

多个所述面板搬运装置具有的所述搬入侧面板搬运机构在第二方向上配置于相同位置。

14.根据权利要求13所述的面板搬运***，其特征在于，

多个所述面板搬运装置具有的所述搬入侧面板搬运机构在上下方向上配置于相同位置。

15.根据权利要求12～14中任一项所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具备配置于所述搬出侧滑动机构和所述搬出侧载置部件之间的防尘罩，以防止灰尘附着到载置于所述搬出侧载置部件上的所述显示面板。

16.根据权利要求15所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具备吸引机构，所述吸引机构吸引配置所述搬出侧滑动机构的空间的空气。

17.根据权利要求12～16中任一项所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具备检测机构，所述检测机构用于在所述搬出侧载置部件的停止位置处检测所述显示面板是否已经载置在所述搬出侧载置部件上。

18.根据权利要求12～17中任一项所述的面板搬运***，其特征在于，

所述面板搬运***具有的所述面板搬运装置的数量与所述处理装置的数量相等，

多个所述处理装置在第一方向上排列，

多个所述面板搬运装置各自对多个所述处理装置分别搬运所述显示面板，

至少对多个所述处理装置中的配置于最靠第四方向侧的所述处理装置搬运所述显示面板的所述面板搬运装置具备多个所述搬出侧面板搬运机构和面板转移机构，其中，多个所述搬出侧面板搬运机构在第一方向上排列，所述面板转移机构将所述显示面板从在第一方向上相邻的两个所述搬出侧面板搬运机构中的一方转移到另一方。

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