WO2019054345A1 - 検査装置 - Google Patents

検査装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2019054345A1
WO2019054345A1 PCT/JP2018/033536 JP2018033536W WO2019054345A1 WO 2019054345 A1 WO2019054345 A1 WO 2019054345A1 JP 2018033536 W JP2018033536 W JP 2018033536W WO 2019054345 A1 WO2019054345 A1 WO 2019054345A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
holding
inspection
placement
liquid crystal
disposed
Prior art date
Application number
PCT/JP2018/033536
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
賢俊 赤羽
昇悟 吉田
Original Assignee
日本電産サンキョー株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電産サンキョー株式会社 filed Critical 日本電産サンキョー株式会社
Priority to CN201880057119.9A priority Critical patent/CN111065903B/zh
Publication of WO2019054345A1 publication Critical patent/WO2019054345A1/ja

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells

Definitions

  • the present invention relates to an inspection apparatus for inspecting the lighting of an inspection object.
  • an inspection apparatus for inspecting the lighting of a liquid crystal panel is known (see, for example, Patent Document 1).
  • the inspection apparatus described in Patent Document 1 is incorporated in the middle of the manufacturing process of the liquid crystal panel.
  • This inspection apparatus includes a prober for inspecting the lighting of the liquid crystal panel, a carry-in side conveyor for carrying the liquid crystal panel before the test toward the prober, and a carry-in mechanism for carrying the liquid crystal panel carried by the carry-in conveyor into the prober. It has an unloading mechanism for unloading the liquid crystal panel after inspection from the prober, and an unloading conveyor for transporting the liquid crystal panel unloaded by the unloading mechanism.
  • the prober has a work table on which the liquid crystal panel is mounted, a backlight for irradiating light to the liquid crystal panel from the back of the liquid crystal panel, and a screen on which an image of the surface of the liquid crystal panel And an optical system or the like disposed between the work table and the screen, and these configurations are disposed in the housing.
  • the housing is provided with a shutter that opens and closes when the liquid crystal panel is loaded by the loading mechanism, and a shutter that opens and closes when the liquid crystal panel is unloaded by the unloading mechanism.
  • the inside of the housing becomes a sealed space, and the dark room is shielded from external light.
  • the lighting inspection of the liquid crystal panel is performed in the case where the shutter is closed. That is, the lighting inspection of the liquid crystal panel is performed inside the housing which is a dark room.
  • the shutter opens and the liquid crystal panel after the inspection is carried out from the work table by the carry-out mechanism, and then the liquid crystal panel before the inspection is carried into the work table by the carry-in mechanism.
  • the shutter is closed, and the next lighting inspection of the liquid crystal panel is performed inside the dark chamber.
  • the subject of this invention is providing the inspection apparatus which can shorten replacement
  • the inspection device of the present invention holds the inspection object while having the first holding mechanism for holding the inspection object at one end side in the inspection device for inspecting the object to be inspected by lighting.
  • a holding unit having the second holding mechanism on the other end side, a rotation mechanism that rotates the holding unit with the vertical direction as the axial direction of rotation and the central position of the holding unit as a rotation center,
  • a shutter for moving between the closed position for closing the opening and the open position for opening the opening, and the second mounting unit includes: And the rotation mechanism is such that the first holding mechanism is on the upper side of the first mounting portion.
  • the first holding position is rotated by 180 ° from the first changing position where the second holding mechanism is disposed above the second mounting portion while being positioned, and the first holding mechanism is the second holding portion
  • the second exchange position where the second holding mechanism is disposed on the upper side and the second holding mechanism is disposed on the upper side of the first placement part, and the standby position where the holding part is disposed at a position where the shutter can move to the closed position It is characterized by rotating.
  • the inspection apparatus has a holding unit having the first holding mechanism at one end and the second holding mechanism at the other end, and the vertical direction as the axial direction of rotation and the central position of the holding unit as a rotation center. And a rotation mechanism for rotating the holding portion.
  • the first holding mechanism is disposed above the first placement portion on which the inspection object is placed at the time of the lighting inspection, and the inspection object before the lighting inspection and after the lighting inspection is
  • the first holding position is the second holding portion, and the first holding position is rotated 180 ° from the first switching position, and the first holding position is the first holding position.
  • the holding unit is rotated to a second exchange position which is disposed on the upper side and the second holding mechanism is arranged on the upper side of the first placement unit.
  • the holding unit in which the first holding mechanism and the second holding mechanism hold the inspection object is from the first replacement position to the second replacement position, or from the second replacement position to the first replacement position. It is possible to replace the inspection object placed on the first placement unit by rotating the sensor to the second position. That is, in the present invention, it is possible to replace the inspection object using one holding unit and one rotation mechanism. Therefore, in the present invention, compared to the case where the mechanism for carrying the inspection object into the first placement unit and the mechanism for carrying out the inspection object from the first placement unit are separately provided, It is possible to simplify the configuration.
  • the inspection object placed on the first placement portion if the holding unit is rotated from the first replacement position to the second replacement position or from the second replacement position to the first replacement position. It becomes possible to shorten the replacement time of the inspection object because it is possible to replace the Further, in the present invention, since the holding unit is rotated to the standby position where the holding unit is disposed at a position where the shutter can move to the closed position, the shutter is closed by the shutter to make the inside of the case dark. It will be possible to
  • the lighting inspection of the inspection object placed on the first placement unit is performed in a state where the holding unit is disposed at the standby position and the shutter is disposed at the closed position.
  • the shutter in the closed position moves to the open position, and the holding unit in the standby position moves to either one of the first replacement position and the second replacement position. After that, it moves to either the 1st exchange position or the 2nd exchange position, and then moves to the standby position.
  • the standby position is preferably a position where the holding portion is rotated by 90 ° from the first replacement position and the second replacement position.
  • the holder of the holder is provided between the inspection object placed on the first placement part and the camera for inspection placed above the inspection object at the time of the lighting inspection of the inspection object. It becomes possible to evacuate the whole reliably. Therefore, it is possible to reliably capture the entire image of the inspection object on the inspection camera. Also, with this configuration, even when the distance between the rotation center of the holding unit and the opening is short, the opening can be closed by the shutter by preventing contact between the holding unit and the shutter when closing the shutter. It will be possible. Therefore, the inspection device can be miniaturized.
  • the holding unit in the standby position is disposed inside the housing.
  • the inspection apparatus preferably includes an elevation mechanism that raises and lowers the holding unit.
  • an elevating mechanism for raising and lowering the first placement unit to place the inspection target on the first placement unit and a second mechanism for placing the inspection target on the second placement unit.
  • the configuration of the inspection apparatus can be simplified as compared with the case where the elevating mechanism for raising and lowering the mounting portion is provided.
  • the first placement portion projects upward from the placement jig, the placement jig on which the inspection subject is placed, the placement jig on which the placement jig is placed, and the placement member.
  • the mounting jig is formed with an insertion hole into which the positioning pin is inserted, and the mounting jig is horizontal to the mounting member by the positioning pin and the insertion hole. It is preferable that it is positioned. With this configuration, when the mounting jig is lifted, it becomes possible to remove the mounting jig from the mounting member. Therefore, the replacement operation at the time of replacing the mounting jig becomes easy according to the size, the shape, etc. of the inspection object.
  • the present invention it is possible to shorten the replacement time of the inspection object while simplifying the configuration of the inspection device in the inspection device for inspecting the object to be inspected by lighting.
  • FIG. 3 is a diagram for describing the configuration of a second placement unit, a shutter, and the like from the EE direction of FIG. 2; It is an enlarged view of the F section of FIG. It is a figure for demonstrating the operation
  • FIG. 1 is a front view for explaining the configuration of an inspection apparatus 1 according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged view of the main part of the inspection apparatus 1 shown in FIG.
  • the inspection apparatus 1 of this embodiment is an apparatus for inspecting the lighting of the liquid crystal panel 2 which is an inspection object.
  • the liquid crystal panel 2 is formed in a rectangular flat plate shape.
  • the liquid crystal panel 2 is, for example, a relatively small panel used for a portable terminal or the like.
  • the inspection apparatus 1 includes a first placement unit 3 on which the liquid crystal panel 2 is placed at the time of lighting inspection, a second placement unit 4 on which the liquid crystal panel 2 before lighting inspection and after the lighting inspection is placed, and A panel transfer mechanism 5 for transferring the liquid crystal panel 2 between the placement unit 3 and the second placement unit 4 is provided.
  • the panel transport mechanism 5 includes a holding portion 6 for holding the liquid crystal panel 2, a rotation mechanism 7 for rotating the holding portion 6 with the vertical direction as an axial direction of rotation, and an elevating mechanism 8 for moving the holding portion 6 up and down. .
  • the backlight is not attached to the liquid crystal panel 2.
  • the inspection apparatus 1 also includes a backlight 10 that emits light from the back surface (lower surface) of the liquid crystal panel 2 at the time of lighting inspection, a camera 11 disposed above the first placement unit 3, and the liquid crystal panel 2 at the lighting inspection.
  • Power supply unit 12 for supplying electric power, and a housing 13 in which the first placement unit 3, the backlight 10, the camera 11, the power supply unit 12, and the like are accommodated.
  • the second placement unit 4 is disposed outside the housing 13.
  • the second placement unit 4 is disposed adjacent to the housing 13.
  • the inspection apparatus 1 further includes a shutter 14 for closing an opening 13 b described later formed in the housing 13.
  • the inspection apparatus 1 is installed on a rack 15.
  • the direction in which the second placement unit 4 and the housing 13 are adjacent is taken as the “left and right direction”, and is orthogonal to the vertical direction (vertical direction) and the left and right direction.
  • the direction (Y direction in FIG. 1 etc.) is referred to as “front-rear direction”.
  • the side on which the housing 13 is disposed in the left and right direction is the “right” side, and the opposite side (the side on which the second placement unit 4 is disposed, FIG. Let the “left” side be the X2 direction side of 1 grade etc.).
  • the backlight 10 is disposed below the first placement unit 3.
  • the camera 11 is disposed above the first placement unit 3 as described above, and captures an image of the liquid crystal panel 2 illuminated by the backlight 10.
  • the camera 11 is connected to an elevating mechanism (not shown) that raises and lowers the camera 11.
  • the power supply unit 12 is disposed on the right side of the first placement unit 3.
  • the power supply unit 12 includes a contact probe (not shown) in contact with a feed terminal formed on the liquid crystal panel 2 and supplies power from the contact probe to the liquid crystal panel 2 at the time of lighting inspection.
  • the power supply unit 12 includes a moving mechanism (not shown) for moving the contact probe.
  • the movement mechanism rotates the contact probe with the vertical direction as the axial direction of rotation, and moves the contact probe in the front-rear direction, the left-right direction, and the vertical direction.
  • FIG. 3 is a plan view for explaining the configuration of the main part of the inspection apparatus 1 shown in FIG.
  • FIG. 4 is a diagram for describing the configuration of the second placement unit 4 and the shutter 14 and the like from the direction of arrows E in FIG.
  • FIG. 5 is an enlarged view of part F of FIG.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the holding unit 6 shown in FIG.
  • the first placement unit 3 includes a placement jig 18 on which the liquid crystal panel 2 is placed, two placement members 19 on which the placement jig 18 is placed, and two placement members A plurality of positioning pins 20 projecting upward from one of the mounting members 19 of 19 are provided.
  • the first placement unit 3 of the present embodiment is provided with two positioning pins 20.
  • the mounting member 19 is formed in a rectangular flat plate shape.
  • the placement member 19 is arranged such that the thickness direction of the placement member 19 and the vertical direction coincide with each other.
  • the backlight 10 is disposed below the mounting member 19.
  • the two mounting members 19 are arranged in the left-right direction with a space between them so that the light from the backlight 10 is emitted to the liquid crystal panel 2, and the light emitted from the backlight 10 is 2 It passes between the mounting members 19.
  • the positioning pin 20 is a stepped pin, and includes a large diameter portion 20a formed in a cylindrical shape and a small diameter portion 20b formed in a cylindrical shape having a smaller outer diameter than the large diameter portion 20a. As shown in FIG. 5, the small diameter portion 20 b is inserted and fixed in an insertion hole 19 b formed in the mounting member 19. The stepped surface between the large diameter portion 20 a and the small diameter portion 20 b is in contact with the top surface of the mounting member 19, and the large diameter portion 20 a protrudes upward from the top surface of the mounting member 19. The two positioning pins 20 are fixed to the mounting member 19 in a state of being spaced in the front-rear direction.
  • the mounting jig 18 is formed in a rectangular flat plate shape.
  • the mounting jig 18 is mounted on the upper surface of the mounting member 19 so that the thickness direction of the mounting jig 18 coincides with the vertical direction.
  • the mounting jig 18 is formed with an insertion hole 18a into which the positioning pin 20 is inserted (see FIG. 5).
  • the insertion hole 18 a passes through the mounting jig 18 in the vertical direction.
  • the insertion hole 18a is formed in a round hole shape.
  • the large diameter portion 20a of the positioning pin 20 is inserted into the insertion hole 18a.
  • the thickness of the mounting jig 18 is greater than the length (length in the vertical direction) of the large diameter portion 20a.
  • the inner diameter of the insertion hole 18a is substantially equal to the outer diameter of the large diameter portion 20a.
  • the mounting jig 18 is positioned in the horizontal direction (front, rear, left, right) with respect to the mounting member 19 by the positioning pins 20 and the insertion holes 18 a.
  • two liquid crystal panels 2 are mounted on the mounting jig 18. That is, the two liquid crystal panels 2 are mounted on the first placement unit 3 and the lighting inspection of the two liquid crystal panels 2 is simultaneously performed.
  • the mounting jig 18 is formed with two rectangular through holes 18 b for illuminating the liquid crystal panel 2 with the light of the backlight 10.
  • the through hole 18 b penetrates the mounting jig 18 in the vertical direction. Further, the two through holes 18 b are formed in a state in which a predetermined interval is provided in the front-rear direction.
  • a flat mounting surface on which the liquid crystal panel 2 is mounted is formed at the edge of the through hole 18 b.
  • the mounting surface is formed in a rectangular frame shape.
  • a plurality of suction holes are formed in the mounting surface, and the edge of the liquid crystal panel 2 mounted on the mounting surface is sucked into the suction holes.
  • the second placement unit 4 includes a placement member 21 on which the liquid crystal panel 2 is placed, and an alignment mechanism 22 that aligns the liquid crystal panel 2 placed on the placement member 21.
  • the second placement unit 4 of the present embodiment includes two placement members 21, and two liquid crystal panels 2 are placed on the second placement unit 4.
  • the two mounting members 21 are disposed in a state in which a predetermined interval is provided in the front-rear direction.
  • the height of the upper surface of the mounting member 21 is the same height as the upper surface of the mounting jig 18.
  • the liquid crystal panel 2 before the lighting inspection placed on the second placement unit 4 is carried in by a transport mechanism (not shown) of the liquid crystal panel 2 such as a robot.
  • the liquid crystal panel 2 placed on the second placement unit 4 after the lighting inspection is carried out by the transport mechanism of the liquid crystal panel 2.
  • the alignment mechanism 22 includes a roller 23 for aligning the liquid crystal panel 2 in the lateral direction, rollers 24 and 25 for aligning the liquid crystal panel 2 in the longitudinal direction, and a roller moving mechanism for moving the roller 23 in the lateral direction. And a roller moving mechanism 27 for moving the rollers 24 and 25 in the front-rear direction.
  • the roller 23 is held by the roller holding member 28 so as to be able to rotate in the vertical axis direction of rotation, and the rollers 24 and 25 are able to rotate in the vertical axis direction of rotation. It is held by the roller holding members 29, 30.
  • the rollers 23 are disposed on both sides of the two placement members 21 in the left-right direction.
  • the roller moving mechanism 26 is a linear actuator that uses a motor as a drive source.
  • the roller holding member 28 is fixed to the movable portion of the roller moving mechanism 26.
  • the rollers 23 contact the left and right end surfaces of the liquid crystal panel 2 placed on the placement member 21 and align the liquid crystal panel 2 in the left-right direction.
  • the roller 25 is disposed between the two mounting members 21 in the front-rear direction, and the roller 24 is disposed outside the two mounting members 21 in the front-rear direction.
  • the roller movement mechanism 27 is, like the roller movement mechanism 26, a linear actuator that uses a motor as a drive source.
  • the roller holding members 29 and 30 are fixed to the movable portion of the roller moving mechanism 27.
  • the roller 24 held by the roller holding member 29 is one side of the liquid crystal panel 2 mounted on the mounting member 21 disposed on one side of the two mounting members 21 in the front-rear direction.
  • the roller 25 held by the roller holding member 29 can contact the liquid crystal panel 2 mounted on the mounting member 21 disposed on the other side in the front-rear direction from one side in the front-rear direction It has become.
  • the roller 24 held by the roller holding member 30 can contact the liquid crystal panel 2 mounted on the mounting member 21 disposed on the other side in the front-rear direction from the other side in the front-rear direction.
  • the roller 25 held by 30 can contact the liquid crystal panel 2 placed on the placement member 21 placed on one side in the front-rear direction from the other side in the front-rear direction.
  • the rollers 24 and 25 contact the front and rear end surfaces of the liquid crystal panel 2 placed on the placement member 21 and align the liquid crystal panel 2 in the front and rear direction.
  • the mounting position of the roller 25 in the front-rear direction with respect to the roller holding members 29 and 30 is adjustable.
  • the roller holding members 29 and 30 have elongated holes for adjusting the mounting position of the roller 25 in the front-rear direction.
  • the holding portion 6 is a holding member 33 formed in an elongated, substantially rectangular flat plate shape, a holding mechanism 34 attached to one end side (one end side in the longitudinal direction) of the holding member 33 and holding the liquid crystal panel 2 A holding mechanism 35 attached to the other end side (the other end side in the longitudinal direction) of 33 and holding the liquid crystal panel 2 is provided. That is, the holding portion 6 has the holding mechanism 34 at one end and the holding mechanism 35 at the other end.
  • the holding mechanism 34 of this embodiment is a first holding mechanism
  • the holding mechanism 35 is a second holding mechanism.
  • the holding member 33 is disposed such that the thickness direction of the holding member 33 matches the vertical direction.
  • the holding mechanism 34 is attached to the lower side of one end of the holding member 33, and the holding mechanism 35 is attached to the lower side of the other end of the holding member 33.
  • the holding mechanisms 34 and 35 are disposed above the upper surface of the mounting jig 18 and the upper surface of the mounting member 21.
  • the holding mechanisms 34 and 35 are suction mechanisms that hold the liquid crystal panel 2 by suctioning the upper surface of the liquid crystal panel 2.
  • the holding mechanism 34 in this embodiment sucks and holds the two liquid crystal panels 2.
  • the holding mechanism 35 sucks and holds the two liquid crystal panels 2.
  • the lifting mechanism 8 is housed in the housing 13.
  • the elevating mechanism 8 is disposed between the first placement unit 3 and the second placement unit 4 in the left-right direction.
  • the lifting mechanism 8 includes a motor 36, a screw member 37 connected to the output shaft of the motor 36, and a nut member 38 engaged with the screw member 37 and fixed to the holding portion 6.
  • the elevating mechanism 8 further includes a guide shaft 39 and a guide bush 40 for guiding the holding portion 6 in the vertical direction.
  • the elevating mechanism 8 of the present embodiment is provided with four guide shafts 39 and four guide bushes 40.
  • the upper end of the guide shaft 39 is fixed to the fixing plate 41.
  • the lower end of the guide shaft 39 is fixed to the fixing plate 42.
  • the four guide shafts 39 are arranged in a square when viewed in the vertical direction.
  • the four guide bushes 40 are fixed to the center of the holding member 33. That is, the four guide bushes 40 are fixed to the central portion of the holding portion 6.
  • the guide shaft 39 is inserted into the guide bush 40.
  • the motor 36 is a servomotor.
  • the motor 36 is disposed such that the output shaft of the motor 36 protrudes downward.
  • the motor 36 is disposed on the upper side of the fixed plate 41 and is fixed to the fixed plate 41 via the bracket 43.
  • the screw member 37 is attached to the output shaft of the motor 36 via a coupling 44.
  • the upper end side of the screw member 37 is rotatably supported by a bearing attached to the fixing plate 41, and the lower end side of the screw member 37 is rotatably supported by a bearing attached to the fixing plate 42.
  • the nut member 38 is fixed at the central position of the holding member 33. That is, the nut member 38 is fixed at the center position of the holding portion 6.
  • the rotation mechanism 7 is housed in the housing 13. Further, the rotation mechanism 7 is disposed between the first placement unit 3 and the second placement unit 4 in the left-right direction.
  • the rotation mechanism 7 is a rotary actuator that uses a motor 47 as a drive source.
  • the motor 47 is a servomotor.
  • the fixed plate 42 is fixed to the upper end surface of the rotation mechanism 7, and the rotation mechanism 7 rotates the holding portion 6 together with the elevating mechanism 8 and the fixed plates 41 and 42.
  • the center of rotation of the rotation mechanism 7 and the center position of the holding member 33 coincide with each other. That is, the rotation mechanism 7 rotates the holding unit 6 about the center position of the holding unit 6 as a rotation center.
  • the rotation center of the rotation mechanism 7 coincides with the rotation center of the motor 36 when viewed in the vertical direction. However, when viewed in the vertical direction, the rotation center of the rotation mechanism 7 and the rotation center of the motor 36 do not have to coincide with each other.
  • the holding unit 6 When the holding unit 6 rotates, the holding unit 6 is raised to a predetermined position.
  • the holding unit 6 When placing the liquid crystal panel 2 held by the holding mechanisms 34 and 35 on the first placement unit 3 and the second placement unit 4, and placing the liquid crystal panel 2 on the first placement unit 3 and the second placement unit 4
  • the holding mechanisms 34 and 35 hold the liquid crystal panel 2 placed, the holding unit 6 descends from the predetermined position and then rises again to the predetermined position.
  • the housing 13 is formed in a rectangular box shape.
  • the left side surface portion 13 a constituting the left side surface of the housing 13 is disposed immediately to the right of the second placement portion 4 and disposed immediately to the left of the rotation mechanism 7 and the elevation mechanism 8.
  • the left side surface portion 13a is formed with an opening 13b through which a part of the holding portion 6 passes when the holding portion 6 rotates.
  • the opening 13 b passes through the left side surface 13 a in the left-right direction. Further, as shown in FIG. 4, the opening 13 b is formed in a rectangular shape elongated in the front-rear direction.
  • the shutter 14 is disposed on the left side of the left side portion 13a.
  • the shutter 14 is disposed between a closed position 14A closing the opening 13b (the position shown by the two-dot chain line in FIG. 4) and an open position 14B opening the opening 13b (the position shown by the solid line in FIG. 2).
  • the shutter 14 moves up and down between the closed position 14A, which is the lower limit position of the movement range of the shutter 14, and the open position 14B, which is the upper limit position of the movement range of the shutter 14.
  • An air cylinder 48 for moving the shutter 14 up and down is connected to the shutter 14.
  • a guide rail 49 for guiding the shutter 14 in the vertical direction is fixed to the left surface of the left side surface portion 13 a.
  • a guide block 50 engaged with the guide rail 49 is fixed to the right surface of the shutter 14.
  • a shock absorber 51 for relieving an impact when the shutter 14 stops at the closed position 14A and an impact when the shutter 14 stops at the open position 14B Shock absorber 52 is attached.
  • the shutter 14 is formed with a contact portion 14 a in contact with the shock absorber 51 and a contact portion 14 b in contact with the shock absorber 52.
  • the rotation mechanism 7 rotates the holding unit 6.
  • the holding mechanism 34 is disposed on the upper side of the first placement unit 3, and the holding mechanism 35 is disposed on the upper side of the second placement unit 4. 6A, and the holding unit 6 is rotated 180 ° from the first change position 6A so that the holding mechanism 34 is disposed above the second placement unit 4 and the holding mechanism 35 is the first position.
  • a second change position 6B (the position shown in FIG. 6B) disposed above the placement unit 3 and a standby position 6C (the position where the holding unit 6 is disposed at a position where the shutter 14 can move to the closed position 14A).
  • the holder 6 is rotated to the position shown in FIG.
  • the standby position 6C of this embodiment is a position where the holding unit 6 is rotated by 90 ° from the first replacement position 6A and the second replacement position 6B.
  • the holding unit 6 in the standby position 6C is disposed inside the housing 13.
  • a lighting check is performed.
  • the inside of the housing 13 is a dark room, and the liquid crystal panel 2 mounted on the mounting jig 18 is irradiated with light from the backlight 10.
  • the holding mechanisms 34 and 35 do not hold the liquid crystal panel 2.
  • the shutter 14 located at the closed position 14A moves to the open position 14B.
  • the holding unit 6 in the standby position 6C rotates by 90 ° and moves to one of the first replacement position 6A and the second replacement position 6B.
  • the holding unit 6 in the standby position 6C moves to the first replacement position 6A.
  • the holding unit 6 is lowered, and the holding mechanism 34 holds the liquid crystal panel 2 after inspection placed on the first placement unit 3, and the holding mechanism 35 places the second placement unit 4 on the second placement unit 4.
  • the holding unit 6 is raised.
  • the holder 6 located at the first replacement position 6A rotates 180 degrees and moves to the second replacement position 6B.
  • the holding unit 6 is lowered and the holding mechanism 35 places the liquid crystal panel 2 before inspection on the first placement unit 3 and the liquid crystal after the inspection on the second placement unit 4 by the holding mechanism 34
  • the holding unit 6 is raised.
  • the holder 6 located at the second replacement position 6B rotates 90 ° and moves to the standby position 6C.
  • the shutter 14 moves from the open position 14B to the closed position 14A.
  • the inside of the housing 13 becomes a dark room, and the lighting inspection of the next two liquid crystal panels 2 is performed.
  • the inspection apparatus 1 has the holding mechanism 34 at one end and the holding mechanism 35 at the other end, and the vertical direction is the axial direction of rotation and the holding unit 6. And a rotation mechanism 7 for rotating the holding portion 6 about the center position of the rotation center. Further, in the present embodiment, in the rotation mechanism 7, the holding mechanism 34 is disposed above the first mounting portion 3 and the holding mechanism 35 is disposed above the second mounting portion 4, and And the holding mechanism 6 is rotated 180 ° from the first replacement position 6A so that the holding mechanism 34 is disposed above the second placement unit 4 and the holding mechanism 35 is disposed above the first placement unit 3 The holding unit 6 is rotated to the second replacement position 6B.
  • the liquid crystal panel 2 placed on the first placement unit 3 is replaced. It becomes possible. That is, in the present embodiment, it is possible to replace the liquid crystal panel 2 using one holding unit 6 and one rotation mechanism 7. Therefore, in the present embodiment, the inspection is performed in comparison with the case where the mechanism for loading the liquid crystal panel 2 into the first placement unit 3 and the mechanism for unloading the liquid crystal panel 2 from the first placement unit 3 are separately provided. It is possible to simplify the configuration of the device 1.
  • the holding unit 6 when the holding unit 6 is rotated from the first replacement position 6A to the second replacement position 6B, the liquid crystal panel 2 placed on the first placement unit 3 can be replaced. Therefore, the replacement time of the liquid crystal panel 2 can be shortened. Further, in the present embodiment, the holding portion 6 is rotated to the standby position 6C where the holding portion 6 is disposed at a position where the shutter 14 can move to the closed position 14A. It becomes possible to make the inside of case 13 a dark room by closing.
  • the standby position 6C is a position where the holding unit 6 is rotated by 90 ° from the first replacement position 6A and the second replacement position 6B. Therefore, in the present embodiment, even when the distance between the rotation center of the holding portion 6 and the opening 13b (the distance in the horizontal direction) is short, the contact between the holding portion 6 and the shutter 14 is prevented when closing the shutter 14 Thus, the shutter 14 can close the opening 13 b. Therefore, in the present embodiment, the inspection apparatus 1 can be miniaturized.
  • the standby position 6C is a position where the holding unit 6 is rotated by 90 ° from the first replacement position 6A and the second replacement position 6B, the liquid crystal placed on the placement unit 3 at the lighting inspection of the liquid crystal panel 2 It becomes possible to reliably retract the entire holding unit 6 from between the panel 2 and the camera 11. Therefore, in the present embodiment, it is possible to reliably capture the entire image of the liquid crystal panel 2 on the camera 11.
  • the inspection apparatus 1 includes an elevation mechanism 8 that raises and lowers the holding unit 6. Therefore, in the present embodiment, instead of the lifting and lowering mechanism 8, the lifting and lowering mechanism for lifting and lowering the first loading portion 3 to load the liquid crystal panel 2 on the first loading portion 3 and the liquid crystal on the second loading portion 4
  • the configuration of the inspection apparatus 1 can be simplified as compared with the case where an elevating mechanism that raises and lowers the second placement unit 4 is provided to place the panel 2.
  • the mounting jig 18 is mounted by the positioning pin 20 protruding upward from the mounting member 19 and the insertion hole 18 a of the mounting jig 18 into which the positioning pin 20 is inserted. It is positioned horizontally to 19. Therefore, in the present embodiment, when the mounting jig 18 is lifted, the mounting jig 18 can be removed from the mounting member 19. Therefore, in the present embodiment, replacement work when replacing the mounting jig 18 according to the size, shape, and the like of the liquid crystal panel 2 is facilitated.
  • the standby position 6C may be a position where the holding unit 6 is rotated by less than 90 ° from the first replacement position 6A, or an angle where the holding unit 6 exceeds 90 ° from the first replacement position 6A. It may be a rotated position. Further, in the embodiment described above, the holding unit 6 in the standby position 6C may be disposed outside the housing 13. In this case, the rotation mechanism 7 and the elevation mechanism 8 are disposed outside the housing 13.
  • the inspection apparatus 1 may include an elevating mechanism for raising and lowering the first placement unit 3 and an elevation mechanism for raising and lowering the second placement unit 4 instead of the elevation mechanism 8.
  • the shutter 14 may slide in the front-rear direction between the closed position closing the opening 13 b and the open position opening the opening 13 b, or pivoting in the vertical direction or the front-rear direction It may rotate as an axial direction of
  • the number of the liquid crystal panels 2 placed on the first placement unit 3 and the second placement unit 4 may be one.
  • the holding mechanisms 34 and 35 suck and hold one liquid crystal panel 2.
  • the number of liquid crystal panels 2 placed on the first placement unit 3 and the second placement unit 4 may be three or more.
  • the holding mechanisms 34 and 35 suck and hold three or more liquid crystal panels 2.
  • the lighting inspection of the liquid crystal panel 2 is performed in the dark room inside the housing 13, but the lighting inspection of the inspection object other than the liquid crystal panel 2 is performed in the dark room inside the housing 13. good.
  • Inspection device 2 Liquid crystal panel (inspection object) DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 1st mounting part 4 2nd mounting part 6 holding part 6A 1st exchange position 6B 2nd exchange position 6C standby position 7 rotation mechanism 8 raising / lowering mechanism 13 case 13b opening 14 shutter 14A closed position 14B open position 18 mounted Positioning jig 18a Insertion hole 19 Mounting member 20 Positioning pin 34 Holding mechanism (first holding mechanism) 35 Holding mechanism (second holding mechanism)

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

この検査装置は、保持機構34を一端側に有するとともに保持機構35を他端側に有する保持部6と、上下方向を回転の軸方向としてかつ保持部6の中心位置を回転中心にして保持部6を回転させる回転機構7とを備えている。回転機構7は、点灯検査時に検査対象物2が載置される第1載置部3の上側に保持機構34が配置されるとともに点灯検査前および点灯検査後の検査対象物2が載置される第2載置部4の上側に保持機構35が配置される第1入替位置と、第1入替位置から保持部6が180°回転して保持機構34が第2載置部4の上側に配置されるとともに保持機構35が第1載置部3の上側に配置される第2入替位置とに保持部6を回転させている。これにより、構成を簡素化しつつ、検査対象物の入替時間を短縮することが可能になる。

Description

検査装置
 本発明は、検査対象物を点灯検査するための検査装置に関する。
 従来、液晶パネルを点灯検査するための検査装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の検査装置は、液晶パネルの製造処理工程の途中に組み込まれている。この検査装置は、液晶パネルの点灯検査を行うプローバと、検査前の液晶パネルをプローバに向かって搬送する搬入側コンベヤと、搬入側コンベヤで搬送された液晶パネルをプローバに搬入する搬入機構と、検査後の液晶パネルをプローバから搬出する搬出機構と、搬出機構によって搬出された液晶パネルを搬送する搬出側コンベヤとを備えている。
 特許文献1に記載の検査装置では、プローバは、液晶パネルが載置されるワークテーブルと、液晶パネルの背面から液晶パネルに光を照射するバックライトと、液晶パネルの表面の映像が映し出されるスクリーンと、ワークテーブルとスクリーンとの間に配置される光学系等を備えており、これらの構成は、筐体の中に配置されている。筐体には、搬入機構による液晶パネルの搬入を行う際に開閉するシャッタと、搬出機構による液晶パネルの搬出を行う際に開閉するシャッタとが設けられている。
 特許文献1に記載の検査装置では、シャッタが閉まると、筐体の内部が密閉された空間となり、外部からの光が遮断された暗室になる。液晶パネルの点灯検査は、シャッタが閉じている状態の筐体の中で行われる。すなわち、液晶パネルの点灯検査は、暗室となっている筐体の内部で行われる。液晶パネルの点灯検査が終了すると、シャッタが開いて、検査後の液晶パネルが搬出機構によってワークテーブルから搬出された後、検査前の液晶パネルが搬入機構によってワークテーブルに搬入される。また、検査前の液晶パネルがワークテーブルに搬入されるとシャッタが閉じて、暗室となった筐体の内部で、次の液晶パネルの点灯検査が行われる。
特開2007-107973号公報
 特許文献1に記載の検査装置では、検査前の液晶パネルをワークテーブルに搬入する搬入機構と、検査後の液晶パネルをワークテーブルから搬出する搬出機構とが個別に設けられている。そのため、特許文献1に記載の検査装置の構成は複雑になる。また、特許文献1に記載の検査装置では、液晶パネルの検査効率を高めるために、ワークテーブルに載置される液晶パネルの入替時間は短い方が好ましい。しかしながら、この検査装置では、液晶パネルの点灯検査が終了すると、検査後の液晶パネルが搬出機構によってワークテーブルから搬出された後、検査前の液晶パネルが搬入機構によってワークテーブルに搬入されているため、液晶パネルの入替時間が長くなる。
 そこで、本発明の課題は、検査対象物を点灯検査するための検査装置において、構成を簡素化しつつ、検査対象物の入替時間を短縮することが可能な検査装置を提供することにある。
 上記の課題を解決するため、本発明の検査装置は、検査対象物を点灯検査するための検査装置において、検査対象物を保持する第1保持機構を一端側に有するとともに検査対象物を保持する第2保持機構を他端側に有する保持部と、上下方向を回転の軸方向としてかつ保持部の中心位置を回転中心にして保持部を回転させる回転機構と、点灯検査時に検査対象物が載置される第1載置部と、点灯検査前および点灯検査後の検査対象物が載置される第2載置部と、保持部の回転時に保持部の一部が通過する開口部が形成されるとともに第1載置部が収容される筐体と、開口部を塞ぐ閉位置と開口部を開放する開位置との間を移動するシャッタとを備え、第2載置部は、筐体の外部に配置され、回転機構は、第1保持機構が第1載置部の上側に配置されるとともに第2保持機構が第2載置部の上側に配置される第1入替位置と、第1入替位置から保持部が180°回転して第1保持機構が第2載置部の上側に配置されるとともに第2保持機構が第1載置部の上側に配置される第2入替位置と、シャッタが閉位置に移動可能な位置に保持部が配置される待機位置とに保持部を回転させることを特徴とする。
 本発明の検査装置は、第1保持機構を一端側に有するとともに第2保持機構を他端側に有する保持部と、上下方向を回転の軸方向としてかつ保持部の中心位置を回転中心にして保持部を回転させる回転機構とを備えている。また、本発明では、回転機構は、点灯検査時に検査対象物が載置される第1載置部の上側に第1保持機構が配置されるとともに点灯検査前および点灯検査後の検査対象物が載置される第2載置部の上側に第2保持機構が配置される第1入替位置と、第1入替位置から保持部が180°回転して第1保持機構が第2載置部の上側に配置されるとともに第2保持機構が第1載置部の上側に配置される第2入替位置とに保持部を回転させている。
 そのため、本発明では、第1保持機構および第2保持機構が検査対象物を保持している保持部を、第1入替位置から第2入替位置に、または、第2入替位置から第1入替位置に回転させることで、第1載置部に載置される検査対象物を入れ替えることが可能になる。すなわち、本発明では、1個の保持部および1個の回転機構を用いて検査対象物の入替を行うことが可能になる。したがって、本発明では、第1載置部に検査対象物を搬入する機構と第1載置部から検査対象物を搬出する機構とが個別に設けられている場合と比較して、検査装置の構成を簡素化することが可能になる。
 また、本発明では、第1入替位置から第2入替位置に、または、第2入替位置から第1入替位置に保持部を回転させれば、第1載置部に載置される検査対象物を入れ替えることが可能になるため、検査対象物の入替時間を短縮することが可能になる。また、本発明では、シャッタが閉位置に移動可能な位置に保持部が配置される待機位置に保持部を回転させているため、点灯検査時に、シャッタによって開口部を塞いで筐体内を暗室にすることが可能になる。
 本発明において、検査装置では、たとえば、保持部が待機位置に配置され、かつ、シャッタが閉位置に配置されている状態で、第1載置部に載置される検査対象物の点灯検査が行われ、検査対象物の点灯検査が終了すると、閉位置にあるシャッタは、開位置に移動し、待機位置にある保持部は、第1入替位置および第2入替位置のいずれか一方に移動した後、第1入替位置および第2入替位置のいずれか他方に移動し、その後、待機位置に移動する。
 本発明において、待機位置は、第1入替位置および第2入替位置から保持部が90°回転した位置であることが好ましい。このように構成すると、検査対象物の点灯検査時に、第1載置部に載置される検査対象物と、検査対象物の上方に配置される検査用のカメラとの間から、保持部の全体を確実に退避させることが可能になる。したがって、検査対象物の全体の画像を検査用のカメラに確実に写すことが可能になる。また、このように構成すると、保持部の回転中心と開口部との距離が近くなっていても、シャッタを閉じる際に保持部とシャッタとの接触を防止してシャッタによって開口部を塞ぐことが可能になる。したがって、検査装置を小型化することが可能になる。
 本発明において、たとえば、待機位置にある保持部は、筐体の内部に配置されている。また、本発明において、検査装置は、保持部を昇降させる昇降機構を備えることが好ましい。このように構成すると、第1載置部に検査対象物を載置するために第1載置部を昇降させる昇降機構と、第2載置部に検査対象物を載置するために第2載置部を昇降させる昇降機構とが設けられている場合と比較して、検査装置の構成を簡素化することが可能になる。
 本発明において、第1載置部は、検査対象物が載置される載置用治具と、載置用治具が載置される載置部材と、載置部材から上側に向かって突出する複数の位置決めピンとを備え、載置用治具には、位置決めピンが挿入される挿入穴が形成され、載置用治具は、位置決めピンと挿入穴とによって載置部材に対して水平方向で位置決めされていることが好ましい。このように構成すると、載置用治具を持ち上げれば、載置部材から載置用治具を取り外すことが可能になる。したがって、検査対象物のサイズや形状等に応じて載置用治具を交換する際の交換作業が容易になる。
 以上のように、本発明では、検査対象物を点灯検査するための検査装置において、検査装置の構成を簡素化しつつ、検査対象物の入替時間を短縮することが可能になる。
本発明の実施の形態にかかる検査装置の構成を説明するための正面図である。 図1に示す検査装置の主要部の拡大図である。 図2に示す検査装置の主要部の構成を説明するための平面図である。 図2のE-E方向から第2載置部およびシャッタ等の構成を説明するための図である。 図2のF部の拡大図である。 図1に示す保持部の動作を説明するための図である。
 以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
 (検査装置の概略構成)
 図1は、本発明の実施の形態にかかる検査装置1の構成を説明するための正面図である。図2は、図1に示す検査装置1の主要部の拡大図である。
 本形態の検査装置1は、検査対象物である液晶パネル2を点灯検査するための装置である。液晶パネル2は、長方形の平板状に形成されている。この液晶パネル2は、たとえば、携帯端末等に使用される比較的小型のパネルである。検査装置1は、点灯検査時に液晶パネル2が載置される第1載置部3と、点灯検査前および点灯検査後の液晶パネル2が載置される第2載置部4と、第1載置部3と第2載置部4との間で液晶パネル2を搬送するパネル搬送機構5とを備えている。パネル搬送機構5は、液晶パネル2を保持する保持部6と、上下方向を回転の軸方向として保持部6を回転させる回転機構7と、保持部6を昇降させる昇降機構8とを備えている。なお、液晶パネル2には、バックライトは取り付けられていない。
 また、検査装置1は、点灯検査時に液晶パネル2の背面(下面)から光を照射するバックライト10と、第1載置部3の上方に配置されるカメラ11と、点灯検査時に液晶パネル2に電力を供給する電力供給部12と、第1載置部3、バックライト10、カメラ11および電力供給部12等が収容される筐体13とを備えている。第2載置部4は、筐体13の外部に配置されている。また、第2載置部4は、筐体13に隣接配置されている。また、検査装置1は、筐体13に形成される後述の開口部13bを塞ぐためのシャッタ14を備えている。検査装置1は、架台15の上に設置されている。
 以下の説明では、第2載置部4と筐体13とが隣接している方向(図1等のX方向)を「左右方向」とし、上下方向(鉛直方向)と左右方向とに直交する方向(図1等のY方向)を「前後方向」とする。また、左右方向のうちの筐体13が配置されている側(図1等のX1方向側)を「右」側とし、その反対側(第2載置部4が配置されている側、図1等のX2方向側)を「左」側とする。
 バックライト10は、第1載置部3の下側に配置されている。カメラ11は、上述のように第1載置部3の上方に配置されており、バックライト10に照らされた液晶パネル2を撮影する。カメラ11は、カメラ11を昇降させる昇降機構(図示省略)に連結されている。電力供給部12は、第1載置部3の右側に配置されている。電力供給部12は、液晶パネル2に形成される給電端子に接触するコンタクトプローブ(図示省略)を備えており、点灯検査時にコンタクトプローブから液晶パネル2に電力を供給する。電力供給部12は、コンタクトプローブを移動させる移動機構(図示省略)を備えている。この移動機構は、上下方向を回動の軸方向としてコンタクトプローブを回動させるとともに、前後方向、左右方向および上下方向へコンタクトプローブを移動させる。
 (検査装置の具体的な構成)
 図3は、図2に示す検査装置1の主要部の構成を説明するための平面図である。図4は、図2のE-E方向から第2載置部4およびシャッタ14等の構成を説明するための図である。図5は、図2のF部の拡大図である。図6は、図1に示す保持部6の動作を説明するための図である。
 第1載置部3は、液晶パネル2が載置される載置用治具18と、載置用治具18が載置される2個の載置部材19と、2個の載置部材19のうちの一方の載置部材19から上側に向かって突出する複数の位置決めピン20とを備えている。本形態の第1載置部3は、2本の位置決めピン20を備えている。載置部材19は、長方形の平板状に形成されている。載置部材19は、載置部材19の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。バックライト10は、載置部材19の下側に配置されている。2個の載置部材19は、バックライト10の光が液晶パネル2に照射されるように、左右方向に間隔をあけた状態で配置されており、バックライト10から射出される光は、2個の載置部材19の間を通過する。
 位置決めピン20は、段付きピンであり、円柱状に形成される大径部20aと、大径部20aよりも外径の小さい円柱状に形成される小径部20bとから構成されている。図5に示すように、小径部20bは、載置部材19に形成される挿入穴19bに挿入されて固定されている。大径部20aと小径部20bとの間の段差面は、載置部材19の上面に接触しており、大径部20aは、載置部材19の上面から上側に向かって突出している。2本の位置決めピン20は、前後方向に間隔をあけた状態で載置部材19に固定されている。
 載置用治具18は、長方形の平板状に形成されている。載置用治具18は、載置用治具18の厚さ方向と上下方向とが一致するように載置部材19の上面に載置されている。載置用治具18には、位置決めピン20が挿入される挿入穴18aが形成されている(図5参照)。挿入穴18aは、上下方向で載置用治具18を貫通している。また、挿入穴18aは、丸穴状に形成されている。挿入穴18aには、位置決めピン20の大径部20aが挿入されている。載置用治具18の厚さは、大径部20aの長さ(上下方向の長さ)よりも厚くなっている。挿入穴18aの内径は、大径部20aの外径とほぼ等しくなっている。載置用治具18は、位置決めピン20と挿入穴18aとによって載置部材19に対して水平方向(前後左右方向)で位置決めされている。
 本形態では、載置用治具18に2枚の液晶パネル2が載置される。すなわち、第1載置部3には、2枚の液晶パネル2が載置され、2枚の液晶パネル2の点灯検査が同時に行われる。載置用治具18には、バックライト10の光を液晶パネル2に照らすための長方形の2個の貫通穴18bが形成されている。貫通穴18bは、上下方向で載置用治具18を貫通している。また、2個の貫通穴18bは、前後方向に所定の間隔をあけた状態で形成されている。貫通穴18bの縁には、液晶パネル2が載置される平面状の載置面が形成されている。この載置面は、長方形の枠状に形成されている。載置面には、複数の吸引穴が形成されており、載置面に載置される液晶パネル2の縁は、この吸引穴に吸引される。
 第2載置部4は、液晶パネル2が載置される載置部材21と、載置部材21に載置された液晶パネル2の位置合わせを行うアライメント機構22とを備えている。本形態の第2載置部4は、2個の載置部材21を備えており、第2載置部4には、2枚の液晶パネル2が載置される。2個の載置部材21は、前後方向に所定の間隔をあけた状態で配置されている。載置部材21の上面の高さは、載置用治具18の上面と同じ高さになっている。なお、第2載置部4に載置される点灯検査前の液晶パネル2は、ロボット等の液晶パネル2の搬送機構(図示省略)によって搬入される。また、第2載置部4に載置された点灯検査後の液晶パネル2は、液晶パネル2の搬送機構によって搬出される。
 アライメント機構22は、左右方向で液晶パネル2を位置合わせするためのローラ23と、前後方向で液晶パネル2を位置合わせするためのローラ24、25と、ローラ23を左右方向へ移動させるローラ移動機構26と、ローラ24、25を前後方向へ移動させるローラ移動機構27とを備えている。ローラ23は、上下方向を回転の軸方向とする回転が可能となるようにローラ保持部材28に保持され、ローラ24、25は、上下方向を回転の軸方向とする回転が可能となるようにローラ保持部材29、30に保持されている。
 ローラ23は、2個の載置部材21の左右方向の両側のそれぞれに配置されている。ローラ移動機構26は、モータを駆動源とするリニアアクチュエータである。ローラ保持部材28は、ローラ移動機構26の可動部に固定されている。ローラ23は、載置部材21に載置される液晶パネル2の左右の両端面に接触して、左右方向で液晶パネル2を位置合
わせする。
 ローラ25は、2個の載置部材21の前後方向の間に配置され、ローラ24は、2個の載置部材21の前後方向の外側に配置されている。ローラ移動機構27は、ローラ移動機構26と同様に、モータを駆動源とするリニアアクチュエータである。ローラ保持部材29、30は、ローラ移動機構27の可動部に固定されている。ローラ保持部材29に保持されるローラ24は、2個の載置部材21のうちの前後方向の一方側に配置される載置部材21に載置された液晶パネル2に前後方向の一方側から接触可能となっており、ローラ保持部材29に保持されるローラ25は、前後方向の他方側に配置される載置部材21に載置された液晶パネル2に前後方向の一方側から接触可能となっている。ローラ保持部材30に保持されるローラ24は、前後方向の他方側に配置される載置部材21に載置された液晶パネル2に前後方向の他方側から接触可能となっており、ローラ保持部材30に保持されるローラ25は、前後方向の一方側に配置される載置部材21に載置された液晶パネル2に前後方向の他方側から接触可能となっている。ローラ24、25は、載置部材21に載置される液晶パネル2の前後の両端面に接触して、前後方向で液晶パネル2を位置合わせする。なお、ローラ保持部材29、30に対するローラ25の前後方向の取付位置は、調整可能となっている。ローラ保持部材29、30には、ローラ25の前後方向の取付位置を調整するための長穴が形成されている。
 保持部6は、細長い略長方形の平板状に形成される保持部材33と、保持部材33の一端側(長手方向の一端側)に取り付けられるとともに液晶パネル2を保持する保持機構34と、保持部材33の他端側(長手方向の他端側)に取り付けられるとともに液晶パネル2を保持する保持機構35とを備えている。すなわち、保持部6は、保持機構34を一端側に有するとともに保持機構35を他端側に有している。本形態の保持機構34は第1保持機構であり、保持機構35は第2保持機構である。
 保持部材33は、保持部材33の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。保持機構34は、保持部材33の一端側の下側に取り付けられ、保持機構35は、保持部材33の他端側の下側に取り付けられている。保持機構34、35は、載置用治具18の上面および載置部材21の上面よりも上側に配置されている。保持機構34、35は、液晶パネル2の上面を吸引することで液晶パネル2を保持する吸引機構である。本形態の保持機構34は、2枚の液晶パネル2を吸引して保持する。同様に、保持機構35は、2枚の液晶パネル2を吸引して保持する。
 昇降機構8は、筐体13に収容されている。また、昇降機構8は、左右方向において、第1載置部3と第2載置部4との間に配置されている。図2に示すように、昇降機構8は、モータ36と、モータ36の出力軸に連結されるネジ部材37と、ネジ部材37に係合するとともに保持部6に固定されるナット部材38とを備えている。また、昇降機構8は、保持部6を上下方向へ案内するガイド軸39およびガイドブッシュ40を備えている。本形態の昇降機構8は、4本のガイド軸39と4個のガイドブッシュ40とを備えている。
 ガイド軸39の上端は、固定板41に固定されている。ガイド軸39の下端は、固定板42に固定されている。4本のガイド軸39は、上下方向から見たときに正方形状に配置されている。4個のガイドブッシュ40は、保持部材33の中心部に固定されている。すなわち、4個のガイドブッシュ40は、保持部6の中心部に固定されている。ガイド軸39は、ガイドブッシュ40に挿通されている。
 モータ36は、サーボモータである。モータ36は、モータ36の出力軸が下側へ突出するように配置されている。また、モータ36は、固定板41の上側に配置されており、ブラケット43を介して固定板41に固定されている。ネジ部材37は、カップリング44を介してモータ36の出力軸に取り付けられている。ネジ部材37の上端側は、固定板41に取り付けられる軸受に回転可能に支持され、ネジ部材37の下端側は、固定板42に取り付けられる軸受に回転可能に支持されている。ナット部材38は、保持部材33の中心位置に固定されている。すなわち、ナット部材38は、保持部6の中心位置に固定されている。
 回転機構7は、筐体13に収容されている。また、回転機構7は、左右方向において、第1載置部3と第2載置部4との間に配置されている。回転機構7は、モータ47を駆動源とするロータリーアクチュエータである。モータ47は、サーボモータである。回転機構7の上端面には、固定板42が固定されており、回転機構7は、昇降機構8および固定板41、42と一緒に保持部6を回転させる。上下方向から見たときに、回転機構7の回転中心と保持部材33の中心位置とは一致している。すなわち、回転機構7は、保持部6の中心位置を回転中心にして保持部6を回転させる。なお、本形態では、上下方向から見たときに、回転機構7の回転中心とモータ36の回転中心とが一致している。ただし、上下方向から見たときに、回転機構7の回転中心とモータ36の回転中心とが一致していなくても良い。
 保持部6が回転するときには、保持部6は、所定位置まで上昇している。保持機構34、35が保持している液晶パネル2を第1載置部3および第2載置部4に載置するとき、および、第1載置部3および第2載置部4に載置されている液晶パネル2を保持機構34、35が保持するときには、保持部6は、所定位置から下降した後、再び、所定位置まで上昇する。
 筐体13は、直方体の箱状に形成されている。筐体13の左側面を構成する左側面部13aは、第2載置部4のすぐ右側に配置されるとともに、回転機構7および昇降機構8のすぐ左側に配置されている。左側面部13aには、保持部6の回転時に保持部6の一部が通過する開口部13bが形成されている。開口部13bは、左右方向で左側面部13aを貫通している。また、開口部13bは、図4に示すように、前後方向に細長い長方形状に形成されている。
 シャッタ14は、左側面部13aの左側に配置されている。シャッタ14は、開口部13bを塞ぐ閉位置14A(図4の二点鎖線で示す位置)と、開口部13bを開放する開位置14B(図2、図4の実線で示す位置)との間を移動する。具体的には、シャッタ14は、シャッタ14の移動範囲の下限位置となる閉位置14Aと、シャッタ14の移動範囲の上限位置となる開位置14Bとの間で上下動する。シャッタ14には、シャッタ14を上下動させるエアシリンダ48が連結されている。
 図4に示すように、左側面部13aの左面には、シャッタ14を上下方向へ案内するためのガイドレール49が固定されている。シャッタ14の右面には、ガイドレール49に係合するガイドブロック50が固定されている。また、左側面部13aの左面には、閉位置14Aで停止するシャッタ14の停止時の衝撃を緩和するためのショックアブソーバ51と、開位置14Bで停止するシャッタ14の停止時の衝撃を緩和するためのショックアブソーバ52とが取り付けられている。シャッタ14には、ショックアブソーバ51に接触する接触部14aと、ショックアブソーバ52に接触する接触部14bとが形成されている。
 上述のように、回転機構7は、保持部6を回転させる。本形態では、回転機構7は、保持機構34が第1載置部3の上側に配置されるとともに保持機構35が第2載置部4の上側に配置される第1入替位置6A(図2、図6(A)に示す位置)と、第1入替位置6Aから保持部6が180°回転して保持機構34が第2載置部4の上側に配置されるとともに保持機構35が第1載置部3の上側に配置される第2入替位置6B(図6(B)に示す位置)と、シャッタ14が閉位置14Aに移動可能な位置に保持部6が配置される待機位置6C(図3に示す位置)とに保持部6を回転させる。
 第1入替位置6Aに保持部6があるときには、保持機構34は、2個の貫通穴18bの上側に配置され、保持機構35は、2個の載置部材21の上側に配置されている。第2入替位置6Bに保持部6があるときには、保持機構34は、2個の載置部材21の上側に配置され、保持機構35は、2個の貫通穴18bの上側に配置されている。本形態の待機位置6Cは、第1入替位置6Aおよび第2入替位置6Bから保持部6が90°回転した位置である。待機位置6Cにある保持部6は、筐体13の内部に配置されている。
 (検査装置の動作)
 検査装置1では、保持部6が待機位置6Cに配置され、かつ、シャッタ14が閉位置14Aに配置されている状態で、第1載置部3に載置される2枚の液晶パネル2の点灯検査が行われる。液晶パネル2の点灯検査時には、筺体13の内部は、暗室になっており、載置用治具18に載置された液晶パネル2にバックライト10から光が照射される。また、液晶パネル2の点灯検査時には、保持機構34、35は、液晶パネル2を保持していない。
 液晶パネル2の点灯検査が終了すると、閉位置14Aにあるシャッタ14は、開位置14Bに移動する。また、待機位置6Cにある保持部6は、90°回転して、第1入替位置6Aおよび第2入替位置6Bのいずれか一方に移動する。たとえば、待機位置6Cにある保持部6は、第1入替位置6Aに移動する。その状態で、保持部6が下降して、保持機構34が第1載置部3に載置された検査後の液晶パネル2を保持するとともに、保持機構35が第2載置部4に載置された検査前の液晶パネル2を保持した後、保持部6が上昇する。
 その後、第1入替位置6Aにある保持部6は、180°回転して、第2入替位置6Bに移動する。その状態で、保持部6が下降して、保持機構35が第1載置部3に検査前の液晶パネル2を載置するとともに、保持機構34が第2載置部4に検査後の液晶パネル2を載置した後、保持部6が上昇する。その後、第2入替位置6Bにある保持部6は、90°回転して、待機位置6Cに移動する。保持部6が待機位置6Cに移動すると、シャッタ14が開位置14Bから閉位置14Aに移動する。シャッタ14が閉位置14Aに移動すると、筺体13の内部が暗室になって、次の2枚の液晶パネル2の点灯検査が行われる。
 (本形態の主な効果)
 以上説明したように、本形態では、検査装置1は、保持機構34を一端側に有するとともに保持機構35を他端側に有する保持部6と、上下方向を回転の軸方向としてかつ保持部6の中心位置を回転中心にして保持部6を回転させる回転機構7とを備えている。また、本形態では、回転機構7は、保持機構34が第1載置部3の上側に配置されるとともに保持機構35が第2載置部4の上側に配置される第1入替位置6Aと、第1入替位置6Aから保持部6が180°回転して保持機構34が第2載置部4の上側に配置されるとともに保持機構35が第1載置部3の上側に配置される第2入替位置6Bとに保持部6を回転させている。
 そのため、本形態では、たとえば、第1入替位置6Aから第2入替位置6Bに保持部6を回転させることで、上述のように、第1載置部3に載置される液晶パネル2を入れ替えることが可能になる。すなわち、本形態では、1個の保持部6および1個の回転機構7を用いて液晶パネル2の入替を行うことが可能になる。したがって、本形態では、第1載置部3に液晶パネル2を搬入する機構と第1載置部3から液晶パネル2を搬出する機構とが個別に設けられている場合と比較して、検査装置1の構成を簡素化することが可能になる。
 また、本形態では、たとえば、第1入替位置6Aから第2入替位置6Bに保持部6を回転させれば、第1載置部3に載置される液晶パネル2を入れ替えることが可能になるため、液晶パネル2の入替時間を短縮することが可能になる。また、本形態では、シャッタ14が閉位置14Aに移動可能な位置に保持部6が配置される待機位置6Cに保持部6を回転させているため、点灯検査時に、シャッタ14によって開口部13bを塞いで筐体13の内部を暗室にすることが可能になる。
 本形態では、待機位置6Cは、第1入替位置6Aおよび第2入替位置6Bから保持部6が90°回転した位置である。そのため、本形態では、保持部6の回転中心と開口部13bとの距離(左右方向の距離)が近くなっていても、シャッタ14を閉じる際に保持部6とシャッタ14との接触を防止して、シャッタ14によって開口部13bを塞ぐことが可能になる。したがって、本形態では、検査装置1を小型化することが可能になる。また、待機位置6Cが、第1入替位置6Aおよび第2入替位置6Bから保持部6が90°回転した位置であるため、液晶パネル2の点灯検査時に、載置部3に載置される液晶パネル2とカメラ11との間から、保持部6の全体を確実に退避させることが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル2の全体の画像をカメラ11に確実に写すことが可能になる。
 本形態では、検査装置1は、保持部6を昇降させる昇降機構8を備えている。そのため、本形態では、昇降機構8に代えて、第1載置部3に液晶パネル2を載置するために第1載置部3を昇降させる昇降機構と、第2載置部4に液晶パネル2を載置するために第2載置部4を昇降させる昇降機構とが設けられている場合と比較して、検査装置1の構成を簡素化することが可能になる。
 本形態では、載置部材19から上側に向かって突出する位置決めピン20と、位置決めピン20が挿入される載置用治具18の挿入穴18aとによって、載置用治具18が載置部材19に対して水平方向で位置決めされている。そのため、本形態では、載置用治具18を持ち上げれば、載置部材19から載置用治具18を取り外すことが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル2のサイズや形状等に応じて載置用治具18を交換する際の交換作業が容易になる。
 (他の実施の形態)
 上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
 上述した形態において、待機位置6Cは、第1入替位置6Aから保持部6が90°未満の角度回転した位置であっても良いし、第1入替位置6Aから保持部6が90°を超える角度回転した位置であっても良い。また、上述した形態において、待機位置6Cにある保持部6は、筐体13の外部に配置されていても良い。この場合には、回転機構7および昇降機構8は、筐体13の外部に配置されている。
 上述した形態において、検査装置1は、昇降機構8に代えて、第1載置部3を昇降させる昇降機構と、第2載置部4を昇降させる昇降機構とを備えていても良い。また、上述した形態において、シャッタ14は、開口部13bを塞ぐ閉位置と開口部13bを開放する開位置との間で、前後方向にスライドしても良いし、上下方向または前後方向を回動の軸方向として回動しても良い。
 上述した形態において、第1載置部3および第2載置部4に載置される液晶パネル2の枚数は1枚であっても良い。この場合には、保持機構34、35は、1枚の液晶パネル2を吸引して保持する。また、第1載置部3および第2載置部4に載置される液晶パネル2の枚数は3枚以上であっても良い。この場合には、保持機構34、35は、3枚以上の液晶パネル2を吸引して保持する。また、上述した形態では、筐体13の内部の暗室で液晶パネル2の点灯検査を行っているが、筐体13の内部の暗室で液晶パネル2以外の検査対象物の点灯検査を行っても良い。
 1 検査装置
 2 液晶パネル(検査対象物)
 3 第1載置部
 4 第2載置部
 6 保持部
 6A 第1入替位置
 6B 第2入替位置
 6C 待機位置
 7 回転機構
 8 昇降機構
 13 筐体
 13b 開口部
 14 シャッタ
 14A 閉位置
 14B 開位置
 18 載置用治具
 18a 挿入穴
 19 載置部材
 20 位置決めピン
 34 保持機構(第1保持機構)
 35 保持機構(第2保持機構)

Claims (6)

  1.  検査対象物を点灯検査するための検査装置において、
     前記検査対象物を保持する第1保持機構を一端側に有するとともに前記検査対象物を保持する第2保持機構を他端側に有する保持部と、上下方向を回転の軸方向としてかつ前記保持部の中心位置を回転中心にして前記保持部を回転させる回転機構と、点灯検査時に前記検査対象物が載置される第1載置部と、点灯検査前および点灯検査後の前記検査対象物が載置される第2載置部と、前記保持部の回転時に前記保持部の一部が通過する開口部が形成されるとともに前記第1載置部が収容される筐体と、前記開口部を塞ぐ閉位置と前記開口部を開放する開位置との間を移動するシャッタとを備え、
     前記第2載置部は、前記筐体の外部に配置され、
     前記回転機構は、前記第1保持機構が前記第1載置部の上側に配置されるとともに前記第2保持機構が前記第2載置部の上側に配置される第1入替位置と、前記第1入替位置から前記保持部が180°回転して前記第1保持機構が前記第2載置部の上側に配置されるとともに前記第2保持機構が前記第1載置部の上側に配置される第2入替位置と、前記シャッタが前記閉位置に移動可能な位置に前記保持部が配置される待機位置とに前記保持部を回転させることを特徴とする検査装置。
  2.  前記保持部が前記待機位置に配置され、かつ、前記シャッタが前記閉位置に配置されている状態で、前記第1載置部に載置される前記検査対象物の点灯検査が行われ、
     前記検査対象物の点灯検査が終了すると、前記閉位置にある前記シャッタは、前記開位置に移動し、前記待機位置にある前記保持部は、前記第1入替位置および前記第2入替位置のいずれか一方に移動した後、前記第1入替位置および前記第2入替位置のいずれか他方に移動し、その後、前記待機位置に移動することを特徴とする請求項1記載の検査装置。
  3.  前記待機位置は、前記第1入替位置および前記第2入替位置から前記保持部が90°回転した位置であることを特徴とする請求項1または2記載の検査装置。
  4.  前記待機位置にある前記保持部は、前記筐体の内部に配置されていることを特徴とする請求項1または2記載の検査装置。
  5.  前記保持部を昇降させる昇降機構を備えることを特徴とする請求項1または2記載の検査装置。
  6.  前記第1載置部は、前記検査対象物が載置される載置用治具と、前記載置用治具が載置される載置部材と、前記載置部材から上側に向かって突出する複数の位置決めピンとを備え、
     前記載置用治具には、前記位置決めピンが挿入される挿入穴が形成され、
     前記載置用治具は、前記位置決めピンと前記挿入穴とによって前記載置部材に対して水平方向で位置決めされていることを特徴とする請求項1または2記載の検査装置。
PCT/JP2018/033536 2017-09-14 2018-09-11 検査装置 WO2019054345A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201880057119.9A CN111065903B (zh) 2017-09-14 2018-09-11 检查装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017176717A JP2019052914A (ja) 2017-09-14 2017-09-14 検査装置
JP2017-176717 2017-09-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019054345A1 true WO2019054345A1 (ja) 2019-03-21

Family

ID=65722705

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2018/033536 WO2019054345A1 (ja) 2017-09-14 2018-09-11 検査装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2019052914A (ja)
CN (1) CN111065903B (ja)
WO (1) WO2019054345A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020167256A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 日本電産サンキョー株式会社 パネル搬送装置およびパネル搬送システム

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7219172B2 (ja) * 2019-06-14 2023-02-07 日本電産サンキョー株式会社 検査システム
CN113253497B (zh) * 2021-06-08 2021-09-07 江苏二五七特显科技集团有限公司 一种高清液晶屏组装工装夹具及组装方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07283589A (ja) * 1994-04-01 1995-10-27 Hitachi Electron Eng Co Ltd 基板搬送載置機構
JPH10111257A (ja) * 1995-12-14 1998-04-28 Toshiba Corp 表面検査装置、表面検査方法及び液晶表示装置の製造方法
JP2000100892A (ja) * 1998-09-18 2000-04-07 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置
US20060087647A1 (en) * 2004-10-26 2006-04-27 Bagley William A Sensors for dynamically detecting substrate breakage and misalignment of a moving substrate

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09189891A (ja) * 1996-01-08 1997-07-22 Hitachi Electron Eng Co Ltd 角型ガラス基板用カセットのクランプ機構
CN2753105Y (zh) * 2004-11-21 2006-01-18 李小元 多层线路板的层压模具
JP4534025B2 (ja) * 2004-11-30 2010-09-01 ルネサスエレクトロニクス株式会社 外観検査装置および外観検査装置用搬送部
JP2007107973A (ja) * 2005-10-12 2007-04-26 Micronics Japan Co Ltd 検査装置
JP4951536B2 (ja) * 2007-03-27 2012-06-13 東京エレクトロン株式会社 基板載置台及び基板処理装置
KR100869838B1 (ko) * 2008-04-04 2008-11-21 (주)신세계엔지니어링 엘씨디 패널에 부착된 보호필름 박리용 로터리어셈블리가구비된 백라이트유닛 조립장치
WO2010032750A1 (ja) * 2008-09-16 2010-03-25 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置および基板載置台
CN201711792U (zh) * 2010-01-05 2011-01-19 国营红阳机械厂 定位工装
JP5797240B2 (ja) * 2013-08-12 2015-10-21 太洋工業株式会社 プリント基板検査装置
TWI498545B (zh) * 2013-10-30 2015-09-01 Utechzone Co Ltd Optical inspection machine
CN204631401U (zh) * 2015-06-03 2015-09-09 昆山龙腾光电有限公司 检测液晶面板的点灯治具
CN106180822A (zh) * 2016-08-25 2016-12-07 湖北三江航天万山特种车辆有限公司 一种快速定位夹紧装置
CN106959532A (zh) * 2017-05-02 2017-07-18 京东方科技集团股份有限公司 一种定位治具和点灯测试***

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07283589A (ja) * 1994-04-01 1995-10-27 Hitachi Electron Eng Co Ltd 基板搬送載置機構
JPH10111257A (ja) * 1995-12-14 1998-04-28 Toshiba Corp 表面検査装置、表面検査方法及び液晶表示装置の製造方法
JP2000100892A (ja) * 1998-09-18 2000-04-07 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置
US20060087647A1 (en) * 2004-10-26 2006-04-27 Bagley William A Sensors for dynamically detecting substrate breakage and misalignment of a moving substrate

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020167256A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 日本電産サンキョー株式会社 パネル搬送装置およびパネル搬送システム

Also Published As

Publication number Publication date
CN111065903A (zh) 2020-04-24
CN111065903B (zh) 2022-09-27
JP2019052914A (ja) 2019-04-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3745750B2 (ja) 表示パネルの検査装置および検査方法
CN106873195B (zh) 探针单元更换装置
WO2019054345A1 (ja) 検査装置
KR100641319B1 (ko) 액정표시장치용 셀 검사장치
KR100683265B1 (ko) 광학적 검사 장치의 인쇄회로기판 자동 공급 취출장치
CN110211889B (zh) 检查***
JP5555757B2 (ja) 基板検査装置
WO2017187802A1 (ja) 処理システム
TW201738990A (zh) 處理裝置
KR101236286B1 (ko) 기판의 결함 검사장치
KR101322164B1 (ko) 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치
KR20120131526A (ko) 레이저 리페어 장치
KR101601614B1 (ko) 반도체 소자 외관 검사장치
CN112924770A (zh) 不同尺寸显示板的检查装置
KR100665729B1 (ko) 엘시디 패널의 자동 검사장치
KR101839059B1 (ko) 대형 lcd 패널용 오토 프로브의 수직 반송 캐리어
KR20180091510A (ko) 디스플레이 셀의 검사 장치
KR101017626B1 (ko) Lcd검사 장비용 얼라인먼트 스테이지
WO2019054347A1 (ja) 検査装置
JP4849744B2 (ja) 表示用基板の検査装置
JP7219172B2 (ja) 検査システム
KR100562587B1 (ko) 패널 공급장치
JP2013079847A (ja) 基板検査装置および基板検査方法
KR101186270B1 (ko) 리니어 액츄에이터 및 이를 이용한 기판 검사장치
KR102047414B1 (ko) 글라스 검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18855486

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18855486

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1