CN111094157A - 搬运*** - Google Patents

Abstract

一种搬运***(1)包括：托盘配置部(6)，其配置收纳有检查前的显示面板的托盘；托盘配置部(7)，其配置收纳有检查后的正常的显示面板的托盘；托盘配置部(8)，其配置收纳有检查后的异常的显示面板；托盘配置部(9)，其配置空的托盘；以及机器人(12)，其搬运托盘。当托盘配置部(6)的最上层的托盘变为空时，机器人(12)将托盘从托盘配置部(6)搬运到托盘配置部(9)，当托盘配置部(7、8)的最上层的托盘中收纳了规定片数的显示面板时，机器人(12)将托盘从托盘配置部(9)搬运到托盘配置部(7、8)，并将其重叠于托盘配置部(7、8)的最上层的托盘上。

Description

搬运***

技术领域

本发明涉及搬运液晶面板等显示面板的搬运***。

背景技术

目前，已知有用于点亮检查液晶面板的检查装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的检查装置被编入液晶显示器的制造***的中途。该检查装置包括进行液晶面板点亮检查的检测器、将检查前的液晶面板朝向检测器搬运的搬入侧输送机、将由搬入侧输送机搬运来的液晶面板搬入到检测器的搬入机构、将检查后的液晶面板从检测器搬出的搬出机构以及搬运由搬出机构搬出的液晶面板的搬出侧输送机。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2007－107973号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在编入了专利文献1中记载的检查装置的制造***中，为了缩短制造***的节拍时间，优选用于相对于检查装置搬入搬出液晶面板的时间短。

因此，本发明的目的在于，提供一种搬运***，所述搬运***进行显示面板向检查显示面板的检查装置的搬入及显示面板从检查装置的搬出，其中，能够缩短用于相对于检查装置搬入搬出显示面板的时间。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种搬运***，进行显示面板向检查显示面板的检查装置的搬入及显示面板从检查装置的搬出，其特征在于，包括：供给侧托盘配置部，所述供给侧托盘配置部能够以堆叠成多层的状态配置收纳有检查前的显示面板的托盘；第一排出侧托盘配置部，所述第一排出侧托盘配置部能够以堆叠成多层的状态配置收纳有通过检查装置的检查判断为正常的显示面板的托盘；第二排出侧托盘配置部，所述第二排出侧托盘配置部能够以堆叠成多层的状态配置收纳有通过检查装置的检查判断为异常的显示面板的托盘；空托盘配置部，所述空托盘配置部能够以堆叠成多层的状态配置空的托盘；面板搬运机器人，所述面板搬运机器人搬运显示面板；以及托盘搬运机器人，所述托盘搬运机器人搬运托盘，面板搬运机器人将配置于供给侧托盘配置部的最上层的托盘中的显示面板搬运到检查装置，并且将检查后的显示面板从检查装置搬运到配置于第一排出侧托盘配置部的最上层的托盘中或配置于第二排出侧托盘配置部的最上层的托盘中，当供给侧托盘配置部的最上层的托盘变为空时，托盘搬运机器人将变为空的托盘从供给侧托盘配置部搬运并配置到空托盘配置部，当在第一排出侧托盘配置部的最上层的托盘中收纳了规定片数的显示面板时，托盘搬运机器人将空的托盘从空托盘配置部搬运到第一排出侧托盘配置部，并将其重叠于第一排出侧托盘配置部的最上层的托盘上，且当在第二排出侧托盘配置部的最上层的托盘中收纳了规定片数的显示面板时，托盘搬运机器人将空的托盘从空托盘配置部搬运到第二排出侧托盘配置部，并将其重叠于第二排出侧托盘配置部的最上层的托盘上。

本发明的搬运***包括供给侧托盘配置部、第一排出侧托盘配置部、第二排出侧托盘配置部、空托盘配置部以及搬运托盘的托盘搬运机器人。另外，在本发明中，当供给侧托盘配置部的最上层的托盘变为空时，托盘搬运机器人将变为空的托盘从供给侧托盘配置部搬运并配置到空托盘配置部，当在第一排出侧托盘配置部的最上层的托盘中收纳了规定片数的显示面板时，托盘搬运机器人将空的托盘从空托盘配置部搬运到第一排出侧托盘配置部，并将其重叠于第一排出侧托盘配置部的最上层的托盘上，并且，当在第二排出侧托盘配置部的最上层的托盘中收纳了规定片数的显示面板时，托盘搬运机器人将空的托盘从空托盘配置部搬运到第二排出侧托盘配置部，并将其重叠于第二排出侧托盘配置部的最上层的托盘上。

因此，在本发明中，在供给侧托盘配置部的最上层的托盘变为空时，不需要将变为空的托盘取出到搬运***的外部，以及在第一排出侧托盘配置部的最上层的托盘和第二排出侧托盘配置部的最上层的托盘中收纳了规定片数的显示面板时，能够不需要从搬运***的外部向第一排出侧托盘配置部或第二排出侧托盘配置部供给空的托盘。即，在本发明中，在开始显示面板相对于检查装置的搬入搬出后，能够不需要将变为空的托盘取出到搬运***的外部，或者从搬运***的外部供给空的托盘的时间。另外，在本发明中，通过托盘搬运机器人，能够从供给侧托盘配置部自动向空托盘配置部搬运托盘，并且能够从空托盘配置部自动向第一排出侧托盘配置部、第二排出侧托盘配置部搬运托盘。因此，在本发明中，能够缩短用于相对于检查装置搬入搬出显示面板的时间。

在本发明中，理想的是，供给侧托盘配置部、第一排出侧托盘配置部、第二排出侧托盘配置部以及空托盘配置部排列成一列，空托盘配置部、供给侧托盘配置部、第一排出侧托盘配置部以及第二排出侧托盘配置部按该顺序排列。通过这样构成，与将供给侧托盘配置部、第一排出侧托盘配置部、第二排出侧托盘配置部以及空托盘配置部随机配置的情况相比，能够缩短托盘搬运机器人搬运托盘的搬运时间。另外，通过这样构成，例如通过在第一排出侧托盘配置部的后侧配置进行显示面板的交接的检查装置的交接部，能够缩短从供给侧托盘配置部的托盘到检查装置的交接部的面板搬运机器人搬运显示面板的搬运距离、从检查装置的交接部到第一排出侧托盘配置部的面板搬运机器人搬运显示面板的搬运距离、从检查装置的交接部到第二排出侧托盘配置部的面板搬运机器人搬运显示面板的搬运距离的总的显示面板的搬运距离。因此，能够进一步缩短显示面板相对于检查装置的搬入搬出时间。

在本发明中，理想的是，将空托盘配置部、供给侧托盘配置部、第一排出侧托盘配置部以及第二排出侧托盘配置部的排列方向设为左右方向，将与上下方向和左右方向正交的方向设为前后方向时，面板搬运机器人配置于比空托盘配置部、供给侧托盘配置部、第一排出侧托盘配置部以及第二排出侧托盘配置部更靠后侧的位置处，从前侧向供给侧托盘配置部供给堆垛的托盘，从第一排出侧托盘配置部及第二排出侧托盘配置部向前侧取出堆垛的托盘。通过这样构成，因为面板搬运机器人并未配置在供给侧托盘配置部的前侧，所以托盘向供给侧托盘配置部的供给操作变得容易。另外，通过这样构成，因为面板搬运机器人并未配置在第一排出侧托盘配置部及第二排出侧托盘配置部的前侧，所以托盘从第一排出侧托盘配置部的取出操作及托盘从第二排出侧托盘配置部的取出操作变得容易。

在本发明中，理想的是，供给侧托盘配置部、第一排出侧托盘配置部、第二排出侧托盘配置部以及空托盘配置部包括使托盘升降的托盘升降机构。通过这样构成，能够将供给侧托盘配置部的最上层的托盘的上下方向的位置保持恒定、将第一排出侧托盘配置部的最上层的托盘的上下方向的位置保持恒定、将第二排出侧托盘配置部的最上层的托盘的上下方向的位置保持恒定、以及将空托盘配置部的最上层的托盘的上下方向的位置保持恒定。因此，与最上层的托盘的上下方向的位置根据所配置的托盘的层数而变动的情况相比，能够简化托盘搬运机器人的控制，并且能够简化面板搬运机器人的控制。

在本发明中，理想的是，为了将配置于最上层的托盘和配置于从上数第二层的托盘分离，供给侧托盘配置部及空托盘配置部包括进入配置于最上层的托盘和配置于从上数第二层的托盘之间的可动销。通过这样构成，在从供给侧托盘配置部向空托盘配置部搬运托盘时，能够可靠地搬运仅变为空的最上层的一个托盘。另外，通过这样构成，在从空托盘配置部向第一排出侧托盘配置部或第二排出侧托盘配置部搬运托盘时，能够可靠地搬运仅最上层的一个托盘。

在本发明中，理想的是，供给侧托盘配置部包括使托盘升降的托盘升降机构，供给侧托盘配置部的可动销配置于三个部位以上，以便能够从下侧支承配置于最上层的托盘，当可动销进入配置于最上层的托盘和配置于从上数第二层的托盘之间时，托盘升降机构使堆垛的托盘下降，使可动销支承配置于最上层的托盘，并且在配置于最上层的托盘和配置于从上数第二层的托盘之间形成间隙，面板搬运机器人在配置于最上层的托盘和配置于从上数第二层的托盘之间形成间隙的状态下，保持配置于供给侧托盘配置部的最上层的托盘中的显示面板。

在面板搬运机器人保持配置于供给侧托盘配置部的最上层的托盘中的显示面板时，力从上侧作用在显示面板上，最上层的托盘有可能向下侧变形，但通过这样构成，即使最上层的托盘向下侧变形，也能够防止配置于从上数第二层的托盘中的显示面板和最上层的托盘的接触。因此，能够防止配置于从上数第二层的托盘中的显示面板的损坏。

在本发明中，理想的是，供给侧托盘配置部包括：第一传感器，所述第一传感器用于在能够使可动销进入配置于最上层的托盘和配置于从上数第二层的托盘之间的位置检测最上层的托盘；以及第二传感器，所述第二传感器用于检测被可动销支承的最上层的托盘。通过这样构成，使用第一传感器能够使堆垛的托盘停止在能够使可动销进入配置于最上层的托盘和配置于从上数第二层的托盘之间的位置，并且能够使用第二传感器确认最上层的托盘被可动销支承。

在本发明中，理想的是，供给侧托盘配置部、第一排出侧托盘配置部以及第二排出侧托盘配置部包括定位机构，所述定位机构用于在水平方向上将托盘定位。通过这样构成，能够由面板搬运机器人高精度地保持收纳于供给侧托盘配置部的最上层的托盘中的显示面板的规定部位，并且能够由面板搬运机器人将显示面板高精度地搬入第一排出侧托盘配置部的最上层的托盘的规定位置及第二排出侧托盘配置部的最上层的托盘的规定位置。

在本发明中，理想的是，搬运***包括盒配置部，所述盒配置部配置以在上下方向上隔开间隔的状态在上下方向上重叠的方式收纳有检查前的多片显示面板的盒，盒配置部配置于面板搬运机器人能够从配置于盒配置部的盒中向检查装置搬运显示面板的位置。通过这样构成，能够通过共同的面板搬运机器人向检查装置搬运收纳于供给侧托盘配置部的托盘中的显示面板和收纳于盒中的显示面板。

发明效果

如上所述，在本发明中，在进行显示面板朝向检查显示面板的检查装置的搬入及显示面板从检查装置的搬出的搬运***中，能够缩短用于相对于检查装置搬入搬出显示面板的时间。

附图说明

图1是本发明实施方式的搬运***的立体图。

图2是用于从上面说明图1所示的搬运***的图。

图3是图1所示的面板搬运机器人的主视图。

图4是图1所示的托盘搬运机器人的侧视图。

图5是图1所示的供给侧托盘配置部的立体图。

图6是图5所示的供给侧托盘配置部的俯视图。

图7是用于从正面说明图5所示的供给侧托盘配置部的结构的图。

图8是用于从侧面说明图5所示的供给侧托盘配置的结构的图。

图9是用于从正面说明图6所示的载置板、基座部件、支承框架及滑动机构等的结构的图。

图10是用于说明图6所示的滑动机构的动作的图。

图11的(A)和图11的(B)是图5所示的销缸的周边部的主视图，图11的(C)和图11的(D)是图5所示的传感器的周边部的主视图。

图12是用于说明在图5所示的供给侧托盘配置部中配置于最上层的托盘的分离动作的图。

图13是用于从正面说明图1所示的空的托盘配置部的结构的图。

图14是用于从侧面说明图1所示的空的托盘配置部的结构的图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

(搬运***的整体结构)

图1是本发明实施方式的搬运***1的立体图。图2是用于从上面说明图1所示的搬运***1的图。

本实施方式的搬运***1被装入便携设备等中使用的较小型的液晶显示器的生产线中使用。该搬运***1搬运作为显示面板的液晶面板2。具体而言，搬运***1进行液晶面板2向检查液晶面板2的检查装置3的搬入及液晶面板2从检查装置3的搬出。液晶面板2形成为长方形的平板状。

在本实施方式中，由检查装置3进行检查之前的液晶面板2根据被检查的液晶面板2的尺寸被收纳于托盘4或盒5。具体而言，较大的液晶面板2收纳于托盘4，较小的液晶面板2收纳于盒5。另外，由检查装置3进行了检查后的液晶面板2收纳于托盘4。在托盘4中以在上下方向上不重叠的状态收纳有多张液晶面板2。在盒5中，以在上下方向上隔开间隔的状态下在上下方向上重叠的方式收纳有多张液晶面板2。此外，托盘4形成为大致长方形的平板状，在托盘4的上表面形成有收纳有液晶面板2的凹部。另外，托盘4由刚性相对较低的树脂形成。另外，在图1中，省略了托盘4及盒5的图示。

搬运***1包括：托盘配置部6，其能够以堆叠成多层的状态配置收纳有检查前的液晶面板2的托盘4；托盘配置部7，其能够以堆叠成多层的状态配置收纳有通过检查装置3的检查判断为正常的液晶面板2的托盘4；托盘配置部8，其能够以堆叠成多层的状态配置收纳有通过检查装置3的检查判断为异常的液晶面板2的托盘4；托盘配置部9，其能够以堆叠成多层的状态配置空的托盘4。

另外，搬运***1包括搬运液晶面板2的机器人11、搬运托盘4的机器人12、配置收纳有多片液晶面板2的盒5的盒配置部13。本实施方式的托盘配置部6是供给侧托盘配置部，托盘配置部7是第一排出侧托盘配置部，托盘配置部8是第二排出侧托盘配置部，托盘配置部9是空托盘配置部。另外，本实施方式的机器人11是面板搬运机器人，机器人12是托盘搬运机器人。

托盘配置部6、托盘配置部7、托盘配置部8以及托盘配置部9被排列成一列。托盘配置部6～9设置于架台14上。另外，在架台14上固定有搬运***1的本体框架(省略图示)。在以下的说明中，将托盘配置部6～9的排列方向(图1等的X方向)设为左右方向，将与上下方向和左右方向正交的图1等的Y方向设为前后方向。另外，将左右方向中的图1等的X1方向侧设为“右”侧，将作为其相反侧的图1等的X2方向侧设为“左”侧，将前后方向中的图1等的Y1方向侧设为“前”侧，将作为其相反侧的图1等的Y2方向侧设为“后”侧。

本实施方式的检查装置3是点亮检查液晶面板2的点亮检查装置。检查装置3例如包括：面板保持部，其在两个部位具有供液晶面板2载置的面板载置部15；旋转机构，其使面板保持部以上下方向为旋转的轴向进行旋转；以及框体，其内部在进行液晶面板2的点亮检查时成为暗室。在框体的内部设置有用于进行液晶面板2的点亮检查的背光灯或摄像头。旋转机构使面板保持部在如下两个位置之间旋转，其中一个位置是两个面板载置部15中的一个面板载置部15配置在框体的外部并且另一面板载置部15配置在框体的内部的位置，另一个位置是一个面板载置部15配置在框体的内部并且另一个面板载置部15配置在框体的外部的位置。

如上所述，托盘配置部6、托盘配置部7、托盘配置部8以及托盘配置部9在左右方向上排列成一列。在本实施方式中，托盘配置部9、托盘配置部6、托盘配置部7以及托盘配置部8按该顺序排列。具体而言，托盘配置部9、托盘配置部6、托盘配置部7以及托盘配置部8从左侧朝向右侧按该顺序排列。机器人12配置于托盘配置部6～9的上侧。机器人11配置于比托盘配置部6～9更靠后侧的位置处。另外，机器人11配置于托盘配置部7的后侧。

检查装置3配置于比机器人11更靠后侧的位置处。另外，检查装置3配置于托盘配置部6～8的后侧。检查装置3的面板载置部15配置于机器人11的后侧。盒配置部13配置于托盘配置部6的后侧。另外，盒配置部13配置于检查装置3的前侧，并且配置于机器人11的左侧。盒配置部13配置于如下的位置，即机器人11能够从配置于盒配置部13的盒5中向检查装置3的面板载置部15搬运液晶面板2的位置。

(机器人及盒配置部的结构)

图3是图1所示的机器人11的主视图。图4是图1所示的机器人12的侧视图。

机器人11是六轴垂直式多关节机器人。机器人11包括：构成机器人11的下端部的支承部件19、与支承部件19可相对转动地连接的关节部20、与关节部20可相对转动地连接的关节部21、基端被固定于关节部21的直线状的臂22、固定于臂22的前端的关节部23、与关节部23可相对转动地连接的关节部24、基端可相对转动地连接于关节部24的直线状的臂25、固定臂25的前端的关节部26、与关节部26可相对动地连接的关节部27、与关节部27可转动地连接并且保持液晶面板2的面板保持机构28。

关节部20、21、23、24、26、27包括电动机和将电动机的动力减速传递的减速机。关节部20能够进行以上下方向为转动的轴向的转动的方式与支承部件19连接。关节部21以能够进行以水平方向为转动的轴向的转动的方式与关节部20连接。关节部24以能够进行以水平方向为转动的轴向的转动的方式与关节部23连接。关节部27以能够进行以水平方向为转动的轴向的转动的方式与关节部26连接。

关节部21相对于关节部20的转动的轴向及关节部24相对于关节部23的转动的轴向与臂22的长度方向正交。关节部24相对于关节部23的转动的轴向及关节部27相对于关节部26的转动的轴向与臂25的长度方向正交。另外，关节部24相对于关节部23的转动的轴向与臂25相对于关节部24的转动的轴向正交。关节部27相对于关节部26的转动的轴向与面板保持机构28相对于关节部27的转动的轴向正交。

面板保持机构28包括抽吸并保持液晶面板2的面板保持部28a。面板保持部28a保持一片液晶面板2。在面板保持部28a形成有多个抽吸孔。在多个抽吸孔经由规定的配管连接有真空泵等空气的抽吸机构。此外，在图1、图2中，省略了面板保持部28a的图示。

机器人12是所谓的双轴正交机器人。机器人12包括：固定于架台14上的固定框架31、以相对于固定框架31可进行向左右方向的滑动的方式保持于固定框架31上的可动框架32、以相对于可动框架32可进行向上下方向的滑动的方式保持于可动框架32上的可动框架33、以及安装于可动框架33上的托盘保持部34。另外，机器人12包括使可动框架32向左右方向滑动的驱动机构、在左右方向上引导可动框架32的导向机构、使可动框架33向上下方向滑动的驱动机构、以及在上下方向上引导可动框架33的导向机构。

固定框架31配置于托盘配置部6～9的前端部的上侧。可动框架32安装于固定框架31的上表面侧。另外，可动框架32从固定框架31朝向后侧延伸。可动框架33安装于可动框架32的后端。托盘保持部34安装于可动框架33的下端。如图4所示，托盘保持部34包括抽吸并保持托盘4的多个抽吸部35。在抽吸部35经由规定的配管连接有真空泵等空气的抽吸机构。抽吸部35与托盘4的上表面接触，真空抽吸托盘4。

盒配置部13包括保持盒5的盒保持部36。盒保持部36能够以前后方向为转动的轴向且以盒保持部36的下端部为转动中心进行转动。操作人员通过手动操作将盒5放置在盒保持部36。在本实施方式中，在从左斜上侧将盒5放置在以随着朝向上侧而朝向左侧的方式倾斜的状态下的盒保持部36之后，使盒保持部36转动至收纳于盒5中的液晶面板2的厚度方向与上下方向大致一致的位置，之后，将盒保持部36固定。

(托盘配置部的概略结构)

图5是图1所示的托盘配置部6的立体图。图6是图5所示的托盘配置部6的俯视图。图7是用于从正面说明图5所示的托盘配置部6的结构的图。图8是用于从侧面说明图5所示的托盘配置部6的结构的图。

托盘4以堆叠成多层的状态(堆垛状态)配置于托盘配置部6。托盘配置部6包括构成托盘配置部6的左右侧面的两片侧板38和构成托盘配置部6的后表面的后侧板39，托盘配置部6的上表面及前表面开口。托盘配置部6包括载置板40，该载置板40供配置于托盘配置部6的托盘4中的配置于最下部的托盘4载置。即，托盘配置部6包括载置板40,该载置板40供堆垛状态的托盘4中的配置于最下部的托盘4载置。另外，托盘配置部6包括供载置板40载置的基座部件41和可滑动地安装有基座部件41的支承框架42。

此外，托盘配置部6包括使基座部件41相对于支承框架42滑动的滑动机构43。滑动机构43使基座部件41相对于支承框架42在前后方向上滑动。另外，托盘配置部6包括用于在基座部件41相对于支承框架42的位于滑动方向的一端侧(具体而言，滑动方向的后端侧)锁定基座部件41的锁定机构44、用于在基座部件41相对于支承框架42的位于滑动方向的另一端侧(具体而言，滑动方向的前端侧)锁定基座部件41的锁定机构45(参照图6)。

另外，托盘配置部6包括使支承框架42升降的升降机构46。即，托盘配置部6包括使基座部件41、载置板40及托盘4升降的升降机构46。本实施方式的升降机构46是托盘升降机构。并且，托盘配置部6包括用于在水平方向上将托盘4定位的汽缸47。即，托盘配置部6包括用于在前后方向及左右方向上将载置于载置板40上的托盘4定位的汽缸47。另外，托盘配置部6包括用于将配置于最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4分离的销缸50。本实施方式的托盘配置部6包括四个销缸50。

另外，托盘配置部6包括检测配置于最上层的托盘4的传感器51～53。传感器51是用于检测最上层的托盘4的上限位置的传感器。传感器52是用于检测如后述被销缸50的可动销89支承的最上层的托盘4的传感器。传感器53是用于使通过升降机构46上升的堆垛状态的托盘4中的最上层的托盘4在上限位置停止的传感器。本实施方式的传感器51是第一传感器，传感器52是第二传感器。

以下，对托盘配置部6的具体结构进行说明。此外，在本实施方式中，托盘配置部7和托盘配置部8完全相同地构成。另外，托盘配置部7、8不包括销缸50及传感器52、53，除此以外，托盘配置部7、8与托盘配置部6同样地构成。因此，省略托盘配置部7、8的具体的结构的说明。

另外，托盘配置部9不包括载置板40、基座部件41、滑动机构43及锁定机构44、45；托盘配置部9不包括汽缸47及传感器52、53；以及托盘配置部9所包括的销缸50的数量为两个，除此以外，托盘配置部9与托盘配置部6大致同样地构成。以下，以与托盘配置部6的不同点为中心对托盘配置部9的具体结构进行说明。

(托盘配置部的具体的结构)

图9是用于从正面说明图6所示的载置板40、基座部件41、支承框架42及滑动机构43等的结构的图。图10是用于说明图6所示的滑动机构43的动作的图。图11的(A)和图11的(B)是图5所示的销缸50的周边部的主视图，图11的(C)和图11的(D)是图5所示的传感器51～53的周边部的主视图。图12是用于说明在图5所示的托盘配置部6中的配置于最上层的托盘4的分离动作的图。图13是用于从正面说明图1所示的托盘配置部9的结构的图。图14是用于从侧面说明图1所示的托盘配置部9的结构的图。

载置板40形成为大致长方形的平板状。载置板40以载置板40的厚度方向与上下方向一致，且形成为大致长方形状的载置板40的长边方向与前后方向一致的方式可装拆地载置于基座部件41上。另外，载置板40配置于比配置于左侧的侧板38更靠右侧的位置处，同时，配置于比配置于右侧的侧板38更靠左侧的位置处。载置板40由树脂形成。载置板40的刚性高于托盘4的刚性。例如，载置板40由尼龙形成。

在载置板40上，以在前后方向上隔开间隔的状态形成有在上下方向上贯穿载置板40的两个贯通孔40a。两个贯通孔40a形成为大致长方形状。在载置板40的后端侧的两处角部固定有用于在水平方向(前后方向及左右方向)上将托盘4定位的销56。销56从载置板40的上表面向上侧突出。另外，在载置板40的下表面固定有用于相对于基座部件41将载置板40定位的多个销55(参照图6)。在本实施方式中，将销55固定于载置板40的中心、载置板40的前端部的左右两端侧的两处以及载置板40的后端部的左右两端侧的两处。即，在载置板40的下表面固定有五个销55。销55从载置板40的下表面向下侧突出。

如上所述，托盘4形成为大致长方形的平板状。托盘4以托盘4的长边方向与前后方向一致的方式载置于载置板40上。托盘4的外形和载置板40的外形大致相等。在托盘4的下端部形成有向托盘4的外周侧扩展的凸缘部4a(参照图12)。凸缘部4a形成为大致长方形的框状。载置于载置板40上的托盘4的后端侧的两处角部(即，凸缘部4a的后端侧的两处角部)为以随着朝向后侧而朝向左右方向的内侧的方式倾斜的倾斜面4b(参照图6)。

基座部件41配置于比配置于左侧的侧板38更靠右侧的位置处，并且，配置于比配置于右侧的侧板38更靠左侧的位置处。基座部件41包括可装拆地载置载置板40的基板57和固定构成滑动机构43的后述的第三轨道69的两个轨道固定板58。基板57形成为大致长方形的平板状，以基板57的厚度方向与上下方向一致的方式配置。基板57的前后方向的长度与载置板40的前后方向的长度大致相等。基板57的左右方向的宽度比载置板40的左右方向的宽度窄。

在基板57上，以在前后方向上隔开间隔的状态形成有在上下方向上贯通基板57的大致长方形状的两个贯通孔57a(参照图6)。另外，在基板57上形成有供固定于载置板40的中心的销55***的***孔和供固定于载置板40的后端部的左右两端侧的两处的销55***的***孔。在本实施方式中，操作人员通过手动操作使基座部件41相对于支承框架42滑动。在基板57的下表面的前端侧固定有在使基座部件41相对于支承框架42滑动时供操作人员抓握的把手59。此外，固定于载置板40的前端部的左右两端侧的两处的销55与基板57的左右端面接触。

在基板57的下表面的后端侧固定有用于相对于支承框架42锁定基座部件41的锁定板60。锁定板60形成为平板状，并以锁定板60的厚度方向和左右方向一致的方式配置。锁定板60固定于基板57的右端侧。如图8所示，锁定板60的下表面的前侧部分为以随着朝向前侧而朝向上侧的方式倾斜的倾斜面60a，锁定板60的下表面的后侧部分为以随着朝向后侧而朝向向上侧的方式倾斜的倾斜面60b。此外，在倾斜面60a和倾斜面60b之间形成有与上下方向正交的微小的平面(参照图8)。

轨道固定板58形成为前后方向上细长的长方形的平板状。轨道固定板58配置为轨道固定板58的厚度方向和左右方向一致。轨道固定板58固定于基板57的下表面。另外，两片轨道固定板58分别固定于左右方向上的基板57的各两端侧。轨道固定板58的前后方向的长度比基板57的前后方向的长度长。轨道固定板58的前端配置于比基板57的前端更靠前侧的位置处，轨道固定板58的后端配置于比基板57的后端更靠后侧的位置处。

支承框架42配置于比配置于左侧的侧板38更靠右侧的位置处，并且，配置于比配置于右侧的侧板38更靠左侧的位置处。支承框架42包括固定构成滑动机构43的后述第一轨道67的两片轨道固定板61、固定轨道固定板61的支承板62、固定于支承板62上的基板63以及两片加强板64。支承板62形成为大致长方形的平板状。支承板62配置为支承板62的厚度方向和上下方向一致。

支承板62的前后方向的长度比基板57的前后方向的长度长。支承板62的左右方向的宽度比两片轨道固定板58的左右方向的间隔窄。在支承板62上形成有从支承板62的前端朝向后侧切口的缺口部62a。另外，在支承板62上形成有在上下方向上贯通支承板62的大致长方形状的一个贯通孔62b(参照图6)。贯通孔62b配置于缺口部62a的后侧。

轨道固定板61形成为前后方向上细长的长方形的平板状。轨道固定板61配置为轨道固定板61的厚度方向和左右方向一致。轨道固定板61固定于支承板62的上表面。另外，两片轨道固定板61分别固定于左右方向上的支承板62的各两端侧。两片轨道固定板61配置于两片轨道固定板58的左右方向的内侧。轨道固定板61的前后方向的长度比支承板62的前后方向的长度长。轨道固定板61的前端配置于在前后方向上与支承板62的前端相同的位置，轨道固定板61的后端配置于比支承板62的后端更靠后侧的位置处。

基板63形成为长方形的平板状，且配置为基板63的厚度方向和前后方向一致。基板63固定于支承板62的下表面的后端部。加强板64是用于确保支承板62和基板63的固定强度的加强肋。加强板64形成为大致等腰梯形的平板状，且配置为加强板64的厚度方向和左右方向一致。加强板64的后端面固定于基板63的前表面，加强板64的上端面固定于支承板62的下表面。在图8中，省略了两片加强板64的图示。

滑动机构43是所谓的双滑轨，如图9、图10所示，包括：固定于轨道固定板61上的第一轨道67、以可朝向前后方向滑动的方式保持于第一轨道67上的第二轨道68、以可朝向前后方向滑动的方式保持于第二轨道并且固定于轨道固定板58上的第三轨道69。在第一轨道67和第二轨道68之间及第二轨道68和第三轨道69之间配置有滚珠轴承。此外，滑动机构43也可以是单滑轨。

第二轨道68的长度(前后方向的长度)比第三轨道69的长度稍长。第一轨道67的长度约为第二轨道68的长度的两倍左右。第一轨道67固定于配置于右侧的轨道固定板61的右侧面，并且固定于配置于左侧的轨道固定板61的左侧面。第三轨道69固定于配置于右侧的轨道固定板58的左侧面，并且固定于配置于左侧的轨道固定板58的右侧面。另外，第三轨道69固定于轨道固定板58的后端部。

如图6所示，锁定机构44包括：限制基座部件41向后侧的移动的止动件70、与锁定板60接触的辊71、在一端侧可旋转地保持辊71的杆部件72、以及可转动地保持杆部件72的另一端侧的保持部件73。止动件70形成为厚的圆盘状，且配置为止动件70的厚度方向和前后方向一致。例如，止动件70由橡胶形成。止动件70固定于固定部件74上。固定部件74固定于支承板62的后端的左端侧。止动件70位于支承板62的上侧且基板57的下侧。另外，止动件70配置在配置于左侧的轨道固定板61的正右侧。在基板57的下表面的后端部的左端侧固定有与止动件70的前端面接触的平板状的抵接板75(参照图9)。

保持部件73固定于支承板62的上表面的后端侧且右端侧。杆部件72的前端部被保持部件73保持为能够进行以左右方向为转动的轴向的转动。辊71被杆部件72的后端部保持为能够进行以左右方向为旋转的轴向的旋转。杆部件72由配置于比杆部件72的转动中心更靠后侧的压缩螺旋弹簧76(参照图6)向上侧施力。即，杆部件72被压缩螺旋弹簧76的施力向图8的逆时针的方向(逆时针方向)施力。

锁定机构45与锁定机构44同样，包括止动件70、辊71、杆部件72以及保持部件73。在锁定机构45中，止动件70限制基座部件41向前侧的移动。另外，止动件70固定于固定部件77上，固定部件77固定于支承板62的上表面的前端侧且左端侧。在锁定机构45中，抵接板75的前表面与止动件70的后端面接触。

另外，在锁定机构45中，保持部件73固定于支承板62的上表面的前端侧且右端侧。杆部件72的后端部以能够进行以左右方向为转动的轴向的旋转的方式保持于保持部件73，辊71以能够进行以左右方向为转动的轴向的旋转的方式保持于杆部件72的前端部。杆部件72被配置于比杆部件72的转动中心更靠前侧的的压缩螺旋弹簧76向上侧施力。即，杆部件72通过压缩螺旋弹簧76的施力向图8的顺时钟的方向(顺时针方向)施力。

基座部件41能够在后退极限位置(图5、图6、图8的实线表示的位置)和前进极限位置(图8的双点划线表示的位置)之间沿前后方向滑动，其中，后退极限位置是载置于载置板40上的托盘4的前端及载置板40的前端配置于比侧板38的前端更靠后侧的位置处，且基座部件41被锁定机构44锁定的位置，前进极限位置是载置于载置板40上的托盘4的后端及载置板40的后端配置于比侧板38的前端更靠前侧的位置处，且基座部件41被锁定机构45锁定的位置。在基座部件41处于后退极限位置时，进行机器人11对液晶面板2的搬运。另外，在基座部件41处于前进极限位置时，收纳有检查前的液晶面板2的堆垛状态的托盘4、且载置于载置板40上的状态的托盘4被载置于基板57上。

在基座部件41配置于后退极限位置时，锁定机构44的止动件70的前端面和抵接板75的后表面轻轻地接触、或者隔着极小的间隙对置。另外，在基座部件41配置于后退极限位置时，锁定板60的倾斜面60a和锁定机构44的辊71接触。因此，基座部件41朝向前后方向的移动被限制。在基座部件41配置于前进极限位置时，锁定机构45的止动件70的后端面和抵接板75的前表面轻轻地接触、或者隔着极小的间隙对置。另外，在基座部件41配置于前进极限位置时，锁定板60的倾斜面60b和锁定机构45的辊71接触。因此，基座部件41朝向前后方向的移动被限制。

在基座部件41朝向后退极限位置向后侧移动时，锁定板60的倾斜面60b与锁定机构44的辊71接触。其后，当基座部件41进一步向后侧移动时，杆部件72克服压缩螺旋弹簧76的施力，而向图8的顺时针方向转动，锁定板60的后端部越过辊71。当锁定板60的后端部越过辊71时，杆部件72通过压缩螺旋弹簧76的施力而向图8的逆时针方向转动，锁定板60的倾斜面60a和辊71接触。

同样，在基座部件41朝向前进极限位置向前侧移动时，锁定板60的倾斜面60a与锁定机构45的辊71接触。其后，当基座部件41进一步向前侧移动时，杆部件72克服压缩螺旋弹簧76的施力而向图8的逆时针方向转动，锁定板60的前端部越过辊71。当锁定板60的前端部越过辊71时，杆部件72通过压缩螺旋弹簧76的施力而向图8的顺时针方向转动，锁定板60的倾斜面60b和辊71接触。

此外，托盘配置部6包括用于检测基座部件41处于后退极限位置的传感器79(参照图6)。传感器79是接近传感器，经由固定部件固定于支承板62的上表面的后端部的右端侧。在基板57的后端部固定有供传感器79检测的螺栓80(参照图6)。另外，托盘配置部6包括两片后侧板81，在基座部件41处于后退极限位置时，该两片后侧板81配置于载置于载置板40上的托盘4的左右两端部的正后侧。后侧板81固定于侧板38上。

另外，托盘配置部6包括从下侧支承向前进极限位置移动的基座部件41的辊82。辊82被固定部件83保持为能够进行以左右方向为旋转的轴向的旋转。固定部件83固定在设置于架台14上的主体框架上。辊82分别配置于左右两端侧。另外，辊82配置于在前后方向上与锁定机构45的保持部件73大致相同的位置。辊82与轨道固定板58的下表面接触，从下侧支承轨道固定板58。

如图7所示，升降机构46包括电动机84、经由联轴器85与电动机84的输出轴连接的螺纹部件、与该螺纹部件卡合并固定于基板63的后表面的螺母部件、以及沿上下方向引导支承框架42的导向机构86。电动机84例如是交流感应电动机，能够调节电动机84的速度。电动机84固定于形成为平板状的支承板87上。支承板87固定于架台14上。另外，后侧板39固定于支承板87上。螺纹部件可旋转地保持于支承板87。导向机构86例如包括固定于支承板87上的导轨和与该导轨卡合并固定于基板63上的导向块。此外，电动机84也可以是伺服电动机。

销缸50是汽缸。销缸50包括以压缩空气为驱动源而移动的可动销89和可移动地保持可动销89的汽缸主体(参照图11的(A)、图11的(B))。如上所述，托盘配置部6包括四个销缸50。四个销缸50中的两个销缸50的汽缸主体经由规定部件固定于配置在左侧的侧板38上，其余两个销缸50的汽缸主体经由规定部件固定于配置于右侧的侧板38上。

固定于左侧板38上的两个销缸50中的一个销缸50的汽缸主体固定于侧板38的前端部，另一个销缸50的汽缸主体固定于侧板38的后端部。固定于右侧板38上的两个销缸50中的一个销缸50的汽缸主体固定于侧板38的前端部，另一个销缸50的汽缸主体固定于侧板38的后端部。固定于左侧的侧板38的前端部的销缸50和固定于右侧的侧板38的前端部的销缸50在前后方向上配置于相同位置，固定于左侧的侧板38的后端部的销缸50和固定于右侧的侧板38的后端部的销缸50在前后方向上配置于相同位置。

销缸50配置为可动销89的移动方向和左右方向一致。另外，固定于左侧的侧板38上的两个销缸50配置为可动销89朝向右侧突出，固定于右侧的侧板38上的两个销缸50配置为可动销89朝向左侧突出。四个可动销89配置于比侧板38的上端面更靠上侧的位置处。

可动销89进入配置于最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间(参照图12的(B)、图12的(C)，以将配置于最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4分离。具体而言，可动销89进入配置于最上层的托盘4的凸缘部4a和配置于从上数第二层的托盘4的凸缘部4a之间。另外，在本实施方式中，通过四根可动销89能够从下侧支承配置于最上层的托盘4。即，可动销89配置于四个部位，以能够从下侧支承配置于最上层的托盘4。

传感器51～53是透射型的光学式传感器，包括发光部91和受光部92。传感器52配置于比传感器53更靠上侧的位置处，传感器51配置于比传感器52更靠上侧的位置处。另外，例如，传感器52配置于比传感器51更靠前侧的位置处，传感器53配置于比传感器51更靠后侧的位置处。传感器51～53的发光部91例如经由规定部件固定到配置于左侧的侧板38上，传感器51～53的受光部92经由规定部件固定到配置于右侧的侧板38上。发光部91和受光部92以在左右方向上对置的方式配置。另外，发光部91及受光部92配置于比侧板38的上端面更靠上侧的位置处。此外，传感器51～53也可以是反射型的光学式传感器。

如上所述，传感器51是用于检测最上层的托盘4的上限位置的传感器，传感器53是用于使通过升降机构46上升的堆垛状态的托盘4的最上层的托盘4在上限位置停止的传感器。在本实施方式中，当由传感器53检测到通过升降机构46上升的堆垛状态的托盘4中的最上层的托盘4时，电动机84减速，当由传感器51检测到最上层的托盘4时，电动机84停止。

如图12的(A)所示，当最上层的托盘4在上限位置停止时，可动销89配置于比最上层的托盘4的凸缘部4a更靠下侧，且配置于比配置于从上数第二层的托盘4的凸缘部4a更靠上侧的位置处，可以使可动销89进入最上层的托盘4的凸缘部4a和配置于从上数第二层的托盘4的凸缘部4a之间。即，本实施方式的传感器51也是用于在能够使可动销89进入最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间的位置检测最上层的托盘4的传感器。

另外，在本实施方式中，当最上层的托盘4在上限位置停止时，销缸50动作，可动销89突出，如图12的(B)所示，可动销89进入最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间。当可动销89进入最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间时，如图12的(C)所示，升降机构46使堆垛的托盘4(堆垛状态托盘4)下降，使可动销89支承最上层的托盘4，并且，在最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间形成间隙。

当最上层的托盘4被可动销89支承时，最上层的托盘4也稍微下降。稍微下降后的最上层的托盘4偏离传感器51的检测范围。另一方面，传感器52被配置于能够检测稍微下降的最上层的托盘4的位置，在被可动销89支承时已经稍微下降的最上层的托盘4由传感器52检测。即，传感器52是用于检测被可动销89支承的最上层的托盘4的传感器。

汽缸47是带导向的汽缸。汽缸47配置于比基座部件41处于后退极限位置时的托盘4的前端更靠前侧的位置处。另外，在基座部件41处于后退极限位置时，汽缸47配置在配置于上限位置的最上层的托盘4的前侧。汽缸47经由规定部件固定于托盘配置部6的主体框架上。另外，汽缸47配置为使汽缸47的杆向后侧突出。在汽缸47的杆的前端(后端)固定有与配置于上限位置的最上层的托盘4的前端面接触而向后侧按压托盘4的按压部件93。

在本实施方式中，在基座部件41处于后退极限位置时，且最上层的托盘4配置于上限位置时，当汽缸47动作并通过按压部件93向后侧按压最上层的托盘4时，配置于下侧的几片托盘4的倾斜面4b与固定于载置板40上的销56接触，堆垛状态的托盘4在水平方向(前后方向及左右方向)上被定位。在本实施方式中，由汽缸47、按压部件93以及销56构成用于在水平方向上定位托盘4的定位机构94。

如上所述，托盘配置部9不包括载置板40、基座部件41、滑动机构43以及锁定机构44、45。如图13、图14所示，托盘配置部9的支承框架42包括供配置于托盘配置部9的托盘4中的配置于最下方的托盘4载置的载置板95、固定有载置板95的两片固定板96及基板97、以及两片加强板98。载置板95与载置板40同样地形成。在载置板95的后端侧的两处角部固定有用于在水平方向上将托盘4定位的销56。固定板96形成为在前后方向上细长的长方形的平板状，且配置为固定板96的厚度方向和左右方向一致。两片固定板96以在左右方向上隔开间隔的状态配置。载置板95的下表面固定在固定板96的上端面。

基板97形成为长方形的平板状，且配置为使基板97的厚度方向和前后方向一致。固定板96的后端面固定于基板97的前表面，载置板95的后端部的下表面固定于基板97的上端面。另外，在基板97的后表面固定有构成升降机构46的一部分的螺母部件和构成导向机构86的一部分的导向块。加强板98是用于确保载置板95和基板97的固定强度的加强肋。加强板98形成为在上下方向上细长的长方形的平板状，且配置为加强板98的厚度方向和左右方向一致。加强板98的后端面固定于基板97的前表面，加强板98的上端面固定于载置板95的下表面。

另外，如上所述，托盘配置部9包括两个销缸50。在托盘配置部9中，两个柱状销缸50中的一个柱状销缸50经由规定部件固定到配置于左侧的侧板38的前端部，其余的一个柱状销缸50经由规定部件固定到配置于右侧的侧板38的前端部。两个柱状销缸50在前后方向上配置于相同位置。另外，固定于左侧板38上的销缸50配置为可动销89朝向右侧突出，固定于右侧侧板38上的销缸50配置为可动销89朝向左侧突出。

在托盘配置部9中，为了将配置于最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4分离，可动销89进入配置于最上层的托盘4的凸缘部4a和配置于从上数第二层的托盘4的凸缘部4a之间。但是，在托盘配置部9中，不能由两根可动销89从下侧支承配置于最上层的托盘4。

另外，如上所述，托盘配置部9虽然不包括传感器52、53，但包括用于检测最上层的托盘4的上限位置的传感器51。在托盘配置部9中，电动机84停止在由传感器51检测到最上层的托盘4的位置。另外，如上所述，托盘配置部7、8也包括传感器51，但不包括传感器52、53，在托盘配置部7、8中，电动机84在由传感器51检测最上层的托盘4的位置停止。

在托盘配置部9中，当最上层的托盘4在上限位置停止时，可动销89也配置于比最上层的托盘4的凸缘部4a更靠下侧且比配置于从上数第二层的托盘4的凸缘部4a更靠上侧的位置处，能够使可动销89进入最上层的托盘4的凸缘部4a和配置于从上数第二层的托盘4的凸缘部4a之间。此外，在托盘配置部9中，最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4接触，在该两个托盘4之间未形成间隙。

(搬运***的动作)

在通过搬运***1进行液晶面板2向检查装置3的搬入及液晶面板2从检查装置3的搬出时，首先，将未收纳液晶面板2的空的托盘4供给到托盘配置部9。具体而言，例如，通过操作人员的手动操作将堆叠成5层的堆垛状态的空的托盘4从托盘配置部9的左侧载置于托盘配置部9的载置板95上。当堆垛状态的空的托盘4被载置于托盘配置部9的载置板95上时，在托盘配置部9，升降机构46使托盘4升降，以使堆垛状态的托盘4停止在由传感器51检测到最上层的托盘4的位置。此外，堆垛状态的空的托盘4也可以从托盘配置部9的前侧载置于托盘配置部9的载置板95上。

之后，在托盘配置部9中，销缸50动作，可动销89进入最上层的托盘4的凸缘部4a和配置于从上数第二层的托盘4的凸缘部4a之间。其后，机器人12保持托盘配置部9的最上层的托盘4并将其拿起，并且将该托盘4搬运到托盘配置部7并载置于托盘配置部7的载置板40上。此时，托盘配置部7的基座部件41被配置于后退极限位置。另外，托盘配置部7的支承框架42上升到规定位置。此外，在机器人12不搬运托盘4时，可动框架33及托盘保持部34在托盘配置部9的上侧待机。

当空的托盘4载置在托盘配置部7的载置板40上时，在托盘配置部7中，升降机构46使托盘4上升，以使托盘4停止在由传感器51检测到托盘4的位置。然后，在托盘配置部7中，汽缸47动作并在前后左右方向上将空的托盘4定位。另外，在托盘配置部9中，当将最上层的托盘4朝向托盘配置部7搬运时，柱状销缸50动作，突出的可动销89缩回。之后，升降机构46使托盘4升降，以使堆垛状态的托盘4停止在传感器51检测到托盘配置部9中剩余的堆垛状态的托盘4中的最上层的托盘4的位置。

之后，在托盘配置部9中，销缸50动作，可动销89进入最上层的托盘4的凸缘部4a和配置于从上数第二层的托盘4的凸缘部4a之间。之后，机器人12保持托盘配置部9的最上层的托盘4并将其拿起，并且将该托盘4搬运到托盘配置部8并载置于托盘配置部8的载置板40上。此时，托盘配置部8的基座部件41配置于后退极限位置。另外，托盘配置部8的支承框架42上升到规定位置。当空的托盘4载置到托盘配置部8的载置板40上时，在托盘配置部8中，升降机构46使托盘4上升，以使托盘4停止在由传感器51检测到托盘4的位置。其后，在托盘配置部8中，汽缸47动作并在前后左右方向上将空的托盘4定位。

另外，在托盘配置部9中，当将最上层的托盘4朝向托盘配置部8搬运时，销缸50动作，突出的可动销89缩回。之后，升降机构46使托盘4升降，以使堆垛状态的托盘4停止在由传感器51检测托盘配置部9中剩余的堆垛状态的托盘4中的最上层的托盘4的位置。

另外，在将收纳于托盘4中的检查前的液晶面板2供给到检查装置3的情况下，将收纳有检查前的液晶面板2的堆垛状态的托盘4供给到托盘配置部6。在堆垛状态的托盘4被供给到托盘配置部6时，使支承框架42下降到下限位置，并且，操作人员通过手动操作将基座部件41移动到前进极限位置。在该状态下，通过操作人员的手动操作将堆垛状态的托盘4即载置于载置板40上的状态的托盘4从前侧载置于托盘配置部6的基板57上。即，堆垛的托盘4从前侧供给到托盘配置部6。此外，供给到托盘配置部6供给的托盘4的层数例如最大为30层。另外，托盘配置部6包括用于检测支承框架42的下限位置的传感器。托盘配置部7、8也同样包括用于检测支承框架42的下限位置的传感器。

当堆垛状态的托盘4与载置板40一起载置于托盘配置部6的基板57上时，在托盘配置部6中，操作人员通过手动操作使基座部件41移动到后退极限位置。其后，在托盘配置部6中，升降机构46使托盘4上升，以使堆垛状态的托盘4停止在由传感器51检测到最上层的托盘4的位置。其后，汽缸47动作并在前后左右方向上将堆垛状态的托盘4定位。之后，销缸50动作，可动销89进入最上层的托盘4的凸缘部4a和配置于从上数第二层的托盘4的凸缘部4a之间。之后，升降机构46使堆垛状态的托盘4下降，使可动销89支承最上层的托盘4，并且在最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间形成间隙。

在空的托盘4载置到托盘配置部7、8的载置板40上，并且在托盘配置部6中，在最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间形成间隙时，机器人11将配置于托盘配置部6的最上层的托盘4中的液晶面板2搬运到检查装置3。即，机器人11在配置于最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间形成间隙的状态下，保持配置于托盘配置部6的最上层的托盘4中的液晶面板2并将其拿起，搬运到检查装置3。具体而言，机器人11的面板保持部28a抽吸并保持液晶面板2的上表面，并将其搬运到检查装置3。

另外，机器人11将检查后的液晶面板2从检查装置3搬运到配置于托盘配置部7的最上层的托盘4中并进行收纳或搬运到配置于托盘配置部8的最上层的托盘4中并进行收纳。具体而言，机器人11将通过检查装置3的检查判断为正常的液晶面板2搬运到配置于托盘配置部7的最上层的托盘4中并进行收纳，将通过检查装置3的检查判断为异常的液晶面板2搬运到配置于托盘配置部8的最上层的托盘4中并进行收纳。

当液晶面板2被机器人11搬出的托盘配置部6的最上层的托盘4为空的时，机器人12将空的托盘4从托盘配置部6搬运并配置到托盘配置部9。即，机器人12保持变为空的托盘4并将其拿起，并且从托盘配置部6搬运到托盘配置部9，重叠在配置于托盘配置部9的堆垛状态的托盘4上。当将托盘4配置于托盘配置部9时，在托盘配置部9中，升降机构46使托盘4升降，以使堆垛状态的托盘4停止在由传感器51检测配置于托盘配置部9的最上层的托盘4的位置。

另外，在空的托盘4已经搬出的托盘配置部6中，销缸50动作，突出的可动销89缩回。之后，升降机构46使托盘4上升，以使堆垛状态的托盘4停止在由传感器51检测托盘配置部6剩余的堆垛状态的托盘4中的最上层的托盘4的位置。之后，销缸50动作，可动销89进入最上层的托盘4的凸缘部4a和配置于从上数第二层的托盘4的凸缘部4a之间。之后，升降机构46使堆垛状态的托盘4下降，使可动销89支承最上层的托盘4，并且在最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间形成间隙。

其后，机器人11将配置于托盘配置部6的最上层的托盘4中的液晶面板2搬运到检查装置3。另外，当将配置于托盘配置部6的托盘4中的液晶面板2依次搬运到检查装置3，将托盘配置部6的托盘4全部搬运到托盘配置部9时，收纳有检查前的液晶面板2的堆垛状态的托盘4如上所述供给到托盘配置部6。

另外，当在由机器人11搬入液晶面板2的托盘配置部7的最上层的托盘4中收纳有规定片数的液晶面板2时(例如，当在托盘4中收纳有可收纳片数的液晶面板2时)，机器人12从托盘配置部9向托盘配置部7搬运空的托盘4并将其重叠于托盘配置部7的最上层的托盘4上。即，机器人12保持托盘配置部9的最上层的空的托盘4并将其拿起，并且从托盘配置部9搬运到托盘配置部7，并重叠于托盘配置部7的托盘4上。在搬入了空的托盘4的托盘配置部7中，升降机构46使托盘4升降，以使堆垛状态的托盘4停止在由传感器51检测到被搬入的托盘4即最上层的托盘4的位置。其后，机器人11将液晶面板2从检查装置3搬运到配置于托盘配置部7的最上层的托盘4中。

同样，当在由机器人11搬入液晶面板2的托盘配置部8的最上层的托盘4中收纳规定片数的液晶面板2时，机器人12将空的托盘4从托盘配置部9向托盘配置部8搬运，并重叠于托盘配置部8的最上层的托盘4上。即，机器人12保持托盘配置部9的最上层的空的托盘4并将其拿起，并且从托盘配置部9搬运到托盘配置部8，重叠于托盘配置部8的托盘4上。在搬入了空的托盘4的托盘配置部8中，升降机构46使托盘4升降，以使堆垛状态的托盘4停止在由传感器51检测被搬入的托盘4即最上层的托盘4的位置。其后，机器人11将液晶面板2从检查装置3搬运到配置于托盘配置部8的最上层的托盘4中。

另外，在托盘配置部7中，当收纳有规定片数的液晶面板2的托盘4已被堆垛规定层数时，从托盘配置部7取出被堆垛的托盘4。在从托盘配置部7取出堆垛状态的托盘4时，使支承框架42下降到下限位置，并且，操作人员通过手动操作使基座部件41移动至前进极限位置。在该状态下，通过操作人员的手动操作将载置于托盘配置部7的载置板40上的堆垛状态的托盘4与载置板40一起从基板57拿起并取出到前侧。即，从托盘配置部7向前侧取出堆垛的托盘4。此外，托盘配置部7包括用于检测托盘4已被堆垛规定层数的传感器。

当将堆垛状态的托盘4与载置板40一起从托盘配置部7取出时，通过手动操作将另一载置板40载置到托盘配置部7的基板57上。其后，在托盘配置部7中，操作人员通过手动操作使基座部件41移动至后退极限位置。其后，在托盘配置部7中，升降机构46使支承框架42上升至规定位置。其后，机器人12将托盘配置部9的最上层的托盘4搬运到托盘配置部7，并载置于托盘配置部7的载置板40上。当空的托盘4载置在托盘配置部7的载置板40上时，在托盘配置部7中，升降机构46使托盘4升降，以使托盘4停止在由传感器51检测到托盘4的位置。

同样，在托盘配置部8中，当收纳有规定片数的液晶面板2的托盘4已被堆垛规定层数时，从托盘配置部8取出堆垛的托盘4。在从托盘配置部8取出堆垛状态的托盘4时，使支承框架42下降至下限位置，并且，操作人员通过手动操作使基座部件41移动至前进极限位置。在该状态下，通过操作人员的手动操作将载置在托盘配置部8的载置板40上的堆垛状态的托盘4与载置板40一起取出到前侧。即，将堆垛的托盘4从托盘配置部8取出到前侧。此外，托盘配置部8包括用于检测托盘4被堆垛规定层数的传感器。

当将堆垛状态的托盘4与载置板40一起从托盘配置部8取出时，通过手动操作将另一载置板40载置到托盘配置部8的基板57上。其后，在托盘配置部8中，操作人员通过手动操作使基座部件41移动至后退极限位置。其后，在托盘配置部8中，升降机构46使支承框架42上升至规定位置。其后，机器人12将托盘配置部9的最上层的托盘4搬运到托盘配置部8，并载置于托盘配置部8的载置板40上。当空的托盘4载置到托盘配置部8的载置板40上时，在托盘配置部8中，升降机构46使托盘4升降，以使托盘4停止在由传感器51检测托盘4的位置。

此外，在托盘配置部9中，在机器人12将托盘4从托盘配置部9搬出到托盘配置部7或托盘配置部8之前，销缸50动作，可动销89进入最上层的托盘4的凸缘部4a和配置于从上数第二层的托盘4的凸缘部4a之间。另外，当朝向托盘配置部7、8搬运最上层的托盘4时，销缸50动作，突出的可动销89缩回。之后，升降机构46使托盘4升降，以使堆垛状态的托盘4停止在由传感器51检测到托盘配置部9中剩余的堆垛状态的托盘4中的最上层的托盘4的位置。

另一方面，在将收纳于盒5的检查前的液晶面板2供给到检查装置3的情况下，收纳有检查前的液晶面板2的盒5供给到盒配置部13。机器人11将盒5中的液晶面板2搬运到检查装置3，并且将检查后的液晶面板2从检查装置3搬运并收纳到配置于托盘配置部7的最上层的托盘4中或配置于托盘配置部8的最上层的托盘4中。

(本实施方式的主要效果)

如上所说明，本实施方式的搬运***1包括托盘配置部6～9和搬运托盘4的机器人12。另外，在本实施方式中，当托盘配置部6的最上层的托盘4变为空时，机器人12将变为空的托盘4从托盘配置部6搬运并配置到托盘配置部9，当在托盘配置部7的最上层的托盘4中收纳了规定片数的液晶面板2时，机器人12将空的托盘4从托盘配置部9搬运到托盘配置部7，并将其重叠于托盘配置部7的最上层的托盘4上，且当在托盘配置部8的最上层的托盘4中收纳了规定片数的液晶面板2时，机器人12将空的托盘4从托盘配置部9搬运到托盘配置部8，并将其重叠于托盘配置部8的最上层的托盘4上。

因此，在本实施方式中，在托盘配置部6的最上层的托盘4变为空时，不需要将变为空的托盘4取出到搬运***1的外部，另外，在托盘配置部7的最上层的托盘4、托盘配置部8的最上层的托盘4中收纳了规定片数的液晶面板2时，不需要从搬运***1的外部向托盘配置部7、8供给空的托盘4。即，在本实施方式中，在开始液晶面板2相对于检查装置3的搬入搬出后，不需要将变为空的托盘4取出到搬运***1的外部，或者从搬运***1的外部提供空的托盘4的时间。另外，在本实施方式中，由机器人12从托盘配置部6自动向托盘配置部9搬运托盘4，并且从托盘配置部9自动向托盘配置部7、托盘配置部8搬运托盘4。因此，在本实施方式中，能够缩短用于相对于检查装置3搬入搬出液晶面板2的时间。

在本实施方式中，将托盘配置部6～9排列成一列。因此，在本实施方式中，与将托盘配置部6～9随机配置的情况相比，能够缩短机器人12搬运托盘4的搬运时间。

在本实施方式中，将托盘配置部9、托盘配置部6、托盘配置部7以及托盘配置部8从左侧向右侧按该顺序排列。另外，在本实施方式中，在托盘配置部7的后侧配置有供液晶面板2载置的检查装置3的面板载置部15。因此，在本实施方式中，能够缩短从托盘配置部6的托盘4至检查装置3的面板载置部15的机器人11搬运液晶面板2的搬运距离、从面板载置部15至托盘配置部7的机器人11搬运液晶面板2的搬运距离、以及从面板载置部15至托盘配置部8的机器人11搬运液晶面板2的搬运距离的总的液晶面板2的搬运距离。因此，在本实施方式中，能够进一步缩短液晶面板2相对于检查装置3的搬入搬出时间。

在本实施方式中，虽然在托盘配置部6～8的后侧配置有检查装置3、机器人11及盒配置部13，但从前侧向托盘配置部6供给堆垛的托盘4，从托盘配置部7、8向前侧取出堆垛的托盘4。因此，在本实施方式中，托盘4向托盘配置部6供给的供给操作变得容易，并且托盘4从托盘配置部7、8取出的取出操作变得容易。

在本实施方式中，托盘配置部6～9包括使托盘4升降的升降机构46和用于检测最上层的托盘4的上限位置的传感器51。因此，在本实施方式中，能够将托盘配置部6～9的最上层的托盘4的上下方向的位置保持恒定。因此，在本实施方式中，与在托盘配置部6～9中，最上层的托盘4的上下方向的位置根据配置的托盘4的层数而变动的情况相比，能够简化机器人11、12的控制。

在本实施方式中，为了将配置于最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4分离，托盘配置部6、9包括进入配置于最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间的可动销89。因此，在本实施方式中，在从托盘配置部6向托盘配置部9搬运托盘时，能够可靠地搬运仅变为空的最上层的一个托盘4，并且在从托盘配置部9向托盘配置部7、8搬运空的托盘4时，能够可靠地搬运仅最上层的一个托盘4。

在本实施方式中，由于机器人11的面板保持部28a抽吸并保持配置于托盘配置部6的最上层的托盘4中的液晶面板2的上表面，因此在机器人11保持托盘配置部6的最上层的托盘4中的液晶面板2时，力从上侧作用在液晶面板2上，最上层的托盘4可能向下侧变形。但是，在本实施方式中，机器人11在配置于最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间形成间隙的状态下，保持配置于托盘配置部6的最上层的托盘4中的液晶面板2。因此，即使最上层的托盘4向下侧变形，也能够防止配置于从上数第二层的托盘4中的液晶面板2和最上层的托盘4的接触。因此，在本实施方式中，能够防止配置于从上数第二层的托盘4中的液晶面板2的损伤。

在本实施方式中，托盘配置部6包括：传感器51，该传感器51用于在能够使可动销89进入最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间的位置检测最上层的托盘4；以及传感器52，该传感器52用于检测被可动销89支承的最上层的托盘4。因此，在本实施方式中，能够使用传感器51使堆垛的托盘4停止在能够使可动销89进入配置于最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间的位置，并且能够使用传感器52确认最上层的托盘4被可动销89支承。

在本实施方式中，托盘配置部6～8包括定位机构94，该定位机构94用于在水平方向上将托盘4定位。因此，在本实施方式中，能够由机器人11高精度地保持收纳于托盘配置部6的最上层的托盘4中的液晶面板2的规定部位，并且能由机器人11将液晶面板2高精度地搬入托盘配置部7、8的最上层的托盘4的规定位置。

在本实施方式中，搬运***1包括配置盒5的盒配置部13，盒配置部13配置于机器人11能够从配置于盒配置部13的盒5中向检查装置3搬运液晶面板2的位置。因此，在本实施方式中，能够通过共同的机器人11向检查装置3搬运收纳于托盘配置部6的托盘4中的液晶面板2和收纳于盒5中的液晶面板2。

(其它实施方式)

上述的实施方式是本发明的最佳实施方式的一例，但不限于此，在不变更本发明要旨的范围内可以进行各种变形实施。

在上述的实施方式中，托盘配置部6所包括的销缸50的数量也可以为5个以上。即，托盘配置部6所包括的可动销89的数量也可以为5个以上。另外，托盘配置部6所包括的可动销89的数量也可以为3个，只要能够从下侧支承配置于最上层的托盘4即可。另外，在上述的实施方式中，也可以在机器人11保持配置于托盘配置部6的最上层的托盘4中的液晶面板2时，在配置于最上层的托盘4和配置于从上数第二层的托盘4之间也可以不形成间隙。在这种情况下，托盘配置部6也可以不包括传感器52。

在上述的实施方式中，可以使用机器人等自动进行托盘4向托盘配置部6、9的供给，也可以使用机器人等自动进行托盘4从托盘配置部7、8的取出。另外，在上述的实施方式中，也可以将与托盘4的左右端面接触而在左右方向上将托盘4定位的按压部件固定于销缸50的可动销89。另外，在上述的实施方式中，托盘配置部9、托盘配置部6、托盘配置部7以及托盘配置部8从左侧向右侧按该顺序排列，但托盘配置部6～9也可以以任何顺序排列。另外，在上述的实施方式中，也可以将托盘配置部6～9随机地配置。

在上述的实施方式中，托盘配置部6～8也可以不包括载置板40。在这种情况下，在托盘配置部6～8中，托盘4被载置在基板57上。另外，在上述的实施方式中，托盘配置部6～9的至少任一个托盘配置部6～9也可以不包括升降机构46。另外，在上述的实施方式中，托盘配置部6、9也可以不包括销缸50。并且，在上述的实施方式中，托盘配置部6～8可以不包括锁定机构44、45，也可以不包括滑动机构43，还可以不包括定位机构94。另外，在上述的实施方式中，搬运***1也可以不包括盒配置部13。

在上述的实施方式中，机器人11可以是六轴以外的垂直多关节机器人，也可以是水平多关节机器人，也可以是三轴正交机器人，也可以是所谓的并联连杆机器人。另外，在上述的实施方式中，机器人12可以是三轴正交机器人，也可以是垂直多关节机器人，也可以是水平多关节机器人。此外，在上述的实施方式中，检查装置3也可以是点亮检查装置以外的检查装置。另外，在上述的实施方式中，由搬运***1搬运的显示面板是液晶面板2，但由搬运***1搬运的显示面板也可以是液晶面板2以外的显示面板。例如，由搬运***1搬运的显示面板也可以是有机EL面板。

附图标记说明

1 搬运***

2 液晶面板(显示面板)

3 检查装置

4 托盘

5 盒

6 托盘配置部(供给侧托盘配置部)

7 托盘配置部(第一排出侧托盘配置部)

8 托盘配置部(第二排出侧托盘配置部)

9 托盘配置部(空托盘配置部)

11 机器人(面板搬运机器人)

12 机器人(托盘搬运机器人)

13 盒配置部

46 升降机构(托盘升降机构)

51 传感器(第一传感器)

52 传感器(第二传感器)

89 可动销

94 定位机构

X 左右方向

Y 前后方向。

Claims (9)

1.一种搬运***，进行显示面板向检查所述显示面板的检查装置的搬入及所述显示面板从所述检查装置的搬出，其特征在于，包括：

供给侧托盘配置部，所述供给侧托盘配置部能够以堆叠成多层的状态配置收纳检查前的所述显示面板的托盘；第一排出侧托盘配置部，所述第一排出侧托盘配置部能够以堆叠成多层的状态配置收纳有通过所述检查装置的检查判断为正常的所述显示面板的所述托盘；第二排出侧托盘配置部，所述第二排出侧托盘配置部能够以堆叠成多层的状态配置收纳有通过所述检查装置的检查判断为异常的所述显示面板的所述托盘；空托盘配置部，所述空托盘配置部能够以堆叠成多层的状态配置空的所述托盘；面板搬运机器人，所述面板搬运机器人搬运所述显示面板；以及托盘搬运机器人，所述托盘搬运机器人搬运所述托盘，

所述面板搬运机器人将配置于所述供给侧托盘配置部的最上层的所述托盘中的所述显示面板搬运到所述检查装置，并且将检查后的所述显示面板从所述检查装置搬运到配置于所述第一排出侧托盘配置部的最上层的所述托盘中或配置于所述第二排出侧托盘配置部的最上层的所述托盘中，

当所述供给侧托盘配置部的最上层的所述托盘变为空时，所述托盘搬运机器人将变空的所述托盘从所述供给侧托盘配置部搬运并配置到所述空托盘配置部，当在所述第一排出侧托盘配置部的最上层的所述托盘中收纳了规定片数的所述显示面板时，所述托盘搬运机器人将空的所述托盘从所述空托盘配置部搬运到所述第一排出侧托盘配置部，并将其重叠于所述第一排出侧托盘配置部的最上层的所述托盘上，且当在所述第二排出侧托盘配置部的最上层的所述托盘中收纳了规定片数的所述显示面板时，所述托盘搬运机器人将空的所述托盘从所述空托盘配置部搬运到所述第二排出侧托盘配置部，并将其重叠于所述第二排出侧托盘配置部的最上层的所述托盘上。

2.根据权利要求1所述的搬运***，其特征在于，

所述供给侧托盘配置部、所述第一排出侧托盘配置部、所述第二排出侧托盘配置部以及所述空托盘配置部排列成一列，所述空托盘配置部、所述供给侧托盘配置部、所述第一排出侧托盘配置部以及所述第二排出侧托盘配置部按该顺序排列。

3.根据权利要求2所述的搬运***，其特征在于，

将所述空托盘配置部、所述供给侧托盘配置部、所述第一排出侧托盘配置部以及所述第二排出侧托盘配置部的排列方向设为左右方向，将与上下方向和左右方向正交的方向设为前后方向时，

所述面板搬运机器人配置于比所述空托盘配置部、所述供给侧托盘配置部、所述第一排出侧托盘配置部以及所述第二排出侧托盘配置部更靠后侧的位置处，

从前侧向所述供给侧托盘配置部供给堆垛的所述托盘，

从所述第一排出侧托盘配置部及所述第二排出侧托盘配置部向前侧取出堆垛的所述托盘。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的搬运***，其特征在于，

所述供给侧托盘配置部、所述第一排出侧托盘配置部、所述第二排出侧托盘配置部以及所述空托盘配置部包括使所述托盘升降的托盘升降机构。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的搬运***，其特征在于，

为了将配置于最上层的所述托盘和配置于从上数第二层的所述托盘分离，所述供给侧托盘配置部及所述空托盘配置部包括可动销，所述可动销进入配置于最上层的所述托盘和配置于从上数第二层的所述托盘之间。

6.根据权利要求5所述的搬运***，其特征在于，

所述供给侧托盘配置部包括使所述托盘升降的托盘升降机构，

所述供给侧托盘配置部的所述可动销配置于三个部位以上，以便能够从下侧支承配置于最上层的所述托盘，

当所述可动销进入配置于最上层的所述托盘和配置于从上数第二层的所述托盘之间时，所述托盘升降机构使堆垛的所述托盘下降，使所述可动销支承配置于最上层的所述托盘，并且在配置于最上层的所述托盘和配置于从上数第二层的托盘之间形成间隙，

所述面板搬运机器人在配置于最上层的所述托盘和配置于从上数第二层的所述托盘之间形成间隙的状态下，保持配置于所述供给侧托盘配置部的最上层的所述托盘中的所述显示面板。

7.根据权利要求6所述的搬运***，其特征在于，

所述供给侧托盘配置部包括：第一传感器，所述第一传感器用于在能够使所述可动销进入配置于最上层的所述托盘和配置于从上数第二层的所述托盘之间的位置检测最上层的所述托盘；以及第二传感器，所述第二传感器用于检测被所述可动销支承的最上层的所述托盘。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的搬运***，其特征在于，

所述供给侧托盘配置部、所述第一排出侧托盘配置部以及所述第二排出侧托盘配置部包括定位机构，所述定位机构用于在水平方向上将所述托盘定位。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的搬运***，其特征在于，

包括盒配置部，所述盒配置部配置以在上下方向上隔开间隔的状态在上下方向上重叠的方式收纳有检查前的多片所述显示面板的盒，

所述盒配置部配置于所述面板搬运机器人能够从配置于所述盒配置部的所述盒向所述检查装置搬运所述显示面板的位置。

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