CN111805778A - 切削装置 - Google Patents

切削装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111805778A
CN111805778A CN202010268048.6A CN202010268048A CN111805778A CN 111805778 A CN111805778 A CN 111805778A CN 202010268048 A CN202010268048 A CN 202010268048A CN 111805778 A CN111805778 A CN 111805778A
Authority
CN
China
Prior art keywords
cutting
screen
unit
orientation
information
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010268048.6A
Other languages
English (en)
Inventor
大高小由纪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Corp filed Critical Disco Corp
Publication of CN111805778A publication Critical patent/CN111805778A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
    • B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
    • B28D5/029—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels with a plurality of cutting blades
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D45/00—Sawing machines or sawing devices with circular saw blades or with friction saw discs
    • B23D45/10—Sawing machines or sawing devices with circular saw blades or with friction saw discs with a plurality of circular saw blades
    • B23D45/105—Sawing machines or sawing devices with circular saw blades or with friction saw discs with a plurality of circular saw blades operating within the same plane
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/0009—Energy-transferring means or control lines for movable machine parts; Control panels or boxes; Control parts
    • B23Q1/0045—Control panels or boxes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/22—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/06—Grinders for cutting-off
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/06—Grinders for cutting-off
    • B24B27/0683—Accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0064—Devices for the automatic drive or the program control of the machines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Dicing (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

提供切削装置，其根据画面的朝向而变更该画面上所显示的信息的配置。该切削装置具有：显示单元，其具有画面，配设成能够变更该画面的朝向；朝向检测单元，其对该显示单元的该画面的朝向进行检测；以及控制单元，其对该显示单元的该画面的显示进行控制，该控制单元通过该朝向检测单元对该显示单元的该画面的朝向进行检测，并能够根据所检测的该画面的朝向而确定该画面中的信息的配置。该控制单元可以根据朝向检测单元所检测的该画面的朝向而将显示出要安装于第1主轴的第1切削刀具的信息的第1信息显示区域和显示出要安装于第2主轴的第2切削刀具的信息的第2信息显示区域按照上下并列或左右并列的方式配置在画面上。

Description

切削装置
技术领域
本发明涉及切削装置，其具有分别安装切削刀具的两个切削单元和显示各种信息的显示单元。
背景技术
在以配置于基板上的多个器件芯片被由树脂构成的密封材料(模制树脂)包覆而成的封装基板、形成有多个器件的半导体晶片等为代表的板状的被加工物的分割中，使用安装有圆环状的切削刀具的切削装置。当将被加工物保持于切削装置所具有的卡盘工作台并使旋转的切削刀具切入至被加工物时，对被加工物进行切削。此时，当使切削刀具切入至被加工物的下端时，将被加工物分割。
切削装置具有作为使切削刀具旋转的旋转轴的主轴，在主轴的前端安装有切削刀具。有时切削装置具有分别设置有主轴的两个切削单元，在该情况下，在切削装置中安装有两个切削刀具。并且，在安装有两个切削刀具的切削装置中，例如有时在两个主轴上分别安装有种类不同的切削刀具。
例如在被加工物为半导体晶片并希望对在正面上形成有金属膜的区域进行切削而将被加工物切断的情况下，首先利用第1切削刀具对被加工物的正面进行切削而将金属膜去除并且形成槽。接着，利用第2切削刀具沿着该槽对被加工物进行切削而将被加工物切断。这里，第1切削刀具和第2切削刀具的种类是分别与作为目的的加工相适的种类。
在切削刀具被消耗时、或利用新的条件对被加工物进行加工时，需要更换安装于切削单元的切削刀具。在更换切削刀具时，在配备于切削装置的显示单元(显示器)的画面上显示出切削刀具更换作业时用的图像。在显示于该画面的该图像中包含与要安装的切削刀具的种类等相关的信息。作业者一边确认显示单元的画面一边选择适当种类的切削刀具而安装于各切削单元。
不过，切削刀具的种类有时仅通过外观不容易判别。因此，有时会将应安装于第2切削单元的切削刀具错误地安装于第1切削单元。另外，也会产生其相反的情形。因此，已知有如下的技术：将收纳切削刀具的刀具容器着色成特定的颜色，利用刀具容器的颜色表示所收纳的切削刀具的种类(参照专利文献1)。作业者通过观察刀具容器的颜色而能够判别收纳于该刀具容器的切削刀具的种类。
另外，在显示于显示单元的切削刀具更换作业时用的图像中包含显示出与要安装于第1切削单元的切削刀具相关的信息的区域以及显示出与要安装于第2切削单元的切削刀具相关的信息的区域。并且，已知有一种切削装置，其通过使各区域的颜色与所对应的刀具容器的颜色一致而能够进一步降低作业者的作业错误(参照专利文献2)。
专利文献1：日本特开2012-704号公报
专利文献2：日本特开2017-13199号公报
在切削刀具更换作业时用的图像中，例如左右并列地显示出与要安装于第1切削单元的切削刀具相关的信息以及与要安装于第2切削单元的切削刀具相关的信息。例如该画面中的各个信息的排列与从面对着显示装置的作业者观察时的第1切削单元和第2切削单元的排列一致，在抑制切削刀具的种类的选择的错误上下工夫。
有时在切削装置中按照可改变画面的朝向的方式设置有显示单元。在该情况下，能够任意地变更画面的朝向，因此作业者使该画面朝向自己，以便容易确认画面。但是，根据作业者的站立位置或显示单元的朝向，有时从作业者观察时的第1切削单元和第2切削单元的排列与该画面中的各个信息的排列不一致。于是，容易使作业者混乱而产生切削刀具的种类的错误。
另外，根据作业者的站立位置，有时第1切削单元和第2切削单元看起来是前后排列。在该情况下，即使在画面上左右并列地显示出与要安装于第1切削单元的切削刀具相关的信息和与要安装于第2切削单元的切削刀具相关的信息，对于作业者而言也不容易理解哪个信息对应于哪个切削单元。
发明内容
本发明是鉴于该问题而完成的，其课题在于提供切削装置，其具有按照可改变画面的朝向的方式设置的显示单元，根据该画面的朝向而改变该画面的信息的配置。
根据本发明的一个方式，提供切削装置，其特征在于，该切削装置具有：显示单元，其具有画面，配设成能够变更该画面的朝向；朝向检测单元，其对该显示单元的该画面的朝向进行检测；以及控制单元，其对该显示单元的该画面的显示进行控制，该控制单元通过该朝向检测单元对该显示单元的该画面的朝向进行检测，并能够根据所检测的该画面的朝向而确定该画面中的信息的配置。
优选该切削装置还具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；第1切削单元，其具有第1主轴，该第1主轴供对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削的第1切削刀具安装；以及第2切削单元，其具有第2主轴，该第2主轴供对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削的第2切削刀具安装，该显示单元能够将与要安装于该第1切削单元的该第1切削刀具相关的信息和与要安装于该第2切削单元的该第2切削刀具相关的信息并列地显示在该画面上，该控制单元根据该朝向检测单元所检测的该画面的朝向而将显示出要安装于该第1主轴上的该第1切削刀具的信息的第1信息显示区域和显示出要安装于该第2主轴上的该第2切削刀具的信息的第2信息显示区域按照上下并列或左右并列的方式配置在该画面上。
另外，优选该显示单元能够将该画面的朝向变更为第1朝向和第2朝向，在该第1朝向下正对着该画面时能够将该第1切削单元和该第2切削单元目视确认成前后排列，在该第2朝向下正对着该画面时能够将该第1切削单元和该第2切削单元目视确认成左右排列，该控制单元在该朝向检测单元所检测的该画面的朝向为该第1朝向的情况下，能够将该第1信息显示区域和该第2信息显示区域上下并列地配置在该画面上，该控制单元在该朝向检测单元所检测的该画面的朝向为该第2朝向的情况下，能够将该第1信息显示区域和该第2信息显示区域左右并列地配置在该画面上。
另外，优选该控制单元能够在该第1信息显示区域中显示出与在该第1信息显示区域中被显示信息的该第1切削刀具的种类相关联的颜色，能够在该第2信息显示区域中显示出与在该第2信息显示区域中被显示信息的该第2切削刀具的种类相关联的颜色。
本发明的一个方式的切削装置具有：显示单元，其具有画面，配设成能够变更该画面的朝向；朝向检测单元，其对该显示单元的该画面的朝向进行检测；以及控制单元，其对该显示单元的该画面的显示进行控制。并且，该控制单元通过该朝向检测单元对该显示单元的该画面的朝向进行检测，并能够根据所检测的该画面的朝向而确定该画面中的信息的配置。
例如通过朝向检测单元对显示单元的画面的朝向进行检测而以作业者容易直观地理解的配置将信息显示在画面上，从而作业者不会混乱而能够把握显示在该画面上的该信息。例如能够直观地理解要安装于第1切削单元的切削刀具的种类和要安装于第2切削单元的切削刀具的种类。
因此，根据本发明，提供切削装置，其具有按照可变更画面的朝向的方式设置的显示单元，根据该画面的朝向而改变该画面的信息的配置。
附图说明
图1是示意性示出切削装置的立体图。
图2的(A)是示意性示出显示单元的画面的显示的一例的主视图，图2的(B)是示意性示出显示单元的画面的显示的另一例的主视图。
图3是示意性示出存储于存储部的切削刀具的特性数据的示意图。
图4的(A)是示意性示出站立于切削装置的前表面侧的作业者和切削装置的俯视图，图4的(B)是示意性示出站立于切削装置的前表面侧的作业者和切削装置的侧视图。
图5的(A)是示意性示出站立于切削装置的侧面侧的作业者和切削装置的俯视图，图5的(B)是示意性示出站立于切削装置的侧面侧的作业者和切削装置的侧视图。
1：被加工物；5：器件；7：粘接带；9：环状框架；11：框架单元；13：作业者；13a：作业者的视线；2：切削装置；4：基台；4a、4b、4c：开口；6：壳体；8：盒支承台；10：盒；12：导轨；14：工作台罩；16：防尘防滴罩；18：卡盘工作台；18a：保持面；18b：夹具；20：支承构造；22a、22b：移动单元；24a、24b：切削单元；26：Y轴导轨；28a、28b：Y轴移动板；30a、30b：Y轴滚珠丝杠；32a：Y轴脉冲电动机；34a、34b：Z轴导轨；36a、36b：Z轴移动板；38a、38b：Z轴滚珠丝杠；40a、40b：Z轴脉冲电动机；42a、42b：主轴；44a、44b：切削刀具；46a、46b：拍摄相机；48：清洗单元；50：显示单元；50a：画面；50b：铰链；52：控制单元；52a：显示单元控制部；52b：图像配置控制部；52c：朝向判定部；52d：存储部；54：模式显示；56a、56b：信息显示区域；58a、58b：框；60a、60b：信息显示；62：操作按钮。
具体实施方式
以下，参照附图对本实施方式进行说明。图1是示出本实施方式的切削装置2的立体图。切削装置2具有两个切削刀具以及显示单元，具有利用切削刀具对被加工物进行切削的功能。另外，在图1中，用框图表示切削装置2的结构的一部分。
切削装置2具有对各构成要素进行支承的基台4。在基台4的上部设置有覆盖各构成要素的壳体6。另外，在图1中，为了便于说明，仅示出壳体6的轮廓，用实线示出壳体6的内部的各构成要素。在基台4的前方的角部形成有开口4a，在该开口4a内设置有通过升降机构(未图示)进行升降的盒支承台8。在盒支承台8的上表面上搭载有对多个被加工物进行收纳的盒10。另外，在图1中，为了便于说明，仅示出盒10的轮廓。
被加工物1以支承于环状框架9的状态收纳于盒10内。被加工物1例如是由Si(硅)、SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、GaAs(砷化镓)或其他半导体等材料构成的大致圆板状的晶片。或者，被加工物1是由蓝宝石、玻璃、石英等材料构成的基板等。另外，被加工物1也可以是包含被模制树脂等密封的多个器件芯片的封装基板等。
图1是示意性示出作为被加工物1的一例的晶片的立体图。被加工物1的正面例如由相互交叉的多条被称为间隔道的分割预定线划分。在作为被加工物1的晶片的正面的由间隔道划分的各区域内形成有IC(Integrated Circuit，集成电路)、LSI(Large-ScaleIntegration，大规模集成)等器件5。当沿着间隔道将晶片分割时，能够形成各个器件芯片。
如图1所示，被加工物1将环状框架9和按照封住该环状框架9的开口的方式粘贴的粘接带7预先一体化而形成框架单元11。被加工物1以框架单元11的状态搬入至切削装置2而进行加工。并且，将被加工物1分割而形成的各个器件芯片通过粘接带7进行支承，然后从粘接带7进行拾取。
在图1所示的盒支承台8的侧方按照长度方向沿着X轴方向(前后方向、加工进给方向)的方式形成有矩形的开口4b。在开口4b内配置有滚珠丝杠式的X轴移动机构(未图示)以及覆盖X轴移动机构的上部的工作台罩14和防尘防滴罩16。X轴移动机构具有被工作台罩14覆盖的X轴移动工作台(未图示)，使该X轴移动工作台在X轴方向上移动。
在X轴移动工作台的上表面上按照从工作台罩14露出的方式设置有对被加工物1进行吸引保持的卡盘工作台18。该卡盘工作台18与电动机等旋转驱动源(未图示)连结，绕与Z轴方向(铅垂方向)大致平行的旋转轴旋转。另外，卡盘工作台18通过X轴移动机构而与X轴移动工作台及工作台罩14一起在X轴方向上移动。
卡盘工作台18的上表面成为对被加工物1进行吸引保持的保持面18a。保持面18a相对于X轴方向和Y轴方向大致平行地形成，经由设置于卡盘工作台18的内部的吸引路(未图示)等而与喷射器等吸引源(未图示)连接。在卡盘工作台18的周围设置有用于从四面对支承被加工物1的环状框架9进行固定的四个夹具18b。
另外，在与开口4b相邻的区域内配置有将被加工物1向卡盘工作台18等搬送的搬送单元(未图示)。在与盒支承台8的侧方接近的位置设置有用于暂放被加工物1的暂放机构。暂放机构例如包含一边维持与Y轴方向(分度进给方向)平行的状态一边接近、远离的一对导轨12。一对导轨12在X轴方向上夹持通过搬送单元从盒10中拉出的被加工物1而将该被加工物1对齐在规定的位置。
对齐在规定的位置的被加工物1通过搬送单元提起而搬送至卡盘工作台18。此时，使一对导轨12相互远离而使被加工物1在一对导轨12之间通过。
在卡盘工作台18的上方设置有通过环状的切削刀具对被加工物1进行切削的第1切削单元24a和第2切削单元24b。另外，在基台4的上表面上按照跨越开口4b的方式配置有用于支承第1切削单元24a、第2切削单元24b的门型的支承构造20。
在支承构造20的前表面上部设置有使第1切削单元24a在Y轴方向和Z轴方向上移动的第1移动单元22a以及使第2切削单元24b在Y轴方向和Z轴方向上移动的第2移动单元22b。
第1移动单元22a具有Y轴移动板28a，第2移动单元22b具有Y轴移动板28b。Y轴移动板28a和Y轴移动板28b以能够滑动的方式安装于一对Y轴导轨26上，一对Y轴导轨26沿着Y轴方向配置于支承构造20的前表面上。
在Y轴移动板28a的背面侧(后面侧)设置有螺母部(未图示)，在该螺母部上螺合有相对于Y轴导轨26大致平行的Y轴滚珠丝杠30a。另外，在Y轴移动板28b的背面侧(后面侧)设置有螺母部(未图示)，在该螺母部上螺合有相对于Y轴导轨26大致平行的Y轴滚珠丝杠30b。
在Y轴滚珠丝杠30a的一个端部连结有Y轴脉冲电动机32a。通过Y轴脉冲电动机32a使Y轴滚珠丝杠30a旋转，从而Y轴移动板28a沿着Y轴导轨26在Y轴方向上移动。另外，在Y轴滚珠丝杠30b的一个端部连结有Y轴脉冲电动机(未图示)。通过该Y轴脉冲电动机使Y轴滚珠丝杠30b旋转，从而Y轴移动板28b沿着Y轴导轨26在Y轴方向上移动。
在Y轴移动板28a的正面(前表面)侧沿着Z轴方向设置有一对Z轴导轨34a，在Y轴移动板28b的正面(前表面)侧沿着Z轴方向设置有一对Z轴导轨34b。另外，Z轴移动板36a以能够滑动的方式安装于一对Z轴导轨34a上，Z轴移动板36b以能够滑动的方式安装于一对Z轴导轨34b上。
在Z轴移动板36a的背面侧(后面侧)设置有螺母部(未图示)，在该螺母部上螺合有按照沿着相对于Z轴导轨34a大致平行的方向的方式设置的Z轴滚珠丝杠38a。在Z轴滚珠丝杠38a的一个端部连结有Z轴脉冲电动机40a，通过该Z轴脉冲电动机40a使Z轴滚珠丝杠38a旋转，从而Z轴移动板36a沿着Z轴导轨34a在Z轴方向上移动。
在Z轴移动板36b的背面侧(后面侧)设置有螺母部(未图示)，在该螺母部上螺合有按照沿着相对于Z轴导轨34b大致平行的方向的方式设置的Z轴滚珠丝杠38b。在Z轴滚珠丝杠38b的一个端部连结有Z轴脉冲电动机40b，通过该Z轴脉冲电动机40b使Z轴滚珠丝杠38b旋转，从而Z轴移动板36b沿着Z轴导轨34b在Z轴方向上移动。
在Z轴移动板36a的下部设置有第1切削单元24a。在与第1切削单元24a相邻的位置设置有拍摄相机46a，该拍摄相机46a用于对卡盘工作台18所吸引保持的被加工物1进行拍摄。另外，在Z轴移动板36b的下部设置有第2切削单元24b。在与第2切削单元24b相邻的位置设置有拍摄相机46b，该拍摄相机46b用于对卡盘工作台18所吸引保持的被加工物1进行拍摄。
通过第1移动单元22a控制第1切削单元24a和拍摄相机46a的Y轴方向和Z轴方向的位置，通过第2移动单元22b控制第2切削单元24b和拍摄相机46b的Y轴方向和Z轴方向的位置。即，第1切削单元24a的位置和第2切削单元24b的位置分别独立地控制。
在相对于开口4b与开口4a相反的一侧的位置形成有开口4c。在开口4c内配置有用于对被加工物1进行清洗的清洗单元48，在卡盘工作台18上实施了规定的加工的被加工物1通过清洗单元48进行清洗。
使安装于第1切削单元24a的环状的切削刀具44a(参照图4的(A)等)旋转而切入至被加工物1，从而能够实施被加工物1的切削加工。具体而言，第1切削单元24a具有第1主轴42a(参照图4的(A)等)，该第1主轴42a在相对于卡盘工作台18的保持面18a大致平行的方向上具有轴心，在该第1主轴42a的前端部安装有环状的第1切削刀具44a。
另外，使安装于第2切削单元24b的环状的切削刀具44b(参照图4的(A)等)旋转而切入至被加工物1，从而能够实施被加工物1的切削加工。具体而言，第2切削单元24b具有第2主轴42b(参照图4的(A)等)，该第2主轴42b在相对于卡盘工作台18的保持面18a大致平行的方向上具有轴心，在该第2主轴42b的前端部安装有环状的第2切削刀具44b。
第1切削刀具44a和第2切削刀具44b例如是由将金刚石磨粒利用镀镍进行固定而成的电铸磨具构成的。电铸磨具形成于由金属构成的环状基台的外周部。具有该环状基台的切削刀具被称为轮毂型刀具。另外，第1切削刀具44a和第2切削刀具44b也可以不具有环状基台。不具有该环状基台的切削刀具被称为垫圈型刀具。
切削刀具存在磨具中所含的磨粒的形状、大小和量不同的多个种类，另外，结合材料的材质、刀具的刃厚、直径等根据种类而不同。在对被加工物1进行切削时，根据被加工物1的材质、大小和形状、切削加工的内容，选择适合切削加工的种类的切削刀具而安装于切削装置2。
主轴42a、42b与电动机等旋转驱动源连结，安装于主轴42a、42b的切削刀具44a、44b通过从旋转驱动源传递的力而旋转。使切削刀具44a、44b旋转而切入至卡盘工作台18所保持的被加工物1，并且使被加工物1和切削刀具44a、44b沿着X轴方向(加工进给方向)相对地移动，从而对被加工物1进行切削。
切削装置2在壳体6的前表面上具有显示单元50。显示单元50具有画面50a，具有向切削装置2的操作者(作业者、操作者)或管理者等显示各种信息的功能。显示单元50例如是带触摸面板的液晶显示器。在该情况下，切削装置2的操作者或管理者等能够通过该触摸面板而向切削装置2输入各种指令。不过，显示单元50可以不具有触摸面板，切削装置2也可以具有其他输入机构(未图示)。
另外，显示单元50例如经由铰链50b等连接机构而与壳体6连接等。因此，作业者能够根据作业时的站立位置而任意地变更画面50a的朝向，以便容易确认画面50a。
切削装置2具有对各构成要素进行控制的控制单元52。使盒支承台8升降的升降机构、X轴移动机构、卡盘工作台18、搬送单元(未图示)、切削单元24a、24b、移动单元22a、22b、拍摄相机46a、46b、清洗单元48、显示单元50等构成要素与控制单元52连接，动作受控制单元52控制。
控制单元52典型地由包含CPU(Central Processing Unit，中央处理器)等处理装置、闪存等存储装置的计算机构成。按照存储于存储装置的软件而使处理装置等进行动作，从而实现控制单元52的功能。
这里，有时安装于第1切削单元24a的第1主轴42a上的第1切削刀具44a和安装于第2切削单元24b的第2主轴42b上的第2切削刀具44b的种类不相同。
例如当在被加工物1的切削预定线上形成有金属层等的情况下，在第1主轴42a上安装适合金属层的切削的种类的第1切削刀具44a。另外，在第2主轴42b上安装适合被加工物1的切削的种类的第2切削刀具44b。并且，首先通过第1切削刀具44a对被加工物1进行切削而将该金属层去除并且在被加工物1上形成切削槽。接着，通过第2切削刀具44b沿着该切削槽的底而对被加工物1进行切削，将被加工物1分割。
当实施多个被加工物1的切削时，切削刀具44a、44b被消耗，因此需要定期地实施切削刀具44a、44b的更换作业。另外，在变更加工条件时也需要实施切削刀具44a、44b的更换作业。
在实施切削刀具44a、44b的更换作业时，在显示单元50的画面50a上显示出切削刀具更换作业时用的图像。在画面50a上例如并列地显示出与要安装于第1切削单元24a的第1切削刀具44a相关的信息以及与要安装于第2切削单元24b的第2切削刀具44b相关的信息。作业者观察显示单元50的画面50a而确认要安装的切削刀具44a、44b的种类，实施更换作业。
不过，切削刀具的种类仅通过外观不容易判别。因此，有时会将应安装于第2主轴42b的预定的切削刀具错误地安装于第1主轴42a。另外，也会产生其相反的情形。
这里，在本实施方式的切削装置2中，在显示单元50中配设有对显示单元50的画面50a的朝向进行检测的朝向检测单元，对画面50a的朝向进行检测。朝向检测单元例如设置于将显示单元50与壳体6连接的铰链50b上，通过对铰链50b的角度进行检测而对画面50a的朝向进行检测。并且，在该切削装置2中，根据画面50a的朝向而确定画面50a中的信息的配置。
因此，通过朝向检测单元对显示单元50的画面50a的朝向进行检测，以作业者容易直观地理解的配置将信息显示在画面50a上，从而作业者不会混乱而能够直观地把握显示在画面50a上的信息。例如能够正确地理解要安装于第1切削单元24a的第1主轴42a上的第1切削刀具44a的种类和要安装于第2切削单元24b的第2主轴42b上的第2切削刀具44b的种类。
接着，对切削装置2的控制单元52的结构进行说明。控制单元52例如具有：显示单元控制部52a，其对显示单元50的画面50a的显示进行控制；以及图像配置控制部52b，其对显示在画面50a上的图像的配置进行控制。另外，控制单元52还具有：朝向判定部52c，其对显示单元50的画面50a的朝向进行判定；以及存储部52d，其对各种信息进行保存。
在更换切削刀具44a、44b时，作业者变更画面50a的朝向，以便容易确认显示单元50的画面50a。并且，向控制单元52输入要实施切削刀具44a、44b的更换作业的内容。于是，控制单元52切换成切削刀具44a、44b的更换作业用的模式。并且，对显示单元控制部52a进行指示，使显示单元50显示切削刀具更换作业时用的图像。
此时，显示单元控制部52a从存储部52d获取与要安装于第1切削单元24a的切削刀具44a的种类相关的信息和与要安装于第2切削单元24b的切削刀具44b的种类相关的信息。另外，显示单元控制部52a对图像配置控制部52b要求关于切削刀具更换作业时用的图像中的各信息的配置的指示。
图像配置控制部52b从显示单元控制部52a接受该要求时，对朝向判定部52c要求与显示单元50的画面50a的朝向相关的信息。此时，朝向判定部52c使显示单元50的朝向检测单元对显示单元50的画面50a的朝向进行检测。
图4的(A)是示意性示出站立于切削装置2的前表面侧的作业者13和切削装置2的俯视图。另外，图4的(B)是示意性示出站立于切削装置2的前表面侧的作业者13和切削装置2的侧视图。例如在作业者13站立于切削装置2的前表面侧的情况下，作业者13如图4的(A)和图4的(B)所示那样使画面50a朝向自己。
例如当将图4的(A)和图4的(B)所示的画面50a的朝向的铰链50b的打开角度规定为0°时，朝向检测单元将该打开角度为0°作为所检测的与画面50a的朝向相关的信息传递至朝向判定部52c。朝向判定部52c根据从朝向检测单元接受的信息而判定画面50a的朝向。例如朝向判定部52c判定为画面50a朝向切削装置2的前表面侧。
并且，朝向判定部52c将所判定的与画面50a的朝向相关的信息发送至图像配置控制部52b。图像配置控制部52b在从朝向判定部52c接受该信息后，确定显示在显示单元的画面50a上的切削刀具更换作业时用的图像中的信息的配置。
例如在图4的(A)和图4的(B)中用虚线箭头示出作业者13的视线13a。在从朝向切削装置2的前表面侧的作业者13观察画面50a时，看起来是前后地排列，第1切削单元24a在近前、第2切削单元24b在里面。在该情况下，关于切削刀具更换作业时用的图像中的各信息的配置，图像配置控制部52b如图2的(A)所示那样将与切削刀具相关的信息控制成上下排列，将该图像中的信息的配置发送至显示单元控制部52a。
显示单元控制部52a从存储部52d获取分别要安装于切削单元24a、24b的切削刀具44a、44b的信息。并且，按照图像配置控制部52b所控制的配置而配置各信息，形成切削刀具更换作业时用的图像。然后，将该图像显示在显示单元50的画面50a上。
这里，以图2的(A)为例，对切削刀具更换作业时用的图像进行说明。在该图像中例如包含表示切削刀具更换作业时用的画面的模式显示54。另外，在显示单元50为带触摸面板的显示器的情况下，在该图像中可以包含操作按钮62。
另外，该图像包含显示出要安装于第1切削单元24a的第1主轴42a上的第1切削刀具44a的信息的第1信息显示区域56a。另外，该图像包含显示出要安装于第2切削单元24b的第2主轴42b上的第2切削刀具44b的信息的第2信息显示区域56b。
在图2的(A)所示的例子中，第1信息显示区域56a和第2信息显示区域56b上下排列。各个信息显示区域56a、56b包含信息显示60a、60b和围绕信息显示60a、60b的彩色的框58a、58b。
作为分别要安装于切削单元24a、24b的切削刀具44a、44b的信息，显示出种类、类型、刃厚(刀具的厚度)、刃尖的长度等信息。另外，也可以显示出能够使用切削刀具44a、44b进行切削的被加工物的切削预定线的条数、磨损量的界限值等信息。实施切削刀具44a、44b的更换作业的作业者观察显示在画面50a上的该图像而确认与要安装于主轴42a、42b的切削刀具44a、44b相关的信息。
另外，图像配置控制部52b将示出要安装于距离作业者13比较远的第2切削单元24b的第2切削刀具44b的信息的第2信息显示区域56b配置于画面50a的上侧。并且，将示出要安装于距离作业者13比较近的第1切削单元24a的第1切削刀具44a的信息的第1信息显示区域56a配置于画面50a的下侧。
因此，从作业者13观察的两个切削单元24a、24b的排列与显示在画面50a上的该图像中的两个信息显示区域56a、56b的配置一致。在该情况下，能够抑制从事切削刀具的更换作业的作业者13在确认显示在该图像上的与各切削刀具44a、44b相关的信息时产生信息的误认。
另外，对作业者13如图4的(A)和图4的(B)所示那样站立于切削装置2的前表面侧的情况进行了说明，但本实施方式的切削装置2不限于此。本实施方式的切削装置2在作业者13站立于切削装置2的侧面侧的情况下，也能够控制显示在画面50a上的图像，以便不产生信息的误认。
例如图5的(A)是示意性示出站立于切削装置2的侧面侧的作业者13和切削装置2的俯视图。另外，图5的(B)是示意性示出站立于切削装置2的侧面侧的作业者13和切削装置2的侧视图。在作业者13站立于切削装置2的侧面侧的情况下，作业者13如图5的(A)和图5的(B)所示那样使画面50a朝向自己。
当将图4的(A)和图4的(B)所示的画面50a的朝向中的铰链50b的打开角度规定为0°时，图5的(A)和图5的(B)所示的画面50a的朝向中的铰链50b的打开角度成为90°。朝向检测单元将该打开角度为90°作为所检测的与画面50a的朝向相关的信息传递至朝向判定部52c。朝向判定部52c根据从朝向检测单元接受的信息而判定画面50a的朝向。朝向判定部52c判定为画面50a朝向切削装置2的侧面侧。
在图5的(A)中用虚线箭头示出作业者13的视线13a。另外，在图5的(B)中示出观察画面50a的作业者13的背面。从朝向切削装置2的侧面侧的作业者13观察画面50a时，看起来是第1切削单元24a排列在右侧、第2切削单元24b排列在左侧。在该情况下，关于显示在画面50a上的切削刀具更换作业时用的图像中的各信息的配置，图像配置控制部52b如图2的(B)所示那样将与切削刀具44相关的信息控制成左右排列。
即，图像配置控制部52b将示出要安装于从作业者13观察位于左侧的第2切削单元24b的第2切削刀具44b的信息的第2信息显示区域56b配置于画面50a的左侧。并且，将示出要安装于从作业者13观察位于右侧的第1切削单元24a的第1切削刀具44a的信息的第1信息显示区域56a配置于画面50a的右侧。
因此，在该情况下，从作业者13观察的两个切削单元24a、24b的排列和显示在画面50a上的该图像中的两个信息显示区域56a、56b的配置也一致。因此，能够抑制从事切削刀具的更换作业的作业者13观察画面50a而确认显示在该图像中的与各切削刀具44a、44b相关的信息时产生信息的误认。
换言之，显示单元50能够将画面50a的朝向变更为第1朝向和第2朝向，在该第1朝向下正对画面50a时能够将两个切削单元24a、24b目视确认成前后排列，在该第2朝向下正对画面50a时能够将两个切削单元24a、24b目视确认成左右排列。并且，控制单元52在画面50a的朝向为该第1朝向的情况下，能够将两个信息显示区域56a、56b上下排列而配置在画面50a上。另外，在画面50a的朝向为该第2朝向的情况下，能够将两个信息显示区域56a、56b左右排列而配置在画面50a上。
这里，以图3为例，对登记在存储部52d中的与切削刀具的特性相关的信息进行说明。在图3中示意性示出与各种切削刀具的特性相关的信息的例子。在存储部52d中预先登记有与各种切削刀具的特性相关的信息。该信息包含与各种切削刀具相关联的颜色。另外，该颜色作为表示切削刀具的种类的颜色，可以为附在该切削刀具的容器上的颜色。
控制单元52的显示单元控制部52a从存储部52d获取要安装于各切削单元24a、24b的主轴42a、42b的切削刀具44a、44b的信息以及与该切削刀具44a、44b相关联的颜色。并且，例如在显示在画面50a上的图像中也可以与切削刀具44a、44b的信息一起显示出该颜色。例如使该图像的信息显示区域56a、56b的框58a、58b的颜色为该颜色。
即，控制单元52的显示单元控制部52a能够在第1信息显示区域56a中显示出与在该第1信息显示区域56a中显示出信息的第1切削刀具44a的种类相关联的颜色。另外，能够在第2信息显示区域56b中显示出与在该第2信息显示区域56b中显示出信息的第2切削刀具44b的种类相关联的颜色。
例如作业者能够通过确认显示在画面50a上的图像的信息显示区域56a、56b的颜色与收纳有要安装于主轴42a、42b的切削刀具44a、44b的刀具容器的颜色是否相同来防止误安装。
如上所述，在本实施方式的切削装置中，控制单元52通过朝向检测单元对显示单元50的画面50a的朝向进行检测，根据所检测的该画面50a的朝向而能够确定该画面50a中的信息的配置。另外，控制单元52根据该朝向检测单元所检测的画面50a的朝向将第1信息显示区域56a和第2信息显示区域56b按照上下并列或左右并列的方式配置在该画面50a上。
因此，通过朝向检测单元对显示单元50的画面50a的朝向进行检测而以作业者13容易直观地理解的配置将信息显示在画面50a上，从而作业者13不会混乱而能够把握显示在该画面50a上的该信息。例如能够正确地理解要安装于第1切削单元24a的切削刀具的种类和要安装于第2切削单元24b的切削刀具的种类。
接着，对本实施方式的切削装置2的控制方法进行说明。在该控制方法中，对显示单元50的画面50a的朝向进行检测，根据该朝向而控制显示在画面50a上的图像中的信息的配置。
在该控制方法中，首先实施朝向检测步骤，对显示单元50的画面50a的朝向进行检测。在朝向检测步骤中，例如通过朝向检测单元对显示单元50的画面50a的朝向进行检测。
在朝向检测步骤之后，实施信息配置确定步骤，根据所检测的画面50a的朝向而确定显示在画面50a上的切削刀具的更换作业时用的画面中的各信息的配置。在信息配置确定步骤中，例如导出从能够目视确认朝着已通过朝向检测步骤而检测的朝向的画面50a的位置观察的第1切削单元24a和第2切削单元24b的排列。并且，参照该排列而确定该图像中的信息的配置。
例如显示在画面50a上的切削刀具的更换作业时用的图像包含显示出与要安装于第1切削单元24a的第1主轴42a上的第1切削刀具44a相关的信息的第1信息显示区域56a，并且包含显示出与要安装于第2切削单元24b的第2主轴42b上的第2切削刀具44b相关的信息的第2信息显示区域56b。
并且，在该图像中按照与第1切削单元24a和第2切削单元24b的排列一致的方式确定第1信息显示区域56a和第2信息显示区域56b的配置。例如第1信息显示区域56a和第2信息显示区域56b为上下排列的配置。或者，第1信息显示区域56a和第2信息显示区域56b为左右排列的配置。
在本实施方式的切削装置2的控制方法中，接着实施显示步骤，将图像显示在显示单元50的画面50a上。在该显示步骤中，按照通过该信息配置确定步骤而确定的切削刀具的更换作业时用的图像的配置将该图像显示在该画面50a上。此时，在该图像的各信息显示区域56a、56b中可以包含表示切削刀具的种类的颜色。
如以上所说明的那样，根据本实施方式的切削装置2，在能够变更显示单元50的画面50a的朝向的切削装置2中，能够根据画面50a的朝向而控制显示在该画面50a上的图像中的信息的配置。因此，能够控制配置而通过画面50a显示出该图像，以便确认该图像而使实施作业的作业者13不产生信息的误认。
另外，在上述实施方式中，对通过朝向检测单元对显示单元50的铰链50b的打开角度进行检测而检测画面50a的朝向的情况进行了说明，但本发明的一个方式不限于此。即，对于画面50a的朝向，也可以通过其他方法进行检测。例如可以由作业者13向控制单元52输入画面50a的朝向。在该情况下，作业者13能够按照自己能够从显示在画面50a上的图像适当地把握信息的方式确定信息的配置。
另外，在上述实施方式中，对在显示单元50的画面50a上显示出刀具的更换作业时用的画面时预先利用朝向判定部52c对画面50a的朝向进行判定的情况进行了说明，但本发明的一个方式不限于此。例如也可以是朝向判定部52c在将该图像显示在画面50a的期间定期地检测画面50a的朝向。
在该情况下，在作业者13变更画面50a的朝向时，能够立刻检测到画面50a的朝向的变更。并且，图像配置控制部52b能够根据所变更的画面50a的朝向而变更画面50a上所显示的图像中的信息的配置。因此，本发明的一个方式的切削装置2例如能够根据作业者13的作业的行进状况而显示出图像，以便使作业者13能够始终适当地把握信息。
另外，关于显示单元50的画面50a的朝向，对铰链50b的打开角度为0°的情况和90°的情况进行了说明，但本发明的一个方式不限于此。即，画面50a可以朝向任意的方向。在该情况下，控制单元52根据画面50a的朝向而确认显示在画面50a上的图像中的信息的配置，以便作业者13容易理解信息。
除此以外，上述实施方式的构造、方法等只要不脱离本发明的目的的范围，则可以适当变更并实施。

Claims (4)

1.一种切削装置，其特征在于，
该切削装置具有：
显示单元，其具有画面，配设成能够变更该画面的朝向；
朝向检测单元，其对该显示单元的该画面的朝向进行检测；以及
控制单元，其对该显示单元的该画面的显示进行控制，
该控制单元通过该朝向检测单元对该显示单元的该画面的朝向进行检测，并能够根据所检测的该画面的朝向而确定该画面中的信息的配置。
2.根据权利要求1所述的切削装置，其特征在于，
该切削装置还具有：
卡盘工作台，其对被加工物进行保持；
第1切削单元，其具有第1主轴，该第1主轴供对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削的第1切削刀具安装；以及
第2切削单元，其具有第2主轴，该第2主轴供对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削的第2切削刀具安装，
该显示单元能够将与要安装于该第1切削单元的该第1切削刀具相关的信息和与要安装于该第2切削单元的该第2切削刀具相关的信息并列地显示在该画面上，
该控制单元根据该朝向检测单元所检测的该画面的朝向而将显示出要安装于该第1主轴上的该第1切削刀具的信息的第1信息显示区域和显示出要安装于该第2主轴上的该第2切削刀具的信息的第2信息显示区域按照上下并列或左右并列的方式配置在该画面上。
3.根据权利要求2所述的切削装置，其特征在于，
该显示单元能够将该画面的朝向变更为第1朝向和第2朝向，在该第1朝向下正对着该画面时能够将该第1切削单元和该第2切削单元目视确认成前后排列，在该第2朝向下正对着该画面时能够将该第1切削单元和该第2切削单元目视确认成左右排列，
该控制单元在该朝向检测单元所检测的该画面的朝向为该第1朝向的情况下，能够将该第1信息显示区域和该第2信息显示区域上下并列地配置在该画面上，
该控制单元在该朝向检测单元所检测的该画面的朝向为该第2朝向的情况下，能够将该第1信息显示区域和该第2信息显示区域左右并列地配置在该画面上。
4.根据权利要求2或3所述的切削装置，其特征在于，
该控制单元能够在该第1信息显示区域中显示出与在该第1信息显示区域中被显示信息的该第1切削刀具的种类相关联的颜色，
能够在该第2信息显示区域中显示出与在该第2信息显示区域中被显示信息的该第2切削刀具的种类相关联的颜色。
CN202010268048.6A 2019-04-12 2020-04-08 切削装置 Pending CN111805778A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019-076157 2019-04-12
JP2019076157A JP7229640B2 (ja) 2019-04-12 2019-04-12 切削装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111805778A true CN111805778A (zh) 2020-10-23

Family

ID=72831830

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010268048.6A Pending CN111805778A (zh) 2019-04-12 2020-04-08 切削装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7229640B2 (zh)
KR (1) KR20200120513A (zh)
CN (1) CN111805778A (zh)
TW (1) TWI833941B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7154336B2 (ja) * 2021-03-26 2022-10-17 Ｔｏｗａ株式会社 切断装置、及び、切断品の製造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009194326A (ja) * 2008-02-18 2009-08-27 Disco Abrasive Syst Ltd 加工装置
JP2011218450A (ja) * 2010-04-05 2011-11-04 Disco Corp 加工装置
JP2018032811A (ja) * 2016-08-26 2018-03-01 株式会社ディスコ 切削装置
JP2019032592A (ja) * 2017-08-04 2019-02-28 株式会社荏原製作所 画面制御プログラムおよび半導体製造装置
JP2019054096A (ja) * 2017-09-14 2019-04-04 株式会社ディスコ 加工装置及び加工装置の使用方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5506557B2 (ja) 2010-06-16 2014-05-28 株式会社ディスコ 切削ブレードの管理方法
JP2012133758A (ja) 2010-11-30 2012-07-12 Canon Inc 表示装置、表示装置の制御方法、及びプログラム
JP5785069B2 (ja) 2011-12-05 2015-09-24 株式会社ディスコ 切削装置
JPWO2016185948A1 (ja) * 2015-05-20 2018-03-15 シチズン時計株式会社 工作機械の操作盤
JP2017013199A (ja) 2015-07-03 2017-01-19 株式会社ディスコ 切削装置
JP2018167368A (ja) 2017-03-30 2018-11-01 株式会社ディスコ 加工装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009194326A (ja) * 2008-02-18 2009-08-27 Disco Abrasive Syst Ltd 加工装置
JP2011218450A (ja) * 2010-04-05 2011-11-04 Disco Corp 加工装置
JP2018032811A (ja) * 2016-08-26 2018-03-01 株式会社ディスコ 切削装置
JP2019032592A (ja) * 2017-08-04 2019-02-28 株式会社荏原製作所 画面制御プログラムおよび半導体製造装置
JP2019054096A (ja) * 2017-09-14 2019-04-04 株式会社ディスコ 加工装置及び加工装置の使用方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020174150A (ja) 2020-10-22
JP7229640B2 (ja) 2023-02-28
KR20200120513A (ko) 2020-10-21
TW202037450A (zh) 2020-10-16
TWI833941B (zh) 2024-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102467559B1 (ko) 장치
CN106313347B (zh) 切削装置
KR20190134467A (ko) 반송용 지그 및 절삭 블레이드의 교환 방법
CN107891369B (zh) 切削装置
TWI797310B (zh) 加工裝置
CN111805778A (zh) 切削装置
JP2013202740A (ja) 切削装置
US11628515B2 (en) Processing apparatus for processing workpiece
TWI813825B (zh) 加工裝置
CN113665010A (zh) 切削装置
JP7408235B2 (ja) 加工装置
JP6689542B2 (ja) 切削装置
CN113764338A (zh) 晶片的加工方法和加工装置
JP6071466B2 (ja) 加工装置
JP2021171881A (ja) 切削装置及び載置プレート
TW202138114A (zh) 切削裝置
JP2024073263A (ja) 加工装置
JP2021184436A (ja) 加工装置
KR20240035707A (ko) 장착 방법 및 절삭 장치
CN116803610A (zh) 被加工物的切削方法
TW202228912A (zh) 加工裝置
JP2022083252A (ja) 加工装置及び加工方法
TW202145326A (zh) 加工裝置
CN113084680A (zh) 保持工作台

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination