JP2019032592A - 画面制御プログラムおよび半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
好ましい態様は、前記操作画像は、複数の操作画像であり、前記コンピュータに、メインメニューを前記メイン画面表示領域の一部に表示し、前記メインメニューがユーザーの操作により選択されたとき、前記複数の操作画像を集約したサブメニューを前記メイン画面表示領域の一部に表示する処理を実行させることを特徴とする。
好ましい態様は、前記コンピュータに、ユーザーの操作に従って、前記操作画像の大きさおよび/または配置位置を前記作業領域内において変更する処理を実行させることを特徴とする。
好ましい態様は、前記制御装置は、前記制御装置および前記端末装置のいずれかが同時に前記処理ユニットを制御することを許容しないインターロック機能を有していることを特徴とする。
好ましい態様は、前記制御装置および前記端末装置は、それぞれ、前記ネットワークを介して前記制御装置および前記端末装置に共有されたデータを自動的にバックアップするバックアップ機能を有していることを特徴とする。
上側乾燥モジュール205Aおよび下側乾燥モジュール205Bが配置されている。これら上側乾燥モジュール205Aおよび下側乾燥モジュール205Bは互いに隔離されている。上側乾燥モジュール205Aおよび下側乾燥モジュール205Bの上部には、清浄な空気を乾燥モジュール205A,205B内にそれぞれ供給するフィルタファンユニット207,207が設けられている。上側一次洗浄モジュール201A、下側一次洗浄モジュール201B、上側二次洗浄モジュール202A、下側二次洗浄モジュール202B、仮置き台203、上側乾燥モジュール205A、および下側乾燥モジュール205Bは、図示しないフレームにボルトなどを介して固定されている。
2 ロード/アンロードユニット
3,3A〜3D 研磨ユニット
4 洗浄ユニット
5 制御装置
6,7 リニアトランスポータ
10 研磨ユニット
11 リフタ
12 スイングトランスポータ
20 フロントロード部
21 走行機構
22 搬送ロボット
30A〜30D 研磨テーブル
31A〜31D トップリング
32A〜32D 研磨液供給ノズル
33A〜33D ドレッサ
34A〜34D アトマイザ
36 トップリングシャフト
190,192 洗浄室
191,193 搬送室
194 乾燥室
201A,201B,202A,202B 洗浄モジュール
203 仮置き台
205A,205B 乾燥モジュール
209,210 搬送ロボット
211,212 支持軸
250 ネットワーク
260,360,460 シーケンサ
270,370,470 センサ
501〜504 コンピュータ
505 ネットワーク
510 記憶装置
511 主記憶装置
512 補助記憶装置
520 処理装置
530 入力装置
532 記録媒体読み込み装置
534 記録媒体ポート
550 通信装置
560 表示装置
561 表示画面
562 支持部
563 本体
565 角度センサ
566 画面表示部
701 監視画像
702 操作画像
705 メインメニュー
706 サブメニュー
710 画像呼び出しボタン
Claims (10)
- 処理ユニットに関する画像を表示する長方形状の表示画面を備えた表示装置に適用される画面表示方法をコンピュータに実行させる画面制御プログラムであって、
前記コンピュータに、
前記表示画面の縦方向の画面解像度が前記表示画面の横方向の画面解像度よりも大きいか否かを判定し、
前記縦方向の画面解像度が前記横方向の画面解像度よりも大きいとき、前記表示画面の表示領域を、前記処理ユニットの稼働状況に関する監視画像を表示するためのメイン画面表示領域と、前記処理ユニットの操作に関する操作画像を表示するための作業領域とに分割する処理を実行させることを特徴とするプログラム。 - 前記コンピュータに、
前記縦方向の画面解像度が前記横方向の画面解像度よりも大きいか否かを判定し、
前記縦方向の画面解像度が前記横方向の画面解像度よりも小さいとき、前記表示領域を前記メイン画面表示領域に決定する処理を実行させることを特徴とする請求項1に記載のプログラム。 - 前記操作画像は、複数の操作画像であり、
前記コンピュータに、
メインメニューを前記メイン画面表示領域の一部に表示し、
前記メインメニューがユーザーの操作により選択されたとき、前記複数の操作画像を集約したサブメニューを前記メイン画面表示領域の一部に表示する処理を実行させることを特徴とする請求項1または2に記載のプログラム。 - 前記コンピュータに、
前記サブメニューに集約された前記複数の操作画像の少なくとも1つがユーザーの操作により選択されたとき、前記縦方向の画面解像度が前記横方向の画面解像度よりも大きいか否かを判定し、
前記縦方向の画面解像度が前記横方向の画面解像度よりも大きいとき、選択された前記操作画像を前記作業領域に表示し、
前記縦方向の画面解像度が前記横方向の画面解像度よりも小さいとき、前記表示領域を前記メイン画面表示領域に決定して、選択された前記操作画像を前記メイン画面表示領域に表示する処理を実行させることを特徴とする請求項3に記載のプログラム。 - 前記コンピュータに、ユーザーの操作に従って、前記操作画像の大きさおよび/または配置位置を前記作業領域内において変更する処理を実行させることを特徴とする請求項4に記載のプログラム。
- 基板に対して所定の動作を行う処理ユニットと、
前記処理ユニットの動作を制御する制御装置を備えた表示制御システムとを備え、
前記制御装置は、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載のプログラムが格納された記憶装置と、
前記記憶装置に格納された前記プログラムに従って演算を行う処理装置と、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の表示装置と、
前記プログラムを実行するために必要な情報を入力するための入力装置とを備えていることを特徴とする半導体製造装置。 - 前記表示制御システムは、
前記制御装置とは別に前記処理ユニットの動作を制御する端末装置と、
前記処理ユニット、前記制御装置、および前記端末装置を接続するネットワークとを備えていることを特徴とする請求項6に記載の半導体製造装置。 - 前記制御装置は、前記制御装置および前記端末装置のいずれかが同時に前記処理ユニットを制御することを許容しないインターロック機能を有していることを特徴とする請求項7に記載の半導体製造装置。
- 前記制御装置および前記端末装置は、それぞれ、前記ネットワークを介して前記制御装置および前記端末装置に共有されたデータを同期する同期機能を有していることを特徴とする請求項7または8に記載の半導体製造装置。
- 前記制御装置および前記端末装置は、それぞれ、前記ネットワークを介して前記制御装置および前記端末装置に共有されたデータを自動的にバックアップするバックアップ機能を有していることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか一項に記載の半導体製造装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020174150A (ja) * | 2019-04-12 | 2020-10-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006139615A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Access Co Ltd | 表示装置、メニュー表示プログラムおよびタブ表示プログラム |
JP2007142762A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Sharp Corp | 携帯端末装置 |
JP2014212484A (ja) * | 2013-04-19 | 2014-11-13 | シャープ株式会社 | 表示制御装置、表示制御装置の制御方法、プログラム、及び記録媒体 |
JP2015138786A (ja) * | 2014-01-20 | 2015-07-30 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置 |
JP2015146413A (ja) * | 2014-02-04 | 2015-08-13 | 株式会社荏原製作所 | 表示制御装置、及び基板処理装置 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06102846A (ja) * | 1992-09-18 | 1994-04-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 文書表示装置 |
JP3702436B2 (ja) | 1996-04-15 | 2005-10-05 | 株式会社ノーバス | 半導体製造装置の管理装置 |
JP2009117648A (ja) | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Guiを備える半導体製造装置 |
KR101417810B1 (ko) * | 2007-12-07 | 2014-07-09 | 삼성전자주식회사 | 이미지 디스플레이 방법 및 상기 방법을 적용한 이미지디스플레이 시스템 |
TWI386843B (zh) * | 2008-07-03 | 2013-02-21 | Wistron Corp | 螢幕顯示區分割方法、螢幕顯示區分割系統,及電腦程式產品 |
JP5604921B2 (ja) * | 2010-03-19 | 2014-10-15 | セイコーエプソン株式会社 | 画像表示システム、画像表示方法、画像表示装置 |
JP2011254962A (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-22 | Toshiba Corp | 超音波画像診断装置 |
KR101833825B1 (ko) * | 2011-11-11 | 2018-03-02 | 엘지전자 주식회사 | 이동 단말기 및 그 제어 방법 |
US8963962B2 (en) * | 2012-03-06 | 2015-02-24 | Apple Inc. | Display of multiple images |
CN103809928B (zh) * | 2012-11-14 | 2018-03-23 | 腾讯科技(深圳)有限公司 | 一种交易走势图的显示方法、装置和*** |
KR20140085048A (ko) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | 삼성전자주식회사 | 멀티 디스플레이 장치 및 제어 방법 |
CN104423794A (zh) * | 2013-09-11 | 2015-03-18 | 上海帛茂信息科技有限公司 | 一种具有双窗口显示功能的智能型移动设备 |
TWI645446B (zh) * | 2014-01-07 | 2018-12-21 | 荏原製作所股份有限公司 | 基板處理裝置之控制裝置、基板處理裝置及顯示控制裝置 |
US20150193424A1 (en) * | 2014-01-07 | 2015-07-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of changing dynamic screen layout and electronic device |
DE102014019368A1 (de) * | 2014-12-22 | 2016-06-23 | Abb Technology Ag | Einrichtung zur Verwaltung und Konfiguration von Feldgeräten einer Automatisierungsanlage |
US9910571B2 (en) * | 2015-01-30 | 2018-03-06 | Google Llc | Application switching and multitasking |
KR102344045B1 (ko) * | 2015-04-21 | 2021-12-28 | 삼성전자주식회사 | 화면을 표시하는 전자 장치 및 그 제어 방법 |
KR102426070B1 (ko) * | 2015-11-18 | 2022-07-28 | 삼성전자 주식회사 | 전자 장치 및 전자 장치의 디스플레이 설정 방법 |
KR102480462B1 (ko) * | 2016-02-05 | 2022-12-23 | 삼성전자주식회사 | 복수의 디스플레이들을 포함하는 전자 장치 및 그 동작 방법 |
CN106020810A (zh) * | 2016-05-13 | 2016-10-12 | 乐视控股(北京)有限公司 | 显示栏目自适应切换方法及装置 |
US20170357414A1 (en) * | 2016-06-12 | 2017-12-14 | Apple Inc. | Map Application with Novel Search, Browsing and Planning Tools |
CN106814989A (zh) * | 2017-03-10 | 2017-06-09 | 腾讯科技(深圳)有限公司 | 一种在终端上显示页面的方法和终端 |
-
2017
- 2017-08-04 JP JP2017151765A patent/JP6894318B2/ja active Active
-
2018
- 2018-07-30 SG SG10201806490QA patent/SG10201806490QA/en unknown
- 2018-07-31 TW TW107126403A patent/TWI773798B/zh active
- 2018-07-31 US US16/051,222 patent/US10559277B2/en active Active
- 2018-07-31 KR KR1020180088995A patent/KR102561489B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006139615A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Access Co Ltd | 表示装置、メニュー表示プログラムおよびタブ表示プログラム |
JP2007142762A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Sharp Corp | 携帯端末装置 |
JP2014212484A (ja) * | 2013-04-19 | 2014-11-13 | シャープ株式会社 | 表示制御装置、表示制御装置の制御方法、プログラム、及び記録媒体 |
JP2015138786A (ja) * | 2014-01-20 | 2015-07-30 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置 |
JP2015146413A (ja) * | 2014-02-04 | 2015-08-13 | 株式会社荏原製作所 | 表示制御装置、及び基板処理装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
後藤 健: "最近の超LSI技術と製造装置", 電子材料 第22巻 第3号, vol. 第22巻, JPN6021002430, 1 March 1983 (1983-03-01), JP, pages 54 - 61, ISSN: 0004433400 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020174150A (ja) * | 2019-04-12 | 2020-10-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN111805778A (zh) * | 2019-04-12 | 2020-10-23 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
JP7229640B2 (ja) | 2019-04-12 | 2023-02-28 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
TWI833941B (zh) * | 2019-04-12 | 2024-03-01 | 日商迪思科股份有限公司 | 切割裝置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SG10201806490QA (en) | 2019-03-28 |
KR102561489B1 (ko) | 2023-08-01 |
TW201923555A (zh) | 2019-06-16 |
US10559277B2 (en) | 2020-02-11 |
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