CN107792677B - 非接触驱动模块和具有该模块的输送装置 - Google Patents

非接触驱动模块和具有该模块的输送装置 Download PDF

Info

Publication number
CN107792677B
CN107792677B CN201710762977.0A CN201710762977A CN107792677B CN 107792677 B CN107792677 B CN 107792677B CN 201710762977 A CN201710762977 A CN 201710762977A CN 107792677 B CN107792677 B CN 107792677B
Authority
CN
China
Prior art keywords
pole
permanent magnet
conveying device
guide rail
driving wheel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201710762977.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107792677A (zh
Inventor
李圣铉
李政训
申东原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semes Co Ltd
Original Assignee
Semes Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semes Co Ltd filed Critical Semes Co Ltd
Publication of CN107792677A publication Critical patent/CN107792677A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107792677B publication Critical patent/CN107792677B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67709—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L13/00—Electric propulsion for monorail vehicles, suspension vehicles or rack railways; Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B60L13/04—Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00—Other railway systems
    • B61B13/08—Sliding or levitation systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00—Other railway systems
    • B61B13/12—Systems with propulsion devices between or alongside the rails, e.g. pneumatic systems
    • B61B13/125—Systems with propulsion devices between or alongside the rails, e.g. pneumatic systems the propulsion device being a rotating shaft or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L2200/00—Type of vehicles
    • B60L2200/26—Rail vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2812/00—Indexing codes relating to the kind or type of conveyors
    • B65G2812/99—Conveyor systems not otherwise provided for

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

输送装置包括彼此平行延伸的导轨、配置成可沿导轨移动的运输工具和安装在运输工具上的非接触驱动模块。该非接触驱动模块包括：一对运行轨道，其与导轨平行延伸且分别包括设置在延伸方向上的多个第一永磁体和多个第二永磁体；驱动轮，其设置在运行轨道之间与运行轨道相间隔，且包括设置在圆周方向上的多个第三永磁体；和驱动单元，其用于转动所述驱动轮。尤其地，第三永磁体中的至少一个设置在第一永磁体和第二永磁体之间。

Description

非接触驱动模块和具有该模块的输送装置
技术领域
本发明涉及非接触驱动模块和具有该模块的输送装置。更具体地，本发明涉及配置成使用永磁铁之间的磁力以非接触的方式可移动的非接触驱动模块和具有该模块的输送装置。
背景技术
用于存储半导体晶片的存储容器，如前开口标准箱(FOUP)和前开口运输箱(FOSB)在半导体制备工艺中可通过如高架提升运输(OHT)和有轨制导车辆(RGV)等输送装置运输。
输送装置可沿设置在净室天花板或底板上的运行轨道移动且包括多个运行车轮和用于转动该运行车轮的驱动单元。近年来，随着半导体装置的集成程度增加，有必要保持净室的高度洁净。因此，由运行轨道和运行轮之间的摩擦产生的颗粒作为保持净室的洁净的主要目标引起了关注。
发明内容
本公开提供一种可减少颗粒的非接触驱动模块和包括该非接触驱动模块的输送装置。
根据本公开的一个方面，非接触驱动模块可包括一对运行轨道、驱动轮和驱动单元，该运行轨道相互平行延伸且包括多个第一永磁体和多个第二永磁体，第一永磁体和第二永磁体分别设置在延伸方向上，驱动轮设置在运行轨道之间与运行轨道相间隔且包括多个第三永磁体，第三永磁体设置成圆周方向，且驱动单元用于转动驱动轮。在此，至少一个第三永磁体可设置在第一永磁体和第二永磁体之间。
根据一些示范实施例，第一和第二永磁体可如此设置以使N极和S极设置在延伸方向上且相同极性的极在延伸方向彼此相向。
根据一些示范实施例，第一和第二永磁体可如此设置以使N极和S极设置在与延伸方向垂直的方向上，且极性在延伸方向上变换。
根据一些示范实施例，第一和第二永磁体可设置成Halbach阵列。
根据一些示范实施例，第一永磁体的N极和S极可如此设置以与第二永磁体的N极和S极在第二方向上分别相向。
根据一些示范实施例，第一永磁体的N极和S极可如此设置以与第二永磁体的S极和N极在第二方向上分别相向。
根据一些示范实施例，第三永磁体可设置成Halbach阵列。
根据一些示范实施例，驱动轮还可包括多个第四永磁体，其周向设置成Halbach阵列，且第三和第四永磁体可设置在驱动轮的两侧以分别与第一和第二永磁体相向。
根据一些示范实施例，第三永磁体可如此设置以使N极和S极设置在圆周方向上且相同极性的极在周向上彼此相向。
根据一些示范实施例，第三永磁体可如此设置以使N极和S极设置在第二方向上且极性在周向上变换。
根据一些示范实施例，驱动轮还可包括多个第四永磁体，其周向设置，第四永磁体可如此设置以使N极和S极设置在第二方向上且极性在周向上变换，且第三和第四永磁体可设置在驱动轮的两侧以分别与第一和第二永磁体相向。
根据一些示范实施例，第一和第二永磁体在延伸方向上的节距可与第三永磁体在周向上的节距相同。
根据本公开的另一方面，输送装置可包括一对相互平行延伸的导轨、可沿导轨移动的运输工具和安装在运输工具上的非接触驱动模块。非接触驱动模块可包括一对运行轨道、驱动轮和驱动单元，该运行轨道与导轨平行延伸且包括多个第一永磁体和多个第二永磁体，第一永磁体和第二永磁体分别设置在延伸方向上，驱动轮设置在运行轨道之间与运行轨道相间隔且包括多个第三永磁体，第三永磁体设置成圆周方向，且驱动单元用于转动驱动轮。在此，至少一个第三永磁体可设置在第一永磁体和第二永磁体之间。
根据一些示范实施例，输送装置还可包括磁悬浮单元，用于从导轨上悬浮运输工具。
根据一些示范实施例，运输工具可包括分别围绕导轨的引导框架，且磁悬浮单元可包括磁悬浮线圈，其安装在引导框架上以与导轨的下部相向。
根据一些示范实施例，用于在第一和第二引导磁铁之间产生排斥力的第一和第二引导磁铁可分别设置在彼此相向的引导框架和导轨的侧表面上。
根据一些示范实施例，第一和第二引导磁铁中的至少一个可以是电磁体。
根据一些示范实施例，运输工具可包括辅助轮，其安装在引导框架上以与导轨的上部相向。
根据一些示范实施例，运输工具可包括运行轮，其设置在导轨的上部。
根据一些示范实施例，运输工具可包括引导轮，其设置在导轨的侧部。
根据一些示范实施例，升降模块可安装在运输工具的下部。
根据一些示范实施例，输送装置还可包括支撑轨道，其用于支撑导轨和运行轨道。
对本公开的上述概述不意图描述本公开的每一所示实施例或所有实施方式。以下详细说明和权利要求更具体地展示了这些实施例。
附图说明
从参照附图的以下说明中可更详细地理解示范实施例，附图为：
图1是显示根据本公开一示范实施例的非接触驱动模块的示意图；
图2是显示图1中的运行轨道和驱动轮的截面图；
图3是显示图1中的驱动轮的开发视图；
图4是显示根据本公开的另一示范实施例的非接触驱动模块的示意图；
图5是显示图4中的运行轨道和驱动轮的截面图；
图6是显示根据本公开的另一示范实施例的非接触驱动模块的示意图；
图7是显示图6中的运行轨道和驱动轮的截面图；
图8是显示图6中的驱动轮的开发视图；
图9是显示根据本公开的另一示范实施例的非接触驱动模块的截面图；
图10是显示图9中的驱动轮的开发视图；
图11是显示根据本公开的另一示范实施例的非接触驱动模块的截面图；
图12是显示根据本公开的另一示范实施例的非接触驱动模块的截面图；
图13是显示图12中的驱动轮的开发视图；
图14、15和16是显示根据本公开一些示范实施例的非接触驱动模块的示意图；
图17、18和19是显示根据本公开一些示范实施例的非接触驱动模块的示意图；
图20是显示根据本公开的另一示范实施例的非接触驱动模块的开发视图；
图21和22是显示根据本公开一些示范实施例的输送装置的截面图；
图23是显示根据本公开另一示范实施例的输送装置的截面图。
尽管各种实施例可修改成不同的修改和替代形式，其具体实施例已通过附图中的示范例的形式被示出且将予以详细说明。但是，应理解，其意图不在于将所主张的发明限定在所述的特定实施例。相反，其意图是涵盖落入由权利要求限定的主题的实质和范围内的所有修改、等值和替代。
具体实施方式
下文中，本发明的实施例将参照附图予以详细说明。然而，本发明不限于以下所述的实施例且可以多种其他形式实施。以下实施例被提供不旨在完整完成本发明，而在于将本发明的范围完整传达给本领域的技术人员。
在说明书中，当提及一个元件在另一元件或层之上或连接至另一元件或层，其可直接在另一元件或层之上或直接连接至另一元件或层，或可存在中间元件或层。相反，应理解当提及一元件直接在另一元件或层之上或直接连接至另一元件或层，则是指不存在中间元件。另外，尽管诸如第一、第二和第三之类的术语在本发明的各种实施例中被用于描述各种区域或层，该区域或层不限于上述术语。
以下使用的技术术语仅用于描述特定的实施例，但不限制本发明。此外，除非本文另有限定，包括技术或科学术语在内的所有的术语可具有本领域技术人员所通常理解的含义。
本发明的实施例是参照理想实施例的示意图来说明的。相应地，从附图形式中可预期制备方法的改变和/或可允许的错误。相应地，本发明的实施例并未描述成限定与附图中的特定形式或区域，且包括所述形式的变形。该区域可以完全是示意性的，且其形式可不描述或描绘任何给定区域的精确形式或结构，且不意图限制本发明的范围。
图1是显示根据本公开一示范实施例的非接触驱动模块的示意图；且图2是显示图1中所示的运行轨道和驱动轮的截面图。
参照图1和2，非接触驱动模块100可以非接触的方式生成推进力且因此相对于使用摩擦力产生推进力的传统行进模块而言可减少颗粒。尤其地，非接触驱动模块可用于在净室中输送物体。
根据本公开一示范实施例，非接触驱动模块100可包括一对彼此平行延伸的运行轨道(例如第一和第二运行轨道110和120)、设置在第一和第二运行轨道110和120之间的驱动轮130和用于转动驱动轮130的驱动单元140。第一和第二运行轨道110和120可分别包括沿延伸方向设置的多个第一永磁体112和多个第二永磁体122，且驱动轮130可包括沿圆周方向设置的多个第三永磁体132。
驱动单元140可转动驱动轮130使得驱动轮130沿运行轨道110和120移动。例如，驱动单元140可包括发动机，且推进力可通过第一、第二和第三永磁体112、122和132之间的磁力和由驱动单元140提供的旋转力来产生。
驱动轮130可设置成与第一和第二运行轨道110和120相分离。尤其地，第三永磁体132的至少一部分可设置在第一和第二永磁体112和122之间，如图1所示，使得驱动轮130沿运行轨道110和120移动，因此，驱动轮130可移动但不与第一和第二运行轨道110和120以及驱动轮130接触。
第一和第二永磁体112和122可如此设置以使N极和S极沿延伸方向设置且相同极性的极在延伸方向上彼此相向，如图2所示。第三永磁体132可设置成Halbach排列，如图1所示。
图3是显示图1中的驱动轮的开发视图。
参照图1和3，一些第三永磁体132可如此设置以使N极和S极设置在圆周方向上，且剩余的可如此设置以使N极和S极设置在与延伸方向垂直的第二方向上。另外，第三永磁体132可如此设置以使极性在圆周方向上变换。
第一和第二永磁体112和122在延伸方向上的节距可配置成与第三永磁体132在圆周方向上的节距相同，以使得增加第一和第二永磁体112和122与第三永磁体132之间的磁力。另外，第一永磁体112的N极和S极可如此设置以与第二永磁体122的S极和N极在与延伸方向垂直的第二方向上相向。
图4是显示根据本公开另一示范实施例的非接触驱动模块的示意图，且图5是显示图4中所述的运行轨道和驱动轮的截面图。
参照图4和5，第一和第二永磁体112和122可如此设置以使N极和S极设置在与第一和第二运行轨道110和120的延伸方向垂直的第二方向上且极性在延伸方向上变换。在此，驱动轮130的第三永磁体132可周向设置成Halbach排列。
第一和第二永磁体112和122在延伸方向上的节距可配置成与第三永磁体在圆周方向上的节距相同。此外，第一永磁体112的N极和S极可如此设置以与第二永磁体122的S极和N极在第二方向上相向。
图6是显示根据本公开另一示范实施例的非接触驱动模块的示意图，图7是显示图6中所述的运行轨道和驱动轮的截面图，且图8是显示图6中所述的驱动轮的开发视图。
参照图6-8，第一和第二运行轨道110和120的第一和第二永磁体112和122可在第一和第二运行轨道110和120的延伸方向上设置成Halbach排列。尤其地，在与延伸方向垂直的第二方向上彼此相对应的第一和第二永磁体112和122的极性可设置成如图7中所示的相同方向。在此，驱动轮130的第三永磁体132可周向设置成Halbach排列。
第一和第二永磁体112和122在延伸方向上的节距可配置成与第三永磁体132在周向上的节距相同。此外，当第三永磁体132在延伸方向上铺展开时，第一、第二和第三永磁体112、122和132可如此设置以使在第一和第三永磁体112和132之间以及第二和第三永磁体122和132之间产生吸引力，如图8所示。
图9是显示根据本公开另一示范实施例的非接触驱动模块的截面图，且图10是显示图9中所述的驱动轮的开发视图。
参照图9和10，第一和第二运行轨道110和120的第一和第二永磁体112和122可如此设置以使N极和S极设置在第一和第二运行轨道110和120的延伸方向上且相同极性的极在延伸方向上彼此相向。尤其地，第一永磁体112的N极和S极可如此设置以与第二永磁体122的N极和S极在与延伸方向垂直的第二方向上相向，如图9所示。
驱动轮130可设置在第一和第二运行轨道110和120之间，且可包括周向设置成Halbach排列的多个第三永磁体132和多个第四永磁体134。例如，第三和第四永磁体132和134可设置在驱动轮的两侧，以分别与第一和第二永磁体112和122相向。尤其地，第三和第四永磁体132和134中的一些可如此设置以使N极和S极设置在圆周方向上，且其他的可如此设置以使N极和S极设置在所述第二方向上。
此外，第一和第二永磁体112和122在延伸方向上的节距可设置成与第一和第四永磁体在圆周方向上的节距相同。
图11是显示根据本公开另一示范实施例的非接触驱动模块的截面图。
参照图11，第一和第二永磁体112和122可如此设置以使N极和S极被设置在与第一和第二运行轨道110和120的延伸方向垂直的第二方向上且极性在延伸方向上变换。在此，驱动轮130可包括多个第三永磁体132和多个第四永磁体134，其周向设置为Halbach排列，如图10所示。
此外，第一和第二永磁体112和122在延伸方向上的节距被配置成与第三和第四永磁体132和134在周向上的节距相同，且第一永磁体112的N极和S极可设置成与第二永磁体122的N极和S极在第二方向上相向，如图11所示。
图12是显示根据本公开另一示范实施例的非接触驱动模块的截面图，且图13是显示图12中所示的驱动轮的开发视图。
参照图12和13，第一和第二永磁体112和122可在第一和第二运行轨道110和120的延伸方向上设置成Halbach排列。尤其地，第一和第二永磁体112和122可如此设置以使相同极性的磁极在与延伸方向垂直的第二方向上彼此相向。
此外，第三和第四永磁体132和134可在驱动轮130的圆周方向上设置成Halbach排列。例如，第三和第四永磁体132和134可设置在驱动轮130的两侧以分别与第一和第二永磁体112和122相向。
尤其地，第三和第四永磁体132和134中的一些可如此设置以使N极和S极设置在圆周方向上，且其他的可如此设置以使N极和S极设置在第二方向上。此外，第一和第二永磁体112和122在延伸方向上的节距可设置成与第三和第四永磁体132和134在圆周方向上的节距相同。
图14、15和16是显示根据本公开一些示范实施例的非接触驱动模块的示意图。
参照图14至16，第一和第二运行轨道110和120可分别包括设置在延伸方向上的第一和第二永磁体112和122，且驱动轮130可包括设置在圆周方向上的第三永磁体132。尤其地，第三永磁体132可如此设置以使N极和S极设置在圆周方向上且相同极性的极在圆周方向上彼此相向。
第一和第二永磁体112和122可如此设置以使N极和S极设置在延伸方向上，如图14所示。尤其地，第一永磁体112的N极和S极可设置成以与第二永磁体122的N极和S极在与延伸方向垂直的第二方向上相向，如图9所示。
作为另一示范例，第一和第二永磁体112和122可如此设置以使N极和S极设置在第二方向上，如图15所示。尤其地，第一永磁体112的N极和S极可设置成以与第二永磁体122的N极和S极在第二方向上相向，如图11所示。
作为另一示范例，第一和第二永磁体112和122可在延伸方向上设置成Halbach排列，如图16所示。尤其地，第一和第二永磁体112和122可如此设置以使相同极性的磁极在第二方向上彼此相向，如图12所示。
图17、18和19是显示根据本公开一些示范实施例的非接触驱动模块的示意图。
参照图17至19，第一和第二运行轨道110和120可分别包括设置在延伸方向上的第一和第二永磁体112和122，且驱动轮130可包括设置在圆周方向上的第三永磁体132。尤其地，第三永磁体132可如此设置以使N极和S极设置在与延伸方向垂直的第二方向上且极性在圆周方向上变换。
第一和第二永磁体112和122可如此设置以使N极和S极设置在延伸方向上，如图17所示。尤其地，第一永磁体112的N极和S极可设置成以与第二永磁体122的S极和N极在第二方向上相向，如图12所示。
作为另一示范例，第一和第二永磁体112和122可如此设置以使N极和S极设置在第二方向上，如图18所示。尤其地，第一永磁体112的N极和S极可设置成以与第二永磁体122的S极和N极在第二方向上相向，如图5所示。
作为另一示范例，第一和第二永磁体112和122可在延伸方向上设置成Halbach排列，如图19所示。尤其地，在第二方向上彼此对应的第一和第二永磁体112和122的极性可设置在如图7所示的相同的方向上。
图20是显示根据本公开的另一示范实施例的非接触驱动模块的开发视图。
参照图20，第一和第二运行轨道110和120可分别包括设置在延伸方向上的第一和第二永磁体112和122，且驱动轮130可包括设置在圆周方向上的第三和第四永磁体132和134。尤其地，第三和第四永磁体132和134可如此设置以使N极和S极设置在与延伸方向垂直的第二方向上且极性在圆周方向上变换。此外，第三永磁体132的N极和S极可设置成以分别与第四永磁体134的N极和S极在第二方向上相向。
第一和第二永磁体112和122可如此设置以使N极和S极设置在延伸方向上且相同极性的磁极在延伸方向上彼此相向。此外，第一永磁体112的N极和S极可设置成以分别与第二永磁体122的N极和S极在第二方向上相向。另外，当第三和第四永磁体132和134在延伸方向上铺展开时，第三和第四永磁体132和134的N极和S极可设置成以分别与第一和第二永磁体112和122的S极和N极相向，如图20所示。
作为另一示范例，尽管未在附图中示出，第一和第二永磁体112和122可如此设置以使N极和S极设置在第二方向上。在此，第一永磁体112的N极和S极可设置成以与第二永磁体122的N极和S极在第二方向上相向，如图11所示。
作为另一示范例，尽管未在附图中示出，第一和第二永磁体112和122可在延伸方向上设置成Halbach排列。在此，第一和第二永磁体112和122可如此设置以使相同极性的磁极在第二方向上彼此相向，如图12所示。
图21和22是显示根据本公开一些示范实施例的输送装置的截面图。
参照图21，包括非接触驱动模块100的输送装置200可用来在半导体或显示器制备工艺中输送诸如硅晶圆或玻璃基材等物品。例如，输送装置200可用于输送容器，如用于接收半导体晶圆的FOUP。
输送装置200可包括彼此平行延伸的一对导轨202、配置成沿导轨202可移动的运输工具210和安装在运输工具210上的非接触驱动模块100。非接触驱动模块100可包括一对运行轨道110和120、驱动轮130和驱动单元140，其中运行轨道110和120与导轨平行延伸且在延伸方向上分别包括多个第一永磁体和多个第二永磁体，驱动轮130设置在运行轨道110和120之间，与运行轨道110和120分隔开且包括设置在圆周方向上的多个第三永磁体，且驱动单元140用于转动驱动轮130。尤其地，至少一部分第三永磁体设置在第一永磁体和第二永磁体之间以使驱动轮130沿运行轨道110和120移动。例如，输送装置200可包括前述参照图1-20所述的非接触驱动模块100中的一个。
输送装置200可用作OHT装置。导轨202和运行轨道110和120可设置在净室的天花板上，且运输工具210可设置在导轨202下方。此外，用于输送诸如FOUP等物品的升降模块240可安装在运输工具210的下部。
尤其地，运输工具210可以非接触的方式沿导轨202移动。例如，输送装置200可包括用于悬浮运输工具210的磁悬浮单元220。运输工具210可包括围绕导轨202的引导框架212，且磁悬浮单元220可包括安装在引导框架212上的磁悬浮线圈222。
尤其地，如图21所示，引导框架212可配置成围绕导轨202的下、上和内部，且磁悬浮线圈222可安装至引导框架212上以与导轨202的下部相向。当向磁悬浮线圈222供电时，运输工具210可通过磁悬浮线圈222所产生的引力被悬浮。
此外，在彼此之间产生排斥力的第一和第二引导磁铁224和226可分别设置在引导框架212和导轨202的彼此相向的侧表面上。可控电磁铁可用作第一和第二引导磁铁224和226中的一个，且永磁体可用作第一和第二引导磁铁224和226中的另一个。第一和第二引导磁铁224和226可用于防止导轨202和引导框架212之间的摩擦力且在运输工具210的移动过程中减小振动和噪音。
另外，辅助轮228可设置在引导框架212和导轨202之间。例如，辅助轮228可安装在引导框架212的上部以与导轨202的上部相向。当向磁悬浮线圈222供电时，辅助轮228可支撑运输工具210且使运输工具210可移动。
输送装置200可包括支撑轨道230，用于支撑导轨202和运行轨道110和120。例如，运行轨道110和120可设置在引导框架212上，且驱动轮130和驱动单元140可设置在引导框架212上，如图21所示。
可替代地，如图22所示，引导框架212可配置成围绕导轨202的上、下和外部，且支撑轨道230可设置在引导框架212之间。导轨202可设置在支撑轨道230的两侧，且运行轨道110和120可设置在支撑轨道230的下部。此外，运输工具210可设置在导轨202的下方，且非接触驱动模块100的驱动轮130和驱动单元140可设置在运输工具210上。
运输工具210可通过磁悬浮单元220悬浮，且可由非接触驱动模块100移动。因此，相比于使用运行轮和轨道之间的摩擦力的传统输送装置而言，可极大地减少在输送装置200的移动过程中产生的颗粒。
可替代地，尽管未在附图中示出，运输工具210可包括设置于导轨202而非磁悬浮单元220的上部的运行轮(未示出)。此外，运输工具210可包括设置于导轨202而非第一和第二引导磁铁224和226的侧部的引导轮(未示出)。运行轮可以可移动的方式支撑运输工具210，且引导轮可用于沿导轨202引导运输工具210。
图23是显示根据本公开另一示范实施例的输送装置的截面图。
参照图23，包括非接触驱动模块100的输送装置300可用作RGV装置。输送装置300可包括一对导轨302、配置成可沿导轨302移动的运输工具310和用于移动运输工具310的非接触驱动模块100。
运输工具310可设置在导轨302上方且可包括围绕导轨302的引导框架312。非接触驱动模块100可包括与导轨302平行延伸的运行轨道110和120、设置在运行轨道110和120之间的驱动轮130和用于转动驱动轮130的驱动单元140。例如，输送装置300可包括前述参照图1-20所述的非接触驱动模块100中的一个。
导轨302可设置在支撑轨道330的两侧，且运行轨道110和120可设置在支撑轨道330的上部。驱动轮130和驱动单元140可设置在运输工具310的下部，且驱动轮130可设置成与运行轨道110和120相分离。
输送装置300可包括磁悬浮线圈322、辅助轮328以及第一和第二引导磁铁324和326，其中磁悬浮线圈322安装在引导框架312上以与导轨302的下部相向，辅助轮328安装在引导框架312上以与导轨302的上部相向，且第一和第二引导磁铁324和326分别设置在引导框架312和导轨302彼此相向的侧表面上。
根据上述本公开的示范实施例，非接触驱动模块100可通过在第一和第二运行轨道110和120之间转动驱动轮130产生推进力。具体地，驱动轮130可设置成与第一和第二运行轨道110和120间隔开，且通过第一和第二永磁体112和122与第三永磁体132之间的磁力可产生推进力。此外，输送装置200可使用磁悬浮线圈222使运输工具210从导轨202上悬浮且可使用非接触驱动模块100移动运输工具210。
因此，与传统的输送装置相比，可极大地减少在操作输送装置200的过程中所产生的颗粒。此外，可极大地减少在操作输送装置200的过程中的振动和噪音。
尽管已参照特定实施例对非接触驱动模块和具有该非接触驱动模块的输送装置进行了说明，它们并不限于所述实施例。因此，本领域的技术人员应理解，可对其作出各种修改和变化而不背离由所附权利要求所限定的本公开的实质和范围。

Claims (17)

1.输送装置，包括：
一对导轨，其彼此平行延伸；
运输工具，其配置成可沿所述导轨移动并且包括分别围绕所述导轨的引导框架；以及
用于从所述导轨悬浮所述运输工具的磁悬浮单元，所述磁悬浮单元包括磁悬浮线圈，其安装在所述引导框架上以与所述导轨的下部相向；以及
非接触驱动模块，其安装在所述运输工具上，
其中所述非接触驱动模块包括：
一对运行轨道，其彼此平行延伸且分别包括设置在延伸方向上的多个第一永磁体和多个第二永磁体；
驱动轮，其设置在所述运行轨道之间与所述运行轨道相间隔，且包括设置在圆周方向上的多个第三永磁体；和
驱动单元，其用于使所述驱动轮转动，
其中，所述第三永磁体中的至少一个设置在所述第一永磁体和所述第二永磁体之间。
2.如权利要求1中所述的输送装置，其中所述第一和第二永磁体如此设置，以使N极和S极设置在所述延伸方向上且相同极性的极在所述延伸方向上彼此相向。
3.如权利要求1中所述的输送装置，其中所述第一和第二永磁体如此设置，以使N极和S极设置在与所述延伸方向垂直的第二方向上且极性在所述延伸方向上变换。
4.如权利要求1中所述的输送装置，其中所述第一和第二永磁体设置成Halbach排列。
5.如权利要求1中所述的输送装置，其中所述第一永磁体的N极和S极如此设置，以使其分别与所述第二永磁体的N极和S极在与所述延伸方向垂直的第二方向上相向。
6.如权利要求1中所述的输送装置，其中所述第一永磁体的N极和S极如此设置，以使其分别与所述第二永磁体的S极和N极在与所述延伸方向垂直的第二方向上相向。
7.如权利要求1中所述的输送装置，其中所述第三永磁体设置成Halbach排列。
8.如权利要求7中所述的输送装置，其中所述驱动轮还包括周向设置成Halbach排列的多个第四永磁体，且
所述第三和第四永磁体设置在所述驱动轮的两侧，以分别与所述第一和第二永磁体相向。
9.如权利要求1中所述的输送装置，其中所述第三永磁体如此设置，以使N极和S极设置在所述圆周方向上且相同极性的极在所述圆周方向上彼此相向。
10.如权利要求1中所述的输送装置，其中所述第三永磁体如此设置，以使N极和S极设置在与所述延伸方向垂直的第二方向上且极性在所述圆周方向上变换。
11.如权利要求10中所述的输送装置，其中所述驱动轮还包括设置在所述圆周方向上的多个第四永磁体，
所述第四永磁体如此设置，以使N极和S极设置在所述第二方向上且极性在所述圆周方向上变换，且
所述第三和第四永磁体设置在所述驱动轮的两侧以分别与所述第一和第二永磁体相向。
12.如权利要求1中所述的输送装置，其中所述第一和第二永磁体在所述延伸方向上的节距与所述第三永磁体在所述圆周方向上的节距相同。
13.如权利要求1中所述的输送装置，其中在彼此之间生成排斥力的第一和第二引导磁铁分别设置在所述引导框架和所述导轨的彼此相向的侧表面上。
14.如权利要求13中所述的输送装置，其中所述第一和第二引导磁铁中的至少一个是电磁铁。
15.如权利要求1中所述的输送装置，其中所述运输工具还包括辅助轮，其安装在所述引导框架上以与所述导轨的上部相向。
16.如权利要求1中所述的输送装置，其中升降模块安装在所述运输工具的下部。
17.如权利要求1中所述的输送装置，还包括支撑轨道，用于支撑所述导轨和所述运行轨道。
CN201710762977.0A 2016-08-30 2017-08-30 非接触驱动模块和具有该模块的输送装置 Active CN107792677B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2016-0110669 2016-08-30
KR1020160110669A KR101854034B1 (ko) 2016-08-30 2016-08-30 비접촉 주행 모듈 및 이를 포함하는 이송 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107792677A CN107792677A (zh) 2018-03-13
CN107792677B true CN107792677B (zh) 2019-10-29

Family

ID=61241461

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710762977.0A Active CN107792677B (zh) 2016-08-30 2017-08-30 非接触驱动模块和具有该模块的输送装置

Country Status (3)

Country Link
US (2) US10744886B2 (zh)
KR (1) KR101854034B1 (zh)
CN (1) CN107792677B (zh)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
PT2701960T (pt) * 2011-02-21 2019-11-18 Novus Finitor B V Sistema de levitação para um comboio
AU2018307363A1 (en) 2017-07-27 2020-02-06 Hyperloop Technologies, Inc. Augmented permanent magnet system
DE102018209401A1 (de) * 2018-06-13 2019-12-19 Robert Bosch Gmbh Beförderungsvorrichtung mit Sicherheitsfunktion
CN109204008B (zh) * 2018-09-30 2023-11-07 西南交通大学 一种半悬浮的电动磁悬浮汽车
CN109491342B (zh) * 2018-11-30 2019-09-24 山东师范大学 一种多工序智能rgv动态调度方法、装置及***
CN109502350A (zh) * 2018-12-12 2019-03-22 安徽理工大学 一种可控制智能磁悬浮带式输送机
KR102221114B1 (ko) * 2019-07-15 2021-02-26 세메스 주식회사 천장 반송 장치
CN111532290A (zh) * 2020-04-16 2020-08-14 鞠大忠 一种在轨道平台定子轨道上行驶的运行车
CN111942162B (zh) * 2020-07-07 2022-09-27 西南交通大学 一种磁悬浮汽车
CN114379984A (zh) * 2020-10-19 2022-04-22 奥特斯科技(重庆)有限公司 用于输送部件承载件的磁性驱动装置、布置结构及方法
CN113001563A (zh) * 2021-03-10 2021-06-22 北京华能新锐控制技术有限公司 感应式电磁驱动巡检机器人
KR102307205B1 (ko) * 2021-05-18 2021-09-30 주식회사 에이치씨씨 반도체 구동장비용 자기 증가형 디스크
KR102578858B1 (ko) * 2021-09-08 2023-09-14 한국기계연구원 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치
KR102569490B1 (ko) * 2022-03-14 2023-08-25 주식회사 에이치씨씨 자기력을 증대시키기 위한 비접촉 동력 전달 장치 및 이를 포함하는 이송 장치
KR20240056123A (ko) 2022-10-21 2024-04-30 세메스 주식회사 자기 부상형 구동 장치 및 이를 포함하는 반도체 제조 설비
CN115837841B (zh) * 2023-01-03 2023-04-28 西南交通大学 一种高温超导磁悬浮***及其线圈尺寸的计算方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101098100A (zh) * 2006-06-26 2008-01-02 株式会社日立制作所 圆筒直线电动机以及使用了该电动机的车辆
CN201009760Y (zh) * 2006-12-27 2008-01-23 刘新广 永磁悬浮及磁轮推进车
KR20080014578A (ko) * 2006-08-11 2008-02-14 인더스트리얼 테크놀로지 리써치 인스티튜트 기판 이송 장치
CN101578760A (zh) * 2007-01-05 2009-11-11 东芝电梯株式会社 磁悬浮装置
CN104029686A (zh) * 2014-06-25 2014-09-10 中国人民解放军国防科学技术大学 一种磁悬浮列车的轨道组件
JP2016152668A (ja) * 2015-02-17 2016-08-22 住友重機械工業株式会社 リニアモータ、磁石ユニット、ステージ装置

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7307042A (zh) * 1973-05-21 1974-11-25
US3847085A (en) * 1973-07-16 1974-11-12 Duo Mode Electric Trans Syst Dual-mode transportation system
US4646651A (en) * 1983-11-04 1987-03-03 Fuji Electric Corporate Research And Development Limited Floating apparatus for attractive magnetic floater
US5277125A (en) * 1992-10-28 1994-01-11 Bae Automated Systems, Inc. Material handling car and track assembly having opposed magnet linear motor drive and opposed permanent magnet brake assembly
US5586504A (en) * 1995-05-11 1996-12-24 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Dual-keel electrodynamic maglev system
US20040055836A1 (en) 1999-11-22 2004-03-25 Pribonic Edward M. Eddy current braking apparatus with adjustable braking force
US6293376B1 (en) * 1999-11-22 2001-09-25 Magnetar Technologies Ltd Apparatus including eddy current braking system
JP2002078318A (ja) 2000-08-24 2002-03-15 Hiroshi Mochizuki 磁気回転装置
US6827022B2 (en) * 2002-12-27 2004-12-07 General Atomics Magnetic levitation and propulsion system
US7265470B1 (en) * 2004-01-13 2007-09-04 Launchpoint Technologies, Inc. Magnetic spring and actuators with multiple equilibrium positions
US7965010B2 (en) * 2008-09-03 2011-06-21 Bose Corporation Linear motor with patterned magnet arrays
KR101088050B1 (ko) 2009-02-25 2011-11-30 세메스 주식회사 기판 처리 장치
JP4807424B2 (ja) 2009-03-17 2011-11-02 村田機械株式会社 天井搬送システムと物品の移載方法
US9325232B1 (en) * 2010-07-22 2016-04-26 Linear Labs, Inc. Method and apparatus for power generation
CZ2011211A3 (cs) 2011-04-12 2012-10-24 VÚTS, a.s. Zpusob a zarízení k merení vzájemné vzdálenosti dvou magnetu
US9371856B2 (en) * 2012-08-03 2016-06-21 Stephen Kundel Non-contact thrust bearing using permanent magnets
CN104442443B (zh) * 2014-11-25 2016-07-06 王向东 一种集悬浮、导向、推进和制动于一体的永磁磁悬浮机车***

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101098100A (zh) * 2006-06-26 2008-01-02 株式会社日立制作所 圆筒直线电动机以及使用了该电动机的车辆
KR20080014578A (ko) * 2006-08-11 2008-02-14 인더스트리얼 테크놀로지 리써치 인스티튜트 기판 이송 장치
CN201009760Y (zh) * 2006-12-27 2008-01-23 刘新广 永磁悬浮及磁轮推进车
CN101578760A (zh) * 2007-01-05 2009-11-11 东芝电梯株式会社 磁悬浮装置
CN104029686A (zh) * 2014-06-25 2014-09-10 中国人民解放军国防科学技术大学 一种磁悬浮列车的轨道组件
JP2016152668A (ja) * 2015-02-17 2016-08-22 住友重機械工業株式会社 リニアモータ、磁石ユニット、ステージ装置

Also Published As

Publication number Publication date
US11413967B2 (en) 2022-08-16
US10744886B2 (en) 2020-08-18
US20200346548A1 (en) 2020-11-05
US20180056810A1 (en) 2018-03-01
CN107792677A (zh) 2018-03-13
KR20180024445A (ko) 2018-03-08
KR101854034B1 (ko) 2018-05-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107792677B (zh) 非接触驱动模块和具有该模块的输送装置
US9246377B2 (en) Apparatus for transferring substrate
KR101531656B1 (ko) 자기 부상 이송 장치
KR101288599B1 (ko) 기판 이송 장치
KR101049222B1 (ko) 수직형 리니어모터를 이용한 자기부상 반송장치
KR20080104479A (ko) 기판 이송 장치
JP6168476B2 (ja) 搬送台車と搬送台車システム
KR101049221B1 (ko) 리니어 인덕션 모터를 이용한 자기부상 반송장치
CN102030192A (zh) 磁力悬浮传送***
KR102575953B1 (ko) 자기 부상 이송 장치
KR20110036445A (ko) 자기부상 반송 장치
TWI432370B (zh) 磁力懸浮傳送系統
KR20110049936A (ko) 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
CN111994584A (zh) 物品输送体
CN209141916U (zh) 电动悬浮运输设备
CN108217207B (zh) 磁悬浮式基板传送装置
JP7177123B2 (ja) キャリア搬送装置およびそれを備える搬送体制御システム
KR102670560B1 (ko) 자기 부상 타워 리프트의 캐리지 가이드 시스템 및 이를 이용한 캐리지 시스템
KR20150068093A (ko) 편심보상 전자석을 갖는 자기부상 시스템
US20230055201A1 (en) Carrier transport system, vacuum processing apparatus, and method of transportation of a carrier in a vacuum chamber
KR20230035953A (ko) 천장 이송 장치
KR101718417B1 (ko) 스토커 장치
JP2006076748A (ja) 懸垂式昇降搬送装置用台車におけるグリッパ装置
JPH05137203A (ja) 磁気浮上式搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant