KR102569490B1 - 자기력을 증대시키기 위한 비접촉 동력 전달 장치 및 이를 포함하는 이송 장치 - Google Patents

자기력을 증대시키기 위한 비접촉 동력 전달 장치 및 이를 포함하는 이송 장치 Download PDF

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이정훈
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우종현
이영근
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Abstract

본 발명의 실시예는 구동 레일과 구동 휠 사이의 정지력을 증대시킬 수 있는 비접촉 동력 전달 장치 및 이를 포함하는 이송 장치를 제공하고자 한다. 본 발명의 실시예에 따른 비접촉 동력 전달 장치는, 수평 방향을 따라 연장되며, 영구 자석들이 배치된 구동 레일; 상기 구동 레일의 제1 측면에 대하여 간격을 두고 배치되어 영구 자석들이 할박 배열의 형태로 배치된 구동 휠; 및 상기 구동 휠에 고정되어 함께 회전하도록 구성되며, 상기 구동 레일의 제1 측면에 수직한 제2 측면에 대하여 간격을 두고 영구 자석들이 배치된 보조 휠을 포함한다.

Description

자기력을 증대시키기 위한 비접촉 동력 전달 장치 및 이를 포함하는 이송 장치{NON-CONTACT POWER TRANSFER APPARATUS FOR INCREASING MAGNETIC FORCE AND TRANSFERRING EQUIPMENT INCLUDING THE SAME}
본 발명은 자기력을 증대시킬 수 있는 비접촉 동력 전달 장치 및 이를 포함하는 이송 장치에 관한 것이다.
회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 랙 피니언 기어와 같은 동력 전달 장치가 적용되고 있으며, 특히 물품을 이송하기 위한 이송 장치에 적용되고 있다. 다만 기존의 랙 피니언 기어와 같이 서로 접촉하는 기어가 맞물려 동작하는 동력 전달 장치는 부품간의 접촉에 의해 마모 및 파티클이 발생시킨다. 그러므로, 접촉식 동력 전달 장치는 매우 높은 수준의 청정 환경을 요구하는 반도체 제조 공장의 클린룸에서 사용되는 이송 장치에 적용되기에 부적합한 문제가 있었다.
따라서, 부품 간 접촉없이 동력을 전달할 수 있는 비접촉 동력 전달 장치가 필요해지고 있으며, 대한민국 특허 제10-2307205의 반도체 구동장비용 자기 증가형 디스크와 같이 영구 자석을 배열함으로써 비접촉 동력 전달 장치를 구성하는 기술이 소개되었다.
도 1은 종래의 영구 자석을 이용한 비접촉 동력 전달 장치의 구성을 도시한다. 구동 레일(10)은 금속체(110) 및 영구 자석(120)을 포함하고 금속체(110)와 영구 자석(120)이 교대로 배치된다. 구동 휠(20)은 휠 바디(210)와 영구 자석(220)을 포함한다. 직선으로 연장되며 영구 자석(120)들이 배치된 구동 레일(10)이 고정자가 되고, 구동 레일(10)의 영구 자석(120)과 결합된 영구 자석(220)들이 배치된 휠(20)이 회전자가 된다.
다만, 휠이 정지 상태에서 가속하거나 이동 상태에서 감속하는 과정에서 영구 자석들 간의 자기력이 충분하지 않은 경우 의도한 대로 속도 프로파일이 형성되지 않고 떨림(리플(Ripple))이 나타남을 확인하였다. 또한, 이러한 리플은 이송 장치의 하중이 증가함에 따라 더욱 크게 나타난다. 따라서, 비접촉 동력 전달 장치에서 보다 자기력을 증대시킬 수 있는 방법이 요구되고 있다.
한국등록특허 특허 제10-2307205호 (등록일: 2021.09.24.)
본 발명의 실시예는 구동 레일과 구동 휠 사이의 자기력을 증대시킬 수 있는 비접촉 동력 전달 장치 및 이를 포함하는 이송 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 비접촉 동력 전달 장치는, 수평 방향을 따라 연장되며, 영구 자석들이 배치된 구동 레일; 상기 구동 레일의 제1 측면에 대하여 간격을 두고 배치되어 영구 자석들이 할박 배열의 형태로 배치된 구동 휠; 및 상기 구동 휠에 고정되어 함께 회전하도록 구성되며, 상기 구동 레일의 제1 측면에 수직한 제2 측면에 대하여 간격을 두고 영구 자석들이 배치된 보조 휠을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 보조 휠에서 상기 구동 휠의 영구 자석과 동일한 극성을 갖는 영구 자석이 인접하게 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 수평 방향의 극성을 갖는 영구 자석이 상기 구동 휠 및 상기 보조 휠의 영구 자석에 서로 맞물리도록 상기 구동 레일에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동 레일의 상기 제1 측면과 상기 구동 휠의 영구 자석이 서로 견인력을 발생시키고 상기 구동 레일의 상기 제2 측면과 상기 보조 휠의 영구 자석이 서로 견인력을 발생시키도록 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동 레일에서 서로 반대 방향의 극성을 갖는 영구 자석들이 교대로 배열될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 보조 휠에서 서로 반대 방향의 극성을 갖는 영구 자석들이 교대로 배열될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 보조 휠에서 상기 영구 자석들이 할박 배열에 따라 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동 레일의 한 쌍으로 제공되고, 상기 구동 휠은 상기 구동 레일 사이에 위치할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동 휠은 한 쌍으로 제공되며, 상기 한 쌍의 구동 휠 사이에 보조 휠이 연결됨으로써 휠 조립체가 구성되고, 상기 구동 레일은 상기 휠 조립체에서 상기 한 쌍의 구동 휠 사이에 위치할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 복수개의 상기 휠 조립체가 서로 고정 결합되도록 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동 휠에서 인접한 영구 자석끼리 서로 직교한 방향의 극성을 갖도록 배열되는 할박 배열이 복수개의 쌍으로 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 이송 장치는, 비접촉 동력 전달 장치 및 상기 비접촉 동력 전달 장치의 중심축에 결합되어 상기 구동 휠을 회전시키는 구동 모터를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 구동 휠에 고정되어 함께 회전하도록 구성되며 구동 레일의 상부면에 대하여 간격을 두고 영구 자석들이 배치된 보조 휠을 구성함으로써, 구동 휠과 함께 보조 휠의 영구 자석에 의해 추가적인 자기력이 발생하므로 비접촉 동력 전달 장치의 휠과 구동 레일 사이의 자기력이 보다 증대될 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 비접촉 동력 전달 장치를 도시한다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 보조 휠이 적용된 비접촉 동력 전달 장치를 도시한다.
도 5 및 도 6은 할박 배열의 영구 자석들이 배치된 보조 휠을 포함하는 비접촉 동력 전달 장치를 도시한다.
도 7은 2개의 구동 휠과 보조 휠에 의해 구성된 휠 구조체를 포함하는 비접촉 동력 전달 장치를 도시한다.
도 8은 4개의 구동 휠과 2개의 보조 휠에 의해 구성된 휠 구조체를 포함하는 비접촉 동력 전달 장치를 도시한다.
도 9는 본 발명에 따른 비접촉 동력 전달 장치를 포함하는 이송 장치를 도시한다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(또는 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결(또는 결합)"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결(또는 결합)"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 종래 기술에 따른 비접촉 동력 전달 장치를 도시한다. 구동 레일(10)은 금속체(110) 및 영구 자석(120)을 포함하고 금속체(110)와 영구 자석(120)이 교대로 배치된다. 금속체(110)에는 알루미늄(Al)과 같은 금속성 물질이 사용될 수 있다. 구동 휠(20)은 휠 바디(210)와 영구 자석(220)을 포함한다. 직선으로 연장되며 영구 자석(120)들이 배치된 구동 레일(10)이 고정자가 되고, 구동 레일(10)의 영구 자석(120)과 결합된 영구 자석(220)들이 배치된 휠(20)이 회전자가 된다.
다만, 휠이 정지 상태에서 가속하거나 이동 상태에서 감속하는 과정에서 영구 자석들 간의 자기력이 충분하지 않은 경우 의도한 대로 속도 프로파일이 형성되지 않고 떨림(Ripple)이 나타남을 확인하였다.
본 발명은 구동 레일(10)과 구동 휠(20) 사이의 자기력을 증대시킬 수 있는 비접촉 동력 전달 장치(1) 및 이를 포함하는 이송 장치(2000)를 제공한다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 보조 휠(30)이 적용된 비접촉 동력 전달 장치(1)를 도시한다. 도 2는 비접촉 동력 전달 장치(1)의 사시도이고, 도 3은 일 방향(Z축 방향)에서 바라본 비접촉 동력 전달 장치(1)를 도시하고, 도 4는 일 방향(Y축 방향)에서 바라본 비접촉 동력 전달 장치(1)를 도시한다.
본 발명에 따른 비접촉 동력 전달 장치(1)는, 수평 방향을 따라 연장되며, 영구 자석(120)들이 배치된 구동 레일(10)과, 구동 레일(10)의 제1 측면(10A)에 대하여 간격(d1)을 두고 배치되어 영구 자석(220)들이 할박 배열의 형태로 배치된 구동 휠(20)과, 구동 휠(20)에 고정되어 함께 회전하도록 구성되며, 구동 레일(10)의 제1 측면(10A)에 수직한 제2 측면(10B)에 대하여 간격(d2)을 두고 영구 자석(320)들이 배치된 보조 휠(30)을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 구동 휠(20)에 고정되어 함께 회전하도록 구성되며 구동 레일(10)의 제2 측면(10B)에 대하여 간격(d2)을 두고 영구 자석(320)들이 배치된 보조 휠(30)을 구성함으로써, 구동 휠(20)과 함께 보조 휠(30)의 영구 자석(320)에 의해 추가적인 자기력이 발생하므로 비접촉 동력 전달 장치(1)의 구동 휠(20), 보조 휠(30)과 구동 레일(10) 사이의 자기력이 보다 증대될 수 있다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 구동 레일(10)이 수평 방향(Y 방향)으로 연장되어 구성되며, 구동 레일(10)은 구동 휠(20)이 회전에 의해 이동하는 경로를 형성한다. 구동 레일(10)은 금속체(110)와 금속체(110) 사이에 배치된 영구 자석(120)을 포함한다. 영구 자석(120)은 서로 반대 방향의 극성을 갖는 영구 자석(121, 123)이 교대로 배열된다. 도 3에서 표시된 영구 자석(120)의 화살표 방향은 N극에서 S극을 지시하며, 영구 자석(121, 123)은 서로 반대 방향의 극성을 갖는다.
구동 휠(20)은 구동 레일(10)의 제1 측면(10A)에 대하여 일정 간격(d1)을 두고 위치하도록 설정된다. 구동 휠(20)은 금속성 물질로 구성되어 원판 형태로 구성된 휠 바디(210)와 휠 바디(210)의 외각부에 할박 배열(Halbach Array)의 형태로 배치된 영구 자석(220)을 포함한다. 할박 배열이란 서로 수직한 방향의 극성을 같은 영구 자석들을 배열하여 일측에는 높은 자기장이 형성되고 반대측에는 거의 0에 가까운 자기장이 형성되도록 하는 특수한 형태의 자석 배열을 나타낸다. 도 3에 도시된 것과 같이, 서로 직교한 방향의 극성을 갖는 인접한 영구 자석들(221, 222, 223, 224)이 서로 인접하도록 배열됨으로써 할박 배열을 구성하며, 할박 배열로 구성된 영구 자석(220)의 복수개 쌍이 구동 휠(20)에 설치될 수 있다.
한편, 구동 휠(20)에 보조 휠(30)이 고정 결합되어 구동 휠(20)과 동일한 회전축에 대하여 회전되도록 구성된다. 도 4에 도시된 것과 같이, 보조 휠(30)은 구동 레일(10)의 제2 측면(10B)로부터 간격(d2)을 두고 위치하도록 구성된다. 마찬가지로 보조 휠(30)은 휠 바디(310)와 휠 바디(310)의 외각부에 배치된 영구 자석(320)을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 도 3과 같이 보조 휠(30)에서 반경 방향으로 서로 반대 방향의 극성을 갖는 영구 자석들(321, 323)이 교대로 배열될 수 있다.
또한, 도 5와 같이 보조 휠(30)에서 영구 자석들(321, 322, 323, 324)이 할박 배열에 따라 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 보조 휠(30)에서 구동 휠(20)의 영구 자석(220)에 수직 방향의 극성을 갖는 영구 자석(320)이 인접하게 배치된다. 도 3에 도시된 것과 같이, 서로 수직 방향의 극성을 갖는 영구 자석끼리 구동 휠(20)과 보조 휠(30)이 인접하도록 배치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 구동 휠(20) 및 보조 휠(30)의 영구 자석(220, 320)과 수평 방향의 극성을 갖는 영구 자석(120)이 구동 휠(20) 및 보조 휠(30)의 영구 자석(220, 320)에 맞물리도록 구동 레일(10)에 배치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 구동 레일(10)의 제1 측면(10A)과 구동 휠(20)의 영구 자석(220)이 서로 견인력을 발생시키고 구동 레일(10)의 제2 측면(10B)과 보조 휠(30)의 영구 자석(320)이 서로 견인력을 발생시키도록 구성된다. 본 발명에 따르면, 구동 휠(20)의 영구 자석(220)과 함께 보조 휠(30)의 영구 자석(320)이 구동 레일(10)의 영구 자석(120)에 견인력을 발생시킴으로써 보다 자기력을 증대시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 구동 레일(10)의 한 쌍으로 제공되고, 구동 휠(20)은 구동 레일(10) 사이에 위치하도록 구성될 수 있다. 도 6에 도시된 것과 같이, 한 쌍의 구동 레일(10)이 일정 간격을 두고 배치되고, 구동 휠(20)이 구동 레일(10) 사이에 위치하되 구동 휠(20)의 영구 자석(220)이 양 측에 위치한 구동 레일(10)의 영구 자석(120)과 자기력에 의해 결합되도록 할 수 있다. 여기서 구동 휠(20)의 영구 자석(220)은 양 측에 위치한 구동 레일의 영구 자석(120)과 결합되도록 휠 바디(210)의 양 측에 각각 분리되어 구성될 수도 있고, 일체로 구성될 수도 있다. 도 5 및 도 6은 보조 휠(30)에서 영구 자석(320)들이 할박 배열로 배치된 경우를 도시하나, 보조 휠(30)에서 영구 자석(320)들은 도 2 내지 도 4와 같이 반대의 극성을 갖는 영구 자석(320)들이 교대로 배열되는 구조도 가능하다.
본 발명의 실시예에 따르면, 구동 휠(20)은 한 쌍으로 제공되며, 한 쌍의 구동 휠(20) 사이에 보조 휠(30)이 연결됨으로써 휠 조립체(1000)가 구성되고, 구동 레일(10)은 휠 조립체에서 한 쌍의 구동 휠(20) 사이에 위치할 수 있다. 도 7에 도시된 것과 같이, 한 쌍의 구동 휠(20)과 보조 휠(30)이 휠 조립체(1000)를 구성하고, 구동 레일(10)이 보조 휠(30)의 하부와 한 쌍의 구동 휠(20) 사이에 위치하며, 구동 레일(10)의 영구 자석(120)이 양 측에 위치한 구동 휠(20)의 영구 자석(220) 및 상부에 위치한 보조 휠(30)의 영구 자석과 자기력에 의해 결합된다.
또한, 복수개의 휠 조립체(1000)가 서로 고정 결합되도록 구성될 수 있다. 도 8에 도시된 것과 같이 2개의 휠 조립체(1000)가 서로 고정되도록 결합되고, 휠 조립체(1000) 마다 구동 레일(10)이 보조 휠(30)의 하부와 한 쌍의 구동 휠(20) 사이에 위치하도록 구성될 수 있다. 이 경우, 하나의 휠 조립체(1000)와 구동 레일(10)을 구성하는 경우에 비하여 더욱 큰 견인력을 생성하므로 정지력을 증대시킬 수 있다. 뿐만 아니라, 3개 또는 그 이상의 휠 조립체(1000)가 서로 결합하여 비접촉 동력 전달 장치(1)를 구성하는 것도 가능할 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 구동 휠(20)에서 인접한 영구 자석들(221, 222, 223, 224)끼리 서로 직교한 방향의 극성을 갖도록 배열되는 할박 배열이 복수개의 쌍으로 구성될 수 있다. 할박 배열 쌍의 개수는 시스템의 요구에 따라 설계될 수 있다.
도 9는 본 발명에 따른 비접촉 동력 전달 장치(1)를 포함하는 이송 장치(2)를 도시한다.
본 발명에 따른 이송 장치(2)는 앞서 설명한 비접촉 동력 전달 장치(1) 및 비접촉 동력 전달 장치(1)의 중심축에 결합되어 구동 휠(20)을 회전시키는 구동 모터(40)를 포함한다. 비접촉 동력 전달 장치(1)는 수평 방향을 따라 연장되며 영구 자석(120)들이 배치된 구동 레일(10), 구동 레일(10)의 제1 측면(10A)에 대하여 간격(d1)을 두고 배치되어 영구 자석(220)들이 할박 배열의 형태로 배치된 구동 휠(20)과, 구동 휠(20)에 고정되어 함께 회전하도록 구성되며, 구동 레일(10)의 제1 측면(10A)에 수직한 제2 측면(10B)에 대하여 간격(d2)을 두고 영구 자석(320)들이 배치된 보조 휠(30)을 포함한다.
도 9에 도시된 것과 같이, 구동 모터(40)가 구동 휠(20)에 결합되어 구동 휠(20) 및 보조 휠(30)을 회전시키고, 구동 휠(20) 및 보조 휠(30)의 영구 자석(220, 320)이 구동 레일(10)의 영구 자석(120)에 대하여 자기력에 의해 결합됨으로써 서로 기어와 같이 맞물리게 되어 구동 휠(20)의 회전시 구동 휠(20)이 구동 레일(10)을 따라 이동하게 된다. 도 9와 같이 구성된 이송 장치(2)는 구동 레일(10)과 구동 휠(20)이 서로 접촉하지 않으면서 동작하므로 마찰이 없으며, 또한 보조 휠(30)을 구성하여 구동 레일(10)에 대한 정지력을 증가시킬 수 있어 보다 원활한 동작을 가능하게 한다.
본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것이 자명하다고 할 것이다.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
1: 비접촉 동력 전달 장치
2: 이송 장치
10: 구동 레일
110: 금속체
120: 영구 자석
20: 구동 휠
210: 휠 바디
220: 영구 자석
30: 보조 휠
310: 휠 바디
320: 영구 자석
40: 구동 모터

Claims (12)

  1. 수평 방향을 따라 연장되며, 영구 자석들이 배치된 구동 레일;
    상기 구동 레일의 제1 측면에 대하여 간격을 두고 배치되어 영구 자석들이 할박 배열의 형태로 배치된 구동 휠; 및
    상기 구동 휠에 고정되어 함께 회전하도록 구성되며, 상기 구동 레일의 제1 측면에 수직한 제2 측면에 대하여 간격을 두고 영구 자석들이 배치된 보조 휠을 포함하는, 비접촉 동력 전달 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 보조 휠에서 상기 구동 휠의 영구 자석과 직교하는 극성을 갖는 영구 자석이 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는, 비접촉 동력 전달 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    수평 방향의 극성을 갖는 영구 자석이 상기 구동 휠 및 상기 보조 휠의 영구 자석에 서로 맞물리도록 상기 구동 레일에 배치되는 것을 특징으로 하는, 비접촉 동력 전달 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 구동 레일의 상기 제1 측면과 상기 구동 휠의 영구 자석이 서로 견인력을 발생시키고 상기 구동 레일의 상기 제2 측면과 상기 보조 휠의 영구 자석이 서로 견인력을 발생시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 비접촉 동력 전달 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 구동 레일에서 서로 반대 방향의 극성을 갖는 영구 자석들이 교대로 배열되는 것을 특징으로 하는, 비접촉 동력 전달 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 보조 휠에서 서로 반대 방향의 극성을 갖는 영구 자석들이 교대로 배열되는 것을 특징으로 하는, 비접촉 동력 전달 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 보조 휠에서 상기 영구 자석들이 할박 배열에 따라 배치되는 것을 특징으로 하는, 비접촉 동력 전달 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 구동 레일의 한 쌍으로 제공되고,
    상기 구동 휠은 상기 구동 레일 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는, 비접촉 동력 전달 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 구동 휠은 한 쌍으로 제공되며, 상기 한 쌍의 구동 휠 사이에 보조 휠이 연결됨으로써 휠 조립체가 구성되고,
    상기 구동 레일은 상기 휠 조립체에서 상기 한 쌍의 구동 휠 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는, 비접촉 동력 전달 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    복수개의 상기 휠 조립체가 서로 고정 결합되도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 비접촉 동력 전달 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 구동 휠에서 인접한 영구 자석끼리 서로 직교한 방향의 극성을 갖도록 배열되는 할박 배열이 복수개의 쌍으로 구성되는, 비접촉 동력 전달 장치.
  12. 제1항에 따른 비접촉 동력 전달 장치 및 상기 비접촉 동력 전달 장치의 중심축에 결합되어 상기 구동 휠을 회전시키는 구동 모터를 포함하는 이송 장치.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003294101A (ja) * 2002-03-29 2003-10-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 摩擦駆動装置に弾性変形可能駆動素子を用いる低コストで力の伝達率が高い方法および装置
KR20180024445A (ko) * 2016-08-30 2018-03-08 세메스 주식회사 비접촉 주행 모듈 및 이를 포함하는 이송 장치
KR102307205B1 (ko) 2021-05-18 2021-09-30 주식회사 에이치씨씨 반도체 구동장비용 자기 증가형 디스크

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