KR101854034B1 - 비접촉 주행 모듈 및 이를 포함하는 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

비접촉 주행 모듈과 이를 포함하는 이송 장치가 개시된다. 상기 이송 장치는, 서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 가이드 레일들과, 상기 가이드 레일들을 따라 이동 가능하게 구성된 대차와, 상기 대차에 장착된 비접촉 주행 모듈을 포함하며, 상기 비접촉 주행 모듈은, 상기 가이드 레일들과 평행하게 연장하며 연장 방향을 따라 배치된 복수의 제1 영구자석들과 제2 영구자석들을 각각 포함하는 한 쌍의 주행 레일들과, 상기 주행 레일들 사이에서 상기 주행 레일들로부터 소정 간격 이격되도록 배치되며 원주 방향으로 배치된 복수의 제3 영구자석들을 포함하는 구동 휠과, 상기 구동 휠을 회전시키기 위한 구동부를 포함한다. 특히, 상기 구동 휠이 상기 주행 레일들을 따라 이동되도록 상기 제3 영구자석들 중 일부가 상기 제1 및 제2 영구자석들 사이에 배치된다.

Description

비접촉 주행 모듈 및 이를 포함하는 이송 장치{Contactless driving module and transfer apparatus having the same}
본 발명의 실시예들은 비접촉 주행 모듈 및 이를 포함하는 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 영구자석들 사이의 흡인력을 이용하여 비접촉 방식의 주행이 가능하도록 구성된 비접촉 주행 모듈과 이를 포함하는 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정에서 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼는 FOUP(Front Opening Unified Pod), FOSB(Front Opening Shipping Box) 등과 같은 수납 용기에 수납된 상태에서 공정 설비들 사이에서 이송될 수 있다. 상기 수납 용기는 OHT(Overhead Hoist Transport), RGV(Rail Guided Vehicle) 등과 같은 이송 장치에 의해 이송될 수 있다.
상기 이송 장치는 클린룸의 천장 또는 바닥에 설치된 주행 레일들을 따라 이동할 수 있으며, 복수의 주행 휠들과 상기 주행 휠들을 회전시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다. 그러나, 최근 반도체 소자들의 집적도가 증가됨에 따라 클린룸 내부의 청정도를 보다 높게 유지할 필요가 있으며, 이에 따라 상기 주행 레일들과 상기 주행 휠들 사이의 마찰에 의해 발생되는 파티클이 청정도 유지를 위한 주요 관리 대상으로 주목되고 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-1088050호 (등록일자: 2011년 11월 23일) 대한민국 등록특허공보 제10-1356569호 (등록일자: 2014년 01월 22일)
본 발명의 실시예들은 파티클 발생을 감소시킬 수 있는 비접촉 주행 모듈과 이를 포함하는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 비접촉 주행 장치는, 서로 평행하게 연장하며 연장 방향을 따라 배치된 복수의 제1 영구자석들과 제2 영구자석들을 각각 포함하는 한 쌍의 주행 레일들과, 상기 주행 레일들 사이에서 상기 주행 레일들로부터 소정 간격 이격되도록 배치되며 원주 방향으로 배치된 복수의 제3 영구자석들을 포함하는 구동 휠과, 상기 구동 휠을 회전시키기 위한 구동부를 포함할 수 있으며, 상기 구동 휠이 상기 주행 레일들을 따라 이동되도록 상기 제3 영구자석들 중 일부가 상기 제1 및 제2 영구자석들 사이에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 영구자석들은 N극과 S극이 상기 연장 방향으로 배치되고 동일한 극성들이 상기 연장 방향으로 서로 마주하도록 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 영구자석들은 N극과 S극이 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 배치되고 상기 연장 방향으로 극성들이 변화되도록 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 영구자석들은 할바흐 배열 형태로 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 영구자석들의 N극과 S극은 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들의 N극과 S극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 영구자석들의 N극과 S극은 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들의 S극과 N극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제3 영구자석들은 할바흐 배열 형태로 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 구동 휠은 할바흐 배열 형태로 배치된 복수의 제4 영구자석들을 더 포함할 수 있으며, 상기 제3 및 제4 영구자석들은 상기 제1 및 제2 영구자석들과 각각 마주하도록 상기 구동 휠의 양측에 각각 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제3 영구자석들은 N극과 S극이 상기 원주 방향으로 배치되고 동일한 극성들이 상기 원주 방향으로 서로 마주하도록 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제3 영구자석들은 N극과 S극이 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 배치되고 상기 원주 방향으로 극성들이 변화되도록 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 구동 휠은 N극과 S극이 상기 제2 방향으로 배치되고 상기 원주 방향으로 극성들이 변화되도록 배치되는 제4 영구자석들을 더 포함할 수 있으며, 상기 제3 및 제4 영구자석들은 상기 제1 및 제2 영구자석들과 각각 마주하도록 상기 구동 휠의 양측에 각각 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 영구자석들의 상기 연장 방향 피치와 상기 제3 영구자석들의 원주 방향 피치는 동일하게 구성될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 이송 장치는, 서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 가이드 레일들과, 상기 가이드 레일들을 따라 이동 가능하게 구성된 대차와, 상기 대차에 장착된 비접촉 주행 모듈을 포함할 수 있으며, 상기 비접촉 주행 모듈은, 상기 가이드 레일들과 평행하게 연장하며 연장 방향을 따라 배치된 복수의 제1 영구자석들과 제2 영구자석들을 각각 포함하는 한 쌍의 주행 레일들과, 상기 주행 레일들 사이에서 상기 주행 레일들로부터 소정 간격 이격되도록 배치되며 원주 방향으로 배치된 복수의 제3 영구자석들을 포함하는 구동 휠과, 상기 구동 휠을 회전시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다. 특히, 상기 구동 휠이 상기 주행 레일들을 따라 이동되도록 상기 제3 영구자석들 중 일부가 상기 제1 및 제2 영구자석들 사이에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는 상기 대차를 상기 가이드 레일들로부터 부상시키기 위한 자기 부상 모듈을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 대차는 상기 가이드 레일들을 감싸는 가이드 프레임들을 포함할 수 있으며, 상기 자기 부상 모듈은 상기 가이드 레일들의 하부와 마주하도록 상기 가이드 프레임들에 장착되는 자기 부상 코일들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가이드 프레임들과 상기 가이드 레일들의 서로 마주하는 측면들 상에는 서로 반발력을 발생시키는 제1 및 제2 가이드 자석들이 각각 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 가이드 자석들 중 하나는 전자석으로 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는 상기 가이드 레일들의 상부와 마주하도록 상기 가이드 프레임들에 장착되는 보조 휠들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 대차는 상기 가이드 레일들의 상부에 놓여지는 주행 휠들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 대차는 상기 가이드 레일들의 측면들에 접하는 가이드 휠들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 대차의 하부에는 호이스트 모듈이 장착될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는 상기 가이드 레일들과 상기 주행 레일들을 지지하기 위한 서포트 레일을 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 비접촉 주행 모듈은 주행 방향으로 배치된 제1 및 제2 영구자석들을 포함하는 제1 및 제2 주행 레일들 사이에서 원주 방향으로 배치된 제3 영구자석들을 포함하는 구동 휠을 회전시킴으로써 추진력을 발생시킬 수 있다. 특히, 구동 휠들을 상기 제1 및 제2 주행 레일들과 접촉되지 않도록 배치하고 상기 제1, 제2 및 제3 영구자석들 사이의 자기 흡인력을 이용하여 추진력을 발생시킬 수 있으므로 마찰력을 이용하는 종래 기술과 비교하여 파티클 발생량을 크게 감소시킬 수 있다.
또한, 자기 부상 코일들을 이용하여 대차를 부상시킨 상태에서 상기 비접촉 주행 모듈을 이용하여 상기 대차를 이동시킬 수 있으며, 이에 따라 파티클 발생량을 충분히 감소시킬 수 있다. 추가적으로, 상기와 같이 자기력을 이용하여 추진력을 발생시킬 수 있으므로 종래 기술과 비교하여 상기 이송 장치의 운행시 발생되는 진동 및 소음을 크게 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 구동 휠의 제3 영구자석들을 설명하기 위한 전개도이다.
도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 6은 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 7은 도 5에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 8은 도 6 및 도 7에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 전개도이다.
도 9는 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 10은 도 9에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 전개도이다.
도 11은 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 12는 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 13은 도 12에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 전개도이다.
도 14, 도 15 및 도 16은 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예들을 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.
도 17, 도 18 및 도 19는 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예들을 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.
도 20은 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 전개도이다.
도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 주행 모듈을 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 22는 도 21에 도시된 이송 장치의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 23은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 주행 모듈(100)은 마찰력을 이용하여 추진력을 발생시키는 종래의 주행 모듈과 비교하여 비접촉 방식으로 추진력을 발생시킴으로써 파티클 발생을 감소시키기 위해 사용될 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 주행 모듈(100)은 반도체 제조 공정이 수행되는 클린룸 내부에서 기판 등의 물품 이송을 위해 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 비접촉 주행 모듈(100)은 서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 주행 레일들, 예를 들면, 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)과, 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120) 사이에 배치된 구동 휠(130)과, 상기 구동 휠(130)을 회전시키기 위한 구동부(140)를 포함할 수 있다. 특히, 마찰력을 대신하여 자석들 사이에서 발생되는 흡인력을 이용하기 위하여 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)은 연장 방향을 따라 배치된 제1 영구자석들(112)과 제2 영구자석들(122)을 포함할 수 있으며, 상기 구동 휠(130)은 원주 방향으로 배치되는 제3 영구자석들(132)을 포함할 수 있다.
상기 구동부(140)는 상기 구동 휠(130)이 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)을 따라 이동할 수 있도록 상기 구동 휠(130)을 회전시킬 수 있다. 일 예로서, 상기 구동부(140)는 상기 모터를 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 제1, 제2 및 제3 영구자석들(112, 122, 132) 사이의 자기력과 상기 구동부(140)에 의해 인가되는 회전력에 의해 추진력이 발생될 수 있다.
상기 구동 휠(130)은 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)로부터 소정 간격 이격되도록 배치될 수 있다. 특히, 상기 구동 휠(130)이 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)을 따라 이동되도록 상기 제3 영구자석들(132) 중 일부, 도시된 바에 의하면 상기 구동 휠(130)의 하단 부위에 배치된 제3 영구자석들(132) 중 일부가 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122) 사이에 배치될 수 있다. 결과적으로, 상기 구동 휠(130)과 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120) 사이의 접촉없이 상기 구동 휠(130)의 주행이 이루어질 수 있다.
상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 상기 연장 방향으로 N극과 S극이 배치될 수 있으며, 특히 도시된 바와 같이 동일한 극성들이 상기 연장 방향으로 서로 마주하도록 배치될 수 있다. 상기 제3 영구자석들(132)은 도 1에 도시된 바와 같이 할바흐 배열(Halbach Array) 형태를 갖도록 상기 원주 방향으로 배치될 수 있다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 구동 휠의 제3 영구자석들을 설명하기 위한 전개도이다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 제3 영구자석들(132) 중 일부는 N극과 S극이 원주 방향으로 배열되도록 구성되며, 나머지는 N극과 S극이 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 배열되도록 구성될 수 있다. 또한, 상기 제3 영구자석들(132)은 상기 원주 방향으로 극성이 변화되도록 배치될 수 있다.
상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)과 상기 제3 영구자석들(132) 사이의 자기력을 증가시키기 위해 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)의 상기 연장 방향으로의 피치와 상기 제3 영구자석들(132)의 상기 원주 방향으로의 피치는 동일하게 구성되는 것이 바람직하며, 또한 상기 제1 영구자석들(112)의 N극과 S극은 상기 연장 방향에 직교하는 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들(122)의 S극과 N극에 각각 마주하도록 배치되는 것이 바람직하다.
도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 N극과 S극이 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)의 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 배치되고 상기 연장 방향으로 극성들이 변화되도록 배치될 수 있다. 이때, 구동 휠(130)의 제3 영구자석들(132)은 도 1 및 도 3을 참조하여 기 설명된 바와 같이 할바흐 배열 형태를 갖도록 원주 방향으로 배치될 수 있다.
상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)의 상기 연장 방향 피치는 상기 제3 영구자석들(132)의 상기 원주 방향 피치와 동일하게 구성될 수 있으며, 상기 제1 영구자석들(112)의 N극과 S극은 상기 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들(122)의 S극과 N극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다.
도 6은 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 7은 도 5에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 단면도이며, 도 8은 도 6 및 도 7에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 전개도이다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)의 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)의 연장 방향으로 할바흐 배열 형태로 배치될 수 있다. 특히, 도시된 바와 같이 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 서로 대응하는 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)의 극성들은 동일한 방향으로 배열될 수 있다. 이때, 구동 휠(130)의 제3 영구자석들(132)은 도 1 및 도 3을 참조하여 기 설명된 바와 같이 할바흐 배열 형태로 배치될 수 있다.
상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)의 상기 연장 방향 피치는 상기 제3 영구자석들(132)의 상기 원주 방향 피치와 동일하게 구성될 수 있다. 특히, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 제3 영구자석들(132)을 상기 연장 방향으로 펼친 경우 상기 제3 영구자석들(132)은 상기 연장 방향으로 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)과 반대의 극성 배열을 가질 수 있으며, 상기 제2 방향으로 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)과 동일한 극성 배열을 가질 수 있다.
도 9는 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 10은 도 9에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 전개도이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)은 연장 방향으로 N극과 S극이 배치되고 동일한 극성들이 상기 연장 방향으로 서로 마주하도록 배치되는 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)을 포함할 수 있다. 특히, 도시된 바와 같이 상기 제1 영구자석들(112)의 N극과 S극은 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들(122)의 N극과 S극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다.
구동 휠(130)은 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120) 사이에 배치될 수 있으며, 할바흐 배열 형태를 갖도록 원주 방향으로 각각 배치되는 제3 영구자석들(132)과 제4 영구자석들(134)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)은 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)에 각각 마주하도록 상기 구동 휠(130)의 양측에 각각 배치될 수 있다. 특히, 도시된 바와 같이 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)의 일부는 N극과 S극이 상기 원주 방향으로 배치될 수 있으며, 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)의 나머지는 N극과 S극이 상기 제2 방향으로 배치될 수 있다. 이때, 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)의 일부는 상기 원주 방향으로 동일한 극성들이 서로 마주하도록 배치될 수 있으며, 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)의 나머지는 상기 제2 방향으로 동일한 극성들이 서로 마주하도록 배치될 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)의 상기 연장 방향으로의 피치는 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)의 상기 원주 방향으로의 피치와 동일하게 구성될 수 있다.
도 11은 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 11을 참조하면, 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 N극과 S극이 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)의 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 배치되고 상기 연장 방향으로 극성들이 변화되도록 배치될 수 있다. 이때, 구동 휠(130)은 도 9 및 도 10을 참조하여 기 설명된 바와 같이 할바흐 배열 형태를 갖도록 원주 방향으로 배치된 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)의 상기 연장 방향으로의 피치는 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)의 상기 원주 방향으로의 피치와 동일하게 구성될 수 있으며, 상기 제1 영구자석들(112)의 N극과 S극은 상기 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들(122)의 N극과 S극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다.
도 12는 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 13은 도 12에 도시된 비접촉 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 전개도이다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)의 연장 방향을 따라 할바흐 배열 형태로 배치될 수 있으며, 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)은 구동 휠(130)의 원주 방향으로 할바흐 배열 형태로 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 영구자석들(112)과 제3 영구자석들(132)이 서로 마주하도록 배치될 수 있으며, 상기 제2 영구자석들(122)과 제4 영구자석들(134)이 서로 마주하도록 배치될 수 있다.
특히, 도 13에 도시된 바와 같이 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)은 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 동일한 극성들이 서로 마주하도록 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)은 상기 원주 방향으로 동일한 극성 배열을 가질 수 있으며, 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 서로 반대의 극성 배열을 가질 수 있다. 또한, 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)을 상기 연장 방향으로 펼친 경우, 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)은 상기 연장 방향으로 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)과 반대의 극성 배열을 각각 가질 수 있으며, 상기 제2 방향으로 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)과 동일한 극성 배열을 각각 가질 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)의 상기 연장 방향으로의 피치는 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)의 상기 원주 방향으로의 피치와 동일하게 구성될 수 있다.
도 14, 도 15 및 도 16은 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예들을 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.
도 14 내지 도 16을 참조하면, 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)은 연장 방향으로 배열된 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)을 각각 포함할 수 있으며, 구동 휠(130)은 원주 방향으로 배열된 제3 영구자석들(132)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 제3 영구자석들(132)은 N극과 S극이 상기 원주 방향으로 배치되고 동일한 극성들이 상기 원주 방향으로 서로 마주하도록 배치될 수 있다.
이때, 도 14에 도시된 바와 같이 상기 제1 및 제2 영구 자석들(112, 122)은 상기 연장 방향으로 N극과 S극이 배치될 수 있다. 특히, 상기 제1 영구자석들(112)의 N극과 S극은 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들(122)의 N극과 S극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다.
다른 예로서, 도 15에 도시된 바와 같이 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 상기 제2 방향으로 N극과 S극이 배치될 수 있다. 특히, 상기 제1 영구자석들(112)의 N극과 S극은 도 11에 도시된 바와 같이 상기 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들(122)의 N극과 S극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다.
또 다른 예로서, 도 16에 도시된 바와 같이 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 상기 연장 방향으로 할바흐 배열 형태를 갖도록 배치될 수 있다. 특히, 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이 상기 제2 방향으로 동일한 극성들이 서로 마주하도록 배치될 수 있다.
도 17, 도 18 및 도 19는 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예들을 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.
도 17 내지 도 19를 참조하면, 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)은 연장 방향으로 배열된 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)을 각각 포함할 수 있으며, 구동 휠(130)은 원주 방향으로 배열된 제3 영구자석들(132)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 제3 영구자석들(132)은 N극과 S극이 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 배치되고 상기 원주 방향으로 극성들이 변화되도록 배치될 수 있다.
이때, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 제1 및 제2 영구 자석들(112, 122)은 상기 연장 방향으로 N극과 S극이 배치될 수 있다. 특히, 상기 제1 영구자석들(112)의 N극과 S극은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들(122)의 S극과 N극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다.
다른 예로서, 도 18에 도시된 바와 같이 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 상기 제2 방향으로 N극과 S극이 배치될 수 있다. 특히, 상기 제1 영구자석들(112)의 N극과 S극은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들(122)의 S극과 N극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다.
또 다른 예로서, 도 19에 도시된 바와 같이 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 상기 연장 방향으로 할바흐 배열 형태를 갖도록 배치될 수 있다. 특히, 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이 상기 제2 방향으로 서로 대응하는 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)의 극성들이 동일한 방향으로 배열되도록 배치될 수 있다.
도 20은 도 1 및 도 2에 도시된 비접촉 주행 모듈의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 전개도이다.
도 20을 참조하면, 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)은 연장 방향으로 배열된 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)을 각각 포함할 수 있으며, 구동 휠(130)은 원주 방향으로 배열된 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)은 N극과 S극이 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 배치되고 상기 원주 방향으로 극성들이 변화되도록 배치될 수 있다. 또한, 상기 제3 영구자석들(132)의 N극과 S극은 상기 제2 방향으로 제4 영구자석들(134)의 N극과 S극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다.
이때, 도 20에 도시된 바와 같이 상기 제1 및 제2 영구 자석들(112, 122)은 상기 연장 방향으로 N극과 S극이 배치될 수 있다. 특히, 상기 제1 영구자석들(112)의 N극과 S극은 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들(122)의 N극과 S극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다. 또한, 도시된 바와 같이 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)을 상기 연장 방향으로 펼친 경우 상기 제3 및 제4 영구자석들(132, 134)의 N극과 S극은 상기 제2 방향으로 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)의 S극과 N극에 마주하도록 배치될 수 있다.
다른 예로서, 도시되지는 않았으나, 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 상기 제2 방향으로 N극과 S극이 배치될 수 있다. 특히, 상기 제1 영구자석들(112)의 N극과 S극은 도 11에 도시된 바와 같이 상기 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들(122)의 N극과 S극에 각각 마주하도록 배치될 수 있다.
또 다른 예로서, 도시되지는 않았으나, 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 상기 연장 방향으로 할바흐 배열 형태를 갖도록 배치될 수 있다. 특히, 상기 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)은 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이 상기 제2 방향으로 동일한 극성들이 서로 마주하도록 배치될 수 있다.
도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 주행 모듈을 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 22는 도 21에 도시된 이송 장치의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 21 및 도 22를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 주행 모듈(100)을 포함하는 이송 장치(200)는 반도체 또는 디스플레이 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판 등과 같은 물품 이송을 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(200)는 반도체 기판들이 수납된 FOUP 등과 같은 용기의 이송을 위해 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(200)는 서로 평행하게 연장하는 가이드 레일들(202)과, 상기 가이드 레일들(202)을 따라 이동 가능하게 구성된 대차(210), 및 상기 대차(210)에 장착된 비접촉 주행 모듈(100)을 포함할 수 있다. 상기 비접촉 주행 모듈(100)은, 상기 가이드 레일들(202)과 평행하게 연장하며 연장 방향을 따라 배치된 복수의 제1 영구자석들과 제2 영구자석들을 각각 포함하는 한 쌍의 주행 레일들(110, 120)과, 상기 주행 레일들(110, 120) 사이에서 상기 주행 레일들(110, 120)로부터 소정 간격 이격되도록 배치되며 원주 방향으로 배치된 복수의 제3 영구자석들을 포함하는 구동 휠(130), 및 상기 구동 휠(130)을 회전시키기 위한 구동부(140)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 구동 휠(130)이 상기 주행 레일들(110, 120)을 따라 이동되도록 상기 제3 영구자석들 중 일부가 상기 제1 및 제2 영구자석들 사이에 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(200)는 OHT 장치로서 사용될 수 있다. 상기 가이드 레일들(202)과 상기 주행 레일들(110, 120)은 클린룸의 천장 부위에 배치될 수 있으며, 상기 대차(210)는 상기 가이드 레일들(202) 아래에 배치될 수 있다. 특히, 상기 대차(210)는 비접촉 방식으로 상기 가이드 레일들(202)을 따라 이동될 수 있다. 예를 들면, 상기 대차(210)는 상기 가이드 레일들(202)을 감싸도록 구성된 가이드 프레임들(212)을 포함할 수 있으며, 상기 가이드 프레임들(212)에는 상기 대차(210)를 상기 가이드 레일들(202)로부터 부상시키기 위한 자기 부상 모듈(220)이 장착될 수 있다.
일 예로서, 상기 가이드 프레임들(212)은 도 21에 도시된 바와 같이 상기 가이드 레일들(202)의 상측과 하측 및 내측 부위들을 감싸도록 구성될 수 있으며, 상기 자기 부상 모듈(220)은 상기 가이드 레일들(202)의 하부와 마주하도록 상기 가이드 프레임들(212)의 하부에 장착된 자기 부상 코일들(222)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 자기 부상 코일들(222)에 전원이 인가되는 경우 상기 자기 부상 코일들(222)에 의해 발생되는 흡인력에 의해 상기 대차(210)가 부상될 수 있다.
또한, 상기 가이드 프레임들(212)과 상기 가이드 레일들(202)의 서로 마주하는 측면들 상에는 서로 반발력을 발생시키는 제1 및 제2 가이드 자석들(224, 226)이 각각 배치될 수 있다. 상기 제1 및 제2 가이드 자석들(224, 226) 중 하나로는 제어 가능한 전자석들이 사용될 수 있으며, 나머지 하나로는 영구자석들이 사용될 수 있다. 상기 제1 및 제2 가이드 자석들(224, 226)은 상기 이송 장치(200)의 이동 과정에서 가이드 레일들(202)과 가이드 프레임들(212) 사이의 마찰을 방지하고, 또한 상기 이송 장치(200)의 이동 과정에서의 진동과 소음을 감소시키기 위해 사용될 수 있다.
추가적으로, 상기 가이드 프레임들(212)과 상기 가이드 레일들(202) 사이에는 보조 휠들(228)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 가이드 프레임들(212)의 상부에는 상기 가이드 레일들(202)의 상부와 마주하도록 보조 휠들(228)이 장착될 수 있다. 상기 보조 휠들(228)은 상기 자기 부상 코일들(222)에 전원이 인가되지 않는 경우 상기 대차(210)를 지지할 수 있으며, 아울러 상기 대차(210)의 이동을 가능하게 할 수 있다.
또한, 상기 이송 장치(200)는 상기 가이드 레일들(202)과 상기 주행 레일들(110, 120)을 지지하기 위한 서포트 레일(230)을 포함할 수 있다. 도시된 바와 같이 상기 주행 레일들(110, 120)은 상기 가이드 프레임들(212)의 상부에 배치될 수 있으며, 상기 구동 휠(130)과 구동부(140)는 상기 가이드 프레임들(212) 상에 배치될 수 있다.
다른 예로서, 도 22에 도시된 바와 같이 가이드 프레임들(212)은 상기 가이드 레일들(202)의 상측과 하측 및 외측 부위들을 감싸도록 구성될 수 있으며, 서포트 레일(230)은 상기 가이드 프레임들(212) 사이에 배치될 수 있다. 즉 상기 가이드 레일들(202)은 상기 서포트 레일(230)의 양측 부위에 각각 배치될 수 있으며, 상기 주행 레일들(110, 120)은 상기 서포트 레일(230)의 하부에 배치될 수 있다. 이때, 상기 대차(210)는 상기 가이드 레일들(202) 아래에 배치될 수 있으며, 상기 비접촉 주행 모듈(100)의 구동 휠(130)과 구동부(140)는 상기 대차(210) 상에 배치될 수 있다.
한편, 상기 대차(210)의 하부에는 상기 FOUP 등과 같은 물품의 이송을 위한 호이스트 모듈(240)이 장착될 수 있으며, 상기 비접촉 주행 모듈(100)로는 도 1 내지 도 20을 참조하여 기 설명된 예들 중 하나가 사용될 수 있다.
결과적으로, 상기 대차(210)는 상기 자기 부상 모듈(220)에 의해 상기 가이드 레일들(202)로부터 부상된 상태에서 상기 비접촉 주행 모듈(100)에 의해 상기 가이드 레일들(202)을 따라 이동될 수 있으므로 종래 기술과 비교하여 파티클 발생을 크게 감소시킬 수 있다. 특히, 구동 휠들이 주행 레일들 상에 놓여진 상태에서 상기 구동 휠들을 회전시키는 종래 기술의 경우 상기 구동 휠들과 상기 주행 레일들 사이의 마찰에 의해 다량의 파티클이 발생될 수 있으나, 본 실시예의 경우 구동 휠(130)과 주행 레일들(110, 120) 사이의 접촉없이 자기 흡인력에 의해 추진력이 발생되므로 상기 종래 기술과 비교하여 파티클 발생량이 크게 감소될 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 다른 예로서, 상기 자기 부상 모듈(220)을 대신하여 상기 대차(210)는 상기 가이드 레일들(202)의 상부에 놓여지는 주행 휠들을 포함할 수 있으며, 또한, 상기 제1 및 제2 가이드 자석들(224, 226)을 대신하여 상기 가이드 레일들(202)의 측면들에 접하는 가이드 휠들을 포함할 수 있다. 상기 주행 휠들은 상기 대차(210)를 이동 가능하게 지지하며 상기 가이드 휠들은 상기 대차(210)의 이동을 안내하기 위해 사용될 수 있다.
도 23은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 23을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 비접촉 주행 모듈(100)을 포함하는 이송 장치(300)는 RGV 장치로서 사용될 수 있다. 상기 이송 장치(300)는 한 쌍의 가이드 레일들(302)과, 상기 가이드 레일들(302)을 따라 이동 가능하게 구성된 대차(310)와, 상기 대차(310) 상에 장착된 비접촉 주행 모듈(100)을 포함할 수 있다.
상기 대차(310)는 상기 가이드 레일들(302)의 상부에 배치될 수 있으며, 상기 가이드 레일들(302)을 감싸도록 구성된 가이드 프레임들(312)을 포함할 수 있다. 상기 비접촉 주행 모듈(100)은 상기 가이드 레일들(302)과 평행하게 연장하는 주행 레일들(110, 120)과 상기 주행 레일들(110, 120) 사이에 배치되는 구동 휠(130)과 상기 구동 휠(130)을 회전시키기 위한 구동부(140)를 포함할 수 있다.
상기 가이드 레일들(302)은 서포트 레일(330)의 양측 부위들 상에 배치될 수 있으며, 상기 주행 레일들(110, 120)은 상기 서포트 레일(330) 상에 배치될 수 있다. 상기 구동 휠(130)과 상기 구동부(140)는 상기 대차(310)의 하부에 장착될 수 있으며, 상기 구동 휠(130)은 상기 주행 레일들(110, 120) 사이에서 소정 간격 이격되도록 배치될 수 있다.
상기 이송 장치(300)는 상기 가이드 레일들(302)의 하부와 마주하도록 상기 가이드 프레임들(312)에 장착되는 자기 부상 코일들(322)과, 상기 가이드 레일들(302)의 상부와 마주하도록 상기 가이드 프레임들(312)에 장착되는 보조 휠들(228)과, 서로 마주하는 상기 가이드 레일들(302)과 상기 가이드 프레임들(312)의 측면들 상에 각각 장착되는 제1 및 제2 가이드 자석들(324, 326)을 포함할 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 대차(310) 상에는 상기 FOUP 등과 같은 물품의 적재를 위한 스태커와 상기 물품의 이송을 위한 로봇 등이 장착될 수 있으며, 상기 비접촉 주행 모듈(100)로는 도 1 내지 도 20을 참조하여 기 설명된 예들 중 하나가 사용될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 비접촉 주행 모듈(100)은 주행 방향으로 배치된 제1 및 제2 영구자석들(112, 122)을 포함하는 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120) 사이에서 원주 방향으로 배치된 제3 영구자석들(132)을 포함하는 구동 휠(130)을 회전시킴으로써 추진력을 발생시킬 수 있다. 특히, 상기 구동 휠(130)을 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120)과 접촉되지 않도록 배치하고 상기 제1, 제2 및 제3 영구자석들(112, 122, 132) 사이의 자기 흡인력을 이용하여 추진력을 발생시킬 수 있으므로 마찰력을 이용하는 종래 기술과 비교하여 파티클 발생량을 크게 감소시킬 수 있다.
또한, 자기 부상 코일들(222, 322)을 이용하여 대차(210, 310)를 부상시킨 상태에서 상기 비접촉 주행 모듈(100)을 이용하여 상기 대차(210, 310)를 이동시킬 수 있으며, 이에 따라 파티클 발생량을 충분히 감소시킬 수 있다. 추가적으로, 상기와 같이 자기력을 이용하여 추진력을 발생시킬 수 있으므로 종래 기술과 비교하여 상기 이송 장치(200, 300)의 운행시 발생되는 진동 및 소음을 크게 감소시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 비접촉 주행 모듈 110 : 제1 주행 레일
112 : 제1 영구자석 120 : 제2 주행 레일
122 : 제2 영구자석 130 : 구동 휠
132 : 제3 영구자석 134 : 제4 영구자석
140 : 구동부 200 : 이송 장치
202 : 가이드 레일 210 : 대차
212 : 가이드 프레임 220 : 자기 부상 모듈
222 : 자기 부상 코일 224 : 제1 가이드 자석
226 : 제2 가이드 자석 228 : 보조 휠
230 : 서포트 레일 240 : 호이스트 모듈

Claims (22)

  1. 서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 가이드 레일들;
    상기 가이드 레일들을 감싸는 가이드 프레임들을 포함하며 상기 가이드 레일들을 따라 이동 가능하게 구성된 대차;
    상기 대차를 상기 가이드 레일들로부터 부상시키기 위해 상기 가이드 레일들의 하부와 마주하도록 상기 가이드 프레임들에 장착되는 자기 부상 코일들을 포함하는 자기 부상 모듈; 및
    상기 대차에 장착된 비접촉 주행 모듈을 포함하되,
    상기 비접촉 주행 모듈은,
    상기 가이드 레일들과 평행하게 연장하며 연장 방향을 따라 배치된 복수의 제1 영구자석들과 제2 영구자석들을 각각 포함하는 한 쌍의 주행 레일들;
    상기 주행 레일들 사이에서 상기 주행 레일들로부터 소정 간격 이격되도록 배치되며 원주 방향으로 배치된 복수의 제3 영구자석들을 포함하는 구동 휠; 및
    상기 구동 휠을 회전시키기 위한 구동부를 포함하되, 상기 구동 휠이 상기 주행 레일들을 따라 이동되도록 상기 제3 영구자석들 중 일부가 상기 제1 및 제2 영구자석들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 영구자석들은 N극과 S극이 상기 연장 방향으로 배치되고 동일한 극성들이 상기 연장 방향으로 서로 마주하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 영구자석들은 N극과 S극이 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 배치되고 상기 연장 방향으로 극성들이 변화되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 영구자석들은 할바흐 배열 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 영구자석들의 N극과 S극은 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들의 N극과 S극에 각각 마주하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 영구자석들의 N극과 S극은 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 상기 제2 영구자석들의 S극과 N극에 각각 마주하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제3 영구자석들은 할바흐 배열 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 구동 휠은 할바흐 배열 형태로 배치된 복수의 제4 영구자석들을 더 포함하며,
    상기 제3 및 제4 영구자석들은 상기 제1 및 제2 영구자석들과 각각 마주하도록 상기 구동 휠의 양측에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제3 영구자석들은 N극과 S극이 상기 원주 방향으로 배치되고 동일한 극성들이 상기 원주 방향으로 서로 마주하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 제3 영구자석들은 N극과 S극이 상기 연장 방향에 대하여 직교하는 제2 방향으로 배치되고 상기 원주 방향으로 극성들이 변화되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 구동 휠은 N극과 S극이 상기 제2 방향으로 배치되고 상기 원주 방향으로 극성들이 변화되도록 배치되는 제4 영구자석들을 더 포함하며,
    상기 제3 및 제4 영구자석들은 상기 제1 및 제2 영구자석들과 각각 마주하도록 상기 구동 휠의 양측에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 영구자석들의 상기 연장 방향 피치와 상기 제3 영구자석들의 원주 방향 피치는 동일한 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제1항에 있어서, 상기 가이드 프레임들과 상기 가이드 레일들의 서로 마주하는 측면들 상에는 서로 반발력을 발생시키는 제1 및 제2 가이드 자석들이 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제1 및 제2 가이드 자석들 중 하나는 전자석인 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  18. 제1항에 있어서, 상기 가이드 레일들의 상부와 마주하도록 상기 가이드 프레임들에 장착되는 보조 휠들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  19. 삭제
  20. 삭제
  21. 제1항에 있어서, 상기 대차의 하부에는 호이스트 모듈이 장착되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  22. 제1항에 있어서, 상기 가이드 레일들과 상기 주행 레일들을 지지하기 위한 서포트 레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
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