CN107639541B - 磨削装置 - Google Patents

Abstract

提供磨削装置，即使所磨削的板状工件的种类变更也磨削直到达到规定厚度。磨削装置(1)具有：磨削单元(10)，其利用磨具旋转单元(11)使磨削磨轮(15)旋转而对板状工件(W)进行磨削；和判断单元(30)，其对电极(We)在被磨削面(Wa)露出的情况进行判断，判断单元具有：存储部(31)，其对没有利用磨削磨具(16)对电极进行磨削时负载电流值检测单元(112)所检测的负载电流值进行存储；设定部(32)，其设定对负载电流值乘以预先设定的系数而得的值作为电极在被磨削面露出时的基准负载电流值；以及判断部(33)，其在磨削中的负载电流值达到了基准负载电流值时判断为电极在被磨削面露出，根据板状工件及磨削磨轮的种类设定基准负载电流值，可靠地对板状工件进行磨削直到电极在被磨削面露出。

Description

磨削装置

技术领域

本发明涉及对板状工件等被加工物进行磨削的磨削装置。

背景技术

对板状工件进行磨削的加工装置至少具有：保持工作台，其对板状工件进行保持；磨削单元，其具有磨削磨轮，在该磨削磨轮上呈环状固定安装有磨削磨具；电动机，其使磨削磨轮进行旋转；以及加工进给单元，其对磨削单元在相对于保持在保持工作台上的板状工件接近和远离的方向上进行加工进给，加工装置一边利用磨削磨具对板状工件进行按压一边进行磨削。

当在加工装置中对内部具有电极的板状工件进行磨削而使电极在被磨削面露出的情况下，当在磨削加工中磨削磨具到达电极时，使磨削磨轮旋转的电动机的负载电流值会发生变化。因此，存在如下的磨削装置：在加工单元中具有负载电流值检测单元，通过该负载电流值检测单元来始终监视磨削板状工件时产生的负载电流值的变化并对加工进给单元进行控制而将板状工件磨削至希望的厚度(例如，参照下述的专利文献1和2)。

专利文献1：日本特开2014-008538号公报

专利文献2：日本特开2013-056392号公报

然而，在上述那样的磨削装置中，由于在负载电流值超过了预先设定的基准值时进行使磨削结束的控制，所以根据作为磨削对象的板状工件的种类，有时在刚刚开始了磨削之后负载电流值便达到基准值。即，存在如下问题：当想要保持在磨削装置中设定了对变更种类之前的板状工件进行磨削时的基准值的状态而对不同种类的板状工件进行磨削时，即使是没有达到规定的厚度的状态，也会使板状工件的磨削结束。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种磨削装置，即使作为磨削对象的板状工件的种类变更也能够进行磨削直到达到规定的厚度。

本发明是一种磨削装置，其具有：保持工作台，其具有对内部具有多个电极的板状工件进行保持的保持面；保持工作台旋转单元，其使该保持工作台以该保持工作台的中心为轴进行旋转；磨削单元，其将呈环状配设了磨削磨具的磨削磨轮安装在旋转轴上，并具有使该磨削磨轮以旋转轴为中心进行旋转的磨具旋转单元，该磨削单元利用磨具旋转单元使磨削磨轮进行旋转，对保持工作台所保持的板状工件进行磨削；磨削进给单元，其对磨削单元在相对于保持工作台接近和远离的方向上进行磨削进给；以及判断单元，其对该电极在由磨削单元进行磨削的板状工件的被磨削面露出的情况进行判断，其中，该磨削装置还具有厚度测量单元，该厚度测量单元对由该磨削单元进行磨削的板状工件的厚度进行测量，磨具旋转单元具有：电动机，其使旋转轴旋转；以及负载电流值检测单元，其对电动机的负载电流值进行检测，判断单元具有：存储部，其对板状工件的内部的电极没有被磨削磨具进行磨削时由负载电流值检测单元检测出的负载电流值进行存储；设定部，其设定对存储部所存储的负载电流值乘以预先设定的系数而得的值作为电极在板状工件的被磨削面露出时的基准负载电流值；以及判断部，其在磨削中的负载电流值达到了设定部所设定的基准负载电流值时判断为该电极在被磨削面露出。厚度测量单元具有：第1测量器，其使第1测头在所述保持工作台所保持的板状工件的外侧接触与所述保持面相同的面而对保持面的高度进行测量；第2测量器，其使第2测头接触保持面所保持的板状工件的上表面而对板状工件的上表面的高度进行测量；以及计算部，其计算第1测量器的值与第2测量器的值的差作为板状工件的厚度，事先设定电极的高度以上的值作为设定厚度，一边利用厚度测量单元对板状工件的厚度进行测量一边通过磨削单元对板状工件进行磨削直到达到设定厚度，将磨削中由所述负载电流值检测单元检测出的负载电流值存储在所述存储部中。当该负载电流值检测单元检测出的电动机的负载电流值达到该基准负载电流值时，结束该板状工件的磨削。

上述磨削装置也可以构成为具有根据所述磨削磨轮的种类与板状工件所具有的多个电极的密度的相关关系而对系数进行了设定的相关关系数据，所述磨削装置具有选择单元，该选择单元根据安装在所述旋转轴上的该磨削磨轮的种类和板状工件的电极的密度而参照该相关关系数据对该系数进行选择。

本发明的磨削装置具有：磨削单元，其利用磨具旋转单元使磨削磨轮进行旋转，对保持工作台所保持的板状工件进行磨削；以及判断单元，其对电极在由磨削单元进行磨削的板状工件的被磨削面露出的情况进行判断，磨具旋转单元具有：电动机，其使旋转轴进行旋转；以及负载电流值检测单元，其对电动机的负载电流值进行检测，判断单元具有：存储部，其在磨削磨具对板状工件的磨削中对没有对电极进行磨削时负载电流值检测单元所检测出的负载电流值进行存储；设定部，其设定对存储部所存储的负载电流值乘以预先设定的系数而得的值作为电极在被磨削面露出时的基准负载电流值；以及判断部，其在磨削中的负载电流值达到设定部所设定的基准负载电流值时判断为电极在被磨削面露出，因此即使在磨削对象的板状工件变更或磨削磨轮的种类变更的情况下，仅通过在板状工件的磨削中将电极没有从被磨削面露出时的负载电流值存储在存储部中并对该负载电流值乘以预先设定的系数，便能够对作为电极在被磨削面露出时的判断基准的基准负载电流值进行设定。因此，能够可靠地对板状工件进行磨削直到电极在被磨削面露出。

并且，本发明的磨削装置构成为具有厚度测量单元，该厚度测量单元对由上述磨削单元进行磨削的板状工件的厚度进行测量，事先设定电极的高度以上的值作为设定厚度，一边利用厚度测量单元对板状工件的厚度进行测量一边通过磨削单元对板状工件进行磨削直到达到设定厚度，因此能够一边对板状工件的厚度的变化进行监视，一边在磨削中将上述负载电流值检测单元所检测出的负载电流值存储在上述存储部中。因此，能够始终对板状工件的厚度和负载电流值进行监视，并更可靠地对板状工件进行磨削直到电极在被磨削面露出。

上述磨削装置具有根据上述磨削磨轮的种类与板状工件所具有的多个电极的密度的相关关系而对系数进行了设定的相关关系数据，该磨削装置还具有选择单元，该选择单元参照与安装在上述旋转轴上的该磨削磨轮的种类和板状工件的电极的密度对应的相关关系数据对系数进行选择，在该情况下，能够根据作为磨削对象的板状工件的种类及磨削磨轮的种类而参照相关关系数据对最佳的系数进行选择，因此能够对与板状工件的种类及磨削磨轮的种类对应的恰当的基准负载电流值进行设定。

附图说明

图1是示出磨削装置的一例的结构的立体图。

图2的(a)是相关关系数据的第1例，图2的(b)是相关关系数据的第2例。

图3是示出对磨削单元朝向保持在保持工作台上的板状工件进行磨削进给的状态的剖视图。

图4示出了通过磨削单元对板状工件进行磨削的状态，是示出电极没有在板状工件的被磨削面露出的状态的剖视图。

图5是示出板状工件被磨削至规定的厚度且电极在板状工件的被磨削面露出的状态的剖视图。

图6是示出对磨削单元的变形例朝向保持在保持工作台上的板状工件进行磨削进给的状态的剖视图。

图7示出了通过磨削单元的变形例在板状工件的中央形成凹部并且在外周侧形成凸部的状态，是示出电极没有在板状工件的被磨削面露出的状态的剖视图。

图8是示出在板状工件的中央形成有规定的凹部且电极在板状工件的被磨削面露出的状态的剖视图。

标号说明

1、1A：磨削装置；100：装置基座；101：柱；2、2A：保持工作台；2a：保持面；3：框体；3a：基准面；4：保持工作台旋转单元；5：盖；10：磨削单元；11：磨具旋转单元；110：旋转轴；111：电动机；112：负载电流值检测单元；12：保持架；13：外壳；14：安装座；15：磨削磨轮；16：磨削磨具；20、20A：磨削进给单元；21：滚珠丝杠；22：电动机；23：导轨；24：升降板；30、30A：判断单元；31：存储部；32：设定部；33：判断部；40、40A：控制单元；50：选择单元；60：厚度测量单元；61：第1测量器；61a：第1测头；62：第2测量器；62a：第2测头；63：计算部；70：磨削单元；71：旋转轴；72：电动机；73：负载电流值检测单元；74：安装座；75：磨削磨轮；76：磨削磨具；80：凹部；81：凸部。

具体实施方式

图1所示的磨削装置1是能够对内部具有多个电极的板状工件实施磨削的磨削装置的一例。磨削装置1具有：装置基座100，其沿Y轴方向延伸；以及柱101，其竖立设置在装置基座100的Y轴方向后部侧。在装置基座100上具有保持工作台2和保持工作台旋转单元4，其中，该保持工作台2具有对在内部具有多个电极的板状工件进行保持的保持面2a，该保持工作台旋转单元4使保持工作台2以保持工作台2的中心为轴进行旋转。保持工作台2的保持面2a的周围被框体3围绕，框体3的上表面成为具有与保持面2a相同的高度的基准面3a。保持工作台2的周围被盖5覆盖，能够通过未图示的移动单元在Y轴方向上移动。保持工作台旋转单元4是电动机，能够使保持工作台2以规定的旋转速度进行旋转。

磨削装置1具有：磨削单元10，其对保持在保持工作台2上的板状工件进行磨削；磨削进给单元20，其对磨削单元10在相对于保持工作台2接近和远离的方向上进行磨削进给；以及判断单元30，其对电极在由磨削单元10进行磨削的板状工件的被磨削面露出的情况进行判断；以及控制单元40，其对磨削进给单元20进行控制。控制单元40至少具有CPU或存储器等存储元件，该控制单元40与判断单元30连接。

磨削单元10在柱101的前方被磨削进给单元20支承为能够升降。磨削单元10具有：磨削磨轮15，在该磨削磨轮15上呈环状安装有磨削磨具16；以及磨具旋转单元11，其使磨削磨轮15进行旋转。磨具旋转单元11具有：旋转轴110，其具有Z轴方向的轴心；电动机111，其使旋转轴110进行旋转；以及负载电流值检测单元112，其对电动机111的负载电流值进行检测。旋转轴110被外壳13支承为能够旋转，外壳13通过保持架12来进行保持。磨削磨轮15借助安装座14而安装在旋转轴110的下端。磨具旋转单元11能够利用电动机111使旋转轴110进行旋转，从而使磨削磨轮15以旋转的旋转轴110为轴进行旋转。负载电流值检测单元112与电动机111连接，能够在板状工件的磨削中始终将施加给电动机111的磨削负荷作为负载电流值来进行检测。

磨削进给单元20具有：滚珠丝杠21，其沿Z轴方向延伸；电动机22，其与滚珠丝杠21的一端连接；一对导轨23，它们与滚珠丝杠21平行延伸；以及升降板24，其一个面与磨削单元10连结。一对导轨23与升降板24的另一个面滑动接触，滚珠丝杠21与形成在升降板24的另一个面侧的螺母螺合。磨削进给单元20中，当利用电动机22使滚珠丝杠21转动时，使升降板24沿着一对导轨23在Z轴方向上移动，从而能够使磨削单元10在Z轴方向上升降。

判断单元30具有：存储部31，其对负载电流值检测单元112所检测出的负载电流值进行存储；设定部32，其设定对存储部31所存储的负载电流值乘以预先设定的系数而得的值作为当电极在板状工件的被磨削面露出时的基准负载电流值；以及判断部33，其在磨削中的负载电流值达到设定部32所设定的基准负载电流值时判断为电极在板状工件的被磨削面露出。在存储部31中存储有负载电流值，该负载电流值表示在通过磨削磨具16对板状工件进行磨削时施加给电动机111的磨削负荷中、磨削磨具16没有对板状工件的内部的电极进行磨削时的电动机111的磨削负荷。关于在设定部32中为了设定基准负载电流值而使用的系数，例如是通过使用多种板状工件及多种磨削磨轮实验性地进行磨削而作为常数预先确定的，根据磨削磨轮15所具有的磨削磨具16的粒度、板状工件所具有的电极的密度等在设定部32中单独地进行设定。在设定部32中，设定对负载电流值乘以上述系数而得的值作为基准负载电流值，该基准负载电流值是电极是否从板状工件的被磨削面露出的判断基准。并且，在板状工件的磨削中的负载电流值达到了基准负载电流值的情况下，判断部33能够判断为电极在板状工件的被磨削面露出，该判断结果被发送给控制单元40。

在保持工作台2的附近具有对由磨削单元10磨削的板状工件的厚度进行测量的厚度测量单元60。厚度测量单元60具有：第1测量器61，其使第1测头61a在保持工作台2所保持的板状工件的外侧接触基准面3a而对保持工作台2的保持面2a的高度进行测量，该基准面3a与保持面2a为相同的面；第2测量器62，其使第2测头62a接触保持在保持面2a上的板状工件的上表面而对板状工件的上表面高度进行测量；以及计算部63，其计算第1测量器61所测量出的测量值与第2测量器62所测量出的测量值的差作为板状工件的厚度。

磨削装置1具有对根据磨削磨轮的种类和板状工件的电极密度设定了系数的相关关系数据D进行存储的存储单元，该磨削装置1具有选择单元50，该选择单元50从相关关系数据D中参照与实际使用的磨削磨轮的种类和作为实际磨削对象的板状工件的电极密度对应的数据，对应该与存储在存储部31中的负载电流值相乘的最佳的系数进行选择。选择单元50与判断单元30连接。电极密度是指板状工件的整个面积与配设在板状工件的内部的多个电极的面积的比例。

图2的(a)所示的相关关系数据D1是相关关系数据D的第1例。为了获得相关关系数据D1而使用的板状工件例如是由硅构成的板状工件，表示利用磨削磨具对不存在电极的部分进行磨削时的电动机的磨削负荷的负载电流值为6A(安培)。在实验中使用的磨削磨轮的磨粒的粒度为#2000、#3000、#4000、#8000这4种，板状工件的电极密度被设定为10％、30％、50％的各比例。例如，在通过磨粒的粒度为#2000的磨削磨具对电极密度为10％的板状工件进行磨削的情况下，系数被设定为1.1。因此，通过对负载电流值6A乘以系数1.1，导出表示电极在板状工件的被磨削面露出的状态的负载电流值为7A。另外，相关关系数据D1的基准负载电流值是将实际计算出的数值四舍五入后标示出的。

图2的(b)所示的相关关系数据D2是相关关系数据D的第2例。为了获取相关关系数据D2而使用的板状工件是由树脂构成的板状工件，表示对不存在电极的部分进行磨削时的电动机的磨削负荷的负载电流值为10A。在实验中使用的磨削磨轮和板状工件的电极密度的设定与相关关系数据D1同样。例如，在利用磨粒的粒度为#2000的磨削磨具对电极密度为30％的板状工件进行磨削的情况下，系数被设定为1.3。因此，通过对负载电流值10A乘以系数1.3，导出表示电极在板状工件的被磨削面露出的状态的负载电流值为13A。另外，相关关系数据D2的基准负载电流值也是将实际计算出的数值四舍五入后标示出的。

这里，磨粒的粒度的值越大，磨削磨具与板状工件的被磨削面接触的接触面积越大。也就是说，磨削磨具与电极的接触面积越大，施加给电动机的磨削负荷也越大，因此负载电流值也变大。当参照相关关系数据D1、D2时，随着磨粒的粒度的值按照#2000…#4000…这样变大，应该与电极在板状工件的被磨削面露出之前的负载电流值相乘的系数也被较大地设定，基准负载电流值也因使用了该系数的计算而上升。并且，电极密度越按照10％…30％…50％这样变高，磨削磨具与电极的接触面积越大，因此系数也被较大地设定。理所当然，越是磨粒的粒度的值较大的磨削磨具与电极密度较高的板状工件的组合，施加给电动机111的磨削负荷越大，因此负载电流值也上升。因此，在相关关系数据D1、D2中，磨粒的粒度值为#8000且电极密度为50％的情况下的系数被设定为最高的2.5。并且，在图1所示的选择单元50中，根据作为磨削对象的板状工件的种类及磨削磨轮15的种类，参照相关关系数据D1、D2对最佳的系数进行选择，能够在设定部32中对作为表示电极在板状工件的被磨削面露出的状态的判断基准的基准负载电流值进行设定。

接着，对使用磨削装置1来磨削图3所示的板状工件W的动作进行说明。板状工件W是被加工物的一例，例如具有硅基板或树脂基板，在其内部形成有多个电极We。电极We由导电性部件构成，例如能够使用铜(Cu)或铜合金等金属。并且，保持在保持工作台2上的板状工件W的露出的上表面成为被磨削单元10磨削的被磨削面Wa。在磨削装置1中，将电极We的高度(板状工件W的厚度方向上的长度)以上的值作为板状工件W的设定厚度事先设定在控制单元40中。板状工件W的设定厚度是磨削进给的磨削磨具16即将到达电极We之前的板状工件W的厚度。

首先，如图3所示，将板状工件W载置在保持工作台2上，使被磨削面Wa朝上露出。在利用保持工作台2对板状工件W进行了保持之后，使保持工作台2移动至磨削单元10的下方。接着，使保持工作台2例如按照箭头A方向进行旋转，并且一边通过电动机111使旋转轴110进行旋转而使磨削磨轮15例如按照箭头A方向进行旋转，一边通过磨削进给单元20使磨削磨轮15在接近保持工作台2的方向上下降。并且，使一边旋转一边下降的磨削磨具16接触板状工件W的被磨削面Wa而进行磨削。

如图4所示，当板状工件W随着板状工件W的磨削的推进而薄化时，被磨削面Wa接近电极We的上端。由于在该时刻磨削磨具16不与板状工件W的内部的电极We接触，所以通过负载电流值检测单元112对表示电动机111的磨削负荷的负载电流值进行检测，并存储在判断单元30的图1所示的存储部31中。并且，设定部32通过对存储在存储部31中的负载电流值乘以在判断单元30中预先设定的系数，对表示电极We在板状工件W的被磨削面Wa露出时的基准负载电流值进行设定。

例如，在作为磨削对象的板状工件W为硅基板(电极密度为10％)且磨粒的粒度为#4000的情况下，通过图1所示的选择单元50并参照图2的(a)所示的相关关系数据D1选择最佳的系数1.3。之后，设定部32设定对存储在存储部31中的负载电流值6A乘以选择单元50所选择的系数1.3而导出的8A作为表示电极We在板状工件W的被磨削面Wa露出时的基准负载电流值。并且，例如，在作为磨削对象的板状工件W为树脂基板(电极密度为30％)且磨粒的粒度为#8000的情况下，通过选择单元50并参照图2的(b)所示的相关关系数据D2选择最佳的系数1.8。之后，设定部32设定对存储在存储部31中的负载电流值10A乘以选择单元50所选择的系数1.8而导出的18A作为表示电极We在板状工件W的被磨削面Wa露出时的基准负载电流值。这样，在选择单元50中，能够参照相关关系数据D1、D2对最佳的系数进行选择，因此能够对根据板状工件W的种类及磨削磨轮的种类的恰当的基准负载电流值进行设定。

在以这种方式对基准负载电流值进行了设定之后，一边利用厚度测量单元60对板状工件W的厚度进行测量一边继续进行板状工件W的磨削直到达到设定厚度，在板状工件W的磨削中，始终通过负载电流值检测单元112对施加给电动机111的磨削负荷的变化进行监视。如果负载电流值检测单元112所检测出的电动机111的负载电流值未达到基准负载电流值，则通过判断部33判断为电极We未在板状工件W的被磨削面Wa露出，并将判断结果发送给控制单元40。通过控制单元40对磨削进给单元20进行控制，从而继续进行板状工件W的磨削直到电动机111的负载电流值达到基准负载电流值。另一方面，如果负载电流值检测单元112所检测出的电动机111的负载电流值达到了基准负载电流值，则如图5所示，通过判断部33判断为电极We在板状工件W的被磨削面Wa露出，并将判断结果发送给控制单元40。并且，通过控制单元40对磨削进给单元20进行控制，从而使磨削单元10上升，使板状工件W的磨削结束。

这样，本发明的磨削装置1具有：磨削单元10，其利用磨具旋转单元11使磨削磨轮15旋转，对保持工作台2所保持的板状工件W进行磨削；以及判断单元30，其对电极We在由磨削单元10进行磨削的板状工件W的被磨削面Wa露出的情况进行判断，磨具旋转单元11具有：电动机111，其使旋转轴110旋转；以及负载电流值检测单元112，其对电动机111的负载电流值进行检测，判断单元30具有：存储部31，其对在磨削磨具16对板状工件W的磨削中没有对电极We进行磨削时负载电流值检测单元112所检测出的负载电流值进行存储；设定部32，其设定对存储部31所存储的负载电流值乘以预先设定的系数而得的值作为电极We在被磨削面Wa露出时的基准负载电流值；以及判断部33，其在磨削中的负载电流值达到设定部32所设定的基准负载电流值时判断为电极We在被磨削面Wa露出，所以即使要磨削的板状工件W的种类变更或磨削磨轮15的种类变更，也能够根据变更后的板状工件W或变更后的磨削磨轮15对作为电极We在被磨削面Wa露出时的判断基准的基准负载电流值进行设定。因此，能够可靠地对板状工件W进行磨削直到电极We在被磨削面Wa露出。

并且，在磨削装置1中，不仅利用负载电流值检测单元112和判断单元30对负载电流值的变化进行监视，还能够利用厚度测量单元60始终对板状工件W的厚度的变化进行监视，因此能够更可靠地对板状工件W进行磨削直到电极We在被磨削面Wa露出。

本发明并不限定于上述的磨削装置1的结构，例如，也能够适用于图6所示的磨削装置1A。磨削装置1A作为磨削单元的变形例具有磨削单元70，该磨削单元70在保持于保持工作台2A的板状工件W1的中央形成凹部并且在外周Wc侧形成凸部。磨削装置1A除了具有磨削单元70这一点以外，其结构与上述的磨削装置1是同样的。

磨削单元70具有：磨削磨轮75，在该磨削磨轮75上呈环状配设有磨削磨具76；以及磨具旋转单元，其使磨削磨轮75旋转。磨具旋转单元具有：旋转轴71；电动机72，其使旋转轴71旋转；以及负载电流值检测单元73，其对电动机72的负载电流值进行检测。磨削磨轮75借助安装座74而安装在旋转轴71的下端，通过使电动机72以旋转轴71为中心按照规定的旋转速度进行旋转，能够使磨削磨轮75以规定的旋转速度进行旋转。负载电流值检测单元73能够将板状工件的磨削时的电动机72的磨削负荷的变化检测为负载电流值。作为磨削磨轮75，只要构成为磨削磨具76的旋转轨迹的最外周的直径具有形成于板状工件W1的图7所示的凹部80的半径以上并且凹部80的直径以下的大小，以使磨削磨具76始终通过板状工件W的中心即可。另外，磨削磨轮75的尺寸能够按照作为磨削对象的板状工件W1的尺寸进行适当变更。

接着，对使用磨削装置1A来磨削板状工件W1的动作进行说明。另外，与上述的磨削装置1同样，事先将电极We的高度以上的值作为板状工件W1的设定厚度设定在控制单元40A中。

首先，如图6所示，将板状工件W1载置在保持工作台2A上而使被磨削面Wa朝上露出。在利用保持工作台2A对板状工件W1进行了保持之后，使保持工作台2A移动至磨削单元70的下方。接着，使保持工作台2A例如按照箭头A方向进行旋转，并且一边通过电动机72使旋转轴71旋转而使磨削磨轮75例如按照箭头A方向进行旋转，一边通过磨削进给单元20A使磨削磨轮75在接近保持工作台2A的方向上下降。如图7所示，使一边旋转一边下降的磨削磨具76与板状工件W1的中央部分的被磨削面Wa接触而进行磨削。即，以磨削磨具76的最外周始终通过板状工件W1的中心的方式磨削规定的时间，由此，在板状工件W1的中央部分形成凹部80并且在外周Wc侧形成环状的凸部81。

当板状工件W1的凹部80随着板状工件W1的磨削的推进而薄化时，被磨削面Wa接近电极We的上端。由于在该时刻磨削磨具76不与板状工件W1的内部的电极We接触，所以通过负载电流值检测单元73对表示电动机72的磨削负荷的负载电流值进行检测，并存储在判断单元30A所具有的存储部中。并且，通过在判断单元30A所具有的设定部中对存储在存储部中的负载电流值乘以预先设定的系数，对表示电极We在板状工件W1的被磨削面Wa露出时的基准负载电流值进行设定。并且，虽然未进行图示，但磨削装置1A也可以与磨削装置1同样，选择单元根据作为磨削对象的板状工件W1的种类及磨削磨轮75的种类，参照相关关系数据对最佳的系数进行选择，对作为表示电极We在板状工件W1的被磨削面Wa露出的状态的判断基准的基准负载电流值进行设定。

在以这种方式对基准负载电流值进行了设定之后，一边利用未图示的厚度测量单元对板状工件W1的厚度进行测量，一边继续进行板状工件W1的磨削直到达到设定厚度，在板状工件W1的磨削中始终通过负载电流值检测单元73对施加给电动机72的磨削负荷的变化进行监视。如果负载电流值检测单元73所检测出的电动机72的负载电流值未达到基准负载电流值，则通过判断单元30A所具有的判断部判断为电极We没有在板状工件W1的被磨削面Wa露出，并将判断结果发送给控制单元40A。通过控制单元40A对磨削进给单元20A进行控制，从而继续进行板状工件W1的磨削直到电动机72的负载电流值达到基准负载电流值。另一方面，如果负载电流值检测单元73所检测出的电动机72的负载电流值达到了基准负载电流值，则如图8所示，通过判断单元30A所具有的判断部判断为电极We在凹部80的被磨削面Wa露出，并将判断结果发送给控制单元40A。并且，通过控制单元40A对磨削进给单元20A进行控制，从而使磨削单元70上升，使板状工件W1的磨削结束。

Claims (2)

1.一种磨削装置，其具有：

保持工作台，其具有对内部具有多个电极的板状工件进行保持的保持面；

保持工作台旋转单元，其使该保持工作台以该保持工作台的中心为轴进行旋转；

磨削单元，其将呈环状配设了磨削磨具的磨削磨轮安装在旋转轴上，并具有使该磨削磨轮以该旋转轴为中心进行旋转的磨具旋转单元，该磨削单元利用该磨具旋转单元使该磨削磨轮进行旋转，对该保持工作台所保持的板状工件进行磨削；

磨削进给单元，其对该磨削单元在相对于该保持工作台接近和远离的方向上进行磨削进给；以及

判断单元，其对该电极在由该磨削单元进行磨削的板状工件的被磨削面露出的情况进行判断，

其中，

该磨削装置还具有厚度测量单元，该厚度测量单元对由该磨削单元进行磨削的板状工件的厚度进行测量，

该磨具旋转单元具有：

电动机，其使该旋转轴旋转；以及

负载电流值检测单元，其对该电动机的负载电流值进行检测，

该判断单元具有：

存储部，其对板状工件的内部的该电极没有被该磨削磨具进行磨削时由该负载电流值检测单元检测出的负载电流值进行存储；

设定部，其设定对该存储部所存储的该负载电流值乘以预先设定的系数而得的值作为该电极在板状工件的被磨削面露出时的基准负载电流值；以及

判断部，其在磨削中的该负载电流值达到了该设定部所设定的该基准负载电流值时判断为该电极在被磨削面露出，

该厚度测量单元具有：

第1测量器，其使第1测头在该保持工作台所保持的板状工件的外侧接触与该保持面相同的面而对该保持面的高度进行测量；

第2测量器，其使第2测头接触该保持工作台所保持的板状工件的上表面而对该板状工件的上表面的高度进行测量；以及

计算部，其计算该第1测量器的值与该第2测量器的值的差作为板状工件的厚度，

事先设定该电极的高度以上的值作为设定厚度，一边利用该厚度测量单元对板状工件的厚度进行测量一边通过该磨削单元对板状工件进行磨削直到达到该设定厚度，将磨削中由该负载电流值检测单元检测出的该负载电流值存储在该存储部中，当该负载电流值检测单元检测出的电动机的负载电流值达到该基准负载电流值时，结束该板状工件的磨削。

2.根据权利要求1所述的磨削装置，其中，

该磨削装置具有根据该磨削磨轮的种类与板状工件所具有的多个电极的密度的相关关系而对系数进行了设定的相关关系数据，

该磨削装置具有选择单元，该选择单元根据安装在该旋转轴上的该磨削磨轮的种类和板状工件的电极的密度而参照该相关关系数据对该系数进行选择。

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